TW201704668A - 具鎖定機構的閥與集成閥 - Google Patents

Abstract

提供一種具鎖定機構的閥與集成閥，其構造 精簡，且即使將閥連接於集成閥等之裝置的密集場所亦不會干涉鄰接裝置，為簡單的構造且成本性優異，且不會損及旋柄的形狀或操作性，而且還具備僅在閉閥時或開閥時之必要時可進行旋柄鎖定的誤操作防止功能。 一種具鎖定機構的閥，係在將用來開閉閥體的閥軸予以內藏之閥本體的上部，將具有抓取部的旋柄本體設置成旋動操作自如，其特徵為，設在前述旋柄本體下方的前述閥本體，其外周圍的一部分形成有切口段部面，於該切口段部面內將具有鎖定孔的鎖定板件透過軸裝部收納成旋動自如，並且在該鎖定板件旋動至閥本體的全閉時或全開時之任一個位置時，使前述鎖定孔設置成面對前述閥本體的上表面區域而可進行鎖定。

Description

具鎖定機構的閥與集成閥

本發明，係關於具鎖定機構的閥與集成閥，例如，係關於在半導體製造裝置之集成化氣體供給系統所使用之具鎖定機構的手動閥與具有該手動閥的集成閥。

半導體製造裝置的氣體供給系統中，係使用氣體分路棒等之集成閥，於具有流路的集成閥單元，將手動閥、自動閥、沖洗閥等之各種的閥、或是過濾器、調節器、壓力感測器、質量流量控制器等，連接成直列狀。如上述般的集成閥係互相被排成並列狀，並盡可能地謀求氣體供給系統的精簡化。

連接於此種集成閥的手動閥，一般係被設在集成閥之流路的入口或出口，作業者旋動旋柄藉此來開閉供給氣體的流路全體，為了在旋柄全閉狀態中不使旋柄不小心朝開方向旋動，而有必要確實進行鎖定的功能。作為此種鎖定機構，有著具有鎖定孔者，作為具鎖定孔的鎖定機構，一般為在旋柄全閉狀態中在鎖定機構的鎖定孔安裝掛鎖等之上鎖構件來固定旋柄的旋動使其維持在全閉狀 態。

且，於具鎖定孔的鎖定機構，為了不使作業者誤操作成在旋柄全閉(或全開)位置以外的位置進行旋柄的上鎖，亦要求有可防止誤操作的功能。此外，一般來說，在手動的開閉操作機構中，以具備上述的鎖定機構為佳。

作為具備上述誤操作防止功能之具有鎖定孔之具鎖定機構的閥，提案有專利文獻1~3。專利文獻1，係藉由螺絲機構來使閥體相對於閥座移動的手動閥，其揭示出由以下所成的鎖定機構：於外周形成有切口槽的旋柄、形成於閥本體的固定槽、以及沿著固定槽可滑動且形成有固定孔的板件。該固定機構中，在閉閥狀態時，使板件與閥本體的固定槽和旋柄的切口槽卡合，並在該卡合狀態於板件安裝有固定構件來固定在閉閥狀態。

於專利文獻2的圖式(圖1~圖3等)，揭示有安裝在致動器上部，且透過支點而被設置在旋柄內部之具鎖定孔的滑動構件。由同文獻的圖式揭示出一種固定機構，於該滑動構件的旋柄上側突出的把持部被拉抬到旋柄全閉位置時，滑動構件透過支點旋動，使支點相反側卡止於設在致動器外殼上部的凹部，來固定旋柄。

於專利文獻3，揭示有於手動操作機構部具備固定機構的複合自動閥。同文獻之手動操作機構部的固定機構，係於操作旋柄形成有固定孔，於該固定孔將設置成自由進出閥本體之固定板件的固定卡合部，(在操作旋柄 的閉位置)予以重疊並以掛鎖等之固定構件來將操作旋柄固定於閥本體。且，作為設置成自由進出閥本體的固定板件，揭示有：在旋轉之際使固定孔側從閥本體上表面區域突出地在閥本體以卡止銷軸裝成旋動自如者，以及在底面部安裝彈簧且藉由該彈簧的彈力上下移動者。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2005-291380號公報

[專利文獻2]WO2014/062534

[專利文獻3]日本特開2005-163949號公報

另一方面，作為近年來的傾向，例如於半導體製造裝置之氣體供給系統等要求著進一步的小型化、集成化，如上述般之具備防止誤操作功能之鎖定孔之具鎖定機構的閥，亦多連接在小型化、集成化後的集成閥之各種裝置密集的場所。

