TW202104133A - 玻璃板的製造方法以及玻璃板的清洗裝置 - Google Patents

Abstract

一種玻璃板的製造方法，包括清洗步驟，所述清洗步驟中，藉由清洗行6a、清洗行6b，一面搬送玻璃板G一面對玻璃板G進行清洗，所述清洗行6a、清洗行6b包含在與玻璃板G的搬送方向Y交叉的規定的排列方向Q空開間隙S而配置的多個清洗盤10，所述玻璃板的製造方法中，清洗行6a、清洗行6b在自搬送方向Y進行觀察的情況下，以相同行所含的相鄰的清洗盤10彼此重疊的方式使排列方向Q相對於與搬送方向Y正交的寬度方向X傾斜。

Description

玻璃板的製造方法以及玻璃板的清洗裝置

本發明是有關於一種玻璃板的製造方法以及玻璃板的清洗裝置。

液晶顯示器、電漿顯示器（plasma display）、有機電致發光（electroluminescent，EL）顯示器等平板顯示器（flat panel display，FPD）的高精細化得到推進。伴隨於此，於用作FPD用基板的玻璃板，利用FPD的製造步驟而形成緻密的電氣電路。因此，對於此種玻璃板，要求不附著灰塵或污垢的高潔淨性。

因此，在玻璃板的製造步驟中，通常是在將原玻璃板切割為規定尺寸而獲得多塊玻璃板的切割步驟之後等，設置對玻璃板進行清洗的清洗步驟。

作為對玻璃板進行清洗的方法，例如可列舉在專利文獻1中揭示的方法。在專利文獻1中，將多個清洗盤（disk）在與玻璃板的搬送方向正交的方向並排配置而成的清洗行在搬送方向隔開間隔而設置2行。藉由一面使所述2行清洗行所含的各清洗盤在固定位置處旋轉一面搬送玻璃板，而玻璃板得到清洗。

此處，在各清洗行中相鄰的清洗盤之間，為了避免彼此的干擾而形成有間隙。 [現有技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2017-14060號公報

[發明所欲解決之課題] 在專利文獻1中，為了抑制在與玻璃板的搬送方向正交的方向產生清洗不均，而將2行清洗行中的其中一行清洗行所含的清洗盤相對於另一行清洗行所含的清洗盤在寬度方向錯開地配置。

然而，當2行清洗行中的其中一行清洗行（或其中一行清洗行的一部分清洗盤）因故障等而成為無法使用的狀態時，在直至對其中一行清洗行進行修理/更換為止的期間內，需要僅利用另一行清洗行對玻璃板進行清洗。如此，在僅利用另外一行清洗行1行對玻璃板進行清洗的情況下，在與所述1行清洗行所含的相鄰的清洗盤之間的間隙對應的位置處無法對玻璃板進行清洗。結果，容易產生可成為清洗不良的原因的清洗不均。

本發明的課題在於確實地降低一面搬送玻璃板一面對玻璃板進行清洗時產生的清洗不均。 [解決課題之手段]

為了解決所述課題而首創的本發明為一種玻璃板的製造方法，包括清洗步驟，所述清洗步驟中，藉由清洗行，一面搬送玻璃板一面對玻璃板進行清洗，所述清洗行包含在與玻璃板的搬送方向交叉的規定的排列方向空開間隙而配置的多個清洗盤，所述玻璃板的製造方法的特徵在於：清洗行在自搬送方向進行觀察的情況下，以相同行所含的相鄰的清洗盤彼此重疊的方式排列清洗盤。

如此，清洗行所含的多個清洗盤在排列方向為在相同清洗行中相鄰的清洗盤之間存在間隙的狀態，但在自搬送方向進行觀察的情況下，為相同清洗行中相鄰的清洗盤彼此重疊的狀態。即，即便清洗行僅為1行，亦可在與搬送方向正交的方向無間隙地對玻璃板進行清洗。因此，可確實地降低玻璃板的清洗不均。

