JP6985327B2 - 電気的接触子及び電気的接続装置 - Google Patents

Description

本発明は、電気的接触子及び電気的接続装置に関し、例えば、半導体ウェハ上の集積回路や被検査体の通電試験に用いる電気的接触子及び電気的接続装置に適用し得るものである。

半導体ウェハ上に形成された集積回路や、パッケージ化された集積回路等の被検査体は、それぞれの製造段階において電気的特性の検査が行なわれる。半導体ウェハ上の集積回路の電気的検査には、プローブカード等の電気的接続装置が用いられ、パッケージ化された集積回路の電気的検査にはソケット等の電気的接続装置が用いられる。このような電気的接続装置では、第１の接触対象と第２の接触対象に接触する電気的接触子が用いられ、電気的接触子を介して第１の接触対象と第２の接触対象との間で電気信号の導通を行なっている。

従来、電気的接触子には、様々なものがあるが、複数の構成部品を組み合わせて形成される電気的接触子がある。このような複数の構成部品で形成される電気的接触子を用いて、第１の接触対象と第２の接触対象との間で電気信号を導通させる場合、構成部品同士の接触箇所で抵抗が大きくなり、導通性に影響が生じ得る。

特許文献１には、薄肉帯状の基板を曲げ加工して、螺旋状の筒状スリーブと、筒状スリーブの一端に第１端子と、筒状スリーブの他端に第２端子とを一体成形したスプリングプローブが開示されている。このようなスプリングプローブは、薄肉帯状の基板で一体的に形成されているので、導電性が良好となる。

特開２０１１−１２９９２号公報

しかしながら、特許文献１に記載のスプリングプローブは、平板を螺旋状に曲げて筒状スリーブを形成したものであるため、第１端子及び第２端子が接触対象に接触して荷重が作用したとき、筒状スリーブの摺動性が十分でなく、良好な弾性力が得られないことがあり、又筒状スリーブの弾性力を調整することが難しいという課題がある。その結果、接触対象に対して安定した電気的接触性が得られないことが生じ得る。

そこで、本発明は、上記課題に鑑み、導通性を向上させるために、少ない部品数で形成され、弾性部材の摺動性を向上でき、接触対象の特性に応じて弾性力を制御することができ、接触対象との電気的な接触安定性を向上することができる電気的接触子及び電気的接続装置を提供しようとするものである。

かかる課題を解決するために、第１の本発明の電気的接触子は、導電性を有する板状部材で形成された電気的接触子であって、板状部材が、本体部と、前記本体部の一端部から斜め上方に向けて延出する先細り形状の上部アーム部と、前記上部アーム部の先端に設けられた第１先端部と、前記本体部の一端部から斜め下方に向けて延出する先細り形状の下部アーム部と、前記下部アーム部の先端に設けられた第２先端部とを備え、前記第１先端部を巻回して形成された、第１の接触対象と接触する第１接触部と、上下方向の幅長が前記下部アームの上下方向の幅長と異なる、前記先細り形状の、前記上部アーム部を巻回して、内側に位置する前記上部アーム部の下端部の外周を、外側に位置する前記上部アーム部の上端部で覆うようにして形成された竹の子バネ状の第１の弾性部と、前記第２先端部を巻回して形成された、第２の接触対象と接触する第２の接触部と、前記先細り形状の前記下部アーム部を巻回して、内側に位置する前記下部アーム部の上端部の外周を、外側に位置する前記下部アーム部の下端部で覆うようにして形成された竹の子バネ状の第２の弾性部と、前記本体部を巻回して形成されたものであって、前記第１の弾性部の基端部と前記第２の弾性部の基端部とを内側に収容する筒状部とを備えることを特徴とする。

第３の本発明の電気的接続装置は、第１の接触対象と第２の接触対象とに接触させる複数の電気的接触子を備える電気的接続装置において、前記複数の電気的接触子が、第１又は第２の本発明の電気的接触子であることを特徴とする。

本発明によれば、導通性を向上させるために、少ない部品数で形成され、弾性部材の摺動性を向上でき、接触対象の特性に応じて弾性力を制御することができ、接触対象との電気的な接触安定性を向上することができる。

第１の実施形態に係る接続子の構成を示す構成図である。 第１の実施形態の接続子を形成する前の板状部材の構成を示す構成図である。 第１の実施形態に係る電気的接続装置の構成を示す構成図である。 実施形態の接続子の製造方法を説明する説明図である（その１）。 実施形態の接続子の製造方法を説明する説明図である（その２）。 第１の実施形態の接続子のハウジング状態と荷重を受けたときの状態を例示する図である。 第２の実施形態の電気的接触子の構成を示す構成図である。 第２の実施形態の電気的接触子を形成する前の板状部材の構成を示す構成図である。 第３の実施形態の電気的接触子の構成と板状部材の構成とを示す構成図である。 第４の実施形態の電気的接触子を形成する前の板状部材の構成を示す構成図である。 第４の実施形態に係る電気的接触子の構成を示す構成図である。 第５の実施形態に係る電気的接触子の構成と板状部材の構成とを示す構成図である（その１）。 第５の実施形態に係る電気的接触子の構成と板状部材の構成とを示す構成図である（その２）。 第５の実施形態に係る電気的接触子の構成と板状部材の構成とを示す構成図である（その３）。

（Ａ）第１の実施形態
以下では、本発明に係る電気的接触子及び電気的接続装置の第１の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。

この実施形態では、本発明に係る電気的接触子を、後述するように、電気的接続装置の構成部材である電気的接続ユニットに搭載される接続子に適用する場合を例示する。なお、本発明に係る電気的接触子は、以下の実施形態に限定されるものではない。本発明に係る電気的接触子は、第１の接触対象と第２の接触対象に電気的に接触し、第１の接触対象と第２の接触対象との間で電気信号を導通可能なものに適用できる。

また、この実施形態では、本発明に係る電気的接続装置を、半導体ウェハ上に形成されている集積回路を被検査体とし、当該被検査体の電気的検査に用いられる電気的接続装置に適用する場合を例示する。なお、本発明に係る電気的接続装置は、本発明に係る電気的接触子を用いて、第１の接触対象と第２の接触対象との間で電気信号を導通させて電気的に接続させるものに適用できる。

（Ａ−１）第１の実施形態の構成
（Ａ−１−１）電気的接続装置
図３は、第１の実施形態に係る電気的接続装置の構成を示す構成図である。
図３の電気的接続装置１０は、主要な構成部材を図示しているが、これらの構成部材に限定されるものではなく、実際には図３に示していない構成部材をも有する。また、以下では、図３中の上下方向に着目して、「上」、「下」を言及するものとする。

図３において、この実施形態に係る電気的接続装置１０は、平板状の支持部材１２と、前記支持部材１２の下面１２ａに保持される平板状の配線基板１４と、前記配線基板１４と電気的に接続される電気的接続ユニット１５と、前記電気的接続ユニット１５と電気的に接続すると共に複数のプローブ２０を有するプローブ基板１６とを有する。

電気的接続装置１０は、支持部材１２、配線基板１４、電気的接続ユニット１５、プローブ基板１６を組み立てる際に、多数の固定部材（例えば、ボルト等の螺合部材など）を用いているが、図３ではこれらの固定部材を図示していない。

