TW202004037A - 緊固系統及引出板總成 - Google Patents

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Abstract

本發明公開一種使用彈簧力來附接兩個元件的緊固系統。緊固系統利用O形環來提供彈簧力，因而不需要任何金屬元件。O形環可設置在具有多個輻條的O形環保持器中。當受壓縮時，輻條會對O形環形成壓迫。輻條的數目以及其大小及形狀決定緊固系統的彈簧力。在另一實施例中，利用垂直定向的O形環。緊固系統可用於緊固離子源的各種元件。

Description

使用O環施加保持力的系統
本發明實施例涉及使用彈簧力將兩個元件保持在一起的緊固系統，且更具體來說涉及在不使用金屬彈簧或墊圈的情況下保持兩個元件的緊固系統。 本申請主張2018年5月29日提出申請的美國專利申請第15/991,328號的優先權，所述美國專利申請的公開內容全文併入本案供參考。
離子源用於形成含有所要物種的離子的等離子體。然後，這些離子通常是通過引出孔口引出且被朝向工件引導。類似地，等離子體腔室也用於形成等離子體，然而，工件設置在所述等離子體腔室內。
這些離子源及等離子體腔室通常由緊固在一起的多個組件構造而成。然而，由於這些離子源及等離子體腔室所經受的溫度，這些元件會出現熱膨脹。因此，緊固件允許出現一定量的相對移動。這通常是使用具有所需彈簧力的彈簧來實現。
然而，新的蝕刻及處理方法使用極具反應性的工藝氣體，所述工藝氣體進攻性地攻擊金屬元件。當這些金屬元件受到工藝氣體攻擊時，釋放出的材料會塗布離子源或等離子體腔室的表面。所述釋放出的材料還可能會以污染物及粒子的形式遷移到工件的表面。
因此，使用不會對工件造成污染的彈簧力來保持兩個元件的緊固系統將大有益處。此系統可用於金屬彈簧的使用可能會導致污染的任何應用中。
公開一種使用彈簧力來附接兩個元件的緊固系統。所述緊固系統利用O形環來提供彈簧力，因而不需要任何金屬元件。所述O形環可設置在具有多個輻條的O形環保持器中。當受壓縮，所述輻條對所述O形環形成壓迫。輻條的數目以及其大小及形狀決定緊固系統的彈簧力。在另一實施例中，利用垂直定向的O形環。所述緊固系統可用於緊固離子源的各種元件。
根據一個實施例，公開一種用於將第一元件緊固到第二元件的緊固系統。所述緊固系統包括：銷釘，具有頭及主體；閂鎖，具有中心開口，所述中心開口的尺寸設定成使得所述銷釘的所述主體穿過；O形環保持器，具有圓形凹口，所述圓形凹口具有底部、內側壁及外側壁；以及O形環，其中所述O形環設置在所述圓形凹口中且設置在所述閂鎖的底側與所述O形環保持器之間。在某些實施例中，所述銷釘包括沿著所述主體設置的凹槽，其中所述中心開口的尺寸設定成使得所述閂鎖在旋轉四分之一轉時鎖定在所述凹槽中。在某些實施例中，當所述閂鎖鎖定在所述凹槽中時，所述O形環受壓縮。在某些實施例中，所述O形環保持器包括從所述圓形凹口的所述底部向上延伸的多個輻條，所述多個輻條接觸所述O形環的底表面。在一些實施例中，所述多個輻條中的每一者附接到所述內側壁及所述外側壁。在一些實施例中，所述多個輻條中的每一者包括遠離所述底部的自由端，且其中所述多個輻條中的每一者的所述自由端是錐形的。在其他實施例中，所述自由端是平坦的。在某些實施例中，所述多個輻條中的每一者與鄰近的輻條間隔開角度360°/N，其中N是輻條數目。在一些實施例中，N可介於3與8之間。
根據另一實施例，公開一種用於將第一元件緊固到第二元件的緊固系統。所述緊固系統包括：銷釘，具有頭及主體；閂鎖，具有中心開口，所述中心開口的尺寸設定成使得所述銷釘的所述主體穿過；O形環保持器，具有多個垂直槽；以及多個O形環，其中所述多個O形環中的每一者設置在相應的垂直槽中，且接觸所述閂鎖的底側。在某些實施例中，所述多個垂直槽中的每一者與鄰近的垂直槽間隔開角度360°/N，其中N是垂直槽數目。在某些實施例中，N介於3與8之間。
