TW202117193A - 流量控制器及具備該流量控制器的驅動裝置 - Google Patents

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Abstract

一種流量控制器(12)及驅動裝置(10)，其具備：壓缸流路(21)，係連通氣缸(14)；主流路(22)，係對氣缸(14)供給、排放空氣；副流路(23)，係具有第一節流閥(24)，使從氣缸(14)排出的排放空氣以小於主流路(22)之流量通過；切換閥(26)，係切換使壓缸流路(21)連通至主流路(22)的第一位置與使壓缸流路(21)連通至副流路(23)的第二位置；以及引導空氣調整部(30)，係將氣缸(14)的排放空氣之一部分作為引導空氣而導引至切換閥(26)。

Description

流量控制器及具備該流量控制器的驅動裝置
本發明係關於一種氣缸的流量控制器及具備該流量控制器的驅動裝置。
以往，一種衝擊緩和機構係使用於世，該衝擊緩和機構係於氣缸之端部安裝橡膠、胺甲酸酯(urethane)等軟質樹脂所構成的緩衝材料或油阻尼器等氣缸，以緩和行程終端之衝擊。然而，機械性地緩和壓缸之衝擊的衝擊緩和機構係有動作次數上的限制，而需定期地保修。
為了消除如此缺失，日本特許第5578502號公報揭示一種速度控制器(流量控制器)，藉由在行程終端附近縮減來自氣缸的排氣而使氣缸的動作速度降低。
以往的流量控制器係使引導空氣通過節流閥而慢慢地釋出，在引導壓力低於預定值的時機進行切換閥縮減排氣的切換動作。然而，作用於節流閥 的壓力低於預定壓力時，已確認通過節流閥的引導空氣之氣流會驟減，致使切換動作之時機不安定化。
對此，本發明之一目的在於提供一種可使切換動作之時機安定化的流量控制器及具備該流量控制器的驅動裝置。
本發明之一觀點係一種流量控制器，其具備：壓缸流路，係連通氣缸之埠口；主流路，係對前述壓缸流路供給、排放空氣；副流路，係並排設於前述主流路，且具有將空氣之流量縮減成小於前述主流路之流量的第一節流閥；切換閥，係連接於前述壓缸流路、前述主流路及前述副流路，且切換第一位置與第二位置，切換為第一位置時，使前述壓缸流路連通至前述主流路，切換為第二位置時，使前述壓缸流路連通至前述副流路；以及引導空氣調整部，係將前述壓缸流路的排放空氣之一部分作為引導空氣而導引至前述切換閥；前述引導空氣調整部係具有限制前述引導空氣朝向前述切換閥的流入速度之第二調節閥，前述切換閥係藉由前述引導空氣之壓力的上升而從前述第一位置切換至前述第二位置。
本發明之另一觀點係一種驅動裝置，其具備：高壓空氣供給源，係對氣缸供給高壓空氣；排氣口，係排出前述氣缸之排放空氣；流量控制器，係具有：壓缸流路，係連通前述氣缸之埠口；主流路，係對前述壓缸流路供給、排放空氣；副流路，係並排設於前述主流路，且具有將空氣之流量縮減成小於前述主流路之流量的第一節流閥；切換閥，係連接於前述壓缸流路、前述主流路及前述副流路，且切換第一位置與第二位置，切換為第一位置時，使前述壓缸流路連通至前述主流路，切換為第二位置時，使前述壓缸流路連通至前述副流路；以及引導空氣調整部，係將前述壓缸流路的排放空氣之一部分作為引導空氣而導引 至前述切換閥；以及動作切換閥，係連接至前述高壓空氣供給源、前述排氣口及前述主流路之一端，且將前述主流路切換成為連通前述高壓空氣供給源或前述排氣口；前述引導空氣調整部係具有限制前述引導空氣朝向前述切換閥的流入速度的第二調節閥，前述切換閥係藉由前述引導空氣之壓力的上升而從前述第一位置切換至前述第二位置。
依據上述觀點的流量控制器及具備該流量控制器的驅動裝置，可使切換動作的時機安定化。
參照所附之圖式而進行之以下較佳實施型態例之說明，應可更明白上述目的、特徵及優點。
10:驅動裝置
12:流量控制器
12a:閥側端口
12b:缸側端口
14:氣缸
16:活塞
17:活塞桿
18:氣缸室
18a:頭側壓力室
18b:桿側壓力室
20A:頭側配管
20B:桿側配管
21:壓缸流路
22:主流路
23:副流路
24:第一節流閥
24a:排氣口
25:第三節流閥
26:切換閥
26a:回復彈簧
27A:第三配管
27B:第四配管
