CN111836915A - 溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体 - Google Patents
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Abstract
本发明提供能够抑制溅射时的微粒产生的高密度的溅射靶用Fe‑Pt‑氧化物‑BN系烧结体。一种溅射靶用Fe‑Pt‑氧化物‑BN系烧结体，其中，N相对于B的质量比N/B在1.30±0.1的范围内。
Description
技术领域
本发明涉及溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体及其制造方法。
背景技术
FePt合金通过在高温(例如600℃以上)下进行热处理，能够具备具有高磁晶各向异性的fct(Ordered Face Centered Tetragonal，面心四方)结构，因此作为磁记录介质而受到关注。FePt系磁记录介质使用FePt系溅射靶来进行成膜，但由于溅射时产生的微粒降低产品成品率，因此要求减少微粒的产生。
提出了各种由FePt合金的磁性相和存在于该磁性相之间的非磁性相构成的Fe-Pt系溅射靶，作为非磁性相，大多使用SiO2等氧化物、BN(氮化硼)、C等。
例如，在专利文献1(日本专利第5567227号公报)中公开了“一种Fe-Pt系磁性材料烧结体，其特征在于，含有六方晶系BN和SiO2作为非磁性材料，在所述烧结体的切断面上的B或N的存在区域中存在Si和O”。具体而言，将0.5μm以上且10μm以下的Fe粉末、Pt粉末、BN粉末和SiO2粉末投入球磨机中，以300rpm的转速进行2小时的搅拌混合，在950℃、30MPa下对混合粉末进行烧结，接着，将烧结体供给至950℃、150MPa的热等静压加工，从而制造了相对密度为98.3％的Fe-Pt-SiO2-BN烧结体(实施例2)。
另外，在专利文献2(日本专利第5913620号公报)中公开了“一种含有BN的Fe-Pt系烧结体溅射靶，其特征在于，与溅射面水平的面中的六方晶BN(002)面的X射线衍射峰强度相对于与溅射面垂直的截面中的六方晶BN(002)面的X射线衍射峰强度的强度比为2以上”。具体而言，记载了将Fe-Pt合金粉末和SiO2粉末投入球磨机中，通过以300rpm的转速搅拌混合2小时来进行粉碎，使合金粉末成为板状或薄片状，然后添加BN粉末(薄片状)，使用100μm目的筛进行混合，将混合粉末在1100℃、30MPa下进行烧结，接着，将烧结体供给至1100℃、150MPa的热等静压加工，从而制造了在与溅射面垂直的截面方向上为层状结构的BN发生了取向的Fe-Pt-SiO2-BN烧结体(实施例2)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第5567227号公报
专利文献2：日本专利第5913620号公报
发明内容
发明所要解决的问题
专利文献1和2中公开的发明中，通过在950℃或1100℃的高温下进行烧结，然后进行热等静压加工，从而提高Fe-Pt-SiO2-BN烧结体的密度。由于烧结后的热等静压加工增加了制造工序数，并且需要热等静压加工用的设备机器，因此很复杂。
本发明的目的在于提供在不实施热等静压加工的情况下也能够抑制溅射时的微粒产生的高密度的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体。
用于解决问题的方法
一般来说，已知烧结温度越高，烧结体的密度越高。但是，本发明人确认了如下现象：将制造Fe-Pt-氧化物-BN烧结体时的烧结温度设定为作为以往通常的烧结温度的950℃以上且1300℃以下时，相对密度反而降低，在溅射中产生大量微粒。
本发明人深入研究了制造Fe-Pt-氧化物-BN烧结体时的烧结温度为高温时相对密度反而降低的原因，结果发现在高温下烧结后的Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体的N含量低于理论值。认为N含量下降的原因在于由于BN与氧化物的长时间接触以及高温烧结使BN分解而产生氮气或氮氧化物气体，由BN与氧化物的混合条件以及烧结条件发现了抑制BN分解以及氮气或氮氧化物气体产生的最佳条件，从而完成了本发明。
根据本发明，可提供以下方式的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体。
[1]一种溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体，其中，N相对于B的质量比N/B在1.30±0.1的范围内。