根據另一實施例，公開一種與離子源搭配使用的引出板（extraction plate）總成。所述引出板總成包括：引出板，具有引出孔口；及孔，接近所述引出孔口；阻擋件，具有開口；以及緊固系統，所述緊固系統包括：銷釘，具有穿過所述孔及所述開口的頭及主體；閂鎖，具有中心開口，所述中心開口的尺寸設定成使得所述銷釘的所述主體穿過；O形環保持器；及O形環，其中所述O形環設置在所述O形環保持器中且受擠壓而抵靠所述閂鎖的底側。在某些實施例中，所述O形環保持器設置成抵靠所述阻擋件。在某些實施例中，所述O形環保持器包括圓形凹口，所述圓形凹口具有底部、內側壁及外側壁；且所述O形環設置在所述圓形凹口中。在某些其他實施例中，所述O形環保持器包括從所述圓形凹口的所述底部向上延伸的多個輻條，所述多個輻條接觸所述O形環的底表面。在某些實施例中，所述O形環保持器包括多個垂直槽；及多個O形環，其中所述多個O形環中的每一者設置在相應的垂直槽中。
如上文所述，在某些實施例中，使用包含一定量的彈簧力適應熱膨脹的緊固系統來將離子源或等離子體腔室保持在一起。
本發明闡述在不使用任何金屬元件的情況下實現此目標的數個緊固系統。這在金屬元件可能會遭受腐蝕性氣體或者遭受造成金屬元件劣化或使金屬元件的運作打折扣的其他條件的任何環境中，大有益處。
圖10示出一個此種實施例。系統包括由多個腔室壁301構成的離子源腔室300。在某些實施例中，這些腔室壁301中的一者或多者可由例如石英等介電材料構造而成。射頻（radio frequency，RF）天線310可設置在第一介電壁302的外表面上。RF天線310可由RF電源320供電。在離子源腔室300內輻射輸送到RF天線310的能量以將進料氣體電離，所述進料氣體是經由氣體入口330引入。在其他實施例中，以不同的方式將氣體電離，例如通過使用間接加熱式陰極（indirectly heated cathode，IHC）、電容耦合等離子體源、電感耦合等離子體源、貝納斯（Bernas）源或任何其他的等離子體產生器。
一個腔室壁被稱為引出板340，其包括引出孔口345，離子可通過引出孔口345離開離子源腔室300。引出板340可由導電材料（例如，鈦、鉭或另一金屬）構造而成。引出板340的寬度可超過300毫米。此外，引出孔口345可比工件399的直徑寬。
台板360設置在離子源腔室300之外、接近引出孔口345。工件399設置在台板360上。
阻擋件350可設置在離子源腔室300內。阻擋件350可以是用於影響引出孔口345附近的等離子體鞘套（plasma sheath）的介電材料。在其他實施例中，阻擋件350可以是塗布有例如陶瓷材料等介電材料的金屬。舉例來說，在某些實施例中，阻擋件350設置成使得離子以不與工件399垂直的引出角度離開引出孔口345。在某些實施例中，可以兩個不同的引出角度引出離子，例如圖10中所示的角度。在此實施例中，朝向工件399引導第一小波束390及第二小波束391。在其他實施例中，以單一引出角度引出離子。將阻擋件350相對于引出孔口345放置在離子源腔室300內會界定離子離開離子源腔室300並撞擊工件399的角度。可使用本文中所述的緊固系統中的任一者將阻擋件350附接到引出板340。
圖1示出根據一個實施例的緊固系統100。此緊固系統100用於將第一元件10與第二元件20保持在一起。舉例來說，第一元件10可以是圖10的引出板340，而第二元件20可以是阻擋件350。
