JP2007530894A

JP2007530894A - プラズマ処理に使用されるコンポーネントを固定するための方法とシステム

Info

Publication number: JP2007530894A
Application number: JP2007506153A
Authority: JP
Inventors: フィンク、スティーブン・ティー．
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2004-03-31
Filing date: 2005-01-27
Publication date: 2007-11-01
Also published as: TW200602567A; US20050220568A1; WO2005103507A1

Abstract

【課題】プラズマ処理に使用されるコンポーネントを固定するための方法とシステムを提供することである。
【解決手段】プラズマ処理ツール内で使用される第１のコンポーネント、および、第２のコンポーネントを共に固定するための固定コンポーネント。固定コンポーネントは、プラズマ処理ツール内で実行されるプラズマ処理にさらされるように構成された第１の表面と、第１のコンポーネントに接触するように構成された第２の面を含む。また、第２の面から延びていて、および、第１のコンポーネントと、第２のコンポーネントとを介して少なくとも部分的に突き出るように構成されるステムは、含まれる。
【選択図】

Description

本発明は、通常、プラズマ処理に関し、より詳しくは、プラズマ処理ツール内で使われる固定ハードウェアに関する。

集積回路の製造は、一般的に、処理チャンバ内で、基板から材料を除去し、および、基板に材料を堆積させる表面化学を起こし、そして、アシストするために、プラズマを使用する。一般に、プラズマは、供給されたプロセスガスとのイオン化衝突を維持するのに十分なエネルギに、電子を加熱することによって真空条件の下でプラズマリアクタが形成されている。さらに、加熱された電子は、解離性衝突を維持するのに、十分なエネルギを有することができる。従って、所定の条件（例えばチャンバ圧力、ガス流量など）でガスの特定のセットは、処理チャンバの中で実行される特定のプロセスに適している荷電種、および、化学反応種の集団を作成するために選ばれる。プラズマプロセスの実施例は、基板から材料を除去するエッチング、または基板に材料を加える堆積がある。

荷電種、および、化学反応種の集団の形成が基板表面でプラズマ処理ツールの機能を実行するのに必要であるが、処理チャンバの他の部品表面は物理的に、および、化学的にアクティブプラズマにさらされる。しばらくすると、これらの表面は、腐食されることができ、および、処理チャンバ内の材料を汚染を放出することとなり得る。このような放出は、プラズマ処理性能を徐々に劣化させ、および、結局、システムの完全故障につながる。

処理チャンバのコンポーネントの腐食を最小にするために、影響を受けやすい部品表面、例えばハードウェアを固定する露出表面は、シールドコンポーネントによってプラズマにさらすことから保護されていることができる。例えば、図５は、プラズマ処理チャンバ内で使用する２つのコンポーネント６０、および、６２を示す。例えば、コンポーネント６０は射出プレートを表すことができ、および、コンポーネント６２は、上部電極の取付板を表すことができる。コンポーネント６０は、ねじ付き固定具６４、および、嵌合コンポーネント６６によってコンポーネント６２に固定される。固定具６４は、プラズマプロセスにさらされた後、腐食し、そして、処理される基板をその後汚染することとなるアルミニウムまたはいくつかの他の材料でできている。このような腐食、および、コンタミネーションを予防するかまたは減らすために、シールドコンポーネント６８が、使われる。シールドコンポーネント６８は、プラズマの腐食の影響に対する高い耐性の材料できているか、またはコーティングされる。しかし、このようなコンポーネントは、作製するのが高く、プラズマ処理ツールにおいて維持するのにも費用がかかる。

したがって、本発明は、有利に方法およびシステムをシールドコンポーネントを用いずにプラズマ処理において使用するコンポーネントを固定することに提供する。コンポーネント腐食を無視するかまたは減らすことによって、および、コンタミネーションのないプロセスを実行するために必要なコンポーネントの量を減らすことによって、本発明は、より単純な、および、より費用のかからないプラズマ処理を提供する。

