TW201833395A - 含有色素之經氧皮鋁處理的電漿指示器 - Google Patents
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Abstract
本發明之課題在於避免源自腔室內之印墨組成物的污染。上述課題之解決手段係提供一種含有色素之經氧皮鋁處理的電漿指示器，係在經陽極氧化處理而形成之細孔內含有色素而成者。
Description
本發明關於電漿指示器。
在病院、研究所等所使用之各種器材、器具等，為了消毒及殺菌而實施滅菌處理。該滅菌處理之一者已知有電漿滅菌處理。
詳細而言，電漿滅菌處理係在電漿產生用氣體環境下產生電漿，藉由低溫氣體電漿將各種器材、器具等滅菌者，在可低溫滅菌處理之觀點而言為有利者。
又，電漿處理不僅是用在滅菌處理，亦使用在半導體元件之製造步驟中之電漿乾式蝕刻及電子零件等之被處理物表面之電漿洗淨。
電漿乾式蝕刻一般而言，係對配置在真空容器之反應腔室內的電極施加高頻率電力，將導入於反應腔室內之電漿產生用氣體電漿化而高精度地蝕刻半導體晶圓。又，電漿洗淨係藉由除去在電子零件等之被處理物表面析出或附著之金屬氧化物、有機物、毛邊等，而改善黏結性或焊接之潤濕性，提高接著強度，或改善與密封樹脂 之密著性或潤濕性。
就檢測此等電漿處理終點的方法而言，已知有如專利文獻1所記載，於基材上塗佈含有色素、特定界面活性劑、非離子系界面活性劑之印墨組成物，將此置於反應腔室等之中的技術。
[特許文獻1]日本特開2015-013982號公報
上述方法在可簡單、確實地檢測進行電漿處理之反應腔室內的電漿之照射，且能以目視確認電漿處理之進行的觀點而言為優異者。
然而，在進行電漿處理之腔室內，藉由印墨組成物所形成之皮膜存在時，會因為電漿處理條件等，使得色素、界面活性劑及視情形之展色劑亦受到電漿處理，無法否定一部分有氣體化之可能性。
由於一部分氣體化，有可能在進行電漿處理之腔室內產生污染物質，因此被處理之物品必須避免因如此之污染物質所致的污染。
本發明人等為解決上述課題，進行專心研究之結果，發現設為特定構造之電漿指示器可解決上述課 題，進而完成本發明。
具體如下所述。
1.一種含有色素之經氧皮鋁處理的電漿指示器，係在經陽極氧化處理而形成之細孔內含有色素而成者。
2.如第1項所述之含有色素之經氧皮鋁處理的電漿指示器，其中，色素係選自由蒽醌系色素、次甲基系色素、偶氮系色素、酞菁系色素、三苯基甲烷系色素、食用色素及二苯并哌喃系色素所構成之群中的至少1種。
3.如第1或2項所述之含有色素之經氧皮鋁處理的電漿指示器，其中，該細孔為經封孔處理而成者。
依據本發明，在進行電漿處理之腔室內，藉由放置於電漿環境下，可確實地使指示器變色/消色，故可正確地顯示電漿處理已經被執行一事。
此時，指示器之變色/消色條件可藉由細孔之大小或封孔處理之程度而調整。
再者，界面活性劑等之色素以外的成分、特別是有機化合物係不存在，且色素不會存在於基材表面而是存在於細孔內，故在電漿處理時，不會引起色素以外之成分等的氣化，可更降低因此所致之電漿處理的對象物污染之機率。
1‧‧‧鋁成形體
2‧‧‧陽極氧化處理皮膜
3‧‧‧細孔
4‧‧‧色素
第1圖係在鋁成形體表面之細孔中含有色素之步驟的示意圖。
本發明之電漿指示器係藉由將鋁基板進行氧皮鋁處理，預先形成細孔，然後，在其細孔內含有色素，繼而，不進行或進行封孔處理從而獲得者。
以下，說明本發明之電漿指示器的製造方法。
[基板之氧皮鋁處理]
