TWI777961B - 電漿處理檢測用組成物及電漿處理檢測用指示劑 - Google Patents
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Abstract
提供一種靈敏度高之電漿處理檢測用組成物及電漿處理檢測用指示劑。
本發明係一種電漿處理檢測用組成物，其係含有第1色素及變色促進劑；該第1色素係選自偶氮、蒽醌、次甲基、及呫噸所成群中1種以上；該變色促進劑係促進該第1色素在電漿處理環境下變色，其特徵係前述變色促進劑，係含有1種以上之化合物，該化合物係由包含2個苯環以單鍵或連接基連結之化學構造的化學構造式所表示，前述連接基，係藉由2個或3個之單鍵以直鏈連結而使2個苯環連結者。
Description
本發明係關於一種電漿處理檢測用組成物及電漿處理檢測用指示劑。又，本說明書中之電漿處理，係意指利用電漿進行電漿處理，且該電漿係使用電漿產生用氣體，施加交流電壓、脈衝電壓，高週波，微波等所產生之電漿，相當減壓電漿及大氣壓電漿兩者。
病院、研究所等中所使用之各種器材、器具等，為了消毒及殺菌必須施予滅菌處理。此滅菌處理中的一種係以公知的電漿滅菌處理(例如，非專利文獻1之「3.3.1使用低壓力放電電漿之滅菌實驗」欄)。
詳細而言，電漿滅菌處理，係在電漿產生用氣體環境下產生電漿，藉由低溫氣體電漿將器材、器具等滅菌，因可低溫滅菌處理之優點而有利。
此外，電漿處理，不僅係可進行滅菌處理，亦可在半導體元件之製造步驟中用作將電漿乾式蝕刻及電子元件等之被處理物的表面電漿洗淨者。
電漿乾式蝕刻，一般而言，以配置於真空容器之反應室內的電極施加高週波電力，使導入至反應室內之電漿產生用氣體電漿化，從
而高精度地蝕刻半導體晶圓。此外，電漿洗淨，係藉由將電子元件等之被處理物的表面所析出或附著之金屬氧化物、有機物，突起等去除，改善黏合性或焊料潤濕性而提升接著強度，改善與密封樹脂之間的密著性或潤濕性。
檢測此等之電漿處理之終點的方法，例如，專利文獻1記載「一種電漿乾式蝕刻之終點檢測方法，其係使用從氣體電漿中之發光光譜以光電倍增管將波長範圍300~650nm之波段全部受光所得發光光譜強度曲線者」。
此外，專利文獻2記載「一種電漿處理之終點檢測方法，其係包含：透過步驟，使用改變從監視僅某特定波長區域選擇性透過之帶通濾光的電漿光源之入射角度的入射角變化手段使透過波長變化；檢測步驟，以檢測器檢測此透過步驟所透過之分光；及演算輸出步驟，藉由輸入此檢測步驟之檢測器的檢測輸出及前述透過步驟之入射角變化手段之角度輸出，以具備即使入射角度變化仍可使透過波長之檢測輸出係入射角度未變化所得之值的波長變換手段、輸出補正手段之演算輸出裝置將反應中與反應前比較演算，而以輸出裝置將電漿處理之終點輸出」。惟如此之終點檢測方法，除了必須具有發光光譜之解析裝置、演算輸出裝置等之大型裝置外，亦難以將電漿處理之被處理物分別進行個別檢測。
其他，雖至今已有多數之電漿處理檢測用油墨組成物或電漿處理檢測用指示劑被提案，但高靈敏度之點並不充分者極多，現在仍留有改善之餘地。
【專利文獻1】日本特開平6-069165號公報
【專利文獻2】日本特開2004-146738號公報
【非專利文獻1】Journal of Plasma and Fusion Research Vol.83, No.7 July 2007
鑒於上述之情事，本發明之目的係提供一種高靈敏度之電漿處理檢測用組成物及電漿處理檢測用指示劑。
本發明者為了解決上述課題而重複深入研究之結果，發現利用所定之色素與變色促進劑之組合，可高靈敏度地檢測電漿處理之有無，從而完成本發明。
亦即，本發明係關於〔1〕一種電漿處理檢測用組成物，其係含有第1色素及變色促進劑；該第1色素係選自偶氮、蒽醌、次甲基、及呫噸所成群中1種以上；該變色促進劑係促進該第1色素在電漿處理環境下變色，其特徵係