本発明の態様に係る固定コンポーネントは、共にプラズマ処理ツール内で使用する第１のコンポーネント、および、第２のコンポーネントを固定するために提供される。固定コンポーネントは、プラズマ処理ツールにおいて実行されるプラズマ処理にさらされるように構成された第１の表面と、第１のコンポーネントに接触するように構成された第２の面とを含む。また、第２の面から延び、第１のコンポーネントと、第２のコンポーネントとを介して少なくとも部分的に突き出るように構成されるステムは、含まれる。固定コンポーネントは、ステムの少なくとも１つのサイドから延びて、コンタクト第２のコンポーネントに構成される錠ピンを更に含む。第１の表面、第２の面、ステムおよび／または錠ピンは、できているかまたは非常に、プラズマ処理がもたらす腐食に対する高い耐性を有した材料でコーティングされた。

本発明の別の態様に係る固定システムは、第１の対象物を第２の対象物に固定するために提供される。固定システムは、第１の対象物に接触するように構成された第１の接触面を含んでいる第１の固定コンポーネントと、第１の表面から延びているステムと、ステムの少なくとも１つのサイドから延びている錠ピンとを含む。固定システムは、また、穴を含んでいる第２の固定コンポーネントと、錠ピンに接触するように構成される固定面と、第２の対象物に接触するように構成された第２の接触面を含む。第１の対象物、および、第２の対象物が互いに固定されるように、ステム、錠ピン、および、穴は構成され、錠ピンが第１の対象物、第２の対象物、および、穴を介して突き出て、そしてステムが回転するときに、錠ピンが固定面のロッキング領域に接触する。

本発明の更なる態様に係る方法は、第１の対象物を第２の対象物に固定するために提供され、そこにおいて、第１の対象物と、第２の対象物とが、プラズマ処理ツールにおいて使われる。方法は、プラズマ処理から生じる腐食に対する高い耐性を有する材料から作製された外面を有する固定コンポーネントを提供することを含み、そこにおいて、固定コンポーネントは、第１の表面、第１の表面から延びているステム、および、ステムの少なくとも１つのサイドから延びている錠ピンを含む。方法も、ステムを挿入することと、第１の対象物と、第２の対象物を介してピンでロックすることを含む。また、ロックピンが第２の対象物の第２の面に接触するように、第１の対象物と、第２の対象物とがロックピンと第１の面で固定されるように、ステムを回転させるステップを含む。

本発明の更に別の態様に係る方法は、第１の対象物を、第１の固定コンポーネントおよび第２の固定コンポーネントで、第２の対象物に固定するために提供される。方法は、第１の対象物を介して、第２の対象物の少なくとも一部を介して、そして第２の固定コンポーネントを介して、第１の固定コンポーネントを挿入することを含む。方法は、また、第１の固定コンポーネントが第２の固定コンポーネントの外部表面を接触させるように、および、第１の対象物および第２の対象物は、互いに固定されるように、全回転未満で第１の固定コンポーネントを回転することを含む。

ここで図面を参照し、参照番号がいくつかの図の全体にわたって同じであるか対応する部品を特定するように記載され、本発明のいくつかの実施形態は、次に記載されている。

図１は対象物１０と対象物１２とを示す。本発明の一態様によれば固定具２によって共に固定される。対象物１０は、プラズマにさらされるプラズマ処理内に使用する射出プレートまたは他のいかなるコンポーネントも表すことができる。対象物１２は、上部電極の取付板または対象物１０に固定される他のいかなるコンポーネントも表すことができる。平板対象物１０および１２が示されるが、それらはあるいは、他のいかなる形状でもあり得る。さらに、対象物１０および１２がそれぞれ凹部１８および２０を含み、表面３６が表面３３と同一平面上であるように、対象物１０および１２は、あるいは、構成されることができ、および、それぞれ、その表面３４は表面３５と同一平面上であり得る。

