JP2020524288A - 半導体デバイステスト用コンタクト及びテストソケット装置 - Google Patents

Abstract

本発明は、半導体デバイスをテストするためのコンタクト及びソケット装置に関し、本発明のコンタクトは、金属板材を打ち抜きし、曲げて一体に構成されたスプリングコンタクトであって、一定のパターンの多様なストリップからなる弾性部と、弾性部の両端にそれぞれ設けられた尖端部とを含み、好ましくは、空間体積内に導電性と弾性を有するフィラーが充填されることにより、耐久性と電気的特性に優れる。また、本発明に係るテストソケットは、上述したコンタクトを採用したラバータイプであって、ファインピッチ用デバイスのテストに適するという効果がある。【選択図】図２３

Description

本発明は、半導体デバイスをテストするためのコンタクト及びソケット装置に関し、より詳細には、ＩＣをテストするためのテストソケットに内蔵され、ＩＣの端子（ｌｅａｄ）とＰＣＢのパッド（ｐａｄ）とを電気的に接続したり、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）や携帯電話などの電子製品の内部にあるＰＣＢとＣＰＵなどのＩＣの端子同士を電気的に接続させたりするように、接点、端子同士間の電気的接続のためのコンタクト及びソケット装置に関する。

テストソケットは、半導体後工程の段階において半導体デバイスの不良を検査するための部品であって、最終端でデバイスと接触し、テスト工程中にテスト装置とテストボードを介して伝達される信号をデバイスへ伝達するための部品である。
テストソケットは、個別デバイスが正確な位置へ移動してテストボードとの正確な接触が行われる機械的接触、及び信号伝達の際に接触点で信号歪みなく伝達することができるように安定した電気的接触特性が求められる。
このようなテストソケットは、反復的なテスト工程によって機械的、電気的特性が低下する消耗部品であるため、その寿命を延長して使用可能な回数を増やすことにより、テスト工程のコスト削減が切実に求められる。
一方、テストソケットの寿命を決定する最大の原因としては、二つが挙げられる。第一の原因として、機械的部分での不安定な接触によりソケットが破損してしまうという問題があり、第二の原因として、持続的な接触により接触部位の汚染が接触抵抗を上昇させて電気的特性を不安定にするという問題がある。

一般に使用されるテストソケットは、半導体デバイスとテスト装置とを接続する導電性手段の形態によって、ピン（ｐｉｎ）タイプとラバー（ｒｕｂｂｅｒ）タイプに区分される。
図１の（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、一般的なピンタイプとラバータイプのテストソケットの断面構成図である。

図１の（ａ）を参照すると、ピンタイプのテストソケット１０は、屈曲形成されて弾性を有する多数のコンタクトピン１２が設けられたソケット本体１１と、ソケット本体１１の上部に設けられ、上下遊動可能なカバー１３と、カバー１３の上下移動と連動してデバイス２０の固定または固定解除が行われるように、ソケット本体１１に回動自在に組み立てられるラッチ１４とを含む。
コンタクトピン１２は、上下方向に弾性を有し、デバイスの端子とテスト装置のパッドとを電気的に接続する役割を果たし、デバイスの端子とテスト装置のパッドの材質と形状に応じて様々なコンタクトピンが提案されており、例えば、プランジャー、バレル及びスプリングからなるポゴピンがある。
ラッチ１４にはガイドスロット１４ａが設けられ、このガイドスロット１４ａにはガイドピン１５ａが締結され、このガイドピン１５ａは、一端がカバー１３とヒンジ締結される駆動リンク１５に固定される。カバー１３は、コイルバネ１６によって弾性支持される。
このように構成されたピンタイプのテストソケット１０は、カバー１３を押すと、ラッチ１４が外側に広がりながらデバイス２０のロードが可能であり、カバー１３を放すと、コイルバネ１６の弾性復元力によってラッチ１４がデバイス２０の上部を押圧して固定が行われる。
しかし、このようなピンタイプのテストソケットは、コンタクトピン１２が弾性を有するために螺旋型または曲線型の構造を持つことにより、通電路（電流パス、ｃｕｒｒｅｎｔ ｐａｔｈ）が長くなり信号損失の問題があるだけでなく、超高周波帯域で不利な構造である。また、ファインピッチのテストソケットでは、コンタクトピン１２が収納されるハウジング構造の製造過程が複雑になり、コストが大幅に増加するという問題点がある。

次に、図１の（ｂ）を参照すると、ラバータイプのテストソケット３０は、絶縁性シリコン粉末が固形化されて伸縮性を有するコネクタ本体３１と、デバイス２０の半田ボール（端子）２１に対応してコネクタ本体３１に垂直に貫通形成される導電性シリコン部３２とを含む。導電性シリコン部３２は、コネクタ本体３１を垂直に貫通して略円筒状をする。
このようなラバータイプのテストソケットの製造方法を説明すると、絶縁性粉末と導電性粉末とが所定の割合で混合されたシリコン混合物を金型内に入れて溶融させた後、導電性シリコン部３２が形成されるべき位置に通電をさせると、シリコン混合物の導電性粉末が通電位置に集まるようになり、最終的に、溶融されたシリコン混合物を固形化させて導電性シリコン部３２の形成されたテストソケット３０を得る。
このように製作されたテストソケット３０は、テスト装置が下部に位置して、導電性シリコン部３２の下端はパッドに接触し、導電性シリコン部３２の上端はデバイス２０が上端から所定の圧力で加圧されて半田ボール２１と電気的に接触する。
このようなラバータイプのテストソケット３０は、ソフトな素材で弾性を有するため、導電性シリコン部３２の上面は半田ボール２１を包みながら、安定した電気的接触が行われる。この時、導電性シリコン部３２は、中心部分が凸状に膨張する。
しかし、このようなラバータイプのテストソケット３０は、反復的なテスト過程で弾性力が失われて使用寿命が著しく低下するという欠点がある。よって、使用回数が短く頻繁な交換によるコスト増加が発生する。