緊固系統100包括穿過第一元件10及第二元件20中的孔或開口的銷釘110。銷釘110可由抗蝕刻的氧化鋁、石英或高性能材料（high performance material，HPM）製成。當然，也可使用其他適合的材料。銷釘110可具有頭111，頭111大於主體112，以使得頭111不能穿過第一組件10中的孔或開口。在某些實施例中，可將第一組件10鑽孔，以使得頭111擱置在第一組件10中的凹口中。在某些實施例中，銷釘110的頭111可以是圓形的，具有介於0.5與1.0英寸之間的直徑。銷釘110的主體112的至少一部分可以是卵形形狀，且沿著其主軸的長度介於0.4到0.6英寸之間，且沿著其短軸的長度介於0.2與0.4英寸之間。當然，這些尺寸僅是說明性的。也可使用其他尺寸。
如上文所述，在圖2A中最清晰地看到，在一些實施例中，銷釘110的主體112的至少一部分可具有卵形剖面或橢圓形剖面。此外，在圖1中看到，凹槽113可設置在主體112上以允許附接閂鎖120。在某些實施例中，銷釘110的整個主體112可具有橢圓形剖面。在其他實施例中，銷釘110的主體112從頭111到凹槽113可具有圓形剖面，且在凹槽113之後可具有橢圓形剖面，如圖2B中所示。如圖2A中所示，閂鎖120可以是圓形的，具有卵形或橢圓形的開口121。閂鎖120可由HPM、氧化鋁、石英或任何其他適合的材料製成。開口121的大小可被設定成略微大於主體112的剖面。這樣一來，可將閂鎖120放置在銷釘110之上以使得開口121與主體112大致對齊。然後，可將閂鎖120降下到銷釘110上。當閂鎖120到達凹槽113的水準高度時，可將閂鎖120旋轉四分之一轉（即，90°）以使得凹槽113立刻將閂鎖120固位。
在另一實施例中，閂鎖120可具有C形夾形狀，且僅使用O形環的一區段而非使用連續的圓形O形環。C形夾具有錐形表面（例如，斜面），從而允許首先使C形夾容易滑動進入，然後在C形夾完全插入時施加彈簧力。
儘管未示出，但在其他實施例中，銷釘110的主體112可具有圓的剖面。在此實施例中，銷釘110可具有剖面為卵形或橢圓形的頭。在閂鎖120通過銷釘110的頭之後，閂鎖120可旋轉四分之一轉以穩固在適當位置。
在某些實施例中，閂鎖120具有從閂鎖120的外邊緣向下延伸的凸緣122。凸緣122可覆蓋O形環140且覆蓋O形環保持器130的一部分，如下文所述。
O形環保持器130可設置在第二元件20上，且擱置在閂鎖120下方。O形環保持器130可由HPM、氧化鋁、石英或任何其他適合的材料製成。在圖1及圖3中看到，O形環保持器130可以是具有內直徑及外直徑的輪狀環（annular ring）。所述內直徑可至少與銷釘110的主體112的主軸一樣大，以允許銷釘110穿過O形環保持器130的中心中的孔。在某些實施例中，所述內直徑可為0.4到0.6英寸。在其他實施例中，O形環保持器130可以不是輪狀環。更確切地說，O形環保持器130可具有圓形外邊緣，但內邊緣可具有與銷釘110的主體112相同的形狀。在所有實施例中，銷釘110的主體112皆能夠穿過O形環保持器130的中心中的孔。O形環保持器130還可具有圓形凹口131，O形環140設置在所述圓形凹口131中。
O形環140設置在O形環保持器130中。O形環140定向成使得銷釘110穿過O形環140中的中心孔。換句話說，O形環140是相對於銷釘110而水準定向。在一些實施例中，O形環140的內直徑可介於0.6與0.8英寸之間，而外直徑介於0.8與1.2英寸之間。O形環140的寬度可介於0.1與0.2英寸之間。當然，可使用其他尺寸。在某些實施例中，O形環140可由全氟彈性體構造而成。O形環140在其底表面上與O形環保持器130實體接觸且在其上表面上與閂鎖120實體接觸。在某些實施例中，O形環140壓縮在O形環保持器130與閂鎖120之間。O形環140可由任何適合的材料構造而成，例如合成橡膠、含氟彈性體或其他類型的彈性體。O形環140具有某種程度的抗壓性，抗壓性通常是由硬度計測量。值越高，指示柔性越小。