[2]如上述[1]所述的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体，其中，利用阿基米德法测定的相对密度为92.0％以上。
[3]如上述[1]或[2]所述的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体，其中，Pt为33mol％以上且60mol％以下，BN和氧化物的合计为5mol％以上且40mol％以下，余量为Fe和不可避免的杂质。
[4]如上述[1]或[2]所述的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体，其中，Pt为33mol％以上且60mol％以下，BN和氧化物的合计为5mol％以上且40mol％以下，选自Co、Zn、Ge、Rh、Ru或Pd中的1种以上为1mol％以上且15mol％以下，余量为Fe和不可避免的杂质。
[5]如上述[1]或[2]所述的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体，其中，Pt为33mol％以上且60mol％以下，BN和氧化物的合计为5mol％以上且40mol％以下，C为1mol％以上且15mol％以下，余量为Fe和不可避免的杂质。
[6]如上述[1]～[5]中任一项所述的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体，其中，氧化物选自Si、Ti或Ta的氧化物。
[7]一种制造上述[1]～[6]中任一项所述的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体的方法，其中，将金属粉末、氧化物粉末和BN粉末混合，在850℃以下的温度下进行烧结。
[8]一种制造上述[1]～[6]中任一项所述的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体的方法，其中，将FePt系合金粉末和氧化物粉末混合，形成在FePt系合金内微细分散有氧化物的复合氧化物合金粉末，接着，向该复合氧化物合金粉末中添加BN粉末，形成含有BN的复合氧化物合金粉末，接着，在850℃以下的温度下对该含有BN的复合氧化物合金粉末进行烧结。
[9]一种制造上述[1]～[6]中任一项所述的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体的方法，其中，将FePt系合金粉末和氧化物粉末强混合，形成在FePt系合金内微细分散有氧化物的复合氧化物合金粉末，接着，向该复合氧化物合金粉末中添加BN粉末并进行弱混合，形成含有BN的复合氧化物合金粉末，接着，在850℃以下的温度下对该含有BN的复合氧化物合金粉末进行烧结。
发明效果
本发明的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体能够提供减少了溅射时产生的微粒量的高密度的溅射靶。
根据本发明，仅通过低温烧结而无需热等静压加工就能够制造降低了溅射时产生的微粒量的高密度的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体。
具体实施方式
根据本发明，可提供N相对于B的质量比N/B在1.30±0.1的范围内、优选在1.30+0.1的范围内的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体。BN(氮化硼)与氧化物一起作为非磁性材料，存在于作为磁性体的Fe-Pt合金相之间，构成间壁。本发明人研究了微粒的产生较多的溅射靶，结果发现了如下现象：在Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体中，N(氮)相对于B(硼)的质量比N/B小于化学计量比。由此可以认为，因BN与氧化物接触而分解，由于BN(氮化硼)分解，N以氮气或氮氧化物气体的形式排出，BN和氧化物容易以微粒形式剥离，从而得出了以下见解：为了抑制微粒的产生，阻止BN的分解是有效的。N相对于B的质量比N/B为1.30±0.1是指，与B和N的化学计量比为1时的质量比1.30基本相等，并且抑制BN分解为B和N，N不会以氮气和氮氧化物气体的形式排出而过度减少。
本发明的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体具有92.0％以上、优选94.0％以上、更优选95.0％以上的相对密度。一般来说，由于含有BN的Fe-Pt-氧化物系烧结体的相对密度变低，因此可以说92.0％以上的相对密度非常高。需要说明的是，在本申请中，“相对密度”利用阿基米德法测定。
