TW202118159A - 用於測試半導體裝置的接觸器及測試插槽裝置 - Google Patents

Abstract

本發明係關於用於測試半導體裝置的接觸器及插槽裝置。本發明的接觸器係為彈簧接觸器，藉由沖切及彎曲金屬板構件而整體形成，並包括由特定圖案的各種條帶製成的彈性部以及在彈性部的兩端提供的尖端。較佳地，利用具有導電性與彈性的填充物填充接觸器的內部容積，因此具有優異的耐久性與電特性。此外，根據本發明的測試插槽係採用上述接觸器的橡膠類型，並具有適於測試微節距裝置的優點。

Description

用於測試半導體裝置的接觸器及測試插槽裝置

本申請案主張於2017年5月30日提交的韓國專利申請第10-2017-0066960號的優先權，其全部內容藉由引用併入本文。

本發明通常係關於用於測試半導體裝置的接觸器及插槽裝置。更特定言之，本發明係關於一種埋置在用於測試IC的測試插槽中的接觸器及插槽裝置，其中接觸器及插槽裝置提供接觸點與引線之間的電連接，例如IC的引線與PCB的焊盤之間的電連接，或是PCB與IC（例如電子產品（例如，個人電腦（PC）、手機等）內部的CPU）的引線之間的電連接。

測試插槽係為用於在半導體後處理步驟中檢查半導體裝置的缺陷的部件。測試插槽係為用於在測試處理期間在第一端處接觸裝置並將經由測試裝置與測試板傳輸的訊號傳輸到裝置的部分。

測試插槽需要機械接觸特性，以允許單獨裝置移動到正確的位置而與測試板精確接觸，以及需要穩定的電接觸特性，以允許所傳輸的訊號在訊號傳輸期間在接觸點處沒有訊號失真。

由於測試插槽係為由重複測試處理而導致機械與電特性劣化的可消耗部件，因此需要藉由延長使用壽命及增加使用次數來降低測試處理的成本。

測試插槽的使用壽命降低存在兩個主要原因：第一，由於接觸不穩定，存在插槽機械破裂的問題；第二，存在接觸部分的污染由於連續接觸而升高接觸電阻的問題，因此電特性變得不穩定。

取決於連接半導體裝置與測試裝置的導電構件的類型，通常使用的測試插槽可以分成銷型與橡膠型。

第1A圖與第1B圖分別為銷型測試插槽與橡膠型測試插槽的橫截面圖。

參照第1A圖，銷型測試插槽10包括插槽主體11、外罩13、及閂鎖14，插槽主體11具有複數個彎曲且具有彈性的接觸銷12，外罩13在插槽主體11的上部垂直移動，而閂鎖14相對於插槽主體11以旋轉式組裝，並與外罩13的垂直移動接合以托持或釋放裝置20。

接觸銷12係為垂直彈性，並用於提供裝置的引線與測試裝置的焊盤之間的電連接。根據裝置的引線與測試裝置的焊盤的材料與形狀，存在各種接觸銷，例如配置為具有柱塞、筒體、及彈簧的彈簧銷（pogo-pin）。

閂鎖14形成為具有導引槽14a，而導引銷15a係夾持於其中，並且導引銷15a的一端保持在鉸鏈固定到外罩13的移動連桿15上。外罩13係由螺旋彈簧16可撓地支撐。

根據銷型測試插槽10，當按壓外罩13時，可以隨著閂鎖14向外引導時裝載裝置20，而當釋放外罩13時，閂鎖13可以藉由螺旋彈簧15的彈性恢復力按壓裝置20的頂部，藉此托持裝置20。

然而，由於接觸銷12具有螺旋結構或曲線結構以具有彈性，所以銷型測試插槽具有長電流路徑，而導致訊號損失的問題。因此，測試插槽在超高頻段是不利的結構。此外，在細節距的測試插槽中，存在製造埋置接觸銷12的殼體結構的程序複雜且生產成本顯著增加的問題。

隨後，參照第1B圖，橡膠型測試插槽30包括連接器主體31與導電矽部分32，連接器主體31具有固化的彈性絕緣矽粉末，導電矽部分32經由連接器主體31垂直形成，以對應於裝置20的焊球（引線）21。導電矽部分32垂直穿過連接器主體31，並具有近似圓柱形的形狀。

現在將解釋製造橡膠型測試插槽的方法。當將絕緣粉末與導電粉末的熔融矽混合物以預定比例放入模具中，熔化混合物，並將電流施加到形成導電矽部分32的位置時，矽混合物的導電粉末集中在施加電流的位置，隨後熔融矽混合物固化，而取得形成導電矽部分32的測試插槽30。

此類測試插槽30具有位於下部的測試裝置，而使得導電矽部分32的底部接觸焊盤，並在以預定壓力按壓裝置20時，導電矽部分32的頂部與焊球21電接觸。

由於橡膠型測試插槽30係由軟材料製成並具有彈性，所以導電矽部分32的上表面圍繞焊球21，以形成穩定的電接觸。此時，導電矽部分32的中央部分向外擴展。

然而，此類橡膠型測試插槽30具有在重複的測試處理期間喪失彈性及顯著降低使用壽命的缺點。因此，使用次數短，且由於經常更換而導致成本增加。

特定而言，在橡膠型測試插槽中，在微節距的裝置中不容易確保相鄰導電矽部分32之間的足夠的絕緣距離L，而導致具有電路短路的可能性。

更具體而言，在用於微節距裝置的測試插槽的情況下，當導電矽部分32之間的距離非常短時，確保導電矽部分32之間的足夠的絕緣距離L是非常重要的。

然而，如前所述，在橡膠型測試插槽30中，將電壓施加到絕緣粉末與導電粉末的矽熔融混合物上，而使得導電粉末沿著電流路徑集中，以允許導電矽部分32形成。因此，沿著電流路徑集中的導電粉末並未在精確定義的直徑d內分佈，而導致在具有連續阻尼區段δ的導電粉末的密度D。