［００１８］対象物１０は穴１４によって提供され、および、対象物１２は穴１６によって提供される。図２に示すように、穴１４は、２８ａおよび２８ｂ、中心部２６およびスロットを含む。同様に、穴１６は、３２ａおよび３２ｂ、中心部３０およびスロットを含む。スロット２８ａ、２８ｂ、３２ａ、および３２ｂはそれらのそれぞれの中心部の対向側に示されるが、あるいは、それらの中心部、ピン６の配置に依存し、以下に記載するように、まわりに異なる角度で配置されることができる。また、図１および２、穴１４および１６に示される構成の変形例は、１つの溝部分だけを、または２つ以上の溝部分だけを各々含むことができる。さらに、スロット２８ａ、２８ｂ、３２ａおよび３２ｂは、図２に示される以外の形状を有することができ、、ピン６の形状に対応して成形加工される。

固定具２は、接触表面３８および露出表面３７および３９を含んでいるヘッド８を含む。露出表面３７および３９がプラズマ処理にさらされるようアレンジされるとき、ヘッド８は、プラズマ処理がもたらす腐食に対する高い耐性を有するで材料で形成またはコーティングされた。更に、材料は、材料の腐食がプラズマ処理チャンバにおいて処理されている基板を汚染しないような材料である。これらの範疇を満たす材料の実施例は、陽極処理アルミニウム、ポリイミド（例えばベスペル）、シリコン、石英、および、セラミックである。セラミックコーティング材料の実施例は２００４年１月２７日に出願された米国特許出願シリアル番号第１０／７６４，４５６号において議論される。そして、それの全体の内容は本願明細書に引用したものとする。ヘッド８、またはヘッド８にコーティングする材料は、上記の特性を呈するこれらの材料または何らかの他の材料または１つ以上の材料の組合せである。アタッチメント、および、ハイブリッド固定具の製造は、例えば、ピン止め、および、ろう付法によって、２００３年４月３０日に出願された米国特許出願シリアル番号第６０／４６６，４１６号において議論される。そして、それの全体の内容は、本願明細書に引用したものとする。図２に示されるヘッド８は、円形外部表面を有すると想像されるが、他のいかなる外側の幾何学も有することができるものであり、人間の指またはツールによる回転は許容される。ヘッド８は、また、回転工具によって係合するために構成される内側凹部を含むことができる。

ヘッド８は、ステム４が接触表面３８から延びる。そして、対象物１０が対象物１２に固定されるときに、それはコンタクト表面３６に配置される。ステム４は、ヘッド８によって一体的に製造される部分でありえるか、またはボストフォーミオングプロセスのヘッド８に取り付けられることができる。また、ステム４は、ヘッド８と同じ材料でできているか、または、あるいは、固定具２を用いて作製される負荷に耐えるのに必要な特性、および、プラズマ処理によって作製される条件を所有する他のいかなる材料でもできていることがあり得る。ステム４は、上記の通りで、プラズマ耐性を有する材料によってコーティングされていることがあり得るかまたは、コーティングしてなくてあり得る。ステム４は、穴１４および１６、およびそれ以上に表面３４を介して突き出るためにアレンジされ、および、図２に示されるとき、横断面において円形であり得るか、またはあるいは、他のいかなる断面形状でもあることができ。その、穴１４および１６の範囲内の回転は、許容される。

固定具２はピン６を含む。そして、ピン部分６ａおよび６ｂ、それはステム４の側から延びる。別の形態として、ピン６は、ステム４の１つのサイドだけからまたは２以上のサイドから延びることができる。ピン６は、円柱形状にされたコンポーネントとして示されるが、あるいは、何らかの形状または横断面の中でありえる。ピン６が、上記の通りで、プラズマ耐性を有する材料でできているか、コーティングされて、または十分に強い他のいかなる材料でもコーティングしたピンは、予想され、負荷、例えば、弾力的な素子２４によって生じられるばね上重量（ｓｐｒｉｎｇｌｏａｄ：以下に記載する）に耐える。締りばめ、ろう付けまたはそれを取り付ける他のいかなる方法にもよってステムに取り付けられるシングルコンポーネントが予想される負荷に適しているとき、ピン６は配置されることができる。別の形態として、ピン部分６ａおよび６ｂは、上述の方法の１つによってステムに別個に取り付けられる独立した素子として存在することができる。また、より他の変形例のピン６は、ステム４、および／またはヘッド８と一体的に製造されることができる。例えば、ピン６、ステム４、およびヘッド８は、シングル、統合されたコンポーネントとして機械加工されることができる。