本发明的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体的组成为：Pt为33mol％以上且60mol％以下、BN和氧化物的合计为5mol％以上且40mol％以下、余量为Fe和不可避免的杂质；或者Pt为33mol％以上且60mol％以下、BN和氧化物的合计为5mol％以上且40mol％以下、选自Co、Zn、Ge、Rh、Ru或Pd中的1种以上为1mol％以上且15mol％以下、余量为Fe和不可避免的杂质；或者Pt为33mol％以上且60mol％以下、BN和氧化物的合计为5mol％以上且40mol％以下、C为1mol％以上且15mol％以下、余量为Fe和不可避免的杂质。含有的BN和氧化物均大于0mol％，只要合计为5mol％以上且40mol％以下，就可以以适当的比率含有，但BN优选为1mol％以上且30mol％，氧化物优选为1mol％以上且15mol％以下。作为氧化物，可以列举Si、Ti或Ta的氧化物，优选SiO、SiO2、Si3O2、TiO、TiO2、Ti2O3，更优选SiO2、TiO2、Ta2O5。
本发明的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体的Pt的含量为33mol％以上且60mol％以下，优选为33mol％以上且52mol％以下，更优选为35mol％以上且47mol％以下。
本发明的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体的BN和氧化物的合计含量为5mol％以上且40mol％以下，优选为5mol％以上且35mol％以下，更优选为6mol％以上且30mol％以下。BN的含量为1mol％以上且30mol％以下，优选为2mol％以上且28mol％以下，更优选为3mol％以上且25mol％以下。氧化物的含量为1mol％以上且15mol％以下，优选为2mol％以上且15mol％以下，更优选为3mol％以上且15mol％以下。如果在上述范围内，则作为晶界材料发挥良好的功能。
含有选自Co、Zn、Ge、Rh、Ru或Pd中的1种以上的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体中的这些金属的含量为1mol％以上且15mol％以下，优选为1mol％以上且13mol％以下，更优选为1mol％以上且10mol％以下。如果在上述范围内，则能够良好地维持Fe-Pt合金的磁特性。
含有C的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体中的C的含量为1mol％以上且15mol％以下，优选为1mol％以上且13mol％以下，更优选为1mol％以上且10mol％以下。如果在上述范围内，则能够与BN和氧化物一起作为晶界材料良好地发挥功能，使Fe-Pt合金粒子孤立，从而能够良好地维持Fe-Pt合金的磁特性。
本发明的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体可以通过如下方式制造：将金属粉末、氧化物粉末和BN粉末混合，在850℃以下，优选830℃以下，更优选800℃以下，并且730℃以上，优选750℃以上的低温下进行烧结。金属粉末、氧化物粉末和BN粉末的混合优选以例如300rpm、约30分钟的弱混合而进行。通过缓和混合条件，能够防止BN和氧化物过度接触，通过使烧结温度为低温，能够抑制BN和氧化物的反应，从而防止BN的分解。另一方面，混合时间过短时分散性变差，因此混合时间优选为15分钟以上且45分钟以下。在此，“金属粉末”是指除了Fe金属粉末和Pt金属粉末以外，还有选自可以用作本发明的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体的成分的Co、Zn、Ge、Rh、Ru和Pd中的1种以上的各金属粉末或它们的合金粉末。
或者，本发明的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体可以通过如下方式制造：将FePt系合金粉末和氧化物粉末混合，形成在FePt系合金内微细分散有氧化物的复合氧化物合金粉末，接着，在该复合氧化物合金粉末中添加BN粉末，形成含有BN的复合氧化物合金粉末，接着，将该含有BN的复合氧化物合金粉末在850℃以下、优选830℃以下、更优选800℃以下并且730℃以上、优选750℃以上的低温下进行烧结。
作为烧结前体的含有BN的复合氧化物合金粉末通过如下方式形成：将FePt系合金粉末和氧化物粉末混合，对于由此得到的FePt系合金内微细分散有氧化物的复合氧化物合金粉末，混合BN粉末。最初通过形成在FePt系合金内微细分散有氧化物的复合氧化物合金粉末，能够使FePt系合金和氧化物微细且均匀地分散，能够防止以后添加的BN粉末与氧化物过度接触。
