JP2004146738A - プラズマ処理の終点検知方法およびその装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明はバンドパスフィルタを用いた簡単な構成で、発光波長のズレにも対応でき、かつ監視精度の向上、低コストを図ることができるプラズマ処理の終点検知方法およびその装置を得るにある。
【解決手段】ある特定波長領域のみを選択的に透過させるバンドパスフィルタに監視するプラズマ光源からの入射角度が変化する入射角変化手段を用いて透過波長を変化させる透過工程と、この透過工程で透過した分光を検知器で検知する検知工程と、この検知工程の検知器からの検知出力および透過工程の入射角変化手段の角度出力が入力されることにより、入射角度が変化しても透過波長の検知出力が入射角度を変化させないで得られる値になるようにする波長変換手段、出力補正手段を備える演算出力装置で反応中と反応前を比較演算し、出力装置にプラズマ処理の終点を出力する演算出力工程とでプラズマ処理の終点検知方法を構成している。
【選択図】 図1
【解決手段】ある特定波長領域のみを選択的に透過させるバンドパスフィルタに監視するプラズマ光源からの入射角度が変化する入射角変化手段を用いて透過波長を変化させる透過工程と、この透過工程で透過した分光を検知器で検知する検知工程と、この検知工程の検知器からの検知出力および透過工程の入射角変化手段の角度出力が入力されることにより、入射角度が変化しても透過波長の検知出力が入射角度を変化させないで得られる値になるようにする波長変換手段、出力補正手段を備える演算出力装置で反応中と反応前を比較演算し、出力装置にプラズマ処理の終点を出力する演算出力工程とでプラズマ処理の終点検知方法を構成している。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体部品製造工程のエッチングやアッシング等のプラズマ処理のプラズマ光源を監視し、プラズマ処理の終点を検知するプラズマ処理の終点検知方法およびその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、プラズマ処理の終点検知方法としては分光器を用いてプラズマ光の分光波長を追跡する方法やバンドパスフィルタ(BPF)を用いて単波長のみの光強度を監視する終点検知方法が使用されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
従来の分光器を用いる方法は分光器が非常に高価で、大型であるという欠点がある。
また、バンドパスフィルタを用いる方法では発光波長にズレが生じると誤検知したり、検知精度が落ちたりするという欠点があった。
【0004】
本発明は以上のような従来の欠点に鑑み、バンドパスフィルタ(BPF)を用いた簡単な構成で、発光波長のズレにも対応でき、かつ監視精度の向上、低コストを図ることができるプラズマ処理の終点検知方法およびその装置を提供することを目的としている。
【0005】
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は次の説明を添付図面と照らし合わせて読むと、より完全に明らかになるであろう。
ただし、図面はもっぱら解説のためのものであって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明はある特定波長領域のみを選択的に透過させるバンドパスフィルタに監視するプラズマ光源からの入射角度が変化する入射角変化手段を用いて透過波長を変化させる透過工程と、この透過工程で透過した分光を検知器で検知する検知工程と、この検知工程の検知器からの検知出力および前記透過工程の入射角変化手段の角度出力が入力されることにより、入射角度が変化しても透過波長の検知出力が入射角度を変化させないで得られる値になるようにする波長変換手段、出力補正手段を備える演算出力装置で反応中と反応前を比較演算し、出力装置にプラズマ処理の終点を出力する演算出力工程とでプラズマ処理の終点検知方法を構成している。
【0007】
また、本発明は監視するプラズマ光源の全領域において、ある特定波長領域のみを選択的に透過させるバンドパスフィルタと、このバンドパスフィルタに対して監視するプラズマ光源の入射角度を変化させる入射角変化手段と、前記バンドパスフィルタを透過した分光を検知しデジタル処理して出力することができる検知器と、この検知器からの検知出力および前記入射角変化手段の角度出力が入力されることにより、入射角度が変化しても透過波長の検知出力が入射角度を変化させないで得られる値になるように波長変換手段、出力補正手段を備え、反応中と反応前を比較演算し、出力装置にプラズマ処理の終点を出力する演算出力装置とでプラズマ処理の終点検知装置を構成している。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、図面に示す実施の形態により、本発明を詳細に説明する。