因此，橡膠型測試插槽30存在具有遠離所定義的直徑d的阻尼區段δ的問題，而造成相鄰的導電矽部分32之間的絕緣距離L顯著變短，這不利於用於微節距裝置的測試插槽。

此外，橡膠型測試插槽的另一個問題在於，為了在製造處理期間向矽混合物施加電壓時沿著電流路徑取得足夠密度的導電粉末而施加相當長時間的電壓，因此製造測試插槽需要很長時間。

本發明人開發一種新型的混合式接觸器及測試插槽裝置，可以克服現有技術中的銷式測試插槽與橡膠式測試插槽的缺點，並結合其優點。 相關技術文件

（專利公開文件）KR10-2006-0062824 A（公開日：2006年6月12日）

因此，考慮到相關技術中出現的上述問題而做出本發明，且本發明意欲藉由克服現有技術的銷式測試插槽與橡膠式測試插槽的缺點而提出一種適用於微節距裝置的測試插槽裝置，而可以具有優異的電特性並延長測試插槽裝置的使用壽命。

此外，本發明意欲提供一種具有適用於微節距裝置的測試插槽裝置的結構的接觸器。

根據本發明的一個態樣的接觸器係關於一種藉由沖切金屬板構件並將金屬板構件捲成圓筒形而整體形成的接觸器，並包括：上頭部，形成為圓筒形，並具有向上突出的上鋸齒部；彈性部，從上頭部傾斜延伸至側向及向下方向，並由螺旋形彎曲成圓筒形的條帶形成，而與上頭部同軸；以及下頭部，具有向下突出的下鋸齒部，並且從彈性部的下端垂直延伸，而與彈性部同軸。

根據本發明的其他態樣的接觸器係關於一種藉由沖切金屬板構件並將金屬板構件捲成圓筒形而整體形成的接觸器，並包括：第一彈性部，藉由使用第一部分將相同尺寸的複數個閉環條帶串聯連接並藉由將閉環條帶彎曲成圓筒形而形成；第二彈性部，藉由使用第二部分將與第一彈性部的閉環條帶的尺寸相同的尺寸的複數個閉環條帶串聯連接並藉由將閉環條帶彎曲成圓筒形而形成；彎曲部，具有比第一部分與第二部分的寬度與長度更大的寬度與長度，並將閉環條帶在第一彈性部與第二彈性部的最下端與最上端串聯連接；上頭部，具有向上突出的上鋸齒部，並從第一彈性部的最上端延伸且彎曲成圓筒形；以及下頭部，具有向下突出的下鋸齒部，並從第二彈性部的最下端延伸且彎曲成圓筒形。

根據本發明的另一態樣的接觸器係關於一種藉由沖切金屬板構件並將金屬板構件捲成圓筒形而整體形成的接觸器，並包括：第一彈性部，藉由將水平條帶與垂直條帶的單位條帶以之字形連接並將單位條帶彎曲成圓筒形而形成，垂直條帶從水平條帶的一端垂直延伸且具有比水平條帶的長度更短的長度；第二彈性部，藉由將具有與第一彈性部的結構及尺寸相同的結構及尺寸的單位條帶以之字形連接並將單位條帶彎曲成圓筒形而形成；彎曲部，具有比第一彈性部與第二彈性部中的垂直條帶的寬度與長度更大的寬度與長度，並在第一彈性部與第二彈性部中之每一者的最下端與最上端處且在水平條帶的中心處將水平條帶彼此垂直連接；上頭部，具有向上突出的上鋸齒部，並從第一彈性部的最上端延伸且彎曲成圓筒形；以及下頭部，具有向下突出的下鋸齒部，並從第二彈性部的最下端延伸且彎曲成圓筒形。

較佳地，接觸器進一步包括具有導電性與彈性的填充物，以填充圓筒形的上頭部與下頭部之間的至少一個線圈區段。

此外，根據本發明的測試插槽係關於包括上述接觸器的測試插槽，並包括安裝部與彈性絕緣主體部，安裝部具有對應於用於允許接觸器容納並定位於其中的裝置的引線的複數個通孔，而彈性絕緣主體部整體保持接觸器與安裝部。

本發明的接觸器係為一種藉由沖切金屬板構件並將金屬板構件捲成圓筒形而整體形成的彈簧接觸器，其中彈簧接觸器包括：彈性部，由單一條帶或特定圖案的閉環條帶組成；以及尖端，分別設置於彈性部的兩端，利用具有導電性與彈性的填充物填充其圓筒形內容積。因此，存在可以克服相關技術的銷型與橡膠型測試插槽設備中之每一者的缺點，而可以得到優異的電特性及延長使用壽命的優點。

此外，由上述接觸器體現的根據本發明的橡膠型測試插槽的另一優點在於，測試插槽解決根據相關技術的橡膠型測試插槽裝置的問題，並且特定較佳地用於測試細節距裝置。

首先，在本說明書與請求項中所使用的術語及詞語不應解釋為限於普通或字典術語，而是應該依據發明人可以適當地定義術語的概念以最好的方式描述他/她的發明的原則，而以與本發明的技術思想相一致的含義及概念解釋。

因此，本說明書中所描述的實施例以及圖式中所示的配置僅為本發明的最佳實施例，並不是對本發明的全部技術思想進行描述。因此，應理解，可以存在各種等同物及修改。

本發明的特徵在於包括藉由將沖切金屬片構件而得到的條帶捲成圓筒形而整體形成的接觸器以及填充於接觸器的圓筒形結構內的導電與彈性部的混合型接觸器。

在下文中，將參照隨附圖式具體描述本發明的較佳實施例。 第一實施例

第2A圖、第2B圖、第3A圖、及第3B圖係為圖示根據本發明的第一實施例的接觸器的視圖，其中第2A圖係為板狀圖案展開的從左側觀看的左側視圖與平面圖；第2B圖係為經由捲動處理而處理的接觸器的從頂部觀看的平面圖與前視圖；第3A圖係為經由捲動處理而處理的接觸器的透視圖；以及第3B圖係為利用填充物填充的混合型接觸器的從頂部觀看的平面圖與前視圖。

參照第2A圖、第2B圖、及第3A圖，根據本實施例的板狀圖案的接觸器100包括具有向上突出的上鋸齒部111的上頭部110、從上頭部110傾斜延伸至側向及向下方向的條帶的彈性部120、及具有向下突出的下鋸齒部131並形成為從彈性部120的下端延伸的下頭部130。

