TW201529447A

TW201529447A - 振動式輸送裝置

Info

Publication number: TW201529447A
Application number: TW104100374A
Authority: TW
Inventors: Taro Mimura; Jyunichi Hara; Kazuki Momose; Yasuhiro Minagawa; Muneyasu Hatakoshi; Yuki Kiuchi; Yuji Godo
Original assignee: Daishin Co Ltd
Priority date: 2014-01-08
Filing date: 2015-01-07
Publication date: 2015-08-01
Also published as: CN104760803A; JP5775183B2; KR20150083011A; JP2015129041A

Abstract

本發明提供之振動式輸送裝置，係能夠藉由簡單之結構減少施加於設置面之反作用力，並且實現振動之高頻化或輸送之高速化；該振動式輸送裝置(10)係具備：一對防振彈簧(13a、13b)、在輸送方向(D)前後位置處被一對防振彈簧支撐之基準質量體(11)、配置在基準質量體上方之上側質量體(12A)、配置在基準質量體下方之下側質量體(12B)、在輸送方向前後位置處將基準質量體與上側質量體彈性連接且呈板狀之一對上側振動彈簧(14a、14b)、在輸送方向前後位置處將基準質量體與下側質量體彈性連接且呈板狀之一對下側振動彈簧(15a、15b)、以及同相激振機構(16a、16b)，該同相激振機構(16a、16b)向基準質量體與上側質量體之間、以及基準質量體與下側質量體之間施加激振力，從而在輸送方向上產生同相振動；利用上述同相激振機構而使上述上側質量體和上述下側質量體沿振動方向(BVs、BVt)進行振動，振動方向(BVs、BVt)係相互朝向上下方向相反側傾斜之方向。

Description

振動式輸送裝置

本發明係有關於振動式輸送裝置，尤其係有關適於呈直線狀地輸送部件之輸送裝置的輸送機構。

通常，振動式輸送裝置係構成為：藉由板簧將輸送體彈性支撐在臺座上，並利用電磁驅動體或者壓電驅動體等激振機構對該輸送體進行激振，從而產生向著相對輸送朝向斜向上之振動，由此沿著形成於輸送體上的輸送路輸送部件等輸送物。近年來，微小電子器件作為輸送物之情況越來越多，另外，對於這種微小輸送物之高速供給之需求越來越高，因此，大量需要利用壓電驅動源進行激振從而將微小輸送物一邊排列整齊一邊高速輸送之裝置。

在欲滿足上述高速輸送之要求時，在振動式輸送裝置中產生下述相同問題，即：由於輸送體振動的反作用力被傳遞至設置面，從而有可能經由設置面而對周圍其他裝置類帶來振動性影響，或者，因為用於使輸送體振動的激振結構整體之俯仰動作等而使輸送體朝向與本來的振動方向不同之方向振動，從而導致輸送方向上不同位置處的輸送速度不同、或者輸送物朝向輸送方向以外的其他方向振動而使輸送姿態混亂。

為了解決上述問題，在先前的振動式輸送裝置中提出了一種方法，在該方法中，係藉由防振彈簧支撐振動系統，並且，在該振動系統內設置以與輸送體相反之相位進行振動之反作用配重(慣性體)，透過該反作用配重之振動來抵消輸送體振動的反作用力，從而減少傳遞至設置面上的振動能(例如下述專利文獻1)。但是，在這種結構中，由於輸送體與反作用配重的重心在上下方向上錯開，因此，裝置整體會隨著輸送體的振動而產生俯仰運動，由此導致輸送效率降低，並且導致輸送方向上不同位置處的輸送速度不同、或者輸送姿態混亂。因此，已知有一種振動式輸送裝置，其透過減小輸送體重心與反作用配重重心之間的偏差，從而抑制上述俯仰運動。

例如，已知有下述結構，即：在輸送體上連接有配置在反作用配重下方的平衡塊之結構(例如下述專利文獻2)；將由防振彈簧支撐的壓電式振動部與輸送體加以連接，並在壓電式振動部與輸送體之間配置砝碼(counter weight)，並且配置為：將壓電式振動部和輸送體整體的重心位置與砝碼的重心位置連接之直線與施加於輸送物的振動方向平行之結構(例如下述專利文獻3)；將與輸送體連接之可動板彈性支撐在由防振彈簧支撐的固定架上方，在可動板的下方連接下部配重，並且在固定架的上方連接固定配重，由此使兩者的重心位置靠近，從而抑制產生轉矩之結構(例如下述專利文獻4)等。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

專利文獻1：日本特開平2-204210號公報

專利文獻2：日本特開平4-39206號公報

專利文獻3：日本特開2006-248727號公報

專利文獻4：日本特開2009-298498號公報

然而，在上述設有反作用配重之先前振動式輸送裝置中，存在下述問題，即：為了使輸送體的重心與反作用配重的重心靠近、或者排列在同一條直線上而導致結構變複雜，因而導致裝置大型化或者製造成本增加，並且，由於必須極其精密地設定重心位置，因而在輸送物的類型或輸送速度等狀況不斷變化之製造現場難以獲得充分效果。尤其是，當為了能夠高速輸送而提高驅動頻率時，即使重心位置僅存在些許偏差也會導致俯仰運動或上下運動等變得劇烈，從而無法獲得恰當的輸送狀態，因而難以實現高頻化或者高速輸送。

因此，本發明係為了解決上述問題而完成，其課題係在於提供一種能夠透過簡單的結構而容易地減少施加於設置面的反作用力，並且容易實現振動的高頻化或輸送速度的高速化之振動式輸送裝置。

鑒於上述實際情況，本發明之振動式輸送裝置之特徵在於，具備：一對防振彈簧，其分別設置在輸送方向的前後位置處，並且由具有朝向所述輸送方向的板面之板簧構成；基準質量體，其在所述輸送方向的前後位置處被一對所述防振彈簧支撐；上側質量體，其配置在所述基準質量體的上方；下側質量體，其配置在所述基準質量體的下方；一對上側振動彈簧，其分別在所述輸送方向的前後位置處將所述基準質量體與所述上側質量體彈性連接，並且包含具有朝向所述輸送方向的板面之板簧結構；一對下側振動彈簧，其分別在所述輸送方向的前後位置處將所述基準質量體與所述下側質量體彈性連接，並且包含具有朝向所述輸送方向的板面之板簧結構；以及同相激振機構，其向所述基準質量體與所述上側質量體之間、以及所述基準質量體與所述下側質量體之間施加激振力，從而在所述輸送方向上產生同相的振動；並且，在所述上側質量體和所述下側質量體中的至少一者上設有用於輸送輸送物之輸送路；所述上側振動彈簧和所述下側振動彈簧具有相互朝向上下方向相反側傾斜的振動角，從而利用所述同相激振機構的所述激振力而使所述上側質量體和所述下側質量體沿相互朝向上下方向相反側傾斜的方向進行振動。

根據本發明，在輸送方向的前後位置處分別被防振彈簧支撐的基準質量體的上方和下方，在輸送方向的前後位置處分別經由振動彈簧而彈性連接有上側質量體和下側質量體，並且，利用同相激振機構施加激振力，從而使上側質量體與下側質量體在從輸送方向觀察時同相振動，而基準質量體與上側質量體和下側質量體在從輸送方向觀察時反相振動。因此，能夠減小基準質量體的重心位置與上側質量體和下側質量體的總體重心位置在上下方向上的偏移，因而能夠提高基準質量體與上側質量體和下側質量體的輸送方向振動的反作用力之消除作用。

另外，在振動時，上側質量體對基準質量體施加的轉矩的方向與下側質量體對基準質量體施加的轉矩的方向相反，因而基準質量體所受到的由振動產生之旋轉方向的反作用力被相互抵消或減弱，從而能夠抑制俯仰動作(旋轉運動)。因此，經由防振彈簧傳遞至設置面的輸送方向和上下方向之反作用力被減弱，從而能夠抑制振動能經由防振彈簧漏向設置面。進而，由於俯仰動作被抑制，因而即使提高頻率也不易使振動紊亂，而且輸送物的姿態也保持穩定，因此，能夠實現高速輸送，並且也能夠提高沿著輸送路的輸送速度或者輸送姿態等輸送狀態的均勻性。

在本發明中，在所述上側質量體和所述下側質量體中的至少一者上設有用於輸送輸送物之輸送路，所述上側振動彈簧和所述下側振動彈簧具有相互朝向上下方向相反側傾斜的振動角，從而利用所述同相激振機構的所述激振力而使所述上側質量體和所述下側質量體沿相互朝向上下方向相反側傾斜的方向進行振動，由此，能夠在設置於上側質量體和下側質量體中至少一者上的輸送路上對輸送物施加朝向輸送方向的一側或者另一側的輸送力。因此，無需將振動系統整體設置為傾斜以對輸送物施加輸送力，因而能夠簡化裝置結構，而且也使輸送力的調整作業變得容易。

另外，由於同步振動的上側質量體和下側質量體的振動方向是相互朝向上下方向相反側傾斜的方向，因此，能夠提高上側質量體的轉矩和下側質量體的轉矩之上下方向成分的削弱效果，從而能夠減少基準質量體所受到的上下方向的反作用力。因此，能夠實現下述效果，即：使輸送路上的輸送物的輸送狀態變穩定，能夠透過提高裝置的頻率而提高輸送速度，以及能夠抑制上下振動經由防振彈簧漏向設置面。

尤其是在將頻率提高至300Hz~1kHz這一遠高於先前頻率的頻率時，即使上下方向的動態平衡稍微不均衡，也會產生下述事態，即：因為上下振動而使輸送物跳動，從而不易進行輸送物的排列、分選、高密度輸送等，或者，上下振動從設置面傳遞至周圍。但是，根據本發明之構成，透過減小上下振動而使輸送物的上下跳動減少，從而使輸送物的輸送姿態變穩定，因此，能夠進行輸送物的排列、分選、高密度輸送等，並且能夠抑制上下振動從設置面傳向周圍。

在本發明中，如上所述，為了使所述上側振動彈簧和所述下側振動彈簧具有振動角，作為一例，也可以構成為將所述上側振動彈簧和所述下側振動彈簧分別設置為整體傾斜之姿態。該情況下，為了使上側振動彈簧和下側振動彈簧具有相互朝向上下方向相反側的振動角，只要將上側振動彈簧和下側振動彈簧分別配置為整體朝向上下方向相反側傾斜之姿態即可。

但是，從容易進行彈簧的安裝作業，並且能夠調整振動角的方面來看，較佳為所述上側振動彈簧和所述下側振動彈簧的彈簧結構分別具有多個彈簧構件，並且所述上側質量體和所述下側質量體側的所述彈簧構件相對於所述基準質量體側的所述彈簧構件而配置在所述輸送方向的一側。

該情況下，較佳為所述上側振動彈簧具有上側振動彈簧主體和上側連接部，其中，該上側連接部在所述輸送方向上將該上側振動彈簧主體的上端部連接在所述上側質量體上，並且，在該上側連接部中，在相比所述上側振動彈簧主體更靠近所述輸送方向的所述一側之位置處設有上側彈簧構件，該上側彈簧構件以所述上側質量體相對於所述上側振動彈簧主體而能夠圍繞與所述輸送方向和垂直方向垂直之軸線轉動之形態彈性變形；所述下側振動彈簧具有下側振動彈簧主體和下側連接部，其中，該下側連接部在所述輸送方向上將該下側振動彈簧主體的下端部連接在所述下側質量體上，並且，在該下側連接部中，在相比所述下側振動彈簧主體更靠近所述輸送方向的所述一側之位置處設有下側彈簧構件，該下側彈簧構件以所述下側質量體相對於所述下側振動彈簧主體而能夠圍繞與所述輸送方向和垂直方向垂直之軸線轉動之形態彈性變形。

由此，在上側連接部和下側連接部中，經由配置在輸送方向一側的上側彈簧構件或下側彈簧構件而將上側振動彈簧主體的上端部或者下側振動彈簧主體的下端部連接在上側質量體或者下側質量體上，從而與將上側振動彈簧和下側振動彈簧本身設置為傾斜姿態時同樣地，能夠將設置於上側質量體或者下側質量體上的輸送路的振動方向形成為相對於輸送方向相互朝向上下方向相反側傾斜的方向。該情況下，所述上側振動彈簧和下側振動彈簧的振動角根據上側振動彈簧主體的上部連接端與上側彈簧構件之間在輸送方向上的間隔、以及下側振動彈簧主體的下部連接端與下側彈簧構件之間在輸送方向上的間隔而變化。因此，只要利用間隔件等對該間隔進行調整，便可調整上側振動彈簧和下側振動彈簧的振動角。

在此，作為所述上側彈簧構件或者下側彈簧構件，可以使用沿著與所述輸送方向和垂直方向垂直的寬度方向(水平方向)連接所述上側振動彈簧主體或者所述下側振動彈簧主體與所述上側質量體或者所述下側質量體的板簧狀連接板。該連接板作為扭簧發揮作用，其能夠在上側質量體或者下側質量體相對於上側振動彈簧主體的上部連接端或者下側振動彈簧主體的下部連接端而以朝向寬度方向的軸線為中心進行旋轉之方向上彈性變形。該情況下，進而較佳為所述上側振動彈簧主體以沿垂直方向延伸之姿態配置在所述基準質量體與所述上側質量體之間，所述下側振動彈簧主體以沿垂直方向延伸之姿態配置在所述基準質量體與所述下側質量體之間。

透過如上所述在上側連接部和下側連接部中設置上側彈簧構件和下側彈簧構件，能夠使上側振動彈簧和下側振動彈簧具有振動角，因此，即使在將上側振動彈簧主體和下側振動彈簧主體設置為垂直姿態時也能夠產生輸送力。而且，透過將上側振動彈簧主體和下側振動彈簧主體設置為垂直姿態，能夠簡化結構並減少上下振動，因此，即使提高頻率也能夠確保輸送姿態的穩定性，另外能夠減少經由防振彈簧漏出的振動。

作為如上所述排列有多個彈簧構件的彈簧結構的另一例，也可以將所述上側振動彈簧和下側振動彈簧在其延伸方向(上下方向)的中間位置處分為上下兩部分，並且根據需要而經由在輸送方向上具有厚度之間隔件等將分割後的上側板簧部分的下端與下側板簧部分的上端呈階梯狀地加以連接。該情況下，為了使上側振動彈簧和下側振動彈簧具有相互朝向上下方向相反側傾斜的振動角，只要構成為上側振動彈簧的下側板簧部分的上端相對於上側板簧部分的下端的配置側、與下側振動彈簧的下側板簧部分的上端相對於上側板簧部分的下端的配置側在從輸送方向觀察時相反即可。

