JP3076687B2 - ガラス板用スクラブ洗浄装置 - Google Patents
ガラス板用スクラブ洗浄装置Info
- Publication number
- JP3076687B2 JP3076687B2 JP1181893A JP1181893A JP3076687B2 JP 3076687 B2 JP3076687 B2 JP 3076687B2 JP 1181893 A JP1181893 A JP 1181893A JP 1181893 A JP1181893 A JP 1181893A JP 3076687 B2 JP3076687 B2 JP 3076687B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass plate
- cleaning
- sponge
- sponge brush
- brush
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガラスマスクおよびガ
ラス基板の表面を洗浄するためのスクラブ洗浄装置のス
ポンジブラシに関する。
ラス基板の表面を洗浄するためのスクラブ洗浄装置のス
ポンジブラシに関する。
【０００２】
【従来の技術】ガラスマスクおよびガラス基板等のガラ
ス板の表面を洗浄する洗浄機は、図５のように酸処理槽
１、第一水洗槽２、第二水洗槽３、スクラブ洗浄部４、
ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）ベーパー乾燥部５を
備えている。
ス板の表面を洗浄する洗浄機は、図５のように酸処理槽
１、第一水洗槽２、第二水洗槽３、スクラブ洗浄部４、
ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）ベーパー乾燥部５を
備えている。
【０００３】そして、ガラス板６を４枚一組で保持して
いる台座７と、台座７をローダ部８から持ち上げてガラ
ス板６を酸処理槽１から第一水洗槽２、第二水洗槽３へ
移動させる第一アーム９と、第二水洗槽３内の台座７か
らガラス板６を一枚ずつ取り出してスクラブ洗浄部４、
ＩＰＡベーパー乾燥部５を経てアンローダ部１０の台座
７へ移動させる第二アーム１１が設けられている。
いる台座７と、台座７をローダ部８から持ち上げてガラ
ス板６を酸処理槽１から第一水洗槽２、第二水洗槽３へ
移動させる第一アーム９と、第二水洗槽３内の台座７か
らガラス板６を一枚ずつ取り出してスクラブ洗浄部４、
ＩＰＡベーパー乾燥部５を経てアンローダ部１０の台座
７へ移動させる第二アーム１１が設けられている。
【０００４】スクラブ洗浄部４には、微粒子の付着が極
めて少ないスポンジブラシが使用されるスクラブ洗浄装
置が設けられている。スポンジブラシはガラス板６の表
面の細かい異物等を除去する場合に適している。
めて少ないスポンジブラシが使用されるスクラブ洗浄装
置が設けられている。スポンジブラシはガラス板６の表
面の細かい異物等を除去する場合に適している。
【０００５】スクラブ洗浄装置は、図６〜８の如く、直
径３９ｍｍの４個のスポンジブラシ１２および２個のブ
ラシ１３がそれぞれ間隔がない状態で千鳥状に配設さ
れ、スポンジブラシ１２およびブラシ１３がガラス板６
を挟み込むように対向して配置され、その構成が上下二
段に設けられている。そして、スポンジブラシ１２の洗
浄面に洗浄用流体（純水）を通す孔１４が４ケ所形成さ
れている。
径３９ｍｍの４個のスポンジブラシ１２および２個のブ
ラシ１３がそれぞれ間隔がない状態で千鳥状に配設さ
れ、スポンジブラシ１２およびブラシ１３がガラス板６
を挟み込むように対向して配置され、その構成が上下二
段に設けられている。そして、スポンジブラシ１２の洗
浄面に洗浄用流体（純水）を通す孔１４が４ケ所形成さ
れている。
【０００６】上記構成において、ガラス板６の表面を洗
浄するとき、台座７に載せられた４枚のガラス板６が第
一アーム９によって、酸処理槽１から第一水洗槽２、第
二水洗槽３へと順次浸漬されながら搬送されていく。そ
して、第二水洗槽３内から引き上げた後、第二アーム１
１により台座７上のガラス板６を１枚ずつ把持して、ス
クラブ洗浄部４内へ移動させる。
浄するとき、台座７に載せられた４枚のガラス板６が第
一アーム９によって、酸処理槽１から第一水洗槽２、第
二水洗槽３へと順次浸漬されながら搬送されていく。そ
して、第二水洗槽３内から引き上げた後、第二アーム１
１により台座７上のガラス板６を１枚ずつ把持して、ス
クラブ洗浄部４内へ移動させる。
【０００７】そして、スクラブ洗浄装置のスポンジブラ