【0009】
図1ないし図13に示す本発明の第1の実施の形態において、1はある特定波長領域のみを選択的に透過させるバンドパスフィルタ(BPF)2に、図2に示すように監視するプラズマ光源3からの入射角度変化する入射角変化手段4を用いて透過波長を変化させる透過工程で、この透過工程1で使用する入射角変化手段4は、図3に示すように前記バンドパスフィルタ2を回転ステージ5を介して回動させるステッピングモータ6を用いている。
また、図4に示すようにバンドパスフィルタ2の中心波長を監視波長の長波長側とほぼ一致させるように配置して透過工程1を行なうか、あるいはバンドパスフィルタ2の透過波長の上・下限の中心付近と監視波長のほぼ中心を一致させるように配置して透過工程1を行なう。
【0010】
7は図7に示すように前記透過工程1で透過した分光を検知器8で検知し、デジタル処理して出力する検知工程で、この検知工程7で使用される検知器8はフォトダイオード9と、これらのフォトダイオード9で検知した信号をデシダル処理するADコンバータ10とで構成されている。
【0011】
11は図8に示すように前記検知工程7の検知器8からの検知出力および前記透過工程1の入射角変化手段4で変化する角度を検出する角度センサー12等の角度出力が入力されることにより、入射角度が変化しても透過波長の検知出力が入射角度を変化させないで得られる値になるようにする波長変換手段13、出力補正手段14を備える演算出力装置15で反応中と反応前を比較演算し、出力装置16にプラズマ処理の終点を出力する演算出力工程である。
【0012】
上記のような透過工程1、検知工程7および演算出力工程11で行うプラズマ処理の終点検知方法は、該プラズマ処理の終点検知方法で使用するバンドパスフィルタ2、入射角変化手段4、検知器8、角度センサー12および波長変換手段13、出力補正手段14、表示器等の出力装置16を備える演算出力装置15で構成されるプラズマ処理の終点検知装置17で行なわれる。
上記のように構成されたプラズマ処理の終点検知方法およびその装置17ではバンドパスフィルタ2に対する入射角が変化すると、透過光量は減少するものの透過波長が短波長側にシフトするという特性を用いて多長波における終点監視が可能となり、発光波長の微妙なズレが生じた場合でも対応することができる。
また、演算出力装置15では各入射角による中心波長シフトと光量の変化との関係から分光器を用いて監視波長のズレを補正することができる。
これは、まず入射角毎の光量を測定し、波長と光量との関係を求める。
入射角が増すと光量は減少するが、光量は補正係数を用い、入射角に関わらず同じレベルになるように補正する。
入射角毎の光量の時間変化量を1次微分あるいは2次微分を行ない、その時のピーク値を用いて終点の監視を行なう。
なお、図10はバンドパスフィルタ2の中心波長付近の波長の光を入射させた場合の検知器8による出力信号を示したもので、この場合はピーク光量を示す波長が長波長側へとシフトしている。
これは、検知器8に入つている受光装置の感度が波長依存性を持つためであり、この感度の波長依存性を補正すると図11に示すようになる。
また、図12はバンドパスフィルタ2に対する入射角を変化させた場合の、主として透過する波長とそのピーク光量との関係を示したものであり、バンドパスフィルタ2の中心波長を中心として、短波長側、長波長側ともにピーク光量が減少してしまう。
そこで、このピーク光量の減少分を、バンドパスフィルタ2に対する入射角を示す回転ステージの角度情報や、アレイ状検知器のセンサの位置情報に基づいて変換テーブルや補正テーブルあるいは数値演算により補正処理を行うことによって、図13に示すように、波長依存性をなくすことができる。
【0013】
【発明の異なる実施の形態】
次に、図14ないし図19に示す本発明の異なる実施の形態につき説明する。なお、これらの本発明の異なる実施の形態の説明に当って、前記本発明の第1の実施の形態と同一構成部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。
【0014】
図14ないし図16に示す本発明の第2の実施の形態において、前記本発明の第1の実施の形態と主に異なる点は、監視プラズマ光源3からの入射光を複数個の入射角を持つように集光可能な光学レンズ18を用いてアパーチャ19を備えるバンドパスフィルタ2に入射できるように構成した入射角変化手段4Aを用いた透過工程1Aを用いるとともに、フォトダイオード9Aを横方向に複数個配置したフォトダイオードアレイ22Aを用いた検知器8Aを使用した検知工程7Aとを用いた点で、このような透過工程1Aを用いて構成したプラズマ処理の終点検知方法およびその装置17Aを用いても、前記本発明の第1の実施の形態と同様な作用効果が得られる。