28:旁通流路
28a:第一部分
28b:第二部分
30:引導空氣調整部
30a,30b:內部流路
31a:第二節流閥
31b:止回閥
32:梭動閥
32a:第一入口
32b:第二入口
32c:出口
34:動作切換閥
34a:第一埠口
34b:第二埠口
34c:第三埠口
34d:第四埠口
34e:第五埠口
36:高壓空氣供給源
38:排氣口
40:外殼
40a:上面
40b:正面
40c,40e:側面
40d:背面
41:活塞室
42:線軸閥導孔
42a:線軸閥導引部
42b:活塞收容部
44,48:帽蓋
45:活塞部
46:線軸件
46a:線軸部
46c:第一封閉壁
46d:第二封閉壁
46e,46f:導引端部
47a、47b、47c:凹部
49,56:襯墊
50:第一連通槽
50a,52a,54a:內部流路
52:第二連通槽
54:第三連通槽
58a:止脫夾
60:流路構件
61:梭動閥設置孔
61a:傾斜部
62:管部
63:封閉部
64:通氣孔
65:分隔部
65a:密合墊片
66:閥體
67:突起部
70:附止回閥之節流閥
71:彈性閥構件
72:螺合機構
74:缸管
76:頭蓋
76a:頭側埠口
78:桿蓋
78a:桿側埠口
80:連結桿
82:固定螺栓
A1,A2,B1,B2,P:箭頭
圖1係安裝有實施型態的流量控制器的氣缸之立體圖。
圖2係實施型態的流量控制器及驅動裝置之流體迴路圖。
圖3A係從閥側端口側顯示圖1的流量控制器之立體圖，圖3B係從缸側端口側顯示圖1的流量控制器之立體圖。
圖4係顯示在圖3B之IV-IV線的位置平行於上面切斷後的剖面之剖視圖。
圖5係顯示在圖3A之V-V線的位置平行於側面切斷後的剖面之剖視圖。
圖6係顯示在圖4之VI-VI線的位置平行於正面切斷後的剖面之剖視圖。
圖7係顯示圖2之桿側之切換閥切換至第二位置的狀態之流體迴路圖。
以下，列舉本發明之較佳實施型態，參照所附之圖式來詳細地說明。
如圖1所示，氣缸14為使用於自動設備生產線等的複動式之壓缸。氣缸14係具備：圓筒狀之缸管74；頭蓋76，係封閉缸管74的頭側端部；以及桿蓋78，係封閉缸管74的桿側端部。缸管74、頭蓋76及桿蓋78係藉由複數個連結桿80及固定螺栓82沿軸向鎖緊而連結。
如圖2所示，缸管74的內部係設有分隔氣缸室18的活塞16、以及連結於活塞16的活塞桿17。活塞16之頭側的頭側壓力室18a係設有頭側埠口76a，活塞16之桿側的桿側壓力室18b係設有桿側埠口78a。如圖1所示，頭側埠口76a係設於頭蓋76，桿側埠口78a係設於桿蓋78。
如圖2所示，氣缸14係藉由驅動裝置10所驅動，該驅動裝置10係具有頭側及桿側之流量控制器12、動作切換閥34及高壓空氣供給源36。如圖1所示，頭側之流量控制器12係經由頭側配管20A連接於氣缸14之頭側埠口76a，桿側之流量控制器12係經由桿側配管20B連接於桿側埠口78a。頭側配管20A及桿側配管20B係包含於使氣缸14與流量控制器12連通的壓缸流路21，經由此壓缸流路21進行對於氣缸14的高壓空氣之導入以及來自氣缸14的空氣之排氣。
如圖2所示，頭側之流量控制器12係包含：主流路22，係連接於壓缸流路21；副流路23，係並排地配置於主流路22；以及旁通流路28，係連繫主流路22與壓缸流路21。主流路22及副流路23與壓缸流路21之間係連接有切換閥26。切換閥26係所謂的三通閥，連接於壓缸流路21、主流路22及副流路23。主流路22係設有用以調整空氣流量的第三節流閥25。第三節流閥25係可變地限制流於主流路22的排放空氣之流量，藉此能夠調整氣缸14之動作速度。
另一方面，副流路23係設有可變地限制流於副流路23的排放空氣流量的第一節流閥24。第一節流閥24係構成為比主流路22之第三節流閥25更縮減排放空氣之流量。該第一節流閥24之下游側係連接有排氣口24a，通過第一節流閥24的排放空氣係從排氣口24a排出。
旁通流路28係一端連接於第三節流閥25與閥側端口12a之間的主流路22，另一端則連接於壓缸流路21，將主流路22與壓缸流路21繞過第三節流閥25及切換閥26而旁通連接。旁通流路28係設有梭動閥32，該梭動閥32係具有第一入口32a、第二入口32b及出口32c。梭動閥32之第一入口32a係連接有旁通流路28之第一部分28a，出口32c係連接有旁通流路28之第二部分28b，第二入口32b係經由引導空氣調整部30連接到切換閥26。