電気的接続装置１０は、例えば半導体ウェハ上に形成された半導体集積回路等を被検査体２とし、被検査体２の電気的な検査を行なうものである。具体的には、被検査体２をプローブ基板１６に向けて押圧し、プローブ基板１６の各プローブ２０の先端部と被検査体２の電極端子２ａとを電気的に接触させ、図示しないテスタ（検査装置）から被検査体２の電極端子２ａに電気信号を供給し、さらに被検査体２の電極端子２ａからの電気信号をテスタ側に与えることにより、被検査体２の電気的な検査を行なう。

検査対象である被検査体２はチャックトップ３の上面に載置される。チャックトップ３は、水平方向のＸ軸方向、水平面上においてＸ軸方向に対して垂直なＹ軸方向、水平面（Ｘ−Ｙ平面）に対して垂直なＺ軸方向に位置調整が可能なものであり、さらに、Ｚ軸回りのθ方向に回転姿勢を調整可能である。被検査体２の電気的検査を実施する際には、上下方向（Ｚ軸方向）に昇降可能なチャックを移動させて、被検査体２の電極端子２ａをプローブ基板１６の各プローブ２０の先端部に電気的に接触させるため、電気的接続装置１０のプローブ基板１６の下面と、チャックトップ３の上面の被検査体２とが相対的に近づくように移動させる。

［支持部材］
支持部材１２は、配線基板１４の変形（例えば、撓み等）を抑えるものである。例えば、プローブ基板１６は多数のプローブ２０を有しているため、配線基板１４側に取り付けられるプローブ基板１６の重量は大きくなっている。また、被検査体２の電気的な検査の行なう際、プローブ基板１６が、チャックトップ３上の被検査体２によって押し付けられることにより、プローブ基板１６の下面に突出しているプローブ２０の先端部と被検査体２の電極端子２ａとが接触する。このように、電気的検査の際、下から上に向けて突き上げる反力（コンタクト荷重）が作用し、配線基板１４にも大きな荷重が加えられる。支持部材１２は、配線基板１４の変形（例えば、撓み等）を抑える部材として機能する。

また、支持部材１２には、上面と下面とを貫通させた複数の貫通孔１２１が設けられている。複数の貫通孔１２１のそれぞれは、後述するプローブ基板１６の上面に配置させる複数のアンカー５０のそれぞれの位置と対応する位置に設けられており、かつ、配線基板１４に設けた複数の貫通孔１４１のそれぞれの位置と対応する位置に設けられている。

支持部材１２の各貫通孔１２１には、スペーサ（以下、「支持部」とも呼ぶ。）５１が、支持部材１２の上方から下方に向けて挿通され、スペーサ（支持部）５１の下端部と、対応するアンカー５０とが固定可能な構成となっている。例えば、スペーサ（支持部）５１の下端部は雄ネジ部となっており、またプローブ基板１６の上面に配置されるアンカー５０の略中央部は雌ネジ部５０１となっており、スペーサ（支持部）５１の下端部（雄ネジ部）がアンカー５０の雌ネジ部に螺合することで固定できる。これにより、プローブ基板１６の上面と、支持部材１２の上面との間の距離を所定の距離長に保持できるようにしている。

［配線基板］
配線基板１４は、例えばポリイミド等の樹脂材料で形成されたものであり、例えば略円形板状に形成されたプリント基板等である。配線基板１４の上面の周縁部には、テスター（検査装置）のテストヘッド（図示しない）と電気的に接続するための多数の電極端子（図示しない）が配置されている。また、配線基板１４の下面には、配線パターンが形成されており、配線パターンの接続端子１４ａが、電気的接続ユニット１５に設けられているポゴピン等の接続子３０の上端部と電気的に接続するようになっている。

さらに、配線基板１４の内部には配線回路（図示しない）が形成されており、配線基板１４の下面の配線パターンと、配線基板１４の上面の電極端子とは、配線基板１４内部の配線回路を介して接続可能となっている。したがって、配線基板１４内の配線回路を介して、配線基板１４の下面の配線パターンの接続端子１４ａに電気的に接続する電気的接続ユニット１５の各接続子３０と、配線基板１４の上面の電極端子に接続するテストヘッドとの間で電気信号を導通させることができる。配線基板１４の上面には、被検査体２の電気的検査に必要な複数の電子部品も配置されている。

また、配線基板１４には、当該配線基板１４の上面と下面とを貫通させた複数の貫通孔１４１が設けられている。複数の貫通孔１４１のそれぞれは、プローブ基板１６の上面に配置される複数のアンカー５０のそれぞれの位置と対応する位置に配置され、かつ、支持部材１２の複数の貫通孔１２１のそれぞれの位置と対応する位置に配置されている。

なお、各貫通孔１４１の開口形状は、挿通される支持部５１の形状に対応した形状とすることができる。また、各貫通孔１４１に支持部５１を挿通可能にするために、各貫通孔１４１の内径は、支持部５１の外径と同程度又はわずかに大きくなっている。

この実施形態では、支持部５１が円柱部材である場合を例示するため、貫通孔１４１の開口形状が略円形である場合を例示するが、これに限定されるものではない。例えば、支持部５１の断面形状が略正方形等の直角柱の部材や、当該断面形状が多角形の多角柱の部材等であってもよく、そのような例の場合でも、貫通孔１４１の開口形状は、支持部５１を挿通可能な形状とすることができる。

［電気的接続ユニット］
電気的接続ユニット１５は、例えばポゴピン等のような複数の接続子３０を有している。電気的接続装置１０の組み立て状態では、各接続子３０の上端部を、配線基板１４の下面の配線パターンの接続端子１４ａに電気的に接続され、また各接続子３０の下端部を、プローブ基板１６の上面に設けられたパッドに接続される。プローブ２０の先端部が被検査体２の電極端子に電気的に接触するので、被検査体２の電極端子はプローブ２０及び接続子３０を通じてテスター（検査装置）と電気的に接続されるので、被検査体２はテスター（検査装置）による電気的な検査が可能となる。

例えば、電気的接続ユニット１５は、各接続子３０を挿通するため、複数の挿通孔を有しており、各挿通孔に接続子３０が挿通されることにより、各接続子３０の上端部及び下端部が突出するようになっている。なお、電気的接続ユニット１５において、複数の接続子３０を装着する仕組みは、貫通孔を設ける構成に限定されるものではなく、種々の構成を広く適用することができる。電気的接続ユニット１５の周囲にはフランジ部１５１が設けられている。

［プローブ基板］
プローブ基板１６は、複数のプローブ２０を有する基板であり、略円形若しくは多角形（例えば１６角形等）に形成されたものである。プローブ２０は、例えば、カンチレバー型のプローブ等を用いることができるが、これに限定されるものではない。また、プローブ基板１６は、例えばセラミック板で形成される基板部材１６１と、この基板部材１６１の下面に形成された多層配線基板１６２とを有する。

