TW201940711A - 濺鍍靶用Ｆｅ－Ｐｔ－氧化物－ＢＮ系燒結體 - Google Patents
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Abstract
本發明之課題在於提供一種高密度的濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其能抑制濺鍍時的顆粒發生。
本發明之解決手段為N相對於B之質量比N/B在1.30±0.1之範圍的濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。
本發明之解決手段為N相對於B之質量比N/B在1.30±0.1之範圍的濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。
Description
本發明關於濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體及其製造方法。
FePt合金係藉由在高溫(例如600℃以上)下熱處理，而可具備持有高的結晶磁異向性之fct(Ordered Face Centered Tetragonal，面心正方)構造，故作為磁性記錄媒體受到注目。FePt系磁性記錄媒體係使用FePt系濺鍍靶而成膜，但是在濺鍍時所發生的顆粒係使製品良率降低，故要求減少顆粒之發生。
由FePt合金的磁性相與存在於該磁性相之間的非磁性相所構成的Fe-Pt系濺鍍靶係有各種的提案，作為非磁性相，大多使用SiO2 等的氧化物、BN(氮化硼)、C等。
例如，專利文獻1(日本發明專利第5567227號公報)中揭示「一種Fe-Pt系磁性材燒結體，其特徵在於：含有六方晶系BN及SiO2 作為非磁性材料，Si及O存在於前述燒結體之切斷面中的B或N之存在區域」。具體而言，記載將0.5μm以上10μm以下的Fe粉末、Pt粉末、BN粉末及SiO2 粉末投入球磨機中，以300rpm的旋轉數進行2小時的攪拌混合，將混合粉末在950℃、30MPa進行燒結，接著將燒結體供950℃、150MPa的等向熱加壓加工，製造相對密度98.3%的Fe-Pt-SiO2 -BN燒結體(實施例2)。
又，專利文獻2(日本發明專利第5913620號公報)中記載「一種燒結體濺鍍靶，其係含有BN的Fe-Pt系燒結體濺鍍靶，其特徵在於：對於濺鍍面水平的面中之六方晶BN(002)面的X射線繞射峰強度相對於對於濺鍍面垂直的剖面中之六方晶BN(002)面的X射線繞射峰強度之強度比為2以上」。具體而言，將Fe-Pt合金粉末及SiO2 粉末投入球磨機中，藉由以300rpm的旋轉數進行2小時的攪拌混合而粉碎，使合金粉末成為板狀或薄片狀後，添加BN粉末(薄片狀)，使用100μm網目的篩進行混合，將混合粉末在1100℃、30MPa進行燒結，接著將燒結體供1100℃、150MPa的等向熱加壓加工，製造在對於濺鍍面垂直的剖面方向中成為層狀構造且BN配向之Fe-Pt-SiO2 -BN燒結體(實施例2)。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本發明專利第5567227號公報
[專利文獻2]日本發明專利第5913620號公報
由FePt合金的磁性相與存在於該磁性相之間的非磁性相所構成的Fe-Pt系濺鍍靶係有各種的提案，作為非磁性相，大多使用SiO2 等的氧化物、BN(氮化硼)、C等。
例如，專利文獻1(日本發明專利第5567227號公報)中揭示「一種Fe-Pt系磁性材燒結體，其特徵在於：含有六方晶系BN及SiO2 作為非磁性材料，Si及O存在於前述燒結體之切斷面中的B或N之存在區域」。具體而言，記載將0.5μm以上10μm以下的Fe粉末、Pt粉末、BN粉末及SiO2 粉末投入球磨機中，以300rpm的旋轉數進行2小時的攪拌混合，將混合粉末在950℃、30MPa進行燒結，接著將燒結體供950℃、150MPa的等向熱加壓加工，製造相對密度98.3%的Fe-Pt-SiO2 -BN燒結體(實施例2)。
又，專利文獻2(日本發明專利第5913620號公報)中記載「一種燒結體濺鍍靶，其係含有BN的Fe-Pt系燒結體濺鍍靶，其特徵在於：對於濺鍍面水平的面中之六方晶BN(002)面的X射線繞射峰強度相對於對於濺鍍面垂直的剖面中之六方晶BN(002)面的X射線繞射峰強度之強度比為2以上」。具體而言，將Fe-Pt合金粉末及SiO2 粉末投入球磨機中，藉由以300rpm的旋轉數進行2小時的攪拌混合而粉碎，使合金粉末成為板狀或薄片狀後，添加BN粉末(薄片狀)，使用100μm網目的篩進行混合，將混合粉末在1100℃、30MPa進行燒結，接著將燒結體供1100℃、150MPa的等向熱加壓加工，製造在對於濺鍍面垂直的剖面方向中成為層狀構造且BN配向之Fe-Pt-SiO2 -BN燒結體(實施例2)。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本發明專利第5567227號公報
[專利文獻2]日本發明專利第5913620號公報
[發明所欲解決的課題]
專利文獻1及2所揭示的發明係在950℃或1100℃的高溫下燒結後藉由等向熱加壓加工，而提高Fe-Pt-SiO2 -BN燒結體的密度。燒結後的等向熱加壓加工由於增加製程數，需要等向熱加壓加工用的設備機器而繁雜。
本發明之目的在於提供一種高密度的濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其不施予等向熱加壓加工，可抑制濺鍍時之顆粒發生。
[解決課題的手段]
一般而言，已知愈提高燒結溫度，燒結體的密度愈高。然而，本發明者們確認：若使製造Fe-Pt-氧化物-BN燒結體時的燒結溫度成為以往一般的燒結溫度之950℃以上1300℃以下，則反而相對密度降低，在濺鍍中發生大量的顆粒之現象。
本發明者們對於若使製造Fe-Pt-氧化物-BN燒結體時的燒結溫度成為高溫，則反而相對密度降低之原因，進行專心致力的研究，結果得知在高溫下燒結的Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體之N含量係比理論值更降低。茲認為N含量降低之原因係因為BN與氧化物之長時間接觸及高溫燒結而BN分解，產生氮氣或氮氧化物氣體者，按照BN與氧化物之混合條件及燒結條件，找出能抑制BN之分解及氮氣或氮氧化物氣體之發生的最合適條件，終於完成本發明。
依照本發明，提供以下態樣之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。