特にラバータイプのテストソケットは、ファインピッチのデバイスにおいて隣接する導電性シリコン部３２間の十分な絶縁距離Ｌの確保が容易ではないため、ショートが発生する可能性が高い。
具体的には、ファインピッチのデバイス用テストソケットでは、導電性シリコン部３２間の距離が非常に短くなる場合に導電性シリコン部３２間の十分な絶縁距離Ｌの確保が非常に重要である。
しかし、前述したように、ラバータイプのテストソケット３０は、絶縁性粉末と導電性粉末とが混合されたシリコン混合溶融物に電圧を印加して通電路（ｃｕｒｒｅｎｔ ｐａｔｈ）に沿って導電性粉末が集まって導電性シリコン部３２を形成する。よって、通電路に沿って集まる導電性粉末は正確に定義されたサイズｄ内に分布せず、導電性粉末の密度Ｄは連続的に減少する区間δを有する。
したがって、ラバータイプのテストソケット３０は、導電性シリコン部３２が正確に定義された直径ｄではない一定の減衰区間δを有し、隣接する導電性シリコン部３２間の絶縁距離Ｌは相当短くなるという問題点がある。これは、ファインピッチ用テストソケットに使用するには相当不利である。
また、ラバータイプのテストソケットは、製造プロセス中にシリコン混合溶融物に電圧を印加して通電路に沿って十分な導電性粉末の密度を得るためには相当の時間の間に電圧を印加しなければならないので、製作工程が長くなるという欠点がある。

そこで、本発明者は、従来技術のピン（ｐｉｎ）タイプとラバー（ｒｕｂｂｅｒ）タイプの欠点を補完し利点を組み合わせることができる新しいタイプのハイブリッドコンタクトとテストソケット装置を開発し、これを特許出願しようとするのである。

韓国公開特許公報第１０−２００６−００６２８２４号（公開日：２００６年６月１２日）

本発明は、かかる従来技術の問題点を改善するためのもので、特に、従来技術のピンタイプとラバータイプのテストソケット装置の欠点を補完して電気的特性に優れ且つ使用寿命を延長することができるファインピッチのデバイスに適したテストソケット装置を提供しようとする。
また、本発明は、このようなファインピッチのデバイス用テストソケット装置に適した構造を持つコンタクトを提供しようとする。

本発明の一形態に係るコンタクトは、金属板材を打ち抜きし、円筒状にローリングして一体に構成されたコンタクトであって、上方に突出する上側尖端部が設けられ、円筒状からなる上側頭部と、前記上側頭部から側下方に傾斜をもって延び、らせん状の円筒形状に曲げられたストリップからなり、前記上側頭部と同一軸上に設けられる弾性部と、下方に突出する下側尖端部が設けられ、前記弾性部の下側先端から垂直に延びて前記弾性部と同一軸上に設けられる下側頭部とを含む。

本発明の他の形態に係るコンタクトは、金属板材を打ち抜きし、円筒状にローリングして一体に構成されたコンタクトであって、複数の同一サイズの閉ループストリップが第１ノードによって直列に連結され、円筒状に曲げられた第１弾性部と、前記閉ループストリップと同じサイズを有する複数の閉ループストリップが第２ノードによって直列に連結され、円筒状に曲げられた第２弾性部と、前記第１ノードと前記第２ノードよりもさらに長い幅及び長さを有し、前記第１弾性部と前記第２弾性部のそれぞれの最下端と最上端の閉ループストリップを直列に連結する折曲ノードと、上方に突出する上側尖端部が設けられ、前記第１弾性部の最上端から延びて円筒状に曲げられる上側頭部と、下方に突出する下側尖端部が設けられ、前記第２弾性部の最下端から延びて円筒状に曲げられる下側頭部とを含む。

本発明の別の形態によるコンタクトは、金属板材を打ち抜きし、円筒状にローリングして一体に構成されたコンタクトであって、水平ストリップと、前記水平ストリップの一端から垂直に延び、前記水平ストリップよりは長さが短い垂直ストリップとからなる単位ストリップがジグザグ状に連結されて円筒状に曲げられる第１弾性部と、前記第１弾性部と同じ構造及びサイズを持つ単位ストリップがジグザグ状に連結されて円筒状に曲げられる第２弾性部と、前記第１弾性部と前記第２弾性部を構成する垂直ストリップよりもさらに長い幅及び長さを有し、前記第１弾性部と前記第２弾性部のそれぞれの最下端と最上端の水平ストリップの中央を垂直に連結する折曲ノードと、上方に突出する上側尖端部が設けられ、前記第１弾性部の最上端から延びて円筒状に曲げられる上側頭部と、下方に突出する下側尖端部が設けられ、前記第２弾性部の最下端から延びて円筒状に曲げられる下側頭部とを含む。

好ましくは、少なくとも前記上側頭部と前記下側頭部との間のコイル部区間に円筒状に充填され、導電性と弾性を有するフィラーをさらに含む。

また、本発明に係るテストソケットは、上述したコンタクトを含むテストソケットに関するもので、デバイスの端子と対応して、前記コンタクトが収納位置する複数の貫通孔が設けられたマウント部と、前記コンタクトを前記マウント部と一体に固定する弾性を有する絶縁体部とを含む。

本発明のコンタクトは、金属板材を打ち抜きし、曲げて一体に構成されたスプリングコンタクトであって、一定のパターンの単一または閉ループストリップからなる弾性部と、弾性部の両端にそれぞれ設けられた尖端部とを含み、好ましくは、空間体積内に導電性と弾性を有するフィラーが充填されることにより、従来技術のピンタイプとラバータイプのテストソケット装置のそれぞれの欠点を補完し、電気的特性が優れるうえ、使用寿命を延長することができるという効果がある。

また、本発明に係るテストソケットは、上述したコンタクトを採用したラバータイプであって、従来技術のラバータイプのテストソケット装置の欠点を補完し、特にファインピッチ用デバイスのテストに適するという効果がある。

（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ、一般なピンタイプとラバータイプのテストソケットの断面構成図である。 本発明の第１実施形態に係るコンタクトを示す図である。 本発明の第１実施形態に係るコンタクトを示す図である。 本発明の第２実施形態に係るコンタクトを示す図である。 本発明の第２実施形態に係るコンタクトを示す図である。 本発明の第３実施形態に係るコンタクトを示す図である。 本発明の第３実施形態に係るコンタクトを示す図である。 本発明の第４実施形態に係るコンタクトを示す図である。 本発明の第４実施形態に係るコンタクトを示す図である。 本発明の第５実施形態に係るコンタクトを示す図である。 本発明の第５実施形態に係るコンタクトを示す図である。 本発明の第６実施形態に係るコンタクトを示す図である。 本発明の第６実施形態に係るコンタクトを示す図である。 本発明の第７実施形態に係るコンタクトを示す図である。 本発明の第７実施形態に係るコンタクトを示す図である。 本発明の第８実施形態に係るコンタクトを示す図である。 本発明の第８実施形態に係るコンタクトを示す図である。 本発明の第９実施形態に係るコンタクトを示す図である。 本発明の第９実施形態に係るコンタクトを示す図である。 本発明の第１０実施形態に係るコンタクトを示す図である。 本発明の第１０実施形態に係るコンタクトを示す図である。 本発明の第１実施形態に係るテストソケットを示す図である。 本発明の第２実施形態に係るテストソケットを示す図である。