前述變色促進劑，係含有1種以上之化合物，該化合物係由包含2個苯環以單鍵或連接基連結之化學構造的化學構造式所表示，前述連接基，係藉由2個或3個之單鍵以直鏈連結而使2個苯環連結者；〔2〕如前述〔1〕所記載之電漿處理檢測用組成物，其中，前述變色促進劑，係含有1種以上由一般式(1)~(3)所表示之化合物；
〔但，上述一般式中，R1~R10，係相同或相異，且亦可
具有氫原子或任意之取代基；此外，上述一般式中，L1、L2，個別係獨立以-CH2-、-O-、或-S-所表示之連接基表示，且-CH2-亦可具有取代氫原子之取代基〕；〔3〕如前述〔1〕或〔2〕所記載之電漿處理檢測用組成物，其中，電漿處理檢測用組成物100重量份中係含有前述變色促進劑0．5~10重量份；〔4〕如前述〔1〕~〔3〕中任一項所記載之電漿處理檢測用組成物，其中，係進一步含有在電漿處理環境下不會變色之第2色素；〔5〕如前述〔1〕~〔4〕中任一項所記載之電漿處理檢測用組成物，其中，接著劑樹脂係進一步，在該接著劑樹脂之一部份或全部含有硝化棉；〔6〕如前述〔1〕~〔5〕中任一項所記載之電漿處理檢測用組成物，其中，增量劑係進一步，在該增量劑之一部份或全部含有二氧化矽；〔7〕一種電漿處理檢測指示劑，其特徵係具有使用前述〔1〕~〔6〕中任一項所記載之電漿處理檢測用組成物所形成之變色層。
藉由成為以上之本發明之電漿處理檢測用組成物及電漿處理檢測用指示劑，可靈敏度高地檢測電漿處理的有無。
以下，詳細說明本發明之電漿處理檢測用組成物及電漿處
理檢測指示劑。
1．電漿處理檢測用組成物
本發明之電漿處理檢測用組成物，其係含有第1色素及變色促進劑；該第1色素係選自偶氮、蒽醌、次甲基、及呫噸所成群中1種以上；該變色促進劑係促進該第1色素在電漿處理環境下變色，其特徵係前述變色促進劑，係含有1種以上之化合物，該化合物係由包含2個苯環以單鍵或連接基連結之化學構造的化學構造式所表示，前述連接基，係藉由2個或3個之單鍵以直鏈連結而使2個苯環連結者。
本發明中之電漿環境下，係意指利用電漿進行電漿處理之環境下，該電漿係使用電漿產生用氣體，施加交流電壓、脈衝電壓、高週波、微波等所產生之電漿。
第1色素
本發明之電漿處理檢測用組成物中，第1色素，係使用選自偶氮、蒽醌、次甲基、及呫噸所成群中1種以上之色素。
偶氮系色素，僅要發色團係具有偶氮基-N=N-者即可，並無特別限定。可列舉例如：單偶氮色素、聚偶氮色素、金屬錯合鹽偶氮色素、二苯乙烯偶氮色素、噻唑偶氮色素等。進一步具體以顯色指數名表記時，可列舉例如：C.I.Solvent Red 1、C.I.Solvent Red 3、C.I.Solvent Red 23、C.I.Disperse Red 13、C.I.Disperse Red 52、C.I.Disperse Violet 24、C.I.Disperse Blue 44、C.I.Disperse Red 58、C.I.Disperse Red 88、C.I.Disperse Yellow 23、C.I.Disperse Orange 1、C.I.Disperse Orange 5、C.I.Disperse Red 167：1等。可使用此等中之1種或2種以上。
蒽醌系色素僅要係以蒽醌為基本骨架者即可，並無特別限定，可使用公知之蒽醌系分散染料等。特別係具有胺基之蒽醌系色素為佳。進一步較佳，係具有第一胺基及第二胺基之至少1種之胺基之蒽醌系色素。此時，各胺基，可具有2以上，此等亦可互相為相同或相異者。