[1]一種濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其係N相對於B之質量比N/B在1.30±0.1之範圍。
[2]如前述[1]記載之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其係以阿基米德法測定的相對密度為92.0%以上。
[3]如前述[1]或[2]記載之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其中Pt為33mol%以上60mol%以下，BN與氧化物之合計為5mol%以上40mol%以下，剩餘部分為Fe及不可避免雜質。
[4]如前述[1]或[2]記載之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其中Pt為33mol%以上60mol%以下，BN與氧化物之合計為5mol%以上40mol%以下，由Co、Zn、Ge、Rh、Ru或Pd所選出的1種以上為1mol%以上15mol%以下，剩餘部分為Fe及不可避免雜質。
[5]如前述[1]或[2]記載之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其中Pt為33mol%以上60mol%以下，BN與氧化物之合計為5mol%以上40mol%以下，C為1mol%以上15mol%以下，剩餘部分為Fe及不可避免雜質。
[6]如前述[1]～[5]中任一項記載之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其中氧化物係選自Si、Ti或Ta的氧化物。
[7]一種製造如前述[1]～[6]中任一項之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體之方法，其係混合金屬粉末、氧化物粉末及BN粉末，在850℃以下之溫度進行燒結。
[8]一種製造如前述[1]～[6]中任一項之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體之方法，其係混合FePt系合金粉末與氧化物粉末，形成在FePt系合金內氧化物微細分散的複合氧化物合金粉末，接著，於該複合氧化物合金粉末中添加BN粉末，形成含有BN的複合氧化物合金粉末，接著，將該含有BN的複合氧化物合金粉末在850℃以下之溫度進行燒結。
[9]一種製造如前述[1]～[6]中任一項之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體之方法，其係強混合FePt系合金粉末與氧化物粉末，形成在FePt系合金內氧化物微細分散的複合氧化物合金粉末，接著，於該複合氧化物合金粉末中添加BN粉末及進行弱混合，形成含有BN的複合氧化物合金粉末，接著，將該含有BN的複合氧化物合金粉末在850℃以下之溫度進行燒結。
[發明的效果]
本發明之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體係可提供一種高密度的濺鍍靶，其減低濺鍍時所發生的顆粒量。
依照本發明，可不需要等向熱加壓加工，僅以低溫燒結，製造高密度的濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其減低濺鍍時所發生的顆粒量。
專利文獻1及2所揭示的發明係在950℃或1100℃的高溫下燒結後藉由等向熱加壓加工，而提高Fe-Pt-SiO2 -BN燒結體的密度。燒結後的等向熱加壓加工由於增加製程數，需要等向熱加壓加工用的設備機器而繁雜。
本發明之目的在於提供一種高密度的濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其不施予等向熱加壓加工，可抑制濺鍍時之顆粒發生。
[解決課題的手段]
一般而言，已知愈提高燒結溫度，燒結體的密度愈高。然而，本發明者們確認：若使製造Fe-Pt-氧化物-BN燒結體時的燒結溫度成為以往一般的燒結溫度之950℃以上1300℃以下，則反而相對密度降低，在濺鍍中發生大量的顆粒之現象。
本發明者們對於若使製造Fe-Pt-氧化物-BN燒結體時的燒結溫度成為高溫，則反而相對密度降低之原因，進行專心致力的研究，結果得知在高溫下燒結的Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體之N含量係比理論值更降低。茲認為N含量降低之原因係因為BN與氧化物之長時間接觸及高溫燒結而BN分解，產生氮氣或氮氧化物氣體者，按照BN與氧化物之混合條件及燒結條件，找出能抑制BN之分解及氮氣或氮氧化物氣體之發生的最合適條件，終於完成本發明。
依照本發明，提供以下態樣之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。
[1]一種濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其係N相對於B之質量比N/B在1.30±0.1之範圍。
[2]如前述[1]記載之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其係以阿基米德法測定的相對密度為92.0%以上。
[3]如前述[1]或[2]記載之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其中Pt為33mol%以上60mol%以下，BN與氧化物之合計為5mol%以上40mol%以下，剩餘部分為Fe及不可避免雜質。
[4]如前述[1]或[2]記載之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其中Pt為33mol%以上60mol%以下，BN與氧化物之合計為5mol%以上40mol%以下，由Co、Zn、Ge、Rh、Ru或Pd所選出的1種以上為1mol%以上15mol%以下，剩餘部分為Fe及不可避免雜質。
[5]如前述[1]或[2]記載之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其中Pt為33mol%以上60mol%以下，BN與氧化物之合計為5mol%以上40mol%以下，C為1mol%以上15mol%以下，剩餘部分為Fe及不可避免雜質。
