WO2020217561A1 - 電気的接触子及び電気的接続装置 - Google Patents

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WO2020217561A1
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elastic
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智昭 久我
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株式会社日本マイクロニクス
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    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07357—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with flexible bodies, e.g. buckling beams

Definitions

  • the present invention relates to an electrical contactor and an electrical connection device, and can be applied to, for example, an integrated circuit on a semiconductor wafer or an electrical contactor and an electrical connection device used for an energization test of an object to be inspected.
  • An electrical connection device such as a probe card is used for electrical inspection of an integrated circuit on a semiconductor wafer, and an electrical connection device such as a socket is used for electrical inspection of a packaged integrated circuit.
  • an electrical contactor that contacts the first contact object and the second contact object is used, and the first contact object and the second contact object are connected to each other via the electrical contact element. The electrical signal is conducting between them.
  • Patent Document 1 a thin-walled strip-shaped substrate is bent to integrally mold a spiral tubular sleeve, a first terminal at one end of the tubular sleeve, and a second terminal at the other end of the tubular sleeve.
  • the spring probe is disclosed. Since such a spring probe is integrally formed of a thin-walled strip-shaped substrate, the conductivity becomes good.
  • the spring probe described in Patent Document 1 is formed by bending a flat plate in a spiral shape to form a tubular sleeve, when the first terminal and the second terminal come into contact with a contact object and a load is applied, the spring probe is applied.
  • the slidability of the tubular sleeve is not sufficient, a good elastic force may not be obtained, and it is difficult to adjust the elastic force of the tubular sleeve. As a result, stable electrical contactability with respect to the contact target may not be obtained.
  • the present invention can improve the slidability of an elastic member by being formed with a small number of parts in order to improve the conductivity, and can control the elastic force according to the characteristics of the contact object. It is an object of the present invention to provide an electrical contactor and an electrical connection device capable of improving the electrical contact stability with a contact target.
  • the first electric contact of the present invention is an electric contact formed of a plate-shaped member having conductivity, and the plate-shaped member is a main body and the main body.
  • a tapered upper arm portion extending diagonally upward from one end of the portion, a first tip portion provided at the tip of the upper arm portion, and extending diagonally downward from one end of the main body portion.
  • a second tip portion having a tapered lower arm portion and a second tip portion provided at the tip of the lower arm portion, which is formed by winding the first tip portion and in contact with a first contact object. It is formed by winding one contact portion and the tapered upper arm portion so that the upper end portion of the outer upper arm portion covers the outer periphery of the lower end portion of the inner upper arm portion.
  • the formed first elastic portion, the second contact portion formed by winding the second tip portion, and the second contact portion that comes into contact with the second contact object, and the tapered lower arm portion are wound.
  • a second elastic portion formed so that the lower end portion of the outer lower arm portion covers the outer periphery of the upper end portion of the inner lower arm portion, and the main body portion are wound around. It is formed and is characterized by including a tubular portion for accommodating a base end portion of the first elastic portion and a base end portion of the second elastic portion inside.
  • the second electric contact of the present invention is an electric contact formed of a plate-shaped member having conductivity, and the plate-shaped member is obliquely upward from the main body and one end of the main body.
  • the tip portion is provided with a tapered upper arm portion extending toward the surface, a tip portion provided at the tip of the upper arm portion, and a plurality of chevron protrusions provided at the lower end portion of the main body portion.
  • the first contact portion that comes into contact with the first contact object and the tapered upper arm portion are wound around the upper end of the outer upper arm portion.
  • An elastic portion formed so as to cover the outer periphery of the lower end portion of the upper arm portion on the inner side, and an elastic portion formed by winding the main body portion, and accommodating the base end portion of the elastic portion inside. At the same time, it is characterized by including a tubular portion that comes into contact with the second contact target together with the plurality of chevron protrusions at the lower end portion.
  • the third electrical connection device of the present invention is an electrical connection device including a plurality of electrical contacts that bring the first contact object into contact with the second contact object, wherein the plurality of electrical contacts are used. It is a first or second electrical contact of the present invention.
  • the present invention in order to improve the conductivity, it is formed with a small number of parts, the slidability of the elastic member can be improved, the elastic force can be controlled according to the characteristics of the contact object, and the contact object can be contacted.
  • the electrical contact stability of the can be improved.
  • the electrical contactor according to the present invention is applied to a connector mounted on an electrical connection unit which is a component of an electrical connection device.
  • the electrical contacts according to the present invention are not limited to the following embodiments.
  • the electrical contact according to the present invention is capable of electrically contacting a first contact object and a second contact object and conducting an electric signal between the first contact object and the second contact object. Can be applied to.
  • the electrical connection device according to the present invention is applied to an electrical connection device used for electrical inspection of the subject to be inspected, with an integrated circuit formed on a semiconductor wafer as the subject to be inspected.
  • An example is given.
  • the electrical connection device according to the present invention uses the electrical contact according to the present invention to conduct an electric signal between the first contact object and the second contact object to electrically connect them. Applicable to things.
  • FIG. 3 is a configuration diagram showing a configuration of an electrical connection device according to the first embodiment.
  • the electrical connection device 10 of FIG. 3 illustrates the main components, but is not limited to these components, and actually has components not shown in FIG. Further, in the following, "upper” and “lower” will be referred to by paying attention to the vertical direction in FIG.
  • the electrical connection device 10 includes a flat plate-shaped support member 12, a flat plate-shaped wiring board 14 held on the lower surface 12a of the support member 12, and the wiring board 14 and electrical. It has an electrical connection unit 15 connected to the electrical connection unit 15 and a probe substrate 16 that is electrically connected to the electrical connection unit 15 and has a plurality of probes 20.
  • the electrical connection device 10 uses a large number of fixing members (for example, screwing members such as bolts) when assembling the support member 12, the wiring board 14, the electrical connection unit 15, and the probe board 16. In FIG. 3, these fixing members are not shown.
  • the electrical connection device 10 uses, for example, a semiconductor integrated circuit formed on a semiconductor wafer as the inspected body 2, and electrically inspects the inspected body 2. Specifically, the test object 2 is pressed toward the probe substrate 16 to electrically contact the tip of each probe 20 of the probe substrate 16 with the electrode terminal 2a of the probe substrate 2, and a tester (not shown) (not shown). The inspection device) supplies an electric signal to the electrode terminal 2a of the inspected body 2, and further gives an electric signal from the electrode terminal 2a of the inspected body 2 to the tester side to perform an electric inspection of the inspected body 2. Do it.
  • the object 2 to be inspected is placed on the upper surface of the chuck top 3.
  • the position of the chuck top 3 can be adjusted in the horizontal X-axis direction, the Y-axis direction perpendicular to the X-axis direction on the horizontal plane, and the Z-axis direction perpendicular to the horizontal plane (XY plane).
  • the rotational posture can be adjusted in the ⁇ direction around the Z axis.
  • the support member 12 suppresses deformation (for example, bending) of the wiring board 14. For example, since the probe board 16 has a large number of probes 20, the weight of the probe board 16 attached to the wiring board 14 side is large. Further, when the probe substrate 16 is electrically inspected, the probe substrate 16 is pressed by the subject 2 on the chuck top 3 so that the probe substrate 16 protrudes from the lower surface of the probe substrate 16 with the tip of the probe 20. The electrode terminal 2a of the object 2 to be inspected comes into contact with the electrode terminal 2a. In this way, during the electrical inspection, a reaction force (contact load) that pushes up from the bottom to the top acts, and a large load is also applied to the wiring board 14.
  • the support member 12 functions as a member that suppresses deformation (for example, bending) of the wiring board 14.
  • the support member 12 is provided with a plurality of through holes 121 that penetrate the upper surface and the lower surface.
  • Each of the plurality of through holes 121 is provided at a position corresponding to each position of the plurality of anchors 50 arranged on the upper surface of the probe substrate 16 described later, and the plurality of through holes 141 provided in the wiring board 14 are provided. It is provided at the position corresponding to each position of.
  • a spacer (hereinafter, also referred to as a “support portion”) 51 is inserted into each through hole 121 of the support member 12 from above to below, and the lower end portion of the spacer (support portion) 51 and the lower end portion thereof.
  • the structure is such that the corresponding anchor 50 can be fixed.
  • the lower end of the spacer (support portion) 51 is a male screw portion
  • the substantially central portion of the anchor 50 arranged on the upper surface of the probe substrate 16 is a female screw portion 501
  • the spacer (support portion). ) 51 can be fixed by screwing the lower end portion (male screw portion) into the female screw portion of the anchor 50.
  • the distance between the upper surface of the probe substrate 16 and the upper surface of the support member 12 can be maintained at a predetermined distance length.
  • the wiring board 14 is made of, for example, a resin material such as polyimide, and is, for example, a printed circuit board formed in a substantially circular plate shape.
  • a large number of electrode terminals (not shown) for electrically connecting to a test head (not shown) of a tester (inspection device) are arranged on the peripheral edge of the upper surface of the wiring board 14.
  • a wiring pattern is formed on the lower surface of the wiring board 14, and the connection terminal 14a of the wiring pattern is electrically connected to the upper end of a connector 30 such as a pogo pin provided in the electrical connection unit 15. It is designed to do.
  • a wiring circuit (not shown) is formed inside the wiring board 14, and the wiring pattern on the lower surface of the wiring board 14 and the electrode terminals on the upper surface of the wiring board 14 form a wiring circuit inside the wiring board 14. It is possible to connect via. Therefore, each connector 30 of the electrical connection unit 15 that is electrically connected to the connection terminal 14a of the wiring pattern on the lower surface of the wiring board 14 via the wiring circuit in the wiring board 14, and the electrode on the upper surface of the wiring board 14 An electrical signal can be conducted with the test head connected to the terminal.
  • a plurality of electronic components required for electrical inspection of the object to be inspected 2 are also arranged on the upper surface of the wiring board 14.
  • the wiring board 14 is provided with a plurality of through holes 141 that penetrate the upper surface and the lower surface of the wiring board 14.
  • Each of the plurality of through holes 141 is arranged at a position corresponding to each position of the plurality of anchors 50 arranged on the upper surface of the probe substrate 16, and is arranged at a position corresponding to each position of the plurality of through holes 121 of the support member 12. It is located in the corresponding position.
  • each through hole 141 can be a shape corresponding to the shape of the support portion 51 to be inserted. Further, in order to allow the support portion 51 to be inserted into each through hole 141, the inner diameter of each through hole 141 is about the same as or slightly larger than the outer diameter of the support portion 51.
  • the support portion 51 in order to illustrate the case where the support portion 51 is a cylindrical member, the case where the opening shape of the through hole 141 is substantially circular is illustrated, but the present invention is not limited to this.
  • the support portion 51 may be a member of a right-angled column having a substantially square cross-sectional shape, a member of a polygonal column having a polygonal cross-sectional shape, or the like, and even in such an example, the opening of the through hole 141 may be opened.
  • the shape can be a shape through which the support portion 51 can be inserted.
  • the electrical connection unit 15 has a plurality of connectors 30 such as a pogo pin and the like.
  • the upper end of each connector 30 is electrically connected to the connection terminal 14a of the wiring pattern on the lower surface of the wiring board 14, and the lower end of each connector 30 is connected to the probe board. It is connected to a pad provided on the upper surface of 16. Since the tip of the probe 20 electrically contacts the electrode terminal of the object 2 to be inspected, the electrode terminal of the object 2 to be inspected is electrically connected to the tester (inspection device) through the probe 20 and the connector 30.
  • the object 2 to be inspected can be electrically inspected by a tester (inspection device).
  • the electrical connection unit 15 has a plurality of insertion holes for inserting each connector 30, and the upper end of each connector 30 and the upper end of each connector 30 are inserted by inserting the connector 30 into each insertion hole. The lower end is protruding.
  • the mechanism for mounting the plurality of connectors 30 is not limited to the configuration in which the through holes are provided, and various configurations can be widely applied.
  • a flange portion 151 is provided around the electrical connection unit 15.
  • the probe substrate 16 is a substrate having a plurality of probes 20, and is formed in a substantially circular shape or a polygonal shape (for example, a hexadecagon).
  • a probe 20 for example, a cantilever type probe or the like can be used, but the probe 20 is not limited thereto.
  • the probe substrate 16 has, for example, a substrate member 161 formed of a ceramic plate and a multilayer wiring board 162 formed on the lower surface of the substrate member 161.
  • a large number of conductive paths (not shown) penetrating in the thickness direction are formed inside the substrate member 161 which is a ceramic substrate, and a pad 161a is formed on the upper surface of the substrate member 161.
  • One end of the conductive path in the member 161 is formed so as to connect to the corresponding pad 161a on the upper surface of the substrate member 161.
  • the other end of the conductive path in the substrate member 161 is formed so as to be connected to a connection terminal provided on the upper surface of the multilayer wiring board 162.