梭動閥32係在主流路22之壓力高於壓缸流路21之壓力時，封閉第二入口32b並且使第一入口32a與出口32c連通，使主流路22之高壓空氣通過旁通流路28導入壓缸流路21。又，梭動閥32係在主流路22之壓力低於壓缸流路21之壓力時，封閉第一入口32a並且使第二入口32b與出口32c連通，將壓缸流路21之排放空氣作為引導空氣而導引至引導空氣調整部30。
引導空氣調整部30係配置於梭動閥32的第二入口32b與切換閥26之間。引導空氣調整部30係具備第二節流閥31a、以及並聯連接於該第二節流閥31a的止回閥31b。第二節流閥31a及止回閥31b之下游側係連接於切換閥26之後述活塞部45(參照圖4)。通過第二節流閥31a的引導空氣係使切換閥26驅動，將切換閥26從排放空氣自壓缸流路21流至主流路22的第一位置，切換至排放空氣自壓缸流路21流至副流路23的第二位置(參照圖7之左側的切換閥26)。
止回閥31b係連接成使切換閥26朝向梭動閥32流動之空氣通過的 方向。在壓缸流路21的排放空氣之壓力降低時，止回閥31b係使切換閥26之引導空氣向壓缸流路21側排出。伴隨引導空氣之排出，切換閥26係藉由切換閥26的回復彈簧26a之彈力，從第二位置復位至第一位置。
因連接於桿側配管20B的桿側之流量控制器12與頭側之流量控制器12構成實質相同，故對於與頭側之流量控制器12的構成要素相同的構成要素上係附記同一符號而省略其詳細說明。
接著，針對連接於頭側之流量控制器12及桿側之流量控制器12的動作切換閥34側之構成加以說明。頭側之流量控制器12的閥側端口12a係連接有第三配管27A之一端，桿側之流量控制器12的閥側端口12a係連接有第四配管27B之一端。第三配管27A及第四配管27B之另一端係連接有動作切換閥34。
動作切換閥34係電性地切換高壓空氣之連接對象的五埠閥，具備第一埠口34a至第五埠口34e。第一埠口34a係連接於第三配管27A，第二埠口34b係連接於第四配管27B。第三埠口34c及第五埠口34e係連接於排氣口38，第四埠口34d係連接於高壓空氣供給源36。
動作切換閥34係在圖2所示的第一位置時，使第一埠口34a與第四埠口34d連通，並且使第二埠口34b與第五埠口34e連通。如此，動作切換閥34係使高壓空氣供給源36連通至頭側埠口76a，且使排氣口38連通至桿側埠口78a。
又，動作切換閥34係在第二位置時，使第一埠口34a與第三埠口34c連通，並且使第二埠口34b連通至第四埠口34d。如此，動作切換閥34係使高壓空氣供給源36連通至桿側埠口78a，且使排氣口38連通至頭側埠口76a。
本實施型態的驅動裝置10之迴路構成係構成如上，以下，針對流量控制器12之具體的構造加以說明。
如圖3A及圖3B所示，流量控制器12係具備扁平的箱型之外殼40。外殼40係於內部內置壓缸流路21、主流路22、副流路23、旁通流路28、第一節流閥24、切換閥26、引導空氣調整部30、第三節流閥25及梭動閥32。外殼40之上面40a係形成有複數個孔，此等孔中插入有第一節流閥24、第三節流閥25、引導空氣調整部30及梭動閥32。如圖5所示，第三節流閥25係由設置於連繫閥側端口12a與切換閥26的內部流路50a(主流路22)之途中的針閥所構成，可藉由轉動上端之調整螺合部來可變地調節流量。
如圖6所示，引導空氣調整部30係由止回閥31b與第二節流閥31a一體地形成之附止回閥之節流閥70所構成。藉由轉動螺合機構72而可改變第二節流閥31a之流量。又，止回閥31b係具備彈性閥構件71，使從內部流路30a流至內部流路30b的空氣通過而阻止其逆向的空氣。
梭動閥32係具備梭動閥設置孔61，該梭動閥設置孔61係具有前端縮徑成錐狀的傾斜部61a。梭動閥32之第一入口32a係形成於梭動閥設置孔61的側部，並形成於傾斜部61a之上。又，梭動閥32之第二入口32b係形成於梭動閥設置孔61的側部，並形成於比第一入口32a更高的位置。又，梭動閥32之出口32c係形成於梭動閥設置孔61之下端部。