可以藉由以特定圖案沖切鈹銅（BeCu）、銅合金、或不銹鋼（SUS）、或類似者的板構件，隨後將板狀圖案彎曲成圓筒形來製造接觸器。此處，可以將Au、鈀（Pd）、鈀鎳（PdNi）、或鈀鈷（PdCo）鍍在接觸器的表面上。

上頭部110係藉由將板狀圖案捲成圓筒形而構成，而上鋸齒部111可以具有沿著上頭部110的邊緣向上突出的複數個齒狀物。

彈性部120可以是具有特定寬度的條帶，並螺旋彎曲成與上頭部110同軸的圓筒形。在此實施例中，彈性部120在其延伸區段中具有彎曲部123。此時，彎曲部123係指將方向彼此相反的條帶連接的區段。此時，彎曲部123係設置成允許條帶的局部區段中的寬度變寬或變窄，因此彎曲部在將條帶捲成圓筒形時作為中心點的操作點。

在此實施例中，彈性部120包括基於彎曲部123從上頭部110延伸的第一彈性部121以及基於彎曲部123從下頭部130延伸的第二彈性部122。第一彈性部121與第二彈性部122相對於彎曲部123垂直對稱，並在彼此相反的方向上延伸，因此第一彈性部121與第二彈性部122的捲繞方向彼此相反。

下頭部130與上頭部110同軸。換言之，下頭部130的軸線C係與上頭部110的軸線相同，而使得上頭部110、彈性部120、及下頭部130可以沿著單一軸線C定位。

隨後，如第3B圖所示，接觸器100允許圓筒形內部填充具有導電性及彈性的填充物140。作為參照，利用填充物填充的接觸器係指稱根據本發明的混合式接觸器。

本實施例中的填充物140可以是與導電顆粒混合的絕緣構件。舉例而言，導電粉末與絕緣矽粉末的混合物填充於接觸器的圓筒形內部內，熔化，然後固化，而藉此得到具有導電性及彈性的混合式接觸器。

同時，當混合物熔化及固化時可以使用模具。模具係形成為具有接收孔，而經由捲動處理而處理的接觸器插入並定位於接收孔中。藉由將混合物放入接觸器所插入的接收孔中，使混合物固化，隨後從模具中移除混合物，可以得到混合式接觸器。

導電顆粒可以是金屬材料顆粒，或者可以是金屬或非金屬顆粒表面上具有金、銀、鈀、鈀鎳、或鈀鈷（PdCo）、及類似者的顆粒，或者可以與碳奈米管混合等。

彈性聚合物材料可以作為構成填充物140的主絕緣材料。典型地，可以使用矽，但是本發明並不限於此。

此外，在此實施例中，儘管填充物140從上鋸齒部111到下鋸齒部131呈圓筒形填充，但填充物140亦可以根據需要僅填充於上頭部110與下頭部130之外的具有較高電阻的線圈區段120。 第二實施例

第4A圖、第4B圖、及第5圖係為圖示根據本發明的第二實施例的接觸器的視圖，其中第4A圖係為板狀圖案展開的從左側觀看的左側視圖與平面圖；第4B圖係為經由捲動處理而處理的接觸器的從頂部觀看的平面圖與前視圖；以及第5圖係為利用填充物填充的混合型接觸器的從頂部觀看的平面圖與前視圖。

參照第4A圖與及第4B圖，根據本實施例的板狀圖案的接觸器200包括具有向上突出的上鋸齒部211的上頭部210、從上頭部210傾斜延伸至側向及向下方向的條帶的彈性部220、及具有向下突出的下鋸齒部231並形成為從彈性部220的下端延伸的下頭部230。

上頭部210係藉由將板狀圖案捲成圓筒形而構成，而上鋸齒部211可以具有沿著上頭部210的邊緣向上突出的複數個齒狀物。

彈性部220可以是具有特定寬度的條帶，並螺旋彎曲成與上頭部210同軸的圓筒形。換言之，彈性部220的軸線C係與上頭部210的軸線相同。更特定言之，彈性部220具有在延伸區段中彎曲的結合部223。結合部223係設置成允許條帶的局部區段中的寬度變寬或變窄，因此結合部223在將條帶捲成圓筒形時作為操作點。

在此實施例中，彈性部220包括基於結合部223從上頭部210延伸的第一彈性部221以及基於結合部223從下頭部230延伸的第二彈性部222。第一彈性部221與第二彈性部222係以相同的傾斜角度延伸，因此第一彈性部221與第二彈性部222的纏繞方向相同。

下頭部230與上頭部210同軸。換言之，下頭部230的軸線C係與上頭部210的軸線相同，因此上頭部210、彈性部220、及下頭部230可以沿著單一軸線C定位。

隨後，如第5圖所示，藉由利用具有導電性及彈性的填充物240填充其圓筒形內部容積，可以得到作為混合式接觸器的接觸器200。

因為可以藉由利用導電粉末與絕緣矽粉末的混合物填充接觸器200的內部容積並如上述第一實施例中所描述而固化混合物來製造填充物240，而接觸器及填充物的材料與填充區段係與第一實施例相同，所以將省略其詳細描述。 第三實施例

第6A圖、第6B圖、及第7圖係為圖示根據本發明的第三實施例的接觸器的視圖，第6A圖係為板狀圖案的從左側觀看的左側視圖與平面圖；第6B圖係為經由捲動處理而處理的接觸器的從頂部觀看的平面圖與前視圖；以及第7圖係為利用填充物填充的混合型接觸器的從頂部觀看的平面圖與前視圖。

參照第6A圖與第6B圖，根據本實施例的板狀圖案的接觸器300包括具有向上突出的上鋸齒部311的上頭部310、從上頭部310傾斜延伸至側向及向下方向的條帶的彈性部320、及具有向下突出的下鋸齒部331並形成為從彈性部320的下端延伸的下頭部330。