例如，在上側振動彈簧由配置於下方的上側壓電驅動部與配置於上方的上側增幅彈簧之串聯連接結構構成，下側振動彈簧由配置於上方的下側壓電驅動部與配置於下方的下側增幅彈簧之串聯連接結構構成之情況下，只要根據需要而將上側增幅彈簧的下端從輸送方向的一側隔著間隔連接在上側壓電驅動部的上端上，並且根據需要而將下側增幅彈簧的上端從輸送方向的一側(與上述相同的一側)隔著間隔連接在下側壓電驅動部的下端上即可。該情況下，也較佳為所述上側振動彈簧和所述下側振動彈簧均被配置為上側板簧部分和下側板簧部分分別沿垂直方向延伸的姿態。由此，能夠簡化結構並減少上下振動，從而即使提高頻率也能確保輸送姿態的穩定性，另外還能夠減少經由防振彈簧漏出的振動。

在本發明中，較佳為所述同相激振機構具有上側激振部和下側激振部，其中，該上側激振部直接向所述基準質量體與所述上側質量體之間施加所述激振力，該下側激振部直接向所述基準質量體與所述下側質量體之間施加所述激振力。由此，透過構成為由上側激振部和下側激振部直接且分開獨立地施加激振力，從而能夠簡化裝置的整體結構，並且能夠容易地根據情況而調整同相激振機構。

該情況下，較佳為所述上側激振部由上側壓電驅動部構成，並且包含在所述上側振動彈簧的長度方向的一部分中，所述下側激振部由下側壓電驅動部構成，並且包含在所述下側振動彈簧的長度方向的一部分中。由此，透過使上側壓電驅動部和下側壓電驅動部包含在彈性連接基準質量體與上側質量體、以及基準質量體與下側質量體之間的上側振動彈簧和下側振動彈簧長度方向的一部分中，能夠僅利用上側振動彈簧和下側振動彈簧向基準質量體與上側質量體之間、以及基準質量體與下側質量體之間施加激振力，因而能夠簡化結構，並且能夠更加容易地抵消或減弱主要振動系統中所產生的反作用力。

在此，較佳為所述上側振動彈簧具有所述上側壓電驅動部與板面朝向輸送方向的板狀上側增幅彈簧串聯連接之結構。另外，較佳為所述下側振動彈簧具有所述下側壓電驅動部與板面朝向輸送方向的板狀下側增幅彈簧串聯連接之結構。上側壓電驅動部和下側壓電驅動部設有板面朝向輸送方向的板狀彈性基板、和層壓在該彈性基板表面或背面中的至少任意一個面上的壓電體，並且，透過對該壓電體的厚度方向施加交變電壓而使所述彈性基板朝向輸送方向前後撓曲，從而產生振動。

該情況下，較佳為所述同相激振機構由板狀的壓電驅動體構成，其中，該壓電驅動體的上下方向中間部位的寬度方向兩側結合在所述基準質量體上，朝向所述基準質量體的上方延伸之部分形成所述上側壓電驅動部，朝向所述基準質量體的下方延伸之部分形成所述下側壓電驅動部，並且，該壓電驅動體整體的朝向所述輸送方向的板面呈上下一體地撓曲變形。

由此，透過將呈一體構成的壓電驅動體的上下方向中間部位的寬度方向的兩側結合在基準質量體上，並利用朝向基準質量體上方延伸的上側壓電驅動部對上側質量體進行激振，利用朝向基準質量體下方延伸的下側壓電驅動部對下側質量體進行激振，從而能夠使得與基準質量體的連接狀態保持穩定，同時，能夠透過上下一體的撓曲變形而容易且可靠地使上側質量體與下側質量體同相地振動。另外，由於能夠利用一體的壓電驅動體對上側質量體和下側質量體進行激振，因而能夠降低裝置整體的高度，從而使裝置結構小型化。

該情況下，較佳為所述壓電驅動體具有從其與所述基準質量體的結合位置朝向上下兩側延伸且呈一體的壓電體，在本發明中，例如也可以使彈性基板呈一體，並且利用不同的壓電體構成基準質量體上方的上側壓電驅動部和基準質量體下方的下側壓電驅動部。但是，通過設置如上所述朝向基準質量體的上下兩側延伸的呈一體的壓電體，能夠提高壓電驅動體的撓曲變形的整體性，因此，能夠更加均勻地對上側質量體和下側質量體進行激振，並且能夠容易地簡化結構、降低生產成本、以及使上下的振動形態均勻化等。

在本發明中，較佳為所述上側壓電驅動部具有彈性基板和層壓在該彈性基板上的壓電體，並且所述上側增幅彈簧與所述彈性基板呈一體地構成。另外，較佳為所述下側壓電驅動部具有彈性基板和層壓在該彈性基板上的壓電體，並且所述下側增幅彈簧與所述彈性基板呈一體地構成。由此，由於無需使用螺栓等來連接上下至少任意一個壓電驅動部與上下至少任意一個增幅彈簧，因而能夠減少部件件數或者組裝工時，並且能夠將裝置高度降低與該連接部分的高度相對應的高度。尤其較佳為上側壓電驅動部的彈性基板與上側增幅彈簧呈一體地構成，並且，下側壓電驅動部的彈性基板與下側增幅彈簧呈一體地構成。

另外，當上側壓電驅動部和下側壓電驅動部由一體的壓電驅動體構成時(上側壓電驅動部的彈性基板和下側壓電驅動部的彈性基板呈一體時)，較佳為該一體的壓電驅動體的彈性基板與上側增幅彈簧和下側增幅彈簧全部呈一體地構成。此時，能夠將壓電驅動體本身設置為垂直姿態。另外，較佳為將所述上側增幅彈簧和所述下側增幅彈簧形成為厚度小於上側壓電驅動部和下側壓電驅動部。由此，能夠避免損壞上側壓電驅動部和下側壓電驅動部，並且能夠確保由上側增幅彈簧和下側增幅彈簧所產生的振幅。

在本發明中，當上述一體的壓電驅動體與上側增幅彈簧和下側增幅彈簧分開構成，並且設有用於利用螺栓和墊圈等連接固定在上側增幅彈簧和下側增幅彈簧上之上側連接結構和下側連接結構時，較佳為透過使彈性基板從層壓有壓電體的區域朝向上方和下方延伸而設置上側連接結構和下側連接結構。

另外，透過將上側連接結構和下側連接結構的厚度範圍形成為在從輸送方向觀察時與層壓有壓電體的區域之厚度範圍存在偏差，從而根據該厚度範圍的偏差量來設定上側增幅彈簧和下側增幅彈簧與壓電驅動體之間在輸送方向上的偏差量，因而能夠調整上述振動角、或者改變振動角的調整範圍。

上側壓電驅動部與上側增幅彈簧、以及下側壓電驅動部與下側增幅彈簧之間在輸送方向上的偏差量與振動角呈正相關關係，從而能夠根據上述厚度範圍的偏差量或者設置在兩者之間的間隔件的厚度來設定振動角。

在本發明中，較佳為所述上側增幅彈簧的下端以從所述輸送方向的所述一側重疊之狀態連接固定在所述上側連接結構上，所述下側增幅彈簧的上端以從所述輸送方向的所述一側重疊之狀態連接固定在所述下側連接結構上。由此，無論在上側增幅彈簧與上側壓電驅動部、以及下側增幅彈簧與下側壓電驅動部之間是否設有間隔件，均能夠形成上述振動角。

該情況下，透過如上所述在壓電驅動體的層壓有壓電體的部分與上側連接結構和下側連接結構之間設置厚度範圍的偏差，從而能夠容易地調整振動角或者使振動角達到最佳。另外，透過將上側連接結構和下側連接結構構成為其厚度小於層壓有壓電體的部分，能夠將其構成為與上側增幅彈簧和下側增幅彈簧一同作為具有增大壓電體所產生之撓曲變形作用之部分而發揮作用，因而能夠縮短上側增幅彈簧和下側增幅彈簧的長度。

該情況下，較佳為所述上側壓電驅動部和所述下側壓電驅動部具有相對於其與所述基準質量體的結合位置而實質上呈上下對稱的結構。由此，透過具有對稱結構的上側壓電驅動部和下側壓電驅動部，能夠在上下兩側獲得對稱的動作形態。另外，在採用如上所述將一體的壓電驅動體在寬度方向兩側結合在基準質量體上之連接結構時，較佳為所述壓電驅動體具有以連接寬度方向兩側的結合部位之水平線作為對稱軸而呈上下對稱的結構。

在本發明中，較佳為所述壓電驅動體與所述基準質量體的結合位置設置在寬度方向兩側，並且壓電體配置在所述結合位置之間。由此，透過將壓電驅動體與基準質量體在寬度方向兩側結合，並且將壓電體配置在該結合位置之間，從而能夠相對於基準質量體而在寬度方向兩側確保均勻的結合剛性，從而能夠容易地實現穩定的激振狀態。尤其不會妨礙壓電驅動體的上下一體的撓曲變形，從而能夠實現有效且穩定的上下同相的驅動狀態。在此，較佳為在壓電驅動體中形成有在所述結合部位的上下兩側呈一體地構成之壓電體。

在本發明中，較佳為由一對所述防振彈簧從下方支撐所述基準質量體。雖然可以利用防振彈簧從任意方向支撐基準質量體，但是，在如此構成的情況下，與從上方懸掛支撐基準質量體、或者從側方支撐基準質量體時相比，能夠減小裝置整體的設置面積。另外，較佳為一對所述防振彈簧分別由從所述基準質量體朝向所述設置面(基臺)側的連接方向(長度方向)平行於與所述輸送方向垂直的垂直面之垂直姿態之板簧構成。透過利用垂直姿態的板簧來構成上述防振彈簧，從而能夠減少基準質量體的上下方向的振動成分，因而能夠使輸送姿態變穩定、或者減少漏向設置面的振動。

無論上述支撐方向為何種方向，一對所述防振彈簧均可形成為下述兩種構成中的任意一種。其中一種構成是：在輸送方向前後的支撐位置處，一對防振彈簧分別在相比上側振動彈簧和下側振動彈簧(或者壓電驅動體)與基準質量體的結合位置更靠近輸送方向前後外側的位置處支撐基準質量體。該情況下，裝置的組裝作業變得容易，並且能夠提高主要振動系統的輸送方向上的穩定性。另一種構成是：在輸送方向前後的支撐位置處，一對防振彈簧均在相對於上側振動彈簧和下側振動彈簧(或者壓電驅動體)與基準質量體的結合位置而在輸送方向的同一側(一側或者另一側)分別支撐基準質量體。該情況下，由於上側振動彈簧和下側振動彈簧對基準質量體施加反作用力的位置、與防振彈簧對基準質量體施加支撐力的位置之間在輸送方向上的位置關係在輸送方向前後一對支撐位置處相同，因而能夠提高主要振動系統的上下方向或寬度方向上的穩定性，從而能夠進一步使輸送物的輸送形態變穩定。尤其是，即使在增大壓電驅動體的驅動電壓而提高輸送速度時，也能夠在輸送路的全長範圍內獲得均勻的輸送速度，並且輸送姿態也變穩定。

在本發明中，較佳為所述基準質量體在所述輸送方向的前後位置處分別被一對防振結構支撐，其中，一對所述防振結構係將所述防振彈簧與水平防振彈簧串聯連接而構成，所述水平防振彈簧沿著所述輸送方向呈水平姿態配置且由板簧構成。由此，能夠利用不同的板簧分別吸收基準質量體的振動形態互不相同的輸送方向振動成分和垂直方向振動成分，因此，透過使各板簧的彈簧特性最佳化，能夠進一步減少漏向設置面的振動。

該情況下，較佳為設有經由所述防振板簧支撐所述基準質量體的基臺，並且，所述基臺包括與所述防振彈簧連接的上側支撐臺和經由所述水平防振彈簧支撐所述上側支撐臺的下側支撐臺。由此，透過在利用防振彈簧將基準質量體在輸送方向上的振動吸收之狀態下，利用水平防振彈簧吸收殘留的微弱的上下振動，從而能夠在穩定的狀態下可靠地吸收輸送方向的振動和上下方向的振動。另外，透過利用佔有面積小的防振彈簧支撐基準質量體，而將佔有面積大的水平防振彈簧設置在基臺內，能夠提高空間效率從而使裝置小型化。

該情況下，較佳為設置在輸送方向前後位置處的一對所述水平防振彈簧從所述上側支撐臺朝向所述下側支撐臺側的連接方向在輸送方向前後位置處相反。由此，當因為主要振動系統的上下振動而使分別設置在輸送方向前後位置處的水平防振彈簧朝向上下方向撓曲變形時，由於各個水平防振彈簧的連接朝向在輸送方向前後位置處相反，因而各水平防振彈簧的撓曲變形的圓弧狀軌跡在輸送方向前後位置處朝向相反側彎曲。因此，輸送方向前後位置處的水平振動彈簧的彈性變形相互干擾，從而隨著上下振動的振幅增大而水平振動彈簧不易彈性變形，因此，能夠可靠地吸收微弱的上下振動，並且能夠提高主要振動系統的支撐穩定性。

在本發明中，較佳為所述輸送路設置在所述上側質量體上。如上所述，輸送路可以設置在上側質量體和下側質量體中的至少任意一者上。但是，尤其在將輸送路設置在上側質量體上的情況下，能夠在運轉時容易地操作裝置或者處理輸送物。

在本發明中，較佳為所述基準質量體的質量實質上等於或者大於所述上側質量體與所述下側質量體的質量之和。由於基準質量體與上側質量體和下側質量體呈相互消除輸送方向(振動方向)的反作用力的關係，因此，透過使基準質量體的質量實質上等於上側質量體與下側質量體的質量之和，能夠提高反作用力的消除效果。但是，由於基準質量體藉由防振彈簧被支撐在設置面上且被限制，因此，透過使基準質量體的質量大於上述質量之和，能夠抑制基準質量體的振幅，同時能夠增大上側質量體和下側質量體的振幅，因而，能夠抑制流向設置面的振動能，並且能夠在上側質量體或者下側質量體上確保充分的輸送力，從而能夠實現更穩定的振動形態。