优选复合氧化物合金粉末通过强混合来制备，含有BN的复合氧化物合金粉末通过弱混合来制备。在本申请中，强混合是指以300rpm以上的转速进行1小时以上的提供大的混合能量的混合，弱混合是指以300rpm以下的转速进行小于1小时的提供小的混合能量的混合。强混合和弱混合的转速和混合时间可以在上述范围内根据复合氧化物合金粉末和含有BN的复合氧化物合金粉末的组成和氧化物所期望的分散状态来适当地调节。例如，在得到氧化物更均匀分散的复合氧化物合金粉末的情况下，优选以300rpm以上的转速进行20小时以上的强混合。转速越高，混合时间越长，混合能量越大。例如，只要以400rpm的转速混合10小时以上即可。另外，在复合氧化物合金粉末和BN粉末的混合中，为了进一步抑制BN和氧化物的反应，优选以300rpm以下的转速进行30分钟以下的弱混合。
含有BN的复合氧化物合金粉末的烧结温度取决于所期望的烧结体的组成，但与以往一般的烧结温度900℃以上且1400℃以下相比是相当低的温度。通过在850℃以下、优选830℃以下、更优选800℃以下并且730℃以上、优选750℃以上的低温下进行烧结，能够抑制BN与氧化物的接触而引起的BN分解，并且能够提高烧结体的密度。
需要说明的是，本发明的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体含有选自Co、Zn、Ge、Rh、Ru和Pd中的1种以上作为追加成分的情况下，可以将这些金属以单质粉末或合金粉末的形式，与Fe金属粉末和Pt金属粉末一起与氧化物粉末和BN粉末混合，或者可以与FePt合金粉末一起与氧化物粉末混合，接着与BN粉末混合。
实施例
以下，通过实施例对本发明具体地进行说明，但本发明不限于以下实施例。
各实施例和比较例中的N浓度和B浓度的测定方法如以下所述。
[N浓度测定]
使用氧氮分析装置(LECO公司制造TC-600、热传导率方式)，测定N(氮)浓度。
输出：5200W(2842℃)
助熔剂：镍包石墨粉0.06g、Sn颗粒0.5g
测定试样质量：0.1g
校准曲线试样：Si3N4
[B浓度测定]
在振动研磨机中将试样粉碎，向用于碱熔解的Zr坩埚中称量约0.1g。添加约0.5g碳酸钠作为碱熔解剂，用搅拌棒充分研磨试样和碳酸钠，然后向Zr坩埚内添加约2.0g过氧化钠。用高频碱熔装置将Zr坩埚加热熔解(900℃)，然后自然冷却。Zr坩埚冷却后放入烧杯中，加入约50mL纯水将Zr坩埚浸渍在水中，添加约20mL浓盐酸调成酸性。将烧杯放在加热板上，加热约1小时直至试样完全溶解、反应结束，并自然冷却。溶液冷却后将溶液转移到100mL容量瓶中，制备1000ppm(100mg/100mL)浓度的试样溶液。将试样溶液转移到塑料瓶中，并稀释25倍，制备测定溶液。利用ICP(CCDマルチICP发光分光分析装置SPECTRO ARCOS)分析测定溶液，根据分析结果计算出B(硼)浓度(重量％)。
[相对密度]
使用纯水作为置换液，利用阿基米德法测定。测定试验片的质量，使试验片在置换液中悬浮的状态下完全沉入，测定浮力(＝试验片的体积)，将试验片的质量(g)除以试验片的体积(cm3)求出实测密度(g/cm3)。与根据烧结体的组成计算的理论密度的比率(实测密度/理论密度)为相对密度。
[微粒数]
将与直径为161mm、厚度为4mm的Cu制背板接合的靶用烧结体(直径为153mm、厚度为2mm)安装在磁控溅射装置上，在输出为500W、气压为1Pa下溅射2秒钟，然后利用微粒计数器测定了附着在基板上的微粒的个数。
[实施例1]
称量640.00g Fe-50Pt雾化粉末(平均粒径50μm)、21.89g SiO2粉末(平均粒径小于1μm)和45.22g BN粉末(平均粒径15μm)，以形成Fe-35Pt-25BN-5SiO2，首先将Fe-50pt雾化粉末(平均粒径50μm)和SiO2粉末(平均粒径小于1μm)在球磨机中以450rpm混合60小时(强混合)，从而形成复合氧化物合金粉末。接着，向复合氧化物合金粉末中添加BN粉末(平均粒径15μm)，进一步以300rpm混合5分钟(弱混合)，从而制备含有BN的复合氧化物合金粉末。
在真空下、烧结温度为830℃、烧结压力为65.60MPa下对含有BN的复合氧化物合金粉末进行烧结，得到了溅射靶用Fe-Pt-SiO2-BN系烧结体。该烧结体的利用阿基米德法测定的密度为98.3％。N/B为1.25，处于理论值1.30±0.1的范围内，微粒数少，为42个。认为抑制了BN的分解，抑制了微粒的产生。
需要说明的是，原材料粉末的平均粒径为D50的值(在以下的实施例和比较例中同样)。
[实施例2～6]