シ１２およびブラシ１３が回転し、ガラス板６の表面に
押し付け、スポンジブラシ１２の孔１４から純水を吐出
させ、ガラス板６を上下移動させてガラス板６の洗浄を
行う。
シ１２およびブラシ１３が回転し、ガラス板６の表面に
押し付け、スポンジブラシ１２の孔１４から純水を吐出
させ、ガラス板６を上下移動させてガラス板６の洗浄を
行う。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ガラス
板６の洗浄を行うとき、スクラブ洗浄装置のスポンジブ
ラシ１２の孔１４を通して純水を吐出させているので、
スポンジブラシ１２の外側が膨らむ。しかも、図９のよ
うに隣接するスポンジブラシ１２が隙間がない状態で配
置されているので、ガラス板６の接触面の周囲は隣接す
るスポンジブラシ１２が干渉しあって、ガラス板６と接
しない部分が発生する。また、スポンジブラシ１２をガ
ラス板６に強い力で押し付けているので、接触面の中央
部が擦り減る。
板６の洗浄を行うとき、スクラブ洗浄装置のスポンジブ
ラシ１２の孔１４を通して純水を吐出させているので、
スポンジブラシ１２の外側が膨らむ。しかも、図９のよ
うに隣接するスポンジブラシ１２が隙間がない状態で配
置されているので、ガラス板６の接触面の周囲は隣接す
るスポンジブラシ１２が干渉しあって、ガラス板６と接
しない部分が発生する。また、スポンジブラシ１２をガ
ラス板６に強い力で押し付けているので、接触面の中央
部が擦り減る。
【０００９】そのため、スポンジブラシ１２がガラス板
６と接しない部分では洗浄ができなくなり、洗浄むらが
発生し、図１０の如く、幾本かの筋状に点在したサイズ
が３μｍまでの異物１５が残ることがあった。
６と接しない部分では洗浄ができなくなり、洗浄むらが
発生し、図１０の如く、幾本かの筋状に点在したサイズ
が３μｍまでの異物１５が残ることがあった。
【００１０】本発明は、上記に鑑み、スポンジブラシ同
士の隙間をなくして洗浄性を向上させるガラス板用スク
ラブ洗浄装置の提供を目的とする。
士の隙間をなくして洗浄性を向上させるガラス板用スク
ラブ洗浄装置の提供を目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明請求項１，２によ
る課題解決手段は、図１〜３の如く、複数個の円形スポ
ンジブラシ２１をガラス板６の表面に押し付けて洗浄用
流体を流しながら洗浄するスクラブ洗浄装置において、
隣接するスポンジブラシ２１が一定の間隔を空けて千鳥
状に配置され、スポンジブラシ２１は、洗浄時にガラス
板６に押し付けられたときその接触面で、隣接するスポ
ンジブラシ２１の先端外周部同士が接触するよう、その
外径が設定され、スポンジブラシ２１の中央に、洗浄用
流体を吐出させるための吐出孔２３が形成されたもので
ある。
る課題解決手段は、図１〜３の如く、複数個の円形スポ
ンジブラシ２１をガラス板６の表面に押し付けて洗浄用
流体を流しながら洗浄するスクラブ洗浄装置において、
隣接するスポンジブラシ２１が一定の間隔を空けて千鳥
状に配置され、スポンジブラシ２１は、洗浄時にガラス
板６に押し付けられたときその接触面で、隣接するスポ
ンジブラシ２１の先端外周部同士が接触するよう、その
外径が設定され、スポンジブラシ２１の中央に、洗浄用
流体を吐出させるための吐出孔２３が形成されたもので
ある。
【００１２】
【作用】上記課題解決手段において、ガラス板６の表面
を洗浄するとき、一定の間隔を空けて千鳥状に配された
複数個のスポンジブラシ２１が回転され、スポンジブラ
シ２１の中央に形成された吐出孔２３から純水が吐出さ
れる。そして、スポンジブラシ２１をガラス板６に押し
付ける。
を洗浄するとき、一定の間隔を空けて千鳥状に配された
複数個のスポンジブラシ２１が回転され、スポンジブラ
シ２１の中央に形成された吐出孔２３から純水が吐出さ
れる。そして、スポンジブラシ２１をガラス板６に押し
付ける。
【００１３】このとき、スポンジブラシ２１は、ガラス
板６との接触面が広がって隣接するスポンジブラシ２１
との隙間がなくなるので、ガラス板６の表面をむらなく
洗浄できる。
板６との接触面が広がって隣接するスポンジブラシ２１
との隙間がなくなるので、ガラス板６の表面をむらなく
洗浄できる。
【００１４】
【実施例】図１は本発明の一実施例を示すスクラブ洗浄
装置のスポンジブラシの構成図、図２は同じくその断面
図、図３は洗浄時のスポンジブラシの側面図、図４は洗
浄後のガラス板表面を示す図である。
装置のスポンジブラシの構成図、図２は同じくその断面
図、図３は洗浄時のスポンジブラシの側面図、図４は洗
浄後のガラス板表面を示す図である。