進一步具體而言，可列舉例如：1，4-二胺基蒽醌(C.I.Disperse Violet 1)、1-胺基-4-羥基-2-甲基胺基蒽醌(C.I.Disperse Red 4)、1-胺基-4-甲基胺基蒽醌(C.I.Disperse Violet 4)、1，4-二胺基-2-甲氧基蒽醌(C.I.Disperse Red 11)、1-胺基-2-甲基蒽醌(C.I.Disperse Orange 11)、1-胺基-4-羥基蒽醌(C.I.Disperse Red 15)、1，4，5，8-四胺基蒽醌(C.I.Disperse Blue 1)、1，4-二胺基-5-硝基蒽醌(C.I.Disperse Violet 8)等(括號內係顯色指數名)。
其他亦可使用C.I.Solvent Blue 14、C.I.Solvent Blue 35、C.I.Solvent Blue 63、C.I.Solvent Violet 13、C.I.Solvent Violet 14、C.I.Solvent Red 52、C.I.Solvent Red 114、C.I.Vat Blue 21、C.I.Vat Blue 30、C.I.Vat Violet 15、C.I.Vat Violet 17、C.I.Vat Red 19、C.I.Vat Red 28、C.I.Acid Blue 23、C.I.Acid Blue 80、C.I.Acid Violet 43、C.I.Acid Violet 48、C.I.Acid Red 81、C.I.Acid Red 83、C.I.Reactive Blue 4、C.I.Reactive Blue 19、C.I.Disperse Blue 7等公知的色素。
此等之蒽醌系色素，可單獨使用或將2種以上併用。此等之蒽醌系色素中，係C.I Disperse Blue 7、C.I Disperse Violet 1等為佳。此外，本發明，可藉由改變此等之蒽醌系色素之種類(分子構造等)而進行
檢測靈敏度的控制。
次甲基系色素，只要係具有次甲基之色素即可。因此，本發明中，聚次甲基系色素，青系色素等亦包含於次甲基系色素中。此等，可從公知或市販之次甲基系色素中適宜地採用。具體而言，可列舉例如：C.I.Basic Red 12、C.I.Basic Red 13、C.I.Basic Red 14、C.I.Basic Red 15、C.I.Basic Red 27、C.I.Basic Red 35、C.I.Basic Red 36、C.I.Basic Red 37、C.I.Basic Red 45、C.I.Basic Red 48、C.I.Basic Yellow 11、C.I.Basic Yellow 12、C.I.Basic Yellow 13、C.I.Basic Yellow 14、C.I.Basic Yellow 21、C.I.Basic Yellow 22、C.I.Basic Yellow 23、C.I.Basic Yellow 24、C.I.Basic Violet 7、C.I.Basic Violet 15、C.I.Basic Violet 16、C.I.Basic Violet 20、C.I.Basic Violet 21、C.I.Basic Violet 39、C.I.Basic Blue 62、C.I.Basic Blue 63等。可使用此等1種或2種以上。
呫噸系色素，只要係具有呫噸構造之色素即可，並無特別限定。可列舉例如：C.I.Acid Yellow 74、C.I.Acid Red 52、C.I.Acid Violet 30、C.I.Basic Red 1、C.I.Basic Violet 10、C.I.Mordnt Red 27、C.I.Mordnt Violet 25等。此等之呫噸系染料，可使用1種或2種以上。
第1色素之含有量，可相等地因應其種類或所望之顏色等進行適宜決定，一般而言，係本發明之電漿處理檢測用組成物中0．05~5重量%為佳，0．1~1重量%更佳。