使用在本發明中之基板，可為僅由鋁所構成之材料，但亦可為一般稱為鋁合金之材料(例如Al-Mn系合金、Al-Mg系合金、Al-Mg-Si系合金等)，只要為經陽極氧化處理而形成細孔之材料即可。又，亦可為鋁材料本身與其他金屬合金化，已經被著色之材料。以下，稱為鋁成形體。
基板之形狀可為板狀、棒狀、線狀、箔狀等，亦可為與其他材料(金屬、塑膠、黏著劑等)形成複合材料。例如，亦可為在板狀或箔狀之基板的背側隔著樹脂膜層形成接著劑層而成者。此時，使用時，可將指示器固定於任意的位置。又，鋁成形體係可經過研磨、蝕刻、緞光加工(stain finish)/平光加工(gloss finish)等前處理。
在陽極氧化處理前，將鋁成形體藉由公知之手段例如浸漬於氫氧化鈉水溶液中預定的時間，進行水洗來脫脂。
氧皮鋁處理一般係與用以對鋁成形體表面(鋁材料)賦予耐蝕性及裝飾性所進行之處理相同，必須為可對陽極氧化處理皮膜形成細孔之處理。
使鋁成形體與陽極氧化處理裝置之陽極進行電性接觸 而與該陽極及陰極一起浸漬於電解液中，藉由在前述陽極與陰極之間通電，而在前述鋁成形體形成陽極氧化處理皮膜。通電並不限定於直流電，亦可為交流或脈衝波形之電流等其他以往公知的方法。
此時所使用之電解液較佳係使用含有硫酸、馬來酸、丙二酸、草酸之至少任一者的電解液之3至30重量%溶液。雖不特別限定於此等，惟當為反映出鋁之顏色的銀色之情形時，以硫酸為較佳，為金色之情形時，以草酸為佳。又，電解溫度設為0至40℃、電流密度設為0.5至3.0A/dm2，進行5分鐘至1小時的陽極氧化處理。
此外，此時，藉由在電解液中添加金屬離子，可得到並非反映出鋁之顏色的銀色的著色氧皮鋁處理表面。例如，添加銅離子時係獲得著色成綠色之氧皮鋁皮膜。
生成之細孔係例如第1圖(a)所示，形成為細孔3，該細孔3為朝形成在鋁成形體1之表面的陽極氧化處理皮膜2之深度方向延伸之長柱狀空間。但是，相對於鋁成形體表面，不限於如圖所示形成直角者，實際上可顯示彎曲、分歧等不規則形狀。該細孔3之開口部之直徑係可藉由陽極氧化處理條件任意地調整，但在本發明中依據其步驟而生成之陽極氧化處理皮膜的細孔，其開口部之直徑為5至300nm，較佳係5nm至50nm，更佳係8至50nm。若大於300nm，難以使陽極氧化處理皮膜成為均勻的皮膜，而未達5nm之多孔質皮膜則係不易獲得。
又，細孔3之長度無特別限定，但只要為將著色所需 要的量之色素充分地置入細孔內之必要長度即可，因此，為從鋁表面朝向厚度方向2至50μm之長度，較佳係3至40μm，更佳係3至20μm。
在著色氧皮鋁處理、或無著色之氧皮鋁處理後，就進一步形成著色皮膜之目的而言，可施予二次電.解處理。二次電解處理係在含有金屬離子之水溶液中浸漬經氧皮鋁處理之鋁成形體而進行電解處理者。例如，可採用含有鎳、銀、銅等離子之水溶液，而以源自此等離子所還原之金屬的顏色進行著色。
藉由二次電解處理，從形成在著色或無著色之氧皮鋁表面之細孔3的底面至內面產生金屬之析出，形成源自金屬之著色皮膜。
二次電解處理係在含有金屬離子之電解浴中浸漬經氧皮鋁處理之鋁，以該氧皮鋁處理皮膜作為電極，且亦浸漬另一電極，於此等之電極使交流或脈衝波形之電流等進行通電藉此來進行者。
藉由任意地進行此等處理，可從著色經氧皮鋁處理之鋁與無著色經氧皮鋁處理之鋁進行選擇，再者可選擇有無二次電解處理，故可從合計4種之氧皮鋁處理基板進行選擇、採用而作為本發明中用色素著色前的氧皮鋁基板。
藉由進行著色氧皮鋁處理、及/或進行二次電解處理，可將經處理之鋁基板的表面之顏色設為綠、黃、紅等其他顏色，而非反映出鋁之顏色的銀色。結果，相對於色素之顏色，可以目視更容易地確認電漿處理。