在圖1中看到，閂鎖120的直徑可大於O形環140及O形環保持器130的直徑，以使得凸緣122可覆蓋O形環140且覆蓋O形環保持器130的至少一部分。在某些實施例中，凸緣122可一直延伸到第二元件20的頂表面。在其他實施例中，凸緣122與所述第二元件20的頂表面之間可存在間隙。
圓形凹口131可具有各種不同的剖面。舉例來說，圖1將圓形凹口131的剖面示出為具有兩個垂直側壁132及底部133，底部133可以是水準的。相比之下，圖3示出具有兩個向內傾斜側壁134及底部133的剖面，底部133可以是水準的。側壁及底部的配置可影響O形環140的彈簧力。換句話說，在圖1中，對O形環140的任何壓縮驅迫出向上的力，這是因為O形環的整個底表面直接設置在底部133上。相比之下，在圖3中所示的配置中，向內傾斜側壁134支撐O形環140。因此，對O形環140進行壓縮可使O形環140變形且將其朝向底部133更深地推入到凹口131中。在此配置中，這可導致O形環140的彈簧力較低。換句話說，O形環140可朝向底部133變形的量可決定O形環140的彈簧力。
鑒於此，可設計出多種不同的O形環保持器。圖4A到圖4F示出六個不同的實施例，其中每一O形環保持器130包括：底部133，其可以是水準的；內側壁及外側壁，其可包括垂直側壁132。當然，可替代地使用向內傾斜側壁134。每一O形環保持器130也包括從水準底部133向上延伸的至少一個輻條135。輻條135是從O形環保持器130的底部133的向上突出部。每一輻條135可從內側壁延伸到外側壁且附接或焊接到這兩個側壁。輻條135可不延伸到垂直側壁132的頂部。從輻條135的自由端的水準底部133到頂部的距離可被稱為輻條135的高度。輻條的寬度是指輻條135在與徑向方向垂直的方向上的尺寸。輻條135可具有如圖4E到圖4F中所示的錐形自由端，或可具有如圖4B及圖4D中所示的平坦自由端。錐形自由端指示與在輻條135的自由端處相比，靠近底部133輻條135更寬。此包括自由端可終止在銳邊緣或鈍邊緣中的實施例。平坦自由端指示靠近底部133與在輻條135的自由端處，輻條135具有相同的厚度。此外，輻條135的寬度可有所不同。舉例來說，圖4B所示輻條比圖4C所示輻條薄。另外，輻條的數目可有所不同。舉例來說，圖4E示出兩個輻條，圖4B到圖D示出三個輻條，而圖4A及4F示出四個輻條。當然，可使用任意數目個輻條。為使得能將O形環140平放在O形環保持器130上，可將輻條135等距地間隔開。因此，鄰近的輻條之間的角度可界定為360°/N，其中N是輻條數目。在某些實施例中，輻條的數目可介於3與8之間。
在操作中，穿過第一元件10及第二元件20中的開口或孔而放置銷釘110。將O形環保持器130滑放在銷釘110之上。然後，將O形環140設置在O形環保持器130上，且具體來說，擱置在O形環保持器130的輻條135上。這可在圖5中看到。然後，將閂鎖120放置在銷釘110之上，並通過四分之一轉將閂鎖120穩固到凹槽113。O形環140與閂鎖120及輻條135實體接觸且在預設狀態中可受到略微壓縮。在某些實施例中，彈簧力的默認量可介於3與9磅（pounds）之間，但可使用其他值。如果緊固系統100受熱，則熱膨脹可導致第一元件10及/或第二元件20膨脹。由於閂鎖120與銷釘的頭111之間的距離是固定的，因此通過壓縮O形環140來適應此膨脹。具體來說，將O形環140擠壓到輻條135中，以使得每一輻條135壓迫O形環140。輻條135的數目、高度及形狀決定形成所述壓迫所花費的力的量。具有較少的有錐形自由端的輻條135的O形環保持器130所形成的彈簧力將低於具有較多輻條或一個非錐形輻條135的O形環保持器。
確定輻條135的數目、每一輻條135的寬度及高度以及輻條是否具有錐形自由端是基於O形環140受壓迫時提供的所需彈簧力而做出的設計選擇。輻條的數目、輻條的寬度及輻條的深度可極大地影響彈簧力。
