TW202012094A - 滑台裝置 - Google Patents

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Abstract

一種滑台裝置包含一本體、至少一定子模組、一滑座及至少一動子。該本體的內部具有一容室。該定子模組安裝在該本體的容室內。該滑座係可滑動地安裝在該本體上且包含一座體，該座體容納在該本體的容室內，該座體的內部設有至少一動子槽，該動子槽具有一面向該本體之底壁的開口。該動子係以該動子槽為治具而一體地成型在該動子槽內且與該定子模組組成一線性馬達以驅動該滑座相對該本體移動。

Description

滑台裝置
本發明有關一種滑台裝置，尤指一種以線性馬達為動力的滑台裝置。
廣泛應用於工業界機台上的電動缸係利用馬達為動力，再經由螺桿的傳動，使得負載端能進行線性移動。習用滑台裝置一般包含一本體、安裝在該本體上的一線性滑軌、設於該滑軌上的滑塊以及結合該滑塊上的一滑座，該滑座上可安裝有承載體。當馬達帶動該螺桿旋轉後，該螺桿的旋轉運動會轉換為該滑塊的直線運動，使得該滑座及承載體可受該滑軌導引而沿著該本體的縱向往復移動。然而，在長行程的螺桿使用下，由於螺桿的懸臂梁結構，轉造等級會有累積公差問題，同時懸臂梁又容易有振動情況，其行走平行度跟重複定位精度皆表現不佳。
為改善上述問題，已有使用線性馬達做為動力源的滑台裝置被設計，藉以提升線性運動的重複定位精度，且沒有懸臂梁結構造成的振動情況。另外，由於取代螺桿驅動，接觸產生的摩擦力降低，啟動電動缸所需克服的最大靜摩擦力也降低，能提升整體運行的順暢度。然而，習用線性馬達的動子在製作上需要配合治具使用，其治具數量會限制生產效率的提升，再者，習用線性馬達的動子一般係利用例如螺絲的固定件結合在動子座上，在滑座快速移動與停止的過程中可能造成螺絲斷裂，使用壽命降低。
另外，用於滑台裝置之傳統線性馬達於高承受負載狀態時，易產生溫升問題。此外，傳統電動缸的線性滑軌之安裝體積過大，造成電動缸體積與重量增加，尤其在多軸應用的情況下，過大的慣性力容易產生，會造成精度表現不佳。
緣此，本發明之主要目的在提供一種滑台裝置，其以創新的設計來提升滑台裝置之製程效率並能延長元件的使用壽命。此外，滑台裝置之溫升問題也能改善，同時可大幅度降低滑台裝置之組裝高度與寬度。
依據本發明一實施例的滑台裝置包括一本體、至少一定子模組、一滑座及至少一動子。該本體包含在一橫向分隔的二側壁及連接該二側壁的一底壁，本體的內部具有一容室，該容室位在該二側壁與底壁之間且沿著一與該橫向垂直的縱向延伸。該定子模組安裝在該本體的容室內。該滑座安裝在該本體上且可沿著該本體的縱向相對該本體往復移動，該滑座包含一座體，該座體容納在該本體的容室內，該座體的內部設有至少一動子槽，該動子槽具有一面向該本體之底壁的開口。該動子係以該動子槽為治具而一體地成型在內且與該定子模組組成一線性馬達以驅動該滑座相對該本體移動。
在一實施例中，該動子包含至少一線圈組以及包覆該線圈組的膠體，該定子模組位在該本體的底壁上且包含一基座及設在該基座上的複數磁鐵。
在一實施例中，該線圈組容納在該動子槽內且利用樹脂或環氧膠為膠水灌注在該動子槽內以形成該膠體而將該線圈組封裝在該動子槽內。該座體具有在該橫向相背對的二外壁，各外壁具有複數散熱片。
在一實施例中，該本體的各側壁的內表面設有沿著該縱向延伸的一凹槽，各凹槽內嵌設一軌道，各軌道的內表面設有沿著該縱向延伸的一珠溝，該座體包含一上部及一下部，該上部具有在該橫向相背對的二側部，各側部的外表面設有沿著該縱向延伸的一溝槽，各溝槽與該本體的其中一軌道的珠溝相對且二者組成一珠體通道，該上部的內部設有與該二溝槽對應的二珠孔，各珠孔與一對應的珠體通道內容納一對滾珠組，各滾珠組包含複數滾珠。