セラミック基板である基板部材１６１の内部には、板厚方向に貫通する多数の導電路（図示しない）が形成されており、また基板部材１６１の上面には、パッド１６１ａが形成されており、基板部材１６１内の導電路の一端が、当該基板部材１６１の上面の対応するパッド１６１ａと接続するように形成されている。さらに、基板部材１６１の下面では、基板部材１６１内の導電路の他端が、多層配線基板１６２の上面に設けられた接続端子と接続されるように形成されている。

多層配線基板１６２は、例えばポリイミド等の合成樹脂部材で形成された複数の多層基板で形成されており、複数の多層基板の間に配線路（図示しない）が形成されたものである。多層配線基板１６２の配線路の一端は、セラミック基板である基板部材１６１側の導電路の他端と接続しており、多層配線基板１６２の他端は、多層配線基板１６２の下面に設けられたプローブランドに接続されている。多層配線基板１６２の下面に設けられたプローブランドには、複数のプローブ２０が配置されており、プローブ基板１６の複数のプローブ２０は、電気的接続ユニット１５を介して、配線基板１４の対応する接続端子１４ａと電気的に接続している。

（Ａ−１−２）接続子（電気的接触子）
図１は、第１の実施形態に係る接続子３０の構成を示す構成図である。図２は、第１の実施形態の接続子３０を形成する前の板状部材の構成を示す構成図である。

図１に示すように、本発明に係る電気的接触子の一例である接続子３０は、筒状部３２と、第１の接触対象としての配線基板１４の接続端子１４ａと接触する第１接触部３４と、第１接触部３４が接続端子１４ａと接触して荷重を受けたときに上下方向に弾性的に付勢する上部弾性部３３と、第２の接触対象としての基板部材１６１のパッド１６１ａと接触する第２接触部３６と、第２接触部６がパッド１６１ａと接触して荷重を受けたときに上下方向に弾性的に付勢する下部弾性部３５とを有する。

図１の接続子３０は、図２の板状部材４０を成形加工（例えば、丸め加工、曲げ加工など）して形成される。すなわち、図２の板状部材４０は、図１の接続子３０の成形加工前の部材であり、導電性材料で形成された板状の部材である。したがって、接続子３０は、導電性材料で形成された板状部材を成形加工して形成されることになるので、電気信号の導通性を安定化させることができる。換言すると、複数の部品を組み合わせて形成される電気的接触子は、複数の部品同士が互いに接触しあって電気信号を導通することになるので、複数の部品間の接触箇所で抵抗が大きくなり、導通性が不安定になることがある。これに対して、板状部材を成形加工して形成される接続子３０は、部品間の接触箇所がない若しくは少なくすることができるので、電気信号の導通性を安定化することができる。

なお、板状部材４０は、例えば貴金属又は金属で形成された板状部材、若しくは、板状の部材の表面を貴金属又は金属でメッキ加工して得た板状部材であり、板状の部材を打ち抜き加工等を施して形成される。また例えば、板状部材４０は、第１の接触対象及び又は第２の接触対象と接触する箇所（後述する第１先端部４４及び又は第２先端部４６）を貴金属等とし、それ以外の部分を例えばバイメタル等の弾性（例えばバネ性）の優れた部材で形成してもよい。このように、第１の接触対象及び又は第２の接触対象との接触箇所を貴金属等とすることで導通性を良好とすることができると共に、それ以外の部分を例えばバイメタル等の部材とすることで、その部分の弾性（例えばバネ性）を良好することができる。

図２に示すように、板状部材４０は、本体部４２と、上部アーム部４３と、上部アーム部４３の先端に設けられた第１先端部４４と、下部アーム部４５と、下部アーム部４５の先端に設けられた第２先端部４６とを有する。

［本体部］
本体部４２は、略長方形状の板状の部分である。後述するように、丸め加工により板状部材４０の左側の構成要素側から巻回していき、接続子３０を形成する。接続子３０が形成されると、本体部４２は、巻回された上部アーム部４３と下部アーム部４５を覆う筒状部３２となる部分である。

ここで、本体部４２の４辺の端部のうち、上端部４２１と下端部４２２の端部は、横方向に直線状に形成され、互いに平行するように形成される。板状部材４０を巻回して形成される接続子３０の筒状部３２は、接続子３０をハウジングする際の接続子３０の高さ方向の位置決め部として機能することになる。したがって、本体部４２の上端部４２１と下端部４２２の端部が直線状に平行に形成されることにより、ハウジングされる接続子３０の姿勢を安定化させることができる。

［上部アーム部］
上部アーム部４３は、本体部４２の４辺の端部のうち、いずれか１つの端部（図２では左側端部）と一体的に連結しており、本体部４２の左側端部の上部に位置しており、本体部４２の左側端部から左斜め上方向に延出する部材である。

上部アーム部４３は、本体部４２と連結している基端部４３１から先端側（すなわち第１先端部４４側）にいくほど、上下方向（ｙ方向）の長さが小さくなる先細り形状（テーパ形状）としても良いし、基端部４３１から先端側に亘って同一幅としてもよい。換言すると、本体部４２と連結している上部アーム部４３の基端部４３１のｙ方向の長さを「ａ１」とし、上部アーム部４３の先端部４３２のｙ方向の長さを「ａ２」とすると、ａ１≧ａ２の関係がある。この実施形態では、上部アーム部４３が先細り形状である場合を例示して説明する。

このように、上部アーム部４３を先細り形状とすることで、丸め加工により、上部アーム部４３が巻回されると、例えば竹の子バネ状の上部弾性部３３が形成される。つまり、上部アーム部４３が巻回されて形成される上部弾性部３３のうち、巻回された内側の部材の下端部を、巻回された外側の部材の上端部が覆った状態となる。そして、上部弾性部３３は、上下方向に弾性的に第１接触部３４を付勢する。

上部アーム部４３の基端部４３１は、本体部４２の左側端部の上部角部４２３からわずかに下がった位置（上部角部４２３から離間した位置）から延出している。ここで、上部角部４２３から基端部４３１までの本体部４２の左側端部の一部を「段部４２４」と呼ぶ。このように、上部角部４２３から段部４２４を設けた位置から上部アーム部４３を延出することにより、丸め加工により、板状部材４０を巻回していくと、巻回された上部アーム部４３（上部弾性部３３）の基端部４３１が、本体部４２に覆われる状態となる。

そうすると、板状部材４０が巻回されて形成された接続子３０が電気的接続ユニット１５にハウジングされ、第１接触部３４が荷重を受けると、上部弾性部３３の基端部４３１が筒状部３２に内包された状態で、上部弾性部３３が上下方向に弾性的にストロークすることになる。したがって、バネとして弾性的に駆動する上部弾性部３３の破損を防止することができる。

［第１先端部］
第１先端部４４は、上部アーム部４３の先端に設けられており、垂直上方に延出された部分である。丸め加工により、第１先端部４４が巻回されることにより、巻回された第１先端部４４は、第１の接触対象と接触する接続子３０の第１接触部３４として機能する。

［下部アーム部］
下部アーム部４５は、本体部４２の４辺の端部のうち、いずれか１つの端部（図２では左側端部）と一体的に連結しており、本体部４２の左側端部のうち下部に位置しており、本体部４２の左側端部から左斜め下方向に延出する部材である。下部アーム部４５の基端部４５１は、上部アーム部４３の基端部４３１の位置よりも下方に位置しており、本体部４２の左側端部において、下部アーム部４５の基端部４５１と上部アーム部４３の基端部４３１は離間している。

