JPH07272656A - イオン源装置 - Google Patents
イオン源装置Info
- Publication number
- JPH07272656A JPH07272656A JP6082487A JP8248794A JPH07272656A JP H07272656 A JPH07272656 A JP H07272656A JP 6082487 A JP6082487 A JP 6082487A JP 8248794 A JP8248794 A JP 8248794A JP H07272656 A JPH07272656 A JP H07272656A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- attaching
- terminal base
- terminal block
- flange
- ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 端子台のフランジ及び取付スペースを小さく
し、端子台の取付作業を簡単にする。 【構成】 アークチャンバ２の上蓋１に形成された端子
台取付口３と、フィラメント１５を装着した２本の電流
導入端子１１を設けた端子台４と、取付口３の内面と端
子台４の周面との間に圧縮して介在されたＯリング１８
と、端子台４の周面に突設され，取付口３の周縁の外面
に当接したフランジ１９とを備える。
し、端子台の取付作業を簡単にする。 【構成】 アークチャンバ２の上蓋１に形成された端子
台取付口３と、フィラメント１５を装着した２本の電流
導入端子１１を設けた端子台４と、取付口３の内面と端
子台４の周面との間に圧縮して介在されたＯリング１８
と、端子台４の周面に突設され，取付口３の周縁の外面
に当接したフランジ１９とを備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、薄膜製造装置などに用
いられ，とくにフィラメントの支持部分のイオン源装置
に関する。
いられ，とくにフィラメントの支持部分のイオン源装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種装置は、図２に示す構成に
なっている。同図において、１はアークチャンバ２の上
蓋、３は上蓋１に透設された端子台取付口、４は周面が
取付口３に挿入された円板状の端子台、５は端子台４の
周面の外部側に突設されたフランジである。
なっている。同図において、１はアークチャンバ２の上
蓋、３は上蓋１に透設された端子台取付口、４は周面が
取付口３に挿入された円板状の端子台、５は端子台４の
周面の外部側に突設されたフランジである。
【０００３】６は上蓋１の取付口３の周縁の外面に形成
された環状のＯリング挿入溝、７は挿入溝６に挿入さ
れ，フランジ５に圧接されたＯリング、８はフランジ５
の外側部に透設された複数個のボルト挿通孔、９は挿通
孔８に挿通され，上蓋１の挿入溝６の外側に螺合した取
付ボルトであり、Ｏリング７を介し、端子台４を上蓋１
に気密に装着している。
された環状のＯリング挿入溝、７は挿入溝６に挿入さ
れ，フランジ５に圧接されたＯリング、８はフランジ５
の外側部に透設された複数個のボルト挿通孔、９は挿通
孔８に挿通され，上蓋１の挿入溝６の外側に螺合した取
付ボルトであり、Ｏリング７を介し、端子台４を上蓋１
に気密に装着している。
【０００４】１０は端子台４に透設された２個の端子挿
入孔、１１は挿入孔１０に挿入されたＳＵＳからなる棒
状の電流導入端子、１２はセラミックからなり，端子１
１が挿通された筒体、１３は筒体１２の上端にコバー
ル，銅等の層を介して装着されたコバール，銅等からな
る円環状キャップであり、端子１１に溶接により固着さ
れている。１４は円筒状の金属からなる接続体であり、
上部の小径部が筒体１２の外周面に塗布されたコバール
に溶接され、下部の大径部が挿入孔１０の内面に溶接に
より固着され、端子１１が端子台に装着されている。１
５は両端がねじ１６により両端子１１に接続されたフィ
ラメントである。
入孔、１１は挿入孔１０に挿入されたＳＵＳからなる棒
状の電流導入端子、１２はセラミックからなり，端子１
１が挿通された筒体、１３は筒体１２の上端にコバー
ル，銅等の層を介して装着されたコバール，銅等からな
る円環状キャップであり、端子１１に溶接により固着さ
れている。１４は円筒状の金属からなる接続体であり、
上部の小径部が筒体１２の外周面に塗布されたコバール
に溶接され、下部の大径部が挿入孔１０の内面に溶接に
より固着され、端子１１が端子台に装着されている。１
５は両端がねじ１６により両端子１１に接続されたフィ
ラメントである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の前記装置の場
合、端子台取付口３の周縁にＯリング７があり、そのＯ
リング７の外側部に取付ボルト９が位置しているため、
フランジ５が大きく、取付口３の周縁に広い取付スペー
スを要し、さらにボルト９の取付け作業に時間がかかる
という問題点がある。本発明は、前記の点に留意し、端
子台のフランジ及び取付スペースを小さくし、端子台の
取付作業を簡単にしたイオン源装置を提供することを目
的とする。
合、端子台取付口３の周縁にＯリング７があり、そのＯ
リング７の外側部に取付ボルト９が位置しているため、
フランジ５が大きく、取付口３の周縁に広い取付スペー
スを要し、さらにボルト９の取付け作業に時間がかかる
という問題点がある。本発明は、前記の点に留意し、端
子台のフランジ及び取付スペースを小さくし、端子台の
取付作業を簡単にしたイオン源装置を提供することを目
的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明のイオン源装置は、アークチャンバの上蓋に
形成された端子台取付口と、フィラメントを装着した２
本の電流導入端子を設けた端子台と、前記取付口の内面
と前記端子台の周面との間に圧縮して介在されたＯリン
グと、前記端子台の周面に突設され，前記取付口の周縁
の外面に当接したフランジとを備えたものである。
に、本発明のイオン源装置は、アークチャンバの上蓋に
形成された端子台取付口と、フィラメントを装着した２
本の電流導入端子を設けた端子台と、前記取付口の内面
と前記端子台の周面との間に圧縮して介在されたＯリン
グと、前記端子台の周面に突設され，前記取付口の周縁
の外面に当接したフランジとを備えたものである。
【０００７】
【作用】前記のように構成された本発明のイオン源装置
は、端子台取付口の内面と端子台の周面との間にＯリン
グが圧縮して介在し、端子台の周面のフランジが、取付
口の周縁の外面に当接しているため、フランジの放射線
方向の長さが、取付口の周縁の外面に係止するのみでよ
く、きわめて短くなり、端子台の取付スペースを小さく
することができ、かつ、端子台の周面がＯリングを介し
て取付口の内面に圧接される上、アークチャンバの真空
