CN110957888B - 滑台装置 - Google Patents
滑台装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110957888B CN110957888B CN201811187857.3A CN201811187857A CN110957888B CN 110957888 B CN110957888 B CN 110957888B CN 201811187857 A CN201811187857 A CN 201811187857A CN 110957888 B CN110957888 B CN 110957888B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- groove
- rotor
- ball
- seat
- slide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000011324 bead Substances 0.000 claims description 14
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims description 6
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 claims description 3
- 229920006335 epoxy glue Polymers 0.000 claims description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical class C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
- H02K41/031—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K11/00—Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection
- H02K11/01—Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection for shielding from electromagnetic fields, i.e. structural association with shields
- H02K11/014—Shields associated with stationary parts, e.g. stator cores
- H02K11/0141—Shields associated with casings, enclosures or brackets
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K5/00—Casings; Enclosures; Supports
- H02K5/04—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
- H02K5/18—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof with ribs or fins for improving heat transfer
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Linear Motors (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Abstract
一种滑台装置,包含一本体、至少一定子模组、一滑座及至少一动子。该本体的内部具有一容室。该定子模组安装在该本体的容室内。该滑座可滑动地安装在该本体上且包含一座体,该座体容纳在该本体的容室内,该座体的内部设有至少一动子槽,该动子槽具有一面向该本体的底壁的开口。该动子以该动子槽为治具而一体地成型在该动子槽内且与该定子模组组成一线性马达以驱动该滑座相对该本体移动。
Description
技术领域
本发明有关一种滑台装置,尤指一种以线性马达为动力的滑台装置。
背景技术
广泛应用于工业界机台上的电动缸系利用马达为动力,再经由螺杆的传动,使得负载端能进行线性移动。习用滑台装置一般包含一本体、安装在该本体上的一线性滑轨、设于该滑轨上的滑块以及结合该滑块上的一滑座,该滑座上可安装有承载体。当马达带动该螺杆旋转后,该螺杆的旋转运动会转换为该滑块的直线运动,使得该滑座及承载体可受该滑轨导引而沿着该本体的纵向往复移动。然而,在长行程的螺杆使用下,由于螺杆的悬臂梁结构,转造等级会有累积公差问题,同时悬臂梁又容易有振动情况,其行走平行度跟重复定位精度皆表现不佳。