變色促進劑
變色促進劑，係包含1種以上之化合物，該化合物係由包含2個苯環以單鍵或連接基連結之化學構造的化學構造式所表示，前述連接基，係藉
由2個或3個之單鍵以直鏈連結而使2個苯環連結者。
單鍵，係隣接之分子間之一組共有電子對共有而結合，變色促進劑中，將2個苯環連結之單鍵，係2個相異之苯環上所存在之各1個碳原子的一組共有電子對一組共有而形成。
連接基，變色促進劑中，係將2個苯環連結之化學構造，藉由2個或3個之單鍵以直鏈連結之構造，使前述2個苯環連結。連接基，只要係藉由2個或3個單鍵使前述2個苯環連結，則可由任意之原子所形成，或亦可具有任意之取代基。
其中，係使用至少1種以上下述一般式(1)~(3)所表示之變色促進劑為佳。
下述一般式(1)
〔但，上述一般式中，R1~R10，亦可係相同或相異，且具有氫原子或任意之取代基〕
所表示之變色促進劑，係聯苯基衍生物。
此外，下述一般式(2)【化3】
〔但，上述一般式中，R1~R10，係相同或相異，且亦可具有氫原子或任意之取代基。此外，上述一般式中L1，係以-CH2-、-O-、或-S-所表示之連接基表示，且-CH2-亦可具有取代氫原子之取代基〕
所表示之變色促進劑，係二苯基甲烷衍生物。
此外，下述一般式(3)
〔但，上述一般式中，R1~R10，係相同或相異，且亦可具有氫原子或任意之取代基。此外，上述一般式中L1，係以-CH2-、-O-、或-S-所表示之連接基表示，且-CH2-亦可具有取代氫原子之取代基〕
所表示之變色促進劑，係二苄基衍生物。
相當於上述一般式(1)之變色促進劑，具體而言係可列
舉例如聯苯基等。
相當於上述一般式(2)之變色促進劑，具體而言係可列舉例如：二苯基甲烷、二苯醚、2，2雙(4-甲基苯基)-六氟丙烷、二苯基二硫化物等。
相當於上述一般式(3)'變色促進劑，具體而言係可列舉例如：二苄基、苄苯基醚、苄苯基硫化物、雙苯基雙硫化物等。
變色促進劑，可因應其種類及所使用之第1色素之種類等而適宜地決定，惟於電漿處理檢測用組成物100重量份中，係含有0．5~10重量份為佳，含有2~8重量份更佳，含有4~6重量份進一步更佳。電漿處理檢測用組成物100重量份中之變色促進劑之量未達0．5重量份時，在電漿處理環境化中電漿處理檢測用組成物之變色的靈敏度會有降低之虞。相反地，較10重量份多時並不會使變色的靈敏度提升至其以上，根據成本效益之觀點，係10重量份以下為佳。
第2色素
此外，本發明之電漿處理檢測用組成物，除了上述之第1色素以外，亦可含有在電漿處理環境下不會變色之第2色素。藉此，電漿處理檢測用組成物之從一種顏色向另一顏色的色調變化可進一步明確化，變色之目視効果可更加提高。第2色素，只要係在電漿處理環境下不會變色之色素，可廣泛採用公知的色素，因應第1色素之色調，具有如上述能使電漿處理環境下電漿處理檢測用組成物之色調的變化進一步明確化之顏色為佳。第2色素之含有量，可因應第1色素之種類等而適宜地設定即可。
接著劑樹脂
此外，本發明之電漿處理檢測用組成物，亦可含有接著劑樹脂。接著劑樹脂，只要因應基材之種類等而適宜地選擇即可，例如可直接採用筆記用、印刷用等之油墨組成物所使用之公知的樹脂成分。可列舉例如：順丁烯二酸系樹脂、酮系樹脂、聚乙烯醇縮丁醛系樹脂、纖維素系樹脂、丙烯酸系樹脂、苯乙烯順丁烯二酸酸系樹脂、苯乙烯丙烯酸酸系樹脂、聚酯系樹脂、聚醯胺系樹脂、聚丙烯腈系樹脂、聚醯亞胺系樹脂、聚乙烯吡咯烷酮系樹脂、聚丙烯酸醯胺系樹脂、聚乙烯基咪唑系樹脂、聚乙烯亞胺系樹脂、胺基系樹脂等。
本發明中接著劑樹脂，特別係可一部分或全部合適地使用硝化棉。藉由使用硝化棉，可使電漿處理環境下中本發明之電漿處理檢測用組成物的變色，進一步高靈敏度地檢測。