まず、本明細書及び請求の範囲に使用された用語又は単語は、通常的且つ辞典的な意味に限定されてはならず、発明者は自分の発明を最善の方法で説明するために用語の概念を適切に定義することができるという原則に立脚して、本発明の技術的思想に符合する意味と概念で解釈されなければならない。
よって、本明細書に記載された実施形態及び図面に示された構成は、本発明の好適な一つの実施形態に過ぎず、本発明の技術的思想をすべて代弁するものではない。このため、本出願時点においてこれらを代替することができる様々な均等物及び変形例があり得ることを理解すべきである。
本発明は、金属板材を打ち抜きして形成されたストリップを円筒状にローリングして一体に構成されたコンタクトと、このコンタクトを基材にして円筒状の構造内に充填される導電性の弾性充填部からなるハイブリッドタイプのコンタクトを技術上の特徴とする。
以下、本発明の好適な実施形態に係るコンタクトを添付図面に基づいて詳細に説明する。
（第１実施形態）

図２及び図３は本発明の第１実施形態に係るコンタクトを示す図であって、図２の（ａ）は左側から板状パターンの展開された状態の左側面図及び平面図、（ｂ）は上端からロール加工されたコンタクトの平面図及び正面図であり、図３の（ａ）はローリングして加工されたコンタクトの斜視図、（ｂ）は上端からフィラーが充填されたハイブリッドタイプのコンタクトの平面図および正面図である。

図２の（ａ）（ｂ）および図３の（ａ）を参照すると、本実施形態に係るコンタクト１００の板状パターンは、上方に突出する上側尖端部１１１が設けられた上側頭部１１０と、上側頭部１１０から側下方に傾斜をもって延びるストリップ状の弾性部１２０と、下方に突出する下側尖端部１３１が設けられ、弾性部１２０の下側先端から延びる下側頭部１３０とを含む。

コンタクトは、主にベリリウム銅（ＢｅＣｕ）、銅合金、またはステンレススチール（ＳＵＳ）などを素材とする板材を打ち抜きして一定のパターンで製作し、これを円筒状に曲げて製作することができ、表面に金、パラジウム（Ｐｄ）、パラジウムニッケル（ＰｄＮｉ）またはパラジウムコバルト（ＰｄＣｏ）などがメッキできる。

上側頭部１１０は、板状パターンを円筒状にローリングして構成される。この時、上側尖端部１１１は、複数の歯形から構成でき、上側頭部１１０の縁に沿って上方に突出する。

弾性部１２０は、一定の幅を有するストリップであって、螺旋状の円筒形状に曲げられ、上側頭部１１０と同一軸Ｃ上に設けられる。本実施形態において、弾性部１２０は、延長区間中に折曲ノード１２３を有し、このとき、折曲ノード１２３は、互いに異なる方向を有するストリップが連結される区間を意味する。このような折曲ノード１２３は、ストリップの一部の区間中に幅が大きくなる或いは小さくなる形態で提供され、円筒状へのロール（ｒｏｌｌ）加工時にローリングの中心となる作用点の役割を果たす。

本実施形態において、弾性部１２０は、折曲ノード１２３を基準にして上側頭部１１０から延びる第１弾性部１２１と、折曲ノード１２３を基準にして下側頭部１３０から延びる第２弾性部１２２とを含み、第１弾性部１２１と第２弾性部１２２は、折曲ノード１２３を基準にして上下対称に互いに反対方向に延び、第１弾性部１２１の巻取り方向と第２弾性部１２２の巻取り方向とは互いに反対方向である。

下側頭部１３０は上側頭部１１０と同一軸Ｃに設けられ、上側頭部１１０、弾性部１２０及び下側頭部１３０は一つの軸Ｃ上に位置する。

次に、図３の（ｂ）に例示されているように、このように構成されたコンタクト１００は、導電性と弾性を有するフィラー１４０が円筒状の内部に充填できる。ちなみに、本発明において、フィラーが充填されたコンタクトを特にハイブリッドコンタクトに区分して称する。

本実施形態において、フィラー１４０は、導電性を有する粒子が混入された絶縁部材であり得る。例えば、導電性の粉末と絶縁性のシリコン粉末との混合物を円筒状のコンタクト内に充填し、これを溶融した後に固形化することにより、導電性と弾性を有するフィラー１４０が備えられたハイブリッドコンタクトを得ることができる。

一方、混合物の溶融、固形化過程でモールドが使用できる。モールドは、収納ホールが設けられ、曲げ加工されたコンタクトが挿入位置し、コンタクトが挿入された収納ホール内に混合物を入れ、これを溶融、固形化した後、モールドから分離してハイブリッドコンタクトを得ることができる。

導電性を有する粒子は、金属物質の粒子であるか、或いは金属または非金属粒子の表面に金、銀、パラジウム（Ｐｄ）、パラジウムニッケル（ＰｄＮｉ）またはパラジウムコバルト（ＰｄＣｏ）などをメッキした粒子であるか、或いはカーボンナノチューブなどが混入できる。

フィラー１４０を構成する絶縁性を有する主基材としては、弾性高分子物質が使用でき、代表的にはシリコンが使用できるが、これに限定されるものではない。

また、本実施形態において、フィラー１４０は、上側尖端部１１１から下側尖端部１３１まで円筒状に充填が行われることを例示しているが、必要に応じては、上側頭部１１０と下側頭部１３０の区間を除いて、相対的に大きい電気抵抗が発生するコイル部（弾性部）１２０の区間にのみ円筒状に充填が行われることもある。
（第２実施形態）

図４及び図５は本発明の第２実施形態に係るコンタクトを示す図であって、図４の（ａ）は左側から板状パターンの展開された状態の左側面図及び平面図、（ｂ）は上端からロール加工されたコンタクトの平面図及び正面図であり、図５は上端からフィラーが充填されたハイブリッドタイプのコンタクトの平面図及び正面図である。

図４の（ａ）（ｂ）を参照すると、本実施形態に係るコンタクト２００の板状パターンは、上方に突出する上側尖端部２１１が設けられた上側頭部２１０と、上側頭部２１０から側下方に傾斜をもって延びるストリップ状の弾性部２２０と、下方に突出する下側尖端部２３１が設けられ、弾性部２２０の下側先端から延びる下側頭部２３０とを含む。