为改善上述问题,已有使用线性马达做为动力源的滑台装置被设计,藉以提升线性运动的重复定位精度,且没有悬臂梁结构造成的振动情况。另外,由于取代螺杆驱动,接触产生的摩擦力降低,启动电动缸所需克服的最大静摩擦力也降低,能提升整体运行的顺畅度。然而,习用线性马达的动子在制作上需要配合治具使用,其治具数量会限制生产效率的提升,再者,习用线性马达的动子一般系利用例如螺丝的固定件结合在动子座上,在滑座快速移动与停止的过程中可能造成螺丝断裂,使用寿命降低。
另外,用于滑台装置的传统线性马达于高承受负载状态时,易产生温升问题。此外,传统电动缸的线性滑轨的安装体积过大,造成电动缸体积与重量增加,尤其在多轴应用的情况下,过大的惯性力容易产生,会造成精度表现不佳。
实用新型内容
缘此,本发明的目的在提供一种滑台装置,其以创新的设计来提升滑台装置的制程效率并能延长元件的使用寿命。此外,滑台装置的温升问题也能改善,同时可大幅度降低滑台装置的组装高度与宽度。
为实现上述目的,本发明公开了一种滑台装置,其特征在于包括:
一本体,其包含横向分隔的二侧壁及连接该二侧壁的一底壁,该本体的内部具有一容室,该容室位在该二侧壁与底壁之间且沿着与该横向垂直的纵向延伸;
至少一定子模组,其安装在该本体的容室内;
一滑座,其安装在该本体上且能沿着该本体的纵向相对该本体往复移动,该滑座包含一座体,该座体容纳在该本体的容室内,该座体的内部设有至少一动子槽,该动子槽具有一面向该本体的底壁的开口;及
至少一动子,其以该动子槽为治具而一体地成型在内且与该定子模组组成一线性马达来驱动该滑座相对该本体移动。
其中,该动子包含至少一线圈组以及包覆该线圈组的胶体,该定子模组位在该本体的底壁上且包含一基座及设在该基座上的多个磁铁。
其中,该线圈组容纳在该动子槽内且利用树脂或环氧胶为胶水灌注在该动子槽内以形成该胶体而将该线圈组封装在该动子槽内。
其中,该座体具有在该横向相背对的二外壁,各外壁具有多个散热片。
其中,该本体的各侧壁的内表面设有沿着该纵向延伸的一凹槽,各凹槽内嵌设一轨道,各轨道的内表面设有沿着该纵向延伸的一珠沟,该座体包含一上部及一下部,该上部具有在该横向相背对的二侧部,各侧部的外表面设有沿着该纵向延伸的一沟槽,各沟槽与该本体的其中一轨道的珠沟相对且二者组成一珠体通道,该上部的内部设有与该二沟槽对应的二珠孔,各珠孔与一对应的珠体通道内容纳一对滚珠组,各滚珠组包含多个滚珠。
其中,该动子槽设在该座体的下部内部,该多个散热片设在该座体的下部二外壁,各散热片具有相对的第一边与第二边,该第一边与第二边为斜边或弧边。
其中,该动子槽设在该座体的下部内部,该多个散热片设在该座体的下部二外壁,各散热片具有相对的第一边与第二边,第一边与第二边为齿状边或波浪状边。
其中,该座体的顶部设有一滑台部,该滑台部位在该本体上方。
由此,本发明的滑台装置采用内嵌式轨道设计,大幅度降低组装高度与宽度,同时具备传统线性滑轨的负荷能力与精度表现。采用具散热片设计的滑座模组,大幅度降低滑台装置的温度,同时具备优良的电磁屏障。
关于本发明的其他目的、优点及特征,可由以下较佳实施例的详细说明并参照所附图式来了解。
附图说明
图1显示本发明一实施例的滑台装置的立体示意图。
图2显示沿图1的2-2线所取的剖视图。
图3显示图1的滑台装置的部分元件分解图。
图4显示图3的本体的元件分解图。
图4A显示了图4中的局部放大图。
图5显示图3的滑座模组的部分元件分解图。
图6显示沿图2的6-6线所取的剖视图。
图7显示沿图2的7-7线所取的剖视图。
图8显示图2中的散热片的局部放大图。
图9系与图8类似的散热片的局部放大图,显示本发明另一实施例的散热片。
具体实施方式
本发明可有多种不同的结构实施例。现将仅为例子但非用以限制的一具体实施例,并参照所附图式就本发明的较佳结构内容说明如下:
图1至图7显示依据本发明一实施例构成的滑台装置10,该滑台装置10包含一本体12、至少一定子模组14、一滑座模组16及至少一动子18。该本体12包含在一横向分隔的二侧壁20及连接该二侧壁20的底壁22,且该本体12的内部具有一容室24,该容室24位在该二侧壁20与底壁22之间且沿着一与该横向垂直的纵向延伸。各侧壁20的内表面设有沿着该纵向延伸的一凹槽26(见图4和图4A),各凹槽26内嵌设一轨道28,各轨道28的内表面设有沿着该纵向延伸的一珠沟30。在本实施例中,该本体12的其中一侧壁20的外表面安装一电缆拖链32用以牵引和保护该滑台装置10的配线或配管,由于电缆拖链32属习用技术,在此不再赘述。
该定子模组14安装在该本体12的容室24内且位在该本体12的底壁22顶面,在本实施例中,该滑台装置10包含三个定子模组14,各定子模组14包含一基座34以及设在该基座34上的多个磁铁36,该数磁铁36沿着该本体12的纵向长度以交错极性分隔排列。定子模组14的数量可随着本体12的纵向长度来调整。