【0015】
図17ないし図19に示す本発明の第3の実施の形態において、前記本発明の第1の実施の形態と主に異なる点は、監視プラズマ光源3からの入射光を集光可能な対物レンズ20を用いるとともに、入射角変化手段として入射光を複数個の入射角を持つ光に変化させることができる凸レンズ21を用いてバンドパスフィルタ2に入射できるように構成した透過工程1Bと、同心円状に複数個のフォトダイオードアレイ22を形成した検知器8Bを使用した検知工程7Bとを用いた点で、このような透過工程1Bと検知工程7Bとを用いて構成した構成したプラズマ処理の終点検知方法およびその装置17Bを用いても、前記本発明の第1の実施の形態と同様な作用効果が得られる。
【0016】
また、前記凸レンズ21の代わりにロッドレンズ(図示せず)を用い、前記同心円状のフォトダイオードアレイ22Bを用いた検知器8Bの代わりにリニア状のフォトダイオードアレイ22Aを用いた検知器8Aを設けることができる。
【0017】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明にあっては次に列挙する効果が得られる。
【0018】
(1)ある特定波長領域のみを選択的に透過させるバンドパスフィルタに監視するプラズマ光源からの入射角度が変化する入射角変化手段を用いて透過波長を変化させる透過工程と、この透過工程で透過した分光を検知器で検知する検知工程と、この検知工程の検知器からの検知出力および前記透過工程の入射角変化手段の角度出力が入力されることにより、入射角度が変化しても透過波長の検知出力が入射角度を変化させないで得られる値になるようにする波長変換手段、出力補正手段を備える演算出力装置で反応中と反応前を比較演算し、出力装置にプラズマ処理の終点を出力する演算出力工程とからなるので、特定波長領域のバンドパスフィルタを用いた簡単な構成で、発光波長のズレにも対応することができ、高精度にプラズマ処理の終点を検知することができる。
したがって、時間的遅れの防止や監視精度の向上、低コストを図ることができる。
【0019】
(2)前記(1)によって、小型コンパク化を図ることができる。
【0020】
(3)前記(1)によって、多波長同時監視や、微妙な波長のズレの補正ができる。
【0021】
(4)請求項2、3、4、5、6も、前記(1)〜(3)と同様な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態の工程図。
【図2】本発明の第1の実施の形態の透過工程の説明図。
【図3】本発明の第1の実施の形態の入射角変化手段の説明図。
【図4】バンドパスフィルタの中心波長と監視波長の関係を示す図。
【図5】プラズマ光源のバンドパスフィルタへの入射角の状態をを示す図。
【図6】入射角による中心波長と光量の関係を示す図。
【図7】本発明の第1の実施の形態の検知工程の説明図。
【図8】本発明の第1の実施の形態の演算出力工程の説明図。
【図9】本発明の第1の実施の形態の概略説明図。
【図10】バンドパスフィルタの中心波長の光を入射させ補正をしなかった場合の検知器の出力波形を示す図。
【図11】バンドパスフィルタの中心波長の光を入射させ補正をした場合の検知器の出力波形を示す図。
【図12】バンドパスフィルタの角度に応じて波長、ピーク光量を補正した状態の説明図。
【図13】バンドパスフィルタの角度および入射角に応じて波長、ピーク光量を補正した状態の説明図。
【図14】本発明の第2の実施の形態の工程図。
【図15】本発明の第2の実施の形態の透過工程の説明図。
【図16】本発明の第2の実施の形態の概略説明図。
【図17】本発明の第3の実施の形態の工程図。
【図18】本発明の第3の実施の形態のフォトダイオードアレイの説明図。
【図19】本発明の第3の実施の形態の概略説明図。
【符号の説明】
1、1A、1B:透過工程、
2:バンドパスフィルタ、
3:監視するプラズマ光源、
4、4A:入射角変化手段、
5:回転ステージ、 6:ステッピングモータ、
7、7A、7B:検知工程、
8、8A、8B:検知器、
9、9A、9B:フォトダイオード、
10:ADコンバータ、 11:演算出力工程、
12:角度センサー、 13:波長変換手段、
14:出力補正手段、 15:演算出力装置、
16:出力装置、
17、17A、17B:プラズマ処理の終点検知装置、
18:光学レンズ、 19:アパーチャ、
20:対物レンズ、 21:凸レンズ、
22A、22B:フォトダイオードアレイ。