所述構成中，亦可為清洗行排列為直線狀，且排列方向相對於與搬送方向正交的方向傾斜。

如此，在自搬送方向進行觀察的情況下，可以相同清洗行所含的相鄰的清洗盤彼此重疊的方式簡單地排列各清洗盤。

在使排列為直線狀的清洗行的排列方向傾斜的情況下，排列方向相對於與搬送方向正交的方向的傾斜角度較佳為45度以下。

即，當排列方向的傾斜角度過大時，清洗行變長，需要在一個清洗行配置大量的清洗盤。因此，有清洗裝置的佔有空間變大、或設備成本上升的擔憂。相對於此，若為所述構成，則排列方向的傾斜角度成為適當的範圍，因此可消除該些不良情況。

所述構成中，亦可為清洗行排列為波狀，且排列方向相對於與搬送方向正交的方向傾斜。

如此，在自搬送方向進行觀察的情況下，可以相同清洗行所含的相鄰的清洗盤彼此重疊的方式簡單地排列各清洗盤。

所述構成中，較佳為清洗行在搬送方向隔開間隔而設置多行。

如此，各清洗行所含的清洗盤與玻璃板接觸而清洗時間延長，因此可更確實地降低玻璃板的清洗不均。另外，即便任一清洗行（或所述清洗行所含的清洗盤）因故障等而無法使用，亦可利用剩餘的清洗行無問題地繼續清洗玻璃板。

為了解決所述課題而首創的本發明為一種玻璃板的清洗裝置，其藉由清洗行，一面搬送玻璃板一面對玻璃板進行清洗，所述清洗行包含在與玻璃板的搬送方向交叉的規定的排列方向空開間隙而配置的多個清洗盤，所述玻璃板的清洗裝置的特徵在於：清洗行於自搬送方向進行觀察的情況下，以相同行所含的相鄰的清洗盤彼此重疊的方式排列清洗盤。

根據此種構成，可獲得與已敘述的對應構成相同的作用效果。

所述構成中，亦可為清洗行排列為直線狀，且排列方向相對於與搬送方向正交的方向傾斜。或者，所述構成中，亦可為清洗行排列為波狀，且排列方向相對於與搬送方向正交的方向傾斜。 [發明的效果]

根據本發明，可確實地降低一面搬送玻璃板一面對玻璃板進行清洗時產生的清洗不均。

以下，一面參照圖式一面對本實施形態的玻璃板的清洗裝置以及玻璃板的製造方法進行說明。再者，圖中的XYZ為正交座標系。X方向及Y方向為水平方向，Z方向為鉛垂方向。Y方向為玻璃板的搬送方向，包含X方向及Z方向的XZ平面為與玻璃板的搬送方向正交的平面。進而，在各實施形態中，有因對對應的構成要素標註相同的符號而省略重覆說明的情況。於在各實施形態中僅說明構成的一部分的情況下，可對該構成的其他部分應用先行說明的其他實施形態的構成。另外，不僅為各實施形態的說明中所明示的構成的組合，而且，若不特別地對組合產生阻礙，則即便並未明示，亦可將多個實施形態的構成彼此加以局部組合。

（第一實施形態） 如圖1所示，第一實施形態的玻璃板的清洗裝置1包括清洗區域W、以及乾燥區域D，並且一面將玻璃板G朝Y方向搬送，一面對玻璃板G的上表面Ga及下表面Gb同時進行清洗。

在清洗區域W及乾燥區域D，雖然省略圖示，但玻璃板G在與搬送方向Y正交的寬度方向X，以一端側位於較另一端側更低位的方式以傾斜的姿勢進行搬送。藉此，附著於玻璃板G的上表面Ga的多餘的液體因自體重量而自玻璃板G的上表面Ga流落，從而防止在玻璃板G的上表面Ga形成成為污垢的原因的液體積留。再者，亦可在清洗區域W及/或乾燥區域D，將玻璃板G以水平姿勢搬送。

清洗裝置1在清洗區域W包括：擠壓輥2、擠壓輥3，除去附著於玻璃板G的上表面Ga及下表面Gb的液體；上側清洗機構4，對玻璃板G的上表面Ga進行清洗；以及下側清洗機構5，對玻璃板G的下表面Gb進行清洗。在清洗區域W，藉由配置於其上游側的搬送輥等任意機構而供給玻璃板G。