上頭部310係藉由將板狀圖案捲成圓筒形而構成，而上鋸齒部311可以具有沿著上頭部310的邊緣向上突出的複數個齒狀物。

彈性部320可以是具有特定寬度的條帶，並螺旋彎曲成與上頭部310同軸的圓筒形。換言之，彈性部320的軸線C係與上頭部310的軸線相同，因此上頭部310與彈性部220具有相同尺寸的圓筒形。

同時，儘管第6B圖所示的彎曲成圓筒形的上頭部310與彈性部320具有相同尺寸的圓筒形，但是上頭部310與彈性部320可以具有彼此不同的尺寸。

與前述實施例不同，彈性部320係以特定寬度及傾斜角度延伸而沒有其他的部分，以允許彈性部320在一個捲繞方向上螺旋彎曲。

下頭部330係沿著與上頭部310的軸線相同的軸線C定位，因此上頭部310、彈性部320、及下頭部330可以沿著單一軸線C定位。

特定言之，不同於前面的實施例，下頭部330可以是圓筒形之外的板狀。此時，下頭部330的寬度比彈性部320的寬度稍大，因此下頭部330可以在將板構件圖案的彈性部捲成圓筒形時作為操作點。

如第7圖所示，藉由利用具有導電性及彈性的填充物340填充其圓筒形內部容積，接觸器300可以實施為混合式接觸器。較佳地，填充物340的下端係定位於與下鋸齒部331的高度相同的高度處，而類似地，填充物340的上端係定位於與上鋸齒部的高度相同的高度處，而使得由接觸器300定義的內部容積可以利用填充物340填充。 第四實施例

第8A圖、第8B圖、第9A圖、及第9B圖係為圖示根據本發明的第三實施例的接觸器的視圖，第8A圖係為板狀圖案的從左側觀看的左側視圖與平面圖；第8B圖係為經由捲動處理而處理的接觸器的從頂部觀看的平面圖與前視圖；第9A圖係為經由捲動處理而處理的接觸器的透視圖；以及第9B圖係為利用填充物填充的混合型接觸器的從頂部觀看的平面圖與前視圖。

參照第8A圖、第8B圖、及第9A圖，根據本實施例的板狀圖案的接觸器400包括具有向上突出的上鋸齒部411的上頭部410、以之字形從上頭部410延伸的條帶的彈性部420、及具有向下突出的下鋸齒部431並形成為從彈性部420的下端延伸的下頭部430。

上頭部410係藉由將板狀圖案捲成圓筒形而構成，而上鋸齒部411可以具有沿著上頭部410的邊緣向上突出的複數個齒狀物。

在此實施例中，彈性部420係為以之字形從上頭部410延伸的條帶，並包括從上頭部410傾斜延伸至側向及向下方向的第一彈性部411、相對於第一彈性部411的前端對稱而傾斜延伸的第二彈性部412、及分別經由所準備的彎曲部415從第二彈性部412相對於第二彈性部412與第一彈性部411對稱延伸的第三彈性部413與第四彈性部414。

較佳地，第一彈性部411與第二彈性部412藉由第一曲線部416a連接，而第三彈性部413與第四彈性部414藉由第二曲線部416b連接。

因此，在捲成圓筒形的彈性部420中，第一彈性部411與第三彈性部413以相同的方向纏繞，而第二彈性部412與第四彈性部414以相同的方向纏繞。同時，第一彈性部411與第三彈性部413以及第二彈性部412與第四彈性部414的纏繞方向彼此相反。

作為參照，條帶狀的彈性部可以形成為具有各種類型的部分。當條帶根據一部分類型局部彎曲時，若條帶具有逐漸變化的角度，則可以將其稱為「曲線部」，若條帶具有突然變化的角度，則可以將其稱為「彎曲部」，而若條帶以相同的角度延伸但具有特定階狀，則可以將其稱為「結合部」。

如上所述，此類部分可以在條帶的縱向上具有寬度的差異，並且可以在將板狀圖案的彈性部捲成圓筒形時作為施加力的操作點。此外，可以基於該部分改變相鄰彈性部的捲繞方向，或改變線圈狀彈性部的區段中的節距。因此，由於根據本發明的彈性部可以藉由使用該部分而可變地改變，所以可以實現接觸器所需的各種彈簧特性。

下頭部430與上頭部410同軸。換言之，下頭部430的軸線C係與上頭部410的軸線相同，因此上頭部410、彈性部420、及下頭部430可以沿著單一軸線C定位。

如第9B圖所示，藉由利用具有導電性及彈性的填充物440填充圓筒形內部容積，接觸器400可以實施為混合式接觸器。 第五實施例

第10A圖、第10B圖、及第11圖係為圖示根據本發明的第五實施例的接觸器的視圖，第10A圖係為板狀圖案的從左側觀看的左側視圖與平面圖；第10B圖係為經由捲動處理而處理的接觸器的從頂部觀看的平面圖與前視圖；以及第11圖係為利用填充物填充的混合型接觸器的從頂部觀看的平面圖與前視圖。

參照第10A圖與第10B圖，根據本實施例的板狀圖案的接觸器500包括具有向上突出的上鋸齒部511的上頭部510、以之字形從上頭部510傾斜延伸的條帶的彈性部520、及具有向下突出的下鋸齒部531並形成為從彈性部520的下端延伸的下頭部530。

特定言之，彈性部520包括在直條帶的局部區段中具有不同寬度的結合部521a，而此類結合部521a允許在將彈性部520捲成圓筒形時線圈形的彈性部520的區段具有彼此不同的節距（a1≠a2），藉此實現各種彈簧特性。

此外，如前述實施例中所述，彈性部520可以在延伸條帶的方向改變的區段中具有彎曲部522。

下頭部530與上頭部510同軸。換言之，下頭部530的軸線C係與上頭部510的軸線相同，因此上頭部510、彈性部520、及下頭部530可以沿著單一軸線C定位。

如第11圖所示，藉由利用具有導電性及彈性的填充物540填充圓筒形內部容積，接觸器500可以實施為混合式接觸器。 第六實施例

第12A圖、第12B圖、及第13圖係為圖示根據本發明的第六實施例的接觸器的視圖，第12A圖係為板狀圖案的從左側觀看的左側視圖與平面圖；第12B圖係為經由捲動處理而處理的接觸器的從頂部觀看的平面圖、前視圖、及底視圖；以及第13圖係為利用填充物填充的混合型接觸器的從頂部觀看的平面圖、前視圖、及底視圖。