[6]如前述[1]～[5]中任一項記載之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其中氧化物係選自Si、Ti或Ta的氧化物。
[7]一種製造如前述[1]～[6]中任一項之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體之方法，其係混合金屬粉末、氧化物粉末及BN粉末，在850℃以下之溫度進行燒結。
[8]一種製造如前述[1]～[6]中任一項之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體之方法，其係混合FePt系合金粉末與氧化物粉末，形成在FePt系合金內氧化物微細分散的複合氧化物合金粉末，接著，於該複合氧化物合金粉末中添加BN粉末，形成含有BN的複合氧化物合金粉末，接著，將該含有BN的複合氧化物合金粉末在850℃以下之溫度進行燒結。
[9]一種製造如前述[1]～[6]中任一項之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體之方法，其係強混合FePt系合金粉末與氧化物粉末，形成在FePt系合金內氧化物微細分散的複合氧化物合金粉末，接著，於該複合氧化物合金粉末中添加BN粉末及進行弱混合，形成含有BN的複合氧化物合金粉末，接著，將該含有BN的複合氧化物合金粉末在850℃以下之溫度進行燒結。
[發明的效果]
本發明之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體係可提供一種高密度的濺鍍靶，其減低濺鍍時所發生的顆粒量。
依照本發明，可不需要等向熱加壓加工，僅以低溫燒結，製造高密度的濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其減低濺鍍時所發生的顆粒量。
[實施發明的形態]
依照本發明，提供N相對於B之質量比N/B在1.30±0.1，較佳在1.30+0.1之範圍的濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。BN(氮化硼)係與氧化物一起成為非磁性材，存在於磁性體的Fe-Pt合金相之間，構成隔壁。本發明者們調查顆粒之發生多的濺鍍靶，結果發現在Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體中，N(氮)相對於B(硼)之質量比N/B從化學計量比減少之現象。因此，認為因BN與氧化物接觸而分解，由於BN(氮化硼)分解，N作為氮氣或氮氧化物氣體脫出，BN及氧化物作為顆粒而易剝離，得知阻止BN的分解係有效於抑制顆粒發生。N相對於B之質量比N/B為1.30±0.1者，係意指大致等於B與N之化學計量比1中的質量比之1.30，抑制BN分解成B與N，N不作為氮氣及氮氧化物氣體脫出而過度減少者。
本發明之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體具有92.0%以上，較佳為94.0%以上，更佳為95.0%以上之相對密度。一般而言，由於含有BN的Fe-Pt-氧化物系燒結體係相對密度變低，故92.0%以上的相對密度可說是非常高。再者，於本案中，「相對密度」係以阿基米德法測定。
本發明之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體之組成係：Pt為33mol%以上60mol%以下，BN與氧化物之合計為5mol%以上40mol%以下，剩餘部分為Fe及不可避免雜質，或Pt為33mol%以上60mol%以下，BN與氧化物之合計為5mol%以上40mol%以下，由Co、Zn、Ge、Rh、Ru或Pd所選出的1種以上為1mol%以上15mol%以下，剩餘部分為Fe及不可避免雜質，或Pt為33mol%以上60mol%以下，BN與氧化物之合計為5mol%以上40mol%以下，C為1mol%以上15mol%以下，剩餘部分為Fe及不可避免雜質。BN及氧化物皆以超過0mol%含有，只要合計為5mol%以上40mol%以下，則可以適宜之比率含有，但BN較佳為1mol%以上30mol%，氧化物較佳為1mol%以上15mol%以下。作為氧化物，可舉出Si、Ti或Ta之氧化物，較佳為SiO、SiO2 、Si3 O2 、TiO、TiO2 、Ti2 O3 ，更佳為SiO2 、TiO2 、Ta2 O5 。
本發明之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體的Pt之含量為33mol%以上60mol%以下，較佳為33mol%以上52mol%以下，更佳為35mol%以上47mol%以下。
本發明之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體之BN與氧化物之合計含量為5mol%以上40mol%以下，較佳為5mol%以上35mol%以下，更佳為6mol%以上30mol%以下。BN之含量為1mol%以上30mol%以下，較佳為2mol%以上28mol%以下，更佳為3mol%以上25mol%以下。氧化物之含量為1mol%以上15mol%以下，較佳為2mol%以上15mol%以下，更佳為3mol%以上15mol%以下。若為上述範圍內，則作為晶界材料發揮良好的功能。
於包含由Co、Zn、Ge、Rh、Ru或Pd所選出的1種以上之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體中，該等金屬之含量為1mol%以上15mol%以下，較佳為1mol%以上13mol%以下，更佳為1mol%以上10mol%以下。若為上述範圍內，則可良好地維持Fe-Pt合金之磁特性。
含有C的濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體中的C之含量為1mol%以上15mol%以下，較佳為1mol%以上13mol%以下，更佳為1mol%以上10mol%以下。若為上述範圍內，則BN及氧化物皆作為晶界材料而發揮良好的功能，由於可使Fe-Pt合金粒子孤立，故可良好地維持Fe-Pt合金的磁特性。