擠壓輥2、擠壓輥3藉由將玻璃板G上下夾著並搬送的包含上側輥2a、上側輥3a以及下側輥2b、下側輥3b的上下輥對而構成。即，擠壓輥2、擠壓輥3亦作為搬送機構而發揮功能。在本實施形態中，擠壓輥2、擠壓輥3分別配置於清洗機構4、清洗機構5的上游側及下游側。

擠壓輥2、擠壓輥3藉由包含可吸收液體的材料（例如軟質海綿）的輥而構成，但並不限定於此。

上側清洗機構4包括：清洗行6a、清洗行6b，在搬送方向Y隔開間隔而設置2行；以及框體7，為了對各清洗行6a、清洗行6b供給清洗液C，而於內部空間儲存有清洗液C。

下側清洗機構5包括：清洗行8a、清洗行8b，以與上側清洗機構4的清洗行6a、清洗行6b隔著玻璃板G相向的方式，在搬送方向Y隔開間隔而設置2行；以及框體9，為了對各清洗行8a、清洗行8b供給清洗液C，而在內部空間儲存有清洗液C。

作為清洗液C，例如可使用清洗液（例如液體洗滌劑）、或沖洗液（例如水）等液體。

此處，下側清洗機構5為如將上側清洗機構4上下反轉而成的構成，具有與上側清洗機構4實質上相同的構成及作用效果。因此，以下，以上側清洗機構4的構成為例進行說明，而省略下側清洗機構5的構成的詳細說明。

如圖2及圖3所示，上側清洗機構4的各清洗行6a、清洗行6b排列為直線狀。各清洗行6a、清洗行6b包括在與玻璃板G的搬送方向Y交叉的規定的排列方向Q空開間隙S而排列為一行的多個清洗盤10。各清洗盤10為可擦洗玻璃板G的上表面Ga的盤狀的旋轉體。再者，下側清洗機構5的清洗行8a、清洗行8b所含的各清洗盤11與上側清洗機構4的清洗行6a、清洗行6b所含的各清洗盤10隔著玻璃板G而成對。成對的清洗盤10、清洗盤11彼此朝同一方向旋轉。

各清洗行6a、清洗行6b的排列方向Q在自搬送方向Y進行觀察的情況下，以相同行中相鄰的清洗盤10彼此重疊的方式，在沿玻璃板G的平面內，相對於與搬送方向Y正交的寬度方向X傾斜。即，藉由各清洗行6a、清洗行6b的排列方向Q的傾斜，各清洗行6a、清洗行6b的排列方向Q的一端側所配置的清洗盤10較相同行的排列方向Q的另一端側所配置的清洗盤10而言更位於搬送方向Y的前方或後方。

各清洗行6a、清洗行6b所含的多個清洗盤10在排列方向Q為在相同行中相鄰的清洗盤10之間存在間隙S的狀態，且在自與排列方向Q正交的方向進行觀察的情況下，可視認到所述清洗行所含的相鄰的清洗盤10之間的間隙S。另一方面，在自搬送方向Y進行觀察的情況下，為相同行中相鄰的清洗盤10彼此重疊的狀態，因此，無法視認到所述清洗行所含的相鄰的清洗盤10之間的間隙S。因此，即便清洗行6a、清洗行6b僅為1行，亦可在與搬送方向Y正交的寬度方向X無間隙地對玻璃板G進行清洗，因此，可確實地降低玻璃板G的清洗不均。另外，若如本實施形態般設置2行清洗行6a、清洗行6b，則即便清洗行6a、清洗行6b中的任一行清洗行（或者所述清洗行所含的清洗盤10）因故障等而無法使用，亦可僅利用另一行清洗行1行無間隙地對玻璃板G的整個寬度進行清洗，因此可確實地降低寬度方向X的玻璃板G的清洗不均。

各清洗行6a、清洗行6b的排列方向Q相對於寬度方向X的傾斜角度θ較佳為45度以下。如此，可消除因排列方向Q的傾斜角度θ而引起的清洗行6a、清洗行6b過長而清洗裝置1的佔有空間變大、或設備成本上升等問題。即，可同時實現清洗裝置1的省空間化與低成本化。再者，各清洗行6a、清洗行6b的傾斜角度θ較佳為5度以上、10度以上、15度以上、20度以上、25度以上、30度以上。