上側頭部２１０は、板状パターンを円筒状にローリングして構成され、上側尖端部２１１は、複数個から構成され、上側頭部２１０の縁に沿って上方に突出する。

弾性部２２０は、一定の幅を有するストリップであって、螺旋状の円筒状に曲げられて上側頭部２１０と同一軸Ｃ上に設けられる。特に、本実施形態において、弾性部２２０は、延長区間中に継ぎ合わせノード２２３を有し、このような継ぎ合わせノード２２３は、ストリップの一部区間中に幅が大きくなるか小さくなる形態で提供され、円筒状へのロール（ｒｏｌｌ）加工時に作用点の役割を果たす。

本実施形態において、弾性部２２０は、継ぎ合わせノード２２３を基準に上側頭部２１０から延びる第１弾性部２２１と、継ぎ合わせノード２２３を基準にして下側頭部２３０から延びる第２弾性部２２２とを含み、第１弾性部２２１と第２弾性部２２２は、同じ傾斜角をもって延び、第１弾性部２２１の巻取り方向と第２弾性部２２２の巻取り方向とは同じ方向である。

下側頭部２３０は上側頭部２１０と同一軸Ｃに設けられ、上側頭部２１０、弾性部２２０及び下側頭部２３０は一つの軸Ｃ上に位置する。

次に、図５に例示されているように、このように構成されたコンタクト２００は、導電性と弾性を有するフィラー２４０が円筒状の内部に充填されてハイブリッドコンタクトを得ることができる。

フィラー２４０は、先立って第１実施形態で説明したように、導電性の粉末と絶縁性のシリコン粉末との混合物をコンタクト２００内に充填して固形化することにより製作でき、また、本発明の実施形態において、コンタクトとフィラーの素材及び充電区間は、先立っての第１実施形態と同様なので、以下重複する説明は省略する。
（第３実施形態）

図６及び図７は本発明の第３実施形態に係るコンタクトを示す図であって、図６の（ａ）は左側から板状パターンの平面図と左側面図、（ｂ）は上端からロール加工されたコンタクトであり、図７は上端からフィラーが充填されたハイブリッドタイプのコンタクトの正面図と平面図である。

図６の（ａ）（ｂ）を参照すると、本実施形態に係るコンタクト３００の板状パターンは、上方に突出する上側尖端部３１１が設けられた上側頭部３１０と、上側頭部３１０から側下方に傾斜をもって延びるストリップ状の弾性部３２０と、下方に突出する下側尖端部３３１が設けられ、弾性部３２０の下側先端から延びる下側頭部３３０とを含む。

上側頭部３１０は、板状パターンを円筒状にローリングして構成され、上側尖端部３１１は、複数個から構成され、上側頭部３１０の縁に沿って上方に突出する。

弾性部３２０は、一定の幅を有するストリップであって、らせん状の円筒状に曲げられて上側頭部３１０と同一軸Ｃ上に設けられる。上側頭部３１０と弾性部３２０は、同じサイズの円筒状を有する。

一方、図６の（ｂ）に例示されているように、本実施形態において、円筒状に曲げられた上側頭部３１０と弾性部３２０は同じサイズの円筒状であることを例示しているが、上側頭部３１０と弾性部３２０のサイズは互いに異なってもよい。

本実施形態において、弾性部３２０は、先立っての実施形態とは異なり、別途のノードなしに一定の幅と傾斜角で延びて一つの巻取り方向をもって螺旋状に曲げ加工される。

下側頭部３３０は上側頭部３１０と同一軸Ｃに設けられ、上側頭部２１０、弾性部２２０及び下側頭部２３０は一つの軸Ｃ上に位置する。

特に、本実施形態において、下側頭部３３０は、先立っての実施形態とは異なり、円筒状ではなく板状であり得る。この時、下側頭部３３０は、弾性部３２０の幅よりはやや大きく設定される。このため、板材パターンを有する弾性部を円筒状にロール（ｒｏｌｌ）加工するとき、下側頭部３３０は作用点の役割をする。

図７に例示されているように、このように構成されたコンタクト３００は、導電性と弾性を有するフィラー３４０が円筒状の内部に充填されてハイブリッドコンタクトを得ることができる。好ましくは、フィラー３４０の下端は下側尖端部３３１と同じ高さまで位置し、同様に、フィラー２４０の上端は上側尖端部と同じ高さまで位置することにより、コンタクト３００によって定義される空間体積にはフィラー３４０が充填される。
（第４実施形態）

図８及び図９は本発明の第４実施形態に係るコンタクトを示す図であって、図８の（ａ）は板状パターンの平面図と左側面図、（ｂ）は上端からロール加工された形態のコンタクトの平面図及び正面図であり、図９の（ａ）はローリングして加工されたコンタクトの斜視図、（ｂ）は上端からフィラーが充填されたハイブリッドタイプのコンタクトの正面図と平面図である。

図８の（ａ）（ｂ）及び図９の（ａ）を参照すると、本実施形態に係るコンタクト４００の板状パターンは、上方に突出する上側尖端部４１１が設けられた上側頭部４１０と、上側頭部４１０からジグザグ状に延びるストリップ状の弾性部４２０と、下方に突出する下側尖端部４３１が設けられ、弾性部４２０の下側先端から延びる下側頭部４３０とを含む。

上側頭部４１０は、板状パターンを円筒状にローリングして構成され、上側尖端部４１１は、複数個から構成され、上側頭部４１０の縁に沿って上方に突出する。

本実施形態において、弾性部４２０は、上側頭部４１０からジグザグ状に延びるストリップであって、上側頭部４１０から側下方に傾斜をもって延びる第１弾性部４１１と、第１弾性部４１１の先端から上下対称的に傾斜をもって延びる第２弾性部４１２と、第２弾性部４１２から折曲ノード４１５をもって延び、第２弾性部４１２及び第１弾性部４１１と上下対称に設けられる第３弾性部４１３及び第４弾性部４１４を含む。

好ましくは、第１弾性部４１１と第２弾性部４１２とは曲線状の第１曲線ノード４１６ａによって連結され、第３弾性部４１３と第４弾性部４１４とも第２曲線ノード４１６ｂによって連結される。

したがって、円筒状に曲げ加工された弾性部４２０における、第１弾性部４１１と第３弾性部４１３とは同じ方向に巻き取られ、また、第２弾性部４１２と第４弾性部４１４とも同じ方向に巻き取られる。一方、第１弾性部４１１及び第３弾性部４１３の巻取り方向と、第２弾性部４１２及び第４弾性部４１４の巻取り方向とは互いに反対方向である。