[色素]
在本發明中使用之色素必須可將鋁之陽極氧化處理被膜染色，且經電漿照射而消色或變色者。如此之色素係使用選自蒽醌系色素、次甲基系色素、偶氮系色素、酞菁系色素、三苯基甲烷系色素、二苯并哌喃系色素、食用色素所構成之群中的至少1種。
蒽醌系色素只要為使蒽醌作為基本骨架者，則無限定，亦可使用公知之蒽醌系分散染料等。其中，特佳為具有胺基之蒽醌系色素。更佳係具有第一胺基及第二胺基之至少1種胺基之蒽醌系色素。此時，各胺基可具有2個以上，此等可為互為相同種或相異。
更具體而言，可舉例如1,4-二胺基蒽醌(C.I.Disperse Violet 1)、1-胺基-4-羥基-2-甲基胺基蒽醌(C.I.Disperse Red 4)、1-胺基-4-甲基胺基蒽醌(C.I.Disperse Violet 4)、1,4-二胺基-2-甲氧基蒽醌(C.I.Disperse Red 11)、1-胺基-2-甲基蒽醌(C.I.Disperse Orange 11)、1-胺基-4-羥基蒽醌(C.I.Disperse Red 15)、1,4,5,8-四胺基蒽醌(C.I.Disperse Blue 1)、1,4-二胺基-5-硝基蒽醌(C.I.Disperse Violet 8)、C.I.Disperse Blue 7等(括弧內為色彩索引名)。
另外亦可使用已為人所知之C.I.Solvent Blue 14、C.I.Solvent Blue 35、C.I.Solvent Blue 63、C.I.Solvent Violet 13、C.I.Solvent Violet 14、C.I.Solvent Red 52、C.I.Solvent Red 114、C.I.Vat Blue 21、C.I.Vat Blue 30、C.I.Vat Violet 15、C.I.Vat Violet 17、C.I.Vat Red 19、 C.I.Vat Red 28、C.I.Acid Blue 23、C.I.Acid Blue 80、C.I.Acid Violet 43、C.I.Acid Violet 48、C.I.Acid Red 81、C.I.Acid Red 83、C.I.Reactive Blue 4、C.I.Reactive Blue 19、C.I.Disperse Blue 7、Sanodye Blue 2LW、Sanodye Blue G等色素。
此等蒽醌系色素可單獨或併用2種以上。又，在本發明中，藉由改變此等蒽醌系色素的種類(分子結構等)，亦可控制檢測敏感度。
次甲基系色素只要為具有次甲基之色素即可。因此，在本發明中，聚次甲基系色素、花青系色素等亦包含於次甲基系色素。此等可從公知或市售之次甲基系色素適當採用。具體而言，可舉例如：C.I.Basic Red 12、C.I.B asic Red 13、C.I.Basic Red 14、C.I.Basic Red 15、C.I.Basic Red 27、C.I.Basic Red 35、C.I.Basic Red 36、C.I.Basic Red 37、C.I.Basic Red 45、C.I.Basic Red 48、C.I.Basic Yellow 11、C.I.Basic Yellow 12、C.I.Basic Yellow 13、C.I.Basic Yellow 14、C.I.Basic Yellow 21、C.I.Basic Yellow 22、C.I.Basic Yellow 23、C.I.Basic Yellow 24、C.I.Basic Violet 7、C.I.Basic Violet 15、C.I.Basic Violet 16、C.I.B asic Violet 20、C.I.Basic Violet 21、C.I.Basic Violet 39、C.I.Basic Blue 62、C.I.Basic Blue 63、Sanodye Yellow 3GL等。此等可為1種或併用2種以上。
