JP4657490B2 - ロック機構付手動弁 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体の流れを手動によりネジ機構を操作して制御する手動弁に関し、さらに詳細には、弁を閉状態としたときにネジ機構を動かなくするロック機構を有するロック機構付手動弁に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、ネジ機構を備える手動弁にロック機構を設けることが知られている。例えば、特開平2000−97368号公報においては、図9に示すように、内部に弁座が形成されている本体103に固定したL字形状のロック部材101が記載されている。ロック部材101には、弁体と連結したハンドル102の下部外周を囲む割りが形成されており、ロックボルト104を締めることによりハンドル102を本体103に対して動かなくし、ロックしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のロック機構付手動弁には、次のような問題があった。すなわち、ロックをするときも、ロックを外すときも、ハンドル102が動かないように片手で掴んだ状態でロックボルト104を操作する必要があった。何故ならば、例えばロックを外そうとして、ロックボルト104を緩めたときに、ハンドル102が僅かながら回転する恐れがあるからである。もし、ハンドル102が回転すると、手動弁が僅かでも開いてしまい、流体が意に反して漏れる恐れがあるからである。
従って、片手でハンドルを握って、ロックボルトを操作しなければならないため、作業性が悪いという問題があった。
【0004】
同時に、近年半導体製造装置のプロセスガス供給装置は、狭い面積に集積化される傾向が強いが、従来のロック機構付手動弁では、六角ナット等をロック付手動弁の横方向から挿入する必要があり、そのために無駄なスペースを設けなければならないという問題があった。
【0005】
そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、ロックを解除するとき等に、ハンドルを握っている必要がなく、余分なスペースを必要としないロック機構付手動弁を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願のロック機構付手動弁は、次のような構成を有している。
(1)弁体を本体弁座に対して移動させるためのネジ機構と、弁体を本体弁座に当接させた閉状態で該ネジ機構を動かなくするロック機構とを有するロック機構付手動弁であって、ネジ機構により弁体を移動させるための操作部材と、操作部材と弁体との接続の間にあって、操作部材を操作してもネジ機構が作用しないガタ部材とを有する。
(2)(1)に記載するロック機構付手動弁において、前記ガタ部材の有するガタが、前記ロック機構の有するクリアランスより大きいことを特徴とする。
【0007】
上記構成を有するロック機構付手動弁によれば、ロック機構を付けるとき、または外すときに、ロック機構を操作しても、ガタ部材の作用により、ネジ機構に影響を与えることがないため、ロック機構を操作しても、弁の開閉に全く影響を与えることがない。ここで、ロック機構は、一般に少しのクリアランスを有している。ガタ部材の有するガタが、ロック機構の有するクリアランスより大きければ、ロックしている状態で誤って操作部材を操作しても、ガタ部材の作用により、ネジ機構に影響を与えることがないため、弁の開閉に全く影響を与えることがない。
【0008】
(3)(2)に記載するロック機構付手動弁において、前記操作部材が中心孔を備える回転式のハンドルであって、前記ハンドルの中心孔から突出し、前記本体弁座側に固定された固定軸を有し、前記ロック機構が、前記ハンドルを前記固定軸に連結するものであることを特徴とする。
(4)(3)に記載するロック機構付手動弁において、前記ロック機構が南京錠であって、前記南京錠が弁本体の平面専有面積の中に位置することを特徴とする。
【0009】
上記構成を有するロック機構付手動弁によれば、ハンドルの中心孔から上向きに突出した固定軸に対して、ハンドルを固定するので、半導体製造装置のプロセスガス供給装置のように狭いスペースに集積されて設置されたロック機構付手動弁についても、上側からロック機構を付けたり、外したりすることが容易であり、作業性が良い。
また、南京錠が弁本体の平面専有面積の中に収まっているので、ロック機構付手動弁の前後左右に他の弁等を密着させて付設することができるため、スペース効率が向上できる。