但是，專利文獻1之固定機構的構造，係使板件卡合於閥本體的固定槽與旋柄的切口槽，故形成有固定孔的板件係對閥本體的側面以垂直方向站立的狀態進行滑動的構造。因此，板件或是設在保持該板件之外殼的框 架，會無法避免地成為從閥體的上表面區域往水平方向突出的構造。

具有從閥體的上表面區域往水平方向突出之固定機構的閥裝置，在想要連接於盡可能謀求小型化、集成化之集成閥的密集場所時，從佔有區域往水平方向突出的部分會干涉到鄰接裝置而使閥無法連接，或是連接的場所或方向等受到限制。或是，即使在特定的裝置連接狀態中偶爾不會有干涉，但是閥體的上表面區域，係作為連接於集成閥之各種閥裝置的佔有區域，而必須確保各自的區域，故構件對鄰接裝置的佔有區域突出之事，就連接於集成閥的閥裝置而言不佳。

此點，就專利文獻2之固定機構的構造來看，具鎖定孔的滑動構件係設置成往旋柄的正上方向滑動，滑動構件等不會從閥本體的上表面區域往水平方向突出，故不會干涉鄰接裝置。但是這種滑動構件，在非固定時係收容於旋柄的內部，且在固定時係將往旋柄上側突出的滑動構件的把持部予以拉起而成為可固定，故旋柄的內部構造及滑動構件的構造會過於複雜化。因此，該文獻的固定機構在製造成本等的負擔過大。且，滑動構件的把持部係經常從旋柄突出，故作業者在操作旋柄之際，手指會碰觸該突出的把持部而使操作感觸不佳，有損操作性。

於專利文獻3的固定機構，係於操作旋柄形成有固定孔，故不只會損及操作性還不得不成為複雜的旋柄形狀。且，在固定板件旋動自如地軸裝於閥本體的情況 時，在旋轉之際，係從基座的上表面區域往水平方向使固定板件突出，故如上述般有著干涉鄰接裝置之虞。

在此，本發明係為了解決上述問題點而開發者，其目的係為了提供一種具鎖定機構的閥與集成閥，其構造精簡，且即使將閥連接於集成閥等之裝置的密集場所亦不會干涉鄰接裝置，為簡單的構造且成本性優異，且不會損及旋柄的形狀或操作性，而且還具備僅在閉閥時或開閥時之必要時可進行旋柄鎖定的防止誤操作功能。

為了達成上述目的，請求項1所請發明，係一種具鎖定機構的閥，係在將用來開閉閥體的閥軸予以內藏之閥本體的上部，將具有抓取部的旋柄本體設置成旋動操作自如，其特徵為，設在旋柄本體下方的閥本體，其外周圍的一部分形成有切口段部面，於該切口段部面內將具有鎖定孔的鎖定板件透過軸裝部收納成旋動自如，並且在該鎖定板件旋動至閥本體的全閉時或全開時之任一個位置時，使鎖定孔設置成面對閥本體的上表面區域而可進行鎖定。

請求項2所請發明，係具鎖定機構的閥，其中，在旋柄本體之抓取部的下部，設置有在閥本體的上表面區域內旋轉的旋轉板，在該旋轉板的一部分，形成有將鎖定板件設置成可旋動的切口部，在該切口部以外之旋轉板的外周下表面設置卡止部，該卡止部在鎖定板件全開時 或全閉時之任一者時，係卡止鎖定板件使其無法旋動。

請求項3所請發明，係具鎖定機構的閥，其中，將閥本體的框體形成為圓筒形狀，並構成為使鎖定板件的旋動區域位在圓筒形框體之大致徑方向內的位置，且，將切口段部面的階差部作為鎖定板件之全開時或全閉時的旋動卡止面。

請求項4所請發明，係具鎖定機構的閥，其中，於旋柄本體的旋轉板設有開口窗，將設在閥本體之上表面之全開、全閉的顯示部，藉由旋轉板的旋轉而可分別目視確認。

請求項5所請發明，係一種集成閥，構成為將具鎖定機構的閥集成在具有流路的基座體上。

根據請求項1所記載的發明，於閥本體之外周圍的一部分形成有切口段部面，由於該切口段部面內收納有鎖定板件，故鎖定板件不會從閥本體往水平方向突出，或是往閥本體內側入侵，可得到將鎖定板件之收納空間的浪費抑制在極限之精簡的具鎖定機構的閥，且旋柄操作性亦優異。且，即使將該閥連接於集成閥的密集場所等，亦不會干涉鄰接裝置。而且，由於將鎖定孔設置成面對閥本體的上表面區域而可進行鎖定，故在鎖定時可迴避鎖定構件之鄰接裝置等的干涉。