引きにより端子台の位置保持が強固になり、従来のよう
な取付ボルト９による取付作業を要さず、端子台の取付
作業がきわめて簡単になる。
は、端子台取付口の内面と端子台の周面との間にＯリン
グが圧縮して介在し、端子台の周面のフランジが、取付
口の周縁の外面に当接しているため、フランジの放射線
方向の長さが、取付口の周縁の外面に係止するのみでよ
く、きわめて短くなり、端子台の取付スペースを小さく
することができ、かつ、端子台の周面がＯリングを介し
て取付口の内面に圧接される上、アークチャンバの真空
引きにより端子台の位置保持が強固になり、従来のよう
な取付ボルト９による取付作業を要さず、端子台の取付
作業がきわめて簡単になる。
【０００８】
【実施例】１実施例について図１を参照して説明する。
同図において図２と同一符号は同一もしくは相当するも
のを示し、図２と異なる点はつぎの通りである。端子台
取付口３の内面にＯリング挿入溝１７が形成され、その
挿入溝１７に挿入されたＯリング１８が端子台４の周面
に圧接され、端子台４のフランジ１９の放射線方向の長
さが短くなっている。なお、Ｏリング１８の挿入溝は、
端子台４の周面に形成するようにしてもよい。
同図において図２と同一符号は同一もしくは相当するも
のを示し、図２と異なる点はつぎの通りである。端子台
取付口３の内面にＯリング挿入溝１７が形成され、その
挿入溝１７に挿入されたＯリング１８が端子台４の周面
に圧接され、端子台４のフランジ１９の放射線方向の長
さが短くなっている。なお、Ｏリング１８の挿入溝は、
端子台４の周面に形成するようにしてもよい。
【０００９】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載する効果を奏する。本発明のイ
オン源装置は、端子台取付口３の内面と端子台４の周面
との間にＯリング１８が圧縮して介在し、端子台４の周
面のフランジ１９が、取付口３の周縁の外面に当接して
いるため、フランジ１９の放射線方向の長さが、取付口
３の周縁の外面に係止するのみでよく、きわめて短くな
り、端子台４の取付スペースを小さくすることができ、
かつ、端子台４の周面がＯリング１８を介して取付口３
の内面に圧接される上、アークチャンバ２の真空引きに
より端子台４の位置保持が強固になり、従来のような取
付ボルト９による取付作業を要さず、端子台４の取付作
業をきわめて簡単にすることができる。
ているので、以下に記載する効果を奏する。本発明のイ
オン源装置は、端子台取付口３の内面と端子台４の周面
との間にＯリング１８が圧縮して介在し、端子台４の周
面のフランジ１９が、取付口３の周縁の外面に当接して
いるため、フランジ１９の放射線方向の長さが、取付口
３の周縁の外面に係止するのみでよく、きわめて短くな
り、端子台４の取付スペースを小さくすることができ、
かつ、端子台４の周面がＯリング１８を介して取付口３
の内面に圧接される上、アークチャンバ２の真空引きに
より端子台４の位置保持が強固になり、従来のような取
付ボルト９による取付作業を要さず、端子台４の取付作
業をきわめて簡単にすることができる。
【図１】本発明の１実施例の切断正面図である。
【図２】従来例の切断正面図である。
１ 上蓋 ２ アークチャンバ ３ 端子台取付口 ４ 端子台 １８ Ｏリング １９ フランジ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２３Ｃ 14/48 Ｚ 8414−4Ｋ
Claims (1)
- 【請求項１】 アークチャンバの上蓋に形成された端子
台取付口と、 フィラメントを装着した２本の電流導入端子を設けた端
子台と、 前記取付口の内面と前記端子台の周面との間に圧縮して
介在されたＯリングと、 前記端子台の周面に突設され，前記取付口の周縁の外面
に当接したフランジとを備えたイオン源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6082487A JPH07272656A (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | イオン源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6082487A JPH07272656A (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | イオン源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07272656A true JPH07272656A (ja) | 1995-10-20 |
Family
ID=13775873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6082487A Pending JPH07272656A (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | イオン源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07272656A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030070992A (ko) * | 2002-02-27 | 2003-09-03 | 삼성전자주식회사 | 반도체 임플랜터 설비의 필라멘트 절연 장치 |
| JP2021524903A (ja) * | 2018-05-29 | 2021-09-16 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | 保持力を加えるｏリングを使用するためのシステム |
| JP2021197228A (ja) * | 2020-06-11 | 2021-12-27 | 日新イオン機器株式会社 | イオン源 |
-
1994
- 1994-03-28 JP JP6082487A patent/JPH07272656A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030070992A (ko) * | 2002-02-27 | 2003-09-03 | 삼성전자주식회사 | 반도체 임플랜터 설비의 필라멘트 절연 장치 |
| JP2021524903A (ja) * | 2018-05-29 | 2021-09-16 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | 保持力を加えるｏリングを使用するためのシステム |
| JP2021197228A (ja) * | 2020-06-11 | 2021-12-27 | 日新イオン機器株式会社 | イオン源 |
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