【００１５】本実施例のガラスマスクおよびガラス基板
等のガラス板を洗浄する洗浄機は、図５に示すものと同
様である。図５の全体構成については、従来技術の項で
説明したので、その詳細な説明は省略し、本発明の要部
であるスクラブ洗浄装置を中心に説明する。
等のガラス板を洗浄する洗浄機は、図５に示すものと同
様である。図５の全体構成については、従来技術の項で
説明したので、その詳細な説明は省略し、本発明の要部
であるスクラブ洗浄装置を中心に説明する。
【００１６】本実施例のスクラブ洗浄装置は、図１〜３
の如く、洗浄機のスクラブ洗浄部４内に設けられた複数
個の円形スポンジブラシ２１およびブラシ２２をガラス
板６の表面に押し付けて洗浄用流体を流しながら洗浄す
る。
の如く、洗浄機のスクラブ洗浄部４内に設けられた複数
個の円形スポンジブラシ２１およびブラシ２２をガラス
板６の表面に押し付けて洗浄用流体を流しながら洗浄す
る。
【００１７】そして、隣接する前記スポンジブラシ２１
およびブラシ２２が一定の間隔を空けて千鳥状に配置さ
れ、前記ガラス板６を挟み込むように両側に設けられ、
その構成が上下二段になっている。
およびブラシ２２が一定の間隔を空けて千鳥状に配置さ
れ、前記ガラス板６を挟み込むように両側に設けられ、
その構成が上下二段になっている。
【００１８】前記スポンジブラシ２１のガラス板６との
接触面は、洗浄時にガラス板６に押し付けたとき隣接す
るスポンジブラシ２１の接触面と接触するよう、その外
径が設定され、前記スポンジブラシ２１の中央には、洗
浄用流体を吐出させるための吐出孔２３が形成されてい
る。
接触面は、洗浄時にガラス板６に押し付けたとき隣接す
るスポンジブラシ２１の接触面と接触するよう、その外
径が設定され、前記スポンジブラシ２１の中央には、洗
浄用流体を吐出させるための吐出孔２３が形成されてい
る。
【００１９】前記スポンジブラシ２１は、ポリビニルホ
ルマール（ＰＶＦ）製で円筒形に形成され、千鳥状に４
個配設されている。そして、スポンジブラシ２１の直径
は３６ｍｍ、高さ１０ｍｍで、それぞれ回転自在に設け
られたブラシ台２４に取り付けられ、洗浄時には、各ブ
ラシ台２４は図示しないモータにより約４００〜６００
ｒｐｍで回転する。
ルマール（ＰＶＦ）製で円筒形に形成され、千鳥状に４
個配設されている。そして、スポンジブラシ２１の直径
は３６ｍｍ、高さ１０ｍｍで、それぞれ回転自在に設け
られたブラシ台２４に取り付けられ、洗浄時には、各ブ
ラシ台２４は図示しないモータにより約４００〜６００
ｒｐｍで回転する。
【００２０】前記ブラシ２２は、４個のスポンジブラシ
２１の両外側の第二アーム１１に当接する部分に１個ず
つ設けられている。そして、直径３９ｍｍのブラシ台に
直径０．１ｍｍのナイロン製のブラシが多数立設され、
モータによりスポンジブラシ２１と同期して回転する。
２１の両外側の第二アーム１１に当接する部分に１個ず
つ設けられている。そして、直径３９ｍｍのブラシ台に
直径０．１ｍｍのナイロン製のブラシが多数立設され、
モータによりスポンジブラシ２１と同期して回転する。
【００２１】前記スポンジブラシ２１およびブラシ２２
は、図示しないエアシリンダにより互いに近接離間し、
洗浄時にガラス板６を挟みつけ、約３ｋｇ／ｃｍ2の圧
力でガラス板６に押し付けられている。
は、図示しないエアシリンダにより互いに近接離間し、
洗浄時にガラス板６を挟みつけ、約３ｋｇ／ｃｍ2の圧
力でガラス板６に押し付けられている。
【００２２】前記吐出孔２３は、スポンジブラシ２１の
中央に貫通された直径９ｍｍの孔で、洗浄時には、水圧
１〜２ｋｇ／ｃｍ2、流量１０〜２０リットル／分の純
水が吐出される。
中央に貫通された直径９ｍｍの孔で、洗浄時には、水圧
１〜２ｋｇ／ｃｍ2、流量１０〜２０リットル／分の純
水が吐出される。
【００２３】上記構成において、ガラス板６の表面を洗
浄するとき、台座７に載せられた４枚のガラス板６が第
一アーム９によって、酸処理槽１から第一水洗槽２、第
二水洗槽３へ順次搬送され、それぞれの工程が実行され
る。
浄するとき、台座７に載せられた４枚のガラス板６が第
一アーム９によって、酸処理槽１から第一水洗槽２、第
二水洗槽３へ順次搬送され、それぞれの工程が実行され
る。
【００２４】そして、台座７は第二水洗槽３内で待機
し、次に第二アーム１１が作動して台座７上のガラス板
６を１枚取り、スクラブ洗浄部４上に移動する。
し、次に第二アーム１１が作動して台座７上のガラス板
６を１枚取り、スクラブ洗浄部４上に移動する。
【００２５】第二アーム１１が下降することによって、
ガラス板６がスクラブ洗浄部４内へ下降し、対向したス