偶氮系色素係只要為具有偶氮基-N=N-作為發色團者則無限定。可舉例如單偶氮色素、聚偶氮色 素、金屬錯鹽偶氮色素、二苯乙烯偶氮色素、噻唑偶氮色素等。更具體而言，若以色彩索引名表示，可舉例如：C.I.Solvent Red 1、C.I.Solvent Red 3、C.I.Solvent Red 23、C.I.Disperse Red 13、C.I.Disperse Red 52、C.I.Disperse Violet 24、C.I.Disperse Blue 44、C.I.Disperse Red 58、C.I.Disperse Red 88、C.I.Disperse Yellow 23、C.I.Disperse Orange 1、C.I.Disperse Orange 5、C.I.Disperse Red 167：1、C.I.Acid Red 18、C.I.Acid Yellow 23、Sanodure Fast Gold L、Sanodure Orange G、Sanodye Red GLW、Sanodal Red B3LW、Sanodure Bordeaux RL、Sanodure Violet CLW、Sanodure Green LWN、Sanodye Brown R、Sanodure Bronze 2LW、Sanodure Fast Bronze L、Sanodure Brown GSL、Sanodure Grey NL liquid、Sanodal Black 2LW、Sanodal Deep Black MLW、Sanodal Black GL Paste、Sanodure Fiery Red ML、Sanodye Golden Orange RLW、Sanodye Red RLW等。此等可為1種或併用2種以上。
酞菁系色素係只要為具有酞菁結構之色素則無限定。可舉例如藍色之銅酞菁、呈現更藍綠色的無金屬酞菁、綠色之高氯化酞菁、呈現更黃綠色的低氯化酞菁(溴化氯化銅酞菁)等。
具體而言，可舉例如：C.I.Direct Blue 86、C.I.Direct Blue 87、C.I.Basic Blue 140、C.I.Solvent Blue 70、Sanodal Turquoise PLW Liquid等。
除了上述一般的酞菁系色素以外，亦可利用具有鋅、 鐵、鈷、鎳、鉛、錫、錳、鎂、矽、鈦、鈀、鋁、銥、鉑及釕之至少1種作為中心金屬，並且此等中心金屬與酞菁配位之化合物、在上述中心金屬進一步鍵結有氧或氯之狀態下與酞菁配位之化合物等。
三苯基甲烷系色素係只要為具有三苯基甲烷結構之色素則無限定。可舉例如：C.I.Acid Blue 90、C.I.Acid Green 16、C.I.Acid Violet 49、C.I.Basic Red 9、C.I.Basic Blue 7、C.I.Acid Violet 1、C.I.Direct Blue 41、C.I.Mordant Blue 1、C.I.Mordant Violet 1、C.I.Acid Blue 9等。此等之三苯基甲烷系色素可為1種或併用2種以上。