该滑座模组16安装在该本体12上且可沿着该本体12的纵向相对该本体12往复移动。在本实施例中,该滑座模组16包含一滑座38、一防尘带40及一上盖42,该滑座38包含一座体44及形成在该座体44的顶部的一滑台部46,在本实施例中,该滑台部46在该本体12的横向宽度大于该座体44(见图2),使得该座体44容纳在该本体12的容室24内且该滑台部46位在该本体12上方。该座体44包含一上部48及一下部50(见图5),该上部48具有在该横向相背对的二侧部52(见图2),各侧部52的外表面53设有沿着该纵向延伸的一沟槽54(见图6),各沟槽54与该本体12的其中一轨道28的珠沟30相对且二者组成一圆状断面的珠体通道。再者,该上部48的内部设有与该二沟槽54对应的二珠孔56。滑台装置10更包含一对呈环状的滚珠组58,各滚珠组58包含多个滚珠60且可在一对应的珠孔56与一对应的珠体通道(珠沟30)内移动。在本实施例中,各侧部52的两端分别安装一珠循环器62,各珠循环器62利用连接件64固定在上部48。各珠循环器62具有连通珠孔56与珠沟30的导引孔66,各导引孔66与连通的珠孔56及珠沟30组成一循环通道以容纳其中一滚珠组58(见图6)。
该座体44的下部50内部设有至少一动子槽68,动子槽68沿着该纵向延伸且具有一面向本体12的底壁22的开口70(见图2),在本实施例中,动子槽68具有呈“凸”状的横断面。该下部50具有在该横向相背对的二外壁72,各外壁72具有呈齿状的多个散热片74。在本实施例中,各散热片74具有相对的第一边76与第二边78(见图8),第一边76与第二边78可为斜边或弧边。在另一实施例中,各散热片74具有相对的第一边76a与第二边78a(见图9),第一边76a与第二边78a可为齿状边或浪状边。
该防尘带40沿着该纵向延伸穿过该滑台部46且该防尘带40的两端分别固定于该本体12的二端。当该滑座模组16相对该本体12移动时,该防尘带40可防止移动过程产生的粉尘落至该本体12内或工作环境中。该上盖42盖在该防尘带40上且与该滑台部46结合。再者,该本体12的二端分别结合一端盖80。
该动子18成型在该动子槽68内且与该定子模组14组成一线性马达用以驱动该滑座38相对该本体12移动。在本实施例中,该动子18包含至少一线圈组82以及包覆该线圈组82的胶体84。在一实施例中,将该线圈组82容纳在该动子槽68内且利用树脂或环氧胶为胶水灌注在该动子槽68内以形成该胶体84而将该线圈组82封装在该动子槽68内。再者,该动子槽68的二端分别结合一盖板86以封闭该动子槽68的二端。据此,当对该线圈组82通电时,将会产生平移的磁场,此磁场与定子模组14的磁铁36所产生的磁场作用,即产生使该滑座模组16相对该本体12移动的推力。在本实施例中,该动子18与该定子模组14分别由线圈组82与磁铁36构成,然而,在可行实施例中,可由磁铁构成动子且由线圈组构成定子。
依据本发明构成的滑台装置10将具有下数的优点与功效增进:
1、由于在滑座38的底部设计一个动子槽68作为动子18的治具,因而,滑座38数量的提升,就等同于动子生产效率的提升,使得生产效率不会受限于治具数量,并可达到库存量的建立。再者,由于动子18一体地成型在滑座38的内部,因而,在滑座38快速移动与停止的过程中不会发生连接件断裂的问题,能提升组件的使用寿命。
2、滑座38的两外壁72设有多个散热片74。可以大幅度降低滑台装置的温度,同时具备优良的电磁屏障。
3、本体12的二侧壁20的内表面分别设有一凹槽26以嵌设一轨道28,使得该滑座38可直接以该二轨道28为往复滑动的导引,据此,在该本体12上不需要再安装习用滑轨与滑块来做为该滑座的滑动导引,因而,可大幅度降低滑台装置10的组装高度与宽度,同时具备传统线性滑轨的负荷能力与精度表现。
前述是就本发明一特定实施例做描述,而依本发明的设计特征将可做多种变化或修改是可了解的。故对于熟悉此项技艺人士可作的明显替换与修改,仍将并入于本发明所主张的专利范围内。
Claims (5)
1.一种滑台装置,其特征在于包括:
一本体,其包含横向分隔的二侧壁及连接该二侧壁的一底壁,该本体的内部具有一容室,该容室位在该二侧壁与底壁之间且沿着与该横向垂直的纵向延伸,该本体的各侧壁的内表面设有沿着该纵向延伸的一凹槽,各凹槽内嵌设一轨道,各轨道的内表面设有沿着该纵向延伸的一珠沟;
至少一定子模组,其安装在该本体的容室内;
一滑座,其安装在该本体上且能沿着该本体的纵向相对该本体往复移动,该滑座包含一座体及形成在该座体的顶部的一滑台部,该滑台部位在该本体上方,该座体容纳在该本体的容室内且包含一上部及一下部,该上部受该本体支持,该下部位在该上部与该本体底壁之间,该座体的下部内部设有至少一动子槽,该动子槽具有一面向该本体的底壁的开口,该座体下部具有在该横向相背对的二外壁,各外壁具有多个散热片;及
至少一动子,其以该动子槽为治具而一体地成型在内且与该定子模组组成一线性马达来驱动该滑座相对该本体移动,该动子包含至少一线圈组以及包覆该线圈组的胶体,该线圈组容纳在该动子槽内且该胶体结合于该二外壁的内面,