  • the multilayer wiring board 162 is formed of a plurality of multilayer substrates formed of, for example, a synthetic resin member such as polyimide, and a wiring path (not shown) is formed between the plurality of multilayer substrates.
  • One end of the wiring path of the multilayer wiring board 162 is connected to the other end of the conductive path on the substrate member 161 side which is a ceramic substrate, and the other end of the multilayer wiring board 162 is provided on the lower surface of the multilayer wiring board 162. It is connected to the probe land.
  • a plurality of probes 20 are arranged on the probe land provided on the lower surface of the multilayer wiring board 162, and the plurality of probes 20 of the probe substrate 16 correspond to the wiring board 14 via the electrical connection unit 15. It is electrically connected to the connection terminal 14a.
  • FIG. 1 is a configuration diagram showing a configuration of a connector 30 according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a configuration diagram showing a configuration of a plate-shaped member before forming the connector 30 of the first embodiment.
  • the connector 30, which is an example of the electrical contact according to the present invention, makes a first contact between the tubular portion 32 and the connection terminal 14a of the wiring board 14 as the first contact target.
  • the portion 34, the upper elastic portion 33 elastically biased in the vertical direction when the first contact portion 34 comes into contact with the connection terminal 14a and receives a load, and the pad of the substrate member 161 as the second contact target.
  • It has a second contact portion 36 that comes into contact with 161a, and a lower elastic portion 35 that elastically biases the second contact portion 6 in the vertical direction when it comes into contact with the pad 161a and receives a load.
  • the connector 30 of FIG. 1 is formed by molding (for example, rounding, bending, etc.) the plate-shaped member 40 of FIG. That is, the plate-shaped member 40 in FIG. 2 is a member before molding of the connector 30 in FIG. 1, and is a plate-shaped member formed of a conductive material. Therefore, since the connector 30 is formed by molding a plate-shaped member made of a conductive material, the conductivity of the electric signal can be stabilized. In other words, in an electrical contact formed by combining a plurality of parts, the plurality of parts come into contact with each other to conduct an electric signal, so that the resistance increases at the contact point between the plurality of parts. , Conductivity may become unstable. On the other hand, the connector 30 formed by molding the plate-shaped member has no or less contact points between the parts, so that the conductivity of the electric signal can be stabilized.
  • the plate-shaped member 40 is, for example, a plate-shaped member made of precious metal or metal, or a plate-shaped member obtained by plating the surface of the plate-shaped member with precious metal or metal. It is formed by punching. Further, for example, in the plate-shaped member 40, the first contact object and / or the portion in contact with the second contact object (first tip portion 44 and / or second tip portion 46 described later) is a precious metal or the like, and other parts. May be formed of a member having excellent elasticity (for example, springiness) such as bimetal.
  • the conductivity can be improved by using a precious metal or the like as the contact point with the first contact object and / or the second contact object, and the other part is a member such as a bimetal or the like.
  • the elasticity (for example, springiness) of the portion can be improved.
  • the plate-shaped member 40 includes a main body portion 42, an upper arm portion 43, a first tip portion 44 provided at the tip of the upper arm portion 43, a lower arm portion 45, and a lower arm portion. It has a second tip portion 46 provided at the tip of 45.
  • the main body portion 42 is a substantially rectangular plate-shaped portion. As will be described later, the connector 30 is formed by winding from the left component side of the plate-shaped member 40 by rounding. When the connector 30 is formed, the main body 42 is a portion that becomes a tubular portion 32 that covers the wound upper arm portion 43 and the lower arm portion 45.
  • the end portions of the upper end portion 421 and the lower end portion 422 are formed linearly in the lateral direction and are formed so as to be parallel to each other.
  • the tubular portion 32 of the connector 30 formed by winding the plate-shaped member 40 functions as a positioning portion in the height direction of the connector 30 when housing the connector 30. Therefore, the posture of the connector 30 to be housing can be stabilized by forming the upper end portion 421 of the main body portion 42 and the end portions of the lower end portion 422 in a straight line in parallel.
  • the upper arm portion 43 is integrally connected to any one of the four end portions of the main body portion 42 (the left end portion in FIG. 2), and is the upper portion of the left end portion of the main body portion 42. It is a member that extends diagonally upward to the left from the left end of the main body 42.
  • the upper arm portion 43 has a tapered shape (taper) in which the length in the vertical direction (y direction) becomes smaller toward the tip side (that is, the first tip portion 44 side) from the base end portion 431 connected to the main body portion 42.
  • the shape may be used, or the width may be the same from the base end portion 431 to the tip end side.
  • the length of the base end portion 431 of the upper arm portion 43 connected to the main body portion 42 in the y direction is "a1”
  • the length of the tip portion 432 of the upper arm portion 43 in the y direction is "a2”.
  • a case where the upper arm portion 43 has a tapered shape will be described as an example.
  • the upper arm portion 43 By forming the upper arm portion 43 into a tapered shape in this way, when the upper arm portion 43 is wound by the rounding process, for example, a bamboo shoot spring-shaped upper elastic portion 33 is formed. That is, of the upper elastic portion 33 formed by winding the upper arm portion 43, the lower end portion of the wound inner member is covered with the upper end portion of the wound outer member. Then, the upper elastic portion 33 elastically urges the first contact portion 34 in the vertical direction.
  • the base end portion 431 of the upper arm portion 43 extends from a position slightly lower than the upper corner portion 423 of the left end portion of the main body portion 42 (a position separated from the upper corner portion 423).
  • a part of the left end portion of the main body portion 42 from the upper corner portion 423 to the base end portion 431 is referred to as a “step portion 424”.
  • the plate-shaped member 40 is wound by the rounding process, and the wound upper arm portion is wound.
  • the base end portion 431 of 43 (upper elastic portion 33) is covered with the main body portion 42.
  • the connector 30 formed by winding the plate-shaped member 40 is housed in the electrical connection unit 15, and when the first contact portion 34 receives a load, the base end portion 431 of the upper elastic portion 33 has a tubular shape.
  • the upper elastic portion 33 elastically strokes in the vertical direction while being included in the portion 32. Therefore, it is possible to prevent the upper elastic portion 33 elastically driven as a spring from being damaged.
  • the first tip portion 44 is provided at the tip of the upper arm portion 43, and is a portion extending vertically upward. By winding the first tip portion 44 by the rounding process, the wound first tip portion 44 functions as the first contact portion 34 of the connector 30 that comes into contact with the first contact target.
  • the lower arm portion 45 is integrally connected to any one of the four end portions of the main body portion 42 (the left end portion in FIG. 2), and is of the left end portion of the main body portion 42. It is a member that is located at the lower part and extends diagonally downward to the left from the left end of the main body 42.
  • the base end portion 451 of the lower arm portion 45 is located below the position of the base end portion 431 of the upper arm portion 43, and is located at the left end portion of the main body portion 42 with the base end portion 451 of the lower arm portion 45.
  • the base end portion 431 of the upper arm portion 43 is separated.
  • the lower arm portion 45 also has a length in the vertical direction (y direction) from the base end portion 451 connected to the main body portion 42 toward the tip end side (that is, the second tip portion 46 side). It may have a tapered shape (tapered shape) in which the size becomes smaller, or it may have the same width from the base end portion 431 to the tip end side.
  • the length of the base end portion 451 of the lower arm portion 45 connected to the main body portion 42 in the y direction is "b1”
  • the length of the tip portion 452 of the lower arm portion 45 in the y direction is "b2”.
  • b1 the length of the tip portion 452 of the lower arm portion 45 in the y direction
  • the lower arm portion 45 has a tapered shape
  • a bamboo shoot spring-shaped lower elastic portion 35 is formed. That is, in the lower elastic portion 35 formed by winding the lower arm portion 45, the upper end portion of the wound inner member is covered with the lower end portion of the wound outer member. Then, the lower elastic portion 35 elastically urges the second contact portion 36 in the vertical direction.
  • the base end portion 451 of the lower arm portion 45 extends from a position slightly above the lower corner portion 425 of the left end portion of the main body portion 42 (a position separated from the lower corner portion 425).
  • a part of the left end portion of the main body portion 42 from the lower corner portion 425 to the base end portion 451 is referred to as a “step portion 426”.
  • the plate-shaped member 40 is wound by the rounding process, and the wound lower arm portion is wound.
  • the base end portion 451 of 45 (lower elastic portion 35) is covered with the main body portion 42.
  • the connector 30 formed by winding the plate-shaped member 40 is housed in the electrical connection unit 15, and when the second contact portion 36 receives a load, the base end portion 451 of the lower elastic portion 35 has a tubular shape.
  • the lower elastic portion 35 elastically strokes in the vertical direction while being included in the portion 32. Therefore, it is possible to prevent the lower elastic portion 35, which is elastically driven as a spring, from being damaged.
  • the second tip portion 46 is provided at the tip of the lower arm portion 45, and is a portion extending vertically downward.
  • the second tip 46 is wound by the rounding process, so that the wound second tip 46 functions as the second contact 36 of the connector 30 that comes into contact with the second contact target.
  • FIG. 4A first, the first tip portion 44 and the second tip portion 46 of the plate-shaped member 40 are rounded, and the first tip portion 44 and the second tip portion 46 are rounded into a tubular shape.
  • the first contact portion 34 and the second contact portion 36 are formed.
  • the upper arm portion 43 and the lower arm portion 45 are rounded and wound from the tip side of the upper arm portion 43 and the lower arm portion 45 toward the base end portions 431 and 451. I will go. For example, here, the case of winding counterclockwise in the plane view of FIGS. 4 and 5 will be illustrated. At this time, the central axes around which the upper arm portion 43 and the lower arm portion 45 are wound may be aligned or substantially the same so that the number of turns of the upper arm portion 43 and the lower arm portion 45 is the same.
  • the upper arm portion 43 and the lower arm portion 45 have a tapered shape (tapered shape) from the base end portions 431 and 451 toward the tip end side, the upper arm portion 43 and the lower arm portion 45 are repeatedly wound. As a result, a part of the lower end portion of the inner member of the upper elastic portion 33 is covered with the upper end portion of the outer member, and a part of the upper end portion of the inner member of the lower elastic portion 35 is on the outer side. The lower end portion of the member is covered, and the upper elastic portion 33 and the lower elastic portion 35 are formed.
  • the upper elastic portion 33 and the lower elastic portion 35 are wound up to the base end portions 431 and 451 to form the upper elastic portion 33 and the lower elastic portion 35, the upper elastic portion is further formed.
  • the portion 33 and the lower elastic portion 35 are rounded, and the base end portions 431 and 451 of the upper elastic portion 33 and the lower elastic portion 35 are rolled into a tubular shape so as to be wrapped by the main body portion 42.
  • the base end portion 431 of the upper arm portion 43 extends from the position where the step portion 424 is provided from the upper corner portion 423, and the base end portion 451 of the lower arm portion 45 is Since the lower corner portion 425 extends from the position where the step portion 426 is provided, the upper elastic portion 33 and the base end portions 431 and 451 of the lower elastic portion 35 are inside the tubular winding main body portion 42. It will be covered.
  • the connector 30 is formed.
  • the end portion of the main body portion 42 may be fixed to the surface of the inner main body portion 42. That is, in order to maintain the external structure of the tubular portion 32 formed by winding the main body portion 42, one or a plurality of points where the end portion of the main body portion 42 and the tubular portion 32 come into contact with each other are welded, for example. It may be fixed with an adhesive or the like.
  • the method of fixing the outer structure of the tubular portion 32 is not limited to welding or adhesive, and may be caulked or the like.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating a housing state of the connector 30 of the first embodiment and a state when a load is applied.
  • the housing method and housing structure of the connector 30 are examples, and are not limited to the structure shown in FIG.
  • the electrical connection unit 15 is provided with a through hole 60 for inserting the connector 30, and the connector 30 is inserted through the through hole 60.
  • the inner diameter of the through hole 60 is slightly larger than or similar to the outer diameter of the connector 30.
  • the lower part of the through hole 60 has an inner diameter slightly smaller than the inner diameter of the upper part of the through hole 60, and a step is provided on the inner surface of the through hole 60.
  • the lower end portion 321 of the tubular portion 32 of the connector 30 inserted is supported by the step on the inner surface of the through hole 60. Since the lower end portion 321 of the tubular portion 32 of the connector 30 has a flat end face, the inserted connector 30 is accommodated in a stable posture.
  • the upper elastic portion 33 and the lower elastic portion 35 at both ends of the connector 30 which are electrical contacts in the axial direction (vertical direction) are formed asymmetrically with each other, the upper elastic portion 33 and the lower elastic portion 35 are formed. Independently have elasticity in the vertical direction.