本發明之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，係可藉由混合金屬粉末、氧化物粉末及BN粉末，在850℃以下，較佳在830℃以下，更佳在800℃以下，且在730℃以上，較佳在750℃以上之低溫，進行燒結而製造。金屬粉末、氧化物粉末及BN粉末之混合，例如較佳為以300rpm、30分鐘左右的弱混合進行。藉由使混合條件成為緩和，可防止BN與氧化物過剩地接觸，藉由使燒結溫度成為低溫，可抑制BN與氧化物之反應，防止BN之分解。另一方面，若混合時間過短則分散性變差，故混合時間較佳為15分鐘以上45分鐘以下。此處所謂的「金屬粉末」，就是意指除了Fe金屬粉末及Pt金屬粉末之外，還可作為本發明之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體之成分使用的由Co、Zn、Ge、Rh、Ru及Pd所選出的1種以上之各金屬粉末或此等之合金粉末。
或者，本發明之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，係可藉由混合FePt系合金粉末與氧化物粉末，形成在FePt系合金內氧化物微細分散的複合氧化物合金粉末，接著，於該複合氧化物合金粉末中添加BN粉末，形成含有BN的複合氧化物合金粉末，接著，將該含有BN的複合氧化物合金粉末在850℃以下，較佳在830℃以下，更佳在800℃以下，且在730℃以上，較佳在750℃以上之低溫，進行燒結而製造。
作為燒結前驅物之含有BN的複合氧化物合金粉末，係對於在藉由混合FePt系合金粉末與氧化物粉末而得的FePt系合金內氧化物微細分散的複合氧化物合金粉末中，混合BN粉末而形成。最初，藉由形成在FePt系合金內氧化物微細分散的複合氧化物合金粉末，可使FePt系合金與氧化物微細且均勻地分散，可防止之後所添加的BN粉末與氧化物過剩地接觸。
較佳為複合氧化物合金粉末係藉由強混合而調製，含有BN的複合氧化物合金粉末係藉由弱混合而調製。於本案中，所謂的強混合，就是指以300rpm以上的旋轉數，進行1小時以上之給予大的混合能量之混合，所謂的弱混合，就是以300rpm以下的旋轉數，進行未達1小時之給予小的混合能量之混合。強混合及弱混合的旋轉數及混合時間係在上述範圍內，可根據複合氧化物合金粉末及含有BN的複合氧化物合金粉末之組成及氧化物之所欲的分散狀態，適宜調整。例如，於得到使氧化物更均勻地分散之複合氧化物合金粉末時，較佳為以300rpm以上的旋轉數，20小時以上之強混合。旋轉數愈高，混合時間愈長，則混合能量愈大。例如，只要以400rpm的旋轉數，混合10小時以上即可。又，於複合氧化物合金粉末與BN粉末之混合中，為了更抑制BN與氧化物之反應，較佳為以300rpm以下的旋轉數，30分鐘以下之弱混合。
含有BN的複合氧化物合金粉末之燒結溫度，雖然取決於所欲的燒結體之組成，但為比以往一般的燒結溫度之900℃以上1400℃以下係相當的低溫。藉由在850℃以下，較佳在830℃以下，更佳在800℃以下，且在730℃以上，較佳在750℃以上之低溫，進行燒結，可抑制因BN與氧化物之接觸所造成的BN之分解，且可提高燒結體之密度。
再者，本發明之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體含有由Co、Zn、Ge、Rh、Ru及Pd所選出的1種以上作為追加成分時，可使該等金屬成為單質粉末或合金粉末，與Fe金屬粉末及Pt金屬粉末一起地，與氧化物粉末及BN粉末混合，或者與FePt合金粉末一起地，與氧化物粉末混合，接著混合BN粉末。
實施例
以下，藉由實施例來具體地說明本發明，惟本發明不受此等所限定。
各實施例及比較例中的N濃度及B濃度之測定方法係如以下。
[N濃度測定]
使用氧・氮分析裝置(LECO公司製TC-600，熱傳導度方式)，測定N(氮)濃度。
輸出：5200W(2842℃)
助熔劑：Ni膠囊石墨粉末0.06g Sn顆粒0.5g
測定試料質量：0.1g
校正曲線試料：Si3 N4
[B濃度測定]
以振動磨機將試料粉碎，於鹼熔解用Zr坩堝中秤量約0.1g。添加碳酸鈉約0.5g作為鹼熔解劑，以攪拌棒充分地磨碎試料與碳酸鈉後，在Zr坩堝內添加過氧化鈉約2.0g。以高頻鹼溶解裝置，加熱熔解(900℃)Zr坩堝後，放置冷卻。於Zr坩堝冷卻後，置入燒杯中，添加純水約50ml，將Zr坩堝浸漬於水中，添加濃鹽酸約20ml而成為酸性。將燒杯載置於熱板上，試料完全地溶解，加熱約1小時直在反應結束，放置冷卻。於溶液冷卻後，將溶液移到100ml量瓶，而調製1000ppm(100mg/100ml)濃度的試料溶液。將試料溶液移到塑膠瓶，稀釋25倍，而調製測定溶液。以ICP(CCD Multi-ICP發行分光分析裝置SPECTRO ARCOS)分析測定溶液，從分析結果算出B(硼)濃度(wt%)。
[相對密度]
使用純水作為置換液，以阿基米德法測定。測定試片之質量，使試片以漂浮狀態完全地沉入置換液中，測定浮力(=試片的體積)，將試片的質量(g)除以試片的體積(cm3 )，求出實測密度(g/cm3 )。其與根據燒結體之組成所計算的理論密度之比率(實測密度/理論密度)為相對密度。
[顆粒數]
將與直徑161mm、厚度4mm的Cu製背板接合的靶用燒結體(直徑153mm、厚度2mm)安裝於磁控濺鍍裝置，於輸出500W、氣體壓力1Pa下濺鍍2秒後，以顆粒計數器測定在基板上所附著的顆粒之個數。
[實施例1]
以成為Fe-35Pt-25BN-5SiO2 之方式，秤量Fe-50Pt霧化粉(平均粒徑50μm)640.00g、SiO2 粉(平均粒徑未達1μm)21.89g與BN粉(平均粒徑15μm)45.22g，最初用球磨機，以450rpm將Fe-50Pt霧化粉(平均粒徑50μm)與SiO2 粉(平均粒徑未達1μm)混合60小時(強混合)，而形成複合氧化物合金粉末。接著，於複合氧化物合金粉末中添加BN粉(平均粒徑15μm)，進一步以300rpm混合5分鐘(弱混合)，調製含有BN的複合氧化物合金粉末。
將含有BN的複合氧化物合金粉末在真空下、燒結溫度830℃、燒結壓力65.60MPa，進行燒結，得到濺鍍靶用Fe-Pt-SiO2 -BN系燒結體。以阿基米德法測定該燒結體之密度為98.3%。N/B為1.25，在理論值1.30±0.1之範圍內，顆粒數為42個之少。茲認為BN之分解係被抑制，顆粒之發生係被抑制。
再者，原材料粉末的平均粒徑為D50 之值(以下之實施例及比較例中相同)。
[實施例2～6]
除了變成表1中所示的組成及燒結溫度外，與實施例1同樣地，得到濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。表1中顯示密度、N/B及顆粒數之測定結果。密度為96%以上，N/B為1.29～1.38，在理論值1.30±0.1之範圍內，顆粒數為28個以下之少。茲認為BN之分解係被抑制，顆粒之發生係被抑制。
[實施例7]