接著劑樹脂之含有量，可因應接著劑樹脂之種類、所使用之色素之種類等而適宜地決定，惟一般而言係電漿處理檢測用組成物中50重量%以下為佳，5~35重量%更佳。
增量劑
此外，本發明之電漿處理檢測用組成物，亦可含有增量劑。增量劑，並無特別限制，可列舉例如：膨潤土、活性白土、氧化鋁、二氧化矽、二氧化矽凝膠等之無機材料。亦可使用作為其他公知的體質顏料而被廣泛得知之材料。其中，以二氧化矽為佳。藉由使用二氧化矽作為增量劑之一部份或全部，可特別於變色層表面有效產生複數之裂痕。其結果，可進一步提高指示劑之檢測靈敏度。
增量劑之含有量，可因應所使用之增量劑或著色材之種類
等而適宜地決定，惟一般而言係電漿處理檢測用組成物中約1~30重量%為佳，2~20重量%更佳。
其他之添加劑
本發明之電漿處理檢測用組成物，可因應必要，以溶劑，將手整劑、消泡劑、紫外線吸収劑、表面調整劑等作為公知的油墨而使用之成分進行適宜地配合。
本發明可使用之溶劑，通常，只要係印刷用、筆記用等之油墨組成物所使用之溶劑即可任意使用。例如，可使用醇類或多元醇類系、酯系、醚系、酮系、烴系、乙二醇醚系等之各種溶劑，只要因應所使用之色素、樹脂系接著劑之溶解性等而適宜地選擇即可。又，溶劑，必須使用最終可藉由常溫或加熱乾燥而從塗膜上去除者。溶劑，例如，當其係乙酸n-丁基之蒸發速度為1．0時之相對蒸發速度為1．0以上之速乾性者時係適用於凹版印刷，當其係將相對蒸發速度為0．01~1．0者時適宜混合而調節乾燥速度者時係適用絲網印刷。
溶劑之含有量，可因應所使用之溶劑或著色劑之種類等而適宜地決定，惟一般而言係電漿處理檢測用組成物中約40~95重量%，特別係60~90重量%為佳。
藉由溶劑之含有量的調整而可調整黏度，從而可提供具有適應各種印刷手法之黏度的電漿處理檢測用組成物。本發明中，電漿處理檢測用組成物之黏度係未達12000mPa．s為佳，特別係適合絲印機印刷之黏度係約500~8000mPa．s，適合凹版印刷之黏度係約10~500mPa．s。
本發明之電漿處理檢測用組成物之各成分，只要同時或依序配合，並使用均質機、溶解裝置等之公知的攪拌機使其均勻混合即可。例如，首先在溶劑中將前述第1色素、以及接著劑樹脂、變色促進劑及增量劑中至少1種(因應必要亦包含其他之添加劑)依序配合，藉由攪拌機混合．攪拌即可。
2．電漿處理檢測指示劑
本發明之指示劑，係包含本發明之電漿處理檢測用組成物所成變色層。一般而言，藉由在基材上塗佈或印刷本發明之電漿處理檢測用組成物而可形成變色層。此時之基材，只要係可形成變色層者即可，並無特別限制。
基材，例如，可使用金屬或合金、陶瓷、玻璃、混凝土、塑膠(聚對苯二甲酸乙二酯(PET)、聚丙烯、尼龍、聚苯乙烯、聚碸、聚碳酸酯、聚醯亞胺等)、纖維類(不織布、織布、其他之纖維片材)、此等之複合材料等。此外，亦可合適地使用聚丙烯合成紙、聚乙烯合成紙等之合成樹脂纖維紙(合成紙)。
本發明中變色層，除了由某顏色向其他顏色變化者外，亦包含顏色退色或消色者。
變色層的形成，可使用本發明之電漿處理檢測用組成物，並藉由絲印機印刷、凹版印刷、偏移印刷、凸版印刷、柔版印刷等之公知的印刷方法而進行。此外，亦可以印刷以外之方法形成。例如，可藉由將基材浸漬於電漿處理檢測用組成物中而形成變色層。如不織布等之液體容易浸透之材料特別合適。
變色層，係在表面上具有複數之裂痕為佳。亦即，變色層之表面形成開放氣孔，從而多孔質化為佳。藉由如此之構成，電漿處理檢測之靈敏度可進一步提高。此時，即使在電漿處理檢測包裝體之內部配置變色層，亦可得到所期望之變色効果。裂痕，可特別藉由使用纖維素系樹脂作為本發明之油墨組成物之接著劑而有效地形成。亦即，藉由使用纖維素系樹脂，可維持良好之定著性，並可形成上述之裂痕。