  • the upper elastic portion 33 and the lower elastic portion 35 that function as bamboo shoot springs are inside the tubular portion 32, the upper elastic portion 33 and the lower elastic portion 35 that have received the load are cylinders.
  • the base end portions 431 and 451 inside the shape portion 32 are used as the spring function ends to be elastic in the vertical direction. Then, since the tubular portion 32 can regulate the stroke of the upper elastic portion 33 and the lower elastic portion 35 that receive the load in the vertical direction, the upper elastic portion 33 and the lower elastic portion 35 as a spring function are damaged. Can be prevented.
  • the strokes of the upper elastic portion 33 and the lower elastic portion 35 when a load is applied can be adjusted. can do.
  • the degree of urging force of the connector 30 can be widely set according to the degree of the contact load with the contact target.
  • the upper elastic portion 33 and the lower elastic portion 35 function as bamboo shoot springs, the slidability of the upper elastic portion 33 and the lower elastic portion 35 that operate in the vertical direction under the load can be improved. That is, when the connector is formed of a plurality of components, a load acts between the plurality of components to have elasticity in the vertical direction, which may cause a sliding defect. However, since the connector 30 of this embodiment has a structure in which the number of component parts is reduced as compared with the conventional case, the slidability is improved.
  • the electrical contactor (connector) of this embodiment is composed of a smaller number of component parts than before, so that the slidability is improved. It is possible to improve the electrical contact stability with the contact target.
  • the electrical contacts according to the present invention may be applied to a probe mounted on a socket such as a test socket used for electrical inspection of a packaged integrated circuit.
  • the contact target of the electrical contactor may be a hemispherical shape such as a solder ball.
  • FIG. 7 is a configuration diagram showing the configuration of the electrical contactor 30A of the second embodiment.
  • FIG. 8 is a configuration diagram showing a configuration of a plate-shaped member before forming the electrical contactor 30A of the second embodiment.
  • the electrical contact 30A of the second embodiment includes a tubular portion 32 and a first contact portion 34 that contacts the connection terminal 14a of the wiring board 14 as the first contact target.
  • the upper elastic portion 33 elastically biases in the vertical direction, and the lower end portion 321 of the tubular portion 32 has a plurality of second contact portions 37. And have.
  • the plate-shaped member 40A has a main body portion 42, an upper arm portion 43, a first tip portion 44 provided at the tip of the upper arm portion 43, and a chevron shape at the lower end portion 422 of the main body portion 42. It has a plurality of chevron protrusions 47 which are convex portions of the shape.
  • the plate-shaped member 40A is, for example, a plate-shaped member made of precious metal or metal, or a plate-shaped member obtained by plating the surface of the plate-shaped member with precious metal or metal, as in the first embodiment. It is a member, and is formed by punching a plate-shaped member or the like.
  • the portion in contact with the first contact object and / or the second contact object is a noble metal or the like, and the other portion is a member having excellent elasticity (for example, springiness) such as a bimetal. It may be formed.
  • the electrical contact 30A of FIG. 7 is formed by subjecting the plate-shaped member 40A of FIG. 8 to a molding process (rounding process or the like), and winding and rolling the plate-shaped member 40A.
  • a molding process rounding process or the like
  • winding and rolling the plate-shaped member 40A When the plate-shaped member 40A is wound to form the electrical contact 30A, the lower end portion 321 and the second contact portion 37 of the tubular portion 32 function as crown-shaped contact portions.
  • the manufacturing method of forming the electrical contactor 30A of FIG. 7 by rounding the plate-shaped member 40A of FIG. 8 is basically the same as that of the first embodiment. However, a detailed description of the manufacturing method will be omitted.
  • the case where three chevron protrusions 47 are provided is illustrated, but the number of chevron protrusions 47 is not particularly limited and may be two or four or more. .. Further, the installation interval of the chevron protrusions 47 can be determined according to the size (outer shape) of the solder balls to be contacted.
  • the plurality of second contact portions 37 are provided as chevron-shaped convex portions (projections) on the lower end portion 321 of the tubular portion 32. With such a shape, the plurality of second contact portions (mountain-shaped protrusions 47) 37 and the lower end portion 321 of the tubular portion 32 can be electrically contacted with the solder ball 80, and the cylinder.
  • the second contact portion (angle-shaped protrusion 47) 37 hits (pierces) the surface of the solder ball 80 to provide electrical contactability. You can be sure.
  • the tubular portion 32 has a tubular portion 32 depending on the contact mode with the contact target.
  • a second contact portion 37 as a chevron protrusion 47 may be provided at the upper end portion.
  • the contact target is a hemisphere such as a solder ball or the like. It is a shape and can ensure electrical contact with the contact target.
  • FIG. 9 is a configuration diagram showing a configuration of an electrical contactor and a configuration of a plate-shaped member of the third embodiment.
  • the plate-shaped member 40C of the third embodiment includes a main body portion 42, an upper arm portion 43C, and a first tip portion 44 provided at the tip of the upper arm portion 43C. It has a lower arm portion 45C and a second tip portion 46 provided at the tip of the lower arm portion 45C.
  • the plate-shaped member 40C is obtained by plating the surface of a plate-shaped member or a plate-shaped member formed of, for example, a precious metal or metal with a noble metal or metal, as in the first and second embodiments. It is a plate-shaped member, and is formed by punching a plate-shaped member or the like.
  • the portion in contact with the first contact object and / or the second contact object is a noble metal or the like, and the other portion is a member having excellent elasticity (for example, springiness) such as a bimetal. It may be formed.
  • the electrical contact 30C of the third embodiment includes a tubular portion 32, an upper elastic portion 33C, a first contact portion 34, a lower elastic portion 35C, and a second contact portion 36. And have.
  • the upper arm portion 43C and the lower arm portion of the plate-shaped member 40C are adjusted in order to adjust the load resistance and stroke of the upper elastic portion 33C and the lower elastic portion 35C that act as the spring function of the electrical contactor 30C.
  • An embodiment when the shape of the portion 45C is deformed will be described.
  • the shape of the upper arm portion 43C of the plate-shaped member 40C is an arc shape such as a bow shape or a bent shape. That is, the shape of the upper arm portion 43C may be curved in a bow shape, or the linear upper arm portion 43C may be bent. Further, the width length of the upper arm portion 43C in the vertical direction is relatively small (that is, the upper arm portion 43C is made thinner).
  • the upper elastic portion 33C formed by winding the upper arm portion 43C by forming the shape of the upper arm portion 43C into an arc-shaped curved shape or a bent shape and narrowing the width in the vertical direction is formed.
  • the urging force in the vertical direction can be reduced (low load). That is, the contact load when the first contact portion 34 comes into contact with the first contact target can be reduced.
  • the lower arm portion 45C has a shape in which the central axis extends linearly like the lower arm portion 45 of the first embodiment, but has a shape in which the width length in the vertical direction is increased (the lower arm portion 45C is formed). It has a thickened shape).
  • the lower elastic portion 35C formed by winding the lower arm portion 45C can increase the urging force in the vertical direction (high load). That is, the contact load when the second contact portion 36 comes into contact with the second contact target can be increased.
  • FIGS. 9A and 9B it is desired to illustrate the case where the upper arm portion 43C has an arc shape or a bent shape and the lower arm portion 45C has a wide shape, but the electrical contactor 30C
  • the lower arm portion 45C may have an arc shape or a bent shape, and the upper arm portion 43C may have a wide shape or the like, depending on the contact target.
  • width length of the upper arm portion 43C and the lower arm portion 45C in the vertical direction can be determined according to the material and hardness of the contact target.
  • FIG. 10 is a configuration diagram showing a configuration of a plate-shaped member before forming an electrical contactor of the fourth embodiment.
  • FIG. 11 is a configuration diagram showing a configuration of an electrical contact according to a fourth embodiment.
  • the plate-shaped member 40D of the fourth embodiment includes a main body portion 42D, an upper arm portion 43 extending diagonally upward to the left from the upper portion of the left end portion of the main body portion 42D, and an upper arm.
  • the first tip portion 44 provided at the tip of the portion 43, the lower arm portion 45D extending diagonally downward to the right from the lower part of the right end portion of the main body portion 42D, and the first tip portion 45D provided at the tip of the lower arm portion 45D. It has two tip portions 46D.
  • the upper arm portion 43 and the first tip portion 44 provided at the tip of the upper arm portion 43 are the same as the respective components described in the first embodiment. Therefore, they have the same reference numerals.
  • the plate-shaped member 40D is obtained by plating the surface of a plate-shaped member or a plate-shaped member formed of, for example, a precious metal or metal with a precious metal or metal, as in the first to third embodiments. It is a plate-shaped member, and is formed by punching a plate-shaped member or the like.
  • the portion that comes into contact with the first contact object and / or the second contact object is a noble metal or the like, and the other portion is a member having excellent elasticity (for example, springiness) such as a bimetal. It may be formed.
  • the lower arm portion 45D is integrally connected to the opposite end portion (right end portion) facing the end portion (left end portion) provided with the upper arm portion 43 among the four side ends of the main body portion 42D. It extends diagonally downward to the right from the right end of the main body 42D.
  • the lower arm portion 45D has a tapered shape (tapered shape) in which the width length in the vertical direction becomes smaller from the base end portion 451D on the main body portion 42D side toward the tip end side.
  • the base end portion 451D of the lower arm portion 45D is positioned below the base end portion 431 of the upper arm portion 43 with respect to the main body portion 42D. It extends by shifting and extends from a position slightly above the lower corner 425D of the right end of the main body 42D.
  • a part of the left end portion of the main body portion 42D from the lower corner portion 425D to the base end portion 451D is referred to as a “step portion 426D”.
  • the second tip portion 46D is provided at the tip of the lower arm portion 45D and is a portion extending vertically downward.
  • the main body portion 42D is basically substantially rectangular as in other embodiments, but the lower end portion 427 of the base end portion 431 of the upper arm portion 43 is the base end portion 431 of the upper arm portion 43. It is located closer to the center of the main body 42D than the position of the step 424 on the upper side of the main body. Similarly, in the main body 42D, the upper end 428 of the base end 451D of the lower arm 45D is located closer to the center of the main body 42D than the position of the step 426D below the lower arm 45D. doing.
  • the positions of the lower end portion 427 of the upper arm portion 43 and the upper end portion 428 of the lower arm portion 45D are set closer to the central portion of the main body portion 42D, so that the electric contact 30D can be rounded.
  • the tubular portion 32 it is possible to avoid interference between the wound upper arm portion 43 (or lower arm portion 45D) and the end portion (opposing end portion) of the main body portion 42D facing the wound upper arm portion 43 (or the lower arm portion 45D). .. That is, the relief structure is formed by setting each position of the lower end portion 427 of the upper arm portion 43 and the upper end portion 428 of the lower arm portion 45D toward the center portion of the main body portion 42D.
  • the winding direction of the upper arm portion 43 and the winding direction of the lower arm portion 45D are different from each other.
  • the winding direction of the upper arm portion 43 is counterclockwise in the plane view of FIG. 10
  • the winding direction of the lower arm portion 45D is clockwise in the plane view of FIG.
  • the upper arm portion 43 is rounded and the upper arm portion 43 is wound counterclockwise, and the lower arm portion 45D is rounded and the lower arm portion 45D is wound clockwise.
  • the main body portion 42D is the center of the alternate long and short dash line (center line).
  • the main body 42D is wound evenly from the left and right toward the surface.
  • the electrical contactor 30D illustrated in FIG. 11 (A) is formed.
  • the base end portion 431 of the upper elastic portion 33 formed by winding the upper arm portion 43 is wound so as to be wrapped by the left side portion of the main body portion 42D to which the base end portion 431 is connected. That is, the base end portion 431 of the upper elastic portion 33 is wound inside the left side portion of the main body portion 42D.
  • the base end portion 451D of the lower elastic portion 35D formed by winding the lower arm portion 45D is wound so as to be wrapped in the right side portion of the main body portion 42D to which the base end portion 451D is connected. ..
  • the upper elastic portion 33 is wound around the left side portion of the main body portion 42D, and at the same time, the lower elastic portion 35D is wound around the right side portion of the main body portion 42D, and the left end portion and the right end portion of the main body portion 42D are wound.
  • the tubular portion 32 is formed. That is, the upper elastic portion 33 is covered on the back side of the upper end portion 428 of the right end portion of the main body portion 42D so as to wrap around the upper elastic portion 33, and the lower elastic portion 35D is covered on the back side of the lower end portion 427 of the left end portion of the main body portion 42D. Cover it so that it wraps around.
  • the electrical contactor 30D illustrated in FIG. 11B is formed.
  • the tubular portion 32 formed by the main body portion 42D illustrates a structure in which the left end portion and the right end portion of the main body portion 42D are brought into contact with each other, but the present invention is not limited to this. ..