且，鎖定板件係設在與旋柄本體分離之閥本 體的下方，故幾乎不會有設置鎖定板件所造成之對旋柄本體之構造的影響，不會使旋柄本體的構造複雜化或是損及旋柄的操作性。

此外，軸裝成旋動自如的鎖定板件，係利用作為滑動面的切口段部面來導引旋動，故不需要框架或彈簧等之任何輔助鎖定板件之滑動的構件，零件個數可以較少，可構成簡單構造的鎖定機構。

根據請求項2所記載的發明，於旋轉板的一部分形成有將鎖定板件設成可旋動的切口部，且將該切口部以外之旋轉板的外周下表面作為卡止部，故可用極為簡易的構造來構成防止誤操作機構，可在全開時或全閉時之任一情況卡止鎖定板件且不能旋動，來防止作業者不小心在全開時或全閉時以外的情況對鎖定板件進行鎖定的誤操作。

根據請求項3所記載的發明，將閥本體的框體形成圓筒形狀，且構成為使鎖定板件的旋動區域位在圓筒形框體的大致徑方向內，故鎖定板件的旋動區域全體，係收納成不會從圓筒形框體之俯視時的圓形狀所外接之正方形狀的區域突出，不僅不會與鄰接裝置干涉，還可使閥極為精簡化，故非常適合作為與集成閥連接之閥裝置的鎖定機構。

且，由於將切口段部面的階差部作為鎖定板件之全開時或全閉時的旋動卡止面，故可配合鎖定板件的形狀使切口段部面的形狀最佳化、最小化，且階差部在收 納時，係成為與鎖定板件的側面部抵接的止動件，可確實將鎖定板件收納在切口段部面內。

根據請求項4所記載的發明，以在旋柄本體的旋轉板設有開口窗之極為單純的構造，來設置朝向閥上表面側的顯示部，其適合集成閥的開閉閥顯示。且，由於開口窗係設在旋柄，而且開閉顯示與旋柄操作連動，故旋柄操作時容易讓作業者辨識。

根據請求項5所記載的發明，係在具有流路的基座體上，使用具鎖定機構的閥，其具備可僅在閉閥時或開閥時進行旋柄鎖定的防止誤操作機構，且即使將閥連接在集成閥等之裝置的密集場所亦不會干涉鄰接裝置，而且不會損及旋柄的形狀或操作性，可構成用來在半導體製造裝置之氣體供給系統等所使用的集成閥。

1‧‧‧具鎖定機構的閥

2‧‧‧閥本體

3‧‧‧旋柄本體

4‧‧‧抓取部

5‧‧‧顯示部

6‧‧‧外周圍

7‧‧‧切口段部面

70‧‧‧階差部

8‧‧‧鎖定板件

9‧‧‧鎖定孔

10‧‧‧軸裝部

100‧‧‧銷

13‧‧‧平面部

14‧‧‧旋轉板

15‧‧‧上表面

16‧‧‧切口部

17‧‧‧卡止部

18‧‧‧開口窗

19‧‧‧上部框體

20‧‧‧下部框體

21‧‧‧連接構件

22‧‧‧凹部

26‧‧‧閥體(隔膜)

27‧‧‧閥座

28‧‧‧流路

29‧‧‧閥軸

30‧‧‧連結機構部

34‧‧‧螺合構件

39‧‧‧基座體

40‧‧‧集成閥

S、T‧‧‧區域

圖1為表示本發明之具鎖定機構的閥的立體圖。

圖2為圖1之本發明之具鎖定機構的閥的前視圖。

圖3為旋柄本體在閉位置，且鎖定板件在鎖定時之本發明之具鎖定機構的閥的前視圖。

圖4為圖1、圖2之本發明之具鎖定機構的閥的擴大俯視圖。

圖5為旋柄本體在閉位置，且鎖定板件在鎖定前之本發明之具鎖定機構的閥的擴大俯視圖。

圖6為圖3之本發明之具鎖定機構的閥的擴大俯視圖。

圖7為圖2的A-A線剖面圖。

圖8為圖3的B-B線剖面圖。

圖9為圖3的C-C線剖面圖。

圖10為表示本發明之具有具鎖定機構的閥的集成閥之一例的外觀圖。

以下，將本發明之具鎖定機構的閥與集成閥的實施形態之一例根據圖式進行詳細說明。本發明之具鎖定機構的閥，特別適合於半導體製造裝置之氣體供給系統所使用的開閉手動閥、以及具有該手動閥的集成閥。