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体部品製造工程のエッチングやアッシング等のプラズマ処理のプラズマ光源を監視し、プラズマ処理の終点を検知するプラズマ処理の終点検知方法およびその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、プラズマ処理の終点検知方法としては分光器を用いてプラズマ光の分光波長を追跡する方法やバンドパスフィルタ(BPF)を用いて単波長のみの光強度を監視する終点検知方法が使用されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
従来の分光器を用いる方法は分光器が非常に高価で、大型であるという欠点がある。
また、バンドパスフィルタを用いる方法では発光波長にズレが生じると誤検知したり、検知精度が落ちたりするという欠点があった。
【0004】
本発明は以上のような従来の欠点に鑑み、バンドパスフィルタ(BPF)を用いた簡単な構成で、発光波長のズレにも対応でき、かつ監視精度の向上、低コストを図ることができるプラズマ処理の終点検知方法およびその装置を提供することを目的としている。
【0005】
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は次の説明を添付図面と照らし合わせて読むと、より完全に明らかになるであろう。
ただし、図面はもっぱら解説のためのものであって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明はある特定波長領域のみを選択的に透過させるバンドパスフィルタに監視するプラズマ光源からの入射角度が変化する入射角変化手段を用いて透過波長を変化させる透過工程と、この透過工程で透過した分光を検知器で検知する検知工程と、この検知工程の検知器からの検知出力および前記透過工程の入射角変化手段の角度出力が入力されることにより、入射角度が変化しても透過波長の検知出力が入射角度を変化させないで得られる値になるようにする波長変換手段、出力補正手段を備える演算出力装置で反応中と反応前を比較演算し、出力装置にプラズマ処理の終点を出力する演算出力工程とでプラズマ処理の終点検知方法を構成している。
【0007】
また、本発明は監視するプラズマ光源の全領域において、ある特定波長領域のみを選択的に透過させるバンドパスフィルタと、このバンドパスフィルタに対して監視するプラズマ光源の入射角度を変化させる入射角変化手段と、前記バンドパスフィルタを透過した分光を検知しデジタル処理して出力することができる検知器と、この検知器からの検知出力および前記入射角変化手段の角度出力が入力されることにより、入射角度が変化しても透過波長の検知出力が入射角度を変化させないで得られる値になるように波長変換手段、出力補正手段を備え、反応中と反応前を比較演算し、出力装置にプラズマ処理の終点を出力する演算出力装置とでプラズマ処理の終点検知装置を構成している。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、図面に示す実施の形態により、本発明を詳細に説明する。
【0009】
図1ないし図13に示す本発明の第1の実施の形態において、1はある特定波長領域のみを選択的に透過させるバンドパスフィルタ(BPF)2に、図2に示すように監視するプラズマ光源3からの入射角度変化する入射角変化手段4を用いて透過波長を変化させる透過工程で、この透過工程1で使用する入射角変化手段4は、図3に示すように前記バンドパスフィルタ2を回転ステージ5を介して回動させるステッピングモータ6を用いている。
また、図4に示すようにバンドパスフィルタ2の中心波長を監視波長の長波長側とほぼ一致させるように配置して透過工程1を行なうか、あるいはバンドパスフィルタ2の透過波長の上・下限の中心付近と監視波長のほぼ中心を一致させるように配置して透過工程1を行なう。
【0010】
7は図7に示すように前記透過工程1で透過した分光を検知器8で検知し、デジタル処理して出力する検知工程で、この検知工程7で使用される検知器8はフォトダイオード9と、これらのフォトダイオード9で検知した信号をデシダル処理するADコンバータ10とで構成されている。
【0011】
11は図8に示すように前記検知工程7の検知器8からの検知出力および前記透過工程1の入射角変化手段4で変化する角度を検出する角度センサー12等の角度出力が入力されることにより、入射角度が変化しても透過波長の検知出力が入射角度を変化させないで得られる値になるようにする波長変換手段13、出力補正手段14を備える演算出力装置15で反応中と反応前を比較演算し、出力装置16にプラズマ処理の終点を出力する演算出力工程である。
【0012】
上記のような透過工程1、検知工程7および演算出力工程11で行うプラズマ処理の終点検知方法は、該プラズマ処理の終点検知方法で使用するバンドパスフィルタ2、入射角変化手段4、検知器8、角度センサー12および波長変換手段13、出力補正手段14、表示器等の出力装置16を備える演算出力装置15で構成されるプラズマ処理の終点検知装置17で行なわれる。