下部アーム部４５も、上部アーム部４３と同様に、本体部４２と連結している基端部４５１から先端側（すなわち第２先端部４６側）にいくほど、上下方向（ｙ方向）の長さが小さくなる先細り形状（テーパ形状）としても良いし、基端部４３１から先端側に亘って同一幅としてもよい。換言すると、本体部４２と連結している下部アーム部４５の基端部４５１のｙ方向の長さを「ｂ１」とし、下部アーム部４５の先端部４５２のｙ方向の長さを「ｂ２」とすると、ｂ１≧ｂ２の関係がある。この実施形態では、下部アーム部４５が先細り形状である場合を例示して説明する。

このように、下部アーム部４５が先細り形状となっていることで、丸め加工により、下部アーム部４５が巻回されると、例えば竹の子バネ状の下部弾性部３５が形成される。つまり、下部アーム部４５が巻回されて形成される下部弾性部３５のうち、巻回された内側の部材の上端部を、巻回された外側の部材の下端部が覆った状態となる。そして、下部弾性部３５は、上下方向に弾性的に第２接触部３６を付勢する。

下部アーム部４５の基端部４５１は、本体部４２の左側端部の下部角部４２５からわずかに上の位置（下部角部４２５から離間した位置）から延出している。ここで、下部角部４２５から基端部４５１までの本体部４２の左側端部の一部を「段部４２６」と呼ぶ。このように、下部角部４２５から段部４２６を設けた位置から下部アーム部４５を延出することにより、丸め加工により、板状部材４０を巻回していくと、巻回された下部アーム部４５（下部弾性部３５）の基端部４５１が、本体部４２に覆われる状態となる。

そうすると、板状部材４０が巻回されて形成された接続子３０が電気的接続ユニット１５にハウジングされ、第２接触部３６が荷重を受けると、下部弾性部３５の基端部４５１が筒状部３２に内包された状態で、下部弾性部３５が上下方向に弾性的にストロークすることになる。したがって、バネとして弾性的に駆動する下部弾性部３５の破損を防止することができる。

［第２先端部］
第２先端部４６は、下部アーム部４５の先端に設けられており、垂直下方に延出された部分である。丸め加工により、第２先端部４６が巻回されることにより、巻回された第２先端部４６は、第２の接触対象と接触する接続子３０の第２接触部３６として機能する。

［接続子の製造方法］
図４及び図５は、実施形態の接続子３０の製造方法を説明する説明図である。
図４（Ａ）において、まず、板状部材４０の第１先端部４４及び第２先端部４６に対して丸め加工を施して、第１先端部４４及び第２先端部４６を筒状に丸めて、第１接触部３４及び第２接触部３６を成形する。

図４（Ｂ）において、上部アーム部４３及び下部アーム部４５に対して丸め加工を施して、上部アーム部４３及び下部アーム部４５の先端側から基端部４３１及び４５１に向けて巻回していく。例えば、ここでは、図４及び図５の平面視野で、反時計回りで巻回する場合を例示する。このとき、上部アーム部４３及び下部アーム部４５を巻回する中心軸を一致又は略一致させて上部アーム部４３及び下部アーム部４５の巻回数を同じ数にするようにしてもよい。

また、上部アーム部４３及び下部アーム部４５は、基端部４３１及び４５１から先端側に掛けて先細り形状（テーパ形状）であるため、上部アーム部４３及び下部アーム部４５の巻回を繰り返していくことで、上部弾性部３３の内側の部材の下端部の一部は、外側の部材の上端部に覆われ、また、下部弾性部３５の内側の部材の上端部の一部は、外側の部材の下端部に覆われていき、上部弾性部３３及び下部弾性部３５が形成される。

図４（Ｃ）に示すように、上部アーム部４３及び下部アーム部４５が基端部４３１及び４５１まで巻回されて、上部弾性部３３及び下部弾性部３５が形成されると、さらに上部弾性部３３及び下部弾性部３５に対して丸め加工を施して、上部弾性部３３及び下部弾性部３５の基端部４３１及び４５１を本体部４２で包み込むように筒状に丸めていく。

図５（Ａ）に示すように、上部アーム部４３の基端部４３１は、上部角部４２３から段部４２４を設けた位置から延出しており、下部アーム部４５の基端部４５１は、下部角部４２５から段部４２６を設けた位置から延出しているので、上部弾性部３３及び下部弾性部３５の基端部４３１及び４５１が、筒状の巻回される本体部４２の内側に覆われた状態となる。

そして、図５（Ｂ）に示すように、本体部４２の残り部分を巻回させて、筒状部３２が形成されると、接続子３０が形成される。このように、接続子３０は、導電性材料の板状部材４０を巻回して成形されるので、電気信号の導通性を安定化させることができる。なお、本体部４２の端部は、内側の本体部４２の表面に固定されるようにしてもよい。つまり、本体部４２を巻回して形成される筒状部３２の外形構造を保持するために、本体部４２の端部と筒状部３２とが接触する１又は複数の箇所を、例えば溶接や接着剤等で固定するようにしてもよい。なお、筒状部３２の外形構造の固定方法は、溶接や接着剤に限定されるものではなく、カシメを打つ等してもよい。

図６は、第１の実施形態の接続子３０のハウジング状態と荷重を受けたときの状態を例示する図である。なお、接続子３０のハウジング方法及びハウジング構造は一例であり、図６の構造に限定されるものではない。

図６（Ａ）の例では、電気的接続ユニット１５には、接続子３０を挿通するための貫通孔６０が設けられており、貫通孔６０に接続子３０が挿通されるものとする。貫通孔６０の内径は、接続子３０の外形よりわずかに大きい若しくは同程度とする。また、貫通孔６０の下部には、貫通孔６０の上部の内径よりもわずかに内径が小さくなっており、貫通孔６０の内面において段差が設けられている。この貫通孔６０の内面の段差に、挿通された接続子３０の筒状部３２の下端部３２１が支持されるようになっている。接続子３０の筒状部３２の下端部３２１は、フラットな端面となっているため、挿通された接続子３０は安定した姿勢で収容される。

図６（Ｂ）に示すように、貫通孔６０に接続子３０が挿通されて、第１の接触対象である接続端子１４ａが第１接触部３４と接触して荷重を受けると、上部弾性部３３が上下方向に弾性する。第２の非接触対象であるパッド１６１ａが第２接触部３６と接触して荷重を受けると、下部弾性部３５が上下方向に弾性する。

電気的接触子である接続子３０の軸方向（上下方向）の両端にある上部弾性部３３と下部弾性部３５は、それぞれ互いに非対称に形成されているので、上部弾性部３３と下部弾性部３５はそれぞれ独立して上下方向の弾性を有する。