參照第12A圖與第12B圖，根據本實施例的板狀圖案的接觸器600包括具有向上突出的上鋸齒部611的上頭部610、從上頭部610傾斜延伸至側向及向下方向的條帶的彈性部620、及具有向下突出的下鋸齒部631並形成為從彈性部620的下端延伸的下頭部630。

上頭部610係藉由將板狀圖案捲成圓筒形而構成，而上鋸齒部611可以具有沿著上頭部610的邊緣向上突出的複數個齒狀物。

彈性部620可以是具有特定寬度的條帶，並螺旋彎曲成與上頭部610同軸的圓筒形。換言之，彈性部620的軸線C係與上頭部610的軸線相同。

特定言之，根據此實施例，下頭部630相對於板狀圖案的平面P具有特定傾斜角度θ1，並且透過以該圓筒形為其中心的彎曲處理來處理，藉此具有圓錐形。

參照第13圖，接觸器600允許其圓筒形內部容積填充具有導電性及彈性的填充物640。 第七實施例

第14A圖、第14B圖、及第15圖係為圖示根據本發明的第七實施例的接觸器的視圖，第14A圖係為板狀圖案的從左側觀看的左側視圖與平面圖；第14B圖係為經由捲動處理而處理的接觸器的從頂部觀看的平面圖與前視圖；以及第15圖係為利用填充物填充的混合型接觸器的從頂部觀看的平面圖與前視圖。

參照第14A圖與第14B圖，根據本實施例的板狀圖案的接觸器700包括具有向上突出的上鋸齒部711的上頭部710、從上頭部710傾斜延伸至側向及向下方向的條帶的彈性部720、及具有向下突出的下鋸齒部731並形成為從彈性部720的下端延伸的下頭部730。

特定言之，根據此實施例，上鋸齒部711包括複數個齒狀物，並相對於板狀圖案的平面具有特定傾斜角度θ2，隨後以該圓筒形為其中心來彎曲，因此上鋸齒部711具有圓錐形。此外，下鋸齒部731包括複數個齒狀物，並相對於板狀圖案的平面具有特定傾斜角度θ3，隨後以該圓筒形為其中心來彎曲，因此上鋸齒部711具有圓錐形。

參照第15圖，接觸器700允許其圓筒形內部容積填充具有導電性及彈性的填充物740。 第八實施例

第16A圖、第16B圖、第17A圖、及第17B圖係為圖示根據本發明的第八實施例的接觸器的視圖，第16A圖係為板狀圖案的從左側觀看的左側視圖與平面圖；第16B圖係為經由捲動處理而處理的接觸器的從頂部觀看的平面圖與前視圖；第17A圖係為利用填充物填充的混合型接觸器的透視圖；以及第17B圖係依序為從頂部觀看的平面圖與前視圖。

參照第16A圖、第16B圖、第17A圖、及第17B圖，根據本實施例的板狀圖案的接觸器800包括具有向上突出的上鋸齒部811的上頭部810、從上頭部810傾斜延伸至側向及向下方向的條帶的彈性部820、及具有向下突出的下鋸齒部831並形成為從彈性部820的下端延伸的下頭部830。

特定言之，根據此實施例，上鋸齒部811與下鋸齒部831包括複數個齒狀物，而上鋸齒部811與下鋸齒部831螺旋纏繞至少一圈，因此上鋸齒部811與下鋸齒部831可以具有平面圖所見的螺旋纏繞結構。

參照第17圖，接觸器800允許其圓筒形內部容積填充具有導電性及彈性的填充物840。 第九實施例

第18A圖、第18B圖、及第19圖係為圖示根據本發明的第九實施例的接觸器的視圖，第18A圖係為板狀圖案的從左側觀看的左側視圖與平面圖；第18B圖係為經由捲動處理而處理的接觸器的從頂部觀看的平面圖與前視圖；以及第19圖係為利用填充物填充的混合型接觸器的從頂部觀看的平面圖與前視圖。

參照第18A圖與第18B圖，根據此實施例的板狀圖案的接觸器900包括：第一彈性部910，藉由使用第一部分912將相同尺寸的複數個閉環條帶911串聯連接並藉由將閉環條帶911彎曲成圓筒形而形成；第二彈性部920，藉由使用第二部分922將與第一彈性部的閉環條帶的尺寸相同的尺寸的複數個閉環條帶911串聯連接並藉由將閉環條帶彎曲成圓筒形而形成；彎曲部930，具有比第一部分912與第二部分922的寬度與長度更大的寬度與長度，並將閉環條帶在第一彈性部910與第二彈性部920的最下端與最上端串聯連接；上頭部942，具有向上突出的上鋸齒部941，並從第一彈性部910的最上端延伸且彎曲成圓筒形；以及下頭部952，具有向下突出的下鋸齒部951，並從第二彈性部920的最下端延伸且彎曲成圓筒形。

根據此實施例的形成第一彈性部910與第二彈性部920的所有閉環條帶911、921具有相同的尺寸與大致矩形的形狀，而相鄰的閉環條帶911、921係藉由單一部分912、922串聯連接。儘管第一部分912與第二部分922具有與實例相同的長度與寬度，但是長度與寬度可以彼此不同。

此外，儘管因為根據此實施例的形成第一彈性部910的閉環條帶的數量與形成第二彈性部920的閉環條帶的數量相同，所以閉環條帶相對於彎曲部930而對稱，但是形成每一彈性部的閉環條帶的數量可以彼此不同。

儘管上頭部942與下頭部952具有與彈性部910、920相同的單位條帶（閉環條帶）的結構，但是可以使用閉環條帶之外的包括但不限於矩形條帶的各種形狀。

上鋸齒部941與下鋸齒部951分別包括複數個齒狀物，而上鋸齒部941與下鋸齒部951可以允許複數個齒，以具有圓錐形。（參照第六實施例以及第12A圖與第12B圖）

第一彈性部910與第二彈性部920以彎曲部930作為操作的參考點而彎曲成圓筒形。此時，上頭部942與下頭部952可以具有比彈性部910、920的寬度更大的寬度，以及可以具有螺旋纏繞至少一圈的結構。（參照第八實施例以及第16A圖與第16B圖）