以成為Fe-40Pt-10BN-10SiO2 之方式，秤量Fe粉(平均粒徑6μm)146.12g、Pt粉(平均粒徑1μm)510.41g、SiO2 粉(平均粒徑未達1μm)39.30g、BN粉(平均粒徑15μm) 16.23g，用球磨機，以300rpm混合30分鐘。
將混合物在真空下、燒結溫度780℃、燒結壓力65.60MPa，進行燒結，得到濺鍍靶用Fe-Pt-SiO2 -BN系燒結體。以阿基米德法測定該燒結體之密度為97.0%。N/B為1.28，在理論值1.30±0.1之範圍內，顆粒數為35個之少。茲認為BN之分解係被抑制，顆粒之發生係被抑制。
[實施例8～9]
除了將氧化物改變成TiO2 (平均粒徑2μm，實施例8)及Ta2 O5 (平均粒徑3μm，實施例9)，成為表1中所示之組成以外，與實施例7同樣地，得到濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。表1中顯示密度、N/B及顆粒數之測定結果。密度為92%以上，N/B為1.22～1.24，在理論值1.30±0.1之範圍內，顆粒數為55個以下之少。茲認為BN之分解係被抑制，顆粒之發生係被抑制。
[實施例10]
以成為Fe-35Pt-10Co-10BN-10SiO2 之方式，秤量Fe粉(平均粒徑6μm)136.16g、Pt粉(平均粒徑1μm)475.64g、Co粉(平均粒徑5μm)41.05g、SiO2 粉(平均粒徑未達1μm) 41.86g、BN粉(平均粒徑15μm)17.29g，用球磨機，以300rpm混合30分鐘。
將混合物在真空下、燒結溫度780℃、燒結壓力65.60MPa，進行燒結，得到濺鍍靶用Fe-Pt-SiO2 -BN系燒結體。以阿基米德法測定該燒結體之密度為95.6%。N/B為1.40，在理論值1.30±0.1之範圍內，顆粒數為15個之少。茲認為BN之分解係被抑制，顆粒之發生係被抑制。
[實施例11～15]
除了將追加的金屬成分改變成Zn粉(平均粒徑7μm，實施例11)、Ge粉(平均粒徑20μm，實施例12)、Rh粉(平均粒徑20μm，實施例13)、Ru粉(平均粒徑6μm，實施例14)、Pd粉(平均粒徑3μm，實施例15)，將組成及燒結溫度改變成如表1所示者以外，與實施例10同樣地，得到濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。表1中顯示密度、N/B及顆粒數之測定結果。密度為92%以上，N/B為1.20～1.35，在理論值1.30±0.1之範圍內，顆粒數為40個以下之少。茲認為BN之分解係被抑制，顆粒之發生係被抑制。
[實施例16]
以成為Fe-35Pt-10BN-10SiO2 -10C之方式，秤量Fe粉(平均粒徑6μm)144.32g、Pt粉(平均粒徑1μm)504.13g、SiO2 粉(平均粒徑未達1μm)44.36g、BN粉(平均粒徑15μm) 18.33g、C(平均粒徑10μm)8.87g，用球磨機，以300rpm混合30分鐘。
將混合物在真空下、燒結溫度780℃、燒結壓力65.60MPa，進行燒結，得到濺鍍靶用Fe-Pt-SiO2 -BN系燒結體。以阿基米德法測定該燒結體之密度為92.6%。N/B為1.26，在理論值1.30±0.1之範圍內，顆粒數為45個之少。茲認為BN之分解係被抑制，顆粒之發生係被抑制。
[比較例1]
除了將燒結溫度改變成950℃以外，與實施例1同樣地，得到濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。表1中顯示密度、N/B及顆粒數之測定結果。密度為87.6%以下之低，N/B為1.12，比理論值1.30更低0.1以上，顆粒數為220個之多。茲認為BN係分解而產生氮氣或氮氧化物氣體。
[比較例2]
除了將燒結溫度改變成950℃以外，與實施例3同樣地，得到濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。表1中顯示密度、N/B及顆粒數之測定結果。密度為83.8%以下之低，N/B為1.13，比理論值1.30更低0.1以上，顆粒數為189個之多。茲認為BN係分解而產生氮氣或氮氧化物氣體。
[比較例3]
除了將燒結溫度改變成950℃以外，與實施例5同樣地，得到濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。表1中顯示密度、N/B及顆粒數之測定結果。密度為88.1%以下之低，N/B為1.05，比理論值1.30更低0.1以上，顆粒數為128個之多。茲認為BN係分解而產生氮氣或氮氧化物氣體。
[比較例4]
除了將燒結溫度改變成950℃，將混合條件設為以300rpm進行3小時以外，與實施例7同樣地得到濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。以阿基米德法測定該燒結體之密度為89.8%之低，N/B為1.10，比理論值1.30更低0.1以上，顆粒數亦為135個之多。茲認為BN係分解而產生氮氣或氮氧化物氣體。
[比較例5]
除了將燒結溫度改變成950℃，將混合條件設為以300rpm進行3小時以外，與實施例8同樣地得到濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。表1中顯示密度、N/B及顆粒數之測定結果。密度為90.3%以下之低，N/B為1.19，比理論值1.30更低0.1以上，顆粒數為356個之非常多。茲認為BN係分解而產生氮氣或氮氧化物氣體。
[比較例6]
除了將燒結溫度改變成950℃，將混合條件設為以300rpm進行3小時以外，與實施例10同樣地得到濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。表1中顯示密度、N/B及顆粒數之測定結果。密度為88.5%以下之低，N/B為1.11，比理論值1.30更低0.1以上，顆粒數為114個之多。茲認為BN係分解而產生氮氣或氮氧化物氣體。
依照本發明，提供N相對於B之質量比N/B在1.30±0.1，較佳在1.30+0.1之範圍的濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。BN(氮化硼)係與氧化物一起成為非磁性材，存在於磁性體的Fe-Pt合金相之間，構成隔壁。本發明者們調查顆粒之發生多的濺鍍靶，結果發現在Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體中，N(氮)相對於B(硼)之質量比N/B從化學計量比減少之現象。因此，認為因BN與氧化物接觸而分解，由於BN(氮化硼)分解，N作為氮氣或氮氧化物氣體脫出，BN及氧化物作為顆粒而易剝離，得知阻止BN的分解係有效於抑制顆粒發生。N相對於B之質量比N/B為1.30±0.1者，係意指大致等於B與N之化學計量比1中的質量比之1.30，抑制BN分解成B與N，N不作為氮氣及氮氧化物氣體脫出而過度減少者。