  • the left end portion and the right end portion of the main body portion 42D may be slightly separated from each other and face each other.
  • FIGS. 11A to 11C when the main body portion 42D is wound to form the tubular portion 32, the left side of the main body portion 42D is maintained in order to maintain the external structure of the tubular portion 32. It may be fixed to any one or more places on the end and / or the right end by welding, adhesive, or the like. For example, in FIG.
  • the left end portion and the right end portion of the main body portion 42D are fixed at one or a plurality of places where they come into contact with each other, for example, by welding or an adhesive, or in FIG. 11C, the main body portion. Even if it is fixed to one or more places where the left end portion (and / or the right end portion) of the 42D and the end portion of the tubular portion 32 facing the left end portion (and / or the right end portion) come into contact with each other, for example, by welding or adhesive. Good.
  • the method of fixing the outer structure of the tubular portion 32 is not limited to welding or adhesive, and may be caulked or the like.
  • the upper arm portion 43 and the lower arm portion 45D extend so as to be displaced from each other in the height direction with respect to the main body portion 42D, the upper elastic portion 33 and the lower elastic portion 35D are wound so as to be wrapped by the main body portion 42D. Even when turned, the upper elastic portion 33 and the lower elastic portion 35D do not interfere with each other. As a result, the upper elastic portion 33 and the lower elastic portion 35D of the electric contact 30D independently have elasticity in the axial direction.
  • the plate-shaped portion of the arm portion (upper arm portion, lower arm portion) extending from the main body portion is hollowed out. An example of performing (cutting) will be described.
  • the arm portions to be hollowed out are the upper arm portions (upper arm portions 43 and 43C) and the lower arm portion in the plate-shaped members 40, 40A, and 40C described in the first to fourth embodiments. It may be any of (lower arm portions 45, 45C and 45D), or all of the upper arm portions (upper arm portions 43 and 43C) and the lower arm portions (lower arm portions 45, 45C and 45D). Is also good.
  • FIGS. 12 to 14 are configuration diagrams showing a configuration of a plate-shaped member before forming an electrical contactor of the fifth embodiment.
  • a slit portion having a substantially trapezoidal shape is formed by hanging from the base end portion 431 of the upper arm portion 43 extending from the main body portion 42 to the tip end side. 48 is formed. Similarly, the lower arm portion 45 is hung from the base end portion 451 to the tip end side and hollowed out to form a substantially trapezoidal slit portion 49.
  • the plate-shaped member 40E illustrated in FIG. 12 is wound around to form a connector (electrical contactor) 30 in the same manner as in the first to fourth embodiments. Then, since the slit portion 48 and the slit portion 49 are formed in the upper arm portion 43 and the lower arm portion 45, the first contact portion 34 and the second contact portion 36 come into contact with the first contact target and the second contact portion 36. The magnitude of the load (contact load) received from the target and the stroke of the upper elastic portion 33 and the lower elastic portion 35 elastic in the vertical direction can be changed.
  • the slit portion 48 and the slit portion 49 in the upper arm portion 43 and the lower arm portion 45, the magnitude of the load of the first contact portion 34 and the second contact portion 36 and the upper elastic portion 33 and the lower elastic portion are formed.
  • the stroke of the portion 35 can be adjusted.
  • the magnitude of the load of the first contact portion 34 and the second contact portion 36 can be adjusted.
  • the strokes of the upper elastic portion 33 and the lower elastic portion 35 can be adjusted (controlled).
  • two slit portions 48A and 48B are arranged in the vertical direction in the width of the plate-shaped portion of the upper arm portion 43 (or the lower arm portion 45). You may try to do it.
  • the width lengths of the two slit portions 48A and 48B (or the slit portions 49A and 49B) in the vertical direction may be substantially the same length or different lengths.
  • three or more slit portions 48 (or slit portions 49) may be arranged.
  • two slit portions 48C and 48D are provided on the side closer to the tip end side and the side closer to the base end portion 431, respectively.
  • slit portions 49C and 49D may be formed.
  • the lengths of the slit portions 48C and 48D (or the slit portions 49C and 49D) in the extending direction of the upper arm portion 43 (or the lower arm portion 45) from the base end portion 431 toward the tip end side are the same, respectively. It may be a slit or different lengths.
  • three or more slit portions 48 (or slit portions 49) may be formed in the extending direction of the upper arm portion 43 (or the lower arm portion 45).
  • each slit portion 48 (or slit portion 49) exemplified in this embodiment including FIGS. 12 to 14 is not limited to a substantially trapezoidal shape, and is a substantially triangular shape or a substantially rectangular shape. , A substantially elliptical shape, a shape having both ends arcuate, or the like.
  • the electrical contact described in the second embodiment described above includes an upper elastic portion formed by winding the upper arm portion and a plurality of chevron protrusions at the lower end portion of the tubular portion.
  • the shape of the upper arm portion may be an arc shape or the like in order to reduce the elastic force of the upper elastic portion, or the upper portion may be formed in order to increase the elastic force of the upper elastic portion.
  • the width and length of the arm portion in the vertical direction may be increased.
  • the shapes of the first tip portion and the second tip portion are rectangular is illustrated, but the shapes of the first tip portion and the second tip portion are not limited to this.