圖1為表示旋柄在開位置(全開狀態)之本發明之具鎖定機構的閥1之外觀的立體圖。於閥本體2的上部，使具有抓取部4的旋柄本體3設置成旋動操作自如。閥本體2，係如後述般內藏有用來開閉閥體(隔膜)26的閥軸29。位在旋柄本體3之下方的閥本體2其外周圍6的一部分，形成有切口段部面7，在該切口段部面7內，使具有鎖定孔9的鎖定板件8，透過軸裝部10被收納成旋動自如。

圖2為表示圖1中從面對鎖定板件8的前面方向所觀看之本發明之具鎖定機構的閥1的外觀前視圖。

如圖1、圖2所示般，旋柄本體3具有抓取部 4，抓取部4的構造係因應實施而適當選擇，但本實施形態係使上側面11形成為縱長的圓角六角形狀的六角柱狀，且設有表示流路方向的方向顯示部12。且，於抓取部4之縱長方向的側面，形成有平面部13，該平面部13係形成為，在旋柄本體3成為閉位置時，與形成有切口段部面7的平面成為位在大致同一平面上。

於抓取部4的下部，設有用來在閥本體2之上表面區域內旋轉的旋轉板14。如圖示般，本實施形態的旋轉板14係呈現與閥本體2的上表面15相同形狀的圓形狀，於該旋轉板14的一部分，形成有將鎖定板件8設成可旋動的切口部16。切口部16的形狀係因應實施而適當選擇，但本實施形態中係使圓形狀之旋轉板14的一部分被切缺成直線狀，該切口部16，係形成為與平面部13在大致同一平面上。且，旋轉板14之切口部16以外之外周部的下表面側，係成為鎖定板件8的卡止部17。此外，如圖4~6等所示般，於旋轉板14設有開口窗18。

遮斷部43，係使平面部13延長且形成為連接抓取部4的側面部與旋轉板14的上表面部的肋狀，遮斷部43的一面，係連結成與平面部13在同一平面。

如圖1、圖2所示般，閥本體2，係具有上部框體19與下部框體20。且，連接構件21係用來連接後述之集成閥40之基座體39與閥本體2的構件。框體的外形狀並未特別限制，但本實施形態中，上部框體19、下部框體20係形成圓筒形狀，於上部框體19之外周圍6的 一部分形成有切口段部面7，於該切口段部面7內收納有鎖定板件8。

閥本體的上表面區域，係從上表面側觀看閥本體之俯視時之閥本體的佔有平面區域中，為比該佔有平面區域還靠閥本體之垂直方向上側的空間區域。本實施形態的上表面區域，係在圓筒形狀之上部框體19的俯視時，成為大致圓形狀的閥本體2之上表面15之垂直方向上側的空間區域。

鎖定板件8具有鎖定孔9，只要是透過軸裝部10旋動自如地被收納在切口段部面7內的話，其構造並未特別限制，切口段部面7也是，只要形成為收納有鎖定板件8的話，其構造並未特別限制。

本實施形態中，切口段部面7，係透過上部框體19的外周圍6與階差部70而設置，該階差部70的形狀，係形成適合鎖定板件8的形狀。如圖2所示般，鎖定板件8，係形成為以3處直線狀的側面部a、b、c來封閉3處圓弧部A、B、C而連結的形狀，沿著切口段部面7的方向旋動自如地被軸裝部10所固定。鎖定構件，係例如使用有掛鎖或既定粗度的繩子固定等。鎖定孔9可適當選擇來能夠安裝鎖定構件，但本實施形態中，在圓弧部A部分，形成為適合掛鎖之鎖環之形狀的圓形狀。且，軸裝部10係設在圓弧部B部分，例如圖9所示般，將銷100壓入而構成。