対象物１０を対象物１２に固定するために、ステム４およびピン６は、最初に穴１４を介して挿入される。スロット２８ａおよび２８ｂの、および、ピン部分６ａおよび６ｂの構成のために、固定具２は、２つの方法（すなわち、スロット２８ａまたは２８ｂ内にピン部分６ａ）の１つで挿入されることができるだけである。ピン６が対象物１０を介して突き出たあと、それは穴１６に挿入され、そこにおいて、スロット３２ａおよび３２ｂの構成は、ピン６の位置を支配する。ピン６が対象物１２を介して突き出たあと、ステム４がヘッド（例えば、手によってまたはツールによって）の回転によって、ピン６が穴１６を囲んでいる面３４に接触するように回転される。対象物１０が、ピン６が表面３４の部分に接触するときに、ピン６および表面３８間の対象物１２に固定されるように、ステム４の長さと、ピン６の位置は、構成される。例えば、対象物１０と対象物１２と接触するように持ってくるときに、表面３４および表面３６の間の距離が等しいか長い（例えば、隙間嵌め合いのために）。したがって、対象物１０および対象物１２間の完全な分離は、固定具２によって予防される。対象物１０および対象物１２は、このようなそのピン部分６ａおよび６ｂがスロット３２ａおよび３２ｂによって位置合わせする回転ステム４によって、および、固定具２を除去することによって緩められる。

ステム４の全回転を予防するために、限定している素子２２は接触する表面３４に提供され、および、ピン６の動きを制限する。制限している素子２２は、表面３４から延びているピンとして配置されるが、あるいは、ステム４の回転を制限するための何らかの他の手段であり得る。

更に、対象物１０が対象物１２にきつく固定されることを確認するために、弾力的な素子２４は、対象物１０および対象物１２の間に位置する。弾力的な素子２４は、スパイラル−シールドコンポーネントとしてまたは他のいかなる付勢コンポーネント（例えばコイルばねまたはＯリング）としても配置されることができる。固定具２が上記の通りに対象物１０および対象物１２に取り付けられ、弾力的な素子２４は、圧縮済状態および対象物１０を表面３８に圧入していて、および、対象物１２をピン６に圧入しているばね上重量を作製する。弾力的な素子２４は、あるいは、表面３８および表面３６の間で、またはピン６および表面３４の間で配置されることができる。さらに、弾力的な素子２４は、電気伝導性であり得る。そうすると、接地装置に、それが使われることができる。

図３および図４は、本発明の別の態様を記載し、そこにおいて、対象物１０は、固定具２および固定コンポーネント４０によって対象物４２に固定される。この態様において、対象物４２は、図３および図４または対象物４２の凹部で示す開口５０、それは、対象物４２の厚さを介して全孔でありえる、を含む。開口５０は、固定コンポーネント４０の外径を収容するために大きさを設定され、および、対象物４２のねじ付き表面５２において配置されるロックしているヘリカルコイル４７の外径にまたは、あるいは、固定コンポーネント４０のねじ部４４に対応するねじ付き表面５２を含む。このような方法で、固定コンポーネント４０は、開口５０の中で固定コンポーネント４０の回転によって、表面５２に沿って移動されることができる。ねじ付き表面の使用の変形例、固定コンポーネント４０は、また、他のいかなる調整できる手段にもよって表面５２に沿って移動可能であり得る。開口５０の範囲内の固定コンポーネント４０の移動は、制限されることができるかまたはロックしているヘリカルコイル４７の使用によってまたは公知技術の手段を制限している他のものによって予防されることができる。

