TW201823702A - 氣密性檢測方法及氣密性檢測裝置 - Google Patents

Abstract

一種氣密性檢測方法包含連通儲存腔體及檢測腔體，對儲存腔體提供負壓，量測儲存腔體或檢測腔體之壓力以取得第一壓力值，根據負壓及第一壓力值判斷檢測腔體之氣密性，停止對儲存腔體提供負壓，量測儲存腔體或檢測腔體之壓力以取得第二壓力值，於停止對儲存腔體提供負壓一預設時間之後量測儲存腔體或檢測腔體之壓力以取得第三壓力值，以及根據第二壓力值及第三壓力值判斷檢測腔體之氣密性。裝置包含檢測腔體、儲存腔體、負壓產生器及壓力計。儲存腔體連通於檢測腔體。負壓產生器連通於儲存腔體。壓力計連接至儲存腔體或檢測腔體。

Description

氣密性檢測方法及氣密性檢測裝置

本發明係關於一種檢測方法及檢測裝置，特別是有關於一種用以檢測受測模組之氣密性之氣密性檢測方法及氣密性檢測裝置。

一般而言，使用者於使用應氣密的模組時，通常會先對此模組進行氣密性檢測，以確定此模組的氣密性是否合乎使用者之需求。舉例而言，於電子設備之製造過程中，通常會進行各種電性測試。此時，會將應氣密的彈簧探針模組裝設於測試系統。若彈簧探針模組中，其探針與基材之交接處之氣密性不足，則可能會影響電子設備的測試結果。因此，於彈簧探針模組裝設於測試系統之前，通常會先行檢測彈簧探針模組之氣密性。

以往之氣密性檢測裝置中，相關業者通常會持續地對上述應氣密的模組提供負壓，以檢測此模組之氣密性。然而，如此持續提供負壓之配置，其氣密性之檢測結果有可能不準確。因此，將經過如此之氣密性檢測之應氣密的模組裝設於欲使用系統中，此模組之氣密性仍可能有所不足。如此一來，使用者便必須拆卸此氣密性不足之模組，再替換裝設其他模組，導致使用者因多餘的拆卸與替換動作而耗費過多的時間，因此添增使用者的困擾。因此，提升氣密性檢測之精確度，為目前相關業者極欲追求的目標。

有鑑於以上的問題，本發明提出一種氣密性檢測方法及氣密性檢測裝置，藉以準確檢測受測模組之氣密性，進而能夠避免使用者因重覆拆裝模組所造成之困擾。

本發明之一實施例提出一種氣密性檢測方法，用以檢測一受測模組。氣密性檢測方法包含以下步驟。連通一儲存腔體及一檢測腔體。對儲存腔體提供一負壓。量測儲存腔體或檢測腔體之壓力，以取得一第一壓力值。根據負壓及第一壓力值判斷檢測腔體之氣密性。停止對儲存腔體提供負壓。量測儲存腔體或檢測腔體之壓力，以取得一第二壓力值。於停止對儲存腔體提供負壓一預設時間之後，量測儲存腔體或檢測腔體之壓力，以取得一第三壓力值。根據第二壓力值及第三壓力值判斷檢測腔體之氣密性。

另外，本發明之一實施例提出一種氣密性檢測裝置，用以檢測一受測模組。氣密性檢測裝置包含一檢測腔體、一儲存腔體、一負壓產生器及至少一壓力計。檢測腔體用以容置受測模組。儲存腔體連通於檢測腔體。負壓產生器連通於儲存腔體。負壓產生器用以提供負壓。壓力計連接至儲存腔體或檢測腔體，且用以量測儲存腔體或檢測腔體之壓力。

根據本發明之一實施例之氣密性檢測方法氣密性檢測裝置，可藉由對儲存腔體提供負壓時、停止對儲存腔體提供負壓時及一預定時間之後，分別量測第一壓力值、第二壓力值及第三壓力值。根據負壓、第一壓力值、第二壓力值及第三壓力值而能夠準確地判斷受測模組之氣密性。換言之，能夠透過靜態與動態之二種氣密檢測結果來提升氣密性的檢測精確度，進而能夠避免因重覆拆裝模組所造成的困擾。

以上之關於本發明內容之說明及以下之實施方式之說明係用以示範與解釋本發明之精神與原理，並且提供本發明之專利申請範圍更進一步之解釋。

以下在實施方式中詳細敘述本發明之實施例之詳細特徵以及優點，其內容足以使任何本領域中具通常知識者了解本發明之實施例之技術內容並據以實施，且根據本說明書所揭露之內容、申請專利範圍及圖式，任何本領域中具通常知識者可輕易地理解本發明相關之目的及優點。以下之實施例係進一步詳細說明本發明之觀點，但非以任何觀點限制本發明之範疇。

於本說明書之所謂的示意圖中，由於用以說明而可有其尺寸、比例及角度等較為誇張的情形，但並非用以限定本發明。於未違背本發明要旨的情況下能夠有各種變更。說明書中所描述之圖中方向等用語，為便於說明，而非用以限制本發明。說明書中所描述之「實質上」可表示容許製造時之公差所造成的偏離。