清洗盤10的直徑例如較佳為50 mm～200 mm，排列方向Q的間隙S的大小例如較佳為2 mm～10 mm。

如圖4所示，上側清洗機構4包括用於對2行清洗行6a、清洗行6b的各清洗盤10供給儲存於框體7的清洗液C的構成。在本實施形態中，構成為對於2行清洗行6a、清洗行6b的各清洗盤10，自一個框體7供給清洗液C（參照圖1）。再者，亦可構成為例如針對2行清洗行6a、清洗行6b的每一行而設置專用的框體等，自多個框體供給清洗液C。

上側清洗機構4沿著玻璃板G的上表面Ga的傾斜而將框體7傾斜。藉由所述框體7的傾斜，而各清洗行6a、清洗行6b的各清洗盤10沿著玻璃板G的上表面Ga而傾斜。玻璃板G的上表面Ga相對於水平面的傾斜角度例如較佳為2度～10度。

上側清洗機構4包括：主軸外殼12，在與各清洗盤10對應的位置處，以面向框體7的內部空間的方式固定於框體7；以及主軸13，以面向主軸外殼12的內部空間的方式可旋轉地保持於主軸外殼12。清洗盤10在框體7及主軸外殼12的外側裝配於主軸13的下端部。

於主軸外殼12的下端部，壓入固定有筒狀的滑動軸承（襯套（bushing））14，於主軸外殼12的上端部，壓入固定有筒狀的滑動軸承（襯套）15。主軸13的外周面以可旋轉的方式由滑動軸承14、滑動軸承15的軸承面（內周面）保持。滑動軸承14、滑動軸承15例如可為金屬製等，在本實施形態中為樹脂製（例如工程塑膠（engineering plastic）製）。

清洗盤10介隔間隔件（spacer）16而安裝於主軸13。清洗盤10及間隔件16相對於主軸13可拆卸。

清洗盤10包括：清洗部10a，與玻璃板G的上表面Ga接觸而擦洗玻璃板G的上表面Ga；以及支持部10b，供清洗部10a安裝。清洗部10a例如可為刷子（brush）等，在本實施形態中為包含海綿或不織布等的墊。

清洗盤10對於玻璃板G的觸壓較佳為較上側輥2a、上側輥3a對於玻璃板G的觸壓更小地設定。藉此，提高玻璃板G在搬送方向Y的直進穩定性。再者，清洗盤10對於玻璃板G的觸壓例如可藉由調整上側清洗機構4相對於玻璃板G的位置、變更間隔件16的厚度（亦包含不安裝間隔件16的情況）等進行調整。

於框體7，設置有用於自外部對框體7的內部空間供給清洗液C的供給路徑R1，儲存於配置在框體7外部的槽（tank）（未圖示）的清洗液C如箭頭a所示般經由供給路徑R1藉由泵（未圖示）等壓送至框體7的內部空間。藉由所述清洗液C的壓送，而可將供給至框體7的內部空間的清洗液C的壓力維持為高的狀態。再者，供給路徑R1可於框體7設置1條或多條。

於主軸外殼12設置有將框體7的內部空間與主軸外殼12的內部空間連通的連通路徑R2，框體7的內部空間的清洗液C如箭頭b所示般經由連通路徑R2供給至主軸外殼12的內部空間。

於主軸13及間隔件16，設置有將主軸外殼12的內部空間與清洗盤10連通的連通路徑R3，主軸外殼12的內部空間的清洗液C如箭頭c所示般經由連通路徑R3供給至清洗盤10。再者，連通路徑R3包含設置於主軸13的貫通孔、以及設置於間隔件16的貫通孔。

於清洗盤10，設置有與連通路徑R3連通的貫通孔R4，藉由連通路徑R3而供給的清洗液C如箭頭d所示般經由貫通孔R4而供給至玻璃板G。貫通孔R4在清洗盤10是由可透過清洗液C的材質（例如，多孔質體等）形成的情況下，可予以省略。