  • the shapes of the first tip portion and the second tip portion may be deformed so that the shapes of the first contact portion and the second contact portion after winding are the crown shape, the needle shape, and the like.
  • the tubular portion may be fixed to an arbitrary portion by a predetermined method (for example, welding or adhesive). Good.

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Abstract

【課題】導通性を向上させるために、構成部品数を減らし、弾性部材の摺動性を向上でき、接触対象の特性に応じて弾性力を制御することができ、接触対象との電気的な接触安定性を向上できるようにする。 【解決手段】本発明の電気的接触子は、導電性を有する板状部材を巻回して形成されたものであり、板状部材の第１先端部を巻回して形成された第１接触部と、先細り形状の上部アーム部を巻回して形成された第１の弾性部と、第２先端部を巻回して形成された第２の接触部と、先細り形状の下部アーム部を巻回して形成された第２の弾性部と、板部材の本体部を巻回して形成された筒状部とを備える。

Description

電気的接触子及び電気的接続装置
　本発明は、電気的接触子及び電気的接続装置に関し、例えば、半導体ウェハ上の集積回路や被検査体の通電試験に用いる電気的接触子及び電気的接続装置に適用し得るものである。
　半導体ウェハ上に形成された集積回路や、パッケージ化された集積回路等の被検査体は、それぞれの製造段階において電気的特性の検査が行なわれる。半導体ウェハ上の集積回路の電気的検査には、プローブカード等の電気的接続装置が用いられ、パッケージ化された集積回路の電気的検査にはソケット等の電気的接続装置が用いられる。このような電気的接続装置では、第１の接触対象と第２の接触対象に接触する電気的接触子が用いられ、電気的接触子を介して第１の接触対象と第２の接触対象との間で電気信号の導通を行なっている。
　従来、電気的接触子には、様々なものがあるが、複数の構成部品を組み合わせて形成される電気的接触子がある。このような複数の構成部品で形成される電気的接触子を用いて、第１の接触対象と第２の接触対象との間で電気信号を導通させる場合、構成部品同士の接触箇所で抵抗が大きくなり、導通性に影響が生じ得る。
　特許文献１には、薄肉帯状の基板を曲げ加工して、螺旋状の筒状スリーブと、筒状スリーブの一端に第１端子と、筒状スリーブの他端に第２端子とを一体成形したスプリングプローブが開示されている。このようなスプリングプローブは、薄肉帯状の基板で一体的に形成されているので、導電性が良好となる。
特開２０１１－１２９９２号公報
　しかしながら、特許文献１に記載のスプリングプローブは、平板を螺旋状に曲げて筒状スリーブを形成したものであるため、第１端子及び第２端子が接触対象に接触して荷重が作用したとき、筒状スリーブの摺動性が十分でなく、良好な弾性力が得られないことがあり、又筒状スリーブの弾性力を調整することが難しいという課題がある。その結果、接触対象に対して安定した電気的接触性が得られないことが生じ得る。
　そこで、本発明は、上記課題に鑑み、導通性を向上させるために、少ない部品数で形成され、弾性部材の摺動性を向上でき、接触対象の特性に応じて弾性力を制御することができ、接触対象との電気的な接触安定性を向上することができる電気的接触子及び電気的接続装置を提供しようとするものである。
　かかる課題を解決するために、第１の本発明の電気的接触子は、導電性を有する板状部材で形成された電気的接触子であって、板状部材が、本体部と、前記本体部の一端部から斜め上方に向けて延出する先細り形状の上部アーム部と、前記上部アーム部の先端に設けられた第１先端部と、前記本体部の一端部から斜め下方に向けて延出する先細り形状の下部アーム部と、前記下部アーム部の先端に設けられた第２先端部とを備え、前記第１先端部を巻回して形成された、第１の接触対象と接触する第１接触部と、前記先細り形状の前記上部アーム部を巻回して形成されたものであって、外側の前記上部アーム部の上端部が内側の前記上部アーム部の下端部の外周を覆うように形成された第１の弾性部と、前記第２先端部を巻回して形成された、第２の接触対象と接触する第２の接触部と、前記先細り形状の前記下部アーム部を巻回して形成されたものであって、外側の前記下部アーム部の下端部が内側の前記下部アーム部の上端部の外周を覆うように形成された第２の弾性部と、前記本体部を巻回して形成されたものであって、前記第１の弾性部の基端部と前記第２の弾性部の基端部とを内側に収容する筒状部とを備えることを特徴とする。
　第２の本発明の電気的接触子は、導電性を有する板状部材で形成された電気的接触子であって、前記板状部材が、本体部と、前記本体部の一端部から斜め上方に向けて延出する先細り形状の上部アーム部と、前記上部アーム部の先端に設けられた先端部と、前記本体部の下端部に設けられて複数の山形突起部とを備え、前記先端部を巻回して形成された、第１の接触対象と接触する第１接触部と、前記先細り形状の前記上部アーム部を巻回して形成されたものであって、外側の前記上部アーム部の上端部が内側の前記上部アーム部の下端部の外周を覆うように形成された弾性部と、前記本体部を巻回して形成されたものであって、前記弾性部の基端部を内側に収容する共に、下端部の前記複数の山形突起部を伴って第２の接触対象と接触する筒状部とを備えることを特徴とする。
　第３の本発明の電気的接続装置は、第１の接触対象と第２の接触対象とに接触させる複数の電気的接触子を備える電気的接続装置において、前記複数の電気的接触子が、第１又は第２の本発明の電気的接触子であることを特徴とする。
　本発明によれば、導通性を向上させるために、少ない部品数で形成され、弾性部材の摺動性を向上でき、接触対象の特性に応じて弾性力を制御することができ、接触対象との電気的な接触安定性を向上することができる。
第１の実施形態に係る接続子の構成を示す構成図である。 第１の実施形態の接続子を形成する前の板状部材の構成を示す構成図である。 第１の実施形態に係る電気的接続装置の構成を示す構成図である。 実施形態の接続子の製造方法を説明する説明図である（その１）。 実施形態の接続子の製造方法を説明する説明図である（その２）。 第１の実施形態の接続子のハウジング状態と荷重を受けたときの状態を例示する図である。 第２の実施形態の電気的接触子の構成を示す構成図である。 第２の実施形態の電気的接触子を形成する前の板状部材の構成を示す構成図である。 第３の実施形態の電気的接触子の構成と板状部材の構成とを示す構成図である。 第４の実施形態の電気的接触子を形成する前の板状部材の構成を示す構成図である。 第４の実施形態に係る電気的接触子の構成を示す構成図である。 第５の実施形態に係る電気的接触子の構成と板状部材の構成とを示す構成図である（その１）。 第５の実施形態に係る電気的接触子の構成と板状部材の構成とを示す構成図である（その２）。 第５の実施形態に係る電気的接触子の構成と板状部材の構成とを示す構成図である（その３）。
　（Ａ）第１の実施形態
　以下では、本発明に係る電気的接触子及び電気的接続装置の第１の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
　この実施形態では、本発明に係る電気的接触子を、後述するように、電気的接続装置の構成部材である電気的接続ユニットに搭載される接続子に適用する場合を例示する。なお、本発明に係る電気的接触子は、以下の実施形態に限定されるものではない。本発明に係る電気的接触子は、第１の接触対象と第２の接触対象に電気的に接触し、第１の接触対象と第２の接触対象との間で電気信号を導通可能なものに適用できる。
　また、この実施形態では、本発明に係る電気的接続装置を、半導体ウェハ上に形成されている集積回路を被検査体とし、当該被検査体の電気的検査に用いられる電気的接続装置に適用する場合を例示する。なお、本発明に係る電気的接続装置は、本発明に係る電気的接触子を用いて、第１の接触対象と第２の接触対象との間で電気信号を導通させて電気的に接続させるものに適用できる。
　（Ａ－１）第１の実施形態の構成
　（Ａ－１－１）電気的接続装置
　図３は、第１の実施形態に係る電気的接続装置の構成を示す構成図である。
　図３の電気的接続装置１０は、主要な構成部材を図示しているが、これらの構成部材に限定されるものではなく、実際には図３に示していない構成部材をも有する。また、以下では、図３中の上下方向に着目して、「上」、「下」を言及するものとする。
　図３において、この実施形態に係る電気的接続装置１０は、平板状の支持部材１２と、前記支持部材１２の下面１２ａに保持される平板状の配線基板１４と、前記配線基板１４と電気的に接続される電気的接続ユニット１５と、前記電気的接続ユニット１５と電気的に接続すると共に複数のプローブ２０を有するプローブ基板１６とを有する。
　電気的接続装置１０は、支持部材１２、配線基板１４、電気的接続ユニット１５、プローブ基板１６を組み立てる際に、多数の固定部材（例えば、ボルト等の螺合部材など）を用いているが、図３ではこれらの固定部材を図示していない。
　電気的接続装置１０は、例えば半導体ウェハ上に形成された半導体集積回路等を被検査体２とし、被検査体２の電気的な検査を行なうものである。具体的には、被検査体２をプローブ基板１６に向けて押圧し、プローブ基板１６の各プローブ２０の先端部と被検査体２の電極端子２ａとを電気的に接触させ、図示しないテスタ（検査装置）から被検査体２の電極端子２ａに電気信号を供給し、さらに被検査体２の電極端子２ａからの電気信号をテスタ側に与えることにより、被検査体２の電気的な検査を行なう。
　検査対象である被検査体２はチャックトップ３の上面に載置される。チャックトップ３は、水平方向のＸ軸方向、水平面上においてＸ軸方向に対して垂直なＹ軸方向、水平面（Ｘ－Ｙ平面）に対して垂直なＺ軸方向に位置調整が可能なものであり、さらに、Ｚ軸回りのθ方向に回転姿勢を調整可能である。被検査体２の電気的検査を実施する際には、上下方向（Ｚ軸方向）に昇降可能なチャックを移動させて、被検査体２の電極端子２ａをプローブ基板１６の各プローブ２０の先端部に電気的に接触させるため、電気的接続装置１０のプローブ基板１６の下面と、チャックトップ３の上面の被検査体２とが相対的に近づくように移動させる。
　［支持部材］
　支持部材１２は、配線基板１４の変形（例えば、撓み等）を抑えるものである。例えば、プローブ基板１６は多数のプローブ２０を有しているため、配線基板１４側に取り付けられるプローブ基板１６の重量は大きくなっている。また、被検査体２の電気的な検査の行なう際、プローブ基板１６が、チャックトップ３上の被検査体２によって押し付けられることにより、プローブ基板１６の下面に突出しているプローブ２０の先端部と被検査体２の電極端子２ａとが接触する。このように、電気的検査の際、下から上に向けて突き上げる反力（コンタクト荷重）が作用し、配線基板１４にも大きな荷重が加えられる。支持部材１２は、配線基板１４の変形（例えば、撓み等）を抑える部材として機能する。
　また、支持部材１２には、上面と下面とを貫通させた複数の貫通孔１２１が設けられている。複数の貫通孔１２１のそれぞれは、後述するプローブ基板１６の上面に配置させる複数のアンカー５０のそれぞれの位置と対応する位置に設けられており、かつ、配線基板１４に設けた複数の貫通孔１４１のそれぞれの位置と対応する位置に設けられている。
　支持部材１２の各貫通孔１２１には、スペーサ（以下、「支持部」とも呼ぶ。）５１が、支持部材１２の上方から下方に向けて挿通され、スペーサ（支持部）５１の下端部と、対応するアンカー５０とが固定可能な構成となっている。例えば、スペーサ（支持部）５１の下端部は雄ネジ部となっており、またプローブ基板１６の上面に配置されるアンカー５０の略中央部は雌ネジ部５０１となっており、スペーサ（支持部）５１の下端部（雄ネジ部）がアンカー５０の雌ネジ部に螺合することで固定できる。これにより、プローブ基板１６の上面と、支持部材１２の上面との間の距離を所定の距離長に保持できるようにしている。
　［配線基板］
　配線基板１４は、例えばポリイミド等の樹脂材料で形成されたものであり、例えば略円形板状に形成されたプリント基板等である。配線基板１４の上面の周縁部には、テスター（検査装置）のテストヘッド（図示しない）と電気的に接続するための多数の電極端子（図示しない）が配置されている。また、配線基板１４の下面には、配線パターンが形成されており、配線パターンの接続端子１４ａが、電気的接続ユニット１５に設けられているポゴピン等の接続子３０の上端部と電気的に接続するようになっている。
　さらに、配線基板１４の内部には配線回路（図示しない）が形成されており、配線基板１４の下面の配線パターンと、配線基板１４の上面の電極端子とは、配線基板１４内部の配線回路を介して接続可能となっている。したがって、配線基板１４内の配線回路を介して、配線基板１４の下面の配線パターンの接続端子１４ａに電気的に接続する電気的接続ユニット１５の各接続子３０と、配線基板１４の上面の電極端子に接続するテストヘッドとの間で電気信号を導通させることができる。配線基板１４の上面には、被検査体２の電気的検査に必要な複数の電子部品も配置されている。
　また、配線基板１４には、当該配線基板１４の上面と下面とを貫通させた複数の貫通孔１４１が設けられている。複数の貫通孔１４１のそれぞれは、プローブ基板１６の上面に配置される複数のアンカー５０のそれぞれの位置と対応する位置に配置され、かつ、支持部材１２の複数の貫通孔１２１のそれぞれの位置と対応する位置に配置されている。
　なお、各貫通孔１４１の開口形状は、挿通される支持部５１の形状に対応した形状とすることができる。また、各貫通孔１４１に支持部５１を挿通可能にするために、各貫通孔１４１の内径は、支持部５１の外径と同程度又はわずかに大きくなっている。
　この実施形態では、支持部５１が円柱部材である場合を例示するため、貫通孔１４１の開口形状が略円形である場合を例示するが、これに限定されるものではない。例えば、支持部５１の断面形状が略正方形等の直角柱の部材や、当該断面形状が多角形の多角柱の部材等であってもよく、そのような例の場合でも、貫通孔１４１の開口形状は、支持部５１を挿通可能な形状とすることができる。