參照第19圖，接觸器可以允許圓筒形內部容積填充具有導電性及彈性的填充物960。 第十實施例

第20A圖、第20B圖、及第21圖係為圖示根據本發明的第九實施例的接觸器的視圖，第20A圖係為板狀圖案的從左側觀看的左側視圖與平面圖；第20B圖係為經由捲動處理而處理的接觸器的從頂部觀看的平面圖與前視圖；以及第21圖係為利用填充物填充的混合型接觸器的從頂部觀看的平面圖與前視圖。

參照第20A圖與第20B圖，根據此實施例的板狀圖案的接觸器1100包括：第一彈性部1110，藉由將水平條帶1111與垂直條帶1112的單位條帶1111、1112以之字形連接而形成；第二彈性部1120，藉由將具有與第一彈性部的結構及尺寸相同的結構及尺寸的單位條帶1121、1122以之字形連接而形成；彎曲部1130，具有比第一彈性部1110與第二彈性部1120中的垂直條帶1112、1122的寬度與長度更大的寬度與長度，並在第一彈性部1110與第二彈性部1120中之每一者的最下端與最上端處且在水平條帶的中心處將水平條帶彼此垂直連接；上頭部1142，具有向上突出的上鋸齒部1141，並從第一彈性部1110的最上端延伸且彎曲成圓筒形；以及下頭部1152，具有向下突出的下鋸齒部1151，並從第二彈性部1120的最下端延伸且彎曲成圓筒形。

第一彈性部1110包括水平條帶1111與垂直條帶1112的單位條帶，垂直條帶1112從水平條帶1111的一端垂直延伸，且具有比水平條帶1111的長度更短的長度，而複數個單位條帶1111、1112係以之字形連接。

第二彈性部1120亦具有與第一彈性部1110相同的結構及尺寸，而複數個單位條帶1121、1122係以之字形連接。

彎曲部1130的寬度與長度大於第一彈性部1110與第二彈性部1120中的垂直條帶1112、1122的寬度與長度，並允許在第一彈性部1110與第二彈性部1120中之每一者的最下端與最上端中的水平條帶在水平條帶的中心區域處彼此垂直連接，而此處彎曲部1130作為在經由捲動處理而處理時的彈性部1110、1120的操作的參考點。

儘管上頭部1142及下頭部1152係與彈性部1110、1120的水平條帶1111、1121相同，但不限於此，其寬度及長度可以變化。

上鋸齒部1141與下鋸齒部1151分別包括複數個齒狀物，而上鋸齒部1141與下鋸齒部1151可以允許複數個齒，以具有圓錐形。（參照第六實施例以及第12A圖與第12B圖）

第一彈性部1110與第二彈性部1120以彎曲部1130作為操作的參考點而彎曲成圓筒形，而此處上頭部1142與下頭部1152可以具有比彈性部1110、1120更大的寬度，且可以具有螺旋纏繞至少一圈的結構。（參照第八實施例以及第16A圖與第16B圖）

參照第20A圖與第20B圖，接觸器1100可以允許圓筒形內部容積填充具有導電性及彈性的填充物1160。

以下將描述體現接觸器的測試插槽。 測試插槽的第一實施例

第22A圖與第22B圖係為圖示根據本發明的第一實施例的測試插槽的視圖，其中第22A圖係為平面圖，而第22B圖係為截面圖。

參照第22A圖與第22B圖，此實施例的測試插槽2100包括安裝部2120與彈性絕緣主體部2130，安裝部2120具有對應於裝置20的引線21的複數個通孔2121，以用於允許接觸器2110被容納及定位於其中，彈性絕緣主體部2130整體地托持接觸器2110與安裝部2120。

安裝部2120係為絕緣板，並具有對應於裝置20的引線21的複數個通孔2121，以用於允許接觸器2110的部分底部插入其中，並允許絕緣主體部2130在其頂部。

元件符號2122標示用於將測試插槽導引到組裝位置的導引孔，而元件符號2123標示用於安裝測試插槽的螺釘孔。

在此實施例中，使用藉由將其捲成上述圓筒形而整體形成的接觸器，以作為接觸器2110。

絕緣主體部2130係為整體地托持接觸器2110與安裝部2120的彈性絕緣構件，其中裝置20係放置在其頂表面上。

可以使用絕緣矽液體提供絕緣主體部2130。舉例而言，將接觸器2110組裝到安裝部2120的通孔2121中，隨後使用用於模製絕緣主體部2130的模具，而可以藉由將矽液體放入模具中，將其固化，隨後將其從模具中移取，以製造整體地托持安裝部2120與接觸器2110的絕緣主體部2130。

較佳地，接觸器2110的下鋸齒部突出通孔外部特定長度b1，藉此實現與測試裝置的焊盤的有效接觸。同時，接觸器2110的上鋸齒部突出絕緣主體部2130的面向裝置20的頂表面外部特定長度，藉此實現與裝置20的引線21的有效接觸。 測試插槽的第二實施例

第23A圖與第23B圖係為圖示根據本發明的第二實施例的測試插槽的視圖，其中第23A圖係為平面圖，而第23B圖係為截面圖。

參照第23A圖與第23B圖，根據此實施例的測試插槽2200包括安裝部2220與彈性絕緣主體部2230，安裝部2220具有對應於裝置20的引線21的複數個通孔，以用於允許混合式接觸器2210被容納及定位於其中，彈性絕緣主體部2230整體地托持混合式接觸器2210與安裝部2220。

安裝部2220係為絕緣板，並具有對應於裝置20的引線21的複數個通孔2221，以用於允許混合式接觸器2210的部分底部插入其中，並允許絕緣主體部2230在其頂部。