本發明，亦可進一步在基材上及/或變色層上形成電漿處理環境下不會變色之非變色層。非變色層，通常可藉由市售之普通色油墨而形成。例如，可使用水性油墨、油性油墨、無溶劑型油墨等。非變色層的形成所使用之油墨，亦可包含公知的油墨所配合之成分，例如亦可包含樹脂接著劑、增量劑、溶劑等。
非變色層的形成，只要與變色層之情形相同即可。例如，使用普通色油墨，根據絲印機印刷、凹版印刷、偏移印刷、凸版印刷、柔版印刷等之公知的印刷方法而進行。又，變色層．非變色層之印刷順序並無特別限制，只須因應印刷之設計等而適宜地選擇即可。
本發明之指示劑，可由變色層及非變色層個別以1層依序形成，抑或個別以複數層形成。此外，亦可係變色層互相或非變色層互相積層。此時，變色層個別係相同之組成或相異組成皆可。相同地，非變色層個別係相同之組成或相異組成皆可。
進一步，變色層及非變色層，可形成於基材或各層之整面，或者形成於部分亦可。此等情形，特別係為確保變色層之變色，至少1層之變色層的一部分或全部係暴露於電漿處理環境下而形成變色層及非
變色層即可。
本發明，只要可確認電漿處理的完成，變色層與非變色層之間如何組合皆可。例如，因變色層之變色始可辨識變色層與非變色層之色差而形成變色層及非變色層，抑或由變色導致變色層及非變色層之色差始消滅而形成亦可。本發明，特別係，因變色始可辨識變色層與非變色層之色差而形成變色層及非變色層為佳。
可辨識色差的情形，例如以藉由變色層變色始令文字、圖樣及記號等至少1種顯現之方式形成變色層及非變色層即可。本發明中，文字、圖樣及記號係包含通知變色的所有資訊，此等文字等可因應使用目的而進行適當設計。
此外，在變色之前，變色層與非變色層亦可為不同的顏色。例如，亦可為兩者實質上為相同顏色，而在變色後才可辨別變色層與非變色層的色差(對比)的態樣。
本發明之指示劑，可使變色層及非變色層形成如變色層與非變色層不重疊。藉此，可節省需使用之油墨量。
進一步，本發明中，於變色層及非變色層之至少一者的層上可再形成變色層或非變層。例如，在變色層及非變色層呈現變色層與非變色層不重疊之狀態下所形成之層(稱為「變色-非變色層」)的上側再形成具有別種設計之變色層時，可形成實質上無法識別變色-非變色層中變色層及非變色層的交界線的狀態，從而可達到更優異的設計性。
本發明之指示劑，只要係使用電漿產生用氣體進行的電漿處理，則可應用於任何型態。亦即，可應用於低壓電漿處理及常壓電漿處
理兩者。
作為低壓電漿處理的具體例，可列舉例如，平板顯示器(液晶顯示器)之洗淨、表面改質等用途；半導體製造步驟中之製膜、灰化、洗淨、表面改質等用途；安裝基板或印刷電路板的洗淨、表面改質等用途；醫療器具等的殺菌用途；安裝元件的洗淨、表面改質等用途等。
此外，作為常壓電漿處理的具體例，可列舉例如：平板顯示器(液晶顯示器)的製膜、灰化、洗淨、表面改質等用途；安裝基板或印刷電路板的洗淨、表面改質等之用途；汽車、航空機械零件等之表面變性用途、醫療領域(牙科或外科)之消毒、殺菌、治療等之用途等。
低壓電漿產生用氣體，只要係可藉由在低壓下施加交流電壓、脈衝電壓、高頻、微波等以產生電漿之氣體即可，其他並無限制，可列舉例如：氧、氮、氫、氯、過氧化氫、氦、氬、矽烷、氨、溴硫、水蒸氣、一氧化二氮、四乙氧基矽烷、四氟化碳、三氟甲烷、四氯化碳、四氯化矽、六氟化硫、四氯化鈦、二氯矽烷、三甲基鎵、三甲基銦、三甲基鋁等。此等之低壓電漿產生用氣體，可單獨使用或將2種以上混合使用。
常壓電漿產生用氣體，只要係可藉由在常壓下施加交流電壓、脈衝電壓、高頻、微波等以產生電漿之氣體即可，其他並無限制，可列舉例如：氧、氮、氫、氬、氦、空氣等。此等之常壓電漿產生用氣體，可單獨使用或將2種以上混合使用。
使用本發明之指示劑時，具體而言，只要將本發明之指示劑放置於使用電漿產生用氣體之電漿處理裝置(具體而言，係藉由在含有電漿產生用氣體之環境下，施加交流電壓、脈衝電壓、高頻、微波等使電