雖然圖4A到圖4F示出輻條135設置在O形環保持器130上，但也可存在其他實施例。舉例來說，在替代實施例中，輻條還可設置在閂鎖120的底側上。可將閂鎖120上的輻條及O形環保持器130上的輻條135對齊，以使得在O形環140的上表面及O形環140的下表面上的相同的點處接觸O形環140。舉例來說，假定閂鎖120及O形環保持器130各自具有三個輻條。那麼當進行組裝時，O形環保持器130的輻條135可設置成任意角度0°、120°及240°。那麼閂鎖120的輻條也可設置成角度0°、120°及240°
在另一實施例中，當緊固系統100被組裝起來時，O形環保持器130的輻條135不與閂鎖120的輻條對齊。在一個特定實施例中，閂鎖120的輻條可被配置成設置在O形環保持器130的輻條135之間。當進行組裝時，O形環保持器130的輻條135可設置成任意角度0°、120°及240°。那麼閂鎖120的輻條可設置成角度60°、180°及300°。
在又一實施例中，O形環保持器130可具有圓形凹口131，但可不具有輻條135。更確切地說，輻條可僅設置在閂鎖120的底側上。在某些實施例中，如果閂鎖120的底側包括輻條及圓形凹口，則可不採用O形環保持器130。
雖然可將O形環140水準地定向，但也可存在其他實施例。圖6到圖9示出O形環是垂直定向的緊固系統200的另一實施例。不依靠壓縮或壓迫用於構造O形環的材料的能力，此實施例依靠的是使O形環的圓形形狀畸變以實現彈簧力的能力。
與先前實施例一樣，此緊固系統200利用銷釘110及閂鎖120來將第一元件10穩固到第二元件20。
在圖8及圖9中最清楚地看到，O形環保持器230可以是具有內直徑及外直徑的輪狀環。所述內直徑可至少與銷釘110的主體112的主軸一樣大，以允許銷釘110的主體112穿過O形環保持器230的中心孔。在其他實施例中，O形環保持器230可以不是輪狀環。而是O形環保持器230可具有圓形外邊緣，但內邊緣可具有與銷釘110的主體112相同的形狀。在所有的實施例中，銷釘110的主體112皆能夠穿過O形環保持器230中的中心孔。O形環保持器230可由HPM、氧化鋁、石英或任何其他適合的材料製成。與先前實施例不同，O形環保持器230包括多個垂直槽231，這在圖6及圖8中最清楚地看到。垂直槽231的數目可有所不同，且可以是大於1的任何數目。可圍繞O形環保持器230將垂直槽231等距地間隔。舉例來說，圖8及圖9示出四個垂直槽231，其中每一垂直槽231的中點與鄰近的垂直槽的中點間隔開90°。一般來說，每一垂直槽231的中點與兩個鄰近的垂直槽231的中點間隔開360°/N，其中N是垂直槽231的數目。在某些實施例中，N介於3與8之間。
圖6及圖9示出各自設置在相應的垂直槽231中的多個O形環240。O形環240具有外直徑、內直徑及寬度。在某些實施例中，所述外直徑可介於0.2與0.3英寸之間，所述內直徑可介於0.05與0.150英寸之間，且所述寬度可介於0.05與0.1英寸之間。當然，也可使用其他尺寸。垂直槽231各自具有深度、長度及寬度。在某些實施例中，所述深度可介於0.1與0.3英寸之間，所述長度可介於0.1與0.3英寸之間，且所述寬度可介於0.05與0.1英寸之間。當然，也可使用其他尺寸。注意，垂直槽231可不完全延伸穿過O形環保持器230。垂直槽231的寬度可等於或略微大於O形環240的寬度。垂直槽231的長度等於或略微大於O形環240的外直徑。最後，垂直槽231的深度略微小於O形環240的外直徑，以使得在將O形環240設置在垂直槽231中時，O形環240從垂直槽231的頂部突出，如圖9中所示。在某些實施例中，垂直槽231越窄，其將越多地限制O形環240壓縮，從而形成越高的彈簧力。反之，垂直槽231相對於O形環240越寬，彈簧力便越小。