如此，藉由供給路徑R1、連通路徑R2、連通路徑R3以及貫通孔R4，清洗液C可依照框體7的內部空間→主軸外殼12的內部空間→清洗盤10→玻璃板G的順序被供給。因此，由於供給至框體7的內部空間的清洗液C經由連通路徑R2與連通路徑R3而被直接供給至各清洗盤10，因此無需清洗液供給用的複雜的配管且清洗液C的浪費亦減少。

進而，由於主軸外殼12及主軸13的大部分處於浸漬於儲存在框體7的內部空間的清洗液C中的狀態，因此亦可期待主軸外殼12及主軸13被清洗液C冷卻的效果。因此，可考量在使主軸13旋轉而對玻璃板G進行清洗的期間，亦可降低主軸外殼12及主軸13的熱膨脹，從而良好地維持主軸13的旋轉動作。再者，在本實施形態中，與各清洗行6a、清洗行6b的各清洗盤10對應的多個主軸外殼12及多個主軸13浸漬於一個框體7內的清洗液C中。

此處，在本實施形態中，藉由框體7的傾斜，而在框體7內在與各清洗行6a、清洗行6b所含的各清洗盤10對應的位置處產生高低差。因此，因所述高低差所致的壓力差，而有供給至各清洗行6a、清洗行6b所含的各清洗盤10的清洗液C的量產生不一致的情況。因此，雖然省略圖示，但自降低因高低差所致的清洗液C的供給量的不一致的觀點而言，在各清洗行6a、清洗行6b中，位於低位的連通路徑R3較佳為具有較位於高位的連通路徑R3而言開口面積小的部分。具體而言，例如，較佳為使位於低位的間隔件16的貫通孔的開口面積小於位於高位的間隔件16的貫通孔的開口面積，或使位於低位的主軸13的貫通孔的開口面積小於位於高位的主軸13的貫通孔的開口面積。或者是，可在主軸13的貫通孔的一部分設置節流孔（orifice），而使開口面積變化。

上側清洗機構4針對清洗行6a、清洗行6b的每一行而包括將主軸13旋轉驅動的旋轉驅動機構17。旋轉驅動機構17在框體7及主軸外殼12的外側對主軸13的上端部賦予旋轉驅動力。

旋轉驅動機構17包括齒輪機構18、以及驅動部19。齒輪機構18包括安裝於各主軸13的上端部的多個齒輪18a，在排列方向Q相鄰的齒輪18a彼此嚙合。驅動部19包括馬達19a、以及安裝於馬達19a的齒輪19b，齒輪19b在齒輪機構18的排列方向Q的一端側與齒輪18a嚙合。因此，當藉由馬達19a的旋轉而使齒輪19b旋轉時，其動力被傳遞至齒輪機構18，而各主軸13進行旋轉。

齒輪18a、齒輪19b例如可為金屬製（例如不鏽鋼（Stainless Steel，SUS）製），在本實施形態中為樹脂製（例如工程塑膠製）。再者，對於齒輪18a、齒輪19b，亦可將金屬製齒輪與樹脂製齒輪加以組合而使用。

再者，在各清洗行6a、清洗行6b中，由於在排列方向Q相鄰的齒輪18a彼此直接嚙合，因此在排列方向Q相鄰的主軸13及清洗盤10彼此反向旋轉（參照圖3），但亦可增加齒輪等而彼此同向旋轉。另外，動力傳遞部並不限定於齒輪機構18，例如亦可為帶（belt）等其他部件。進而，亦可於各主軸13個別地安裝驅動部。

如圖5及圖6所示，於滑動軸承14的軸承面與主軸13的下端部的外周面之間、以及於滑動軸承15的軸承面與主軸13的上端部的外周面之間分別形成有液層C1、液層C2。液層C1、液層C2藉由供給至主軸外殼12的內部空間的清洗液C自與液層C1、液層C2對應的部分滲出而形成。因此，液層C1、液層C2由於具有來源於清洗液C的潤滑功能，因此可防止滑動軸承14、滑動軸承15及/或主軸13的磨耗。

形成液層C1、液層C2的清洗液C的滲出容易藉由提高框體7的內部空間的清洗液C的壓力而產生。框體7的內部空間的清洗液C的壓力例如可藉由對清洗液C朝框體7的內部空間的每單位時間的供給量進行變更而予以調整。