在本發明中，較佳為所述上側質量體的質量與所述下側質量體的質量實質上相等，所述基準質量體與所述上側質量體之間的重心間隔以及彈簧常數和所述基準質量體與所述下側質量體之間的重心間隔以及彈簧常數實質上相等。由此，由於上側質量體和下側質量體的慣性質量以及彈性連接形態相對於基準質量體呈對稱結構，因而能夠抵消轉矩從而進一步減少俯仰動作。

在本發明中，較佳為所述輸送路呈直線狀，所述輸送方向為沿著直線的方向。本發明也能夠適用於下述情況中，即：在具有將圍繞規定軸線旋轉的方向(軸線周圍的切線方向)作為振動方向的旋轉振子、和設置在該旋轉振子上的螺旋狀輸送路之振動式輸送裝置中，利用旋轉方向的振動而沿著螺旋狀輸送路輸送輸送物。但是，在沿著直線狀輸送路呈直線狀地輸送輸送物的情況下，如下述實施例中所示，能夠簡化裝置結構，並且能夠容易地提高輸送速度或者使輸送狀態變穩定。

根據本發明，能夠取得下述出色效果，即：能夠提供一種可透過簡單的結構而容易地減少漏向設置面之振動、提高振動頻率或輸送速度、以及使輸送物的輸送姿態變穩定之振動式輸送裝置。

10‧‧‧振動式輸送裝置

11‧‧‧基準質量體

11a‧‧‧前側安裝位置

11b‧‧‧後側安裝位置

11aa‧‧‧前側部

11ab‧‧‧中間部

11bb‧‧‧後側部

12A‧‧‧上側質量體

12Au‧‧‧輸送塊

12Ad‧‧‧連接塊

12B‧‧‧下側質量體

12t‧‧‧輸送路

12AaS、12AbS‧‧‧上側連接部

12BaS、12BbS‧‧‧下側連接部

12AaC、12AbC、12BaC、12BbC‧‧‧連接板

13a、13b‧‧‧防振彈簧

14a、14b‧‧‧上側振動彈簧

15a、15b‧‧‧下側振動彈簧

16a、16b‧‧‧壓電驅動體

16au、16bu‧‧‧上側壓電驅動部

16ad、16bd‧‧‧下側壓電驅動部

16s‧‧‧彈性基板

16p‧‧‧壓電體

16t‧‧‧側部連接結構

17a、17b‧‧‧上側增幅彈簧

18a、18b‧‧‧下側增幅彈簧

19a、19b‧‧‧螺栓

2‧‧‧基臺(設置面)

2A‧‧‧上側支撐臺

2B‧‧‧下側支撐臺

13ah、13bh‧‧‧水平防振彈簧

D‧‧‧輸送方向

F‧‧‧輸送朝向

BVs、BVt‧‧‧振動方向

θ、θ'、θ"‧‧‧振動角(傾斜角)

40‧‧‧回收側輸送單元

圖1係顯示本發明第一實施方式之振動式輸送裝置之整體結構之側視圖。

圖2係顯示第一實施方式之整體結構之立體圖。

圖3係顯示第一實施方式之輸送塊以外的其他裝置結構之沿圖2中點劃線III所示面剖切後的剖面之縱剖面圖。

圖4中的(a)係顯示第一實施方式之整體結構之主視圖，(b)係顯示第一實施方式之整體結構之後視圖。

圖5係第一實施方式之輸送塊以外的其他裝置結構之俯視圖。

圖6中的(a)係顯示第一實施方式之壓電驅動體之結構之立體圖，(b)係顯示第一實施方式之壓電驅動體、以及其相對於上側質量體和下側質量體之上側連接部和下側連接部之縱剖面圖，(c)係將該縱剖面圖(b)的一部分放大進行顯示之局部放大剖面圖，(d)係顯示與第一實施方式不同例子之壓電驅動體、以及其相對於上側質量體和下側質量體之上側連接部和下側連接部之縱剖面圖。

圖7係不同例子之輸送塊以外的其他裝置結構之俯視圖。

圖8中的(a)係顯示第一實施方式之壓電驅動體、以及其相對於上側質量體和下側質量體之上側連接部和下側連接部之縱剖面圖，(b)係顯示第二實施方式之壓電驅動體、以及其相對於上側質量體和下側質量體之上側連接部和下側連接部之縱剖面圖。

圖9係與水平防振彈簧之放大俯視圖一同顯示設置在可以使用於各實施方式中的基臺上之防振結構(沿圖2中的雙點劃線XII所示面剖切後)之局部放大剖面圖。

圖10係顯示第三實施方式之輸送裝置之概略結構之側視圖。

圖11係模式化顯示各實施方式之主要振動系統結構之概念說明圖。

圖12係模式化顯示第四實施方式之結構之簡圖。

圖13係模式化顯示第五實施方式之結構之簡圖。

圖14係第六實施方式之輸送塊以外的其他裝置結構之側視圖。

圖15係顯示第六實施方式之輸送裝置之回收側輸送單元以外的其他整體結構之側視圖。

圖16係第六實施方式之輸送塊以外的其他裝置結構之俯視圖。

圖17係第六實施方式之輸送塊以外的其他裝置結構之主視圖。

圖18係從右側後方觀察第六實施方式之輸送塊以外的其他裝置結構時的立體圖。

圖19係從左側後方觀察第六實施方式之輸送塊以外的其他裝置結構時的立體圖。

圖20係顯示第六實施方式之上側振動彈簧之連接結構之放大側視圖。

[第一實施方式]

接下來，參照圖式對本發明之振動式輸送裝置之實施方式詳細地進行說明。首先，參照圖1至圖5對第一實施方式之整體結構進行說明。

圖1係顯示第一實施方式之整體結構之右視圖，圖2係顯示第一實施方式之整體結構之立體圖，圖3係顯示第一實施方式之輸送塊以外的其他裝置結構之縱剖面圖，圖4係顯示第一實施方式之整體結構之主視圖(a)和後視圖(b)，圖5係顯示第一實施方式之輸送塊以外的其他裝置結構之俯視圖。

本實施方式之振動式輸送裝置10係具有基準質量體11、配置在該基準質量體11上方之上側質量體12A、以及配置在基準質量體11下方之下側質量體12B。板狀的防振彈簧13a和13b係分別在輸送方向D的前後位置處從下方支撐基準質量體11，其中，該板狀的防振彈簧13a和13b分別具有朝向輸送方向D的板面。上述防振彈簧13a、13b的下端係固定在基臺2上，該基臺2係配置在設置面上。

在此，“輸送方向D的前後位置”係指沿輸送方向D相互分離的兩個位置，即，“前方位置”係指輸送朝向F側(輸送方向D的一側)的位置，“後方位置”係指輸送朝向F之相反側(輸送方向D的另一側)之位置。另外，在本說明書中，“輸送方向D”係指在振動式輸送裝置10之輸送路12t中輸送電子器件等輸送物之方向，“輸送朝向F”係指輸送方向D中的上述輸送物前進之方向。

另外，基準質量體11與上側質量體12A係在輸送方向D前後位置處分別藉由上側振動彈簧14a和14b而被彈性連接，其中，上側振動彈簧14a和14b分別包含具有朝向輸送方向D之板面之板簧狀結構。即，上側振動彈簧14a、14b分別在輸送方向D的前後位置處從下方支撐上側質量體12A。進而，基準質量體11與下側質量體12B係在輸送方向D前後位置處分別藉由下側振動彈簧15a和15b而被彈性連接，其中，下側振動彈簧15a和15b分別包含具有朝向輸送方向D之板面之板簧狀結構。即，下側振動彈簧15a、15b分別在輸送方向D的前後位置處從上方懸掛支撐下側質量體12B。

上述防振彈簧13a、13b、上側振動彈簧14a、14b以及下側振動彈簧15a、15b均具有整體被構成為板狀之板簧結構，並且其板面正對方向的彈簧常數低，而長度方向(連接在其上下兩側的物體間的連接方向)的彈簧常數高。另外，在本實施方式中，上述防振彈簧13a、13b、上側振動彈簧14a、14b以及下側振動彈簧15a、15b之板簧結構，係分別被安裝為其延伸(長度)方向與垂直方向一致之垂直姿態。因此，在圖示例子中，各彈簧的垂直方向或寬度方向的支撐剛性高，而輸送方向D的剛性低。

由此，基準質量體11、上側質量體12A以及下側質量體12B相互間的支撐結構穩定，從而容易保持相互間的位置關係，並且，容易產生用於對輸送物施加輸送朝向F的輸送力之振動，同時抑制產生無助於上述輸送力、或者妨礙上述輸送之形態之無用振動。

在此，透過使防振彈簧13a、13b的寬度大於其他彈簧，從而提高其寬度方向的支撐剛性，並且，透過使防振彈簧13a、13b的長度大於其他彈簧，從而使其在輸送方向D上容易彈性變形。但是，上述各彈簧的彈性特性也可以透過材質或厚度進行調整。另外，在本說明書中，“寬度方向”係指與上述輸送方向D和垂直方向都垂直的方向。

在本實施方式中，上側振動彈簧14a、14b具有下述結構：即，上側壓電驅動部16au、16bu與板狀的上側增幅彈簧17a、17b串聯連接之結構，其中，該上側壓電驅動部16au、16bu係在輸送方向D前後位置處分別結合(連接固定)在基準質量體11上之壓電驅動體16a、16b中的、朝向基準質量體11上方延伸之部分，上側增幅彈簧17a、17b連接在該上側壓電驅動部16au、16bu的上端，並且具有朝向輸送方向D的板面。另外，在本實施方式中，上側振動彈簧14a、14b包括下述的上側連接部12AaS、12AbS，該上側連接部12AaS、12AbS用於連接上側增幅彈簧17a、17b與上側質量體12A。

同樣地，下側振動彈簧15a、15b具有下述結構：即，下側壓電驅動部16ad、16bd與板狀的下側增幅彈簧18a、18b串聯連接之結構，其中，該下側壓電驅動部16ad、16bd係分別結合(連接固定)在基準質量體11上之壓電驅動體16a、16b中的、朝向基準質量體11下方延伸之部分，下側增幅彈簧18a、18b連接在該下側壓電驅動部16ad、16bd的下端，並且具有朝向輸送方向D的板面。該下側振動彈簧15a、15b也包括下述的下側連接部12BaS、12BbS，該下側連接部12BaS、12BbS用於連接下側增幅彈簧18a、18b與下側質量體12B。

壓電驅動體16a、16b分別被安裝在基準質量體11的、位於輸送方向D的前方和後方之前側安裝位置11a和後側安裝位置11b上。基準質量體11具有：在輸送方向D上配置於前側安裝位置11a與後側安裝位置11b之間之中間部11ab、配置在相比前側安裝位置11a更靠輸送方向D前方位置處之前側部11aa、以及配置在相比後側安裝位置11b更靠輸送方向D後方之後側部11bb。

基準質量體11被構成為：在壓電驅動體16a、16b之安裝部分、即前側安裝位置11a和後側安裝位置11b處，其垂直方向上的厚度小，以免妨礙壓電驅動體16a、16b的動作，而在上述位置以外的其他位置處，中間部11ab、前側部11aa以及後側部11bb從前側安裝位置11a和後側安裝位置11b朝向上下兩側延伸，從而其垂直方向上的厚度大。

上述中間部11ab、前側部11aa以及後側部11bb被構成為：其厚度在與上側質量體12A和下側質量體12B互不干擾之範圍內增大至下述程度：即達到與上側增幅彈簧17a、17b以及下側增幅彈簧18a、18b相同高度區域之程度。設置於壓電驅動體16a上下方向中間部位處的下述側部連接結構16t固定在基準質量體11的前側安裝位置11a上，設置於壓電驅動體16b上下方向中間部位處的下述側部連接結構16t固定在基準質量體11的後側安裝位置11b上。

另外，防振彈簧13a、13b之上端部藉由下述螺栓19a、19b被連接固定在前側部11aa的前端和後側部11bb的後端。另外，透過如此將防振彈簧13a、13b配置在相比下側振動彈簧15a、15b更靠輸送方向D前後位置外側之位置處，提高了從與輸送方向D平行之方向觀察時的主要振動系統整體之穩定性。

尤其是，在本實施方式之基準質量體11中，透過將前側部11aa和後側部11bb構成為朝向上下方向延伸從而具有較大的質量，從而能夠增大阻止基準質量體11沿輸送方向D俯仰運動之慣性，由此能夠抑制輸送物之輸送姿態變得不穩定、或者上下振動傳向設置面，其中，上述前側部11aa和後側部11bb配置在下述位置處：即，相比與壓電驅動體16a、16b連接之前側安裝位置11a和後側安裝位置11b更靠輸送方向D前後位置外側之位置處。

另外，在裝置的組裝工序中，可以在將上述主要振動系統組裝後從輸送方向D的前後外側安裝防振彈簧13a、13b，因而還具有組裝作業容易這一優點。另外，前側部11aa和後側部11bb還作為下述壓電驅動體16a、16b的蓋(cover)部件發揮作用。

如圖6中的(a)~(c)所示，本實施方式之壓電驅動體16a、16b具有被稱為墊板(shim plate)的金屬製成的彈性基板16s、以及粘結固定(層壓)在該彈性基板16s表面和背面上的壓電體(壓電層)16p。彈性基板16s在其延伸方向兩端(上下兩端)分別設有透過使其兩端延伸而形成之薄板部分，該薄板部分構成上述上側增幅彈簧17a、17b以及下側增幅彈簧18a、18b。

另外，在上側增幅彈簧17a、17b的上端以及下側增幅彈簧18a、18b的下端，分別形成有上部連接結構16u和下部連接結構16d。在圖示例子中，該上部連接結構16u和下部連接結構16d係連接用的貫通孔，但並無特別限定，也可以是螺紋孔、凸臺、切口等。

另外，彈性基板16s在其延伸方向中間部位的寬度方向兩側設有用於與基準質量體11連接之側部連接結構16t、16t。在圖示例子中，該側部連接結構16t係朝向寬度方向外側突出且具有孔的突出部，但並無特別限定，也可以是螺紋孔、凸臺、切口等。