【0010】
【発明の実施の形態】
次に、本発明に係るロック機構付手動弁の実施の形態について図面を参照して説明する。図3にロック機構付手動弁の平面図を示し、図1に図3のAA断面図を示し、図2に図3のBB断面図を示す。
図1に示すように、本体であるバルブボディ11の下面中央に弁孔11aが形成され、その右外側に第二弁孔11bが形成され、弁孔11aの外周の上面には、樹脂製またはゴム製の弁シート12が取り付けられている。ここで、弁シート12の上面が弁座を構成している。バルブボディ11は、図3に示すように、4つの取付孔11cによりボルトで基体に取り付けられる。
【0011】
弁座に対してダイヤフラム13が当接または離間できる状態で取り付けられている。ダイヤフラム13はその外周が、バルブボディ11とホルダ14とで挟まれて取り付けられている。ホルダ14は、バルブボディ11に対して、中空円筒形状のアダプタ16によりネジ連結されている。すなわち、アダプタ16の下部外周に形成された雄ネジ部が、バルブボディ11の上面孔部内面に形成された雌ネジ部にネジ連結されている。
ホルダ14の中空部には、ステム15が摺動可能に保持されている。ステム15は、上からの力を受けない状態ではダイヤフラム13のバネ力により弁座から離間する方向に付勢されている。アダプタ16の内部には、雌ネジ部16aが形成されている。ダイヤフラム13とステム15とで弁体を構成している。
【0012】
アダプタ16の中空上部には、中空形状のロッドガイド19が嵌合されており、ロッドガイド19は、ガイド押さえ18がアダプタ16にネジ連結されることにより固定されている。ロッドガイド19の上面には、切り欠き部19aが形成されている。
ロッドガイド19の中空部には、ロッド17が上下方向に摺動可能に保持されている。ロッド17の下部外周には、雄ネジ部17aが形成され、アダプタ16の雌ネジ部16aとネジ連結している。ロッド17がロッドガイド19と摺動する箇所には、Oリング29が取り付けられている。
【0013】
ロッド17の上部には、ロッドリング21が固定されている。ロッドリング21の形状を図4に示す。(b)が平面図であり、(a)はその断面図である。ロッドリング21は、2箇所の止めネジ孔21bにより2本の図示しない止めネジによりロッド17に固定されている。ロッドリング21の孔21aには、駆動伝達ピン20の下部が圧入されている。
ガイド押さえ18の上部には、中空円筒形状のハウジング23がネジ連結されている。ハウジング23の上部には図2に示すように、中空部を横切って連結ピン25の両端が固定されている。連結ピン25の中央部には、サブロッド26が取り付けられている。サブロッド26の形状を図6に示す。(a)は図2と同じ方向から見た断面図であり、(b)は図1と同じ方向から見た断面図である。連結ピン25は、サブロッド26の下部に形成された連結孔26aに嵌合されている。サブロッド26の上部には、ロック孔26bが形成されている。
【0014】
サブロッド26の上部外周には、ハンドル28が回転可能に保持されている。このハンドル28が操作部材を構成している。
サブロッド26の外周には、Oリング30が取り付けられている。ハンドル28の形状を図7に示す。(a)は平面図であり、(b)は側断面図である。ハンドル28の中心孔28aが、サブロッド26の上部外周と嵌合している。サブロッド26とハウジング23の上面との間には、カバー部材27が取り付けられている。
ハンドル28の中心位置には、ロック溝28bが形成されている。また、中心孔28aの両側には、ボルト24用の一対の段付孔28cが形成されている。
【0015】
カバー部材27及びカラー部材31を介して一対のボルト24により、ハンドル28とダミーハンドル22とが連結されている。ダミーハンドル22の形状を図5に示す。(b)は平面図であり、(a)は側断面図である。一対の雌ネジ部22bと、伝達孔22aが形成されている。雌ネジ部22bには、ハンドル28と連結するためのボルト24がネジ連結される。
下部がロッドリング21の孔21aに圧入固定された駆動伝達ピン20の上部は、ダミーハンドル22の伝達孔22aに挿入されている。ここで、伝達孔22aの径は5mmであり、駆動伝達ピン20の径は2mmなので、3mmのガタが構成されている。ダミーハンドル22の伝達孔22aと駆動伝達ピン20とで、ガタ部材を構成している。
【0016】
次に、上記構成を有するロック機構付手動弁の作用について説明する。