如圖1所示，清洗裝置1在乾燥區域D包括：氣刀（air knife）20a、氣刀20b，以及搬送輥21。氣刀20a配置於較搬送輥21更靠上方，氣刀20b配置於較搬送輥21更靠下方。

在乾燥區域D，一面藉由搬送輥21搬送玻璃板G，一面自氣刀20a、氣刀20b朝玻璃板G的上表面Ga及下表面Gb噴射高壓氣體，藉此將附著於該些表面的水分除去。再者，在乾燥區域D，亦可藉由氣刀20a、氣刀20b以外的其他公知的乾燥部件使玻璃板G乾燥。另外，亦可省略乾燥區域D。

其次，對本實施形態的玻璃板的製造方法進行說明。本製造方法包括使用所述玻璃板的清洗裝置1的清洗步驟。

詳細而言，玻璃板的製造方法例如包括：成形步驟、徐冷步驟、採板步驟、切割步驟、清洗步驟（包含乾燥步驟）、檢查步驟、以及打包步驟。再者，亦可在採板步驟之後包括熱處理步驟。另外，亦可在切割步驟之後包括端面加工步驟。

在成形步驟中，藉由溢流下拉（overflow down draw）法、流孔下拉（slot down draw）法、重新下拉（redraw）法等下拉法、或浮起（float）法等公知的方法，自熔融玻璃或玻璃母材成形玻璃帶（glass ribbon）。其中，溢流下拉法由於兩側的表面成為鍛造面而可實現高的表面品質，因此較佳。

在徐冷步驟中，為了降低所成形的玻璃帶的翹曲及內部應變，而使所成形的玻璃帶徐冷。

在採板步驟中，按照規定的長度將經徐冷的玻璃帶切割，而獲得多塊原玻璃板。

在熱處理步驟中，例如在熱處理爐中，對原玻璃板進行熱處理。

在切割步驟中，將原玻璃板切割成規定尺寸，獲得一塊或多塊玻璃板G。作為原玻璃板的切割方法，例如可利用劃線割斷、雷射熱割斷、雷射熔斷、切片機切割、線鋸切割等切割方法。玻璃板G較佳為矩形形狀。玻璃板G的一邊的大小較佳為1000 mm～3000 mm，板厚較佳為0.05 mm～10 mm，更佳為0.2 mm～0.7 mm。

在端面加工步驟中，對玻璃板G進行包含端面的磨削、研磨以及切角（corner cut）的端面加工。

在清洗步驟中，使用所述清洗裝置1，一面以傾斜姿勢搬送玻璃板G一面對玻璃板G進行清洗，之後使其乾燥。

在檢查步驟中，對經清洗的玻璃板G檢查表面上是否有傷痕、灰塵、污垢等，及/或是否有氣泡、異物等內部缺陷。檢查是使用相機（camera）等光學檢查裝置來進行。

在打包步驟中，對檢查的結果為滿足所需品質的玻璃板G進行打包。打包是相對於規定的托板（pallet），以平放方式積層多塊玻璃板G，或以豎放方式積層多塊玻璃板G來進行。此時，較佳為在玻璃板G的積層方向的彼此之間，介插有包含襯墊紙或發泡樹脂等的保護片材。

（第二實施形態） 在第二實施形態中，例示清洗裝置1的各清洗行6a、清洗行6b所含的清洗盤10的排列狀態的變形例。

如圖7所示，上側清洗機構4的各清洗行6a、清洗行6b排列為波狀，排列方向Q相對於與搬送方向Y正交的寬度方向X傾斜。於該狀態下，各清洗行6a、清洗行6b在自搬送方向Y進行觀察的情況下，以相同行所含的相鄰的清洗盤10彼此重疊的方式排列清洗盤10。