梭動閥32更具備；插入於梭動閥設置孔61的流路構件60；以及配置於流路構件60與傾斜部61a之間的閥體66。流路構件60係於上端具備封閉部63，該封閉部63係形成為與梭動閥設置孔61之內徑大致相同的直徑。該封閉部63係封閉梭動閥設置孔61之上端部。從流路構件60之封閉部63朝向梭動閥設置孔61之下端，伸出有管部62。
管部62係具有比梭動閥設置孔61之內徑更小之直徑的管狀之構 件，管部62之下端部(前端部)係在出口32c之附近開口，並且在管部62之基端部附近形成有沿徑向貫穿管部62的通氣孔64。又，在管部62之外周部且在出口32c與第二入口32b之間的部分係設有與梭動閥設置孔61密接的分隔部65及密合墊片65a。分隔部65及密合墊片65a係在管部62之外側氣密地分隔第二入口32b與出口32c。
閥體66係藉由彈性構件所構成，且形成為朝向下方凸出之大致圓錐的板狀，剖面則成為大致V字形。閥體66之下端側係具有能夠與傾斜部61a密接的傾斜面。閥體66之上端中央部係形成有能夠插入管部62的圓錐狀之突起部67。閥體66係在圖6之位置使下端側密接於傾斜部61a以氣密地封閉第一入口32a與出口32c，並且使第二入口32b與出口32c連通。當第一入口32a側之壓力增加時，閥體66上升，突起部67插入管部62之內側而以閥體66覆蓋管部62。此狀態下，閥體66封閉管部62之內側而阻止第二入口32b與出口32c之連通，且閥體66之外周部係隨著空氣之氣流而彈性變形，藉此使第一入口32a與出口32c連通。亦即，梭動閥32係在閥體66位移至上方時，使旁通流路28的第一部分28a與第二部分28b開通。
上述梭動閥32之第一入口32a係通過旁通流路28之第一部分28a而連通至圖4所示的閥側端口12a(主流路22)。又，如圖6所示，梭動閥32之第二入口32b係通過內部流路30b而連通至鄰接的引導空氣調整部30。再者，出口32c係通過旁通流路28之第二部分28b而連通至缸側端口12b(壓缸流路21)。
另一方面，如圖3A所示，第一節流閥24及排氣口24a係構成為此等一體形成之排氣節流閥，且從圖示的上面40a側進行排放空氣之排出。藉由轉動露出於上面40a的閥針調整螺合部，就可改變第一節流閥24之流量。
外殼40之背面40d係形成有用以連接氣缸14之頭側配管20A或桿側配管20B的缸側端口12b。外殼40之正面40b(參照圖3B)係形成有用以連接第三配管27A或第四配管27B的閥側端口12a。又，從外殼40的一方之側面40c朝向另一方之側面40e貫穿而形成有線軸閥導孔42。線軸閥導孔42中係設有切換閥26。
如圖4所示，切換閥26係構成為線軸閥(spool valve)，該線軸閥係具備：線軸閥導孔42；以及收容於線軸閥導孔42的線軸件46。線軸閥導孔42係具備：形成為相對較小內徑的線軸閥導引部42a；以及形成為比線軸閥導引部42a更大內徑的活塞收容部42b。線軸閥導孔42係藉由封塞線軸閥導引部42a側之端部的帽蓋44、以及封塞活塞收容部42b側的帽蓋48而封閉。帽蓋44及帽蓋48係藉由止脫夾58a固定於線軸閥導孔42。
線軸閥導引部42a係形成有將內徑之全周擴徑成槽狀而形成的第一連通槽50、第二連通槽52及第三連通槽54。第一連通槽50係形成於最靠帽蓋44側，且經由內部流路50a與閥側端口12a連通。第二連通槽52係形成於偏靠活塞部45之部分的溝槽，且經由內部流路52a而連通至第一節流閥24及排氣口24a。第三連通槽54係形成於第一連通槽50與第二連通槽52之間的溝槽，且經由內部流路54a與缸側端口12b連通。
活塞收容部42b係比線軸閥導引部42a更擴徑而形成，且於內部形成活塞室41。活塞室41係收容線軸件46的活塞部45。活塞室41之側面40e側係設有將活塞部45向側面40c側彈性施力而使之復位至第一位置的回復彈簧26a。活塞室41之側面40c側係開設有內部流路30a。內部流路30a係連通至引導空氣調整部30。