同様に図１および図２の対象物１２に、固定コンポーネント４０は、中心部５６およびスロット５８を有する穴５４およびステム４およびピン６を受けるために構成される５８ｂを含む。固定コンポーネント４０も、一旦ピン６が表面４６より上に配置されるならば、ステム４の全回転を予防する制限しているピン４８を含む。固定コンポーネント４０が開口部５０の内を移動されることができるように、固定コンポーネント４０の厚さ、表面４６および表面３６の間の距離の範囲は、許容される。固定具２または一部の固定具２、固定コンポーネント４０は同一材料でできていることがあり得る。別の形態として、固定コンポーネント４０は、固定コンポーネント４０の記載されている機能に適している何らかの有能な材料でできていることがあり得る。さらに、もしプラズマにさらされるならば、固定コンポーネント４０が上記のようにプラズマ処理ツール、コンポーネント４０がプラズマ耐性を有する材料で部分的に少なくともできていることがあり得るかまたはコーティングされる。

対象物１０を対象物４２に固定するために、ステム４およびピン６は、最初に穴１４を介して、穴５４によって挿入される。ステム４は、ヘッド８の回転によって、回転され、ピン６が表面４６に接触し、対象物４２がねじ部５２および４４による固定コンポーネント４０に、またはヘリカルコイル４７を介して取り付けられ、固定力によって対象物１０に固定される。固定力は、穴５４を介してピン６の挿入の前に開口５０の中で固定コンポーネント４０のポジションを変えることによって調整されることができる。弾力的な素子２４が、また、対象物１０および対象物４２間のばね上重量を作製するために、この態様において使われることができる。

本発明の特定の実施形態だけが上で詳述されたが、当業者は、本発明の新規進歩の事項から逸脱することなく実施形態において変更が可能である非常に多くの態様を容易に理解する。したがって、全てのこのような変更態様は、本発明の範囲内に含まれることを目的とする。

本発明の各種実施形態およびそれによる多数の効果の、より完全な理解は、上記詳細な説明を参照することにより、特に添付の図面とともに考えられることによって、容易に明らかとなる。

本発明の態様に係る固定具、および、処理対象物の断面図を示す図である。固定具の分解立体図、および、図１に示される処理対象物である。本発明の別の態様に係る固定具システム、および、処理対象物の断面図である。固定具システムの分解立体図、および、図３に示される処理対象物である。周知の固定具、および、シールドコンポーネントの断面図である。