詳細而言，排列方向Q包含：第一方向Q1，相對於寬度方向X，以寬度方向X的一端側（例如左側）位於較寬度方向X的另一端側（例如右側）而言更靠搬送方向Y的上游側的方式傾斜；以及第二方向Q2，相對於寬度方向X，以寬度方向X的一端側（例如左側）位於較寬度方向X的另一端側（例如右側）而言更靠搬送方向Y的下游側的方式傾斜。即，第一方向Q1與第二方向Q2相對於寬度方向X的傾斜方向不同。在本實施形態中，排列方向Q在寬度方向X交替地包含第一方向Q1與第二方向Q2。在圖示例中，在第一方向Q1排列有2個清洗盤10，在第二方向Q2排列有2個清洗盤10。換言之，各清洗行6a、清洗行6b是在寬度方向X交替地排列位於搬送方向Y的第一位置P1的清洗盤10、以及位於較第一位置P1而言略微靠搬送方向Y的下游側的第二位置P2的清洗盤10而成。藉此，各清洗行6a、清洗行6b排列為波狀（鋸齒狀）。再者，各清洗行6a、清洗行6b中的排列於第一方向Q1及第二方向Q2的清洗盤10的排列個數並無特別限定，亦可在各方向Q1、方向Q2排列3個以上的清洗盤10。其中，就實現搬送方向Y上的省空間化的觀點而言，如圖示例所示般，較佳為在各方向Q1、方向Q2排列2個清洗盤10。

另外，在本實施形態中，各清洗行6a、清洗行6b在自寬度方向X進行觀察的情況下，亦以相同行所含的相鄰的清洗盤10彼此重疊的方式排列清洗盤10。藉此，可實現搬送方向Y上的省空間化。

第一方向Q1及第二方向Q2相對於寬度方向X的傾斜角度θ1、傾斜角度θ2較佳為45度以下。再者，第一方向Q1及第二方向Q2的傾斜角度θ1、傾斜角度θ2較佳為5度以上、10度以上、15度以上、20度以上、25度以上、30度以上。第一方向Q1的傾斜角度θ1與第二方向Q2的傾斜角度θ2亦可不同，但在本實施形態中相同。

清洗盤10的直徑例如較佳為50 mm～200 mm，排列方向Q（第一方向Q1及第二方向Q2）的間隙S的大小例如較佳為2 mm～10 mm。

再者，本發明並不限定於所述實施形態的構成，且並不限定於所述作用效果。本發明可在不脫離本發明的主旨的範圍內進行各種變更。

在所述實施形態中，對使用儲存有清洗液的框體供給清洗液的情況進行了說明，但清洗液的供給方法並不限定於此。例如，可使用淋浴噴頭（shower nozzle）等對清洗盤及/或玻璃板噴射供給清洗液。

在所述實施形態中，例示了2行清洗行6a、清洗行6b，但清洗行可僅為1行，亦可為3行以上。在設置多行清洗行的情況下，可將一部分清洗行設為第一實施形態中所說明的排列為直線狀的清洗行，將另一部分清洗行設為第二實施形態中所說明的排列為波狀的清洗行。

在所述實施形態中，亦可省略擠壓輥2、擠壓輥3。另外，亦可將擠壓輥2、擠壓輥3取代為包含不吸附液體的上下輥對的搬送輥。此時，搬送輥可採用僅夾著寬度方向X的玻璃板G的兩端部而搬送的構成，即，可採用不與寬度方向X的玻璃板G的中央部相接觸的構成。

在所述實施形態中，亦可使在玻璃板G的板厚方向相向的一對清洗盤10、清洗盤11中的至少一個清洗盤，在基準位置與退避位置之間可沿玻璃板G的板厚方向移動。即，亦可藉由感測器等來探測玻璃板G已被搬送至規定位置的情況，基於所述探測結果，使在玻璃板G的板厚方向相向的一對清洗盤10、清洗盤11中的至少一個清洗盤，沿玻璃板G的板厚方向自退避位置移動至基準位置，藉此使一對清洗盤10、清洗盤11的相向間隔變窄而抵接於玻璃板G。

在所述實施形態中，上側清洗機構4與下側清洗機構5亦可具有不同的構成。例如，若在玻璃板G的上表面Ga側供給清洗液C，則供給至上表面Ga的清洗液C經過玻璃板G的表面而亦被供給至玻璃板G的下表面Gb。因此，下側清洗機構5可不包括清洗盤11對玻璃板G直接供給清洗液C的構成。

在所述實施形態中，對在清洗裝置1中設置一個清洗區域W的情況進行了例示，但亦可設置多個清洗區域W。此時，既可於各清洗區域W的下游側設置乾燥區域D，亦可僅於最下游的清洗區域W的下游側設置乾燥區域D。