除了改变为表1中所示的组成和烧结温度以外，与实施例1同样地操作，得到了溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体。将密度、N/B以及微粒数的测定结果示于表1中。密度为96％以上，N/B为1.29～1.38，处于理论值1.30±0.1的范围内，微粒数少，为28个以下。认为抑制了BN的分解，抑制了微粒的产生。
[实施例7]
称量146.12g Fe粉末(平均粒径6μm)、510.41g Pt粉末(平均粒径1μm)、39.30gSiO2粉末(平均粒径小于1μm)和16.32g BN粉末(平均粒径15μm)，以形成Fe-40Pt-10BN-10SiO2，在球磨机中以300rpm混合30分钟。
在真空下、烧结温度为780℃、烧结压力为65.60MPa下对混合物进行烧结，得到了溅射靶用Fe-Pt-SiO2-BN系烧结体。该烧结体的利用阿基米德法测定的密度为97.0％。N/B为1.28，处于理论值1.30±0.1的范围内，微粒数少，为35个。认为抑制了BN的分解，抑制了微粒的产生。
[实施例8～9]
除了将氧化物变更为TiO2(平均粒径2μm、实施例8)以及Ta2O5(平均粒径3μm、实施例9)、并设定为表1所示的组成以外，与实施例7同样地操作，得到了溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体。将密度、N/B以及微粒数的测定结果示于表1中。密度为92％以上，N/B为1.22～1.24，处于理论值1.30±0.1的范围内，微粒数少，为55个以下。认为抑制了BN的分解，抑制了微粒的产生。
[实施例10]
称量136.16g Fe粉末(平均粒径6μm)、475.64g Pt粉末(平均粒径1μm)、41.05g Co粉末(平均粒径5μm)、41.86g SiO2粉末(平均粒径小于1μm)和17.29g BN粉末(平均粒径15μm)，以形成Fe-35Pt-10Co-10BN-10SiO2，在球磨机中以300rpm混合30分钟。
在真空下、烧结温度为780℃、烧结压力为65.60MPa下对混合物进行烧结，得到了溅射靶用Fe-Pt-SiO2-BN系烧结体。该烧结体的利用阿基米德法测定的密度为95.6％。N/B为1.40，处于理论值1.30±0.1的范围内，微粒数少，为15个。认为抑制了BN的分解，抑制了微粒的产生。
[实施例11～15]
除了将追加的金属成分变更为Zn粉末(平均粒径7μm、实施例11)、Ge粉末(平均粒径20μm、实施例12)、Rh粉末(平均粒径20μm、实施例13)、Ru粉末(平均粒径6μm、实施例14)、Pd粉末(平均粒径3μm、实施例15)、并且变更为表1所示的组成和烧结温度以外，与实施例10同样地操作，得到了溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体。将密度、N/B以及微粒数的测定结果示于表1中。密度为92％以上，N/B为1.20～1.35，处于理论值1.30±0.1的范围内，微粒数少，为40个以下。认为抑制了BN的分解，抑制了微粒的产生。
[实施例16]
称量144.32g Fe粉末(平均粒径6μm)、504.13g Pt粉末(平均粒径1μm)、44.36gSiO2粉末(平均粒径小于1μm)、18.33g BN粉末(平均粒径15μm)、8.87g C(平均粒径10μm)，以形成Fe-35Pt-10BN-10SiO2-10C，在球磨机中以300rpm混合30分钟。
在真空下、烧结温度为780℃、烧结压力为65.60MPa下对混合物进行烧结，得到了溅射靶用Fe-Pt-SiO2-BN系烧结体。该烧结体的利用阿基米德法测定的密度为92.6％。N/B为1.26，处于理论值1.30±0.1的范围内，微粒数少，为45个。认为抑制了BN的分解，抑制了微粒的产生。
[比较例1]
除了将烧结温度变更为950℃以外，与实施例1同样地操作，得到了溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体。将密度、N/B以及微粒数的测定结果示于表1中。密度低至87.6％以下，N/B为1.12，比理论值1.30低0.1以上，微粒数多，为220个。认为BN分解而产生了氮气或氮氧化物气体。
[比较例2]
除了将烧结温度变更为950℃以外，与实施例3同样地操作，得到了溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体。将密度、N/B以及微粒数的测定结果示于表1中。密度低至83.8％以下，N/B为1.13，比理论值1.30低0.1以上，微粒数多，为189个。认为BN分解而产生了氮气或氮氧化物气体。
[比较例3]