二苯并哌喃系色素係只要為具有二苯并哌喃結構之色素則無限定。可舉例如C.I.Acid Yellow 74、C.I.Acid Red 52、C.I.Acid Violet 30、C.I.Basic Red 1、C.I.Basic Violet 10、C.I.Mordant Red 27、C.I.Mordant Violet 25等。此等之二苯并哌喃系染料可為1種或併用2種以上。
食用色素係可併用食用紅色2號、食用紅色3號、食用紅色102號、食用紅色104號、食用紅色105號、食用紅色106號、食用黃色4號、食用黃色5號、食用綠色3號、食用藍色1號、食用藍色2號等。
在本發明中，亦可併用上述色素以外之色素或顏料。又，亦可使用不確定是否包含於上述之任一者之色素(ALFAST RED MF-301B、TAC RED BRL(任一者均為商品名))。特別是，亦可含有在電漿環境下不會變色之 色素成分(稱為「非變色色素」)。藉此，可使某顏色至其他顏色的色調變化更明確化，可使變色之辨識效果更提高。非變色色素係可使用公知之色素，如以商品名TAC BLACK-HG及Sanodal Gold 4N所示之染料。此時之非變色色素的含量係依照其非變色色素之種類等而可適當地設定。
然而，為了在本發明中作為指示器，在藉由上述色素著色後至使用前為止之通常期間必須不會變色或消色，而依據上述色素則不會變色或消色，著色之經時安定性為良好者。
[對經陽極氧化處理之著色或無著色鋁成形體表面、或進一步經二次電解處理之鋁成形體表面的色素之應用]
藉由上述手段於鋁成形體表面形成細孔後，在其細孔內置入上述色素。
為此，將上述色素溶解於水或有機溶劑而調製色素溶液，在其中浸漬藉由上述手段形成細孔而成之鋁成形體。
浸漬條件可設為2至30分鐘，溫度30至70℃，色素溶液中之色素濃度設為1g/1L至20g/1L。浸漬後進行水洗/乾燥。
藉由如此之處理，如第1圖(b)所示，於細孔內導入色素4。色素有愈接近細孔開口部愈多被固定，愈朝細孔之底部愈少量被固定之傾向。依其後之情形，亦可進行封孔處理而使細孔之上部的孔開口部變窄。
[指示器之構造]
本發明之指示器係形成例如任意大小的板狀或箔狀之外觀。在其板狀之一面的至少一部分形成被染料著色之部分。例如可設成下述表面：在長方形板狀的基板之一面之中心部分以染料著色成圓形，其周圍不以染料著色，再進行著色或無著色氧皮鋁處理，進一步依需要進行二次電解處理而形成之表面。
但是，例如染色成圓形時，係必須在染色步驟前於基板表面設置僅使圓形部分殘留而遮掩其他部分之遮掩構件。
該遮掩構件係可於染色步驟之後除去，亦可不除去而以殘留之狀態作為指示器之一部分使用。以殘留之狀態使用時，以儘可能不會污染電漿處理裝置內之方式，而以具有即使在電漿處理環境下不會分解之耐電漿性的樹脂層作為遮掩構件、或以另一金屬片進行遮掩。又，不除去遮掩構件而作為指示器使用時，為了確認變色之程度，視情況亦有必須除去附著於該遮掩構件表面染料之情形。
不除去遮掩構件而作為指示器使用時，為了提高作為指示器之辨識性，較佳為以相對於經染料染色後之狀態的顏色及染料被分解除去後之狀態的基材之顏色之兩者可充分地確認顏色差異之顏色，且以不會因電漿而變色之材料來對遮掩構件進行著色。
[指示器之用途]
本發明之指示器只要為使用電漿產生用氣體之電漿處 理則可適用於任一處理。亦即，可適用於減壓電漿處理及大氣壓電漿處理之兩者。