上記のように構成されたプラズマ処理の終点検知方法およびその装置17ではバンドパスフィルタ2に対する入射角が変化すると、透過光量は減少するものの透過波長が短波長側にシフトするという特性を用いて多長波における終点監視が可能となり、発光波長の微妙なズレが生じた場合でも対応することができる。
また、演算出力装置15では各入射角による中心波長シフトと光量の変化との関係から分光器を用いて監視波長のズレを補正することができる。
これは、まず入射角毎の光量を測定し、波長と光量との関係を求める。
入射角が増すと光量は減少するが、光量は補正係数を用い、入射角に関わらず同じレベルになるように補正する。
入射角毎の光量の時間変化量を1次微分あるいは2次微分を行ない、その時のピーク値を用いて終点の監視を行なう。
なお、図10はバンドパスフィルタ2の中心波長付近の波長の光を入射させた場合の検知器8による出力信号を示したもので、この場合はピーク光量を示す波長が長波長側へとシフトしている。
これは、検知器8に入つている受光装置の感度が波長依存性を持つためであり、この感度の波長依存性を補正すると図11に示すようになる。
また、図12はバンドパスフィルタ2に対する入射角を変化させた場合の、主として透過する波長とそのピーク光量との関係を示したものであり、バンドパスフィルタ2の中心波長を中心として、短波長側、長波長側ともにピーク光量が減少してしまう。
そこで、このピーク光量の減少分を、バンドパスフィルタ2に対する入射角を示す回転ステージの角度情報や、アレイ状検知器のセンサの位置情報に基づいて変換テーブルや補正テーブルあるいは数値演算により補正処理を行うことによって、図13に示すように、波長依存性をなくすことができる。
【0013】
【発明の異なる実施の形態】
次に、図14ないし図19に示す本発明の異なる実施の形態につき説明する。なお、これらの本発明の異なる実施の形態の説明に当って、前記本発明の第1の実施の形態と同一構成部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。
【0014】
図14ないし図16に示す本発明の第2の実施の形態において、前記本発明の第1の実施の形態と主に異なる点は、監視プラズマ光源3からの入射光を複数個の入射角を持つように集光可能な光学レンズ18を用いてアパーチャ19を備えるバンドパスフィルタ2に入射できるように構成した入射角変化手段4Aを用いた透過工程1Aを用いるとともに、フォトダイオード9Aを横方向に複数個配置したフォトダイオードアレイ22Aを用いた検知器8Aを使用した検知工程7Aとを用いた点で、このような透過工程1Aを用いて構成したプラズマ処理の終点検知方法およびその装置17Aを用いても、前記本発明の第1の実施の形態と同様な作用効果が得られる。
【0015】
図17ないし図19に示す本発明の第3の実施の形態において、前記本発明の第1の実施の形態と主に異なる点は、監視プラズマ光源3からの入射光を集光可能な対物レンズ20を用いるとともに、入射角変化手段として入射光を複数個の入射角を持つ光に変化させることができる凸レンズ21を用いてバンドパスフィルタ2に入射できるように構成した透過工程1Bと、同心円状に複数個のフォトダイオードアレイ22を形成した検知器8Bを使用した検知工程7Bとを用いた点で、このような透過工程1Bと検知工程7Bとを用いて構成した構成したプラズマ処理の終点検知方法およびその装置17Bを用いても、前記本発明の第1の実施の形態と同様な作用効果が得られる。
【0016】
また、前記凸レンズ21の代わりにロッドレンズ(図示せず)を用い、前記同心円状のフォトダイオードアレイ22Bを用いた検知器8Bの代わりにリニア状のフォトダイオードアレイ22Aを用いた検知器8Aを設けることができる。
【0017】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明にあっては次に列挙する効果が得られる。
【0018】
(1)ある特定波長領域のみを選択的に透過させるバンドパスフィルタに監視するプラズマ光源からの入射角度が変化する入射角変化手段を用いて透過波長を変化させる透過工程と、この透過工程で透過した分光を検知器で検知する検知工程と、この検知工程の検知器からの検知出力および前記透過工程の入射角変化手段の角度出力が入力されることにより、入射角度が変化しても透過波長の検知出力が入射角度を変化させないで得られる値になるようにする波長変換手段、出力補正手段を備える演算出力装置で反応中と反応前を比較演算し、出力装置にプラズマ処理の終点を出力する演算出力工程とからなるので、特定波長領域のバンドパスフィルタを用いた簡単な構成で、発光波長のズレにも対応することができ、高精度にプラズマ処理の終点を検知することができる。