此時，壓電體16p在彈性基板16s上係配置於左右側部連接結構16t之間的寬度方向中間位置上。由此，由於與基準質量體11的結合位置設置在避開壓電體16p的寬度方向兩側，因而不易對壓電驅動體16a、16b的撓曲變形動作造成影響，並且，透過在左右兩側可靠地結合在基準質量體11上，能夠將壓電驅動體16a、16b牢固地固定在基準質量體11上，從而能夠以該基準質量體11為基準而可靠地對上下兩側的上側質量體12A和下側質量體12B施加激振力。

上述壓電驅動體16a、16b被構成為：當對壓電體16p的表面與背面之間施加電壓時，壓電體16p根據該電壓而進行變形，由此使彈性基板16s在其長度方向上撓曲。而且，透過施加規定頻率的交變電壓，壓電驅動體16a、16b交替朝向相反方向撓曲變形從而產生振動，該振動經由上側增幅彈簧17a、17b以及下側增幅彈簧18a、18b傳遞，從而使基準質量體11與上側質量體12A、以及基準質量體11與下側質量體12B之間產生大致與輸送方向D一致的振動。

在此，輸送方向D前後位置處的壓電驅動體16a、16b一起呈同相地撓曲變形，並且，各個上側壓電驅動部16au、16bu和下側壓電驅動部16ad、16bd也呈同相地變形，因此，上側質量體12A和下側質量體12B相對於基準質量體11也呈同相地振動。此時，基準質量體11以與上側質量體12A和下側質量體12B相反之相位振動，以消除上側質量體12A和下側質量體12B振動所產生的反作用力。

另外，在圖示例子中，壓電驅動體16a、16b具有在彈性基板16s的兩面配置有壓電體16p之雙壓電晶片結構，但是，也可以是僅在彈性基板16s的一面配置有壓電體而形成之單壓電晶片結構，能夠使用其他眾所周知的各種壓電驅動體。另外，壓電驅動體16a、16b具有在長度方向(上下方向)上以上述中間部位(具體係將寬度方向兩側的側部連接結構16t之間連接的水平線)為對稱軸而呈對稱之結構，另外，在寬度方向(左右方向)上也呈以寬度方向中央部的上下方向軸線為對稱軸而對稱之結構。由此，能夠可靠地對上側質量體12A和下側質量體12B兩者施加均等且同相的激振力，並且能夠實現扭曲等情況少而從寬度方向觀察時呈穩定的振動形態。

壓電驅動體16a、16b的彈性基板16s被構成為：在形成於層壓有壓電體16p範圍內之上側壓電驅動部16au、16bu以及下側壓電驅動部16ad、16bd處之厚度大，而在從該上側壓電驅動部16au、16bu以及下側壓電驅動部16ad、16bd進一步朝向上下方向延伸之上側增幅彈簧17a、17b以及下側增幅彈簧18a、18b處之厚度小。其理由如下。

即，上述壓電體16p通常係由陶瓷構成，因而比較脆而容易破碎，因此，在壓電驅動體16a、16b的上側壓電驅動部16au、16bu以及下側壓電驅動部16ad、16bd中，必須增加彈性基板16s的厚度而抑制其彈性變形，從而限制壓電體16p的撓曲變形量，以免導致元件損壞。

另一方面，在上述上側增幅彈簧17a、17b以及下側增幅彈簧18a、18b中，為了增大上側壓電驅動部16au、16bu以及下側壓電驅動部16ad、16bd所產生之振動之振幅，從而得到充分的輸送物之輸送力，必須減小彈性基板16s之厚度而增加彈性變形量，從而增大上側質量體12A和下側質量體12B(尤其是設有輸送路12t的上側質量體12A)的輸送方向上之振動之振幅。因此，彈性基板16s的上述厚度變化能夠帶來下述作用效果，即：能夠在保護(防止損壞)壓電體16p的同時確保上側質量體12A和下側質量體12B之振動之振幅。

在此，較佳為上側壓電驅動部16au、16bu與上側增幅彈簧17a、17b之邊界區域、以及下側壓電驅動部16ad、16bd與下側增幅彈簧18a、18b之邊界區域中的彈性基板16s之剖面形狀被構成為：其厚度以分別朝向上側增幅彈簧17a、17b以及下側增幅彈簧18a、18b側呈錐狀之方式，沿著上側振動彈簧14a、14b以及下側振動彈簧15a、15b的延伸方向逐漸變化。由此，能夠避免應力集中在彈性基板16s的上述邊界區域的局部位置(尤其是被構成為厚度更小的上側增幅彈簧 17a、17b以及下側增幅彈簧18a、18b側的部分)而導致耐久性降低、或者無法有效地利用上側增幅彈簧17a、17b以及下側增幅彈簧18a、18b長度方向整體的彈性特性。

從使上側增幅彈簧17a、17b以及下側增幅彈簧18a、18b平滑地撓曲變形方面出發，尤其優選如圖示例子所示構成為：上述邊界區域的剖面輪廓形狀沿上述延伸方向被構成為凹曲線狀，從而在上側增幅彈簧17a、17b以及下側增幅彈簧18a、18b剖面的表面或背面的輪廓線上平滑地收斂。

在本實施方式中，一對螺栓19a以從前側部11aa寬度方向兩側部分穿過後分別插通在被設置於上述壓電驅動體16a寬度方向兩側的一對側部連接結構16t、16t中之狀態被緊固在中間部11ab中。由此，壓電驅動體16a以該側部連接結構16t被夾壓在前側部11aa與中間部11ab之間之狀態被固定在基準質量體11上。在圖示例子中，螺栓19a將防振彈簧13a的上端部保持固定在墊圈19c與前側部11aa之間，同時保持固定前側部11aa、壓電驅動體16a以及中間部11ab。

同樣地，一對螺栓19b以從後側部11bb寬度方向兩側部分穿過後分別插通在被設置於上述壓電驅動體16b寬度方向兩側的一對側部連接結構16t、16t中之狀態被緊固在中間部11ab中。由此，壓電驅動體16b以該側部連接結構16t被夾壓在後側部11bb與中間部11ab之間之狀態被固定在基準質量體11上。在圖示例子中，螺栓19b將防振彈簧13b的上端部保持固定在墊圈19d與後側部11bb之間，同時保持固定後側部11bb、壓電驅動體16b以及中間部11ab。

如圖1所示，防振彈簧13a、13b的下端部連接固定在基臺2的上側支撐臺2A上。基臺2包括上側支撐臺2A和下側支撐臺2B，並且，上側支撐臺2A設置在下側支撐臺2B上。在上側支撐臺2A和下側支撐臺2B之間，連接有呈水平姿態設置且由板簧構成之水平防振彈簧13ah和13bh。上側支撐臺2A藉由水平防振彈簧13ah和13bh而被彈性支撐在下側支撐臺2B之上方。

配置在輸送方向D前方側的水平防振彈簧13ah之輸送方向D前方側部分被安裝固定在上側支撐臺2A的前側安裝部2Aa上，而輸送方向D後方側部分被安裝固定在下側支撐臺2B的前側安裝部2Ba上。另外，配置在輸送方向D後方側的水平防振彈簧13bh之輸送方向D前方側部分被安裝固定在下側支撐臺2B的後側安裝部2Bb上，而輸送方向D後方側部分被安裝固定在上側支撐臺2A的後側安裝部2Ab上。

另外，在圖示例子中，在下側支撐臺2B的左右(寬度方向)側部設有用於將其固定在設置面(其他裝置的基臺或工廠的地面等)上之固定孔(圖2中僅示出一側的固定孔)，並且，為了能夠使用該固定孔將下側支撐臺2B固定在設置面上，上側支撐臺2A和下側質量體12B具有其輸送方向D中央部的左右兩側部被構成為凹狀的平面形狀。

在本實施方式中，上側質量體12A具有連接塊12Ad和輸送塊12Au，其中，該連接塊12Ad與上述上側增幅彈簧17a、17b的上端部連接，輸送塊12Au被連接固定在該連接塊12Ad上，並且在其上表面上形成有輸送路12t。輸送塊12Au通常被設置為：其輸送方向D上的長度大於連接塊12Ad，並且如圖中所示，從連接塊12Ad的輸送方向D上的前端和後端分別朝向前方和後方延伸。

在圖示例子中，輸送路12t沿輸送方向D被構成為直線狀。輸送路12t至少具有下述槽結構，該槽結構被構成為能夠按照既定的姿態收納輸送物，並且能夠在沿輸送方向D輸送時保持上述輸送物的既定姿態。

在輸送方向D的前方，上述上側增幅彈簧17a和下側增幅彈簧18a從輸送方向D的前方側連接固定在上述上側質量體12A和下側質量體12B上。在此，上側增幅彈簧17a與上側質量體12A之間的上側連接部12AaS、以及下側增幅彈簧 18a與下側質量體12B之間的下側連接部12BaS被構成為：其在輸送方向D上的連接結構實質上相同。

以下，參照圖5對於上側連接部12AaS進行說明，而省略關於下側連接部12BaS的說明。

如圖5所示，在上側連接部12AaS中，在上側質量體12A輸送方向D的前端部12a的寬度方向中央位置處，形成有被構成為朝向輸送方向D前方開口的凹狀的前端凹部12aa。另外，前端部12a之位於前端凹部12aa寬度方向兩側之一對端面成為沿寬度方向分別構成為平坦狀的前端面12as。上側增幅彈簧17a的上端部藉由螺栓和墊圈等以從輸送方向D前方側與連接板12AaC緊密接觸之狀態被固定在連接板12AaC的寬度方向中央部。

連接板12AaC由朝向寬度方向兩側延伸的長度大於上側增幅彈簧17a的板形狀之彈性體(金屬板)構成，並且藉由螺栓和墊圈等以下述狀態被固定在上側質量體12A上，其中，上述狀態係指：連接板12AaC橫跨在前端凹部12aa上，且其寬度方向兩端部從輸送方向D的前方側與上述一對前端面12as緊密接觸。

由此，由於上側增幅彈簧17a被固定在連接板12AaC的寬度方向中央部，連接板12AaC的寬度方向兩側部固定在上側質量體12A上，因此，上側增幅彈簧17a經由連接板12AaC被彈性連接在上側質量體12A上。在此，連接板12AaC構成能夠作為下述扭簧發揮作用之上側彈簧構件，其中，上述扭簧被構成為能夠沿著以軸線Txa為中心而轉動之方向彈性變形，該軸線Txa與輸送方向D和垂直方向均垂直且與連接板12AaC的寬度方向平行。

另一方面，在輸送方向D的後方，上述上側增幅彈簧17b和下側增幅彈簧18b也是從輸送方向D的前方側被連接固定在上述上側質量體12A和下側質量體12B上。在此，上側增幅彈簧17b與上側質量體12A之間的上側連接部12AbS、以及下側增幅彈簧18b與下側質量體12B之間的下側連接部12BbS被構成為：其在輸送方向D上的連接結構實質上相同。因此，以下參照圖5對上側連接部12AbS進行說明，而省略關於下側連接部12BbS的說明。

如圖5所示，在上側連接部12AbS中，在上側質量體12A輸送方向D的後端部12b的寬度方向中央位置處，形成有被構成為朝向輸送方向D的後方開口的凹狀後端凹部12bb。另外，後端部12b之位於後端凹部12bb寬度方向兩側的一對端面成為沿寬度方向分別被構成為平坦狀的後端面12bs。

上側增幅彈簧17b的上端部，在上述後端凹部12bb內，藉由螺栓和墊圈等以從輸送方向D的前方側與連接板12AbC緊密接觸之狀態被固定在連接板12AbC的寬度方向中央部上。但是，在圖示例子中，作為一例，在上側增幅彈簧17b的上端部與連接板12AbC之間設有間隔件12Absp。連接板12AbC由朝向寬度方向兩側延伸的長度大於上側增幅彈簧17b的板形狀之彈性體(金屬板)構成，並且藉由螺栓和墊圈等以下述狀態被固定在上側質量體12A上，其中，上述狀態係指：連接板12AbC橫跨在後端凹部12bb上，且其寬度方向的兩端部從輸送方向D的後方側與上述一對後端面12bs緊密接觸。

由此，由於上側增幅彈簧17b固定在連接板12AbC的寬度方向中央部上，連接板12AbC的寬度方向兩側部固定在上側質量部12A上，因此，上側增幅彈簧17b經由連接板12AbC被彈性連接在上側質量體12A上。在此，連接板12AbC構成能夠作為下述扭簧發揮作用之上側彈簧構件，其中，上述扭簧被構成為能夠以軸線Txb為中心沿著扭曲方向彈性變形，該軸線Txb與輸送方向D和垂直方向均垂直且與連接板12AbC的寬度方向平行。

在設置於輸送方向D前後位置處的上述上側連接部 12AaS和12AbS中，上側增幅彈簧17a、17b的上端部均以下述狀態直接或者經由間隔件12Absp而固定在連接板12AaC、12AbC上，其中，上述狀態係指：上側增幅彈簧17a、17b的上端部配置在輸送方向D的前方側，而連接板12AaC、12AbC配置在輸送方向D的後方側。因此，在輸送方向D上的上側增幅彈簧17a、17b與上側質量體12A之間，設有配置在上側增幅彈簧17a、17b的輸送方向D的後方側且構成上述扭簧之上側彈簧構件。

另外，較之輸送方向D前方側的上側連接部12AaS中的上側增幅彈簧17a與上述上側彈簧構件之間在輸送方向D上的距離，輸送方向D後方側的上側連接部12AbS中的上側增幅彈簧17b與上述上側彈簧構件之間在輸送方向D上的距離增大了上述間隔件12Absp厚度部分的距離。

接著，結合上述結構對於利用壓電驅動體16a、16b而使基準質量體11、上側質量體12A以及下側質量體12B進行動作時的動作形態進行說明。

如圖6中的(b)所示，在本實施方式中，上側振動彈簧14a、14b以及下側振動彈簧15a、15b在固定位置11p處連接在基準質量體11上，而上側振動彈簧14a、14b和下側振動彈簧15a、15b相對於上側質量體12A和下側質量體12B 的實際固定位置12Ap、12Bp偏向輸送方向D的後方側。這是因為：在上述結構中，配置在上側振動彈簧14a、14b與上側質量體12A之間的連接板12AaC、12AbC、以及配置在下側振動彈簧15a、15b與下側質量體12B之間的連接板12BaC、12BbC，在輸送方向D上配置在上側增幅彈簧17a、17b以及下側增幅彈簧18a、18b的後方側。