減壓電漿處理之具體例可舉例如：液晶顯示器等之平板顯示器的洗淨、表面改質等之用途；在半導體製造步驟中之製膜、灰化、洗淨、表面改質等之用途；封裝基板或印刷電路基板之洗淨、表面改質等之用途；醫療器具等之殺菌用途；封裝零件之洗淨、表面改質等之用途等。
又，大氣壓電漿處理之具體例可舉例如：液晶顯示器等之平板顯示器的製膜、灰化、洗淨、表面改質等之用途；封裝基板或印刷電路基板之洗淨、表面改質等之用途；汽車、飛機零件等之表面改質用途、醫療領域(齒科或外科)之消毒、殺菌、滅菌、治療等之用途等。
減壓電漿產生用氣體只要為可藉由在減壓下施加交流電壓、脈衝電壓、高頻率、微波等而產生電漿之氣體則無限定，可舉例如：氧、氮、氫、氯、過氧化氫、氦、氬、矽烷、氨、溴化硫、水蒸氣、氧化亞氮、四乙氧基矽烷、四氟化碳、三氟甲烷、四氯化碳、四氯化矽、六氟化硫、四氯化鈦、二氯矽烷、三甲基鎵、三甲基銦、三甲基鋁等。此等減壓電漿產生用氣體可單獨或混合2種以上而使用。
大氣壓電漿產生用氣體只要為可藉由大氣壓下施加交流電壓、脈衝電壓、高頻率、微波等產生電漿之氣體則無限定，可舉例如：氧、氮、氫、氬、氦、空氣等。此等大氣壓電漿產生用氣體可單獨或混合2種以上而使用。
使用本發明之指示器時，具體而言，在使用電漿產生用氣體之電漿處理裝置(具體而言，藉由在含有電漿產生用氣體之環境下施加交流電壓、脈衝電壓、高頻率、微波等來產生電漿，進行電漿處理之裝置)之內部或收容於該內部之被處理物放置本發明指示器，曝露於電漿處理環境下即可。此時，藉由放置於裝置內之指示器的變色可檢測已經進行之預定電漿處理。
本發明之指示器可直接作為指示器卡片使用。此時，若將變色層之形狀設為公知之條碼形狀，設定為在預定之電漿處理完成後之階段(變色之程度)成為可經由條碼讀取器讀取之條件，則可藉由條碼將電漿處理之完成與其後之電漿處理物的物流管理進行統一管理。本發明可應用於使用如此之用途的指示器、電漿處理管理方法及物流管理方法。
本發明之指示器可收納於氣體穿透性包裝體之內面。
氣體穿透性包裝體較佳係可以於其中封入被處理物之狀態直接電漿處理之包裝體。此係可使用作為電漿處理用包裝體(袋)之公知或市售者。例如可適當使用由聚乙烯系繊維(聚乙烯合成紙)所形成之包裝體。在該包裝體置入被處理物，將開口部藉由熱密封等密閉後，可在電漿處理裝置中連同包裝體整個進行處理。
此等情形之外，亦可配置於上述包裝體之內面。配置之方法無限定，接著劑、熱密封等方法外，亦 可藉由將本發明之指示器直接塗佈或印刷於包裝體之內面，而構成指示器。又，以上述塗佈或印刷進行時，亦可在包裝體之製造階段形成指示器。
接著，為了可使指示器從外部進行確認，較佳為在包裝體之一部分設置透明窗部。例如，只要以透明片與前述聚乙烯合成紙製作包裝體，並且在可經由其透明片辨識之位置設置指示器即可。
使用收納本發明之指示器而成之包裝體進行電漿處理時，例如可採用具有下述步驟之方法：在包裝體裝填被處理物之步驟、將裝填有被處理物之包裝體密封之步驟、及將該包裝體放置於電漿處理環境下之步驟。更具體而言，將被處理物置入包裝體後，依據熱密封等公知方法進行密封。然後，連同其包裝體整個配置於電漿處理環境下。例如，配置於公知或市售之電漿處理裝置的處理室，進行處理。處理完成後，將包裝體整個取出，至使用時為止可直接保管在包裝體內。此時，電漿處理較佳係至指示器之變色層變色為止將包裝體放置在電漿處理環境下。
[指示器之製作]
(脫脂步驟)
準備JIS A1050製鋁成形體，將此浸漬於50℃、6.5%氫氧化鈉水溶液3分鐘，進行水洗，進一步浸漬於室溫10%硝酸3分鐘並進行中和，以離子交換水洗淨進行脫脂。
(陽極氧化處理步驟)