其中该上部一体连接在该滑台部与该下部之间,且该上部具有在该横向相背对的二侧部,各侧部的外表面设有沿着该纵向延伸的一沟槽,各沟槽与该本体的其中一轨道的珠沟相对且二者组成一珠体通道,该上部的内部设有与该二沟槽对应的二珠孔,各珠孔与一对应的珠体通道内容纳一对滚珠组,各滚珠组包含多个滚珠。
2.如权利要求1所述的滑台装置,其特征在于,该定子模组位在该本体的底壁上且包含一基座及设在该基座上的多个磁铁。
3.如权利要求1所述的滑台装置,其特征在于,该线圈组利用树脂或环氧胶为胶水灌注在该动子槽内以形成该胶体而将该线圈组封装在该动子槽内。
4.如权利要求1所述的滑台装置,其特征在于,各散热片具有相对的第一边与第二边,该第一边与第二边为斜边或弧边。
5.如权利要求1所述的滑台装置,其特征在于,各散热片具有相对的第一边与第二边,第一边与第二边为齿状边或波浪状边。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW107134183 | 2018-09-27 | ||
TW107134183A TWI669183B (zh) | 2018-09-27 | 2018-09-27 | 滑台裝置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN110957888A CN110957888A (zh) | 2020-04-03 |
CN110957888B true CN110957888B (zh) | 2022-05-17 |
Family
ID=65433831
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201811187857.3A Active CN110957888B (zh) | 2018-09-27 | 2018-10-12 | 滑台装置 |
CN201821655082.3U Active CN209134271U (zh) | 2018-09-27 | 2018-10-12 | 滑台装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201821655082.3U Active CN209134271U (zh) | 2018-09-27 | 2018-10-12 | 滑台装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10965202B2 (zh) |
JP (2) | JP3220212U (zh) |
CN (2) | CN110957888B (zh) |
TW (1) | TWI669183B (zh) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI669183B (zh) * | 2018-09-27 | 2019-08-21 | 東佑達自動化科技股份有限公司 | 滑台裝置 |
CN110518777B (zh) * | 2019-09-25 | 2021-10-29 | 中车株洲电机有限公司 | 一种双边动初级式直线电机及其气隙稳定控制机构 |
TWD207533S (zh) * | 2019-11-11 | 2020-10-01 | 東佑達自動化科技股份有限公司 | 滑台之部分 |
TWI714379B (zh) * | 2019-12-04 | 2020-12-21 | 東佑達自動化科技股份有限公司 | 具有散熱效果的滑台裝置及其製造方法 |
CN114865877B (zh) * | 2022-07-08 | 2022-09-23 | 四川大学 | 一种高推力密度圆筒型横向磁通永磁直线电机 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001025229A (ja) * | 1999-07-06 | 2001-01-26 | Nippon Thompson Co Ltd | 可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置 |
JP2004274950A (ja) * | 2003-03-11 | 2004-09-30 | Thk Co Ltd | リニアモータアクチュエータ |
JP2008220003A (ja) * | 2007-03-01 | 2008-09-18 | Mitsubishi Electric Corp | リニアモータ |
TWI314804B (zh) * | 2002-07-01 | 2009-09-11 | Thk Co Ltd | |
CN105006940A (zh) * | 2015-07-22 | 2015-10-28 | 北京顿一科技有限公司 | 直线运动线性模组及应用该模组的位置控制伺服系统 |
JP2017106622A (ja) * | 2015-11-30 | 2017-06-15 | Thk株式会社 | 運動案内装置およびアクチュエータ |