本實施形態的切口段部面7，係與圓筒形狀之 上部框體19的軸心方向大致並行，且從外周圍6起算的深度係比鎖定板件8的厚度還要大既定程度，且以不超出閥本體2之上表面15側的方式，將上部框體19之外周圍的一部分形成切口。且，透過階差部70與外周圍6連結，該階差部70，係形成為在圖1、圖2所示之收納時(鎖定板件8全開時)與上述鎖定板件8之形狀的一部分大致相同的形狀。收納時，於鎖定板件8的圖1、圖2中，下側的側面部a、b、及圓弧部C，係被階差部70所承受(抵接)，且上側的側面部c，係與旋轉板14之下表面側的卡止部17僅隔著些許間隙而成為大致並行。

如上述般的鎖定板件8，係被收納於：為了從閥本體2的外周圍6軸裝既定厚度的鎖定板件8而成為必要最底限的深度且沿著外周圍6的大致徑方向的切口段部面7，故可抑制鎖定板件8對閥本體2之收納空間的浪費，可精簡化閥1。

接著，說明本發明之具鎖定機構的閥的鎖定動作。本發明的鎖定板件，在旋動至閥本體的全閉時或全開時之任一個位置時，使鎖定孔面對閥本體的上表面區域而可進行鎖定。以下所說明的本實施形態中，係在旋動至閥本體2之全閉時的位置時，使鎖定孔9面對閥本體2的上表面區域來進行鎖定者。

首先，圖1、2，係表示上述之鎖定板件8的收納時(全開時)，鎖定板件8，係收納在切口段部面7內。本發明之旋轉板的卡止部，係在鎖定板件的全開時或 全閉時之任一者時，卡止鎖定板件而成為無法旋動，在本實施形態中，鎖定板件8係在全開時被卡止者，使鍔狀之旋轉板14之下表面側的卡止部17，突出地覆蓋切口段部面7之上表面15側的挖空部分，來阻擋上側之側面部c往卡止部17之朝向上方向的旋動，成為無法旋動。

且，本發明之切口段部面的階差部，係成為鎖定板件之全開時的旋動卡止面，在本實施形態之鎖定板件8的全開時，階差部70，係適合承受(抵接)側面部a、b、及圓弧部c的形狀，而成為將鎖定板件8之朝開方向的旋動予以卡止的旋動卡止面。

接著，圖3表示出面對鎖定板件8之從前面方向所觀看的前視外觀圖，係在本實施形態中，使位在圖1、圖2所示之開位置的旋柄本體3旋動90°而成為閉位置(全閉狀態)，並使鎖定板件8以軸裝部10為支點旋動至鎖定方向的極限為止，使鎖定孔9面對閥本體2的上表面區域來將旋柄本體3鎖定在閉位置的鎖定時(鎖定板件8全閉時)的情況。

本發明之旋轉板的切口部係將鎖定板件設成可旋動，在同圖所示之本實施形態之旋柄本體3的閉位置，使抓取部4的平面部13、旋轉板14的切口部16、切口段部面7，互相成為在大致同一平面上且確保有旋動導引區域，以軸裝部10為支點，可使鎖定板件8的鎖定孔9側往閥本體2的上方向滑動旋動。

切口部16，係在旋轉板14之全閉時以外的位 置處，不與切口段部面7平行，故即使在旋柄本體3於全閉時以外的位置時想要旋動鎖定板件8亦會被卡止部17給卡止。因此，可以防止在旋柄本體3於全閉時以外的位置時不小心將鎖定板件8予以鎖定的誤操作。如上述般，本實施形態的切口部16，係只有將旋轉板14的一部分形成直線狀的切口之極為簡單的構造，就可確實防止誤操作。

在鎖定板件8的全閉時，係如圖3所示般，在側視閥本體2時，鎖定孔9的全區域成為在旋轉板14的上側，而面對閥本體2的上表面區域。此外，如後述的圖7所示般，於閥本體2的側視中，切出鎖定孔9的內側所佔之圓形狀的區域與旋柄本體3重複的區域，來在抓取部4切出形成凹部22。本實施形態的凹部22，係配合剖面圓形狀之鎖定構件(掛鎖的鎖環)的形狀，而形成剖面為半圓弧狀的切口。形成有上述般之凹部22的情況，可將鎖定板件8的尺寸形成得更小。

且，本發明之切口段部面的階差部，係成為鎖定板件之全閉時的旋動卡止面，在本實施形態之鎖定板件8的全閉時，階差部70，係抵接於側面部c而成為卡止鎖定板件8之往閉方向旋動的旋動卡止面。