線軸件46係配設成能夠於線軸閥導孔42內朝向與側面40c、40e垂 直的軸向接觸滑動。線軸件46之側面40e側係設有插入線軸閥導孔42內的線軸部46a，線軸件46之側面40e側係設有驅動線軸件46的活塞部45。活塞部45係具有比線軸部46a更大的直徑，且收容於活塞室41內。活塞部45之外周部係安裝有襯墊56，活塞室41係藉由該襯墊56氣密地分隔成側面40e側的空室與側面40e側的空室。
線軸部46a係在軸向之兩端具備導引端部46e、46f。導引端部46e、46f係形成為比線軸閥導引部42a之內徑略小的外徑，導引線軸件46沿軸向移動。為了防止沿著軸向的空氣之洩漏，在導引端部46e、46f係分別設有襯墊49。上述導引端部46e、46f之間係形成有第一封閉壁46c、第二封閉壁46d及凹部47a、47b、47c。
第一封閉壁46c及第二封閉壁46d係形成為比線軸閥導引部42a之內徑略小的外徑，並且在其外周部具備襯墊49。第一封閉壁46c係形成為在圖4所示的第一位置時，密接第二連通槽52與第三連通槽54之間的線軸閥導引部42a之內壁的位置，阻止第二連通槽52與第三連通槽54之連通。另一方面，第二封閉壁46d係設於比第一封閉壁46c更離開側面40c側，在第一位置時位於第三連通槽54內，容許第三連通槽54與第一連通槽50之連通。
第二封閉壁46d係於線軸件46的第二位置時，密接於第三連通槽54與第一連通槽50之間的線軸閥導引部42a之內周面，阻止第三連通槽54與第一連通槽50之連通。再者，第一封閉壁46c係於第二位置時，位於第三連通槽54內，而容許第三連通槽54與第二連通槽52之連通。
凹部47a係形成於第二封閉壁46d與導引端部46e之間，線軸件46於第一位置時，為了使第一連通槽50與第三連通槽54之間的空氣容易通過而形成 較大之截面積的流路。凹部47b係形成於第一封閉壁46c與第二封閉壁46d之間。又，凹部47c係形成於第一封閉壁46c與導引端部46f之間，線軸件46於第二位置時，於第二連通槽52與第三連通槽54之間形成較大之截面積的流路。
流量控制器12之具體構造係如上地構成。以下，針對本實施型態的驅動裝置10之作用連同其動作加以說明。在此，參照圖2及圖7，以使活塞16朝向桿側埠口78a移動的作動行程為例來說明。
如圖2所示，作動行程中，動作切換閥34係切換至第一位置，高壓空氣供給源36係連通至第三配管27A。高壓空氣係通過閥側端口12a流入頭側之流量控制器12。流量控制器12中，高壓空氣係流入主流路22及旁通流路28。切換閥26係位於初始位置的第一位置，主流路22之高壓空氣係如箭頭A1所示地通過切換閥26而流入壓缸流路21。
又，旁通流路28中，第一部分28a之壓力係成為高於第二部分28b之壓力。因此，圖6所示的梭動閥32之閥體66被上推至上端側，使得第一入口32a與出口32c連通，而使旁通流路28之第一部分28a與第二部分28b開通。從而，如圖2之箭頭A2所示，高壓空氣係經由旁通流路28而流入壓缸流路21。因旁通流路28沒有節流閥，故高壓空氣係自由流動而導入氣缸14之頭側埠口76a。
另一方面，桿側之流量控制器12係經由桿側配管20B而流入從桿側壓力室18b所排出的排放空氣。排放空氣係從流量控制器12之缸側端口12b流入。桿側之切換閥26係位於第一位置，使得壓缸流路21與主流路22連通，排放空氣係如箭頭B1所示，通過主流路22而從排氣口38排出。此時，排放空氣之流量係藉由第三節流閥25限縮，氣缸14之活塞16的動作速度因而受制於第三節流閥25。如此，流量控制器12係構成為以從氣缸14排出的排放空氣來限制活塞16之動作 速度的出口制流(meter-out)速度控制器。
又，桿側之流量控制器12中，排放空氣之一部分係如箭頭P所示，流入旁通流路28之第二部分28b。此時，梭動閥32係如圖6所示，閥體66係受到朝向下方的施力，將第一入口32a與出口32c之間阻斷，而將第二入口32b與出口32c連通。如圖2所示，通過梭動閥32的排放空氣係通過引導空氣調整部30而供給至切換閥26作為引導空氣。引導空氣之流量係藉由第二節流閥31a而可變地調整。
之後，伴隨活塞16之移動，桿側之切換閥26的引導空氣之壓力會慢慢地增加。並且，在活塞16到了靠近行程終端附近的預定時機，桿側之切換閥26係藉由引導空氣之壓力抵抗回復彈簧26a之彈力，從第一位置切換至第二位置。