即，由連接板12AaC、12AbC以及12BaC、12BbC構成之相當於扭簧的上側彈簧構件和下側彈簧構件，在輸送方向D上配置在上側增幅彈簧17a、17b以及下側增幅彈簧18a、18b的後方側，而上側振動彈簧14a、14b以及下側振動彈簧15a、15b經由上述上側彈簧構件和下側彈簧構件連接在上側質量體12A和下側質量體12B上，由此，與將上側振動彈簧14a、14b以及下側振動彈簧15a、15b設置為以隨著朝向上下方向遠離上述固定位置11p而逐漸朝向輸送方向D後方側方向之方式傾斜時同樣地，能夠使上側質量體12A和下側質量體12B朝向相對於輸送方向D傾斜之振動方向BVs、BVt(參照圖1)進行振動。即，上側質量體12A朝向在輸送方向D前方側斜向上而在輸送方向D後方側斜向下的振動方向BVs進行振動，下側質量體12B朝向在輸送方向D前方側斜向下而在輸送方向D後方側斜向上的振動方向BVt進行振動。

因此，在本實施方式中，上側振動彈簧14a、14b的振動角θ為上述固定位置11p與上述固定位置12Ap的連接線相對於垂直面之角度差(傾斜角)，其與上述上側質量體12A相對於水平面的振動角一致。同樣地，下側振動彈簧15a、15b的振動角也與下側質量體12B相對於水平面的振動角一致。

另外，在圖6中的(c)所示的局部放大剖面圖中，係圖示成連接板12AaC、12AbC的寬度方向軸線Txa、Txb(雖未圖示，但連接板12BaC、12BbC的寬度方向軸線與此相同)與上述固定位置12Ap一致，但是，根據上述上側彈簧構件(下側彈簧構件)特性的不同，上述實際固定位置12Ap(12Bp)的位置也有可能偏離軸線Txa、Txb(未圖示的軸線)。

但是，只要將上述上側彈簧構件和下側彈簧構件在輸送方向D上配置在上側增幅彈簧17a、17b以及下側增幅彈簧18a、18b的後方側，便會使上側振動彈簧14a、14b以及下側振動彈簧15a、15b具有上述振動角θ，從而使上側質量體12A和下側質量體12B產生朝向上述方向傾斜之方向上的振動。

另外，如圖6中的(d)所示，作為不同於第一實施方式的例子，透過將間隔件12Absp、12Bbsp變更為與其厚度不同的間隔件12Absp'、12Bbsp'，能夠增大或縮小上側增幅彈簧17a、17b與連接板12AaC、12AbC之間、以及下側增幅彈簧18a、18b與連接板12BaC、12BbC之間在輸送方向D上的距離，從而能夠將上述振動角θ變為θ'。

圖7是該不同例子之主要結構之俯視圖。在該例子中構成為：輸送方向D後方側的上側連接部12AbS'中使用厚度大於間隔件12Absp的間隔件12Absp'，從而使輸送方向D後方側的振動角θ'大於上述第一實施方式之振動角θ。在該例子中，除了圖7所示上側連接部12AbS'和與其同樣構成的未圖示的下側連接部之外，其他結構與第一實施方式的上述結構相同。

在本實施方式中，由壓電驅動體16a、16b和上側增幅彈簧17a、17b構成之上側振動彈簧14a、14b的主體、以及由壓電驅動體16a、16b和下側增幅彈簧18a、18b構成之下側振動彈簧15a、15b的主體，被設置為沿著與輸送方向D垂直的垂直面延伸之垂直姿態。因此，無需使壓電驅動體16a、16b、上側增幅彈簧17a、17b以及下側增幅彈簧18a、18b傾斜便可構成振動系統，因此，即使使壓電驅動體16a、16b 以高頻進行工作而高速地對主要振動系統進行激振，也不易產生上下跳動等無用振動模式，從而能夠使輸送物的輸送姿態穩定。因此，容易實現裝置的高頻化，並且能夠實現高速輸送或者平穩的輸送形態。

另外，透過如上所述經由在輸送方向D上配置在上側增幅彈簧17a、17b的上部連接端和下側增幅彈簧18a、18b的下部連接端之後方側之上側連接部12AaS、12AbS以及下側連接部12BaS、12BbS而與上側質量體12A和下側質量體12B進行連接，即使上述上側振動彈簧14a、14b的主體和下側振動彈簧15a、15b的主體保持垂直姿態不變，也能夠使上側振動彈簧14a、14b以及下側振動彈簧15a、15b實際具備振動角θ、θ'，並且，能夠根據上述間隔件12Absp、12Absp'的有無或者厚度變化等而容易地調整上述振動角θ、θ'。

因此，在形成於輸送塊12Au中的輸送路12t上，能夠產生向朝向輸送方向D前方側的輸送朝向F輸送輸送物之輸送力，並且，透過調整與輸送方向D前後位置處的上述振動角θ、θ'相對應之圖1所示振動方向BVs，也能夠調整輸送力的大小、或者輸送力在輸送方向D上的分佈，因而能夠控制輸送物的輸送速度或者輸送形態。

[第二實施方式]

圖8中的(a)係顯示上述第一實施方式之壓電驅動體16a、16b、上側連接部12AaS、12AbS以及下側連接部12BaS、12BbS之剖面圖，圖8中的(b)係顯示第二實施方式之壓電驅動體16a"、16b"、上側連接部12AaS"、12AbS"以及下側連接部12BaS"、12BbS"之剖面圖。

在第二實施方式中，與第一實施方式同樣地，壓電驅動體16a"、16b"的彈性基板16s"也被構成為：形成有壓電體16p的範圍內(上述上側壓電驅動部16au、16bu以及下側壓電驅動部16ad、16bd)處之厚度大，而構成上側增幅彈簧17a"、17b"的上方部分和構成下側增幅彈簧18a"、18b"的下方部分處之厚度小。

但是，在該第二實施方式中，相對於上述上側壓電驅動部16au、16bu以及下側壓電驅動部16ad、16bd處的彈性基板16s"的厚度範圍，上述上側增幅彈簧17a"、17b"以及上述下側增幅彈簧18a"、18b"處的厚度範圍朝向輸送方向D後方側偏離δts部分之大小，這一點與第一實施方式不同。

在圖示例子中，上述上側增幅彈簧17a"、17b"以及下側增幅彈簧18a"、18b"之輸送方向D後方側的表面，係直接使上述上側壓電驅動部16au、16bu以及下側壓電驅動部16ad、16bd之輸送方向D後方側的表面沿垂直面平坦地延伸而形成。另一方面，上述上側增幅彈簧17a"、17b"以及上述下側增幅彈簧18a"、18b"之輸送方向D前方側的表面，相比上述上側壓電驅動部16au、16bu以及下側壓電驅動部16ad、16bd之輸送方向D前方側的表面而朝向輸送方向D的後方側大幅後退。

在該實施方式中，上側壓電驅動部16au、16bu與上側增幅彈簧17a"、17b"之邊界區域、以及下側壓電驅動部16ad、16bd與下側增幅彈簧18a"、18b"之邊界區域中的彈性基板16s"的剖面形狀也被構成為：其厚度以朝向上側增幅彈簧17a"、17b"以及下側增幅彈簧18a"、18b"側呈錐狀之方式，沿著上側增幅彈簧17a"、17b"以及下側增幅彈簧18a"、18b"之延伸方向逐漸變化。

尤其如圖示例子所示構成為：上述邊界區域的剖面的輸送方向D前方側之輪廓形狀沿上述延伸方向被構成為凹曲線狀，從而在上側增幅彈簧17a"、17b"以及下側增幅彈簧18a"、18b"的剖面的輸送方向D前方側面之輪廓線上平滑地收斂。

在該情況下，由於上述固定位置12Ap"、12Bp"朝向輸送方向D後方側偏移上述厚度範圍的偏差δts部分之距離，因而能夠將上述振動角θ"設定為大於第一實施方式之角度。另外，在該壓電驅動體16a"、16b"中，即使在未設置第一實施方式中所說明之上述上側連接部12AaS、12AbS以及下側連接部12BaS、12BbS而將上側增幅彈簧17a"、17b"以及下側增幅彈簧18a"、18b"直接連接在上側質量體12A和下側質量體12B上之情況下，也能夠藉由上述厚度範圍的偏差δts而獲得一定程度的振動角θ。

[與所有實施方式相關的事項]

另外，通常將上述上側振動彈簧14a、14b以及下側振動彈簧15a、15b之振動角θ、θ'、θ"之絕對值(尤其是設有輸送路12t的上側質量體12A之振動方向BVs之角度)設為1度~10度範圍內的相對於水平方向之角度值，較佳在2度~8度之範圍內，最好在3度~6度之範圍內。

另外，可以構成為輸送方向D前方側的上側振動彈簧14a和下側振動彈簧15a、與輸送方向D後方側的上側振動彈簧14b和下側振動彈簧15b具有相同的振動角，但是，從使輸送路12t全長範圍內的振動形態和振動的分佈狀態達到最佳的方面來看，也可以根據以輸送塊12Au的形狀或結構等為代表的整體振動系統之結構，將輸送方向D前後的上側振動彈簧14a和下側振動彈簧15a、與上側振動彈簧14b和下側振動彈簧15b的振動角設定為互不相同。

例如，當根據本裝置與連接在其輸送方向D前方或後方的其他裝置之位置關係，使輸送塊12Au朝向輸送方向D前方側之伸出量大於朝向輸送方向D後方側之伸出量時，有時會因為上側質量體12A的重量平衡而導致實際振動角沿輸送路12t的輸送方向D發生變化，從而使輸送力變得不均勻。此時，透過在輸送方向D的前後位置處將上述振動角設定為不同角度，從而可以調整輸送路12t上沿輸送方向D的輸送速度。

但是，並非必須將輸送速度調整為沿輸送方向D均勻，也存在沿輸送方向D改變輸送速度的情況。例如，也可以構成為：當在輸送路12t的中間位置設有根據輸送姿態或者輸送物品質好壞等將一部分輸送物從輸送路12t上排除這樣的輸送物分選裝置時，透過使輸送速度隨著從輸送路12t的上游側朝向下游側而逐漸降低，從而能夠使輸送方向上的輸送密度變均勻。另外，也可以根據上述各種狀況而分開調整位於輸送方向D前方位置處之上側振動彈簧14a及下側振動彈簧15a的振動角、和位於輸送方向D後方位置處之上側振動彈簧14b及下側振動彈簧15b的振動角。

另一方面，如上所述，上側振動彈簧14a、14b的振動角與下側振動彈簧15a、15b的振動角被設定為朝向上下相反的方向。在該情況下，既可以構成為上側振動彈簧14a、14b的振動角與下側振動彈簧15a、15b的振動角之絕對值相同，也可以構成為上側振動彈簧14a、14b的振動角與下側振動彈簧15a、15b的振動角之絕對值不同。例如，為了使輸送路12t上的輸送物之輸送狀態變穩定、或者將振動的洩漏量減至最小，較佳為根據重力對於上側質量體12A和下側質量體12B的影響或者質量差等，分開調整上側振動彈簧14a、14b的振動角和下側振動彈簧15a、15b的振動角。

接著，參照圖9對於上述各實施方式中通用的基臺2之結構詳細地進行說明。如上所述，該基臺2包括相互分開的上側支撐臺2A和下側支撐臺2B，並且在上側支撐臺2A與下側支撐臺2B之間設有水平防振彈簧13ah、13bh，從而構成容易吸收上下方向之振動之防振結構。水平防振彈簧13ah、13bh係被設置為沿輸送方向D延伸的水平姿態之板狀板簧。在此，水平防振彈簧13ah、13bh係用於彌補上述防振彈簧13a、13b構成上之缺陷之部件，即，防振彈簧13a、13b容易吸收輸送方向D上的振動但卻具有不易吸收上下方向振動之構成上之缺陷。

設置在輸送方向D前方位置處的水平防振彈簧13ah，透過沿寬度方向配置的一對螺栓21Aa與墊圈22Aa之組合而被固定在上述上側支撐臺2A的前側安裝部2Aa上。另外，上述下側支撐臺2B的前側安裝部2Ba具有沿寬度方向延伸且呈帶狀地突出之平坦上端面，水平防振彈簧13ah藉由螺栓21Ba以從上方緊密接觸之狀態被固定在該前側安裝部2Ba上。

另一方面，設置在輸送方向D後方位置處的水平防振彈簧13bh，透過沿寬度方向配置的一對螺栓21Ab與墊圈22Ab之組合而被固定在上述上側支撐臺2A的後側安裝部2Ab上。另外，上述下側支撐臺2B的後側安裝部2Bb具有沿寬度方向延伸且呈帶狀地突出之平坦上端面，水平防振彈簧13bh藉由螺栓21Bb以從上方緊密接觸之狀態被固定在該後側安裝部2Bb上。

另外，在上側支撐臺2A上，設有至少朝向下方開口的螺栓收容部2Aaq、2Abq。螺栓收容部2Aaq以互不抵接之狀態收容上述螺栓21Ba，螺栓收容部2Abq以互不抵接之狀態收容上述螺栓21Bb。同樣地，在下側支撐臺2B上，設有至少朝向上方開口的螺栓收容部2Baq、2Bbq。螺栓收容部2Baq以互不抵接之狀態收容上述螺栓21Aa，螺栓收容部2Bbq以互不抵接之狀態收容上述螺栓21Ab。

在圖示例子中，上述螺栓收容部2Aaq、2Abq、2Baq、2Bbq在上側支撐臺2A或者下側支撐臺2B上分別被形成為貫通孔。但是，各螺栓收容部只要是能夠以與對應的各個螺栓互不抵接之方式呈非接觸狀態收容各個螺栓之結構即可，並不限於上述貫穿孔，例如也可以使用蓋子等將開口的相反側堵住。

在如上構成的基臺2中，透過設置上述各螺栓收容部，即使縮小上側支撐臺2A與下側支撐臺2B之間之間隔，緊固在一個支撐臺上的螺栓頭部等用於固定水平防振彈簧之固定結構也不會與另一個支撐臺抵接(接觸)，因而能夠降低基臺2的高度。另外，由於能夠縮小上側支撐臺2A與下側支撐臺2B之間的上下間隔，因而能夠抑制因為水平防振彈簧13ah、13bh的撓曲而導致上側支撐臺2A傾斜。