CN209134271U (zh) * | 2018-09-27 | 2019-07-19 | 东佑达自动化科技股份有限公司 | 滑台装置 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4894808A (zh) * | 1972-03-15 | 1973-12-06 | ||
JP2538981Y2 (ja) * | 1990-07-02 | 1997-06-18 | 株式会社シコー技研 | リニア磁気エンコーダを有するリニア直流モータ |
JPH04304603A (ja) * | 1991-04-01 | 1992-10-28 | Toshiba Corp | 推進案内用地上コイル |
JP4503866B2 (ja) * | 2000-03-13 | 2010-07-14 | Thk株式会社 | 転がり案内装置及びこの転がり案内装置を用いた駆動装置 |
JP4542305B2 (ja) * | 2001-09-28 | 2010-09-15 | Thk株式会社 | 駆動案内装置 |
DE102004043606A1 (de) * | 2003-09-09 | 2005-04-14 | Smc K.K. | Stellglied |
JP4672315B2 (ja) * | 2004-09-06 | 2011-04-20 | 東芝機械株式会社 | リニアモータおよびリニア移動ステージ装置 |
TWI299605B (en) * | 2006-03-29 | 2008-08-01 | Hiwin Mikrosystem Corp | A thermolysis structure for linear motors |
TWM335090U (en) * | 2007-12-28 | 2008-06-21 | Hiwin Mikrosystem Corp | Linear motor rotor having heat dissipating case |
WO2010137755A1 (ko) * | 2009-05-28 | 2010-12-02 | (주)팜코 | 예압 조절형 리니어 가이드 시스템 |
TWM431763U (en) * | 2012-02-21 | 2012-06-21 | Cheng Chang Machine Electronic Corp | Protective device for linear motor |
JP2015039263A (ja) * | 2013-08-19 | 2015-02-26 | 株式会社安川電機 | リニアモータの電機子及びリニアモータ |
CN105281535A (zh) * | 2015-11-10 | 2016-01-27 | 北京顿一科技有限公司 | 一种直线运动线性模组 |
CN206149085U (zh) * | 2016-11-21 | 2017-05-03 | 东莞市星纳特机械设备科技有限公司 | 铁芯直线模组平台 |
CN207732607U (zh) * | 2017-09-29 | 2018-08-14 | 深圳市克洛诺斯科技有限公司 | 直线电机运动模组 |
CN207819731U (zh) * | 2018-01-03 | 2018-09-04 | 吉林省博安智能科技有限公司 | 无齿槽永磁同步直线电机 |
-
2018
- 2018-09-27 TW TW107134183A patent/TWI669183B/zh active
- 2018-10-12 CN CN201811187857.3A patent/CN110957888B/zh active Active
- 2018-10-12 CN CN201821655082.3U patent/CN209134271U/zh active Active
- 2018-11-28 US US16/202,364 patent/US10965202B2/en active Active
- 2018-12-07 JP JP2018004756U patent/JP3220212U/ja active Active
- 2018-12-07 JP JP2018229706A patent/JP6761847B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001025229A (ja) * | 1999-07-06 | 2001-01-26 | Nippon Thompson Co Ltd | 可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置 |
TWI314804B (zh) * | 2002-07-01 | 2009-09-11 | Thk Co Ltd | |