具體而言，在此實施例中，混合式接觸器2210的特徵在於具有導電性及彈性的填充物係填充於如上所述藉由將接觸器捲成圓筒形而整體形成的接觸器內。

絕緣主體部2230係為整體地托持混合式接觸器2210與安裝部2220的彈性絕緣構件，其中裝置20係放置在其頂表面上。

如前所述，藉由使絕緣矽液體固化，絕緣主體部2230整體地托持安裝部2120與混合式接觸器2210。

較佳地，接觸器2210的下鋸齒部從通孔朝外突出特定長度b1，藉此實現與測試裝置的焊盤的有效接觸。同時，接觸器2210的上鋸齒部突出絕緣主體部2230面向裝置20的頂表面外部特定長度，藉此實現與裝置20的引線21的有效接觸。

儘管已參照示例性實施例與圖式描述本發明，但是應理解，本發明並不限於此，而該領域具有通常知識者可以在不悖離本發明的精神及範圍的情況下進行各種改變及修改。在所附請求項的範圍內可以進行各種修改及變化。

10:銷型測試插槽 11:插槽主體 12:接觸銷 13:外罩 14:閂鎖 14a:導引槽 15:移動連桿 15a:導引銷 16:螺旋彈簧 20:裝置 21:引線 30:橡膠型測試插槽 31:連接器主體 32:導電矽部分 100:接觸器 110:上頭部 111:上鋸齒部 120:彈性部 121:第一彈性部 122:第二彈性部 123:彎曲部 130:下頭部 131:下鋸齒部 140:填充物 200:接觸器 210:上頭部 211:上鋸齒部 220:彈性部 221:第一彈性部 222:第二彈性部 223:結合部 230:下頭部 231:下鋸齒部 240:填充物 300:接觸器 310:上頭部 311:上鋸齒部 320:彈性部 330:下頭部 331:下鋸齒部 340:填充物 400:接觸器 410:上頭部 411:第一彈性部 412:第二彈性部 413:第三彈性部 414:第一彈性部 415:第二彈性部 416a:第一曲線部 416b:第二曲線部 420:彈性部 430:下頭部 431:下鋸齒部 440:填充物 500:接觸器 510:上頭部 511:上鋸齒部 520:彈性部 521a:結合部 522:彎曲部 530:下頭部 531:下鋸齒部 540:填充物 600:接觸器 610:上頭部 611:上鋸齒部 620:彈性部 630:下頭部 631:下鋸齒部 640:填充物 700:接觸器 710:上頭部 711:上鋸齒部 720:彈性部 730:下頭部 731:下鋸齒部 740:填充物 800:接觸器 810:上頭部 811:上鋸齒部 820:彈性部 830:下頭部 831:下鋸齒部 840:填充物 900:接觸器 910:第一彈性部 911:閉環條帶 912:第一部分 920:第二彈性部 921:閉環條帶 922:第二部分 930:彎曲部 941:上鋸齒部 942:上頭部 951:下鋸齒部 952:下頭部 960:填充物 1100:接觸器 1110:第一彈性部 1111:水平條帶 1112:垂直條帶 1120:第二彈性部 1121:水平條帶 1122:垂直條帶 1130:彎曲部 1141:上鋸齒部 1142:上頭部 1151:下鋸齒部 1152:下頭部 1160:填充物 2100:測試插槽 2110:接觸器 2120:安裝部 2121:通孔 2122:導引孔 2123:螺釘孔 2130:彈性絕緣主體部 2200:測試插槽 2210:混合式接觸器 2220:安裝部 2221:通孔 2230:彈性絕緣主體部

結合隨附圖式，從下面的詳細描述中，將更清楚地理解本發明的上述及其他目的、特徵、及其他優點，其中：

第1A圖與第1B圖分別為一般的銷型與橡膠型測試插槽的橫截面圖；

第2A圖、第2B圖、第3A圖、及第3B圖係為圖示根據本發明的第一實施例的接觸器的視圖；

第4A圖、第4B圖、及第5圖係為圖示根據本發明的第二實施例的接觸器的視圖；

第6A圖、第6B圖、及第7圖係為圖示根據本發明的第三實施例的接觸器的視圖；

第8A圖、第8B圖、第9A圖、及第9B圖係為圖示根據本發明的第四實施例的接觸器的視圖；

第10A圖、第10B圖、及第11圖係為圖示根據本發明的第五實施例的接觸器的視圖；

第12A圖、第12B圖、及第13圖係為圖示根據本發明的第六實施例的接觸器的視圖；

第14A圖、第14B圖、及第15圖係為圖示根據本發明的第七實施例的接觸器的視圖；

第16A圖、第16B圖、第17A圖、及第17B圖係為圖示根據本發明的第八實施例的接觸器的視圖；

第18A圖、第18B圖、及第19圖係為圖示根據本發明的第九實施例的接觸器的視圖；

第20A圖、第20B圖、及第21圖係為圖示根據本發明的第十實施例的接觸器的視圖；

第22A圖與第22B圖係為圖示根據本發明的第一實施例的測試插槽的視圖；以及

第23A圖與第23B圖係為圖示根據本發明的第二實施例的測試插槽的視圖。

國內寄存資訊(請依寄存機構、日期、號碼順序註記) 無 國外寄存資訊(請依寄存國家、機構、日期、號碼順序註記) 無

100:接觸器

110:上頭部

111:上鋸齒部

120:彈性部

121:第一彈性部

122:第二彈性部

123:彎曲部

130:下頭部

131:下鋸齒部

Claims (31)