進而，在本實施方式中，水平防振彈簧13ah和13bh沿輸送方向D連接上側支撐臺2A與下側支撐臺2B。由此，主要振動系統不易在寬度方向上晃動，因而能夠使輸送物的輸送姿態變穩定。尤其在從輸送方向D觀察時，水平防振彈簧13ah和13bh的安裝朝向相反。即，水平防振彈簧13ah在上側支撐臺2A上的固定位置相對於其在下側支撐臺2B上的固定位置而言位於輸送方向D之前方，相對於此，水平防振彈簧13bh在上側支撐臺2A上的固定位置相對於其在下側支撐臺2B上的固定位置而言位於輸送方向D之後方。

由此，能夠得到下述彈性變形特性，即：當經由防振彈簧13a、13b支撐上述主要振動系統之上側支撐臺2A在下側支撐臺2B上進行上下振動時，由於彈性變形時的圓弧狀軌跡之彎曲方向在輸送方向D的前後位置處互不相同，因而水平防振彈簧13ah與13bh會相互干擾，從而隨著上下振動之振幅增大而變得不易劇烈地彈性變形。因此，能夠吸收激振機構本身因為激振力而產生之微弱的上下振動，但不會導致主要振動系統變得不穩定，從而能夠防止主要振動系統產生大幅度的上下振動或俯仰動作。

另外，在防振結構只要能夠僅吸收輸送方向D之振動即可之情況下，也可以將防振彈簧13a、13b直接設置在設置面上、或者連接在不具有水平防振彈簧13ah、13bh的基臺上，從而將彈性支撐主要振動系統的防振結構構成為僅具有位於輸送方向D前後位置處的一對防振彈簧13a、13b。尤其是驅動頻率在500Hz以下的情況下，微弱的上下振動基本上不會造成問題，因此，只要將主要振動系統之輸送方向D上之振動吸收便可達到防振目的。

另外，在具有一對防振彈簧13a、13b和一對水平防振彈簧13ah、13bh之上述複合防振結構中，只要將上述防振彈簧和水平防振彈簧串聯連接在主要振動系統與設置面之間，便可實現吸收輸送方向D上的振動和上下振動這一基本功能。例如，也可以構成為：將上側支撐臺2A分為兩部分並分別配置在輸送方向D的前後位置處，從而在輸送方向D的前後位置處以相互分離之狀態配置具有上述防振彈簧13a與水平防振彈簧13ah之防振結構部、以及具有上述防振彈簧13b與水平防振彈簧13bh之防振結構部。

另外，水平防振彈簧13ah、13bh相對於上側支撐臺2A的固定區域之平面形狀，藉由上述兩個墊圈22Aa、22Ab而在兩個位置處分別被形成為圓形，水平防振彈簧13ah、13bh相對於下側支撐臺2B的固定區域之平面形狀，根據上述前側安裝部2Ba和後側安裝部2Bb的上端面形狀而分別被形成為帶狀。但是，這些固定區域的平面形狀可以根據對水平防振彈簧13ah、13bh所要求的彈性變形特性而適當地進行調整。

[第三實施方式]

圖10係顯示本發明第三實施方式之振動式輸送裝置之概略結構之側視圖。在該第三實施方式之振動式輸送裝置20中，相對於輸送朝向F而言，輸送方向D前後的防振彈簧 13a、13b分別配置在輸送方向D前後對應的壓電驅動體16a、16b之前方，這一點與上述各實施方式不同，而其他的結構與上述各實施方式相同。

更加具體而言，防振彈簧13a、13b在基準質量體11上的安裝位置，在輸送方向D上分別位於輸送方向D前後對應的壓電驅動體16a、16b在基準質量體11上的安裝位置之前方，並且，各防振彈簧13a、13b大致朝向垂直下方延伸並安裝在基臺2(實際上為上述上側支撐臺2A)上。

另外，基準質量體11的前側部11aa和後側部11bb設置於寬度方向(圖10中與紙面垂直的方向)兩側，並且，與上述實施方式同樣地安裝在壓電驅動體16a、16b寬度方向兩側的側部連接結構上。另外，中間部11ab的結構與上述實施方式相同。另外，在基準質量體11的前側部11aa和後側部11bb上，防振彈簧13a、13b分別經由形狀和尺寸都相同的筒狀間隔件19c、19d而從輸送方向D的前方安裝在壓電驅動體16a、16b上。由此構成為：在從輸送方向D觀察時，連接在前側部11aa上的壓電驅動體16a和防振彈簧13a在輸送方向D上之位置關係(前後關係)、與連接在後側部11bb上的壓電驅動體16b和防振彈簧13b在輸送方向D上之位置關係(前後關係)相同。

另外，與上述實施方式同樣地，防振彈簧13a、13b以及壓電驅動體16a、16b相對於前側部11aa和後側部11bb之安裝結構均是呈分別利用一對螺栓19a、19b進行固定之結構。

當振動式輸送裝置被設計為低驅動頻率(共振頻率)時，具有朝向輸送朝向F斜向上而朝向相反方向斜向下的振動方向之本來振動模式以外的其他振動模式對於輸送之影響不會造成太大問題。但是，當將裝置結構設計為高輸送頻率(共振頻率)從而高速輸送輸送物時，上述其他振動模式容易使輸送物在輸送路上上下左右跳動，從而會使輸送物從輸送路上飛出、或者使輸送物的輸送姿態在輸送期間發生改變。

另外，也存在下述情況，即：輸送速度沿輸送路大幅變化，從而使輸送路上沿輸送方向D之輸送速度的均勻性喪失，由此導致輸送物的輸送效率(實際上將輸送物供給到輸送路出口之速度是由輸送路上的輸送速度最小的部分決定)降低。

在本實施方式中，認為透過如上所述構成為從輸送方向D觀察時壓電驅動體16a、16b和防振彈簧13a、13b與基準質量體11的連接位置之順序在輸送方向D的前後位置處相同，從而從基準質量體11來看，上側振動彈簧14a、14b以及下側振動彈簧15a、15b所施加的反作用力、與防振彈簧13a、13b所施加的支撐(約束)力之間於輸送方向D上的位置關係係在輸送方向D前後位置處相同，因此，主要振動系統整體的上下方向或寬度方向的穩定性提高，主要振動系統不易產生扭曲等，從而能夠抑制產生上述其他振動模式。實際上，在本實施方式中，輸送物在上下左右方向上的跳動減少，另外，沿輸送方向D的輸送速度也變均勻。

[與所有實施方式相關的事項]

圖11係模式化顯示本說明書中記載的各實施方式之包括基準質量體11、上側質量體12A和下側質量體12B、上側振動彈簧14a、14b以及下側振動彈簧15a、15b的主要振動系統結構之簡圖。

另外，實際上該主要振動系統如上所述由防振彈簧13a、13b、水平防振彈簧13ah、13bh以及基臺2等支撐，由此構成各實施方式的整體振動系統。該主要振動系統之振動動作根據基準質量體11的質量M₁₁、上側質量體12A的質量M_12A以及下側質量體12B的質量M_12B、上側振動彈簧14a、14b以及下側振動彈簧15a、15b的彈簧常數、輸送方向D前方側的上側振動角θau和下側振動角θad、以及輸送方向D後方側的上側振動角θbu和下側振動角θbd而確定。

另外，在圖11中，將上側振動彈簧14a、14b以及下側振動彈簧15a、15b模式化顯示為具有分別與上述各振動角一致的傾斜角之傾斜彈簧，這與上述第一實施方式不同。各實施方式中分別構成為具有各種結構的上側振動彈簧14a、14b以及下側振動彈簧15a、15b具備振動角，而不限於該傾斜彈簧。

另外，在本說明書中，上側振動彈簧14a、14b的振動角係指：在上側振動彈簧14a、14b與上側質量體12A的連接點處激振方向相對於水平面之角度，下側振動彈簧15a、15b的振動角係指：在下側振動彈簧15a、15b與下側質量體12B的連接點處激振方向相對於水平面之角度。在此，當上側振動彈簧14a、14b以及下側振動彈簧15a、15b是與輸送方向D正對的平板狀板簧時，該板簧的激振方向相對於水平面之角度、即振動角與該板簧相對於與輸送方向D垂直的垂直面之傾斜角一致。

另外，在本說明書中，可以認為即使在上側振動彈簧和下側振動彈簧的彈簧結構與上述板簧不同時，該上側振動彈簧和下側振動彈簧也等效於相對於垂直面之傾斜角的值與透過該上側振動彈簧和下側振動彈簧得到的振動角相同的上述板簧，因此，所使用的傾斜角這一用語的意義與上述振動角相同。

在本實施方式中，上側振動角θau、θbu均被構成為：產生朝向輸送方向D前方側斜向上、朝向輸送方向D後方側斜向下的振動方向BVs。另外，下側振動角θad、θbd均被構成為：產生朝向輸送方向D前方側斜向下、朝向輸送方向D後方側斜向上的振動方向BVt。在此，在各實施方式中，利用構成同相激振機構的壓電驅動體16a、16b沿輸送方向D同步地施加激振力Fau、Fbu和激振力Fad、Fbd，其中，激振力Fau、Fbu施加於基準質量體11與上側質量體12A之間，激振力Fad、Fbd施加於基準質量體11與下側質量體12B之間。

該情況下，可以構成為：僅將前後位置任意一側所施加的激振力設為外加受迫力，而無需如圖所示將在輸送方向D前後位置處分別施加的激振力Fau、Fad和激振力Fbu、Fbd設為受迫振動系統的外加受迫力，或者，也可以構成為：上述兩側的激振力均非外加受迫力，而是利用與上側振動彈簧14a、14b以及下側振動彈簧15a、15b分開設置的其他激振機構向主要振動系統施加外加受迫力。

透過如此構成，由於上側質量體12A和下側質量體12B相對於基準質量體11沿輸送方向D同步地進行振動，因此，上側質量體12A對基準質量體11施加的轉矩與下側質量體12B對基準質量體11施加的轉矩相互減弱，從而能夠抑制主要振動系統整體在輸送方向D的前後擺動等形態的俯仰運動。

另外，在各實施方式中，由於上側質量體12A的振動方向BVs與下側質量體12B的振動方向BVt均朝向上下相反的方向傾斜，因此，能夠抑制主要振動系統整體上下振動。由此，在各實施方式中，由於上述俯仰運動或上下振動得到抑制，因而能夠使輸送物的輸送狀態變穩定、或者減少朝向設置面洩漏的振動。尤其是，考慮到隨著高頻化的推進而上述俯仰運動或上下振動對於輸送物或者外部造成的影響增大，因而可以認為對於近年來輸送振動的高頻化或者輸送速度的增大等的應對方面極其有效。

另外，在圖11中，為了形成與振動角θau、θbu、θad、θbd相對應之傾斜角，而以傾斜姿態圖示上側振動彈簧14a、14b以及下側振動彈簧15a、15b，因此，基準質量體11的質量M₁₁的重心、上側質量體12A的質量M_12A的重心以及下側質量體12B的質量M_12B的重心並未排列在一條直線上。但是，在上述第一實施方式至第三實施方式中，構成上側振動彈簧14a、14b的主體和下側振動彈簧15a、15b的主體之壓電驅動體16a、16b和上側增幅彈簧17a、17b以及下側增幅彈簧18a、18b均被設置為垂直姿態，因此，容易將上述質量M₁₁、M_12A以及M_12B的三個重心實質性地排列在一條直線上。尤其是，也可以構成為這三個重心的位置排列在垂直方向上。這在利用本實施方式之構成同相激振機構的壓電驅動體16a、16b高頻驅動主要振動系統之情況下，對於降低產生無用振動模式、或者降低妨礙符合輸送目的之振動形態之可能性，從而容易地實現輸送物的穩定輸送形態和主要振動系統的高頻化方面很有效。

[第四實施方式]

圖12係顯示第四實施方式之主要振動系統結構之簡圖。在該第四實施方式中，為了形成如上所述設定的振動角θau、θbu、θad、θbd，將位於相對於基準質量體11的固定位置11p上方的上側振動彈簧24a、24b(壓電驅動體26a、26b的上側壓電驅動部26au、26bu以及上側增幅彈簧17a、17b)和位於固定位置11p下方的下側振動彈簧25a、25b(壓電驅動體26a、26b的下側壓電驅動部26ad、26bd以及下側增幅彈簧18a、18b)的整體構成為朝向上下方向相反側傾斜，並且構成為各傾斜角與上述振動角θau、θbu、θad、θbd一致的傾斜姿態。

由此，由於上側振動彈簧24a、24b以及下側振動彈簧25a、25b均呈傾斜姿態，因此，無需設置如第一實施方式中所說明的上側連接部12AaS、12AbS以及下側連接部12BaS、12BbS便可獲得振動角。

另外，在以上所說明的第一至第四實施方式中，對於壓電驅動體16a、16b、26a、26b與上側增幅彈簧17a、17b或下側增幅彈簧18a、18b呈一體之結構進行了說明，但是，在各實施方式中，也可以構成為：將壓電驅動體16a、16b、26a、26b與上側增幅彈簧17a、17b或下側增幅彈簧18a、18b形成為獨立的結構部件，並利用螺栓和墊圈等相互連接。

[第五實施方式]

圖13係顯示第五實施方式之主要振動系統結構之簡圖。在該第五實施方式中，將上側增幅彈簧37a、37b以及下側增幅彈簧38a、38b與壓電驅動體36a、36b分開構成，並將壓電驅動體36a、36b與上側增幅彈簧37a、37b以及下增幅彈簧38a、38b分別設置為平行於與輸送方向D垂直的垂直面之垂直姿態，並且，利用螺栓和墊圈等並經由在輸送方向D上具有厚度之間隔件39au、39bu、39ad、39bd而連接壓電驅動體36a、36b的上端部與上側增幅彈簧37a、37b的下端部、以及壓電驅動體36a、36b的下端部與下側增幅彈簧38a、38b的上端部。

在如此構成的情況下，上側振動彈簧34a、34b在基準質量體11上的固定位置11p與上側振動彈簧34a、34b在上側質量體12A上的固定位置12Ap之連接線(圖中的雙點劃線)傾斜，並且，下側振動彈簧35a、35b在基準質量體11上的固定位置11p與下側振動彈簧35a、35b在下側質量體12B上的固定位置12Bp之連接線(圖中的雙點劃線)傾斜，其中，上述上側振動彈簧34a、34b由上側壓電驅動部36au、36bu和上側增幅彈簧37a、37b構成，下側振動彈簧35a、35b由下側壓電驅動部36ad、36bd和下側增幅彈簧38a、38b構成。因此，能夠與上述實施方式同樣地設定上側振動彈簧34a、34b以及下側振動彈簧35a、35b的上述振動角θau、θbu、θad、θbd。