如圖7所示，桿側之切換閥26於第二位置時，壓缸流路21與副流路23連通。來自氣缸14的排放空氣係如箭頭B2所示地流動，在藉由副流路23之第一節流閥24限制流量的情況下，從排氣口24a排出。因第一節流閥24之流量係少於第三節流閥25之流量，故排放空氣之流量會在活塞16到了接近行程終端附近的時機大幅地受到限縮，使得活塞16之速度降低。藉此，可緩和活塞16到達行程終端時的氣缸14之衝擊。
活塞16停止時，朝向桿側之流量控制器12的排放空氣之流入停止，切換閥26之引導空氣係通過引導空氣調整部30之止回閥31b向壓缸流路側排出。並且，切換閥26係藉由回復彈簧26a之彈力而復位至第一位置。
如上所述，完成氣缸14之驅動裝置10的作動行程之動作。之後，將動作切換閥34從第一位置切換至第二位置以進行復位行程。復位行程中，排放空氣係流至頭側之流量控制器12，而高壓空氣係流至桿側之流量控制器12。復位 行程中的驅動裝置10之動作係僅上述作動行程的動作中之頭側之流量控制器12與桿側之流量控制器12的對調，基本上均相同，故省略其說明。
本實施型態的流量控制器12及驅動裝置10係可達到以下的功效。
以往的流量控制器中，當切換閥的引導空氣之壓力低於0.4MPa時，通過節流閥的引導空氣之流量會驟減。因此，引導空氣無法順利排出，而發生切換閥無法在所希望的時機進行切換之問題。
相對於此，本實施型態的流量控制器12係具備：壓缸流路21，係連通氣缸14之埠口；主流路22，係對壓缸流路21供給、排放空氣；副流路23，係具有第一節流閥24，使從氣缸14排出的排放空氣以小於主流路22的流量通過；切換閥26，係連接於壓缸流路21、主流路22及副流路23之間，且切換第一位置與第二位置，切換為第一位置時，使壓缸流路21連通至主流路22，切換為第二位置時，使壓缸流路21連通至副流路23；以及引導空氣調整部30，係將壓缸流路21的排放空氣之一部分作為引導空氣而導引至切換閥26；切換閥26係藉由引導空氣之壓力的上升而從第一位置切換至第二位置，並且引導空氣調整部30係具有限制引導空氣朝向切換閥26的流入速度之第二節流閥31a。
本實施型態的流量控制器12係使用排放空氣之一部分作為引導空氣，且引導空氣調整部30係限制流入至切換閥26之引導空氣，而達成入口制流(meter-in)之速度控制器的功能。因此，至少有0.4MPa以上之壓力會持續作用於第二節流閥31a，而可防止通過第二節流閥31a的引導空氣之流量的減少。結果，流量控制器12中，切換閥26之動作時機將會安定化。
又，本實施型態的流量控制器12係即便連接於具有氣墊等緩衝構造的氣缸仍為有效。此情況下，可在緩衝構造發生作用之前開始縮減空氣之流 量，而可減輕作用於緩衝構造的負荷。又，使氣缸高速動作的情況下，行程端部的氣墊等緩衝構造的反彈力之調整變得困難，而容易發生活塞在行程端部附近意外地振動的反彈。如此的情況下，若將流量控制器12設於驅動裝置10時，因可在緩衝構造發生作用之前縮減空氣之流量，故緩衝構造之動作會變得平順，而可防止反彈之發生。
上述流量控制器12亦可更具備：旁通流路28，係將壓缸流路21與主流路22繞過切換閥26而旁通連接；以及梭動閥32，係設於旁通流路28與引導空氣調整部30之間；梭動閥32係在主流路22之壓力高於壓缸流路21之壓力的情況下，阻止引導空氣調整部30與旁通流路28之連通，並且使主流路22與壓缸流路21連通，而在壓缸流路21之壓力高於主流路22之壓力的情況下，阻止主流路22與壓缸流路21之連通，並且使壓缸流路21與引導空氣調整部30連通。
藉此，由於高壓空氣可不僅流入主流路22還通過旁通流路28流入壓缸流路21，所以氣缸14之高速動作的對應性變得容易。
上述流量控制器12中，主流路22亦可具有限制流動的空氣之流量的第三節流閥25，旁通流路28亦可將主流路22與壓缸流路21繞過切換閥26及第三節流閥25而旁通連接。如此，藉由設置第三節流閥25可限制流動於主流路22的排放空氣之流量，而能夠以第三節流閥25來調整氣缸14的活塞16之動作速度。又，因旁通流路28係繞過切換閥26及第三節流閥25而旁通設置，故高壓空氣不會因第三節流閥25限制流量，所以氣缸14之高速動作的對應性變得容易。