ちなみに、本発明では、ストリップ状の弾性部は、区間中に様々な形態のノードが形成でき、ノードの形状に応じてストリップの区間中に局所的に角度が連続的に変わるものは「曲線ノード」といい、ストリップの角度が不連続的に変わるものを「折曲ノード」といい、ストリップが同じ角度で延びるものの、所定の段差を有するものを「継ぎ合わせノード」ということができる。

このようなノードは、前にも説明したように、ストリップの長さ方向に幅の違いを持つことができ、板材パターンを有する弾性部を円筒状にロール加工するときに力が作用する作用点の役割をすることができ、或いはノードを基準に隣接の弾性部の巻取り方向を変えることができ、或いはコイル状の弾性部区間中にピッチ変化を与えることができる。したがって、本発明において、弾性部は、このようなノードによって様々な変形例が可能であって、コンタクトに要求される様々なストリング特性を実現することができる。

下側頭部４３０は上側頭部４１０と同一軸Ｃに設けられ、上側頭部４１０、弾性部４２０及び下側頭部４３０は一つの軸Ｃ上に位置する。

図９の（ｂ）に例示されているように、このように構成されたコンタクト４００は、導電性と弾性を有するフィラー４４０が円筒状の内部に充填されてハイブリッドコンタクトを得ることができる。
（第５実施形態）

図１０及び図１１は本発明の第５実施形態に係るコンタクトを示す図であって、図１０の（ａ）は左側から板状パターンの平面図と左側面図、（ｂ）は上端からロール加工された形態のコンタクトの平面図及び正面図であり、図１１はフィラーが充填されたハイブリッドタイプのコンタクトの正面図と平面図である。

図１０の（ａ）（ｂ）を参照すると、本実施形態に係るコンタクト５００の板状パターンは、上方に突出する上側尖端部５１１が設けられた上側頭部５１０と、上側頭部５１０からジグザグ状に延びるストリップ状の弾性部５２０と、下方に突出する下側尖端部５３１が設けられ、弾性部５２０の下側先端から延びる下側頭部５３０とを含む。

特に、本実施形態において、弾性部５２０は、直線のストリップの一部区間中に幅の異なる継ぎ合わせノード５２１ａを含み、このような継ぎ合わせノード５２１ａは、円筒状への曲げ加工時にコイル状の弾性部５２０でピッチ（ｐｉｔｃｈ）の異なる区間（ａ１≠ａ２）を持つようにして、より多様なスプリング特性を実現することができる。

また、弾性部５２０は、先立って実施形態で説明したように、延びるストリップの方向転換が行われる区間中に折曲ノード５２２を有することができる。

下側頭部５３０は上側頭部５１０と同一軸Ｃに設けられ、上側頭部５１０、弾性部５２０及び下側頭部５３０は一つの軸Ｃ上に位置する。

図１１に例示されているように、このように構成されたコンタクト５００は、導電性と弾性を有するフィラー５４０が円筒状の内部に充填されてハイブリッドコンタクトを得ることができる。
（第６実施形態）

図１２及び図１３は本発明の第６実施形態に係るコンタクトを示す図であって、図１２の（ａ）は左側から板状パターンの展開された状態の左側面図及び平面図、（ｂ）は上端からロール加工されたコンタクトの平面図、正面図および底面図であり、図１３は上端からフィラーが充填されたハイブリッドタイプのコンタクトの平面図、正面図および底面図である。

図１２の（ａ）（ｂ）を参照すると、本実施形態に係るコンタクト６００の板状パターンは、上方に突出する上側尖端部６１１が設けられた上側頭部６１０と、上側頭部６１０から側下方に傾斜をもって延びるストリップ状の弾性部６２０と、下方に突出する下側尖端部６３１が設けられ、弾性部６２０の下側先端から延びる下側頭部６３０とを含む。

上側頭部６１０は、板状パターンを円筒状にローリングして構成される。この時、上側尖端部１１１は、複数個から構成され、上側頭部１１０の縁に沿って上方に突出する。

弾性部６２０は、一定の幅を有するストリップであって、らせん状の円筒状に曲げられて上側頭部６１０と同一軸Ｃ上に設けられる。

特に、本実施形態において、下側頭部６３０は、板状パターンの平面Ｐに対して一定の角度θ１の傾斜を有し、円筒形の中心に曲げ加工されて下側頭部６３０は円錐形状を有することを特徴とする。

図１３を参照すると、このように構成されたコンタクト６００は、導電性と弾性を有するフィラー６４０が円筒状の内部に充填できる。
（第７実施形態）

図１４及び図１５は本発明の第７実施形態に係るコンタクトを示す図であって、図１４の（ａ）は左側から板状パターンの展開された状態の左側面図及び平面図、（ｂ）は上端からロール加工されたコンタクトの平面図及び正面図であり、図１５は上端からフィラーが充填されたハイブリッドタイプのコンタクトの平面図および正面図である。

図１４の（ａ）（ｂ）を参照すると、本実施形態に係るコンタクト７００の板状パターンは、上方に突出する上側尖端部７１１が設けられた上側頭部７１０と、上側頭部７１０から側下方に傾斜をもって延びるストリップ状の弾性部７２０と、下方に突出する下側尖端部７３１が設けられ、弾性部７２０の下側先端から延びる下側頭部７３０とを含む。

特に、本実施形態において、上側尖端部７１１は、複数の歯形から構成され、板状パターンの平面Ｐに対して一定の角度θ２の傾きを有する。よって、円筒形の中心に曲げられ、上側尖端部７１１は円錐形状を有する。また、下側尖端部７３１も、複数の歯形から構成され、板状パターンの平面Ｐに対して一定の角度θ３の傾斜を有し、円筒形の中心に曲げられて円錐形状を有する。

図１５を参照すると、このように構成されたコンタクト７００は、導電性と弾性を有するフィラー７４０が円筒状の内部に充填できる。
（第８実施形態）

図１６及び図１７は本発明の第８実施形態に係るコンタクトを示す図であって、図１６の（ａ）は左側から板状パターンの展開された状態の左側面図及び平面図、（ｂ）は上端からロール加工されたコンタクトの平面図及び正面図であり、図１７の（ａ）はフィラーが充填されたハイブリッドタイプのコンタクトの斜視図、（ｂ）は上端から順次平面図及び正面図を示している。

図１６の（ａ）（ｂ）と図１７の（ａ）を参照すると、本実施形態に係るコンタクト８００の板状パターンは、上方に突出する上側尖端部８１１が設けられた上側頭部８１０と、上側頭部８１０から側下方に傾斜をもって延びるストリップ状の弾性部８２０と、下方に突出する下側尖端部８３１が設けられ、弾性部８２０の下側先端から延びる下側頭部８３０とを含む。