本發明的滑台裝置採用內嵌式軌道設計，大幅度降低組裝高度與寬度，同時具備傳統線性滑軌的負荷能力與精度表現。採用具散熱片設計之滑座模組，大幅度降低滑台裝置之溫度，同時具備優良的電磁屏障。
關於本發明之其他目的、優點及特徵，可由以下較佳實施例的詳細說明並參照所附圖式來了解。
本發明可有多種不同的結構實施例。現將僅為例子但非用以限制的一具體實施例，並參照所附圖式就本發明之較佳結構內容說明如下：
圖1至圖7顯示依據本發明一實施例構成之滑台裝置10，該滑台裝置10包含一本體12、至少一定子模組14、一滑座模組16及至少一動子18。該本體12包含在一橫向分隔的二側壁20及連接該二側壁20的底壁22，且該本體12的內部具有一容室24，該容室24位在該二側壁20與底壁22之間且沿著一與該橫向垂直的縱向延伸。各側壁20的內表面設有沿著該縱向延伸的一凹槽26(見圖4)，各凹槽26內嵌設一軌道28，各軌道28的內表面設有沿著該縱向延伸的一珠溝30。在本實施例中，該本體12的其中一側壁20的外表面安裝一電纜拖鏈32用以牽引和保護該滑台裝置10的配線或配管，由於電纜拖鏈32係屬習用技術，在此不再贅述。
該定子模組14安裝在該本體12的容室24內且位在該本體12的底壁22頂面，在本實施例中，該滑台裝置10包含三個定子模組14，各定子模組14包含一基座34以及設在該基座34上的複數磁鐵36，該數磁鐵36係沿著該本體12的縱向長度以交錯極性分隔排列。定子模組14的數量可隨著本體12的縱向長度來調整。
該滑座模組16安裝在該本體12上且可沿著該本體12的縱向相對該本體12往復移動。在本實施例中，該滑座模組16包含一滑座38、一防塵帶40及一上蓋42，該滑座38包含一座體44及形成在該座體44之頂部的一滑台部46，在本實施例中，該滑台部46在該本體12的橫向寬度大於該座體44(見圖2)，使得該座體44容納在該本體12的容室24內且該滑台部46位在該本體12上方。該座體44包含一上部48及一下部50(見圖5)，該上部48具有在該橫向相背對的二側部52(見圖2)，各側部52的外表面53設有沿著該縱向延伸的一溝槽54(見圖6)，各溝槽54與該本體12的其中一軌道28的珠溝30相對且二者組成一圓狀斷面的珠體通道。再者，該上部48的內部設有與該二溝槽54對應的二珠孔56。滑台裝置10更包含一對呈環狀的滾珠組58，各滾珠組58包含複數滾珠60且可在一對應的珠孔56與一對應的珠體通道(珠溝30)內移動。在本實施例中，各側部52的兩端分別安裝一珠循環器62，各珠循環器62利用連接件64固定在上部48。各珠循環器62具有連通珠孔56與珠溝30的導引孔66，各導引孔66與連通的珠孔56及珠溝30組成一循環通道以容納其中一滾珠組58(見圖6)。
該座體44的下部50內部設有至少一動子槽68，動子槽68係沿著該縱向延伸且具有一面向本體12之底壁22的開口70(見圖2)，在本實施例中，動子槽68具有呈”凸”狀的橫斷面。該下部50具有在該橫向相背對的二外壁72，各外壁72具有呈齒狀的複數散熱片74。在本實施例中，各散熱片74具有相對的第一邊76與第二邊78(見圖8)，第一邊76與第二邊78可為斜邊或弧邊。在另一實施例中，各散熱片74具有相對的第一邊76a與第二邊78a(見圖9)，第一邊76a與第二邊78a可為齒狀邊或浪狀邊。