したがって、時間的遅れの防止や監視精度の向上、低コストを図ることができる。
【0019】
(2)前記(1)によって、小型コンパク化を図ることができる。
【0020】
(3)前記(1)によって、多波長同時監視や、微妙な波長のズレの補正ができる。
【0021】
(4)請求項2、3、4、5、6も、前記(1)〜(3)と同様な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態の工程図。
【図2】本発明の第1の実施の形態の透過工程の説明図。
【図3】本発明の第1の実施の形態の入射角変化手段の説明図。
【図4】バンドパスフィルタの中心波長と監視波長の関係を示す図。
【図5】プラズマ光源のバンドパスフィルタへの入射角の状態をを示す図。
【図6】入射角による中心波長と光量の関係を示す図。
【図7】本発明の第1の実施の形態の検知工程の説明図。
【図8】本発明の第1の実施の形態の演算出力工程の説明図。
【図9】本発明の第1の実施の形態の概略説明図。
【図10】バンドパスフィルタの中心波長の光を入射させ補正をしなかった場合の検知器の出力波形を示す図。
【図11】バンドパスフィルタの中心波長の光を入射させ補正をした場合の検知器の出力波形を示す図。
【図12】バンドパスフィルタの角度に応じて波長、ピーク光量を補正した状態の説明図。
【図13】バンドパスフィルタの角度および入射角に応じて波長、ピーク光量を補正した状態の説明図。
【図14】本発明の第2の実施の形態の工程図。
【図15】本発明の第2の実施の形態の透過工程の説明図。
【図16】本発明の第2の実施の形態の概略説明図。
【図17】本発明の第3の実施の形態の工程図。
【図18】本発明の第3の実施の形態のフォトダイオードアレイの説明図。
【図19】本発明の第3の実施の形態の概略説明図。
【符号の説明】
1、1A、1B:透過工程、
2:バンドパスフィルタ、
3:監視するプラズマ光源、
4、4A:入射角変化手段、
5:回転ステージ、 6:ステッピングモータ、
7、7A、7B:検知工程、
8、8A、8B:検知器、
9、9A、9B:フォトダイオード、
10:ADコンバータ、 11:演算出力工程、
12:角度センサー、 13:波長変換手段、
14:出力補正手段、 15:演算出力装置、
16:出力装置、
17、17A、17B:プラズマ処理の終点検知装置、
18:光学レンズ、 19:アパーチャ、
20:対物レンズ、 21:凸レンズ、
22A、22B:フォトダイオードアレイ。
Claims (6)
- ある特定波長領域のみを選択的に透過させるバンドパスフィルタに監視するプラズマ光源からの入射角度が変化する入射角変化手段を用いて透過波長を変化させる透過工程と、この透過工程で透過した分光を検知器で検知する検知工程と、この検知工程の検知器からの検知出力および前記透過工程の入射角変化手段の角度出力が入力されることにより、入射角度が変化しても透過波長の検知出力が入射角度を変化させないで得られる値になるようにする波長変換手段、出力補正手段を備える演算出力装置で反応中と反応前を比較演算し、出力装置にプラズマ処理の終点を出力する演算出力工程とを含むことを特徴とするプラズマ処理の終点検知方法。
- 透過工程はバンドパスフィルタの中心波長を監視波長の長波長側とほぼ一致させるように配置して行なうことを特徴とする請求項1記載のプラズマ処理の終点検知方法。
- 透過工程はバンドパスフィルタの透過波長の上・下限の中心付近と監視波長のほぼ中心を一致させるように配置して行なうことを特徴とするプラズマ処理の終点検知方法。
- 監視するプラズマ光源の全領域において、ある特定波長領域のみを選択的に透過させるバンドパスフィルタと、このバンドパスフィルタに対して監視するプラズマ光源の入射角度を変化させる入射角変化手段と、前記バンドパスフィルタを透過した分光を検知しデジタル処理して出力することができる検知器と、この検知器からの検知出力および前記入射角変化手段の角度出力が入力されることにより、入射角度が変化しても透過波長の検知出力が入射角度を変化させないで得られる値になるように波長変換手段、出力補正手段を備え、反応中と反応前を比較演算し、出力装置にプラズマ処理の終点を出力する演算出力装置とからなることを特徴とするプラズマ処理の終点検知装置。
- バンドパスフィルタは該バンドパスフィルタの中心波長を監視波長の長波長側とほぼ一致させるように配置されていることを特徴とする請求項4記載のプラズマ処理の終点検知装置。
- バンドパスフィルタは該バンドパスフィルタの透過波長の上・下限の中心付近と監視波長のほぼ中心を一致させるように配置されていることを特徴とする請求項4記載のプラズマ処理の終点検知装置。
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