　［電気的接続ユニット］
　電気的接続ユニット１５は、例えばポゴピン等のような複数の接続子３０を有している。電気的接続装置１０の組み立て状態では、各接続子３０の上端部を、配線基板１４の下面の配線パターンの接続端子１４ａに電気的に接続され、また各接続子３０の下端部を、プローブ基板１６の上面に設けられたパッドに接続される。プローブ２０の先端部が被検査体２の電極端子に電気的に接触するので、被検査体２の電極端子はプローブ２０及び接続子３０を通じてテスター（検査装置）と電気的に接続されるので、被検査体２はテスター（検査装置）による電気的な検査が可能となる。
　例えば、電気的接続ユニット１５は、各接続子３０を挿通するため、複数の挿通孔を有しており、各挿通孔に接続子３０が挿通されることにより、各接続子３０の上端部及び下端部が突出するようになっている。なお、電気的接続ユニット１５において、複数の接続子３０を装着する仕組みは、貫通孔を設ける構成に限定されるものではなく、種々の構成を広く適用することができる。電気的接続ユニット１５の周囲にはフランジ部１５１が設けられている。
　［プローブ基板］
　プローブ基板１６は、複数のプローブ２０を有する基板であり、略円形若しくは多角形（例えば１６角形等）に形成されたものである。プローブ２０は、例えば、カンチレバー型のプローブ等を用いることができるが、これに限定されるものではない。また、プローブ基板１６は、例えばセラミック板で形成される基板部材１６１と、この基板部材１６１の下面に形成された多層配線基板１６２とを有する。
　セラミック基板である基板部材１６１の内部には、板厚方向に貫通する多数の導電路（図示しない）が形成されており、また基板部材１６１の上面には、パッド１６１ａが形成されており、基板部材１６１内の導電路の一端が、当該基板部材１６１の上面の対応するパッド１６１ａと接続するように形成されている。さらに、基板部材１６１の下面では、基板部材１６１内の導電路の他端が、多層配線基板１６２の上面に設けられた接続端子と接続されるように形成されている。
　多層配線基板１６２は、例えばポリイミド等の合成樹脂部材で形成された複数の多層基板で形成されており、複数の多層基板の間に配線路（図示しない）が形成されたものである。多層配線基板１６２の配線路の一端は、セラミック基板である基板部材１６１側の導電路の他端と接続しており、多層配線基板１６２の他端は、多層配線基板１６２の下面に設けられたプローブランドに接続されている。多層配線基板１６２の下面に設けられたプローブランドには、複数のプローブ２０が配置されており、プローブ基板１６の複数のプローブ２０は、電気的接続ユニット１５を介して、配線基板１４の対応する接続端子１４ａと電気的に接続している。
　（Ａ－１－２）接続子（電気的接触子）
　図１は、第１の実施形態に係る接続子３０の構成を示す構成図である。図２は、第１の実施形態の接続子３０を形成する前の板状部材の構成を示す構成図である。
　図１に示すように、本発明に係る電気的接触子の一例である接続子３０は、筒状部３２と、第１の接触対象としての配線基板１４の接続端子１４ａと接触する第１接触部３４と、第１接触部３４が接続端子１４ａと接触して荷重を受けたときに上下方向に弾性的に付勢する上部弾性部３３と、第２の接触対象としての基板部材１６１のパッド１６１ａと接触する第２接触部３６と、第２接触部６がパッド１６１ａと接触して荷重を受けたときに上下方向に弾性的に付勢する下部弾性部３５とを有する。
　図１の接続子３０は、図２の板状部材４０を成形加工（例えば、丸め加工、曲げ加工など）して形成される。すなわち、図２の板状部材４０は、図１の接続子３０の成形加工前の部材であり、導電性材料で形成された板状の部材である。したがって、接続子３０は、導電性材料で形成された板状部材を成形加工して形成されることになるので、電気信号の導通性を安定化させることができる。換言すると、複数の部品を組み合わせて形成される電気的接触子は、複数の部品同士が互いに接触しあって電気信号を導通することになるので、複数の部品間の接触箇所で抵抗が大きくなり、導通性が不安定になることがある。これに対して、板状部材を成形加工して形成される接続子３０は、部品間の接触箇所がない若しくは少なくすることができるので、電気信号の導通性を安定化することができる。
　なお、板状部材４０は、例えば貴金属又は金属で形成された板状部材、若しくは、板状の部材の表面を貴金属又は金属でメッキ加工して得た板状部材であり、板状の部材を打ち抜き加工等を施して形成される。また例えば、板状部材４０は、第１の接触対象及び又は第２の接触対象と接触する箇所（後述する第１先端部４４及び又は第２先端部４６）を貴金属等とし、それ以外の部分を例えばバイメタル等の弾性（例えばバネ性）の優れた部材で形成してもよい。このように、第１の接触対象及び又は第２の接触対象との接触箇所を貴金属等とすることで導通性を良好とすることができると共に、それ以外の部分を例えばバイメタル等の部材とすることで、その部分の弾性（例えばバネ性）を良好することができる。
　図２に示すように、板状部材４０は、本体部４２と、上部アーム部４３と、上部アーム部４３の先端に設けられた第１先端部４４と、下部アーム部４５と、下部アーム部４５の先端に設けられた第２先端部４６とを有する。
　［本体部］
　本体部４２は、略長方形状の板状の部分である。後述するように、丸め加工により板状部材４０の左側の構成要素側から巻回していき、接続子３０を形成する。接続子３０が形成されると、本体部４２は、巻回された上部アーム部４３と下部アーム部４５を覆う筒状部３２となる部分である。
　ここで、本体部４２の４辺の端部のうち、上端部４２１と下端部４２２の端部は、横方向に直線状に形成され、互いに平行するように形成される。板状部材４０を巻回して形成される接続子３０の筒状部３２は、接続子３０をハウジングする際の接続子３０の高さ方向の位置決め部として機能することになる。したがって、本体部４２の上端部４２１と下端部４２２の端部が直線状に平行に形成されることにより、ハウジングされる接続子３０の姿勢を安定化させることができる。
　［上部アーム部］
　上部アーム部４３は、本体部４２の４辺の端部のうち、いずれか１つの端部（図２では左側端部）と一体的に連結しており、本体部４２の左側端部の上部に位置しており、本体部４２の左側端部から左斜め上方向に延出する部材である。
　上部アーム部４３は、本体部４２と連結している基端部４３１から先端側（すなわち第１先端部４４側）にいくほど、上下方向（ｙ方向）の長さが小さくなる先細り形状（テーパ形状）としても良いし、基端部４３１から先端側に亘って同一幅としてもよい。換言すると、本体部４２と連結している上部アーム部４３の基端部４３１のｙ方向の長さを「ａ１」とし、上部アーム部４３の先端部４３２のｙ方向の長さを「ａ２」とすると、ａ１≧ａ２の関係がある。この実施形態では、上部アーム部４３が先細り形状である場合を例示して説明する。
　このように、上部アーム部４３を先細り形状とすることで、丸め加工により、上部アーム部４３が巻回されると、例えば竹の子バネ状の上部弾性部３３が形成される。つまり、上部アーム部４３が巻回されて形成される上部弾性部３３のうち、巻回された内側の部材の下端部を、巻回された外側の部材の上端部が覆った状態となる。そして、上部弾性部３３は、上下方向に弾性的に第１接触部３４を付勢する。
　上部アーム部４３の基端部４３１は、本体部４２の左側端部の上部角部４２３からわずかに下がった位置（上部角部４２３から離間した位置）から延出している。ここで、上部角部４２３から基端部４３１までの本体部４２の左側端部の一部を「段部４２４」と呼ぶ。このように、上部角部４２３から段部４２４を設けた位置から上部アーム部４３を延出することにより、丸め加工により、板状部材４０を巻回していくと、巻回された上部アーム部４３（上部弾性部３３）の基端部４３１が、本体部４２に覆われる状態となる。
　そうすると、板状部材４０が巻回されて形成された接続子３０が電気的接続ユニット１５にハウジングされ、第１接触部３４が荷重を受けると、上部弾性部３３の基端部４３１が筒状部３２に内包された状態で、上部弾性部３３が上下方向に弾性的にストロークすることになる。したがって、バネとして弾性的に駆動する上部弾性部３３の破損を防止する
ことができる。
　［第１先端部］
　第１先端部４４は、上部アーム部４３の先端に設けられており、垂直上方に延出された部分である。丸め加工により、第１先端部４４が巻回されることにより、巻回された第１先端部４４は、第１の接触対象と接触する接続子３０の第１接触部３４として機能する。
　［下部アーム部］
　下部アーム部４５は、本体部４２の４辺の端部のうち、いずれか１つの端部（図２では左側端部）と一体的に連結しており、本体部４２の左側端部のうち下部に位置しており、本体部４２の左側端部から左斜め下方向に延出する部材である。下部アーム部４５の基端部４５１は、上部アーム部４３の基端部４３１の位置よりも下方に位置しており、本体部４２の左側端部において、下部アーム部４５の基端部４５１と上部アーム部４３の基端部４３１は離間している。
　下部アーム部４５も、上部アーム部４３と同様に、本体部４２と連結している基端部４５１から先端側（すなわち第２先端部４６側）にいくほど、上下方向（ｙ方向）の長さが小さくなる先細り形状（テーパ形状）としても良いし、基端部４３１から先端側に亘って同一幅としてもよい。換言すると、本体部４２と連結している下部アーム部４５の基端部４５１のｙ方向の長さを「ｂ１」とし、下部アーム部４５の先端部４５２のｙ方向の長さを「ｂ２」とすると、ｂ１≧ｂ２の関係がある。この実施形態では、下部アーム部４５が先細り形状である場合を例示して説明する。
　このように、下部アーム部４５が先細り形状となっていることで、丸め加工により、下部アーム部４５が巻回されると、例えば竹の子バネ状の下部弾性部３５が形成される。つまり、下部アーム部４５が巻回されて形成される下部弾性部３５のうち、巻回された内側の部材の上端部を、巻回された外側の部材の下端部が覆った状態となる。そして、下部弾性部３５は、上下方向に弾性的に第２接触部３６を付勢する。
　下部アーム部４５の基端部４５１は、本体部４２の左側端部の下部角部４２５からわずかに上の位置（下部角部４２５から離間した位置）から延出している。ここで、下部角部４２５から基端部４５１までの本体部４２の左側端部の一部を「段部４２６」と呼ぶ。このように、下部角部４２５から段部４２６を設けた位置から下部アーム部４５を延出することにより、丸め加工により、板状部材４０を巻回していくと、巻回された下部アーム部４５（下部弾性部３５）の基端部４５１が、本体部４２に覆われる状態となる。
　そうすると、板状部材４０が巻回されて形成された接続子３０が電気的接続ユニット１５にハウジングされ、第２接触部３６が荷重を受けると、下部弾性部３５の基端部４５１が筒状部３２に内包された状態で、下部弾性部３５が上下方向に弾性的にストロークすることになる。したがって、バネとして弾性的に駆動する下部弾性部３５の破損を防止する
ことができる。
　［第２先端部］
　第２先端部４６は、下部アーム部４５の先端に設けられており、垂直下方に延出された部分である。丸め加工により、第２先端部４６が巻回されることにより、巻回された第２先端部４６は、第２の接触対象と接触する接続子３０の第２接触部３６として機能する。
　［接続子の製造方法］
　図４及び図５は、実施形態の接続子３０の製造方法を説明する説明図である。
　図４（Ａ）において、まず、板状部材４０の第１先端部４４及び第２先端部４６に対して丸め加工を施して、第１先端部４４及び第２先端部４６を筒状に丸めて、第１接触部３４及び第２接触部３６を成形する。
　図４（Ｂ）において、上部アーム部４３及び下部アーム部４５に対して丸め加工を施して、上部アーム部４３及び下部アーム部４５の先端側から基端部４３１及び４５１に向けて巻回していく。例えば、ここでは、図４及び図５の平面視野で、反時計回りで巻回する場合を例示する。このとき、上部アーム部４３及び下部アーム部４５を巻回する中心軸を一致又は略一致させて上部アーム部４３及び下部アーム部４５の巻回数を同じ数にするようにしてもよい。
　また、上部アーム部４３及び下部アーム部４５は、基端部４３１及び４５１から先端側に掛けて先細り形状（テーパ形状）であるため、上部アーム部４３及び下部アーム部４５の巻回を繰り返していくことで、上部弾性部３３の内側の部材の下端部の一部は、外側の部材の上端部に覆われ、また、下部弾性部３５の内側の部材の上端部の一部は、外側の部材の下端部に覆われていき、上部弾性部３３及び下部弾性部３５が形成される。
　図４（Ｃ）に示すように、上部アーム部４３及び下部アーム部４５が基端部４３１及び４５１まで巻回されて、上部弾性部３３及び下部弾性部３５が形成されると、さらに上部弾性部３３及び下部弾性部３５に対して丸め加工を施して、上部弾性部３３及び下部弾性部３５の基端部４３１及び４５１を本体部４２で包み込むように筒状に丸めていく。
　図５（Ａ）に示すように、上部アーム部４３の基端部４３１は、上部角部４２３から段部４２４を設けた位置から延出しており、下部アーム部４５の基端部４５１は、下部角部４２５から段部４２６を設けた位置から延出しているので、上部弾性部３３及び下部弾性部３５の基端部４３１及び４５１が、筒状の巻回される本体部４２の内側に覆われた状態となる。
　そして、図５（Ｂ）に示すように、本体部４２の残り部分を巻回させて、筒状部３２が形成されると、接続子３０が形成される。このように、接続子３０は、導電性材料の板状部材４０を巻回して成形されるので、電気信号の導通性を安定化させることができる。なお、本体部４２の端部は、内側の本体部４２の表面に固定されるようにしてもよい。つまり、本体部４２を巻回して形成される筒状部３２の外形構造を保持するために、本体部４２の端部と筒状部３２とが接触する１又は複数の箇所を、例えば溶接や接着剤等で固定するようにしてもよい。なお、筒状部３２の外形構造の固定方法は、溶接や接着剤に限定されるものではなく、カシメを打つ等してもよい。
　図６は、第１の実施形態の接続子３０のハウジング状態と荷重を受けたときの状態を例示する図である。なお、接続子３０のハウジング方法及びハウジング構造は一例であり、図６の構造に限定されるものではない。