ポンジブラシ２１の間に挿入される。このとき、モータ
によりスポンジブラシ２１およびブラシ２２が回転駆動
され、吐出孔２３から純水が吐出され、エアシリンダの
作動により、ガラス板６をスポンジブラシ２１およびブ
ラシ２２が両側から押し付ける。
ガラス板６がスクラブ洗浄部４内へ下降し、対向したス
ポンジブラシ２１の間に挿入される。このとき、モータ
によりスポンジブラシ２１およびブラシ２２が回転駆動
され、吐出孔２３から純水が吐出され、エアシリンダの
作動により、ガラス板６をスポンジブラシ２１およびブ
ラシ２２が両側から押し付ける。
【００２６】このとき、スポンジブラシ２１は、ガラス
板６との接触面が広がり隣接するスポンジブラシ２１の
隙間がない状態で、ガラス板６に当接している。また、
ブラシ２２は、ガラス板６の端部と第二アーム１１に当
接している。
板６との接触面が広がり隣接するスポンジブラシ２１の
隙間がない状態で、ガラス板６に当接している。また、
ブラシ２２は、ガラス板６の端部と第二アーム１１に当
接している。
【００２７】そして、第二アーム１１が上下移動し、上
下二段に配されたスポンジブラシ２１およびブラシ２２
の間を４〜５回往復して、ガラス板６表面の洗浄を行
う。
下二段に配されたスポンジブラシ２１およびブラシ２２
の間を４〜５回往復して、ガラス板６表面の洗浄を行
う。
【００２８】スクラブ洗浄が終了すると、第二アーム１
１が上昇して次の乾燥部５へ移動し、ガラス板６の乾燥
が終了すると、第二アーム１１がアンローダ部１０に用
意された台座７上にガラス板６を置く。
１が上昇して次の乾燥部５へ移動し、ガラス板６の乾燥
が終了すると、第二アーム１１がアンローダ部１０に用
意された台座７上にガラス板６を置く。
【００２９】その後、第二アーム１１は第二水洗槽３側
へ移動し、第二水洗槽３内の台座７上から２枚目のガラ
ス板６を取って、スクラブ洗浄部４へ移動してスクラブ
洗浄を行う。以下同じ動作で４枚目のガラス板６の洗浄
が終了すると、第一アーム９はローダ部８へ移動し、次
のガラス板６が供給され、アンローダ部１０のガラス板
６は次の工程へと移動する。
へ移動し、第二水洗槽３内の台座７上から２枚目のガラ
ス板６を取って、スクラブ洗浄部４へ移動してスクラブ
洗浄を行う。以下同じ動作で４枚目のガラス板６の洗浄
が終了すると、第一アーム９はローダ部８へ移動し、次
のガラス板６が供給され、アンローダ部１０のガラス板
６は次の工程へと移動する。
【００３０】そして、洗浄後のガラス板６表面を反射型
のマスク異物検査装置で検査すると、図４の如く、筋状
に点在していた異物１５は、ほとんどなくなり、異物１
５の数は、実使用上問題の無いレベルに達する。
のマスク異物検査装置で検査すると、図４の如く、筋状
に点在していた異物１５は、ほとんどなくなり、異物１
５の数は、実使用上問題の無いレベルに達する。
【００３１】このように、ガラス板６の表面をスクラブ
洗浄するとき、直径３６ｍｍのスポンジブラシ２１が一
定の間隔を空けて配置されているので、洗浄時にガラス
板６との接触面が広がって、隣接するスポンジブラシ２
１との隙間がなくなる。
洗浄するとき、直径３６ｍｍのスポンジブラシ２１が一
定の間隔を空けて配置されているので、洗浄時にガラス
板６との接触面が広がって、隣接するスポンジブラシ２
１との隙間がなくなる。
【００３２】そして、純水の吐出孔２３がスポンジブラ
シ２１の中心に形成されているので、ガラス板６にスポ
ンジブラシ２１を強い力で押し付けても、スポンジブラ
シ２１のガラス板６との接触面の中央部は擦り減らな
い。
シ２１の中心に形成されているので、ガラス板６にスポ
ンジブラシ２１を強い力で押し付けても、スポンジブラ
シ２１のガラス板６との接触面の中央部は擦り減らな
い。
【００３３】そのため、ガラス板６全面をむらなく洗浄
でき、安定した洗浄性が維持できる。
でき、安定した洗浄性が維持できる。
【００３４】なお、本発明は、上記実施例に限定される
ものではなく、本発明の範囲内で上記実施例に多くの修
正および変更を加え得ることは勿論である。
ものではなく、本発明の範囲内で上記実施例に多くの修
正および変更を加え得ることは勿論である。
【００３５】
【発明の効果】以上の説明から明らかな通り、本発明請
求項１，２によると、ガラス板の表面を洗浄するとき、
一定の間隔を空けて配置されたスポンジブラシは、洗浄
時にガラス板との接触面が広がって隣接するスポンジブ
ラシの隙間がなくなるので、ガラス板にはスポンジブラ
シの接触しない部分はなくなり、ガラス板の表面をむら
なく洗浄できる。
求項１，２によると、ガラス板の表面を洗浄するとき、