Claims

プラズマ処理ツールにおいて使用する第１のコンポーネントおよび第２のコンポーネントを共に固定するための固定コンポーネントであって、
プラズマ処理ツール内で実行されるプラズマ処理にさらされるように構成される第１の表面と；
第１のコンポーネントを接触させるように構成された第２の面と；
第２の面から延びて、第１のコンポーネントおよび第２のコンポーネントを介して少なくとも部分的に突き出るために構成されたステムと；
前記ステムの少なくとも１つの面から延びて、第２のコンポーネントに接触するように構成されたロックピンとを具備し、
前記第１の表面、前記第２の面、前記ステム、および、前記ロックピンの少なくとも１つは、プラズマ処理がもたらす腐食に対する高い耐性を有する材料によって形成およびコーティングの少なくとも一方がされた固定コンポーネント。
前記材料は、陽極処理アルミニウム、ポリイミド、シリコン、石英、および、セラミックのうちの少なくとも１つである請求項１の固定コンポーネント。
前記材料は、陽極処理アルミニウム、ポリイミド、シリコン、石英、および、セラミックのうちの少なくとも２つの組合せである請求項１の固定コンポーネント。
前記ステムの横断面は、前記第２の面より小さい請求項１の固定コンポーネント。
前記ロックピンの縦軸は、前記ステムの縦軸に直交する請求項１の固定コンポーネント。
前記ロックピンは、締りばめによって前記ステムに取り付けられる請求項１の固定コンポーネント。
前記ロックピンは、ろう付けによってステムに取り付けられる請求項１の固定コンポーネント。
第１の対象物を第２の対象物に固定するための固定システムであって、
第１の対象物、第１の表面から延びているステム、前記ステムの少なくとも１つの面から延びているロックピンに接触させるように構成された第１の接触表面を含んでいる第１の固定コンポーネントと；
穴、ロックピンに接触するように構成された固定面、および第２の対象物に接触するように構成された第２の接触面を含んでいる第２の固定コンポーネントとを具備し、
前記ステム、前記ロックピン、および、前記穴は、第１の対象物および第２の対象物が互いに固定されるように構成され、
前記ロックピンは、第１の対象物、第２の対象物、および、穴を介して突き出て、
前記ロックピンが、前記固定面のロックしている領域と接触するように、ステムが回転される固定システム。
前記第２の接触面は、前記第１の対象物と、前記第２の対象物との間の固定力を変えるように前記第２の対象物に対して移動可能であるように構成されている請求項８の固定システム。
前記第２の接触面は、第１のねじ付き表面を含み、
前記第２の対象物は、第１のねじ付き表面によって係合するように構成される第２のねじ付き表面を含んでいる請求項９の固定システム。
前記第２の固定コンポーネントは、前記第２の対象物の開口に挿入されるように構成されている請求項９の固定システム。
前記ロックピンの縦軸は、前記ステムの縦軸に直交している請求項８の固定コンポーネント。
前記ロックピンは、締りばめによって前記ステムに取り付けられる請求項８の固定コンポーネント。
前記ロックピンは、ろう付けによって前記ステムに取り付けられる請求項８の固定コンポーネント。
前記穴は、前記ステムを受けるように成形加工される前記第１の部分および前記ロックピンを受けるように成形加工される前記第２部分を含んでいる請求項８の固定コンポーネント。
前記第２の固定コンポーネントは、前記固定面で提供され、前記ステムの回転を制限するように構成される制限している素子を含んでいる請求項８の固定コンポーネント。
前記制限している素子は、前記固定面に取り付けられるピンである請求項１６の固定コンポーネント。
前記第２の接触面と、前記第２の対象物との間の動きを制限するように構成されるロックしている素子を更に具備する請求項８の固定システム。
前記ロックしている素子は、ヘリカルコイルを含んでいる請求項１８の固定システム。
前記第１の固定コンポーネントの少なくとも一部は、プラズマ処理がもたらす腐食に対する高い耐性を有する材料によって形成およびコーティングの少なくとも一方がされた請求項８の固定システム。
前記材料は、陽極処理アルミニウム、ポリイミド、シリコン、石英、および、セラミックのうちの少なくとも１つである請求項２０の固定コンポーネント。
前記材料は、陽極処理アルミニウム、ポリイミド、シリコン、石英、および、セラミックのうちの少なくとも２つの組合せである請求項２０の固定コンポーネント。
第１の対象物を第２の対象物に固定する方法であって、
前記第１の対象物および前記第２の対象物が、プラズマ処理ツール内に使われ、
プラズマ処理から生じている腐食に対する高い耐性を有する材料から形成された外面を有する固定コンポーネントを提供することと、
前記第１の対象物および前記第２の対象物を介してステムおよびロックピンを挿入することと；