また、竹の子バネとして機能する上部弾性部３３及び下部弾性部３５の基端部４３１及び４５１は筒状部３２の内側にあるので、荷重を受けた上部弾性部３３及び下部弾性部３５は、筒状部３２の内側にある基端部４３１及び４５１をバネ機能の端として上下方向に弾性することになる。そうすると、筒状部３２が、荷重を受けた上部弾性部３３及び下部弾性部３５の上下方向に動くストロークを規制することができるので、バネ機能としての上部弾性部３３及び下部弾性部３５の破損を防止することができる。

また、筒状部３２から突出させる上部弾性部３３及び下部弾性部３５の上下方向の高さ長を調整することで、荷重を受けたときの上部弾性部３３及び下部弾性部３５のストロークを調整することができる。換言すると、可動ストロークが大きいので、接触対象との接触荷重の大きさの程度に応じて、接続子３０の付勢力の程度を幅広く設定できる。

さらに、筒状部３２の上下方向の長さ（高さ）は変わらないので、接続子３０の高さ方向の位置決めを確実にすることができる。

また、上部弾性部３３及び下部弾性部３５は、竹の子バネとして機能するので、荷重を受けた上下方向に動作する上部弾性部３３及び下部弾性部３５の摺動性を向上させることができる。つまり、接続子が複数の構成部品で形成される場合、複数の構成部品の間に荷重が作用して上下方向の弾性を有するので、その摺動不良が生じることがある。しかし、この実施形態の接続子３０は、従来よりも構成部品数を減らした構造であるので、摺動性が向上する。

（Ａ−２）第１の実施形態の効果
以上のように、この実施形態の電気的接触子（接続子）は、従来よりも少ない構成部品数で構成されているので、摺動性を向上でき、かつ、接触対象との電気的な接触安定性を向上することができる。

（Ｂ）第２の実施形態
次に、本発明に係る電気的接触子及び電気的接続装置の第２の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。

（Ｂ−１）第２の実施形態の構成
上述した第１の実施形態では、半導体ウェハ上の集積回路の電気的な検査を行なう電気的接続装置の電気的接続ユニットに搭載する接続子に、本発明の電気的接触子に適用する場合を例示した。この場合、電気的接触子の接触対象がフラットなパッドや端子等であることが多い。

しかし、パッケージ化された集積回路の電気的検査に用いられるテストソケット等のソケットに搭載されるプローブに、本発明に係る電気的接触子を適用するようにしてもよい。その場合、電気的接触子の接触対象が、例えば半田ボール等の半円球状であることがある。

そこで、第２の実施形態では、半田ボール等を接触対象とする場合にも対応可能な電気的接触子を、図面を参照しながら説明する。

図７は、第２の実施形態の電気的接触子３０Ａの構成を示す構成図である。図８は、第２の実施形態の電気的接触子３０Ａを形成する前の板状部材の構成を示す構成図である。

図７に示すように、第２の実施形態の電気的接触子３０Ａは、筒状部３２と、第１の接触対象としての配線基板１４の接続端子１４ａと接触する第１接触部３４と、第１接触部３４が接続端子１４ａと接触して荷重を受けたときに上下方向に弾性的に付勢する上部弾性部３３と、筒状部３２の下端部３２１に複数の第２接触部３７とを有する。

図８に示すように、板状部材４０Ａは、本体部４２と、上部アーム部４３と、上部アーム部４３の先端に設けられた第１先端部４４と、本体部４２の下端部４２２に山形形状の凸部である複数の山形突起部４７とを有する。なお、板状部材４０Ａは、第１の実施形態と同様に、例えば貴金属又は金属で形成された板状部材、若しくは、板状の部材の表面を貴金属又は金属でメッキ加工して得た板状部材であり、板状の部材を打ち抜き加工等を施して形成される。また例えば、板状部材４０Ａは、第１の接触対象及び又は第２の接触対象と接触する箇所を貴金属等とし、それ以外の部分を例えばバイメタル等の弾性（例えばバネ性）の優れた部材で形成してもよい。

図７の電気的接触子３０Ａは、図８の板状部材４０Ａに対して成形加工（丸め加工等）を施して、板状部材４０Ａを巻回して丸めることで形成される。板状部材４０Ａを巻回して電気的接触子３０Ａが形成されると、筒状部３２の下端部３２１及び第２接触部３７はクラウン形状の接触部として機能する。

なお、図８の板状部材４０Ａに対して丸め加工を施して、図７の電気的接触子３０Ａを形成する製造方法は、基本的には、第１の実施形態と同じであるので、ここでは製造方法の詳細な説明は省略する。

図７及び図８の例では、３個の山形突起部４７を設ける場合を例示したが、山形突起部４７の数は特に限定されるものではなく、２個若しくは４個以上であってもよい。また、接触対象とする半田ボールの大きさ（外形）等に応じて、山形突起部４７の設置間隔を決定することができる。

図７及び図８に示すように、複数の第２接触部３７は、筒状部３２の下端部３２１に山形形状の凸部（突起部）として設けられている。このような形状とすることで、複数の第２接触部（山形突起部４７）３７と筒状部３２の下端部３２１とが、半田ボール８０に対して電気的に接触することができ、筒状部３２の下端部３２１に第２接触部（山形突起部４７）３７を設けることにより、第２接触部（山形突起部４７）３７が半田ボール８０の表面に当たり（突き刺さり）電気的接触性を確実にすることができる。

また、上述した例では、山形突起部４７としての第２接触部３７が筒状部３２の下端部３２１にある場合を例示したが、接触対象との接触態様に応じて、筒状部３２の上端部に山形突起部４７としての第２接触部３７を設けるようにしてもよい。

（Ｂ−２）第２の実施形態の効果
以上のように、第２の実施形態によれば、第１の実施形態で説明した効果に加えて、接触対象が半田ボール等のような半球体状のものであって、当該接触対象との電気的接触性を確実にすることができる。

（Ｃ）第３の実施形態
次に、本発明に係る電気的接触子及び電気的接続装置の第３の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。

（Ｃ−１）第３の実施形態の構成
図９は、第３の実施形態の電気的接触子の構成と板状部材の構成とを示す構成図である。

図９（Ａ）に示すように、第３の実施形態の板状部材４０Ｃは、本体部４２と、上部アーム部４３Ｃと、上部アーム部４３Ｃの先端に設けられた第１先端部４４と、下部アーム部４５Ｃと、下部アーム部４５Ｃの先端に設けられた第２先端部４６とを有する。なお、板状部材４０Ｃは、第１及び第２の実施形態と同様に、例えば貴金属又は金属で形成された板状部材、若しくは、板状の部材の表面を貴金属又は金属でメッキ加工して得た板状部材であり、板状の部材を打ち抜き加工等を施して形成される。また例えば、板状部材４０Ｃは、第１の接触対象及び又は第２の接触対象と接触する箇所を貴金属等とし、それ以外の部分を例えばバイメタル等の弾性（例えばバネ性）の優れた部材で形成してもよい。

図９（Ｂ）において、第３の実施形態の電気的接触子３０Ｃは、筒状部３２と、上部弾性部３３Ｃと、第１接触部３４と、下部弾性部３５Ｃと、第２接触部３６とを有する。

第３の実施形態では、電気的接触子３０Ｃのバネ機能として作用する上部弾性部３３Ｃ及び下部弾性部３５Ｃの荷重耐性及びストロークを調整するために、板状部材４０Ｃの上部アーム部４３Ｃ及び下部アーム部４５Ｃの形状を変形した場合の実施形態を説明する。