半導体製造工程のプロセスガス供給装置で使用されるロック機構付手動弁の場合、弁の開度は僅かであり、ハンドル28を回転させる量は90度以下の角度である。弁を開放したり、閉じたりするのは作業者が人手で行うが、閉じているときに、誤って作業者が弁を開くことがないように、ロック機構でロックするものである。
始めに、作業者が弁を閉じる場合について説明する。ハンドル28を時計回りに回転させると、ハンドル28及びダミーハンドル22が、サブロッド26の周りを時計回りに回転する。ダミーハンドル22が回転しても、まわし始めはロッドリング21に圧入固定されている駆動伝達ピン20とダミーハンドル22の伝達孔22aとがガタにより接触していないため、回転し始めてから30度乃至35度の間はロッドリング21が回転しない。
【0017】
作業者がさらにハンドルを時計回りに回転させると、ダミーハンドル22の伝達孔22aが駆動伝達ピン20と当接し、ロッドリング21が時計方向に回転する。ロッドリング21とロッド17とは一体となっているので、ロッド17も時計方向に回転する。そして、ロッド17は回転されることにより、ロッド17の雄ネジ部17aとアダプタ16の雌ネジ部16aとのネジ作用で、下方向に移動する。
ロッド17が下方向に移動することにより、ダイヤフラム13により上方向に付勢されていたステム15を下方向に移動させる。ステム15はダイヤフラム13と共に下方向に移動し、ダイヤフラム13が弁シート12の上面に形成された弁座と当接する。
【0018】
このとき弁は閉じている。弁が閉じている状態のとき、図8に示すように、サブロッド26のロック孔26bとハンドル28のロック溝28bとが一直線上に位置する。これに、南京錠31を装着することにより、ハンドル28を弁本体でに固設されているサブロッド26に対して固定し、ロックすることができる。
これにより、南京錠31を外さなければハンドル28を回転させることができないため、手動弁を開放することができず、作業者が意思を持って作業する場合以外、誤動作が禁止される。南京錠31とロック孔26bとロック溝28bとでロック機構が構成されている。
【0019】
次に、作業者が弁を開く場合について説明する。南京錠31の鍵を開け、南京錠31を外す。このとき、作業者はハンドル28に触れ、ハンドルが少し回転されることがある。しかし、ハンドル28が少し回転してダミーハンドル22が少し回転しても、ダミーハンドル22の伝達孔22aと駆動伝達ピン20とが当接していないため、ロッドリング21が回転することがなく、弁が開くことは全くない。
南京錠31を外した後、作業者は、弁を開くべきタイミングのときに、ハンドル28をサブロッド26に対して、反時計回りに回転させる。ハンドル28を反時計回りに回転させると、ハンドル28及びダミーハンドル22が、サブロッド26の周りを反時計回りに回転する。ダミーハンドル22が回転しても、まわし始めはロッドリング21に圧入固定されている駆動伝達ピン20とダミーハンドル22の伝達孔22aとがガタにより接触していないため、回転し始めてから30度乃至35度の間はロッドリング21が回転しない。
【0020】
作業者がさらにハンドルを反時計回りに回転させると、ダミーハンドル22の伝達孔22aが駆動伝達ピン20と当接し、ロッドリング21が反時計方向に回転する。ロッドリング21とロッド17とは一体となっているので、ロッド17も反時計方向に回転する。そして、ロッド17は回転されることにより、ロッド17の雄ネジ部17aとアダプタ16の雌ネジ部16aとのネジ作用で、上方向に移動する。
ロッド17が上方向に移動することにより、ダイヤフラム13により上方向に付勢されていたステム15は上方向に移動する。ダイヤフラム13はステム15と共に上方向に移動し、ダイヤフラム13が弁シート12の上面に形成された弁座と離間する。
【0021】
以上詳細に説明したように、本実施の形態のロック機構付手動弁によれば、ダイヤフラム13を弁シート12に対して移動させるためのネジ機構16a、17aと、ダイヤフラム13を弁シート12に当接させた閉状態でネジ機構16a、17aを動かなくするロック機構31,28b,26bとを有するロック機構付手動弁であって、ネジ機構16a、17aによりダイヤフラム13を移動させるためのハンドル28と、ハンドル28とダイヤフラム13との接続の間にあって、ハンドル28を回転してもネジ機構16a、17aが作用しないガタ部材である駆動伝達ピン20とダミーハンドル22の伝達孔22aとを有するので、南京錠31を付けるとき、または外すときに、ロック機構28b,26bを操作しても、ガタ部材である駆動伝達ピン20とダミーハンドル22の伝達孔22aの作用により、ネジ機構16a、17aに影響を与えることがないため、ハンドルを片手で握らずにロック機構31,28b,26bを操作しても、弁の開閉に全く影響を与えることがない。