在所述實施形態中，對同時清洗玻璃板G的兩個表面Ga、Gb的情況進行了例示，但亦可僅對玻璃板G的單面進行清洗。

1:清洗裝置 2、3:擠壓輥 2a、3a:上側輥 2b、3b:下側輥 4:上側清洗機構 5:下側清洗機構 6a～6b:清洗行 7:框體 8a～8b:清洗行 9:框體 10:清洗盤 10a:清洗部 10b:支持部 11:清洗盤 12:主軸外殼 13:主軸 14、15:滑動軸承 16:間隔件 17:旋轉驅動機構 18:齒輪機構 18a:齒輪 19:驅動部 19a:馬達 19b:齒輪 20a、20b:氣刀 21:搬送輥 a～d:箭頭 C:清洗液 C1、C2:液層 D:乾燥區域 G:玻璃板 Ga:玻璃板的上表面 Gb:玻璃板的下表面 P1:第一位置 P2:第二位置 Q:排列方向 Q1:第一方向 Q2:第二方向 R1:供給路徑 R2:連通路徑 R3:連通路徑 R4:貫通孔 S:間隙 W:清洗區域 X:寬度方向 Y:搬送方向 Z:方向 θ、θ1、θ2:傾斜角度

圖1是表示本發明的第一實施形態的玻璃板的清洗裝置的側面圖。 圖2是表示清洗行所含的清洗盤的排列狀態的平面圖。 圖3是將圖2的主要部分放大地表示的平面圖。 圖4是表示玻璃板清洗機構的剖面圖。 圖5是將主軸外殼（spindle case）的下端部（前端部）側放大地表示的剖面圖。 圖6是將主軸外殼的上端部（基端部）側放大地表示的剖面圖。 圖7是表示本發明的第二實施形態的玻璃板的清洗裝置的清洗行所含的清洗盤的排列狀態的平面圖。

6a~6b:清洗行

10:清洗盤

G:玻璃板

Ga:玻璃板的上表面

Q:排列方向

S:間隙

X:寬度方向

Y:搬送方向

θ:傾斜角度

Claims (8)

1. 一種玻璃板的製造方法，包括清洗步驟，所述清洗步驟中，藉由清洗行，一面搬送玻璃板一面對玻璃板進行清洗，所述清洗行包含在與所述玻璃板的搬送方向交叉的規定的排列方向空開間隙而配置的多個清洗盤，所述玻璃板的製造方法的特徵在於： 所述清洗行在自所述搬送方向進行觀察的情況下，以相同行所含的相鄰的所述清洗盤彼此重疊的方式排列所述清洗盤。
2. 如請求項1所述的玻璃板的製造方法，其中所述清洗行排列為直線狀，且 所述排列方向相對於與所述搬送方向正交的方向傾斜。
3. 如請求項2所述的玻璃板的製造方法，其中所述排列方向相對於與所述搬送方向正交的方向的傾斜角度為45度以下。
4. 如請求項1所述的玻璃板的製造方法，其中所述清洗行排列為波狀，且 所述排列方向相對於與所述搬送方向正交的方向傾斜。
5. 如請求項1至請求項4中任一項所述的玻璃板的製造方法，其中所述清洗行在所述搬送方向隔開間隔而設置多行。
6. 一種玻璃板的清洗裝置，其藉由清洗行，一面搬送玻璃板一面對玻璃板進行清洗，所述清洗行包含在與所述玻璃板的搬送方向交叉的規定的排列方向空開間隙而配置的多個清洗盤，所述玻璃板的清洗裝置的特徵在於： 所述清洗行於自所述搬送方向進行觀察的情況下，以相同行所含的相鄰的所述清洗盤彼此重疊的方式排列所述清洗盤。
7. 如請求項6所述的玻璃板的清洗裝置，其中所述清洗行排列為直線狀，且 所述排列方向相對於與所述搬送方向正交的方向傾斜。
8. 如請求項6所述的玻璃板的清洗裝置，其中所述清洗行排列為波狀，且 所述排列方向相對於與所述搬送方向正交的方向傾斜。

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