該防塵帶40沿著該縱向延伸穿過該滑台部46且該防塵帶40的兩端分別固定於該本體12的二端。當該滑座模組16相對該本體12移動時，該防塵帶40可防止移動過程產生的粉塵落至該本體12內或工作環境中。該上蓋42蓋在該防塵帶40上且與該滑台部46結合。再者，該本體12的二端分別結合一端蓋80。
該動子18係成型在該動子槽68內且與該定子模組14組成一線性馬達用以驅動該滑座38相對該本體12移動。在本實施例中，該動子18包含至少一線圈組82以及包覆該線圈組82的膠體84。在一實施例中，係將該線圈組82容納在該動子槽68內且利用樹脂或環氧膠為膠水灌注在該動子槽68內以形成該膠體84而將該線圈組82封裝在該動子槽68內。再者，該動子槽68的二端分別結合一蓋板86以封閉該動子槽68的二端。據此，當對該線圈組82通電時，將會產生平移的磁場，此磁場與定子模組14的磁鐵36所產生的磁場作用，即產生使該滑座模組16相對該本體12移動的推力。 在本實施例中，該動子18與該定子模組14係分別由線圈組82與磁鐵36構成，然而，在可行實施例中，可由磁鐵構成動子且由線圈組構成定子。
依據本發明構成的滑台裝置10將具有下數的優點與功效增進：
1、由於在滑座38的底部設計一個動子槽68作為動子18的治具，因而，滑座38數量的提升，就等同於動子生產效率的提升，使得生產效率不會受限於治具數量，並可達到庫存量的建立。再者，由於動子18係一體地成型在滑座38的內部，因而，在滑座38快速移動與停止的過程中不會發生連接件斷裂的問題，能提升組件的使用壽命。
2、滑座38的兩外壁72設有複數散熱片74。可以大幅度降低滑台裝置的溫度，同時具備優良的電磁屏障。
3、本體12的二側壁20的內表面分別設有一凹槽26以嵌設一軌道28，使得該滑座38可直接以該二軌道28為往復滑動的導引，據此，在該本體12上不需要再安裝習用滑軌與滑塊來做為該滑座的滑動導引，因而，可大幅度降低滑台裝置10的組裝高度與寬度，同時具備傳統線性滑軌的負荷能力與精度表現。
前述是就本發明一特定實施例做描述，而依本發明的設計特徵將可做多種變化或修改是可了解的。故對於熟悉此項技藝人士可作之明顯替換與修改，仍將併入於本發明所主張的專利範圍內。
10:滑台裝置12:本體
14:定子模組16:滑座模組
18:動子20:側壁
22:底壁24:容室
26:凹槽28:軌道
30:珠溝32:電纜拖鏈
34:基座36:磁鐵
38:滑座40:防塵帶
42:上蓋44:座體
46:滑台部48:上部
50:下部52:側部
53:外側面54:溝槽
56:珠孔58:滾珠組
60:滾珠組62:珠循環器
64:連接件66:導引孔
68:動子槽70:開口
72:外壁74:散熱片
76、76a:第一邊78、78a:第二邊
80:端蓋82:線圈組
84:膠體86:蓋板
圖1顯示本發明一實施例之滑台裝置的立體示意圖。
圖2顯示沿圖1之2-2線所取的剖視圖。
圖3顯示圖1之滑台裝置的部分元件分解圖。
圖4顯示圖3之本體的元件分解圖以及一局部放大圖。
圖5顯示圖3之滑座模組的部分元件分解圖。
圖6顯示沿圖2之6-6線所取的剖視圖。
圖7顯示沿圖2之7-7線所取的剖視圖。
圖8顯示圖2中之散熱片的局部放大圖。
圖9係與圖8類似之散熱片的局部放大圖，顯示本發明另一實施例之散熱片。
10:滑台裝置
12:本體
18:動子
20:側壁
22:底壁
24:容室
32:電纜拖鏈
34:基座
36:磁鐵
40:防塵帶
44:座體
46:滑台部
48:上部
50:下部
52:側部
53:外側面
56:珠孔
68:動子槽
70:開口