該情況下，透過改變間隔件39au、39bu、39ad、39bd在輸送方向D上的厚度，能夠容易地調整上述振動角θau、θbu、θad、θbd。在此，上側增幅彈簧37a、37b的下端和下側增幅彈簧38a、38b的上端，分別以從輸送方向D後方側重疊之狀態連接固定在上側壓電驅動部36au、36bu的上側連接結構和下側壓電驅動部36ad、36bd的下側連接結構上。由此，無論是否設有間隔件，均可以獲得一定程度的振動角。

另外，在以上所說明的各實施方式中，使用的是上側壓電驅動部16au、16bu、26au、26bu、36au、36bu與下側壓電驅動部16ad、16bd、26ad、26bd、36ad、36bd呈一體構成之壓電驅動體16a、16b、26a、26b、36a、36b。但是，壓電驅動體也可以構成為：上側壓電驅動部和下側壓電驅動部分別由不同的壓電驅動體構成，並將該不同的壓電驅動體分別結合在基準質量體11上。另外，彈性基板上的壓電體被構成為形成於上側壓電驅動部中的部分與形成於下側壓電驅動部中的部分呈一體，但是，也可以構成為：分開形成上側壓電驅動部中的部分與下側壓電驅動部中的部分，從而使壓電體相互分離。

[各實施方式的作用效果]

在以上所說明的各實施方式之主要振動系統中，從輸送方向D來看，基準質量體11的振動相位與上側質量體12A和下側質量體12B的振動相位相反(相位差為180度)。因此，在以基臺2為基準考慮時，透過基準質量體11的振動產生之輸送方向D的反作用力、與透過上側質量體12A和下側質量體12B的振動產生之總的反作用力呈相互消除之關係(抵消或減弱的關係)。由此，能夠減少經由防振彈簧13a、13b傳向基臺2側的輸送方向D的振動。

另一方面，在以基準質量體11為基準考慮時，上側質量體12A所施加的反作用力與下側質量體12B所施加的反作用力，從輸送方向D觀察時方向均相同，但是，相互呈同相地振動的上側質量體12A的轉矩與下側質量體12B的轉矩的方向相反，因而呈相互消除之關係(抵消或減弱的關係)。因此，基準質量體11所受到的旋轉方向之反作用力減少，從而不易產生俯仰動作，並且，經由防振彈簧13a、13b傳向基臺2側的上下方向之振動也被減少。另外，透過如此還可以使沿輸送路12t長度方向的輸送物之輸送速度或輸送姿態等輸送狀態變穩定。

在本發明中，在圖11所示主要振動系統中，透過設置以使上側質量體12A和下側質量體12B相對於基準質量體11呈同相地振動之方式施加激振力之同相激振機構、即壓電驅動體16a、16b，從而使上側質量體12A和下側質量體12B實際上作為一個質量體進行動作，換而言之，利用同相激振機構而將上側質量體12A和下側質量體12B限制為一個質量體進行動作。因此，構成具有經由防振彈簧13a、13b彈性連接在基臺2上的一個質量體即基準質量體11、和經由振動彈簧14a、14b、15a、15b該四個振動彈簧彈性連接在基準質量體11上的另一個質量體(上側質量體12A和下側質量體 12B)，並且實質上為雙自由度(Two Degree Of Freedom)或雙質點(Two-Mass)的受迫(衰減)振動系統。

在該振動系統中，具有高低兩個共振頻率ω1和ω2，並且，兩個質量體在該兩個共振頻率ω1和ω2之間的頻帶上相互反相地振動。

在具有質量體11和質量體12A+12B該兩個質量體的振動系統之反相模式中，從輸送方向D來看，兩個質量體間的輸送方向D上的反作用力呈相互消除之關係，並且，在實施方式中，如上所述，相對於一個質量體即基準質量體11，另一個質量體被分為上側質量體12A和下側質量體12B，並且分別彈性連接在基準質量體11的相反側，因此，基準質量體11所受到的轉矩也呈相互消除之關係。

在此，在以基準質量體11的質量M₁₁的重心位置為基準時，上側質量體12A的轉矩為其質量與重心間距離之積、即M_12A×R_12A，同樣地，下側質量體12B的轉矩為M_12B×R_12B。但是，上側質量體12A和下側質量體12B轉矩的方向相反。這樣的振動系統的構成，能夠形成與先前裝置基本不同的振動形態，並且能夠實現不依賴於設置面所施加的固定力之輸送形態。

在先前裝置中，為了確保輸送路上的輸送物之輸送狀態，必須將基臺牢固地固定在設置面上、或者增加基臺的重量，相對於此，在本發明中，極端而言，即使在僅將防振彈簧13a、13b的下端載置在柔軟被褥等設置面上而未進行固定之情況下、或者僅設置輕量化的基臺2而未進行固定之情況下，振動形態也幾乎不會變化(惡化)，輸送路12t上的輸送形態也幾乎不變。

另外，由圖式明確可知，在僅考慮主要振動系統時，從抵消輸送方向D上的反作用力方面出發，較佳實質上構成為M₁₁=M_12A+M_12B，從抵消上述兩個轉矩方面出發，較佳實質上構成為M_12A×R_12A=M_12B×R_12B，從減少俯仰動作方面出發，最好實質上構成為M_12A=M_12B且R_12A=R_12B。

以上的結構和作用效果基本上是根據表示本發明概念之圖11所示結構而獲得，在本實施方式中，上述同相激振機構(壓電驅動體)分別設有上側激振部(上側壓電驅動部)和下側激振部(下側壓電驅動部)，並且直接且獨立地施加激振力，從而能夠簡化裝置結構，並且也能夠容易地調整例如用於應對輸送物或輸送路之變動(variation)等的激振側的頻率或振幅等。

尤其是在本實施方式中，由於設置有包含在上側振動彈簧14a、14b中的上側壓電驅動部16au、16bu、和包含在下側振動彈簧15a、15b中的下側壓電驅動部16ad、16bd，並且透過壓電驅動方式進行激振，因而無需與振動系統分開另外設置激振機構，從而能夠進一步簡化裝置結構。

在本實施方式中，上側振動彈簧14a、14b與下側振動彈簧15a、15b直接連接，並且其連接點連接固定在基準質量體11上。因此，上側質量體12A和下側質量體12B所施加的反作用力對於基準質量體11的作用點相互一致，因此，不會因為上下反作用力的作用點之位置偏差而導致產生無用振動或無用轉矩。

另外，由於上側振動彈簧14a、14b與下側振動彈簧15a、15b直接連接，因而容易在上側振動彈簧與下側振動彈簧之間交換振動能，由此可以認為能夠構成更加穩定的振動系統。進而，在本實施方式中，透過上述構成，還具有能夠降低振動式輸送裝置10的高度這一效果。

另外，圖11的振型並非對本發明和本實施方式進行任何限定，但是，M_12A=M_12B、R_12A=R_12B、上側振動彈簧14a、14b以及下側振動彈簧15a、15b的長度和彈簧常數均相同，防振彈簧13a和13b的長度和彈簧常數也相同。

在本實施方式中，透過使用長度方向中間部位結合在基準質量體11上的一體型壓電驅動體16a、16b，能夠可靠且穩定地對上側質量體12A和下側質量體12B兩者施加激振力。尤其是，壓電驅動體16a、16b能夠透過上下一體的撓曲變形而可靠地對上下側兩個質量體12A和12B施加同相的激振力。

另外，由於在上側振動彈簧14a、14b以及下側振動彈簧15a、15b中，上側壓電驅動部16au、16bu以及下側壓電驅動部16ad、16bd配置在基準質量體11側，因此，能夠透過配置在上側質量體12A側的上側增幅彈簧17a、17b、或者配置在下側質量體12B側的下側增幅彈簧18a、18b，產生在上側質量體12A或下側質量體12B上設置輸送路12t時所需的足夠振幅。

在本實施方式中，除了上述作用效果之外，透過將上側振動彈簧14a、14b的實際傾斜角、即振動角θau、θbu設定為形成朝向輸送方向D前方側斜向上的振動方向BVs，並且，將下側振動彈簧15a、15b的實際傾斜角、即振動角θad、θbd設定為形成朝向輸送方向D前方側斜向下的振動方向BVt，從而能夠在輸送路12t上得到基於上述振動角θau、θbu的輸送力，同時，能夠減少上側質量體12A和下側質量體12B相對於基準質量體11呈同相地振動的主要振動系統的上下振動。因此，即使在提高了振動系統的頻率或者輸送速度等的情況下，也能夠確保輸送物的輸送姿態的穩定化或者輸送速度的均勻化，並且能夠抑制振動朝向設置面洩漏。

另外，即使在如上所述很少產生上下振動的主要振動系統中，也存在提高頻率時無法充分抑制上下振動的情況。但是，在本實施方式中，在基臺2的上側支撐臺2A與下側支撐臺2B之間配置呈水平姿態設置且由板簧構成之水平防振彈簧13ah、13bh，由此能夠有效地吸收上下振動，從而能夠抑制因為高頻化而導致上下振動增大，因此，能夠使輸送姿態變得穩定以及避免振動能洩漏。

尤其是，透過將水平防振彈簧13ah和13bh朝向輸送方向D連接在上側支撐臺2A與下側支撐臺2B之間，能夠使支撐在上側支撐臺2A上的振動系統在寬度方向上穩定。另外，從輸送方向D觀察時水平防振彈簧13ah和13bh的安裝方向在輸送方向D的前後位置處相反，從而能夠利用兩個彈簧的相互干擾作用而提高支撐在上側支撐臺2A上的振動系統的穩定性。

本申請發明人等實際試製了上述第一實施方式之裝置，並且進行了運轉實驗。在此，作為一例，基準質量體11的質量M₁₁為710g，上側質量體12A的質量M_12A為245.5g(輸送塊12Au為190g、連接塊12Ad為55.5g)，下側質量體12B的質量M_12B為124.8g，上側支撐臺2A的質量為59.5g，壓電驅動體16a、16b的長度為50mm且呈上下左右對稱的形狀，振動角θau=θad=3.91度，θbu=θbd=5.3度，從設置面至連接塊12Ad的上表面為止的高度為72.1mm，基準質量體11、連接塊12Ad以及下側質量體12B的總寬度(最大寬度)為35mm。而且，利用900Hz~1200Hz的交變電壓驅動壓電驅動體16a、16b從而輸送輸送物，結果發現即使在高頻下也能夠以穩定的姿態高速地輸送微小電子器件等。

由此可以認為：在該實施方式中，實際上朝向輸送方向D撓曲振動(flexural vibration)的上側振動彈簧14a、14b的主體和下側振動彈簧15a、15b的主體均被設置為垂直姿態，並且，在上側振動彈簧14a、14b的主體和下側振動彈簧15a、15b的主體中，上側壓電驅動部16au、16bu與上側增幅彈簧17a、17b、下側壓電驅動部16ad、16bd與下側增幅彈簧18a、18b分別呈一體地構成，從而能夠降低高度以及使振動變穩定，由此能夠將頻率提高至如上所述的極高頻段以及提高輸送速度，同時能夠實現穩定的振動形態和輸送物的穩定輸送形態。

另外，試製了圖13所示的第五實施方式之裝置，並進行了運轉實驗。另外，主要振動系統以外的其他結構與第一實施方式相同。在此，作為一例，基準質量體11的質量M₁₁為1110g，上側質量體12A的質量M_12A為530g(輸送塊12Au為371g、連接塊12Ad為159g)，下側質量體12B的質量M_12B為666g，上側支撐臺2A的質量為284g，壓電驅動體36a、36b的層壓有壓電體的主體部分的長度為22mm且呈上下左右對稱的形狀，上側增幅彈簧37a、37b以及下側增幅彈簧38a、38b的固定部分以外的長度均為13mm。振動角的值在輸送方向D的前後位置處相同、即θau=θad=θbu=θbd=5.4度，從設置面至連接塊12Ad的上表面為止的高度為116.5mm，基準質量體11、連接塊12Ad以及下側質量體12B的總寬度(最大寬度)為38mm。而且，利用600Hz~700Hz的交變電壓驅動壓電驅動體36a、36b從而輸送輸送物，結果發現即使在高頻下也能夠以穩定的姿態高速地輸送微小電子器件等。

由此可以認為：在該實施方式中，雖然在上側振動彈簧34a、34b以及下側振動彈簧35a、35b中，上側壓電驅動部36au、36bu與上側增幅彈簧37a、37b、以及下側壓電驅動部36ad、36bd與下側增幅彈簧38a、38b分別構成為獨立部件，但是，由於上側壓電驅動部36au、36bu和上側增幅彈簧37a、37b、以及下側壓電驅動部36ad、36bd和下側增幅彈簧38a、 38b在單獨觀察時均被設置為垂直姿態，因此，能夠如上所述提高頻率以及提高輸送速度，同時能夠實現穩定的振動形態和輸送物的穩定輸送形態。

在本發明中，從獲得穩定的振動形態方面出發，較佳為基準質量體11的質量M₁₁與上側質量體12A和下側質量體12B的質量之和M_12A+M_12B大致相同(例如兩者的質量之差在兩者的中間值的10%以下)、或者大於該質量之和M_12A+M_12B。但是，在考慮到主要振動系統經由基準質量體11而被彈性支撐的情況、即基準質量體11與防振彈簧13a、13b、13ah、13bh連接的結構、和輸送路設置在上側質量體12A(下側質量體12B亦可)上的情況時，為了提高主要振動系統的穩定性或者增大輸送路的振幅，基準質量體11的質量M₁₁基本上是越大越好，尤其優選為上述質量之和M_12A+M_12B的2倍以上。

另外，較佳為上側質量體12A的質量M_12A與下側質量體12B的質量M_12B大致相同，但是，在考慮到輸送路12t所需的振幅、位於下方的防振結構的影響等時，由上述數值可知，只要兩者的質量比為2倍左右便不會有大問題。在上述第一實施方式之試製例中，輸送路12t設置在上側質量體12A上，並且，M_12A大於M_12B且約為M_12B的2倍。

