JPH07272656A - イオン源装置 - Google Patents
イオン源装置Info
- Publication number
- JPH07272656A JPH07272656A JP6082487A JP8248794A JPH07272656A JP H07272656 A JPH07272656 A JP H07272656A JP 6082487 A JP6082487 A JP 6082487A JP 8248794 A JP8248794 A JP 8248794A JP H07272656 A JPH07272656 A JP H07272656A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- attaching
- terminal base
- terminal block
- flange
- ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 端子台のフランジ及び取付スペースを小さく
し、端子台の取付作業を簡単にする。 【構成】 アークチャンバ2の上蓋1に形成された端子
台取付口3と、フィラメント15を装着した2本の電流
導入端子11を設けた端子台4と、取付口3の内面と端
子台4の周面との間に圧縮して介在されたOリング18
と、端子台4の周面に突設され,取付口3の周縁の外面
に当接したフランジ19とを備える。
し、端子台の取付作業を簡単にする。 【構成】 アークチャンバ2の上蓋1に形成された端子
台取付口3と、フィラメント15を装着した2本の電流
導入端子11を設けた端子台4と、取付口3の内面と端
子台4の周面との間に圧縮して介在されたOリング18
と、端子台4の周面に突設され,取付口3の周縁の外面
に当接したフランジ19とを備える。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、薄膜製造装置などに用
いられ,とくにフィラメントの支持部分のイオン源装置
に関する。
いられ,とくにフィラメントの支持部分のイオン源装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種装置は、図2に示す構成に
なっている。同図において、1はアークチャンバ2の上
蓋、3は上蓋1に透設された端子台取付口、4は周面が
取付口3に挿入された円板状の端子台、5は端子台4の
周面の外部側に突設されたフランジである。
なっている。同図において、1はアークチャンバ2の上
蓋、3は上蓋1に透設された端子台取付口、4は周面が
取付口3に挿入された円板状の端子台、5は端子台4の
周面の外部側に突設されたフランジである。
【0003】6は上蓋1の取付口3の周縁の外面に形成
された環状のOリング挿入溝、7は挿入溝6に挿入さ
れ,フランジ5に圧接されたOリング、8はフランジ5
の外側部に透設された複数個のボルト挿通孔、9は挿通
孔8に挿通され,上蓋1の挿入溝6の外側に螺合した取
付ボルトであり、Oリング7を介し、端子台4を上蓋1
に気密に装着している。
された環状のOリング挿入溝、7は挿入溝6に挿入さ
れ,フランジ5に圧接されたOリング、8はフランジ5
の外側部に透設された複数個のボルト挿通孔、9は挿通
孔8に挿通され,上蓋1の挿入溝6の外側に螺合した取
付ボルトであり、Oリング7を介し、端子台4を上蓋1
に気密に装着している。
【0004】10は端子台4に透設された2個の端子挿
入孔、11は挿入孔10に挿入されたSUSからなる棒
状の電流導入端子、12はセラミックからなり,端子1
1が挿通された筒体、13は筒体12の上端にコバー
ル,銅等の層を介して装着されたコバール,銅等からな
る円環状キャップであり、端子11に溶接により固着さ
れている。14は円筒状の金属からなる接続体であり、
上部の小径部が筒体12の外周面に塗布されたコバール
に溶接され、下部の大径部が挿入孔10の内面に溶接に
より固着され、端子11が端子台に装着されている。1
5は両端がねじ16により両端子11に接続されたフィ
ラメントである。
入孔、11は挿入孔10に挿入されたSUSからなる棒
状の電流導入端子、12はセラミックからなり,端子1
1が挿通された筒体、13は筒体12の上端にコバー
ル,銅等の層を介して装着されたコバール,銅等からな
る円環状キャップであり、端子11に溶接により固着さ
れている。14は円筒状の金属からなる接続体であり、
上部の小径部が筒体12の外周面に塗布されたコバール
に溶接され、下部の大径部が挿入孔10の内面に溶接に
より固着され、端子11が端子台に装着されている。1
5は両端がねじ16により両端子11に接続されたフィ
ラメントである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来の前記装置の場
合、端子台取付口3の周縁にOリング7があり、そのO
リング7の外側部に取付ボルト9が位置しているため、
フランジ5が大きく、取付口3の周縁に広い取付スペー
スを要し、さらにボルト9の取付け作業に時間がかかる
という問題点がある。本発明は、前記の点に留意し、端
子台のフランジ及び取付スペースを小さくし、端子台の
取付作業を簡単にしたイオン源装置を提供することを目
的とする。
合、端子台取付口3の周縁にOリング7があり、そのO
リング7の外側部に取付ボルト9が位置しているため、
フランジ5が大きく、取付口3の周縁に広い取付スペー
スを要し、さらにボルト9の取付け作業に時間がかかる
という問題点がある。本発明は、前記の点に留意し、端
子台のフランジ及び取付スペースを小さくし、端子台の
取付作業を簡単にしたイオン源装置を提供することを目
的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明のイオン源装置は、アークチャンバの上蓋に
形成された端子台取付口と、フィラメントを装着した2
本の電流導入端子を設けた端子台と、前記取付口の内面
と前記端子台の周面との間に圧縮して介在されたOリン
グと、前記端子台の周面に突設され,前記取付口の周縁
の外面に当接したフランジとを備えたものである。
に、本発明のイオン源装置は、アークチャンバの上蓋に
形成された端子台取付口と、フィラメントを装着した2
本の電流導入端子を設けた端子台と、前記取付口の内面
と前記端子台の周面との間に圧縮して介在されたOリン
グと、前記端子台の周面に突設され,前記取付口の周縁
の外面に当接したフランジとを備えたものである。
【0007】
【作用】前記のように構成された本発明のイオン源装置
は、端子台取付口の内面と端子台の周面との間にOリン
グが圧縮して介在し、端子台の周面のフランジが、取付
口の周縁の外面に当接しているため、フランジの放射線
方向の長さが、取付口の周縁の外面に係止するのみでよ
く、きわめて短くなり、端子台の取付スペースを小さく
することができ、かつ、端子台の周面がOリングを介し
て取付口の内面に圧接される上、アークチャンバの真空