　図６（Ａ）の例では、電気的接続ユニット１５には、接続子３０を挿通するための貫通孔６０が設けられており、貫通孔６０に接続子３０が挿通されるものとする。貫通孔６０の内径は、接続子３０の外形よりわずかに大きい若しくは同程度とする。また、貫通孔６０の下部には、貫通孔６０の上部の内径よりもわずかに内径が小さくなっており、貫通孔６０の内面において段差が設けられている。この貫通孔６０の内面の段差に、挿通された接続子３０の筒状部３２の下端部３２１が支持されるようになっている。接続子３０の筒状部３２の下端部３２１は、フラットな端面となっているため、挿通された接続子３０は安定した姿勢で収容される。
　図６（Ｂ）に示すように、貫通孔６０に接続子３０が挿通されて、第１の接触対象である接続端子１４ａが第１接触部３４と接触して荷重を受けると、上部弾性部３３が上下方向に弾性する。第２の非接触対象であるパッド１６１ａが第２接触部３６と接触して荷重を受けると、下部弾性部３５が上下方向に弾性する。
　電気的接触子である接続子３０の軸方向（上下方向）の両端にある上部弾性部３３と下部弾性部３５は、それぞれ互いに非対称に形成されているので、上部弾性部３３と下部弾性部３５はそれぞれ独立して上下方向の弾性を有する。
　また、竹の子バネとして機能する上部弾性部３３及び下部弾性部３５の基端部４３１及び４５１は筒状部３２の内側にあるので、荷重を受けた上部弾性部３３及び下部弾性部３５は、筒状部３２の内側にある基端部４３１及び４５１をバネ機能の端として上下方向に弾性することになる。そうすると、筒状部３２が、荷重を受けた上部弾性部３３及び下部弾性部３５の上下方向に動くストロークを規制することができるので、バネ機能としての上部弾性部３３及び下部弾性部３５の破損を防止することができる。
　また、筒状部３２から突出させる上部弾性部３３及び下部弾性部３５の上下方向の高さ長を調整することで、荷重を受けたときの上部弾性部３３及び下部弾性部３５のストロークを調整することができる。換言すると、可動ストロークが大きいので、接触対象との接触荷重の大きさの程度に応じて、接続子３０の付勢力の程度を幅広く設定できる。
　さらに、筒状部３２の上下方向の長さ（高さ）は変わらないので、接続子３０の高さ方向の位置決めを確実にすることができる。
　また、上部弾性部３３及び下部弾性部３５は、竹の子バネとして機能するので、荷重を受けた上下方向に動作する上部弾性部３３及び下部弾性部３５の摺動性を向上させることができる。つまり、接続子が複数の構成部品で形成される場合、複数の構成部品の間に荷重が作用して上下方向の弾性を有するので、その摺動不良が生じることがある。しかし、この実施形態の接続子３０は、従来よりも構成部品数を減らした構造であるので、摺動性が向上する。
　（Ａ－２）第１の実施形態の効果
　以上のように、この実施形態の電気的接触子（接続子）は、従来よりも少ない構成部品数で構成されているので、摺動性を向上でき、かつ、接触対象との電気的な接触安定性を向上することができる。
　（Ｂ）第２の実施形態
　次に、本発明に係る電気的接触子及び電気的接続装置の第２の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
　（Ｂ－１）第２の実施形態の構成
　上述した第１の実施形態では、半導体ウェハ上の集積回路の電気的な検査を行なう電気的接続装置の電気的接続ユニットに搭載する接続子に、本発明の電気的接触子に適用する場合を例示した。この場合、電気的接触子の接触対象がフラットなパッドや端子等であることが多い。
　しかし、パッケージ化された集積回路の電気的検査に用いられるテストソケット等のソケットに搭載されるプローブに、本発明に係る電気的接触子を適用するようにしてもよい。その場合、電気的接触子の接触対象が、例えば半田ボール等の半円球状であることがある。
　そこで、第２の実施形態では、半田ボール等を接触対象とする場合にも対応可能な電気的接触子を、図面を参照しながら説明する。
　図７は、第２の実施形態の電気的接触子３０Ａの構成を示す構成図である。図８は、第２の実施形態の電気的接触子３０Ａを形成する前の板状部材の構成を示す構成図である。
　図７に示すように、第２の実施形態の電気的接触子３０Ａは、筒状部３２と、第１の接触対象としての配線基板１４の接続端子１４ａと接触する第１接触部３４と、第１接触部３４が接続端子１４ａと接触して荷重を受けたときに上下方向に弾性的に付勢する上部弾性部３３と、筒状部３２の下端部３２１に複数の第２接触部３７とを有する。
　図８に示すように、板状部材４０Ａは、本体部４２と、上部アーム部４３と、上部アーム部４３の先端に設けられた第１先端部４４と、本体部４２の下端部４２２に山形形状の凸部である複数の山形突起部４７とを有する。なお、板状部材４０Ａは、第１の実施形態と同様に、例えば貴金属又は金属で形成された板状部材、若しくは、板状の部材の表面を貴金属又は金属でメッキ加工して得た板状部材であり、板状の部材を打ち抜き加工等を施して形成される。また例えば、板状部材４０Ａは、第１の接触対象及び又は第２の接触対象と接触する箇所を貴金属等とし、それ以外の部分を例えばバイメタル等の弾性（例えばバネ性）の優れた部材で形成してもよい。
　図７の電気的接触子３０Ａは、図８の板状部材４０Ａに対して成形加工（丸め加工等）を施して、板状部材４０Ａを巻回して丸めることで形成される。板状部材４０Ａを巻回して電気的接触子３０Ａが形成されると、筒状部３２の下端部３２１及び第２接触部３７はクラウン形状の接触部として機能する。
　なお、図８の板状部材４０Ａに対して丸め加工を施して、図７の電気的接触子３０Ａを形成する製造方法は、基本的には、第１の実施形態と同じであるので、ここでは製造方法の詳細な説明は省略する。
　図７及び図８の例では、３個の山形突起部４７を設ける場合を例示したが、山形突起部４７の数は特に限定されるものではなく、２個若しくは４個以上であってもよい。また、接触対象とする半田ボールの大きさ（外形）等に応じて、山形突起部４７の設置間隔を決定することができる。
　図７及び図８に示すように、複数の第２接触部３７は、筒状部３２の下端部３２１に山形形状の凸部（突起部）として設けられている。このような形状とすることで、複数の第２接触部（山形突起部４７）３７と筒状部３２の下端部３２１とが、半田ボール８０に対して電気的に接触することができ、筒状部３２の下端部３２１に第２接触部（山形突起部４７）３７を設けることにより、第２接触部（山形突起部４７）３７が半田ボール８０の表面に当たり（突き刺さり）電気的接触性を確実にすることができる。
　また、上述した例では、山形突起部４７としての第２接触部３７が筒状部３２の下端部３２１にある場合を例示したが、接触対象との接触態様に応じて、筒状部３２の上端部に山形突起部４７としての第２接触部３７を設けるようにしてもよい。
　（Ｂ－２）第２の実施形態の効果
　以上のように、第２の実施形態によれば、第１の実施形態で説明した効果に加えて、接触対象が半田ボール等のような半球体状のものであって、当該接触対象との電気的接触性を確実にすることができる。
　（Ｃ）第３の実施形態
　次に、本発明に係る電気的接触子及び電気的接続装置の第３の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
　（Ｃ－１）第３の実施形態の構成
　図９は、第３の実施形態の電気的接触子の構成と板状部材の構成とを示す構成図である。
　図９（Ａ）に示すように、第３の実施形態の板状部材４０Ｃは、本体部４２と、上部アーム部４３Ｃと、上部アーム部４３Ｃの先端に設けられた第１先端部４４と、下部アーム部４５Ｃと、下部アーム部４５Ｃの先端に設けられた第２先端部４６とを有する。なお、板状部材４０Ｃは、第１及び第２の実施形態と同様に、例えば貴金属又は金属で形成された板状部材、若しくは、板状の部材の表面を貴金属又は金属でメッキ加工して得た板状部材であり、板状の部材を打ち抜き加工等を施して形成される。また例えば、板状部材４０Ｃは、第１の接触対象及び又は第２の接触対象と接触する箇所を貴金属等とし、それ以外の部分を例えばバイメタル等の弾性（例えばバネ性）の優れた部材で形成してもよい。
　図９（Ｂ）において、第３の実施形態の電気的接触子３０Ｃは、筒状部３２と、上部弾性部３３Ｃと、第１接触部３４と、下部弾性部３５Ｃと、第２接触部３６とを有する。
　第３の実施形態では、電気的接触子３０Ｃのバネ機能として作用する上部弾性部３３Ｃ及び下部弾性部３５Ｃの荷重耐性及びストロークを調整するために、板状部材４０Ｃの上部アーム部４３Ｃ及び下部アーム部４５Ｃの形状を変形した場合の実施形態を説明する。
　図９（Ａ）において、板状部材４０Ｃの上部アーム部４３Ｃの形状が、例えば弓形等の円弧状、若しくは、屈曲した形状となっている。つまり、上部アーム部４３Ｃの形状が弓形に湾曲した形状としたり、又は、直線状の上部アーム部４３Ｃが折れ曲がった形状としたりする。また、上部アーム部４３Ｃの上下方向の幅長を比較的小さく（すなわち、上部アーム部４３Ｃを細く）している。
　このように、上部アーム部４３Ｃの形状を円弧状に湾曲した形状若しくは折れ曲がった形状とし、上下方向の幅長を細くすることにより、上部アーム部４３Ｃを巻回して形成した上部弾性部３３Ｃは、上下方向の付勢力を小さく（低荷重）することができる。つまり、第１接触部３４が第１接触対象と接触するときの接触荷重を小さくすることができる。
　また、下部アーム部４５Ｃは、第１の実施形態の下部アーム部４５と同様に、中心軸が直線状の延びた形状であるが、上下方向の幅長を大きくした形状（下部アーム部４５Ｃを太くした形状）となっている。このように、下部アーム部４５Ｃを太くすることにより、下部アーム部４５Ｃを巻回して形成した下部弾性部３５Ｃは、上下方向の付勢力を大きく（高荷重）することができる。つまり、第２接触部３６が第２接触対象と接触するときの接触荷重を大きくすることができる。
　図９（Ａ）及び図９（Ｂ）の例では、上部アーム部４３Ｃが円弧状又は折れ曲がった形状であり、下部アーム部４５Ｃが幅広な形状である場合を例示したいが、電気的接触子３０Ｃの接触対象に応じて、下部アーム部４５Ｃを円弧状又は折れ曲がった形状とし、上部アーム部４３Ｃを幅広な形状等としてもよい。
　また、上部アーム部４３Ｃ及び下部アーム部４５Ｃの上下方向の幅長は、接触対象の材質や硬度等に応じて決めることができる。
　（Ｃ－２）第３の実施形態の効果
　以上のように、第３の実施形態によれば、第１の実施形態で説明した効果が得られると共に、電気的接触子を形成する板状部材の上部アーム部及び下部アーム部の形状を変えることで、上下方向に弾性する上部弾性部及び下部弾性部の弾性エネルギーやストロークを制御し、上部弾性部及び下部弾性部の付勢力を調整することができる。
　（Ｄ）第４の実施形態
　次に、本発明に係る電気的接触子及び電気的接続装置の第４の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
　（Ｄ－１）第４の実施形態の構成
　図１０は、第４の実施形態の電気的接触子を形成する前の板状部材の構成を示す構成図である。図１１は、第４の実施形態に係る電気的接触子の構成を示す構成図である。
　図１０に示すように、第４の実施形態の板状部材４０Ｄは、本体部４２Ｄと、本体部４２Ｄの左側端部の上部から左斜め上方向に延出する上部アーム部４３と、上部アーム部４３の先端に設けられた第１先端部４４と、本体部４２Ｄの右側端部の下部から右斜め下方向に延出する下部アーム部４５Ｄと、下部アーム部４５Ｄの先端に設けられた第２先端部４６Ｄとを有する。
　なお、第４の実施形態の板状部材４０Ｄにおいて、上部アーム部４３と、上部アーム部４３の先端に設けられた第１先端部４４は、第１の実施形態で説明した各構成要素と同じであるため、同一符号を付している。なお、板状部材４０Ｄは、第１～第３の実施形態と同様に、例えば貴金属又は金属で形成された板状部材、若しくは、板状の部材の表面を貴金属又は金属でメッキ加工して得た板状部材であり、板状の部材を打ち抜き加工等を施して形成される。また例えば、板状部材４０Ｄは、第１の接触対象及び又は第２の接触対象と接触する箇所を貴金属等とし、それ以外の部分を例えばバイメタル等の弾性（例えばバネ性）の優れた部材で形成してもよい。
　下部アーム部４５Ｄは、本体部４２Ｄの４辺の端部のうち、上部アーム部４３が設けられている端部（左側端部）と対向する対向端部（右側端部）と一体的に連結しており、本体部４２Ｄの右側端部から右斜め下方向に延出する。
　下部アーム部４５Ｄは、第１の実施形態と同様に、本体部４２Ｄ側の基端部４５１Ｄから先端側にいくほど、上下方向の幅長が小さくなる先細り形状（テーパ形状）となっている。また、第４の実施形態においても、他の実施形態と同様、本体部４２Ｄに対して、下部アーム部４５Ｄの基端部４５１Ｄは、上部アーム部４３の基端部４３１よりも下方に位置をずらして延出し、かつ、本体部４２Ｄの右側端部の下部角部４２５Ｄからわずかに上の位置から延出している。ここで、下部角部４２５Ｄから基端部４５１Ｄまでの本体部４２Ｄの左側端部の一部を「段部４２６Ｄ」と呼ぶ。
　第２先端部４６Ｄは、下部アーム部４５Ｄの先端に設けられており、垂直下方に延出された部分である。
　本体部４２Ｄは、基本的には、他の実施形態と同様に略長方形状であるが、上部アーム部４３の基端部４３１の下側端部４２７が、上部アーム部４３の基端部４３１の上側にある段部４２４の位置よりも、本体部４２Ｄの中央部寄りに位置している。同様に、本体部４２Ｄは、下部アーム部４５Ｄの基端部４５１Ｄの上側端部４２８が、下部アーム部４５Ｄの下側にある段部４２６Ｄの位置よりも、本体部４２Ｄの中央部寄りに位置している。このように、上部アーム部４３の下側端部４２７と下部アーム部４５Ｄの上側端部４２８の各位置を、本体部４２Ｄの中央部寄りとすることにより、丸め加工によって電気的接触子３０Ｄの筒状部３２を形成する際に、巻回した上部アーム部４３（又は下部アーム部４５Ｄ）と、これに対向する本体部４２Ｄの端部（対向端部）との干渉を回避することができる。つまり、上部アーム部４３の下側端部４２７と下部アーム部４５Ｄの上側端部４２８の各位置を、本体部４２Ｄの中央部寄りとすることが、逃げ構造を形成することになる。
　第４の実施形態では、上部アーム部４３の巻回方向と、下部アーム部４５Ｄの巻回方向とが互いに異なる方向である。例えば、上部アーム部４３の巻回方向は、図１０の平面視野で反時計回りであり、下部アーム部４５Ｄの巻回方向は、図１０の平面視野で時計回りなどのようにする。