如上述般，階差部70的形狀，係形成為適合既定形狀之鎖定板件8之旋動區域所佔有的形狀，而且只要形成為承受旋動的卡止面的話，可將形成於外周圍6之切口段部面7的面積抑制在必要最低限度，可使鎖定板件 8的收納空間成為最佳化、最小化，並可使鎖定板件8對切口段部面7內的收納更穩定確實。

本實施形態中，即使在從圖1、2所示之鎖定板件8的全開位置，往圖3所示之全閉位置旋動的旋動途中位置，亦會使鎖定板件8的鎖定孔9位在面對閥本體2之上表面區域的位置，但是在該途中位置時，設在抓取部4的遮斷部43會與鎖定孔9重疊，故會阻斷鎖定構件對鎖定孔9的安裝。因此，可防止在鎖定板件8之全閉位置以外的途中位置對鎖定孔9進行鎖定構件的誤安裝。

圖4~6，係在本實施形態中，係使鎖定板件8的正面側成為圖式下側，來從上表面15側觀看閥本體2的外觀俯視圖。圖4，係表示圖1、圖2的俯視圖，圖5，係表示旋柄本體3位在閉位置且鎖定板件8為全開時的情況，圖6，係圖3的俯視圖。且，以一點鏈線表示之大致正方形狀的區域S，係該等俯視圖中圓筒形上部框體19之閥本體2的上表面15(或與其同形狀的旋轉板14)所形成之外接於大致圓形狀區域T的四角形狀區域。

圖4，旋柄本體3係在開位置，設在抓取部4之上側面11的方向顯示部12，係表示流路的流動方向朝向圖式的右方向。

於本發明的旋轉板設有開口窗，且在閥本體的上表面設置有可藉由旋轉板的旋轉而來分別辨識出全開、全閉的顯示部。本實施形態中，於旋轉板14設有既定形狀的開口窗18，透過該開口窗18，可以辨識到設置 在閥本體2之上表面15的全開顯示部5。因此，顯示部5，係在旋柄本體3位於開位置之際，被設置在面對開口窗18的位置。同圖中作為顯示的一例，係以文字「OPEN」為既定的樣態來表示。設置開口窗18的位置、大小、形狀等，可適當選擇。

同圖的狀態中，可知道鎖定板件8係被旋轉板14之下表面側的卡止部17所遮住。鎖定板件8的旋動區域，係往圖式垂直的方向滑動，故可知道鎖定板件8的滑動旋動會被卡止部17給卡止。

圖5中，係表示著從圖4所示的開位置往閉位置將旋柄本體3旋動90°，且鎖定板件8為全開時的狀態。方向顯示部12，係表示與流路的流動方向垂直之圖式的下方向，透過開口窗18，可辨識出設在閥本體2之上表面15的全閉顯示部5。該全閉顯示部5，亦與全開顯示部5相同，被設在全閉時面對開口窗的位置。同圖中作為顯示的一例，係以文字「CLOSE」為既定的樣態來表示。

同圖的狀態中，可知道旋轉板14之直線狀的切口部16，係位在與切口段部面7大致同一平面上的位置，鎖定板件8之滑動旋動的旋動區域被解放。

圖6中，係表示將圖5所示之全開時的鎖定板件8往閥本體2的上方向滑動旋動之全閉時的狀態。因此，圖5中鎖定孔9係在圖式左側，但圖6係在圖式右側。同圖的狀態中，可知道鎖定板件8把切口部16予以 卡止，使旋轉板14(旋柄本體3)被鎖定成無法旋動。

本發明之鎖定板件的旋動區域，係構成為位在圓筒形框體的大致徑方向。在本實施形態中，如圖2、圖3所示般，鎖定板件8係在圓筒形上部框體19的外周圍6方向(大致徑方向)滑動旋動。且，如圖4~6所示般，可得知鎖定板件8從全開時到全閉時，在所有的旋動區域中，都被收納在四角形狀的區域S內。由於旋動區域被收納在區域S，故鎖定板件8的旋動區域，係成為在圓形狀之區域T的切線方向，且與區域T的直徑寬度為同程度或略小的區域，故構成為位在圓筒形上部框體19之大致徑方向的位置。