上述流量控制器12中，亦可具備收容切換閥26、引導空氣調整部30、第一節流閥24、旁通流路28及梭動閥32的外殼40，外殼40亦可具有：連通主流路22的閥側端口12a；連通副流路23的排氣口24a；以及連通壓缸流路21的缸側 端口12b。依據上述構成，可將流量控制器12之主要部分一體化於外殼40內。又，只要將配管連接於閥側端口12a及缸側端口12b，就可將流量控制器12安裝於氣缸14。
上述流量控制器12中，切換閥26亦可具有：線軸閥導孔42，係具有連通閥側端口12a的第一連通槽50、連通第一節流閥24的第二連通槽52、以及連通缸側端口12b的第三連通槽54；線軸件46，係能夠沿軸向接觸滑動地配設於線軸閥導孔42，且形成有第一封閉壁46c、第二封閉壁46d及凹部47a、47c，該第一封閉壁46c係形成為在第一位置時，阻止第二連通槽52與第三連通槽54之連通，該第二封閉壁46d係形成為在第二位置時，阻止第一連通槽50與第三連通槽54之連通，該凹部47a、47c係形成於第一封閉壁46c與第二封閉壁46d之間，且在第一位置時，使第一連通槽50與第三連通槽54連通，而在第二位置時，使第二連通槽52與第三連通槽54連通；回復彈簧26a，係將線軸件46向第一位置側彈性施力；以及活塞部45，係在從缸側端口12b流入的引導空氣之作用下，使線軸件46位移至第二位置c
上述驅動裝置10係具備：高壓空氣供給源36，係對氣缸14供給高壓空氣；排氣口38，係排出氣缸14之排放空氣；流量控制器12，係具有：壓缸流路21，係連通氣缸14之埠口；主流路22，係對壓缸流路21供給、排放空氣；副流路23，係具有第一節流閥24，使從氣缸14排出的排放空氣以小於主流路22之流量通過；切換閥26，係連接於壓缸流路21、主流路22及副流路23之間，且切換第一位置與第二位置，切換為第一位置時，使壓缸流路21連通至主流路22，切換為第二位置時，使壓缸流路21連通至副流路23；以及引導空氣調整部30，係將壓缸流路21的排放空氣之一部分作為引導空氣而導引至切換閥26；切換閥26係藉由引 導空氣之壓力的上升而從第一位置切換至第二位置，引導空氣調整部30係具有限制引導空氣朝向切換閥26的流入速度的第二節流閥31a；以及動作切換閥34，係連接至高壓空氣供給源36、排氣口38及主流路22之一端，且將主流路切換成為連通高壓空氣供給源36或排氣口38。
依據上述驅動裝置10，可藉由具備流量控制器12而使切換閥26之動作時機安定化。
上述驅動裝置10中，流量控制器12亦可連接於分別與氣缸14之頭側埠口76a以及與桿側埠口78a的桿側連通之壓缸流路21。藉此，可針對作動行程及復位行程雙方緩和行程終端的衝擊。
以上已針對本發明列舉較佳實施型態來加以說明，但本發明不限於前述實施型態，當可在不脫離本發明之趣旨的範圍內進行各種改變。
10:驅動裝置
12:流量控制器
12a:閥側端口
12b:缸側端口
14:氣缸
16:活塞
17:活塞桿
18:氣缸室
18a:頭側壓力室
18b:桿側壓力室
20A:頭側配管
20B:桿側配管
21:壓缸流路
22:主流路
23:副流路
24:第一節流閥
24a:排氣口
25:第三節流閥
26:切換閥
26a:回復彈簧
27A:第三配管
27B:第四配管
28:旁通流路
28a:第一部分
28b:第二部分
30:引導空氣調整部
31a:第二節流閥
31b:止回閥
32:梭動閥
32a:第一入口
32b:第二入口
32c:出口
34:動作切換閥
34a:第一埠口
34b:第二埠口
34c:第三埠口
34d:第四埠口
34e:第五埠口
36:高壓空氣供給源
38:排氣口
A1,A2,B1,P:箭頭

Claims (7)

  1. 一種流量控制器，其具備：
    壓缸流路(21)，係連通氣缸(14)之埠口；
    主流路(22)，係對前述壓缸流路供給、排放空氣；
    副流路(23)，係並排設於前述主流路，且具有將空氣之流量縮減成小於前述主流路之流量的第一節流閥(24)；