図９（Ａ）において、板状部材４０Ｃの上部アーム部４３Ｃの形状が、例えば弓形等の円弧状、若しくは、屈曲した形状となっている。つまり、上部アーム部４３Ｃの形状が弓形に湾曲した形状としたり、又は、直線状の上部アーム部４３Ｃが折れ曲がった形状としたりする。また、上部アーム部４３Ｃの上下方向の幅長を比較的小さく（すなわち、上部アーム部４３Ｃを細く）している。

このように、上部アーム部４３Ｃの形状を円弧状に湾曲した形状若しくは折れ曲がった形状とし、上下方向の幅長を細くすることにより、上部アーム部４３Ｃを巻回して形成した上部弾性部３３Ｃは、上下方向の付勢力を小さく（低荷重）することができる。つまり、第１接触部３４が第１接触対象と接触するときの接触荷重を小さくすることができる。

また、下部アーム部４５Ｃは、第１の実施形態の下部アーム部４５と同様に、中心軸が直線状の延びた形状であるが、上下方向の幅長を大きくした形状（下部アーム部４５Ｃを太くした形状）となっている。このように、下部アーム部４５Ｃを太くすることにより、下部アーム部４５Ｃを巻回して形成した下部弾性部３５Ｃは、上下方向の付勢力を大きく（高荷重）することができる。つまり、第２接触部３６が第２接触対象と接触するときの接触荷重を大きくすることができる。

図９（Ａ）及び図９（Ｂ）の例では、上部アーム部４３Ｃが円弧状又は折れ曲がった形状であり、下部アーム部４５Ｃが幅広な形状である場合を例示したいが、電気的接触子３０Ｃの接触対象に応じて、下部アーム部４５Ｃを円弧状又は折れ曲がった形状とし、上部アーム部４３Ｃを幅広な形状等としてもよい。

また、上部アーム部４３Ｃ及び下部アーム部４５Ｃの上下方向の幅長は、接触対象の材質や硬度等に応じて決めることができる。

（Ｃ−２）第３の実施形態の効果
以上のように、第３の実施形態によれば、第１の実施形態で説明した効果が得られると共に、電気的接触子を形成する板状部材の上部アーム部及び下部アーム部の形状を変えることで、上下方向に弾性する上部弾性部及び下部弾性部の弾性エネルギーやストロークを制御し、上部弾性部及び下部弾性部の付勢力を調整することができる。

（Ｄ）第４の実施形態
次に、本発明に係る電気的接触子及び電気的接続装置の第４の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。

（Ｄ−１）第４の実施形態の構成
図１０は、第４の実施形態の電気的接触子を形成する前の板状部材の構成を示す構成図である。図１１は、第４の実施形態に係る電気的接触子の構成を示す構成図である。

図１０に示すように、第４の実施形態の板状部材４０Ｄは、本体部４２Ｄと、本体部４２Ｄの左側端部の上部から左斜め上方向に延出する上部アーム部４３と、上部アーム部４３の先端に設けられた第１先端部４４と、本体部４２Ｄの右側端部の下部から右斜め下方向に延出する下部アーム部４５Ｄと、下部アーム部４５Ｄの先端に設けられた第２先端部４６Ｄとを有する。

なお、第４の実施形態の板状部材４０Ｄにおいて、上部アーム部４３と、上部アーム部４３の先端に設けられた第１先端部４４は、第１の実施形態で説明した各構成要素と同じであるため、同一符号を付している。なお、板状部材４０Ｄは、第１〜第３の実施形態と同様に、例えば貴金属又は金属で形成された板状部材、若しくは、板状の部材の表面を貴金属又は金属でメッキ加工して得た板状部材であり、板状の部材を打ち抜き加工等を施して形成される。また例えば、板状部材４０Ｄは、第１の接触対象及び又は第２の接触対象と接触する箇所を貴金属等とし、それ以外の部分を例えばバイメタル等の弾性（例えばバネ性）の優れた部材で形成してもよい。

下部アーム部４５Ｄは、本体部４２Ｄの４辺の端部のうち、上部アーム部４３が設けられている端部（左側端部）と対向する対向端部（右側端部）と一体的に連結しており、本体部４２Ｄの右側端部から右斜め下方向に延出する。

下部アーム部４５Ｄは、第１の実施形態と同様に、本体部４２Ｄ側の基端部４５１Ｄから先端側にいくほど、上下方向の幅長が小さくなる先細り形状（テーパ形状）となっている。また、第４の実施形態においても、他の実施形態と同様、本体部４２Ｄに対して、下部アーム部４５Ｄの基端部４５１Ｄは、上部アーム部４３の基端部４３１よりも下方に位置をずらして延出し、かつ、本体部４２Ｄの右側端部の下部角部４２５Ｄからわずかに上の位置から延出している。ここで、下部角部４２５Ｄから基端部４５１Ｄまでの本体部４２Ｄの左側端部の一部を「段部４２６Ｄ」と呼ぶ。

第２先端部４６Ｄは、下部アーム部４５Ｄの先端に設けられており、垂直下方に延出された部分である。

本体部４２Ｄは、基本的には、他の実施形態と同様に略長方形状であるが、上部アーム部４３の基端部４３１の下側端部４２７が、上部アーム部４３の基端部４３１の上側にある段部４２４の位置よりも、本体部４２Ｄの中央部寄りに位置している。同様に、本体部４２Ｄは、下部アーム部４５Ｄの基端部４５１Ｄの上側端部４２８が、下部アーム部４５Ｄの下側にある段部４２６Ｄの位置よりも、本体部４２Ｄの中央部寄りに位置している。このように、上部アーム部４３の下側端部４２７と下部アーム部４５Ｄの上側端部４２８の各位置を、本体部４２Ｄの中央部寄りとすることにより、丸め加工によって電気的接触子３０Ｄの筒状部３２を形成する際に、巻回した上部アーム部４３（又は下部アーム部４５Ｄ）と、これに対向する本体部４２Ｄの端部（対向端部）との干渉を回避することができる。つまり、上部アーム部４３の下側端部４２７と下部アーム部４５Ｄの上側端部４２８の各位置を、本体部４２Ｄの中央部寄りとすることが、逃げ構造を形成することになる。

第４の実施形態では、上部アーム部４３の巻回方向と、下部アーム部４５Ｄの巻回方向とが互いに異なる方向である。例えば、上部アーム部４３の巻回方向は、図１０の平面視野で反時計回りであり、下部アーム部４５Ｄの巻回方向は、図１０の平面視野で時計回りなどのようにする。

まず、上部アーム部４３に丸め加工を施して上部アーム部４３を反時計回りで巻回していき、下部アーム部４５Ｄに丸め加工を施して下部アーム部４５Ｄを時計回りで巻回していく。

次に、上部アーム部４３を巻回して上部弾性部３３と、下部アーム部４５Ｄを巻回して下部弾性部３５Ｄが形成されると、本体部４２Ｄについては、１点鎖線（中心線）の中心に向けて、本体部４２Ｄの左右からそれぞれ均等に巻回していく。これにより、図１１（Ａ）に例示する電気的接触子３０Ｄが形成される。