在圖7中看到，當閂鎖120附接到銷釘110時，閂鎖120的底側接觸O形環240，從而形成彈簧力。彈簧力的量與以下因素相關：O形環240的寬度、O形環240在O形環保持器230上方延伸的距離、O形環表面受壓縮的面積及用於構造O形環240的材料。如上文所述，O形環240的彈簧力可適應熱膨脹所導致的尺寸改變。另外，閂鎖120的凸緣122可向下延伸以覆蓋O形環240且覆蓋O形環保持器230的一部分或全部。
因此，參考圖10，可使用本文中所述的緊固系統來構造引出板總成。所述引出板總成包括引出板340、阻擋件350及緊固系統。所述緊固系統包括銷釘110、閂鎖120、至少一個O形環及O形環保持器。引出板340具有引出孔口及至少一個孔以容納緊固系統的銷釘。同樣地，阻擋件350可具有至少一個開口以容納緊固系統的銷釘。在一些實施例中，O形環保持器可以是圖3到圖5的O形環保持器130，且可使用一個O形環。在其他實施例中，O形環保持器可以是圖6到圖9的O形環保持器230，其採用多個O形環240。
本文中所述的系統及方法具有許多優勢。首先，不使用金屬部件。這會減少引入到離子源或等離子體腔室中的污染物量，且也會減少存在於工件上的污染物。另外，在第一實施例中，創新性地使用輻條使得能針對特定應用而調節緊固系統的彈簧力。換句話說，通過選擇輻條的數目及這些輻條的大小及形狀，可對緊固系統的彈簧力進行定制。類似地，在第二實施例中，O形環的數目及垂直槽的尺寸使得能調節彈簧力。
另外，本文中所述的緊固系統適用於禁止或不可使用金屬彈簧的任何環境。
本發明的範圍不受本文中所述的具體實施例限制。事實上，除了本文中所述的實施例之外，所屬領域的技術人員依據以上說明及附圖還將明瞭本發明的其他各種實施例及潤飾。因此，這些其他實施例及潤飾旨在含于本發明的範圍內。此外，儘管本文中已出於特定目的在特定環境中在特定實施方案的上下文中闡述了本發明，但所屬領域的技術人員應認識到其用途並不僅限於此，且本發明可有利於出於任何數目個目的實施在任何數目種環境中。因此，應鑒於本文中所述的本發明的全部廣度及精神來對下文所述的權利要求書加以解釋。
10‧‧‧第一組件 20‧‧‧第二元件 100、200‧‧‧緊固系統 110‧‧‧銷釘 111‧‧‧頭 112‧‧‧主體 113‧‧‧凹槽 120‧‧‧閂鎖 121‧‧‧開口 122‧‧‧凸緣 130、230‧‧‧O形環保持器 131‧‧‧圓形凹口/凹口 132‧‧‧垂直側壁 133‧‧‧底部 134‧‧‧向內傾斜側壁 135‧‧‧輻條 140、240‧‧‧O形環 231‧‧‧垂直槽 300‧‧‧離子源腔室 301‧‧‧腔室壁 302‧‧‧第一介電壁 310‧‧‧射頻天線 320‧‧‧射頻電源 330‧‧‧氣體入口 340‧‧‧引出板 345‧‧‧引出孔口 350‧‧‧阻擋件 360‧‧‧台板 390‧‧‧第一小波束 391‧‧‧第二小波束 399‧‧‧工件
為更好地理解本發明，參考附圖，所述附圖併入本案供參考且在附圖中： 圖1是根據一個實施例的緊固系統的視圖。 圖2A示出圖1所示緊固系統的銷釘及閂鎖的俯視圖。 圖2B示出根據另一實施例的銷釘。 圖3示出根據一個實施例的圖1所示O形環及O形環保持器。 圖4A到圖4F示出圖1所示實施例中所使用的O形環保持器的各種實施例。 圖5示出根據一個實施例的組裝起來的銷釘、O形環保持器及O形環。 圖6是根據第二實施例的緊固系統的視圖。 圖7示出具有閂鎖的圖6所示緊固系統。 圖8示出與圖6及圖7所示緊固系統搭配使用的O形環保持器。 圖9示出安裝有O形環的圖8所示O形環保持器。 圖10示出使用本文中所述的緊固系統的離子源。
10‧‧‧第一組件
20‧‧‧第二元件
100‧‧‧緊固系統