[第六實施方式]

接著，參照圖14至圖20對於本發明第六實施方式之振動式輸送裝置進行說明。該第六實施方式之振動式輸送裝置30表示將上述第五實施方式適用於更加具體化的裝置整體中之例子。在此，對於第六實施方式中與第五實施方式對應的各結構部分賦予與第五實施方式相同的符號，並省略關於實質上與第五實施方式相同的結構之說明。

在本實施方式中，設有與上述各實施方式基本相同的基準質量體11、上側質量體12A以及下側質量體12B，並且設有與第三實施方式同樣地進行安裝的防振彈簧13a、13b。在本實施方式中，與第三實施方式同樣地，在輸送方向的前後位置處，防振彈簧13a、13b在基準質量體11上的安裝位置相對於上下振動彈簧或壓電驅動體與基準質量體11的結合位置而配置在同一側(在圖示例子中為輸送方向前方側)，從而能夠尤其顯著地得到第三實施方式中所說明的作用效果。

另外，在本實施方式中，設有與第五實施方式相同的上側振動彈簧34a、34b以及下側振動彈簧35a、35b。但是，基臺2呈一體地構成，不具備中間設有水平防振彈簧13ah、13bh的上側支撐臺2A和下側支撐臺2B的雙體結構，這與上述實施方式不同。另外，如圖14的紙面外側所示，該振動式輸送裝置30具備附加設置有回收側輸送單元40之結構。該回收側輸送單元40被構成為：能夠沿著回收路42t朝向回收朝向B輸送輸送物，其中，該回收路42t形成於設置在回收側連接塊42Ad上的未圖示的回收側輸送塊上，回收朝向B與形成於圖15所示輸送塊12Au上的輸送路12t之輸送朝向F相反。

圖14中示出包含上述回收側輸送單元40但拆除了輸送塊12Au後的裝置結構，圖15中示出包含輸送塊12Au但拆除了上述回收側輸送單元40後的裝置結構。

回收側輸送單元40設有安裝固定在基臺2側面的基臺塊42、和下端在輸送方向D前後位置處分別安裝在該基臺塊42上的板狀防振彈簧43a、43b。防振彈簧43a、43b的上端分別安裝在呈上下延伸形狀的連接部件44a、44b之上下方向中間位置處的外側面部上。位於連接部件44a、44b上端的外側面部與板狀的增幅彈簧47a、47b的下端連接，該增幅彈簧47a、47b的上端在輸送方向D前後位置處分別連接在上述回收側連接塊42Ad上。

另外，在上述連接部件44a、44b的輸送方向D前後內側配置有慣性質量體41。在該慣性質量體41的前端和後端與上述連接部件44a、44b下端的內側面之間，分別連接有板狀的壓電驅動體46a、46b。上述壓電驅動體46a、46b分別設有層壓在彈性基板上的壓電體，並且根據從未圖示的驅動電路供給的交變電壓而以從輸送方向D觀察時相位相同之方式撓曲變形，從而經由上述連接部件44a、44b以及上述增幅彈簧47a、47b而使上述回收側連接塊42Ad沿輸送方向D振動。

在此，在形成於輸送塊12Au上的輸送路12t中整理或者分選輸送物的過程中，利用輸送路12t的形狀、氣流噴射機構或者機械動作機構等周知的排除機構，將未按照規定姿態排列的輸送物、或者因為是次品等某種原因而無需繼續輸送的輸送物從輸送路12t上排出，並將其回收到配置在輸送路12t側方的上述回收路42t中。

而且，透過上述壓電驅動體46a、46b所產生的振動，在形成於未圖示的回收側輸送塊上的回收路42t中朝向與上述輸送朝向F相反的回收朝向B輸送被回收的輸送物，從而使其返回輸送路12t的上流側或者將其廢棄。另外，圖16和圖17所示的側板39和49分別是從寬度方向兩側將主要振動系統和回收側輸送單元覆蓋的蓋子。

如圖15所示，本實施方式中設有與圖13所示裝置相同的主要振動系統，並且設有在輸送方向D的前後位置處支撐基準質量體11且具有朝向輸送方向D的板面之板狀防振彈簧13a、13b。在此，防振彈簧13a、13b藉由螺栓19a、19b以及間隔件19c、19d而分別安裝在基準質量體11的前側部和後側部上。

此時，防振彈簧13a從相對於壓電驅動體36a而在輸送方向D的前方位置處經由間隔件19c連接在基準質量體11的前側部上，防振彈簧13b也從相對於壓電驅動體36b而在輸送方向D的前方位置處經由間隔件19d連接在基準質量體11的後側部上。間隔件19c和19d在從輸送方向D觀察時具有相同厚度，由此，壓電驅動體36a與防振彈簧13a上端部之間的間隔和壓電驅動體36b與防振彈簧13b上端部之間的間隔相等。

在本實施方式中，較佳為基準質量體11、上側質量體12A以及下側質量體12B的重心位置11g、12Ag、12Bg在靜止狀態下位於輸送方向D的相同位置處。即，較佳為上述重心位置11g、12Ag以及12Bg全部配置在同一條垂直線上。但是，實際情況下，根據振動式輸送裝置30的設置場所的條件、或者輸送物的輸送路徑前後的狀況的不同，而要求將設有輸送路12t的上側質量體12A形成為不同的形狀、結構。尤其是，上側質量體12A的輸送方向D前後的外伸(overhang)(伸出長度)根據其前後的裝置結構進行設定。

在圖15所示的振動式輸送裝置30中，上側質量體12A的輸送塊12Au朝向輸送方向D前方伸出的長度大於朝向後方伸出的長度，由此其重心位置12Ag配置在相比基準質量體11的重心位置11g更靠近輸送方向D前方之位置處。而且，為了應對上側質量體12A的重心位置12Ag與基準質量體11的重心位置11g在輸送方向D上錯位，與上述重心位置12Ag同樣地將下側質量體12B的重心位置12Bg配置在相比基準質量體11的重心位置11g更靠近輸送方向D前方之位置處，從而減少因為上側質量體12A和下側質量體12B所施加的反作用力而使基準質量體11在上下方向上振動。由此，主要振動系統整體的重心位置配置在相比基準質量體11的重心位置11g稍微靠近輸送方向D前方之位置處。

此時，較佳為防振彈簧13a和13b的安裝位置與主要振動系統整體的重心位置(未圖示)之間的距離在從輸送方向D觀察時分別相等。在圖示例子中構成為：在從輸送方向D觀察時，防振彈簧13a的安裝位置與防振彈簧13b的安裝位置之中間點和主要振動系統的重心位置配置在相同位置處。

圖20係構成本實施方式之上側振動彈簧34a之壓電驅動體36a的上側壓電驅動部36Au和上側增幅彈簧37a之放大左視圖。與第一實施方式同樣地，壓電驅動體36a設有彈性基板36s和層壓在該彈性基板36s上的壓電體36p，並且透過設置在彈性基板36s上的側部連接結構而在寬度方向兩側固定在基準質量體11的前側部。

另外，壓電體36p在從寬度方向觀察時配置在側部連接結構之間，並且相比側部連接結構的高度進一步朝向上下方向延伸，在上側壓電驅動部36au和下側壓電驅動部36ad(未圖示)之間呈一體地形成。彈性基板36s設有從形成有壓電體36p的區域起進一步朝向上下方向延伸的上部連接結構36su和下部連接結構36sd(未圖示)。另外，下側壓電驅動部36ad與上側壓電驅動部36au被構成為：相對於連接寬度方向兩側的側部連接結構的寬度方向水平線36o呈上下對稱，另外，壓電驅動體36b的結構與壓電驅動體36a相同，故省略關於壓電驅動體36b的說明。

本實施方式之上側壓電驅動部36au利用螺栓39t等經由間隔件39s連接固定在上側增幅彈簧37a上。此時，上側增幅彈簧37a的下端經由間隔件39s以從輸送方向D後方重疊之方式固定在上側壓電驅動部36au的上側連接結構36su上。由此構成為：從輸送方向D來看，壓電驅動體36a厚度方向的中心線36x與上側增幅彈簧37a厚度方向的中心線37x配置在相互錯開的位置處。透過使該中心線36x與37x相互錯開，從而與圖13同樣地設定上側振動彈簧34a相對於上側質量體12A(連接塊12Ad)的振動角θ。在本實施方式中，可以根據間隔件39s的有無或者厚度的變化來調整上述振動角θ。

如圖20中右側的圖所示，在使用整體具有均勻的厚度t_o的彈性基板36s'時，壓電驅動體36a'的中心線36x與上側增幅彈簧37a的中心線37x之間的間隔變為0.5(t_o+t₁)+ts。其中，t₁為上側增幅彈簧37a的厚度，ts為間隔件39s的厚度。此時，實際的振動角θ'為從輸送方向D觀察時水平線36o'與上側增幅彈簧37a和上側質量體12A的連接點之連接線相對於垂直線之傾斜角。但是，如本實施方式所述，當壓電驅動體36a'的驅動頻率提高時，由於彈性基板36s'的厚度t_o增大，因而振動角θ'變得過大，由此導致上側質量體12A的振動的上下方向成分增大而使輸送路12t上的輸送物上下跳動，從而有可能導致輸送物的輸送姿態或者輸送速度不穩定、或者輸送速度整體降低。

另外，通常在振動頻率增大時，透過使振動角θ小於低振動頻率時的振動角，能夠提高振動系統的穩定性和輸送物的輸送姿態的穩定性，從而提高輸送效率，因此，從結果來看輸送速度也增大。因此，在本實施方式中，朝向輸送方向D前方縮小了彈性基板36s的上側連接結構36su的厚度範圍，從而能夠將振動角θ設定為較小角度。在圖示例子中，以上側連接結構36su之位於輸送方向D後方側之表面配置在相比層壓有壓電體36p的部分朝向輸送方向D前方側偏移(t_o-t₂)的位置處之方式構成為階梯狀，從而使上側連接結構36su的厚度t₂小於上述厚度t_o。

由此，中心線36x與37x在輸送方向D上的偏移量變為(t₂-0.5t_o+0.5t₁+ts)，相比上述間隔0.5(t_o+t₁)+ts縮小了(t_o-t₂)。該情況下，也優選壓電驅動體36a的層壓有壓電體36p之部分與上側連接結構36su的邊界部分的剖面形狀(圖示例子中為輸送方向D後方側(圖示左側)的表面)，具有隨著朝向上側連接結構36su而厚度逐漸變化(減小)從而沿平坦的表面收斂的凹曲線狀輪廓。

在本實施方式中，與第五實施方式同樣地，上側增幅彈簧37a、37b以及下側增幅彈簧38a、38b，分別以從輸送方向D後方側重疊之狀態連接固定在上側壓電驅動部36au、36bu的上側連接結構和下側壓電驅動部36ad、36bd的下側連接結構上。由此，無論是否存在間隔件，都可以獲得一定程度的振動角。

另外，透過將上側壓電驅動部36au、36bu的上側連接結構和下側壓電驅動部36ad、36bd的下側連接結構構成為其厚度小於層壓有壓電體36p的部分，從而能夠將該上側連接結構的下部和下側連接結構的上部(在層壓有壓電體36p部分側未利用螺栓和墊圈等固定的部分)構成為與上側增幅彈簧37a、37b以及下側增幅彈簧38a、38b一同作為發揮增大壓電體36p所產生之撓曲變形作用之部分而發揮作用，因此，能夠縮短上側增幅彈簧37a、37b以及下側增幅彈簧38a、38b的長度，從而能夠降低裝置整體的高度。

透過試製本實施方式之振動式輸送裝置30並實際進行驅動，從而測量了輸送塊12Au的振動狀態並觀測了輸送物的輸送狀態。在試製裝置中，圖15所示的上側質量體12A的質量為620g，重心位置12Ag的高度為110mm，基準質量體11的質量為1230g，重心位置11g的高度為67mm，下側質量體12B的質量為720g，重心位置12Bg的高度為27.5mm，另外，相對於基準質量體11的重心位置11g，上側質量體12A的重心位置12Ag位於朝向輸送朝向F側偏移9.8mm的位置處，下側質量體12B的重心位置12Bg位於朝向輸送朝向F側偏移1.5mm的位置處。上側振動彈簧34a、 34b以及下側振動彈簧35a、35b均以3.24度為基準進行調整，從而能夠沿輸送路12t得到均勻的輸送速度。

以稍高於共振頻率的343.4Hz使該試製裝置進行工作，利用鐳射位移計測量設有輸送路12t的輸送塊12Au的輸送方向D上振幅(實際為輸送路12t的出口端12to處的振幅)並將其設定為0.105mm，並將長度為0.6mm、高度和寬度為0.3mm的長方體狀電子器件作為輸送物進行輸送。此時，利用鐳射位移計測量輸送塊12Au的圖示P₁~P₄各部位的上下方向振幅、和圖示P₅~P₇各部位的寬度方向振幅。其結果是，在該試製裝置中，輸送速度為3.8m/min，上下方向振幅的平均值為0.0085mm，寬度方向振幅的平均值為0.0083mm，在輸送路12t的全長範圍內得到均勻的輸送速度，並且輸送物的跳動或者姿態變化也少。

另外，當在能夠順暢地輸送輸送物的範圍內增大驅動電壓時，輸送速度最大上升至10m/min，此時的輸送方向的振幅為0.26mm，上下方向振幅的平均值為0.02mm，寬度方向振幅的平均值為0.012mm，未產生問題。尤其是，即使在提高輸送速度時輸送物的姿態也保持穩定，上述各部位P₁~P₇處的振幅的偏差也小，沿輸送路12t的輸送速度的均勻性也高。

需要說明的是，本發明的振動式輸送裝置並不僅限定於上述圖示例子，當然也可以在不脫離本發明主旨的範圍內追加各種變更。

例如，在上述第二實施方式至第六實施方式中分別具有利用各自的特徵性結構(連接部處有無間隔件、有無連接部、振動彈簧整體是否傾斜、振動彈簧有無階梯狀連接結構、壓電驅動部與增幅彈簧的一體結構和分體結構、壓電驅動體與防振彈簧的位置關係等)替換第一實施方式之結構，但是，透過在各實施方式之間相互任意地替換使用各自的特徵點，從而能夠容易地實現其他的實施方式。

2‧‧‧基臺