ここで、図１１（Ａ）及び図１１（Ｂ）を参照して、筒状部３２の形成方法を説明する。上部アーム部４３を巻回して形成された上部弾性部３３の基端部４３１は、当該基端部４３１が連結している本体部４２Ｄの左側部分により包み込まれるように巻回される。つまり、上部弾性部３３の基端部４３１が、本体部４２Ｄの左側部分の内側に巻かれる。同様に、下部アーム部４５Ｄを巻回して形成された下部弾性部３５Ｄの基端部４５１Ｄは、当該基端部４５１Ｄが連結している本体部４２Ｄの右側部分に包み込まれるように巻回される。

このように、上部弾性部３３を、本体部４２Ｄの左側部分で巻き込むと同時に、下部弾性部３５Ｄを、本体部４２Ｄの右側部分で巻き込んで、本体部４２Ｄの左側端部と右側端部とを合わせる（接触させる）ことで、筒状部３２を形成する。つまり、本体部４２Ｄの右側端部の上側端部４２８の裏側で、上部弾性部３３を包み込むように覆い、本体部４２Ｄの左側端部の下側端部４２７の裏側で、下部弾性部３５Ｄを包み込むように覆うようにする。これにより、図１１（Ｂ）に例示する電気的接触子３０Ｄが形成される。なお、図１１（Ｂ）では、本体部４２Ｄで形成した筒状部３２は、本体部４２Ｄの左側端部と右側端部とが接触させる構造を例示したが、これに限定されるものではない。図１１（Ｃ）に例示するように、本体部４２Ｄの左側端部と右側端部とをわずかに離間させて対向させるようにしてもよい。また、図１１（Ａ）〜図１１（Ｃ）において、本体部４２Ｄを巻回して筒状部３２を形成する際に、筒状部３２の外形構造を保持するために、本体部４２Ｄの左側端部及び又は右側端部の任意の１又は複数の箇所に、例えば溶接や接着剤等で固定するようにしてもよい。例えば図１１（Ｂ）において、本体部４２Ｄの左側端部と右側端部とが接触する１又は複数の箇所に、例えば溶接や接着剤等で固定したり、図１１（Ｃ）において、本体部４２Ｄの左側端部（及び又は、右側端部）と、これに対向する筒状部３２の端部とが接触する１又は複数の箇所に、例えば溶接や接着剤等で固定したりしてもよい。なお、筒状部３２の外形構造の固定方法は、溶接や接着剤に限定されるものではなく、カシメを打つ等してもよい。

上部アーム部４３と下部アーム部４５Ｄは、本体部４２Ｄに対して高さ方向の位置をずらして延出しているので、上部弾性部３３と下部弾性部３５Ｄを、本体部４２Ｄで包み込むように巻回しても、上部弾性部３３と下部弾性部３５Ｄは、互いに干渉することがない。その結果、電気的接触子３０Ｄの上部弾性部３３と下部弾性部３５Ｄは、それぞれ独立して軸方向に弾性を有する。

このように、上部アーム部４３と下部アーム部４５Ｄの巻回方向を互いに異なる方向とすることにより、第１接触部３４が第１の接触対象と接触し、第２接触部３６Ｄが第２の接触対象と接触して荷重がかかったときに、上部弾性部３３に作用する応力と、下部弾性部３５Ｄに作用する応力とを打ち消すことができる。

したがって、第１接触部３４が第１の接触対象に接触したときの接点と、第２接触部３６Ｄが第２の接触対象と接触したときの接点に生じる回転荷重を軽減することができる。

（Ｄ−２）第４の実施形態の効果
以上のように、第４の実施形態によれば、第１の実施形態で説明した効果が得られると共に、上部アーム部と下部アーム部の巻回方向を互いに異なる方向とすることにより、上部弾性部に作用する応力と、下部弾性部に作用する応力とを打ち消すことができ、接点における回転荷重を軽減することができる。

（Ｅ）第５の実施形態
次に、本発明に係る電気的接触子及び電気的接続装置の第５の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。

第５の実施形態は、接続子（電気的接触子）の成形加工前の板状部材において、本体部から延出しているアーム部（上部アーム部、下部アーム部）の板状部分にくり抜き加工（切り抜き加工）を行なう場合を例示して説明する。

以下では、第１の実施形態で説明した板状部材４０の上部アーム部４３と下部アーム部４５の両方の板状部分に、くり抜き加工を施す場合を例示する。なお、くり抜き加工の対象とするアーム部は、第１〜第４の実施形態で説明した板状部材４０、４０Ａ、及び４０Ｃにおける、上部アーム部（上部アーム部４３及び４３Ｃ）と、下部アーム部（下部アーム部４５、４５Ｃ及び４５Ｄ）のいずれかであっても良いし、上部アーム部（上部アーム部４３及び４３Ｃ）と下部アーム部（下部アーム部４５、４５Ｃ及び４５Ｄ）の全てであっても良い。

（Ｅ−１）第５の実施形態の構成
図１２〜図１４は、第５の実施形態の電気的接触子を形成する前の板状部材の構成を示す構成図である。

図１２に例示するように、板状部材４０Ｅにおいて、本体部４２から延出している上部アーム部４３の基端部４３１から先端側に掛けてくり抜き加工が施されて、略台形形状のスリット部４８が形成される。同様に、下部アーム部４５の基端部４５１から先端側に掛けてくり抜き加工が施されて、略台形形状のスリット部４９が形成される。

第１〜第４の実施形態と同様の方法で、図１２に例示する板状部材４０Ｅを巻回していき接続子（電気的接触子）３０を形成する。そうすると、上部アーム部４３及び下部アーム部４５にはスリット部４８及びスリット部４９が形成されているので、第１接触部３４及び第２接触部３６が、第１の接触対象及び第２の接触対象から受ける荷重（接触荷重）の大きさや、上部弾性部３３及び下部弾性部３５の上下方向に弾性するストロークを変えることができる。

すなわち、上部アーム部４３及び下部アーム部４５に、スリット部４８及びスリット部４９を形成することで、第１接触部３４及び第２接触部３６の荷重の大きさや、上部弾性部３３及び下部弾性部３５のストロークを調整することができる。

換言すると、上部アーム部４３（又は下部アーム部４５）の上下方向における幅長に対して、スリット部４８（又はスリット部４９）の幅長や、基端部４３１から先端側（又は基端部４５１から先端側）に掛けてのスリット部４８の長さや、スリット部４８（又はスリット部４９）の位置などを調整することにより、第１接触部３４及び第２接触部３６の荷重の大きさや、上部弾性部３３及び下部弾性部３５のストロークを調整（コントロール）することができる。

上部アーム部４３や下部アーム部４５に形成するスリット部４８やスリット部４９の形状や位置などの調整方法については、様々な方法を広く適用することができる。

例えば、図１３に例示するように、上部アーム部４３（又は下部アーム部４５）の板状部分の幅において、上下方向に２本のスリット部４８Ａ及び４８Ｂ（又はスリット部４９Ａ及び４９Ｂ）を配列するようにしてもよい。なお、２本のスリット部４８Ａ及び４８Ｂ（又はスリット部４９Ａ及び４９Ｂ）のそれぞれの上下方向の幅長は略同じ長さとしても良いし、それぞれ異なる長さとしてもよい。勿論、３本以上のスリット部４８（又はスリット部４９）を配列するようにしてもよい。