請參照圖1及圖2，圖1繪示依照本發明之一實施例之氣密性檢測裝置10之架構示意圖，圖2繪示圖1之氣密性檢測裝置10之檢測腔體11及受測模組20之側視示意圖。氣密性檢測裝置10用以檢測受測模組20之氣密性。於本實施例中，氣密性檢測裝置10包含一檢測腔體11、一第一壓力計12、一儲存腔體13、一第二壓力計14、一負壓產生器15及一開關閥16。

受測模組20可氣密地裝設於檢測腔體11。於一實施例中，受測模組20可為彈簧探針模組，其包含一基材21、多個彈簧探針22及多個探針套筒23。彈簧探針22貫穿基材21。探針套筒23設置於基材之一側且包覆分別包覆彈簧探針22之一端。基材21可裝設於檢測腔體11之開口。彈簧探針22與基材21之交接處具有氣密需求。於其他實施例中，受測模組20亦可為其他有氣密需求的模組。

第一壓力計12連接至檢測腔體11，且用以量測檢測腔體11之壓力。儲存腔體13連通於檢測腔體11。第二壓力計14連接至儲存腔體13，且用以量測儲存腔體13之壓力。負壓產生器15連通於儲存腔體13。負壓產生器15用以提供負壓。

開關閥16設置於儲存腔體13與負壓產生器15之間，且用以切換儲存腔體13與負壓產生器15之間之連通狀態及密封狀態。換言之，當開關閥16開通時，則儲存腔體13及負壓產生器15彼此連通。此時儲存腔體13之壓力及檢測腔體11之壓力可受到負壓產生器15之影響，而呈現動態的壓力狀態，藉此能夠檢測受測模組20之動態的氣密性。當開關閥16封閉時，則開關閥16可封閉儲存腔體13。此時儲存腔體13之壓力及檢測腔體11之壓力呈現靜態的壓力，藉此能夠檢測受測模組20之靜態的氣密性

請參照圖1及圖3，圖3繪示依照本發明之一實施例之氣密性檢測方法之流程示意圖。氣密性檢測方法用以檢測受測模組20之氣密性。氣密性檢測方法包含以下步驟。

於步驟S11中，連通儲存腔體13及檢測腔體11，且將受測模組20裝設於檢測腔體11。

於步驟S12中，令負壓產生器15對儲存腔體13提供負壓。此時，可開通開關閥16，使得負壓產生器15對儲存腔體13提供負壓。由於檢測腔體11連通於儲存腔體13，故負壓產生器15進一步對檢測腔體11提供負壓。接下來可進行步驟S13。

於步驟S13中，藉由第一壓力計12量測檢測腔體11之壓力，以取得第一壓力值。此處之第一壓力值可反應出較接近受測模組20之壓力，但不以此為限。此時亦可藉由第二壓力計14量測儲存腔體13之壓力而取得第一壓力值。接下來可進行步驟S14。

於步驟S14中，根據負壓及第一壓力值判斷檢測腔體11之氣密性。於負壓與第一壓力值之差值之絕對值大於一預設值時，判斷檢測腔體11漏氣。由於受測模組20可氣密地裝設於檢測腔體11，故檢測腔體11漏氣時，表示受測模組20之動態氣密性未達標準而不合格，反之則為合格。舉例而言，於負壓與第一壓力值之差值之絕對值小於或等於5 kPa時，判斷受測模組20之動態氣密性合格。或者另舉例而言，於負壓與第一壓力值之差值之絕對值小於或等於該負壓之5 %時，判斷受測模組20之動態氣密性合格。判斷氣密性之標準不以此為限。接下來可進行步驟S15。

於步驟S15中，停止負壓產生器15對儲存腔體13提供負壓。其中，可藉由封閉位於負壓產生器15與儲存腔體13之間之開關閥16，以停止負壓產生器15對儲存腔體13提供負壓，進而停止對檢測腔體11提供負壓。或者，可藉由關閉負壓產生器15而停止負壓產生器15對儲存腔體13提供負壓，進而停止對檢測腔體11提供負壓。再或者，可藉由上述二種方式一併進行，而停止負壓產生器15對儲存腔體13提供負壓，進而停止對檢測腔體11提供負壓。接下來可進行步驟S16。

於步驟S16中，藉由第二壓力計14量測儲存腔體13之壓力，以取得第二壓力值。於儲存腔體13所量測之壓力數值可較於檢測腔體11所量測之壓力數值略為穩定，但不以此為限。此時亦可藉由第一壓力計12量測檢測腔體11之壓力而取得第二壓力值。接下來可進行步驟S17。

於步驟S17中，於停止負壓產生器15對儲存腔體13提供負壓一預定時間之後，量測儲存腔體13之壓力以取得第三壓力值。此段時間可約為60秒。於儲存腔體13所量測之壓力數值可較於檢測腔體11所量測之壓力數值略為穩定，但不以此為限。此時亦可藉由第一壓力計12量測檢測腔體11之壓力而取得第三壓力值。接下來可進行步驟S18。