Claims (8)

  1. 一種滑台裝置，包括： 一本體，其包含在一橫向分隔的二側壁及連接該二側壁的一底壁，該本體的內部具有一容室，該容室位在該二側壁與底壁之間且沿著一與該橫向垂直的縱向延伸； 至少一定子模組，其安裝在該本體的容室內； 一滑座，其安裝在該本體上且可沿著該本體的縱向相對該本體往復移動，該滑座包含一座體，該座體容納在該本體的容室內，該座體的內部設有至少一動子槽，該動子槽具有一面向該本體之底壁的開口；及 至少一動子，其係以該動子槽為治具而一體地成型在內且與該定子模組組成一線性馬達以驅動該滑座相對該本體移動。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之滑台裝置，其中該動子包含至少一線圈組以及包覆該線圈組的膠體，該定子模組位在該本體的底壁上且包含一基座及設在該基座上的複數磁鐵。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之滑台裝置，其中該線圈組容納在該動子槽內且利用樹脂或環氧膠為膠水灌注在該動子槽內以形成該膠體而將該線圈組封裝在該動子槽內。
  4. 如申請專利範圍第1或2項所述之滑台裝置，其中該座體具有在該橫向相背對的二外壁，各外壁具有複數散熱片。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之滑台裝置，其中該本體的各側壁的內表面設有沿著該縱向延伸的一凹槽，各凹槽內嵌設一軌道，各軌道的內表面設有沿著該縱向延伸的一珠溝，該座體包含一上部及一下部，該上部具有在該橫向相背對的二側部，各側部的外表面設有沿著該縱向延伸的一溝槽，各溝槽與該本體的其中一軌道的珠溝相對且二者組成一珠體通道，該上部的內部設有與該二溝槽對應的二珠孔，各珠孔與一對應的珠體通道內容納一對滾珠組，各滾珠組包含複數滾珠。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之滑台裝置，其中該動子槽設在該座體的下部內部，該複數散熱片設在該座體的下部二外壁，各散熱片具有相對的第一邊與第二邊，該第一邊與第二邊為斜邊或弧邊。
  7. 如申請專利範圍第5項所述之滑台裝置，其中該動子槽設在該座體的下部內部，該複數散熱片設在該座體的下部二外壁，各散熱片具有相對的第一邊與第二邊，第一邊與第二邊為齒狀邊或波浪狀邊。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之滑台裝置，其中該座體之頂部設有一滑台部，該滑台部位在該本體上方。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI669183B (zh) * 2018-09-27 2019-08-21 東佑達自動化科技股份有限公司 滑台裝置
CN110518777B (zh) * 2019-09-25 2021-10-29 中车株洲电机有限公司 一种双边动初级式直线电机及其气隙稳定控制机构
TWD207533S (zh) * 2019-11-11 2020-10-01 東佑達自動化科技股份有限公司 滑台之部分
TWI714379B (zh) * 2019-12-04 2020-12-21 東佑達自動化科技股份有限公司 具有散熱效果的滑台裝置及其製造方法
CN114865877B (zh) * 2022-07-08 2022-09-23 四川大学 一种高推力密度圆筒型横向磁通永磁直线电机

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4894808A (zh) * 1972-03-15 1973-12-06
JP2538981Y2 (ja) * 1990-07-02 1997-06-18 株式会社シコー技研 リニア磁気エンコーダを有するリニア直流モータ
JPH04304603A (ja) * 1991-04-01 1992-10-28 Toshiba Corp 推進案内用地上コイル
JP2001025229A (ja) * 1999-07-06 2001-01-26 Nippon Thompson Co Ltd 可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置
JP4503866B2 (ja) * 2000-03-13 2010-07-14 Ｔｈｋ株式会社 転がり案内装置及びこの転がり案内装置を用いた駆動装置
JP4542305B2 (ja) * 2001-09-28 2010-09-15 Ｔｈｋ株式会社 駆動案内装置
DE10392882T5 (de) * 2002-07-01 2005-08-18 Thk Co., Ltd. Antriebsführungsgerät
JP4390464B2 (ja) * 2003-03-11 2009-12-24 Ｔｈｋ株式会社 リニアモータアクチュエータ
DE102004043606A1 (de) * 2003-09-09 2005-04-14 Smc K.K. Stellglied
JP4672315B2 (ja) * 2004-09-06 2011-04-20 東芝機械株式会社 リニアモータおよびリニア移動ステージ装置
TWI299605B (en) * 2006-03-29 2008-08-01 Hiwin Mikrosystem Corp A thermolysis structure for linear motors
JP2008220003A (ja) * 2007-03-01 2008-09-18 Mitsubishi Electric Corp リニアモータ
TWM335090U (en) * 2007-12-28 2008-06-21 Hiwin Mikrosystem Corp Linear motor rotor having heat dissipating case
JP5712206B2 (ja) * 2009-05-28 2015-05-07 コリアロボテック カンパニー リミテッド 予圧調整用リニアガイドシステム
TWM431763U (en) * 2012-02-21 2012-06-21 Cheng Chang Machine Electronic Corp Protective device for linear motor
JP2015039263A (ja) * 2013-08-19 2015-02-26 株式会社安川電機 リニアモータの電機子及びリニアモータ
CN105006940A (zh) * 2015-07-22 2015-10-28 北京顿一科技有限公司 直线运动线性模组及应用该模组的位置控制伺服系统
CN105281535A (zh) * 2015-11-10 2016-01-27 北京顿一科技有限公司 一种直线运动线性模组
JP6211669B2 (ja) * 2015-11-30 2017-10-11 Thk株式会社 運動案内装置およびアクチュエータ
CN206149085U (zh) * 2016-11-21 2017-05-03 东莞市星纳特机械设备科技有限公司 铁芯直线模组平台
CN207732607U (zh) * 2017-09-29 2018-08-14 深圳市克洛诺斯科技有限公司 直线电机运动模组
CN207819731U (zh) * 2018-01-03 2018-09-04 吉林省博安智能科技有限公司 无齿槽永磁同步直线电机
TWI669183B (zh) * 2018-09-27 2019-08-21 東佑達自動化科技股份有限公司 滑台裝置

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