また例えば、図１４に例示するように、上部アーム部４３（又は下部アーム部４５）において、先端側に近い側と、基端部４３１に近い側とのそれぞれに２個のスリット部４８Ｃ及び４８Ｄ（又はスリット部４９Ｃ及び４９Ｄ）を形成するようにしてもよい。なお、基端部４３１から先端側に向けた上部アーム部４３（又は下部アーム部４５）の延出方向における、スリット部４８Ｃ及び４８Ｄ（又はスリット部４９Ｃ及び４９Ｄ）の長さは、それぞれ同じ長さであっても良いし、それぞれ異なる長さであってもよい。勿論、上部アーム部４３（又は下部アーム部４５）の延出方向に、３個以上のスリット部４８（又はスリット部４９）を形成するようにしてもよい。

さらに例えば、図１２〜図１４を含めて、この実施形態で例示した各スリット部４８（又はスリット部４９）の形状は、略台形形状に限定されるものではなく、略三角形状、略矩形形状、略楕円形状、両端を円弧状にした形状等としてもよい。

（Ｅ−２）第５の実施形態の効果
以上のように、第５の実施形態によれば、第１〜第４の実施形態で説明した効果を得ることができると共に、アーム部（上部アーム部、下部アーム部）に、１又は複数のスリット部を設けることにより、板状部材を巻回して形成した接続子の第１接触部及び第２接触部の荷重の大きさや、上部弾性部及び下部弾性部の上下方向のストロークを調整することができる。

（Ｆ）他の実施形態
上述した各実施形態においても、本発明の変形実施形態を言及したが、本発明は、以下の実施形態においても適用できる。

上述した第２の実施形態で説明した電気的接触子は、上部アーム部を巻回して形成した上部弾性部を備え、筒状部の下端部に複数の山形突起部を備える場合を例示したが、第２の実施形態においても、上部弾性部の弾性力を小さくするために、上部アーム部の形状を円弧状等の形状としてもよいし、上部弾性部の弾性力を高くするために、上部アーム部の上下方向の幅長を大きくするようにしてもよい。

上述した各実施形態では、第１先端部及び第２先端部の形状が矩形形状である場合を例示したが、第１先端部及び第２先端部の形状はこれに限定されるものではない。例えば、巻回した後の第１接触部及び第２接触部の形状がクラウン形状、ニードル形状等となるように、第１先端部及び第２先端部の形状を変形してもよい。また、上述した各実施形態において例示した、筒状部の外形構造を保持するために、筒状部の任意の箇所に、所定の方法（例えば溶接や接着剤等）で固定するようにしてもよい。

３０…接続子、３０Ａ、３０Ｃ及び３０Ｄ…電気的接触子、３２…筒状部、３３及び３３Ｃ…上部弾性部、３４…第１接触部、３５、３５Ｃ及び３５Ｄ…下部弾性部、３６及び３６Ｄ…第２接触部、３７…第２接触部、
４０、４０Ａ、４０Ｃ、４０Ｄ、４０Ｅ、４０Ｆ、４０Ｇ…板状部材、４２及び４２Ｄ…本体部、４３及び４３Ｃ…上部アーム部、４４…第１先端部、４５、４５Ｃ及び４５Ｄ…下部アーム部、４６及び４６Ｄ…第２先端部、４７…山形突起部、４８、４８Ａ、４８Ｂ、４８Ｃ、４８Ｄ…スリット部、４９、４９Ａ、４９Ｂ、４９Ｃ、４９Ｄ…スリット部、
４２１…上端部、４２２…下端部、４２３…上部角部、４２４…段部、４２５及び４２５Ｄ下部角部、４２６及び４２６Ｄ…段部、４３１…基端部、４３２…先端部、４５１及び４５１Ｄ…基端部、４５２…先端部。

Claims (7)

1. 導電性を有する板状部材で形成された電気的接触子であって、
   前記板状部材が、本体部と、前記本体部の一端部から斜め上方に向けて延出する先細り形状の上部アーム部と、前記上部アーム部の先端に設けられた第１先端部と、前記本体部の一端部から斜め下方に向けて延出する先細り形状の下部アーム部と、前記下部アーム部の先端に設けられた第２先端部とを備え、
   前記第１先端部を巻回して形成された、第１の接触対象と接触する第１接触部と、
   上下方向の幅長が前記下部アームの上下方向の幅長と異なる、前記先細り形状の、前記上部アーム部を巻回して、内側に位置する前記上部アーム部の下端部の外周を、外側に位置する前記上部アーム部の上端部で覆うようにして形成された竹の子バネ状の第１の弾性部と、
   前記第２先端部を巻回して形成された、第２の接触対象と接触する第２の接触部と、
   前記先細り形状の前記下部アーム部を巻回して、内側に位置する前記下部アーム部の上端部の外周を、外側に位置する前記下部アーム部の下端部で覆うようにして形成された竹の子バネ状の第２の弾性部と、
   前記本体部を巻回して形成されたものであって、前記第１の弾性部の基端部と前記第２の弾性部の基端部とを内側に収容する筒状部と
   を備えることを特徴とする電気的接触子。
2. 前記第１の弾性部は、前記筒状部に収容されている当該第１の弾性部の前記基端部を端として、軸方向に弾性を有し、
   前記第２の弾性部は、前記筒状部に収容されている当該第２の弾性部の前記基端部を端として、軸方向に弾性を有し、
   前記第１の弾性部及び前記第２の弾性部がそれぞれ独立して軸方向の弾性を有する
   ことを特徴とする請求項１に記載の電気的接触子。
3. 前記上部アーム部は、前記本体部の一端部から延出しており、前記第１の弾性部は、第１の巻回方向で巻回されて形成されたものであり、
   前記下部アーム部は、前記上部アーム部が延出している前記本体部の前記一端部と対向する対向端部から延出しており、前記第２の弾性部は、前記第１の巻回方向とは異なる第２の巻回方向で巻回されて形成されたものである
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の電気的接触子。
4. 板状部材の前記上部アーム部及び又は前記下部アーム部には、前記第１の弾性部及び又は前記第２の弾性部の軸方向の弾性を調整するための１又は複数の切り抜き部が形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の電気的接触子。
5. 前記本体部の端部から延出する各アーム部のいずれか又は全てが、円弧状に湾曲していることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の電気的接触子。
6. 矩形形状の前記本体部の端部から延出する各アーム部が、当該端部の角部から離間した位置から延出しており、
   前記各アーム部が巻回されて形成される前記各弾性部の基端部が、前記本体部の内面で覆われて前記筒状部に内包される
   ことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の電気的接触子。
7. 第１の接触対象と第２の接触対象とに接触させる複数の電気的接触子を備える電気的接続装置において、
   前記複数の電気的接触子が、請求項１〜６のいずれかに記載の電気的接触子であることを特徴とする電気的接続装置。

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