漿發生以實施電漿處理之裝置)之內部，或放置於收納於其內部的被處理物上，並使其曝露於電漿處理環境下即可。此時，可藉由放置於裝置內之指示劑的變色以檢測是否已進行既定的電漿處理。
本發明之指示劑，可直接作為指示劑卡使用。此時，只需使變色層之形狀成為習知之條碼形狀，並設定為可在既定之電漿處理結束的階段(變色的程度)使用條碼讀取器讀取之條件，即能對於電漿處理的完成及其後之電漿處理物的物流管理以條碼統一管理。本發明，亦包含用於相關用途之指示劑、電漿處理管理方法及物流管理方法。
以上，說明本發明之實施形態，惟本發明非有任何限定於此等之例，只要在不脫離本發明之要旨的範圍內，並不論以各種形態實施。
以下，基於實施例，進一步具體說明本發明之實施形態，惟本發明並未限定為此等實施例。
實施例1~7及比較例1
本發明中第1色素，係使用紅色之偶氮系染料(C．I．Disperse Red 167：1)，第2色素係使用綠色之酞菁系顏料(C．I．Pigment Green 7)。基於表1之組成，調製電漿處理檢測用組成物後，以絲印機引刷於東洋紡製之PET基材(商品名：清晰材，品號：K2323)，並在80℃環境下乾燥20分鐘，從而得到實施例1~7及比較例1之指示劑。
實施例8~14
如表2所示，調整上述實施例1中二苄基之含有量而調製電漿處理檢測用組成物，從而得到實施例8~14之指示劑。
(變色性試驗)
對於各實施例及比較例之指示劑，使用日本電色工業社製之手持型色彩計(品號：NR-11A)進行測色。接著，將各實施例及比較例設置於平行平板高頻電漿裝置(SAMCO社製，品號：BP-1)之上，準備氧氣作為電漿產生用氣體，在氧氣流量10mL/分、電力15W、壓力10Pa之條件下3分鐘，進行氧氣電漿處理。氧氣電漿處理後，對於各實施例及比較例，再度進行測色。對於各實施例及比較例之電漿處理之靈敏度，係使用測色所得之電漿處理前之色度L＊1，a＊1，b＊1及電漿處理後之L＊2，a＊2，b＊2，基於下述數1而算出△E＊ab，從而評價。
(變色性試驗結果)
如表1所示，變色促進劑使用聯苄、二苄醚、苄基苯基硫醚、2,2雙(4-甲基苯基)-六氟丙烷、聯苯、二苯醚、二苯基甲烷之各實施例1、2、3、4、5、6、7之指示劑，與未使用此等之變色促進劑的比較例1之指示劑相比，△E＊ab值係較大者。因此，可確認實施例1~7之指示劑藉由使用本發明之變色促進劑，從而提升指示劑之靈敏度。此外，
如表2所示，由實施例1及8~14之結果可確認，透過將變色促進劑調整在所定之濃度，可提升指示劑之靈敏度。
Claims (6)
- 一種電漿處理檢測用組成物，其係含有第1色素及變色促進劑；該第1色素係選自偶氮、蒽醌、次甲基、及呫噸所成群中1種以上；該變色促進劑係促進該第1色素在電漿處理環境下變色，其特徵係前述變色促進劑，係含有1種以上由一般式(1)~(3)所表示之化合物；
- 如申請專利範圍第1項所記載之電漿處理檢測用組成物，其中，電漿處理檢測用組成物100重量份中係含有前述變色促進劑0．5~10重量份。
- 如申請專利範圍第1或2項所記載之電漿處理檢測用組成物，其中，係進一步含有在電漿處理環境下不會變色之第2色素。
- 如申請專利範圍第1項所記載之電漿處理檢測用組成物，其中，進一步含有接著劑樹脂，該接著劑樹脂係進一步，在該接著劑樹脂之一部份或全部含有硝化棉。
- 如申請專利範圍第1項所記載之電漿處理檢測用組成物，其中，進一步含有增量劑，該增量劑係進一步，在該增量劑之一部份或全部含有二氧化矽。
- 一種電漿處理檢測指示劑，其特徵係具有使用申請專利範圍第1項所記載之電漿處理檢測用組成物所形成之變色層。
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