【0022】
また、ガタ部材の有するガタが、ロック機構の有するクリアランスより大きいので、南京錠31取付時に、ロック機構31,28b,26bのクリアランス分、ハンドルを操作しても、ガタ部材である駆動伝達ピン20とダミーハンドル22の伝達孔22aの作用により、ネジ機構に影響を与えることがないため、誤ってハンドルを操作しても、弁の開閉に全く影響を与えることがない。
【0023】
また、ハンドル28が中心孔を備える回転式のハンドルであって、ハンドル28の中心孔から突出し、本体弁座側に固定された固定軸であるサブロッド26を有し、ロック機構が、ハンドル28をサブロッド26に連結するものであるので、ハンドル28の中心孔から上向きに突出したサブロッド26に対して、ハンドル28を固定するので、半導体製造装置のプロセスガス供給装置のように狭いスペースに集積されて設置されたロック機構付手動弁についても、上側から南京錠31を付けたり、外したりすることが容易であり、作業性が良い。
【0024】
また、南京錠31が弁本体の平面専有面積の中に位置するので、ロック機構付手動弁の前後左右に他の弁等を密着させて付設することができるため、スペース効率が向上できる。
【0025】
なお、本実施の形態は、単なる例示にすぎず本発明を何ら限定するものではない。従って、本発明は、当然に、その要旨を逸脱しない範囲内での種々の変形、改良が可能である。
例えば、上記実施の形態では、サブロッド26に孔を形成しハンドル28に溝を形成しているが、サブロッド26に溝を形成しハンドル28に孔を形成しても良い。
また、市販の南京錠を使用せずに、ロック機構を別に製作しても良い。
【0026】
【発明の効果】
本発明のロック機構付手動弁によれば、 弁体を本体弁座に対して移動させるためのネジ機構と、弁体を本体弁座に当接させた閉状態で該ネジ機構を動かなくするロック機構とを有するロック機構付手動弁であって、ネジ機構により弁体を移動させるための操作部材と、操作部材と弁体との接続の間にあって、操作部材を操作してもネジ機構が作用しないガタ部材とを有しているので、ロック機構を付けるとき、または外すときに、ロック機構を操作しても、または、ロック機構のクリアランス分、操作部材を操作しても、ガタ部材の作用により、ネジ機構に影響を与えることがないため、片手でハンドルを握らずにロック機構を操作しても、または、誤って操作部材を操作しても、弁の開閉に全く影響を与えることがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】図3のAA断面図である。
【図2】図3のBB断面図である。
【図3】本発明の一実施の形態であるロック機構付手動弁10の平面図である。
【図4】ロッドリング21の部品図である。
【図5】ダミーハンドル22の部品図である。
【図6】サブロッド26の部品図である。
【図7】ハンドル28の部品図である。
【図8】南京錠31を取り付けた状態を示す図である。
【図9】従来のロック機構付手動弁の構成を示す図である。
【符号の説明】
10 ロック機構付手動弁
11 バルブボディ
12 弁シート
13 ダイヤフラム
17 ロッド
20 駆動伝達ピン
21 ロッドリング
22 ダミーハンドル
28 ハンドル
31 南京錠
Claims (3)
- 弁体を本体弁座に対して移動させるためのネジ機構と、前記ネジ機構により前記弁体を移動させるための操作部材と、弁体を本体弁座に当接させた閉状態で該操作部材を動かなくするロック機構とを有するロック機構付手動弁において、
前記操作部材と前記弁体との接続の間にあって、前記操作部材を所定操作量の間で操作しても前記ネジ機構が作用しないガタ部材とを有すること、
前記ガタ部材の有するガタが、前記ロック機構の有するクリアランスより大きいこと、
を特徴とするロック機構付手動弁。 - 請求項1に記載するロック機構付手動弁において、
前記操作部材が中心孔を備える回転式のハンドルであって、
前記ハンドルの中心孔から突出し、前記本体弁座側に固定された固定軸を有し、
前記ロック機構が、前記ハンドルを前記固定軸に連結するものであることを特徴とするロック機構付手動弁。 - 請求項2に記載するロック機構付手動弁において、
前記ロック機構が南京錠であって、前記南京錠が弁本体の平面専有面積の中に位置することを特徴とするロック機構付手動弁。
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