一定の間隔を空けて配置されたスポンジブラシは、洗浄
時にガラス板との接触面が広がって隣接するスポンジブ
ラシの隙間がなくなるので、ガラス板にはスポンジブラ
シの接触しない部分はなくなり、ガラス板の表面をむら
なく洗浄できる。
【００３６】また、スポンジブラシの中央に吐出孔が形
成されているので、ガラス板にスポンジブラシを強い力
で押し付けても、スポンジブラシのガラス板との接触面
の中央部が擦り減らないので、安定した洗浄性が維持で
きるといった優れた効果がある。
成されているので、ガラス板にスポンジブラシを強い力
で押し付けても、スポンジブラシのガラス板との接触面
の中央部が擦り減らないので、安定した洗浄性が維持で
きるといった優れた効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示すスクラブ洗浄装置のス
ポンジブラシの構成図
ポンジブラシの構成図
【図２】スポンジブラシの断面図
【図３】洗浄時のスポンジブラシの側面図
【図４】洗浄後のガラス板表面を示す図
【図５】ガラス板の洗浄機の全体構成図
【図６】従来のスクラブ洗浄装置のスポンジブラシの構
成図
成図
【図７】従来のスポンジブラシの洗浄時の状態を示す図
【図８】従来のスポンジブラシの断面図
【図９】従来の洗浄時のスポンジブラシの側面図
【図１０】従来の洗浄後のガラス板表面を示す図
６ ガラス板 ２１ スポンジブラシ ２２ ブラシ ２３ 吐出孔
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−249582（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−93838（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−180953（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−86226（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G03F 1/00 - 1/16
Claims (3)
- 【請求項１】 複数個の円形スポンジブラシをガラス板
の表面に押し付けて洗浄用流体を流しながら洗浄するス
クラブ洗浄装置において、隣接するスポンジブラシが一
定の間隔を空けて千鳥状に配置され、スポンジブラシの
ガラス板との接触面で、洗浄時にガラス板に押し付けた
とき隣接するスポンジブラシの先端外周部同士が接触す
るよう、スポンジブラシの外径が設定されたことを特徴
とするガラス板用スクラブ洗浄装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のガラス板用スクラブ洗浄
装置において、スポンジブラシの中央でガラス板との接
触面に対して垂直方向に貫通し、洗浄用流体を吐出させ
るための吐出孔が形成されたことを特徴とするガラス板
用スクラブ洗浄装置。 - 【請求項３】 請求項１または２記載のガラス板用スク
ラブ洗浄装置において、スポンジブラシがポリビニルホ
ルマール製であることを特徴とするガラス板用スクラブ
洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1181893A JP3076687B2 (ja) | 1993-01-27 | 1993-01-27 | ガラス板用スクラブ洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1181893A JP3076687B2 (ja) | 1993-01-27 | 1993-01-27 | ガラス板用スクラブ洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06222550A JPH06222550A (ja) | 1994-08-12 |
| JP3076687B2 true JP3076687B2 (ja) | 2000-08-14 |
Family
ID=11788375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1181893A Expired - Lifetime JP3076687B2 (ja) | 1993-01-27 | 1993-01-27 | ガラス板用スクラブ洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3076687B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107511357A (zh) * | 2017-10-21 | 2017-12-26 | 南京同旺铝业有限公司 | 一种铝板的在线清洗装置 |