1. 一種藉由沖切一金屬板構件並將經沖切的該金屬板構件捲成一圓筒形而整體形成的接觸器，該接觸器包含： 一上頭部，形成為一圓筒形，並具有向上突出的一上鋸齒部； 一彈性部，從該上頭部傾斜延伸至一側向及向下方向，並由螺旋彎曲成一圓筒形的一條帶形成，以與該上頭部同軸； 一下頭部，具有向下突出的一下鋸齒部，並從該彈性部的一下端垂直延伸，以與該彈性部同軸；以及 具有導電性與彈性的一填充物，該填充物填充呈一圓筒形的該上頭部與該下頭部之間的至少一線圈區段。
2. 如請求項1所述之接觸器，其中該彈性部在一延伸區段中具有一個以上的彎曲部。
3. 如請求項2所述之接觸器，其中該彈性部包含： 一第一彈性部，從該上頭部延伸到該彎曲部；以及 一第二彈性部，從該下頭部延伸到該彎曲部。
4. 如請求項3所述之接觸器，其中該第一彈性部與該第二彈性部沿著一相同方向延伸，以造成該第一彈性部與該第二彈性部的纏繞方向相同。
5. 如請求項3所述之接觸器，其中該第一彈性部與該第二彈性部沿著彼此相反的方向延伸，以造成該第一彈性部與該第二彈性部的纏繞方向彼此相反。
6. 如請求項1所述之接觸器，其中該彈性部包括一彎曲部，該彎曲部係以突然變化的一角度局部彎曲，並沿著該條帶的一縱向方向具有一寬度的一差異。
7. 如請求項1所述之接觸器，其中該彈性部包括一曲線部，該曲線部以逐漸變化的一角度局部彎曲。
8. 如請求項1所述之接觸器，其中該彈性部包括一結合部，該結合部具有沿著相同方向延伸的該條帶中的一階狀，並沿著該條帶的一縱向方向具有一寬度的一差異。
9. 如請求項1所述之接觸器，其中該下頭部從該彈性部的一下端整體地延伸，並具有一圓筒形。
10. 如請求項1所述之接觸器，其中該上鋸齒部包含向上突出的複數個齒狀物。
11. 如請求項10所述之接觸器，其中該上鋸齒部的該等複數個齒狀物形成一圓錐形。
12. 如請求項10所述之接觸器，其中該上鋸齒部具有螺旋纏繞至少一圈的一圓筒形。
13. 如請求項9所述之接觸器，其中該下鋸齒部包含向下突出的複數個齒狀物。
14. 如請求項13所述之接觸器，其中該下鋸齒部的該等複數個齒狀物形成一圓錐形。
15. 如請求項14所述之接觸器，其中該下鋸齒部具有螺旋纏繞至少一圈的一圓筒形。
16. 一種藉由沖切一金屬板構件並將該金屬板構件捲成一圓筒形而整體形成的接觸器，該接觸器包含： 一第一彈性部，藉由使用一第一部分將一相同尺寸的複數個閉環條帶串聯連接並藉由將該等閉環條帶彎曲成一圓筒形而形成； 一第二彈性部，藉由使用一第二部分將與該第一彈性部的該等閉環條帶的該尺寸相同的該尺寸的複數個閉環條帶串聯連接並藉由將閉環條帶彎曲成一圓筒形而形成； 一彎曲部，具有比該第一部分與該第二部分的寬度與長度更大的一寬度與一長度，並將該等閉環條帶在該第一彈性部與該第二彈性部的一最下端與一最上端串聯連接； 一上頭部，具有向上突出的一上鋸齒部，並從該第一彈性部的該最上端延伸且彎曲成一圓筒形； 一下頭部，具有向下突出的一下鋸齒部，並從該第二彈性部的該最下端延伸且彎曲成一圓筒形；以及 具有導電性與彈性的一填充物，該填充物填充呈一圓筒形的該上頭部與該下頭部之間的至少一線圈區段。
17. 如請求項16所述之接觸器，其中該上鋸齒部包含向上突出的複數個齒狀物。
18. 如請求項17所述之接觸器，其中該上鋸齒部的該等複數個齒狀物形成一圓錐形。
19. 如請求項16所述之接觸器，其中該上鋸齒部具有螺旋纏繞至少一圈的一圓筒形。
20. 如請求項16所述之接觸器，其中該下鋸齒部包含向下突出的複數個齒狀物。
21. 如請求項20所述之接觸器，其中該下鋸齒部的該等複數個齒狀物形成一圓錐形。
22. 如請求項16所述之接觸器，其中該下鋸齒部具有螺旋纏繞至少一圈的一圓筒形。
23. 一種藉由沖切一金屬板構件並將該金屬板構件捲成一圓筒形而整體形成的接觸器，該接觸器包含： 一第一彈性部，藉由將一水平條帶與一垂直條帶的單位條帶以一之字形連接並將該等單位條帶彎曲成一圓筒形而形成，該垂直條帶從該水平條帶的一端垂直延伸且具有比該水平條帶的一長度更短的一長度； 一第二彈性部，藉由將具有與該第一彈性部的一結構及一尺寸相同的一結構及一尺寸的單位條帶以一之字形連接並將該等單位條帶彎曲成一圓筒形而形成； 一彎曲部，具有比該第一彈性部與該第二彈性部中的該等垂直條帶的寬度與長度更大的一寬度與一長度，並在該第一彈性部與該第二彈性部中之每一者的一最下端與一最上端處且在該等水平條帶的中心處將該等水平條帶彼此垂直連接； 一上頭部，具有向上突出的一上鋸齒部，並從該第一彈性部的該最上端延伸且彎曲成一圓筒形； 一下頭部，具有向下突出的一下鋸齒部，並從該第二彈性部的該最下端延伸且彎曲成一圓筒形；以及 具有導電性與彈性的一填充物，該填充物填充呈一圓筒形的該上頭部與該下頭部之間的至少一線圈區段。
24. 如請求項23所述之接觸器，其中該上鋸齒部包含向上突出的複數個齒狀物。
25. 如請求項24所述之接觸器，其中該上鋸齒部的該等複數個齒狀物形成一圓錐形。
26. 如請求項23所述之接觸器，其中該上鋸齒部具有螺旋纏繞至少一圈的一圓筒形。
27. 如請求項23所述之接觸器，其中該下鋸齒部包含向下突出的複數個齒狀物。
28. 如請求項27所述之接觸器，其中該下鋸齒部的該等複數個齒狀物形成一圓錐形。
29. 如請求項23所述之接觸器，其中該下鋸齒部具有螺旋纏繞至少一圈的一圓筒形。
30. 一種包含如請求項1至29中之任一者所述之接觸器的測試插槽，該測試插槽包含： 一安裝部，具有對應於一裝置的引線的複數個通孔，以用於允許該接觸器被容納並定位於其中；以及 一彈性絕緣主體部，整體地托持該接觸器與該安裝部。
31. 如請求項30所述之測試插槽，其中該接觸器包括突出該通孔外部的一下鋸齒部以及突出該絕緣主體的面向該裝置的一上表面外部的一上鋸齒部。

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