    切換閥(26)，係連接於前述壓缸流路、前述主流路及前述副流路，且切換第一位置與第二位置，切換為該第一位置時，使前述壓缸流路連通至前述主流路，切換為該第二位置時，使前述壓缸流路連通至前述副流路；以及
    引導空氣調整部(30)，係將前述壓缸流路的排放空氣之一部分作為引導空氣而導引至前述切換閥；
    前述引導空氣調整部係具有限制前述引導空氣朝向前述切換閥的流入速度之第二調節閥(31a)，前述切換閥係藉由前述引導空氣之壓力的上升而從前述第一位置切換至前述第二位置。
  2. 如請求項1所述之流量控制器，更具備：
    旁通流路(28)，係將前述壓缸流路與前述主流路繞過前述切換閥而旁通連接；以及
    梭動閥(32)，係具有第一入口(32a)、第二入口(32b)及出口(32c)，且將前述旁通流路之連通前述主流路的第一部分(28a)連接於前述第一入口，將前述旁通流路之連通前述壓缸流路的第二部分(28b)連接於前述出口，將前述引導空氣調整部連接於前述第二入口；
    前述梭動閥係在前述主流路之壓力高於前述壓缸流路之壓力時，封閉前述第二入口而使前述第一入口與前述出口連通，而在前述壓缸流路之壓力高於前述主流路之壓力時，封閉前述第一入口而使前述第二入口與前述出口連通。
  3. 如請求項2所述之流量控制器，其中前述主流路係具有第三節流閥(25)，前述旁通流路係將前述主流路與前述壓缸流路繞過前述切換閥及前述第三節流閥而旁通連接。
  4. 如請求項2或3所述之流量控制器，係具備：外殼(40)，係收容前述切換閥、前述引導空氣調整部、前述第一節流閥、前述旁通流路及前述梭動閥；
    前述外殼係具有：
    閥側端口(12a)，係連通前述主流路；
    排氣口(24a)，係連通前述副流路；以及
    缸側端口(12b)，係連通前述壓缸流路。
  5. 如請求項4所述之流量控制器，其中前述切換閥係具有：
    線軸閥導孔(42)，係具有連通前述閥側端口的第一連通槽(50)、連通前述第一節流閥的第二連通槽(52)、以及連通前述缸側端口的第三連通槽(54)；
    線軸件(46)，係能夠沿軸向接觸滑動地配設於前述線軸閥導孔，且形成有第一封閉壁(46c)、第二封閉壁(46d)及凹部(47a、47c)，該第一封閉壁係形成為在前述第一位置時，阻止前述第二連通槽與前述第三連通槽之連通，該第二封閉壁係形成為在前述第二位置時，阻止前述第一連通槽與前述第三連通槽之連通，該凹部係形成於前述第一封閉壁與前述第二封閉壁之間，且在前述第一位置時，使前述第一連通槽與前述第三連通槽連通，而在前述第二位置時，使前述第二連通槽與前述第三連通槽連通；
    回復彈簧(26a)，係將前述線軸件向前述第一位置側彈性施力；以及
    活塞部(45)，係在從前述缸側端口流入的前述引導空氣之作用下，使前述線軸件位移至前述第二位置。
  6. 一種驅動裝置(10)，其具備：
    高壓空氣供給源(36)，係對氣缸供給高壓空氣；
    排氣口(38)，係排出前述氣缸之排放空氣；
    流量控制器，係具有：
    壓缸流路，係連通前述氣缸之埠口；
    主流路，係對前述壓缸流路供給、排放空氣；
    副流路，係並排設於前述主流路，且具有將空氣之流量縮減成小於前述主流路之流量的第一節流閥；
    切換閥，係連接於前述壓缸流路、前述主流路及前述副流路，且切換第一位置與第二位置，切換為該第一位置時，使前述壓缸流路連通至前述主流路，切換為該第二位置時，使前述壓缸流路連通至前述副流路；以及
    引導空氣調整部，係將前述壓缸流路的排放空氣之一部分作為引導空氣而導引至前述切換閥；以及
    動作切換閥，係連接至前述高壓空氣供給源、前述排氣口及前述主流路之一端，且將前述主流路切換成為連通前述高壓空氣供給源或前述排氣口；
    前述引導空氣調整部係具有限制前述引導空氣朝向前述切換閥的流入速度之第二調節閥，前述切換閥係藉由前述引導空氣之壓力的上升而從前述第一位置切換至前述第二位置。
  7. 如請求項6所述之驅動裝置，其中前述流量控制器係連接於前述氣缸之頭側埠口(76a)與前述氣缸之桿側埠口(78a)。
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