本發明之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體具有92.0%以上，較佳為94.0%以上，更佳為95.0%以上之相對密度。一般而言，由於含有BN的Fe-Pt-氧化物系燒結體係相對密度變低，故92.0%以上的相對密度可說是非常高。再者，於本案中，「相對密度」係以阿基米德法測定。
本發明之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體之組成係：Pt為33mol%以上60mol%以下，BN與氧化物之合計為5mol%以上40mol%以下，剩餘部分為Fe及不可避免雜質，或Pt為33mol%以上60mol%以下，BN與氧化物之合計為5mol%以上40mol%以下，由Co、Zn、Ge、Rh、Ru或Pd所選出的1種以上為1mol%以上15mol%以下，剩餘部分為Fe及不可避免雜質，或Pt為33mol%以上60mol%以下，BN與氧化物之合計為5mol%以上40mol%以下，C為1mol%以上15mol%以下，剩餘部分為Fe及不可避免雜質。BN及氧化物皆以超過0mol%含有，只要合計為5mol%以上40mol%以下，則可以適宜之比率含有，但BN較佳為1mol%以上30mol%，氧化物較佳為1mol%以上15mol%以下。作為氧化物，可舉出Si、Ti或Ta之氧化物，較佳為SiO、SiO2 、Si3 O2 、TiO、TiO2 、Ti2 O3 ，更佳為SiO2 、TiO2 、Ta2 O5 。
本發明之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體的Pt之含量為33mol%以上60mol%以下，較佳為33mol%以上52mol%以下，更佳為35mol%以上47mol%以下。
本發明之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體之BN與氧化物之合計含量為5mol%以上40mol%以下，較佳為5mol%以上35mol%以下，更佳為6mol%以上30mol%以下。BN之含量為1mol%以上30mol%以下，較佳為2mol%以上28mol%以下，更佳為3mol%以上25mol%以下。氧化物之含量為1mol%以上15mol%以下，較佳為2mol%以上15mol%以下，更佳為3mol%以上15mol%以下。若為上述範圍內，則作為晶界材料發揮良好的功能。
於包含由Co、Zn、Ge、Rh、Ru或Pd所選出的1種以上之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體中，該等金屬之含量為1mol%以上15mol%以下，較佳為1mol%以上13mol%以下，更佳為1mol%以上10mol%以下。若為上述範圍內，則可良好地維持Fe-Pt合金之磁特性。
含有C的濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體中的C之含量為1mol%以上15mol%以下，較佳為1mol%以上13mol%以下，更佳為1mol%以上10mol%以下。若為上述範圍內，則BN及氧化物皆作為晶界材料而發揮良好的功能，由於可使Fe-Pt合金粒子孤立，故可良好地維持Fe-Pt合金的磁特性。
本發明之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，係可藉由混合金屬粉末、氧化物粉末及BN粉末，在850℃以下，較佳在830℃以下，更佳在800℃以下，且在730℃以上，較佳在750℃以上之低溫，進行燒結而製造。金屬粉末、氧化物粉末及BN粉末之混合，例如較佳為以300rpm、30分鐘左右的弱混合進行。藉由使混合條件成為緩和，可防止BN與氧化物過剩地接觸，藉由使燒結溫度成為低溫，可抑制BN與氧化物之反應，防止BN之分解。另一方面，若混合時間過短則分散性變差，故混合時間較佳為15分鐘以上45分鐘以下。此處所謂的「金屬粉末」，就是意指除了Fe金屬粉末及Pt金屬粉末之外，還可作為本發明之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體之成分使用的由Co、Zn、Ge、Rh、Ru及Pd所選出的1種以上之各金屬粉末或此等之合金粉末。
或者，本發明之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，係可藉由混合FePt系合金粉末與氧化物粉末，形成在FePt系合金內氧化物微細分散的複合氧化物合金粉末，接著，於該複合氧化物合金粉末中添加BN粉末，形成含有BN的複合氧化物合金粉末，接著，將該含有BN的複合氧化物合金粉末在850℃以下，較佳在830℃以下，更佳在800℃以下，且在730℃以上，較佳在750℃以上之低溫，進行燒結而製造。
作為燒結前驅物之含有BN的複合氧化物合金粉末，係對於在藉由混合FePt系合金粉末與氧化物粉末而得的FePt系合金內氧化物微細分散的複合氧化物合金粉末中，混合BN粉末而形成。最初，藉由形成在FePt系合金內氧化物微細分散的複合氧化物合金粉末，可使FePt系合金與氧化物微細且均勻地分散，可防止之後所添加的BN粉末與氧化物過剩地接觸。
較佳為複合氧化物合金粉末係藉由強混合而調製，含有BN的複合氧化物合金粉末係藉由弱混合而調製。於本案中，所謂的強混合，就是指以300rpm以上的旋轉數，進行1小時以上之給予大的混合能量之混合，所謂的弱混合，就是以300rpm以下的旋轉數，進行未達1小時之給予小的混合能量之混合。強混合及弱混合的旋轉數及混合時間係在上述範圍內，可根據複合氧化物合金粉末及含有BN的複合氧化物合金粉末之組成及氧化物之所欲的分散狀態，適宜調整。例如，於得到使氧化物更均勻地分散之複合氧化物合金粉末時，較佳為以300rpm以上的旋轉數，20小時以上之強混合。旋轉數愈高，混合時間愈長，則混合能量愈大。例如，只要以400rpm的旋轉數，混合10小時以上即可。又，於複合氧化物合金粉末與BN粉末之混合中，為了更抑制BN與氧化物之反應，較佳為以300rpm以下的旋轉數，30分鐘以下之弱混合。