特に、本実施形態において、上側尖端部８１１と下側尖端部８３１は、複数の歯形から構成される。この時、上側頭部８１０と下側頭部８３０はぜんまい状（ｓｐｉｒａｌ）に１回転以上巻き取られ、平面視において、上側尖端部８１１と下側尖端部８３１はぜんまい状に巻き取られた構造を持つ。

図１７を参照すると、このように構成されたコンタクト８００は、導電性と弾性を有するフィラー８４０が円筒状の内部に充填できる。
（第９実施形態）

図１８及び図１９は本発明の第９実施形態に係るコンタクトを示す図であって、図１８の（ａ）は左側から板状パターンの展開された状態の左側面図及び平面図、（ｂ）は上端からロール加工されたコンタクトの平面図及び正面図であり、図１９は上端からフィラーが充填されたハイブリッドタイプのコンタクトの平面図及び正面図である。

図１８の（ａ）（ｂ）を参照すると、本実施形態に係るコンタクト９００の板状パターンは、複数の同一サイズの閉ループストリップ９１１が第１ノード９１２によって直列に連結される第１弾性部９１０と、閉ループストリップ９１１と同じサイズを有する複数の閉ループストリップ９２１が第２ノード９２２によって直列に連結される第２弾性部９２０と、第１ノード９１２及び第２ノード９２２よりもさらに長い幅及び長さを有し、第１弾性部９１０と第２弾性部９２０のそれぞれの最下端と最上端の閉ループストリップを直列に連結する折曲ノード９３０と、上方に突出する上側尖端部９４１が設けられ、第１弾性部９１０の最上端から延びて円筒状に曲げられる上側頭部９４２と、下方に突出する下側尖端部９５１が設けられ、第２弾性部９２０の最下端から延びて円筒状に曲げられる下側頭部９５２とを含む。

本実施形態において、第１弾性部９１０と第２弾性部９２０を構成する閉ループストリップ９１１、９２１は、いずれも同じサイズであって、略長方形（ｒｅｃｔａｎｇｕｌａｒ）の形状を有し、隣接する閉ループストリップ９１１、９２１は、単一ノード９１２、９２２によって直列状に連結される。本実施形態において、第１ノード９１２と第２ノード９２２は、同じ長さの幅を有することを例示しているが、その長さと幅は互いに異なってもよい。

また、本実施形態において、第１弾性部９１０と第２弾性部９２０を構成する閉ループストリップの個数は同一であって、折曲ノード９３０を基準に上下対称な構造を例示しているが、各弾性部を構成する閉ループストリップの個数は互いに異なってもよい。

本実施形態において、上側頭部９４２と下側頭部９５２は、弾性部９１０、９２０と同じ単位ストリップ（閉ループストリップ）構造を持つものと例示しているが、これに限定されず、閉ループストリップではない長方形のストリップのように、その形状は様々であり得る。

上側尖端部９４１と下側尖端部９５１は、複数の歯形から構成でき、また、上側尖端部と下側尖端部は、複数の歯形が円錐形状を有することができる（第６実施形態、図１２を参照）。

第１弾性部９１０と第２弾性部９２０は、折曲ノード９３０を基準作用点として円筒状に曲げられる。この時、上側頭部９４２と下側頭部９５２は、弾性部９１０、９２０の幅よりもさらに長く、１回転以上巻き取られてぜんまい状に巻き取られた構造であり得る（第８実施形態、図１６参照）。

図１９を参照すると、このように構成されたコンタクト９００は、導電性と弾性を有するフィラー９６０が円筒状の内部に充填できる。
（第１０実施形態）

図２０及び図２１は本発明の第１０実施形態に係るコンタクトを示す図であって、図２０の（ａ）は左側から板状パターンの展開された状態の左側面図及び平面図、（ｂ）は上端からロール加工されたコンタクトの平面図及び正面図であり、図２１は上端からフィラーが充填されたハイブリッドタイプのコンタクトの平面図及び正面図である。

図２０の（ａ）（ｂ）を参照すると、本実施形態に係るコンタクト１１００の板状パターンは、水平ストリップ１１１１と垂直ストリップ１１１２からなる単位ストリップ１１１１、１１１２がジグザグ状に連結される第１弾性部１１１０と、第１弾性部１１１０と同じ構造及びサイズを持つ単位ストリップ１１２１、１１２２がジグザグ状に連結される第２弾性部１１２０と、第１弾性部１１１０と第２弾性部１１２０を構成する垂直ストリップ１１１２、１１２２よりもさらに長い幅及び長さを有し、第１弾性部１１１０と第２弾性部１１２０のそれぞれの最下端と最上端の水平ストリップの中央を垂直に連結する折曲ノード１１３０と、上方に突出する上側尖端部１１４１が設けられ、前記第１弾性部１１１０の最上端から延びて円筒状に曲げられる上側頭部１１４２と、下方に突出する下側尖端部１１５１が設けられ、前記第２弾性部１１２０の最下端から延びて円筒状に曲げられる下側頭部１１５２とを含む。

第１弾性部１１１０は、水平ストリップ１１１１と、水平ストリップ１１１１の一端から垂直に延び、水平ストリップ１１１１よりは長さが短い垂直ストリップ１１１２とからなる単位ストリップ１１１１、１１１２を含み、複数の単位ストリップ１１１１、１１１２は、ジグザグ状に連結される。

第２弾性部１１２０も、第１弾性部１１１０と同じ構造及びサイズをもってジグザグ状を有する。

折曲ノード１１３０は、第１弾性部１１１０と第２弾性部１１２０を構成する垂直ストリップ１１１２、１１２２よりもさらに長い幅及び長さを有し、第１弾性部１１１０と第２弾性部１１２０のそれぞれの最下端と最上端の水平ストリップの中央を垂直に連結する。このような折曲ノード１１３０は、弾性部１１１０、１１２０のロール（ｒｏｌｌ）加工時に基準作用点の役割をする。

本実施形態において、上側頭部１１４２と下側頭部１１５２は、弾性部１１１０、１１２０の水平ストリップ１１１１、１１２１と同一であると例示しているが、これに限定されるものではなく、幅と長さが異なってもよい。

上側尖端部９４１と下側尖端部９５１は、複数の歯形から構成でき、また、上側尖端部と下側尖端部は、複数の歯形が円錐形状を有することができる（第６実施形態、図１２を参照）。