第２の対象物および、このようなその前記第１の対象物の前記第２の面と、前記第２の対象物がそうである前記ロックピンが前記第２の対象物の第２の面に接触するように、および、前記第１の対象物および前記第２の対象物が、前記ロックピンと、前記第１の表面との間で締まるように、前記ステムを回転することとを具備し、
前記固定コンポーネントは、第１の表面、前記第１の表面から延びているステム、および、前記ステムの少なくとも１つの面から延びているロックピンを含んでいる方法。
前記提供することは、前記固定コンポーネントの少なくとも一部が、陽極処理アルミニウム、ポリイミド、シリコン、石英、および、セラミックのうちの少なくとも１つで、形成またはコーティングの少なくとも一方がされることを含んでいる請求項２３の方法。
前記提供することは、前記固定コンポーネントの少なくとも一部が、陽極処理アルミニウム、ポリイミド、シリコン、石英、および、セラミックのうちの少なくとも２つの組み合わせで、形成またはコーティングの少なくとも一方がされることを含んでいる請求項２３の方法。
前記ステムおよび前記ロックピンが前記第１の対象物および前記第２の対象物を介して挿入されたあと、前記ステムの回転を制限するように前記第２の対象物で停止する素子を配置することを更に具備する請求項２３の方法。
前記回転することが、前記第１の対象物と、前記第２の対象物との間のばね上重量を作製するように、前記第１の表面と、前記第１の対象物との間の、または前記第１の対象物と、前記第２の対象物との間の弾力的な素子を配置することを更に具備する請求項２３の方法。
前記弾力的な素子は、電気伝導性を有する請求項２７の方法。
前記ステムを受けるように成形加工される前記第１の部分を含んでいる前記穴、および、前記ロックピンを受けるように成形加工される前記第２部分を有する前記第２の対象物を提供することを更に具備する請求項２３の方法。
前記第１の対象物を前記第１の固定コンポーネントおよび前記第２の固定コンポーネントで前記第２の対象物に固定する方法であって、
前記第１の対象物を介し、第２の対象物の少なくとも一部を介し、および、第２の固定コンポーネントを介して、前記第１の固定コンポーネントを挿入することと、
前記第１の固定コンポーネントが前記第２の固定コンポーネントの外部表面に接触するように、および、前記第１の対象物および前記第２の対象物が互いに締まるように、全回転未満で前記第１の固定コンポーネントを回転させることとを具備する方法。
前記ステムおよび前記ステムから延びているロックピンを有する前記第１の固定コンポーネント提供することを更に具備する請求項３０の方法。
前記回転することは、前記ロックピンが前記外部表面と接触するように、前記ステムを回転させることを含んでいる請求項３１の方法。
前記第１の固定コンポーネントが前記第２の固定コンポーネントを介して突き出る前記第１の固定コンポーネントの全回転を予防するように前記第２の固定コンポーネントで制限している素子を配置することを更に具備する請求項３０の方法。
前記穴を有する前記第２の対象物を提供することと；
前記第２の固定コンポーネントの少なくとも一部を前記穴に挿入することとを更に具備する請求項３０の方法。
前記第２の固定コンポーネントの部分は、第１のねじ付き表面を含み、
前記穴は、前記第１のねじ付き表面に対応する第２のねじ付き表面を含んでいる請求項３４の方法。
前記第１の対象物と、前記第２の対象物との間の固定力を変えるように前記穴の中で前記第２の固定コンポーネントのポジションを調整することを更に具備する請求項３４の方法。
前記第１の固定コンポーネントおよび第２の固定コンポーネントのうちの少なくとも一方が、プラズマ処理から生じる腐食に対する高い耐性を有する材料で製造およびコーティングのうちの少なくとも一方がされることを更に具備する請求項３０の方法。
前記材料は、陽極処理アルミニウム、ポリイミド、シリコン、石英、および、セラミックのうちの少なくとも１つである請求項３７の方法。
前記材料は、陽極処理アルミニウム、ポリイミド、シリコン、石英、および、セラミックのうちの少なくとも２つの組み合わせである請求項３７の方法。
前記回転することが、前記第１の対象物と、前記第２の対象物との間のばね上重量を作製するように、前記第１の対象物と、前記第２の対象物との間に弾力的な素子を配置することを更に具備する請求項３０の方法。
前記回転することが、前記第１の対象物と、前記第２の対象物との間のばね上重量を作製するように、前記第１の固定コンポーネントと、前記第１の対象物との間に弾力的な素子を配置することを更に具備する請求項３０の方法。
前記回転ステップが、前記第１の対象物と、前記第２の対象物との間のばね上重量を作製するように、前記第２の固定コンポーネントと、前記第２の対象物との間に弾力的な素子を配置することを更に具備する請求項３０の方法。
前記弾力的な素子は、電気伝導性を有する請求項４０の方法。