含有BN的複合氧化物合金粉末之燒結溫度，雖然取決於所欲的燒結體之組成，但為比以往一般的燒結溫度之900℃以上1400℃以下係相當的低溫。藉由在850℃以下，較佳在830℃以下，更佳在800℃以下，且在730℃以上，較佳在750℃以上之低溫，進行燒結，可抑制因BN與氧化物之接觸所造成的BN之分解，且可提高燒結體之密度。
再者，本發明之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體含有由Co、Zn、Ge、Rh、Ru及Pd所選出的1種以上作為追加成分時，可使該等金屬成為單質粉末或合金粉末，與Fe金屬粉末及Pt金屬粉末一起地，與氧化物粉末及BN粉末混合，或者與FePt合金粉末一起地，與氧化物粉末混合，接著混合BN粉末。
實施例
以下，藉由實施例來具體地說明本發明，惟本發明不受此等所限定。
各實施例及比較例中的N濃度及B濃度之測定方法係如以下。
[N濃度測定]
使用氧・氮分析裝置(LECO公司製TC-600，熱傳導度方式)，測定N(氮)濃度。
輸出：5200W(2842℃)
助熔劑：Ni膠囊石墨粉末0.06g Sn顆粒0.5g
測定試料質量：0.1g
校正曲線試料：Si3 N4
[B濃度測定]
以振動磨機將試料粉碎，於鹼熔解用Zr坩堝中秤量約0.1g。添加碳酸鈉約0.5g作為鹼熔解劑，以攪拌棒充分地磨碎試料與碳酸鈉後，在Zr坩堝內添加過氧化鈉約2.0g。以高頻鹼溶解裝置，加熱熔解(900℃)Zr坩堝後，放置冷卻。於Zr坩堝冷卻後，置入燒杯中，添加純水約50ml，將Zr坩堝浸漬於水中，添加濃鹽酸約20ml而成為酸性。將燒杯載置於熱板上，試料完全地溶解，加熱約1小時直在反應結束，放置冷卻。於溶液冷卻後，將溶液移到100ml量瓶，而調製1000ppm(100mg/100ml)濃度的試料溶液。將試料溶液移到塑膠瓶，稀釋25倍，而調製測定溶液。以ICP(CCD Multi-ICP發行分光分析裝置SPECTRO ARCOS)分析測定溶液，從分析結果算出B(硼)濃度(wt%)。
[相對密度]
使用純水作為置換液，以阿基米德法測定。測定試片之質量，使試片以漂浮狀態完全地沉入置換液中，測定浮力(=試片的體積)，將試片的質量(g)除以試片的體積(cm3 )，求出實測密度(g/cm3 )。其與根據燒結體之組成所計算的理論密度之比率(實測密度/理論密度)為相對密度。
[顆粒數]
將與直徑161mm、厚度4mm的Cu製背板接合的靶用燒結體(直徑153mm、厚度2mm)安裝於磁控濺鍍裝置，於輸出500W、氣體壓力1Pa下濺鍍2秒後，以顆粒計數器測定在基板上所附著的顆粒之個數。
[實施例1]
以成為Fe-35Pt-25BN-5SiO2 之方式，秤量Fe-50Pt霧化粉(平均粒徑50μm)640.00g、SiO2 粉(平均粒徑未達1μm)21.89g與BN粉(平均粒徑15μm)45.22g，最初用球磨機，以450rpm將Fe-50Pt霧化粉(平均粒徑50μm)與SiO2 粉(平均粒徑未達1μm)混合60小時(強混合)，而形成複合氧化物合金粉末。接著，於複合氧化物合金粉末中添加BN粉(平均粒徑15μm)，進一步以300rpm混合5分鐘(弱混合)，調製含有BN的複合氧化物合金粉末。
將含有BN的複合氧化物合金粉末在真空下、燒結溫度830℃、燒結壓力65.60MPa，進行燒結，得到濺鍍靶用Fe-Pt-SiO2 -BN系燒結體。以阿基米德法測定該燒結體之密度為98.3%。N/B為1.25，在理論值1.30±0.1之範圍內，顆粒數為42個之少。茲認為BN之分解係被抑制，顆粒之發生係被抑制。
再者，原材料粉末的平均粒徑為D50 之值(以下之實施例及比較例中相同)。
[實施例2～6]
除了變成表1中所示的組成及燒結溫度外，與實施例1同樣地，得到濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。表1中顯示密度、N/B及顆粒數之測定結果。密度為96%以上，N/B為1.29～1.38，在理論值1.30±0.1之範圍內，顆粒數為28個以下之少。茲認為BN之分解係被抑制，顆粒之發生係被抑制。
[實施例7]
以成為Fe-40Pt-10BN-10SiO2 之方式，秤量Fe粉(平均粒徑6μm)146.12g、Pt粉(平均粒徑1μm)510.41g、SiO2 粉(平均粒徑未達1μm)39.30g、BN粉(平均粒徑15μm) 16.23g，用球磨機，以300rpm混合30分鐘。
將混合物在真空下、燒結溫度780℃、燒結壓力65.60MPa，進行燒結，得到濺鍍靶用Fe-Pt-SiO2 -BN系燒結體。以阿基米德法測定該燒結體之密度為97.0%。N/B為1.28，在理論值1.30±0.1之範圍內，顆粒數為35個之少。茲認為BN之分解係被抑制，顆粒之發生係被抑制。
[實施例8～9]
除了將氧化物改變成TiO2 (平均粒徑2μm，實施例8)及Ta2 O5 (平均粒徑3μm，實施例9)，成為表1中所示之組成以外，與實施例7同樣地，得到濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。表1中顯示密度、N/B及顆粒數之測定結果。密度為92%以上，N/B為1.22～1.24，在理論值1.30±0.1之範圍內，顆粒數為55個以下之少。茲認為BN之分解係被抑制，顆粒之發生係被抑制。
[實施例10]
以成為Fe-35Pt-10Co-10BN-10SiO2 之方式，秤量Fe粉(平均粒徑6μm)136.16g、Pt粉(平均粒徑1μm)475.64g、Co粉(平均粒徑5μm)41.05g、SiO2 粉(平均粒徑未達1μm) 41.86g、BN粉(平均粒徑15μm)17.29g，用球磨機，以300rpm混合30分鐘。
將混合物在真空下、燒結溫度780℃、燒結壓力65.60MPa，進行燒結，得到濺鍍靶用Fe-Pt-SiO2 -BN系燒結體。以阿基米德法測定該燒結體之密度為95.6%。N/B為1.40，在理論值1.30±0.1之範圍內，顆粒數為15個之少。茲認為BN之分解係被抑制，顆粒之發生係被抑制。
[實施例11～15]
除了將追加的金屬成分改變成Zn粉(平均粒徑7μm，實施例11)、Ge粉(平均粒徑20μm，實施例12)、Rh粉(平均粒徑20μm，實施例13)、Ru粉(平均粒徑6μm，實施例14)、Pd粉(平均粒徑3μm，實施例15)，將組成及燒結溫度改變成如表1所示者以外，與實施例10同樣地，得到濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。表1中顯示密度、N/B及顆粒數之測定結果。密度為92%以上，N/B為1.20～1.35，在理論值1.30±0.1之範圍內，顆粒數為40個以下之少。茲認為BN之分解係被抑制，顆粒之發生係被抑制。