　まず、上部アーム部４３に丸め加工を施して上部アーム部４３を反時計回りで巻回していき、下部アーム部４５Ｄに丸め加工を施して下部アーム部４５Ｄを時計回りで巻回していく。
　次に、上部アーム部４３を巻回して上部弾性部３３と、下部アーム部４５Ｄを巻回して下部弾性部３５Ｄが形成されると、本体部４２Ｄについては、１点鎖線（中心線）の中心に向けて、本体部４２Ｄの左右からそれぞれ均等に巻回していく。これにより、図１１（Ａ）に例示する電気的接触子３０Ｄが形成される。
　ここで、図１１（Ａ）及び図１１（Ｂ）を参照して、筒状部３２の形成方法を説明する。上部アーム部４３を巻回して形成された上部弾性部３３の基端部４３１は、当該基端部４３１が連結している本体部４２Ｄの左側部分により包み込まれるように巻回される。つまり、上部弾性部３３の基端部４３１が、本体部４２Ｄの左側部分の内側に巻かれる。同様に、下部アーム部４５Ｄを巻回して形成された下部弾性部３５Ｄの基端部４５１Ｄは、当該基端部４５１Ｄが連結している本体部４２Ｄの右側部分に包み込まれるように巻回される。
　このように、上部弾性部３３を、本体部４２Ｄの左側部分で巻き込むと同時に、下部弾性部３５Ｄを、本体部４２Ｄの右側部分で巻き込んで、本体部４２Ｄの左側端部と右側端部とを合わせる（接触させる）ことで、筒状部３２を形成する。つまり、本体部４２Ｄの右側端部の上側端部４２８の裏側で、上部弾性部３３を包み込むように覆い、本体部４２Ｄの左側端部の下側端部４２７の裏側で、下部弾性部３５Ｄを包み込むように覆うようにする。これにより、図１１（Ｂ）に例示する電気的接触子３０Ｄが形成される。なお、図１１（Ｂ）では、本体部４２Ｄで形成した筒状部３２は、本体部４２Ｄの左側端部と右側端部とが接触させる構造を例示したが、これに限定されるものではない。図１１（Ｃ）に例示するように、本体部４２Ｄの左側端部と右側端部とをわずかに離間させて対向させるようにしてもよい。また、図１１（Ａ）～図１１（Ｃ）において、本体部４２Ｄを巻回して筒状部３２を形成する際に、筒状部３２の外形構造を保持するために、本体部４２Ｄの左側端部及び又は右側端部の任意の１又は複数の箇所に、例えば溶接や接着剤等で固定するようにしてもよい。例えば図１１（Ｂ）において、本体部４２Ｄの左側端部と右側端部とが接触する１又は複数の箇所に、例えば溶接や接着剤等で固定したり、図１１（Ｃ）において、本体部４２Ｄの左側端部（及び又は、右側端部）と、これに対向する筒状部３２の端部とが接触する１又は複数の箇所に、例えば溶接や接着剤等で固定したりしてもよい。なお、筒状部３２の外形構造の固定方法は、溶接や接着剤に限定されるものではなく、カシメを打つ等してもよい。
　上部アーム部４３と下部アーム部４５Ｄは、本体部４２Ｄに対して高さ方向の位置をずらして延出しているので、上部弾性部３３と下部弾性部３５Ｄを、本体部４２Ｄで包み込むように巻回しても、上部弾性部３３と下部弾性部３５Ｄは、互いに干渉することがない。その結果、電気的接触子３０Ｄの上部弾性部３３と下部弾性部３５Ｄは、それぞれ独立して軸方向に弾性を有する。
　このように、上部アーム部４３と下部アーム部４５Ｄの巻回方向を互いに異なる方向とすることにより、第１接触部３４が第１の接触対象と接触し、第２接触部３６Ｄが第２の接触対象と接触して荷重がかかったときに、上部弾性部３３に作用する応力と、下部弾性部３５Ｄに作用する応力とを打ち消すことができる。
　したがって、第１接触部３４が第１の接触対象に接触したときの接点と、第２接触部３６Ｄが第２の接触対象と接触したときの接点に生じる回転荷重を軽減することができる。
　（Ｄ－２）第４の実施形態の効果
　以上のように、第４の実施形態によれば、第１の実施形態で説明した効果が得られると共に、上部アーム部と下部アーム部の巻回方向を互いに異なる方向とすることにより、上部弾性部に作用する応力と、下部弾性部に作用する応力とを打ち消すことができ、接点における回転荷重を軽減することができる。
　（Ｅ）第５の実施形態
　次に、本発明に係る電気的接触子及び電気的接続装置の第５の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
　第５の実施形態は、接続子（電気的接触子）の成形加工前の板状部材において、本体部から延出しているアーム部（上部アーム部、下部アーム部）の板状部分にくり抜き加工（切り抜き加工）を行なう場合を例示して説明する。
　以下では、第１の実施形態で説明した板状部材４０の上部アーム部４３と下部アーム部４５の両方の板状部分に、くり抜き加工を施す場合を例示する。なお、くり抜き加工の対象とするアーム部は、第１～第４の実施形態で説明した板状部材４０、４０Ａ、及び４０Ｃにおける、上部アーム部（上部アーム部４３及び４３Ｃ）と、下部アーム部（下部アーム部４５、４５Ｃ及び４５Ｄ）のいずれかであっても良いし、上部アーム部（上部アーム部４３及び４３Ｃ）と下部アーム部（下部アーム部４５、４５Ｃ及び４５Ｄ）の全てであっても良い。
　（Ｅ－１）第５の実施形態の構成
　図１２～図１４は、第５の実施形態の電気的接触子を形成する前の板状部材の構成を示す構成図である。
　図１２に例示するように、板状部材４０Ｅにおいて、本体部４２から延出している上部アーム部４３の基端部４３１から先端側に掛けてくり抜き加工が施されて、略台形形状のスリット部４８が形成される。同様に、下部アーム部４５の基端部４５１から先端側に掛けてくり抜き加工が施されて、略台形形状のスリット部４９が形成される。
　第１～第４の実施形態と同様の方法で、図１２に例示する板状部材４０Ｅを巻回していき接続子（電気的接触子）３０を形成する。そうすると、上部アーム部４３及び下部アーム部４５にはスリット部４８及びスリット部４９が形成されているので、第１接触部３４及び第２接触部３６が、第１の接触対象及び第２の接触対象から受ける荷重（接触荷重）の大きさや、上部弾性部３３及び下部弾性部３５の上下方向に弾性するストロークを変えることができる。
　すなわち、上部アーム部４３及び下部アーム部４５に、スリット部４８及びスリット部４９を形成することで、第１接触部３４及び第２接触部３６の荷重の大きさや、上部弾性部３３及び下部弾性部３５のストロークを調整することができる。
　換言すると、上部アーム部４３（又は下部アーム部４５）の上下方向における幅長に対して、スリット部４８（又はスリット部４９）の幅長や、基端部４３１から先端側（又は基端部４５１から先端側）に掛けてのスリット部４８の長さや、スリット部４８（又はスリット部４９）の位置などを調整することにより、第１接触部３４及び第２接触部３６の荷重の大きさや、上部弾性部３３及び下部弾性部３５のストロークを調整（コントロール）することができる。
　上部アーム部４３や下部アーム部４５に形成するスリット部４８やスリット部４９の形状や位置などの調整方法については、様々な方法を広く適用することができる。
　例えば、図１３に例示するように、上部アーム部４３（又は下部アーム部４５）の板状部分の幅において、上下方向に２本のスリット部４８Ａ及び４８Ｂ（又はスリット部４９Ａ及び４９Ｂ）を配列するようにしてもよい。なお、２本のスリット部４８Ａ及び４８Ｂ（又はスリット部４９Ａ及び４９Ｂ）のそれぞれの上下方向の幅長は略同じ長さとしても良いし、それぞれ異なる長さとしてもよい。勿論、３本以上のスリット部４８（又はスリット部４９）を配列するようにしてもよい。
　また例えば、図１４に例示するように、上部アーム部４３（又は下部アーム部４５）において、先端側に近い側と、基端部４３１に近い側とのそれぞれに２個のスリット部４８Ｃ及び４８Ｄ（又はスリット部４９Ｃ及び４９Ｄ）を形成するようにしてもよい。なお、基端部４３１から先端側に向けた上部アーム部４３（又は下部アーム部４５）の延出方向における、スリット部４８Ｃ及び４８Ｄ（又はスリット部４９Ｃ及び４９Ｄ）の長さは、それぞれ同じ長さであっても良いし、それぞれ異なる長さであってもよい。勿論、上部アーム部４３（又は下部アーム部４５）の延出方向に、３個以上のスリット部４８（又はスリット部４９）を形成するようにしてもよい。
　さらに例えば、図１２～図１４を含めて、この実施形態で例示した各スリット部４８（又はスリット部４９）の形状は、略台形形状に限定されるものではなく、略三角形状、略矩形形状、略楕円形状、両端を円弧状にした形状等としてもよい。
　（Ｅ－２）第５の実施形態の効果
　以上のように、第５の実施形態によれば、第１～第４の実施形態で説明した効果を得ることができると共に、アーム部（上部アーム部、下部アーム部）に、１又は複数のスリット部を設けることにより、板状部材を巻回して形成した接続子の第１接触部及び第２接触部の荷重の大きさや、上部弾性部及び下部弾性部の上下方向のストロークを調整することができる。
　（Ｆ）他の実施形態
　上述した各実施形態においても、本発明の変形実施形態を言及したが、本発明は、以下の実施形態においても適用できる。
　上述した第２の実施形態で説明した電気的接触子は、上部アーム部を巻回して形成した上部弾性部を備え、筒状部の下端部に複数の山形突起部を備える場合を例示したが、第２の実施形態においても、上部弾性部の弾性力を小さくするために、上部アーム部の形状を円弧状等の形状としてもよいし、上部弾性部の弾性力を高くするために、上部アーム部の上下方向の幅長を大きくするようにしてもよい。
　上述した各実施形態では、第１先端部及び第２先端部の形状が矩形形状である場合を例示したが、第１先端部及び第２先端部の形状はこれに限定されるものではない。例えば、巻回した後の第１接触部及び第２接触部の形状がクラウン形状、ニードル形状等となるように、第１先端部及び第２先端部の形状を変形してもよい。また、上述した各実施形態において例示した、筒状部の外形構造を保持するために、筒状部の任意の箇所に、所定の方法（例えば溶接や接着剤等）で固定するようにしてもよい。
　３０…接続子、３０Ａ、３０Ｃ及び３０Ｄ…電気的接触子、３２…筒状部、３３及び３３Ｃ…上部弾性部、３４…第１接触部、３５、３５Ｃ及び３５Ｄ…下部弾性部、３６及び３６Ｄ…第２接触部、３７…第２接触部、
　４０、４０Ａ、４０Ｃ、４０Ｄ、４０Ｅ、４０Ｆ、４０Ｇ…板状部材、４２及び４２Ｄ…本体部、４３及び４３Ｃ…上部アーム部、４４…第１先端部、４５、４５Ｃ及び４５Ｄ…下部アーム部、４６及び４６Ｄ…第２先端部、４７…山形突起部、４８、４８Ａ、４８Ｂ、４８Ｃ、４８Ｄ…スリット部、４９、４９Ａ、４９Ｂ、４９Ｃ、４９Ｄ…スリット部、
　４２１…上端部、４２２…下端部、４２３…上部角部、４２４…段部、４２５及び４２５Ｄ下部角部、４２６及び４２６Ｄ…段部、４３１…基端部、４３２…先端部、４５１及び４５１Ｄ…基端部、４５２…先端部。

Claims (7)

  1. 　導電性を有する板状部材で形成された電気的接触子であって、
    　前記板状部材が、本体部と、前記本体部の一端部から斜め上方に向けて延出する先細り形状の上部アーム部と、前記上部アーム部の先端に設けられた第１先端部と、前記本体部の一端部から斜め下方に向けて延出する先細り形状の下部アーム部と、前記下部アーム部の先端に設けられた第２先端部とを備え、
    　前記第１先端部を巻回して形成された、第１の接触対象と接触する第１接触部と、
    　前記先細り形状の前記上部アーム部を巻回して形成されたものであって、外側の前記上部アーム部の上端部が内側の前記上部アーム部の下端部の外周を覆うように形成された第１の弾性部と、
    　前記第２先端部を巻回して形成された、第２の接触対象と接触する第２の接触部と、
    　前記先細り形状の前記下部アーム部を巻回して形成されたものであって、外側の前記下部アーム部の下端部が内側の前記下部アーム部の上端部の外周を覆うように形成された第２の弾性部と、
    　前記本体部を巻回して形成されたものであって、前記第１の弾性部の基端部と前記第２の弾性部の基端部とを内側に収容する筒状部と
    　を備えることを特徴とする電気的接触子。
  2. 　前記第１の弾性部及び前記第２の弾性部が、軸方向に弾性を有することを特徴とする請求項１に記載の電気的接触子。
  3. 　前記上部アーム部は、前記本体部の一端部から延出しており、前記第１の弾性部は、第１の巻回方向で巻回されて形成されたものであり、
    　前記下部アーム部は、前記上部アーム部が延出している前記本体部の前記一端部と対向する対向端部から延出しており、前記第２の弾性部は、前記第１の巻回方向とは異なる第２の巻回方向で巻回されて形成されたものである
    　ことを特徴とする請求項１又は２に記載の電気的接触子。
  4. 　導電性を有する板状部材で形成された電気的接触子であって、
    　前記板状部材が、本体部と、前記本体部の一端部から斜め上方に向けて延出する先細り形状の上部アーム部と、前記上部アーム部の先端に設けられた先端部と、前記本体部の下端部に設けられた複数の山形突起部とを備え、
    　前記先端部を巻回して形成された、第１の接触対象と接触する第１接触部と、
    　前記先細り形状の前記上部アーム部を巻回して形成されたものであって、外側の前記上部アーム部の上端部が内側の前記上部アーム部の下端部の外周を覆うように形成された弾性部と、
    　前記本体部を巻回して形成されたものであって、前記弾性部の基端部を内側に収容する共に、下端部の前記複数の山形突起部を伴って第２の接触対象と接触する筒状部と
    　を備えることを特徴とする電気的接触子。
  5. 　前記本体部の端部から延出する各アーム部のいずれか又は全てが、円弧状に湾曲していることを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載の電気的接触子。
  6. 　矩形形状の前記本体部の端部から延出する各アーム部が、当該端部の角部から離間した位置から延出しており、
    　前記各アーム部が巻回されて形成される前記各弾性部の基端部が、前記本体部の内面で覆われて前記筒状部に内包される
    　ことを特徴とする請求項１～５のいずれかに記載の電気的接触子。
  7. 　第１の接触対象と第２の接触対象とに接触させる複数の電気的接触子を備える電気的接続装置において、
    　前記複数の電気的接触子が、請求項１～６のいずれかに記載の電気的接触子であることを特徴とする電気的接続装置。
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