第１弾性部１１１０と第２弾性部１１２０は、折曲ノード１１３０を基準作用点として円筒状に曲げられ、この時、上側頭部１１４２と下側頭部１１５２は、弾性部１１１０、１１２０の幅よりもさらに長く、１回転以上巻き取られてぜんまい状に巻き取られた構造であり得る（第８実施形態、図１６参照）。

図２０を参照すると、このように構成されたコンタクト１１００は、導電性と弾性を有するフィラー１１６０が円筒形状の内部に充填できる。

以下、このようなコンタクトを採用したテストソケットについて詳細に説明する。
（第１実施形態）

図２２は本発明の第１実施形態に係るテストソケットを示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）はＡ−Ａ線に沿った断面図である。

図２２を参照すると、本実施形態に係るテストソケット２１００は、デバイス２０の端子２１と対応して、コンタクト２１１０が収納位置する複数の貫通ホール２１２１が設けられたマウント部２１２０と、コンタクト２１１０をマウント部２１２０と一体に固定する弾性を有する絶縁体部２１３０とを含む。

マウント部２１２０は、絶縁性のプレートであって、デバイス２０の端子２１と対応する複数の貫通ホール２１２１が設けられ、コンタクト２１１０の下端の一部が挿入され、上面に絶縁体部２１３０が備えられる。

図面符号２１２２は、ガイドホールであって、テストソケットの組立位置を案内する役割をし、図面符号２１２３は、テストソケットを装着するためのスクリューホールである。

本実施形態において、コンタクト２１１０は、先立って例示した円筒状にローリングして一体に構成されたコンタクトが使用される。

絶縁体部２１３０は、弾性を有する絶縁性部材であって、コンタクト２１１０とマウント部２１２０とを一体に固定し、上面にデバイス２０が装着される。

このような絶縁体部２１３０は、絶縁性のシリコン液によって提供できる。例えば、マウント部２１２０の貫通ホール２１２１にコンタクト２１１０が仮組立され、絶縁体部２１３０を成形するためのモールドを用いてシリコン液をモールド内に投入した後、これを硬化させ、モールドを除去することにより、マウント部２１２０とコンタクト２１１０とを一体に固定する絶縁体部２１３０が完成できる。

好ましくは、コンタクト２１１０は、下側尖端部が一定の長さｂ１だけ貫通ホール２１２１の外側に突出位置して、テスト装置のパッドとの接触性を向上させることができる。一方、コンタクト２１１０の上側尖端部も、デバイス２０と対面する絶縁体部２１３０の上面の外側に一定の長さだけ突出して、デバイス２０の端子２１との接触性を向上させることができる。
（第２実施形態）

図２３は本発明の第２実施形態に係るテストソケットを示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）はＢ−Ｂ線に沿った断面図である。

図２３を参照すると、本実施形態に係るテストソケット２２００は、デバイス２０の端子２１と対応して、ハイブリッドコンタクト２２１０が収納位置する複数の貫通ホール２１２１が設けられたマウント部２２２０と、ハイブリッドコンタクト２２１０をマウント部２２２０と一体に固定する弾性を有する絶縁体部２２３０とを含む。

マウント部２２２０は、絶縁性のプレートであって、デバイス２０の端子２１と対応する複数の貫通ホール２２２１が設けられ、ハイブリッドコンタクト２２１０の下端の一部が挿入され、上面に絶縁体部２２３０が設けられる。

特に、本実施形態において、ハイブリッドコンタクト２２１０は、先立って例示した円筒状にローリングして一体に構成されたコンタクト内に、導電性と弾性を有するフィラーが充填されたコンタクトが使用されることを特徴とする。

絶縁体部２２３０は、弾性を有する絶縁性部材であって、ハイブリッドコンタクト２２１０とマウント部２２２０とを一体に固定し、上面にデバイス２０が装着される。

先立って実施形態で説明したように、絶縁体部２２３０は、絶縁性のシリコン液を硬化してマウント部２１２０とハイブリッドコンタクト２１１０とを一体に固定する。

好ましくは、コンタクト２１１０は、下側尖端部が一定の長さｂ１だけ貫通ホール２１２１の外側に突出位置して、テスト装置のパッドとの接触性を向上させることができる。一方、コンタクト２１１０の上側尖端部も、デバイス２０と対面する絶縁体部２１３０の上面の外側に一定の長さだけ突出して、デバイス２０の端子２１との接触性を向上させることができる。

以上のように、本発明は、たとえ限定された実施形態と図面によって説明されたが、本発明はこれによって限定されず、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者によって、本発明の技術思想と以降に記載される請求の範囲の均等範囲内で多様な修正及び変形が可能であることは、当たり前である。

１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１１００、２１１０ コンタクト
１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０ 上側頭部
１２０、２２０、３２０、４２０、５２０、６２０、７２０、８２０、９１０、９２０、１１１０、１１２０ 弾性部
１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０ 下側頭部
１１１、２１１、３１１、４１１、５１１、６１１、７１１、８１１、９４１、１１４１ 上側尖端部
１３１、２３１、３３１、４３１、５３１、６３１、７３１、８３１、９５１、１１５１ 下側尖端部
１２３、４１５、５２２、９３０、１１３０ 折曲ノード
２１００、２２００ テストソケット
２２１０ ハイブリッドコンタクト
２１２０、２２２０ マウント部
２１３０、２２３０ 絶縁体部

Claims (34)