[實施例16]
以成為Fe-35Pt-10BN-10SiO2 -10C之方式，秤量Fe粉(平均粒徑6μm)144.32g、Pt粉(平均粒徑1μm)504.13g、SiO2 粉(平均粒徑未達1μm)44.36g、BN粉(平均粒徑15μm) 18.33g、C(平均粒徑10μm)8.87g，用球磨機，以300rpm混合30分鐘。
將混合物在真空下、燒結溫度780℃、燒結壓力65.60MPa，進行燒結，得到濺鍍靶用Fe-Pt-SiO2 -BN系燒結體。以阿基米德法測定該燒結體之密度為92.6%。N/B為1.26，在理論值1.30±0.1之範圍內，顆粒數為45個之少。茲認為BN之分解係被抑制，顆粒之發生係被抑制。
[比較例1]
除了將燒結溫度改變成950℃以外，與實施例1同樣地，得到濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。表1中顯示密度、N/B及顆粒數之測定結果。密度為87.6%以下之低，N/B為1.12，比理論值1.30更低0.1以上，顆粒數為220個之多。茲認為BN係分解而產生氮氣或氮氧化物氣體。
[比較例2]
除了將燒結溫度改變成950℃以外，與實施例3同樣地，得到濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。表1中顯示密度、N/B及顆粒數之測定結果。密度為83.8%以下之低，N/B為1.13，比理論值1.30更低0.1以上，顆粒數為189個之多。茲認為BN係分解而產生氮氣或氮氧化物氣體。
[比較例3]
除了將燒結溫度改變成950℃以外，與實施例5同樣地，得到濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。表1中顯示密度、N/B及顆粒數之測定結果。密度為88.1%以下之低，N/B為1.05，比理論值1.30更低0.1以上，顆粒數為128個之多。茲認為BN係分解而產生氮氣或氮氧化物氣體。
[比較例4]
除了將燒結溫度改變成950℃，將混合條件設為以300rpm進行3小時以外，與實施例7同樣地得到濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。以阿基米德法測定該燒結體之密度為89.8%之低，N/B為1.10，比理論值1.30更低0.1以上，顆粒數亦為135個之多。茲認為BN係分解而產生氮氣或氮氧化物氣體。
[比較例5]
除了將燒結溫度改變成950℃，將混合條件設為以300rpm進行3小時以外，與實施例8同樣地得到濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。表1中顯示密度、N/B及顆粒數之測定結果。密度為90.3%以下之低，N/B為1.19，比理論值1.30更低0.1以上，顆粒數為356個之非常多。茲認為BN係分解而產生氮氣或氮氧化物氣體。
[比較例6]
除了將燒結溫度改變成950℃，將混合條件設為以300rpm進行3小時以外，與實施例10同樣地得到濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體。表1中顯示密度、N/B及顆粒數之測定結果。密度為88.5%以下之低，N/B為1.11，比理論值1.30更低0.1以上，顆粒數為114個之多。茲認為BN係分解而產生氮氣或氮氧化物氣體。
Claims (9)
- 一種濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其係N相對於B之質量比N/B在1.30±0.1之範圍。
- 如請求項1之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其係以阿基米德法測定的相對密度為92.0%以上。
- 如請求項1或2之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其中Pt為33mol%以上60mol%以下，BN與氧化物之合計為5mol%以上40mol%以下，剩餘部分為Fe及不可避免雜質。
- 如請求項1或2之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其中Pt為33mol%以上60mol%以下，BN與氧化物之合計為5mol%以上40mol%以下，由Co、Zn、Ge、Rh、Ru或Pd所選出的1種以上為1mol%以上15mol%以下，剩餘部分為Fe及不可避免雜質。
- 如請求項1或2之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其中Pt為33mol%以上60mol%以下，BN與氧化物之合計為5mol%以上40mol%以下，C為1mol%以上15mol%以下，剩餘部分為Fe及不可避免雜質。
- 如請求項1～5中任一項之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體，其中氧化物係選自Si、Ti或Ta的氧化物。
- 一種製造如請求項1～6中任一項之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體之方法，其係混合金屬粉末、氧化物粉末及BN粉末，在850℃以下之溫度進行燒結。
- 一種如請求項1～6中任一項之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體之製造方法，其係混合FePt系合金粉末與氧化物粉末，形成在FePt系合金內氧化物微細分散的複合氧化物合金粉末，接著，於該複合氧化物合金粉末中添加BN粉末，形成含有BN的複合氧化物合金粉末，接著，將該含有BN的複合氧化物合金粉末在850℃以下之溫度進行燒結。
- 一種製造如請求項1～6中任一項之濺鍍靶用Fe-Pt-氧化物-BN系燒結體之方法，其係強混合FePt系合金粉末與氧化物粉末，形成在FePt系合金內氧化物微細分散的複合氧化物合金粉末，接著，於該複合氧化物合金粉末中添加BN粉末及進行弱混合，形成含有BN的複合氧化物合金粉末，接著，將該含有BN的複合氧化物合金粉末在850℃以下之溫度進行燒結。
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