110‧‧‧銷釘
111‧‧‧頭
112‧‧‧主體
113‧‧‧凹槽
120‧‧‧閂鎖
122‧‧‧凸緣
130‧‧‧O形環保持器
131‧‧‧圓形凹口/凹口
132‧‧‧垂直側壁
133‧‧‧底部
140‧‧‧O形環

Claims (15)

  1. 一種緊固系統，用於將第一元件緊固到第二元件，所述緊固系統包括： 銷釘，具有頭及主體； 閂鎖，具有中心開口，所述中心開口的尺寸設定成使得所述銷釘的所述主體穿過； O形環保持器，具有圓形凹口，所述圓形凹口具有底部、內側壁及外側壁；以及 O形環，其中所述O形環設置在所述圓形凹口中且設置在所述閂鎖的底側與所述O形環保持器之間。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的緊固系統，其中所述銷釘包括沿著所述主體設置的凹槽，其中所述中心開口的尺寸設定成使得所述閂鎖在旋轉四分之一轉時鎖定在所述凹槽中。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的緊固系統，其中所述O形環保持器包括從所述圓形凹口的所述底部向上延伸的多個輻條，所述多個輻條接觸所述O形環的底表面。
  4. 如申請專利範圍第3項所述的緊固系統，其中所述多個輻條中的每一者附接到所述內側壁及所述外側壁。
  5. 如申請專利範圍第3項所述的緊固系統，其中所述多個輻條中的每一者包括遠離所述底部的自由端，且其中所述多個輻條中的每一者的所述自由端是錐形的。
  6. 如申請專利範圍第3項所述的緊固系統，其中所述多個輻條中的每一者包括遠離所述底部的自由端，且其中所述多個輻條中的每一者的所述自由端是平坦的。
  7. 如申請專利範圍第3項所述的緊固系統，其中所述多個輻條中的每一者與鄰近的輻條間隔開角度360°/N，其中N是輻條數目。
  8. 一種緊固系統，用於將第一元件緊固到第二元件，所述緊固系統包括： 銷釘，具有頭及主體； 閂鎖，具有中心開口，所述中心開口的尺寸設定成使得所述銷釘的所述主體穿過； O形環保持器，具有多個垂直槽；以及 多個O形環，其中所述多個O形環中的每一者設置在相應的垂直槽中，且接觸所述閂鎖的底側。
  9. 如申請專利範圍第8項所述的緊固系統，其中所述銷釘包括沿著所述主體設置的凹槽，其中所述中心開口的尺寸設定成使得所述閂鎖在旋轉四分之一轉時鎖定在所述凹槽中。
  10. 如申請專利範圍第8項所述的緊固系統，其中當所述閂鎖鎖定在所述凹槽中時，所述多個O形環中的每一者受壓縮。
  11. 如申請專利範圍第8項所述的緊固系統，其中所述多個垂直槽中的每一者與鄰近的垂直槽間隔開角度360°/N，其中N是垂直槽數目。
  12. 一種引出板總成，與離子源搭配使用，所述引出板總成包括： 引出板，具有引出孔口；及孔，接近所述引出孔口； 阻擋件，具有開口；以及 緊固系統，包括： 銷釘，具有穿過所述孔及所述開口的頭及主體； 閂鎖，具有中心開口，所述中心開口的尺寸設定成使得所述銷釘的所述主體穿過； O形環保持器；及 O形環，其中所述O形環設置在所述O形環保持器中且受擠壓而抵靠所述閂鎖的底側。
  13. 如申請專利範圍第12項所述的引出板總成，其中所述O形環保持器包括圓形凹口，所述圓形凹口具有底部、內側壁及外側壁；且所述O形環設置在所述圓形凹口中。
  14. 如申請專利範圍第13項所述的引出板總成，其中所述O形環保持器包括從所述圓形凹口的所述底部向上延伸的多個輻條，所述多個輻條接觸所述O形環的底表面。
  15. 如申請專利範圍第12項所述的引出板總成，其中所述O形環保持器包括多個垂直槽；及多個O形環，其中所述多個O形環中的每一者設置在相應的垂直槽中。
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