JP2004274950A (ja) * | 2003-03-11 | 2004-09-30 | Thk Co Ltd | リニアモータアクチュエータ |
JP2008220003A (ja) * | 2007-03-01 | 2008-09-18 | Mitsubishi Electric Corp | リニアモータ |
CN105006940A (zh) * | 2015-07-22 | 2015-10-28 | 北京顿一科技有限公司 | 直线运动线性模组及应用该模组的位置控制伺服系统 |
JP2017106622A (ja) * | 2015-11-30 | 2017-06-15 | Thk株式会社 | 運動案内装置およびアクチュエータ |
CN209134271U (zh) * | 2018-09-27 | 2019-07-19 | 东佑达自动化科技股份有限公司 | 滑台装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202012094A (zh) | 2020-04-01 |
CN110957888A (zh) | 2020-04-03 |
US10965202B2 (en) | 2021-03-30 |
JP2020054213A (ja) | 2020-04-02 |
TWI669183B (zh) | 2019-08-21 |
US20200106352A1 (en) | 2020-04-02 |
JP6761847B2 (ja) | 2020-09-30 |
CN209134271U (zh) | 2019-07-19 |
JP3220212U (ja) | 2019-02-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110957888B (zh) | 滑台装置 | |
KR101023564B1 (ko) | 리니어 모터 액튜에이터 | |
KR100708916B1 (ko) | 전동 액츄에이터 | |
US7586219B2 (en) | Drive guide apparatus | |
KR100642566B1 (ko) | 슬라이딩 안내 유니트 | |
CN213717820U (zh) | 一种直线电机传动的直线模组 | |
TW201705655A (zh) | 直線運動線性模組及應用該直線運動線性模組的位置控制伺服系統 | |
CN215601185U (zh) | 一种直线运动装置 | |
CN211908621U (zh) | 一种采用内嵌式陶瓷导轨的直线电机模组 | |
CN117220467B (zh) | 电机传输系统 | |
TWM574784U (zh) | 滑台裝置 | |
CN112701872A (zh) | 线性致动器 | |
CN217427950U (zh) | 动子悬挂式直线电机模组 | |
CN113162361A (zh) | 一种集成式直线电机模组及其使用方法 | |
US20110170808A1 (en) | Platform with automatic lubrication mechanism | |
CN116759361B (zh) | 线性模组和半导体设备 | |
CN109149901B (zh) | 一种便于散热的直线轴直驱结构 | |
CN218897158U (zh) | 一种防尘高精度直线运动组合单元 | |
CN111434969B (zh) | 挠性机构 | |
KR102392499B1 (ko) | 픽업헤드의 조립구조를 개선한 픽업 장치 | |
CN219746695U (zh) | 承载机构及激光加工设备 | |
CN214367570U (zh) | 一种高速螺杆传动模组滑台 | |
CN213305228U (zh) | 一种直线电机精密模组 | |
CN216851718U (zh) | 一种磁力配重直线电机 | |
CN213177335U (zh) | 一种双驱龙门平台 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CP02 | Change in the address of a patent holder | ||
CP02 | Change in the address of a patent holder |
Address after: 55 Xinji 3rd road, Annan District, Tainan, Taiwan, China Patentee after: Dongyouda Automation Technology Co.,Ltd. Address before: Taiwan, Tainan, China Yongkang District Yong Ring Road No. 50 Patentee before: Dongyouda Automation Technology Co.,Ltd. |