除了将烧结温度变更为950℃以外，与实施例5同样地操作，得到了溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体。将密度、N/B以及微粒数的测定结果示于表1中。密度低至88.1％以下，N/B为1.05，比理论值1.30低0.1以上，微粒数多，为128个。认为BN分解而产生了氮气或氮氧化物气体。
[比较例4]
除了将烧结温度变更为950℃、将混合条件设定为300rpm下3小时以外，与实施例7同样地操作，得到了溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体。所得到的烧结体利用阿基米德法测定的密度低至89.8％，N/B为1.10，比理论值1.30低0.1以上，微粒数多，为135个。认为BN分解而产生了氮气或氮氧化物气体。
[比较例5]
除了将烧结温度变更为950℃、将混合条件设定为300rpm下3小时以外，与实施例8同样地操作，得到了溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体。将密度、N/B以及微粒数的测定结果示于表1中。密度低至90.3％以下，N/B为1.19，比理论值1.30低0.1以上，微粒数非常多，为356个。认为BN分解而产生了氮气或氮氧化物气体。
[比较例6]
除了将烧结温度变更为950℃、将混合条件设定为300rpm下3小时以外，与实施例10同样地操作，得到了溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体。将密度、N/B以及微粒数的测定结果示于表1中。密度低至88.5％以下，N/B为1.11，比理论值1.30低0.1以上，微粒数多，为114个。认为BN分解而产生了氮气或氮氧化物气体。
表1
表1各靶的组成和物性
Claims (9)
1.一种溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体，其中，N相对于B的质量比N/B在1.30±0.1的范围内。
2.如权利要求1所述的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体，其中，利用阿基米德法测定的相对密度为92.0％以上。
3.如权利要求1或2所述的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体，其中，Pt为33mol％以上且60mol％以下，BN和氧化物的合计为5mol％以上且40mol％以下，余量为Fe和不可避免的杂质。
4.如权利要求1或2所述的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体，其中，Pt为33mol％以上且60mol％以下，BN和氧化物的合计为5mol％以上且40mol％以下，选自Co、Zn、Ge、Rh、Ru或Pd中的1种以上为1mol％以上且15mol％以下，余量为Fe和不可避免的杂质。
5.如权利要求1或2所述的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体，其中，Pt为33mol％以上且60mol％以下，BN和氧化物的合计为5mol％以上且40mol％以下，C为1mol％以上且15mol％以下，余量为Fe和不可避免的杂质。
6.如权利要求1～5中任一项所述的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体，其中，氧化物选自Si、Ti或Ta的氧化物。
7.一种制造权利要求1～6中任一项所述的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体的方法，其中，将金属粉末、氧化物粉末和BN粉末混合，在850℃以下的温度下进行烧结。
8.一种制造权利要求1～6中任一项所述的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体的方法，其中，将FePt系合金粉末和氧化物粉末混合，形成在FePt系合金内微细分散有氧化物的复合氧化物合金粉末，接着，向该复合氧化物合金粉末中添加BN粉末，形成含有BN的复合氧化物合金粉末，接着，在850℃以下的温度下对该含有BN的复合氧化物合金粉末进行烧结。
9.一种制造权利要求1～6中任一项所述的溅射靶用Fe-Pt-氧化物-BN系烧结体的方法，其中，将FePt系合金粉末和氧化物粉末强混合，形成在FePt系合金内微细分散有氧化物的复合氧化物合金粉末，接着，向该复合氧化物合金粉末中添加BN粉末并进行弱混合，形成含有BN的复合氧化物合金粉末，接着，在850℃以下的温度下对该含有BN的复合氧化物合金粉末进行烧结。
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