引きにより端子台の位置保持が強固になり、従来のよう
な取付ボルト9による取付作業を要さず、端子台の取付
作業がきわめて簡単になる。
は、端子台取付口の内面と端子台の周面との間にOリン
グが圧縮して介在し、端子台の周面のフランジが、取付
口の周縁の外面に当接しているため、フランジの放射線
方向の長さが、取付口の周縁の外面に係止するのみでよ
く、きわめて短くなり、端子台の取付スペースを小さく
することができ、かつ、端子台の周面がOリングを介し
て取付口の内面に圧接される上、アークチャンバの真空
引きにより端子台の位置保持が強固になり、従来のよう
な取付ボルト9による取付作業を要さず、端子台の取付
作業がきわめて簡単になる。
【0008】
【実施例】1実施例について図1を参照して説明する。
同図において図2と同一符号は同一もしくは相当するも
のを示し、図2と異なる点はつぎの通りである。端子台
取付口3の内面にOリング挿入溝17が形成され、その
挿入溝17に挿入されたOリング18が端子台4の周面
に圧接され、端子台4のフランジ19の放射線方向の長
さが短くなっている。なお、Oリング18の挿入溝は、
端子台4の周面に形成するようにしてもよい。
同図において図2と同一符号は同一もしくは相当するも
のを示し、図2と異なる点はつぎの通りである。端子台
取付口3の内面にOリング挿入溝17が形成され、その
挿入溝17に挿入されたOリング18が端子台4の周面
に圧接され、端子台4のフランジ19の放射線方向の長
さが短くなっている。なお、Oリング18の挿入溝は、
端子台4の周面に形成するようにしてもよい。
【0009】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載する効果を奏する。本発明のイ
オン源装置は、端子台取付口3の内面と端子台4の周面
との間にOリング18が圧縮して介在し、端子台4の周
面のフランジ19が、取付口3の周縁の外面に当接して
いるため、フランジ19の放射線方向の長さが、取付口
3の周縁の外面に係止するのみでよく、きわめて短くな
り、端子台4の取付スペースを小さくすることができ、
かつ、端子台4の周面がOリング18を介して取付口3
の内面に圧接される上、アークチャンバ2の真空引きに
より端子台4の位置保持が強固になり、従来のような取
付ボルト9による取付作業を要さず、端子台4の取付作
業をきわめて簡単にすることができる。
ているので、以下に記載する効果を奏する。本発明のイ
オン源装置は、端子台取付口3の内面と端子台4の周面
との間にOリング18が圧縮して介在し、端子台4の周
面のフランジ19が、取付口3の周縁の外面に当接して
いるため、フランジ19の放射線方向の長さが、取付口
3の周縁の外面に係止するのみでよく、きわめて短くな
り、端子台4の取付スペースを小さくすることができ、
かつ、端子台4の周面がOリング18を介して取付口3
の内面に圧接される上、アークチャンバ2の真空引きに
より端子台4の位置保持が強固になり、従来のような取
付ボルト9による取付作業を要さず、端子台4の取付作
業をきわめて簡単にすることができる。
【図1】本発明の1実施例の切断正面図である。
【図2】従来例の切断正面図である。
1 上蓋 2 アークチャンバ 3 端子台取付口 4 端子台 18 Oリング 19 フランジ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C23C 14/48 Z 8414−4K
Claims (1)
- 【請求項1】 アークチャンバの上蓋に形成された端子
台取付口と、 フィラメントを装着した2本の電流導入端子を設けた端
子台と、 前記取付口の内面と前記端子台の周面との間に圧縮して
介在されたOリングと、 前記端子台の周面に突設され,前記取付口の周縁の外面
に当接したフランジとを備えたイオン源装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6082487A JPH07272656A (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | イオン源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6082487A JPH07272656A (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | イオン源装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07272656A true JPH07272656A (ja) | 1995-10-20 |
Family
ID=13775873
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6082487A Pending JPH07272656A (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | イオン源装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07272656A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030070992A (ko) * | 2002-02-27 | 2003-09-03 | 삼성전자주식회사 | 반도체 임플랜터 설비의 필라멘트 절연 장치 |
JP2021524903A (ja) * | 2018-05-29 | 2021-09-16 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | 保持力を加えるoリングを使用するためのシステム |
JP2021197228A (ja) * | 2020-06-11 | 2021-12-27 | 日新イオン機器株式会社 | イオン源 |
-
1994
- 1994-03-28 JP JP6082487A patent/JPH07272656A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030070992A (ko) * | 2002-02-27 | 2003-09-03 | 삼성전자주식회사 | 반도체 임플랜터 설비의 필라멘트 절연 장치 |
JP2021524903A (ja) * | 2018-05-29 | 2021-09-16 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | 保持力を加えるoリングを使用するためのシステム |
JP2021197228A (ja) * | 2020-06-11 | 2021-12-27 | 日新イオン機器株式会社 | イオン源 |
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