準備15%硫酸作為電解液，在該電解液中浸漬經脫脂之鋁成形體，藉由直流定電流電解法進行電解。採用碳板作為相對電極。
在電解時，電流密度為1.0A/dm2，浴溫為20℃，電解時間為40分鐘。
(染色步驟)
在使用表1所示之染料而獲得之染料濃度5g/L、pH 5.5、溫度50℃的染料溶液中浸漬經陽極氧化處理之鋁成形體10分鐘。可藉由變更染料濃度、pH、浸漬時之溫度及時間，調整因染色所致之顏色的濃度。
又，亦可變更陽極氧化步驟中之電解條件，而調整因染色所致之顏色的濃度。
[高頻率電漿處理]
將藉由上述之步驟作成的指示器設置於電漿處理裝置內。
其後，依下述條件，僅使用O2氣體、及使用O2氣體與CF4氣體之混合氣體產生電漿，以指示器檢測電漿。
(高頻率O2電漿處理條件)
使用平行平板型高頻率電漿裝置BP-1(Samco股份有限公司製)，將O2氣體以10ml/min供給，同時在100Pa之氣壓下，電極間距離設為50mm，以100W進行30分鐘之電漿處理。
(微波O2電漿處理條件)
使用微波電漿裝置(TMP-0063(東芝股份有限公司製))，使O2氣體在2.5Torr之氣壓下，供給1kW之電力，初期減壓為0.95Torr，初期溫度設為30至33℃，進行30分鐘之電漿處理。
(高頻率O2/CF4電漿處理條件)
使用平行平板型高頻率電漿裝置BP-1(Samco股份有限公司製)，一邊將O2氣體以10ml/min、CF4氣體以5ml/min供給，一邊在100Pa之氣壓下，電極間距離設為50mm，以100W進行30分鐘之電漿處理。
[評價]
(電漿檢測時之色變化)
將檢測電漿之前後的顏色以目視確認。
(變色性能)
使檢測電漿之步驟的前後之指示器併排，以目視確認變色之程度。
可以目視確認變色者‧‧‧‧○
無法以目視確認變色者‧‧‧×
(變色性能之經時變化)
將指示器在50℃放置4週後，進行上述變色性能之評價。
可確認出與初期不變之變色性能者‧‧‧‧‧‧‧○
變色性能自初期起降低，但可確認出變色者‧‧‧△
無法確認經時變化者‧‧‧‧‧‧‧‧‧‧‧‧-
在實施例1至19中，將經各種氧皮鋁處理 之基板且經各種染料染色者使用於電漿之檢測。
比較例1至5係將經過各種氧皮鋁處理但不以染料進行染色、或以無機鹽染料染色者使用於電漿處理。
依據上述之表1的實施例1至19，使用藉染料染色之鋁板時，可檢測出由高頻率及微波所致之電漿之任一者而變色。
另一方面，若為不以染料進行染色、或以無機鹽染料染色後之比較例1至5，則皆無變色。
又，若為實施例1至19，沒有任何物質從鋁成形體釋出至電漿環境中之形跡。
實施例1至19之基板在氧皮鋁處理前、或著色之各步驟的中途可使用市售的遮掩材料而賦予適當圖型，而可提高指示器之設計性。使用奥野製藥工業(股)製Topresist 1000作為遮掩材料時，不除去遮掩材料而採用作為指示器之構成的一部分時，亦看不出因電漿處理所致的不良影響。
Claims (3)
- 一種含有色素之經氧皮鋁處理的電漿指示器，係在經陽極氧化處理而形成之細孔內含有色素而成者。
- 如申請專利範圍第1項所述之含有色素之經氧皮鋁處理的電漿指示器，其中，色素係選自由蒽醌系色素、次甲基系色素、偶氮系色素、酞菁系色素、三苯基甲烷系色素、食用色素及二苯并哌喃系色素所構成之群中的至少1種。
- 如申請專利範圍第1或2項所述之含有色素之經氧皮鋁處理的電漿指示器，其中，該細孔為經封孔處理而成者。
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