在此，例如連接於半導體製造裝置之集成閥單元的裝置，係取代盡可能謀求精簡地省空間化，而是需要在各自裝置的佔有區域內，做不浪費空間之最佳的利用，故各自裝置的佔有區域必須要被確實地確保。例如，在1.125C-seal集成化氣體供給系統中，28.6mm×28.6mm四方的尺寸被規定為公定尺寸。本實施形態之閥1的佔有區域係至少位在連接構件21的上表面區域內，故只要旋動區域在上部框體19的大致徑方向內的話，再將閥1連接於後述之圖10所示的基座體39等之際，至少不會使鎖定板件8朝鄰接裝置的佔有區域突出。因此，不管是將閥1安裝在基座體39的任意位置，朝向任意方向連接，均不會干涉到鄰接裝置。

接著，說明本發明之具鎖定機構之閥1的內 部構造與動作。圖7，係表示旋柄本體3為開位置之狀態之圖2中的A-A線剖面圖，圖8，係表示旋柄本體3為閉位置且鎖定板件8為全閉時之狀態之圖3中的B-B線剖面圖。且，本實施形態之具鎖定機構的閥1雖如以下所示般為隔膜閥，但本發明之具鎖定機構的閥並不限定於此，可適用於連接於基座體39的各種閥。

圖7中，閥本體2的外裝備，係由上部框體19、下部框體20、連接構件21所成。上部框體19係以嵌合在下部框體20上部之環狀部的狀態來藉由固定螺絲23鎖緊固定。下部框體20係使形成於下端部的公螺紋部與形成於連接構件21的母螺紋螺合而固定。且，於連接構件21的內周嵌合有帽套24而固定，帽套24係導引按壓構件25的上下動作，藉由按壓構件25的按壓使隔膜(閥體)26壓接於閥座27來封閉閥1的流路28。

旋柄本體3，係在閥本體2的上部被設置成旋動操作自如，且具有抓取部4和在其下部的旋轉板14。於抓取部4，係如前述般，切出形成有剖面為半圓弧狀的凹部22。且，如圖4等所說明般，於旋轉板14設有開口窗18。於旋柄本體3內部的軸心方向，一體或分開地軸裝有閥軸29。

上部框體19，係位在旋柄本體3的下方，在外周圍6的上部形成有切口段部面7，在該切口段部面7內，透過銷100將鎖定板件8收納成旋動自如。如圖1、2所說明般，於圖7表示有在閥全開時，鎖定板件8的側 面部c被旋轉板14的卡止部17遮住而成為無法旋動的狀態。

閥軸29，係與旋柄本體3一體地連動而旋轉滑動上部框體19內部的軸心。旋柄本體3的旋動，係透過該閥軸29的連結機構部30傳達至螺合構件34。且，在閥軸29的突緣部31、和上部框體19及下部框體20之間，設有適當的軸承構件，在本實施形態中，係各自中介安裝有止推墊圈32、33。

連結機構部30，只要為可將閥軸29的旋轉運動變換成對螺合構件34的螺合運動來連結的機構即可，並無特別限制，但在本實施形態中，係構成鋸齒機構，使閥軸29側為公側300，使螺合構件34側為母側301來互相咬合。

在將圖7所示之開閥時的旋柄本體3往閉方向旋動時，藉由公側之閥軸29之連結機構部300的旋動，使母側之螺合構件34的連結機構部301與閥軸29以幾乎相同的旋轉角度來旋動，藉此在形成於下部框體20之內周的母螺紋部35螺進而使螺合構件34在下部框體20內部下降。

螺合構件34的下端部，係抵接於在下部框體20內周面滑動的滑動構件36，故藉由螺合構件34的下降，將滑動構件36往下壓。滑動構件36，其下端部係抵接於按壓構件25的上端部，故藉由滑動構件36的下壓，使按壓構件25被往下壓而將隔膜26往下壓來壓接於閥座 27。

圖8，係表示從圖7所示之狀態來將旋柄本體3旋動90°，使隔膜26壓接於閥座27之閉閥時的情況。同圖中，如上述般，可知道旋柄本體3的平面部13與切口段部面7大致位在同一平面上。該平面部13與切口段部面7係導引鎖定板件8之滑動旋動的旋動區域，往閥1上方滑動來鎖定旋柄本體3。且如上述般，閉閥時的螺合構件34、滑動構件36、按壓構件25，係表示對閥軸29的連結機構部300以開閉行程的分量分別下降後的狀態。且，37係將閥軸29鎖緊固定於旋柄本體3的固定螺絲。