| CN216324041U (zh) * | 2019-06-19 | 2022-04-19 | 日本电气硝子株式会社 | 玻璃板的清洗装置 |
| CN115365251A (zh) * | 2022-08-16 | 2022-11-22 | 深圳市易天自动化设备股份有限公司 | 玻璃清洗装置和玻璃清洗设备 |
-
1993
- 1993-01-27 JP JP1181893A patent/JP3076687B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06222550A (ja) | 1994-08-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6345630B2 (en) | Method and apparatus for cleaning the edge of a thin disc | |
| EP0843341B1 (en) | Apparatus and method for washing substrate | |
| WO2012163154A1 (zh) | 化学机械平坦化后清洗晶圆的方法 | |
| JPH0878368A (ja) | ワークの処理方法および装置 | |
| CN108856028A (zh) | 一种新材料板清洗装置 | |
| JP3076687B2 (ja) | ガラス板用スクラブ洗浄装置 | |
| JP3120425B2 (ja) | レジスト剥離方法及び装置 | |
| JP3379487B2 (ja) | 枚葉型のウエット処理装置及びそのウエット処理方法 | |
| JPH10229062A (ja) | 基板処理装置 | |
| CN210837668U (zh) | 一种半导体晶圆清洗装置 | |
| KR20010028835A (ko) | 웨이퍼 세정장치 | |
| CN211437125U (zh) | 一种汽车零件清洗设备 | |
| CN106958108A (zh) | 一种用于袜子加工的蒸汽定型装置 | |
| JPH05331759A (ja) | タイルカーペット洗浄機 | |
| CN206613643U (zh) | 预涂单元及包括此的药液喷嘴管理装置 | |
| JP3118142B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
| JPH09260322A (ja) | 洗浄装置 | |
| CN110523731B (zh) | 一种光学玻璃表面清洁处理优化方法 | |
| JP2000150441A (ja) | ローラブラシ洗浄装置 | |
| CN1603015A (zh) | 硅片清洗刷的清洗装置及其清洗方法 | |
| JP2000107706A (ja) | 洗浄装置 | |
| CN218163982U (zh) | 一种咸鸭蛋腌制过程中使用的预清洗设备 | |
| CN210816420U (zh) | 一种咸蛋清洗机 | |
| CN216880915U (zh) | 一种刷洗陶瓷盘的刷洗装置 | |
| CN216320423U (zh) | 一种压滤机蓝藻脱水用清洗装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090609 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100609 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100609 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110609 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120609 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120609 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130609 Year of fee payment: 13 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130609 Year of fee payment: 13 |