1. 金属板材を打ち抜きし、円筒状にローリングして一体に構成されたコンタクトであって、
   上方に突出する上側尖端部が設けられ、円筒状からなる上側頭部と、
   前記上側頭部から側下方に傾斜をもって延び、らせん状の円筒形状に曲げられたストリップからなり、前記上側頭部と同一軸上に設けられる弾性部と、
   下方に突出する下側尖端部が設けられ、前記弾性部の下側先端から垂直に延びて前記弾性部と同一軸上に設けられる下側頭部とを含む、コンタクト。
2. 前記弾性部は、延長区間中に少なくとも一つのノードを有することを特徴とする、請求項１に記載のコンタクト。
3. 前記弾性部は、
   前記ノードを基準に前記上側頭部から延びる第１弾性部と、
   前記ノードを基準に前記下側頭部から延びる第２弾性部とを含む、請求項２に記載のコンタクト。
4. 前記第１弾性部と前記第２弾性部は同一方向に延び、前記第１弾性部の巻取り方向と前記第２弾性部の巻取り方向とは同じ方向であることを特徴とする、請求項３に記載のコンタクト。
5. 前記第１弾性部と前記第２弾性部は互いに異なる方向に延び、前記第１弾性部の巻取り方向と前記第２弾性部の巻取り方向とは互いに反対方向であることを特徴とする、請求項３に記載のコンタクト。
6. 前記弾性部は、前記ストリップの区間中に局所的に角度が不連続的に変わりながら前記ストリップの長さ方向に沿って幅の差を有する折曲ノードを含む、請求項１に記載のコンタクト。
7. 前記弾性部は、前記ストリップの区間中に局所的に角度が連続的に変わる曲線ノードを含む、請求項１に記載のコンタクト。
8. 前記弾性部は、前記ストリップが同一方向に延びる区間中に段差をもって前記ストリップの長さ方向に沿って幅の差を有する継ぎ合わせノードを含む、請求項１に記載のコンタクト。
9. 前記下側頭部は、前記弾性部の下側先端から一体に延びて円筒形状であることを特徴とする、請求項１に記載のコンタクト。
10. 前記上側尖端部は、上方に突出する複数の歯形からなることを特徴とする、請求項１に記載のコンタクト。
11. 前記上側尖端部は、前記複数の歯形が円錐形状を構成することを特徴とする、請求項１０に記載のコンタクト。
12. 前記上側尖端部は、ぜんまい状に１回転以上巻き取られた円筒形状であることを特徴とする、請求項１０に記載のコンタクト。
13. 前記下側尖端部は、下方に突出する複数の歯形からなることを特徴とする、請求項９に記載のコンタクト。
14. 前記下側尖端部は、前記複数の歯形が円錐形状を構成することを特徴とする、請求項１３に記載のコンタクト。
15. 前記下側尖端部は、ぜんまい状に１回転以上巻き取られた円筒形状であることを特徴とする、請求項１４に記載のコンタクト。
16. 金属板材を打ち抜きし、円筒状にローリングして一体に構成されたコンタクトであって、
    複数の同一サイズの閉ループストリップが第１ノードによって直列に連結され、円筒状に曲げられた第１弾性部と、
    前記閉ループストリップと同じサイズを有する複数の閉ループストリップが第２ノードによって直列に連結され、円筒状に曲げられた第２弾性部と、
    前記第１ノードと前記第２ノードよりもさらに長い幅及び長さを有し、前記第１弾性部と前記第２弾性部のそれぞれの最下端と最上端の閉ループストリップを直列に連結する折曲ノードと、
    上方に突出する上側尖端部が設けられ、前記第１弾性部の最上端から延びて円筒状に曲げられる上側頭部と、
    下方に突出する下側尖端部が設けられ、前記第２弾性部の最下端から延びて円筒状に曲げられる下側頭部とを含む、コンタクト。
17. 前記上側尖端部は、上方に突出する複数の歯形からなることを特徴とする、請求項１６に記載のコンタクト。
18. 前記上側尖端部は、前記複数の歯形が円錐形状を構成することを特徴とする、請求項１７に記載のコンタクト。
19. 前記上側頭部は、ぜんまい状に１回転以上巻き取られた円筒形状であることを特徴とする、請求項１６に記載のコンタクト。
20. 前記下側尖端部は、下方に突出する複数の歯形からなることを特徴とする、請求項１６に記載のコンタクト。
21. 前記下側尖端部は、前記複数の歯形が円錐形状を構成することを特徴とする、請求項２０に記載のコンタクト。
22. 前記下側頭部は、ぜんまい状に１回転以上巻き取られた円筒形状であることを特徴とする、請求項１６に記載のコンタクト。
23. 金属板材を打ち抜きし、円筒状にローリングして一体に構成されたコンタクトであって、
    水平ストリップと、前記水平ストリップの一端から垂直に延び、前記水平ストリップよりは長さが短い垂直ストリップとからなる単位ストリップがジグザグ状に連結されて円筒状に曲げられる第１弾性部と、
    前記第１弾性部と同じ構造及びサイズを持つ単位ストリップがジグザグ状に連結されて円筒状に曲げられる第２弾性部と、
    前記第１弾性部と前記第２弾性部を構成する垂直ストリップよりもさらに長い幅及び長さを有し、前記第１弾性部と前記第２弾性部のそれぞれの最下端と最上端の水平ストリップの中央を垂直に連結する折曲ノードと、
    上方に突出する上側尖端部が設けられ、前記第１弾性部の最上端から延びて円筒状に曲げられる上側頭部と、
    下方に突出する下側尖端部が設けられ、前記第２弾性部の最下端から延びて円筒状に曲げられる下側頭部とを含む、コンタクト。
24. 前記上側尖端部は、上方に突出する複数の歯形からなることを特徴とする、請求項２３に記載のコンタクト。
25. 前記上側尖端部は、前記複数の歯形が円錐形状を構成することを特徴とする、請求項２４に記載のコンタクト。
26. 前記上側頭部は、ぜんまい状に１回転以上巻き取られた円筒形状であることを特徴とする、請求項２３に記載のコンタクト。
27. 前記下側尖端部は、下方に突出する複数の歯形からなることを特徴とする、請求項２３に記載のコンタクト。
28. 前記下側尖端部は、前記複数の歯形が円錐形状を構成することを特徴とする、請求項２７に記載のコンタクト。
29. 前記下側頭部は、ぜんまい状に１回転以上巻き取られた円筒形状であることを特徴とする、請求項２３に記載のコンタクト。
30. 少なくとも前記上側頭部と前記下側頭部との間のコイル部区間に円筒状に充填されて導電性と弾性を有するフィラーをさらに含む、請求項１乃至２９のいずれか一項に記載のコンタクト。
31. 請求項１乃至２９のいずれか一項に記載のコンタクトを含むテストソケットであって、
    デバイスの端子と対応して、前記コンタクトが収納位置する複数の貫通ホールが設けられたマウント部と、
    前記コンタクトを前記マウント部と一体に固定する弾性を有する絶縁体部とを含む、テストソケット。
32. 前記コンタクトは、前記下側尖端部が前記貫通ホールの外側に突出位置し、前記上側尖端部が前記デバイスと対面する前記絶縁体部の上面の外側に突出位置することを特徴とする、請求項３１に記載のテストソケット。
33. 請求項３０に記載のコンタクトを含むテストソケットであって、
    デバイスの端子と対応して、前記コンタクトが収納位置する複数の貫通ホールが設けられたマウント部と、
    前記コンタクトを前記マウント部と一体に固定する弾性を有する絶縁体部とを含む、テストソケット。
34. 前記コンタクトは、前記下側尖端部が前記貫通ホールの外側に突出位置し、前記上側尖端部が前記デバイスと対面する前記絶縁体部の上面の外側に突出位置することを特徴とする、請求項３３に記載のテストソケット。

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