圖9為圖3中橫斷軸裝部10的C-C線剖面圖。如圖示般，本實施形態的軸裝部10，係將銷100壓入上部框體19的嵌合部101，一邊確保鎖定板件8之必要的強度，一邊盡可能地構成為簡潔且省空間。嵌合部101，係相對於上部框體19的容積設置成必要最低限度。且，銷100亦可以螺合來軸裝。

本發明之具鎖定機構的閥，亦可構成為在旋柄本體為全開時進行鎖定。本實施形態中，亦可將閥1構成為：使圖1、圖2、圖4、圖5成為表示旋柄本體3之全閉時的情況，使圖3、圖6表示旋柄本體3之全開時的情況。

圖10，係表示將本實施形態的閥1或其他閥裝置38，透過連接構件21連接在具有流路28的基座體39(集成閥單元)上來集成的集成閥40。閥裝置38，並 不限於閥1般的手動閥，可為能夠連接於基座體39的各種閥。

在同圖所示之基座體39上所連接的閥1，係如圖3所示般，為藉由鎖定板件8來鎖定在閥閉狀態之本實施形態的閥1。四角形狀的連接構件21，係藉由四角的螺栓41來固定於基座體39。42係流路28的接管，可在基座體39的端部連結流路28。例如在半導體製造裝置的氣體供給系統等中，同圖所示的集成閥40，係使複數台互相並排成在長度方向平行地鄰接，謀求系統的省空間化。

本實施形態的閥1，係如上述般，即使連接於基座體39亦不會干涉鄰接裝置，故可不用限制場所或方向來進行連接。且，雖未圖示，但可將連接閥1之複數個集成閥予以並排，在並排有各閥1之集成閥的橫方向整列成一列，來鎖定各閥1的鎖定板件8的情況，鎖定孔9幾乎是並排在一直線上，故可用例如棒狀構件等，以1個鎖定構件共通地插通各鎖定孔9，來鎖定所有的閥1。

此外，本發明，並不限定於前述實施形態的記載，只要在不超脫本發明之申請專利範圍所記載之發明主旨的範圍內，可進行各種變更。

1‧‧‧具鎖定機構的閥

2‧‧‧閥本體

3‧‧‧旋柄本體

4‧‧‧抓取部

6‧‧‧外周圍

7‧‧‧切口段部面

8‧‧‧鎖定板件

9‧‧‧鎖定孔

10‧‧‧軸裝部

11‧‧‧上側面

12‧‧‧方向顯示部

13‧‧‧平面部

14‧‧‧旋轉板

15‧‧‧上表面

16‧‧‧切口部

17‧‧‧卡止部

19‧‧‧上部框體

20‧‧‧下部框體

21‧‧‧連接構件

43‧‧‧遮斷部

70‧‧‧階差部

Claims (5)

1. 一種具鎖定機構的閥，係在將用來開閉閥體的閥軸予以內藏之閥本體的上部，將具有抓取部的旋柄本體設置成旋動操作自如，其特徵為，設在前述旋柄本體下方的前述閥本體，其外周圍的一部分形成有切口段部面，於該切口段部面內將具有鎖定孔的鎖定板件透過軸裝部收納成旋動自如，並且在該鎖定板件旋動至閥本體的全閉時或全開時之任一個位置時，使前述鎖定孔設置成面對前述閥本體的上表面區域而可進行鎖定。
2. 如請求項1所述之具鎖定機構的閥，其中，在前述旋柄本體之抓取部的下部，設置有在前述閥本體的上表面區域內旋轉的旋轉板，在該旋轉板的一部分，形成有將前述鎖定板件設置成可旋動的切口部，在該切口部以外之前述旋轉板的外周下表面設置卡止部，該卡止部在前述鎖定板件全開時或全閉時之任一者時，係卡止前述鎖定板件使其無法旋動。
3. 如請求項1所述之具鎖定機構的閥，其中，將前述閥本體的框體形成為圓筒形狀，並構成為使前述鎖定板件的旋動區域位在前述圓筒形框體之大致徑方向內的位置，且，將前述切口段部面的階差部作為鎖定板件之全開時或全閉時的旋動卡止面。
4. 如請求項1所述之具鎖定機構的閥，其中，於前述旋柄本體的旋轉板設有開口窗，將設在前述閥本體之上表面之全開、全閉的顯示部，藉由前述旋轉板的旋轉而可分 別目視確認。
5. 一種集成閥，其特徵為，係構成為將請求項1~4項中任一項所記載之具鎖定機構的閥集成在具有流路的基座體上。