於步驟S18中，根據第二壓力值及第三壓力值判斷檢測腔體11之氣密性。於第二壓力值與第三壓力值之差值之絕對值大於一預設值時，判斷檢測腔體11漏氣。由於受測模組20可氣密地裝設於檢測腔體11，故檢測腔體11漏氣時，表示受測模組20之靜態氣密性未達標準而不合格，反之則為合格。舉例而言，於第二壓力值與第三壓力值之差值之絕對值小於或等於5 kPa時，判斷受測模組20之靜態氣密性合格。或者另舉例而言，於第二壓力值與第三壓力值之差值之絕對值小於或等於負壓之5 %時，判斷受測模組20之靜態氣密性合格。判斷氣密性之標準不以此為限。

綜上所述，本發明之一實施例之氣密性檢測方法氣密性檢測裝置，可藉由對儲存腔體提供負壓時、停止對儲存腔體提供負壓時及一預定時間之後，分別量測第一壓力值、第二壓力值及第三壓力值。根據負壓、第一壓力值、第二壓力值及第三壓力值而能夠準確地判斷受測模組之氣密性。

其中，可根據負壓及第一壓力值而判斷受測模組之動態氣密性。另外，亦可根據第二壓力值及第三壓力值而判斷受測模組之靜態氣密性。藉此，能夠透過靜態與動態之二種氣密檢測結果來提升氣密性的檢測精確度，進而能夠避免因重覆拆裝模組所造成的困擾。

雖然本發明以前述之實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明。在不脫離本發明之精神和範圍內，所為之更動與潤飾，均屬本發明之專利保護範圍。關於本發明所界定之保護範圍請參考所附之申請專利範圍。

10‧‧‧氣密性檢測裝置

11‧‧‧檢測腔體

12‧‧‧第一壓力計

13‧‧‧儲存腔體

14‧‧‧第二壓力計

15‧‧‧負壓產生器

16‧‧‧開關閥

20‧‧‧受測模組

21‧‧‧基材

22‧‧‧彈簧探針

23‧‧‧探針套筒

圖1繪示依照本發明之一實施例之氣密性檢測裝置之架構示意圖。 圖2繪示圖1之氣密性檢測裝置之檢測腔體及受測模組之側視示意圖。 圖3繪示依照本發明之一實施例之氣密性檢測方法之流程示意圖。

Claims (10)

1. 一種氣密性檢測方法，包括：連通一儲存腔體及一檢測腔體；對該儲存腔體提供一負壓；量測該儲存腔體或該檢測腔體之壓力，以取得一第一壓力值；根據該負壓及該第一壓力值判斷該檢測腔體之氣密性；停止對該儲存腔體提供該負壓；量測該儲存腔體或該檢測腔體之壓力，以取得一第二壓力值；於停止對該儲存腔體提供該負壓一預設時間之後，量測該儲存腔體或該檢測腔體之壓力，以取得一第三壓力值；以及根據該第二壓力值及該第三壓力值判斷該檢測腔體之氣密性。
2. 如請求項1所述之氣密性檢測方法，其中於該負壓與該第一壓力值之差值之絕對值大於一預設值時，判斷該檢測腔體漏氣。
3. 如請求項1所述之氣密性檢測方法，其中該負壓與該第一壓力值之差值之絕對值小於或等於5 kPa時，判斷該檢測腔體之動態氣密性合格。
4. 如請求項1所述之氣密性檢測方法，其中該負壓與該第一壓力值之差值之絕對值小於或等於該負壓之5 %時，判斷該檢測腔體之動態氣密性合格。
5. 如請求項1所述之氣密性檢測方法，其中於該第二壓力值與該第三壓力值之差值之絕對值大於一預設值時，判斷該檢測腔體漏氣。
6. 如請求項1所述之氣密性檢測方法，其中該第二壓力值與該第三壓力值之差值之絕對值小於或等於5 kPa時，判斷該檢測腔體之靜態氣密性合格。
7. 如請求項1所述之氣密性檢測方法，其中該第二壓力值與該第三壓力值之差值之絕對值小於或等於該第二壓力值之5 %時，判斷該檢測腔體之靜態氣密性合格。
8. 如請求項1所述之氣密性檢測方法，其中停止對該儲存腔體提供該負壓之步驟，包括封閉位於一負壓產生器與該檢測腔體之間之一開關閥，或者關閉該負壓產生器，或者既封閉位於該負壓產生器與該檢測腔體之間之該開關閥亦關閉該負壓產生器。
9. 一種氣密性檢測裝置，用以檢測一受測模組，該氣密性檢測裝置包括：一檢測腔體，用以容置該受測模組；一儲存腔體，連通於該檢測腔體；一負壓產生器，連通於該儲存腔體，該負壓產生器用以提供負壓；以及至少一壓力計，連接至該儲存腔體或該檢測腔體，且用以量測該儲存腔體或該檢測腔體之壓力。
10. 如請求項9所述之氣密性檢測裝置，更包括一開關閥，設置於該儲存腔體與該負壓產生器之間，且用以切換該儲存腔體與該負壓產生器之間之連通狀態及密封狀態。