JPH1151240A - 流体制御器 - Google Patents
流体制御器Info
- Publication number
- JPH1151240A JPH1151240A JP21043797A JP21043797A JPH1151240A JP H1151240 A JPH1151240 A JP H1151240A JP 21043797 A JP21043797 A JP 21043797A JP 21043797 A JP21043797 A JP 21043797A JP H1151240 A JPH1151240 A JP H1151240A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid controller
- handle
- cover
- support member
- cover support
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- Pending
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- Preventing Unauthorised Actuation Of Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 流路開閉に関連する誤操作を無くすことがで
きる流体制御器を提供する。 【解決手段】 流体制御器本体2 と、これに対して回動
させられる流路開閉ハンドル3 と、流体制御器本体2 に
固定されたカバー支持部材12と、流路開閉ハンドル3 を
覆いかつカバー支持部材12に受け止められた筒状ハンド
ルカバー13と、カバー支持部材12とハンドルカバー13と
を着脱自在に結合する結合手段14とを備えている。
きる流体制御器を提供する。 【解決手段】 流体制御器本体2 と、これに対して回動
させられる流路開閉ハンドル3 と、流体制御器本体2 に
固定されたカバー支持部材12と、流路開閉ハンドル3 を
覆いかつカバー支持部材12に受け止められた筒状ハンド
ルカバー13と、カバー支持部材12とハンドルカバー13と
を着脱自在に結合する結合手段14とを備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造装置
などに使用される流体制御器に関し、特に、全開または
全閉位置にある流路開閉ハンドルをその位置で確実に保
持しておく誤操作防止装置付きの流体制御器に関する。
などに使用される流体制御器に関し、特に、全開または
全閉位置にある流路開閉ハンドルをその位置で確実に保
持しておく誤操作防止装置付きの流体制御器に関する。
【０００２】
【従来の技術】開閉弁等の流体制御器では、必要に応じ
て流路開閉ハンドルを操作して流路を全開または全閉と
するが、この位置で流路開閉ハンドルを確実に保持して
おく誤操作防止装置付きの流体制御器は、従来知られて
いなかった。
て流路開閉ハンドルを操作して流路を全開または全閉と
するが、この位置で流路開閉ハンドルを確実に保持して
おく誤操作防止装置付きの流体制御器は、従来知られて
いなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そのため、従来の流体
制御器では、半導体製造装置の稼働中に流路開閉ハンド
ルの位置が変わってしまい、正しく流体が流れなくなっ
て製品に悪影響を与えるなどの事故につながるという問
題があった。
制御器では、半導体製造装置の稼働中に流路開閉ハンド
ルの位置が変わってしまい、正しく流体が流れなくなっ
て製品に悪影響を与えるなどの事故につながるという問
題があった。
【０００４】この発明の目的は、流路開閉に関連する誤
操作を無くすことができる流体制御器を提供することに
ある。
操作を無くすことができる流体制御器を提供することに
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明による流体制御
器は、流体制御器本体と、これに対して回動させられる
流路開閉ハンドルと、流体制御器本体に固定されたカバ
ー支持部材と、流路開閉ハンドルを覆いかつカバー支持
部材に受け止められた筒状ハンドルカバーと、カバー支
持部材とハンドルカバーとを着脱自在に結合する結合手
段とを備えているものである。
器は、流体制御器本体と、これに対して回動させられる
流路開閉ハンドルと、流体制御器本体に固定されたカバ
ー支持部材と、流路開閉ハンドルを覆いかつカバー支持
部材に受け止められた筒状ハンドルカバーと、カバー支
持部材とハンドルカバーとを着脱自在に結合する結合手
段とを備えているものである。
【０００６】この発明の流体制御器によると、流路開閉
ハンドルに被せられたハンドルカバーが、流体制御器本
体に固定されたカバー支持部材に結合されているから、
流路開閉ハンドルを操作することができず、流体制御器
の流路開閉に関連する誤操作を無くすことができる。
ハンドルに被せられたハンドルカバーが、流体制御器本
体に固定されたカバー支持部材に結合されているから、
流路開閉ハンドルを操作することができず、流体制御器
の流路開閉に関連する誤操作を無くすことができる。
【０００７】流体制御器本体が、外周におねじ部が設け
られたボンネットを有しており、カバー支持部材に、ボ
ンネットのおねじ部が挿通されている貫通孔が設けられ
ており、ボンネットのおねじ部にねじ合わされたナット
が締め付けられることによりカバー支持部材が流体制御
器本体に固定されていることが好ましい。このようにす
ると、流体制御器を組み立てるときにカバー支持部材を
流体制御器本体に固定しておき、流路開閉ハンドルをそ
の位置で保持するさいには、ハンドルカバーを流路開閉
ハンドルに被せてカバー支持部材に結合すればよく、流
路開閉ハンドルを確実に保持しておく誤操作防止装置の
取付け作業が簡単にできる。
られたボンネットを有しており、カバー支持部材に、ボ
ンネットのおねじ部が挿通されている貫通孔が設けられ
ており、ボンネットのおねじ部にねじ合わされたナット
が締め付けられることによりカバー支持部材が流体制御
器本体に固定されていることが好ましい。このようにす
ると、流体制御器を組み立てるときにカバー支持部材を
流体制御器本体に固定しておき、流路開閉ハンドルをそ
の位置で保持するさいには、ハンドルカバーを流路開閉
ハンドルに被せてカバー支持部材に結合すればよく、流
路開閉ハンドルを確実に保持しておく誤操作防止装置の
取付け作業が簡単にできる。
【０００８】また、結合手段が、カバー支持部材にねじ
止められた第１ピースと、ハンドルカバーにねじ止めら
れた第２ピースと、両ピースを貫通している頭付きピン
と、頭付きピンの先端部にあけられた貫通孔に通された
ピン抜止め用錠とよりなることが好ましい。このように
すると、錠とピンの頭とによりピンの抜止めが果たさ
れ、錠を外さない限り、流路開閉ハンドルを回動させる
ことは不可能となる。これにより、誤操作ゼロを保証す
ることができる。
止められた第１ピースと、ハンドルカバーにねじ止めら
れた第２ピースと、両ピースを貫通している頭付きピン
と、頭付きピンの先端部にあけられた貫通孔に通された
ピン抜止め用錠とよりなることが好ましい。このように
すると、錠とピンの頭とによりピンの抜止めが果たさ
れ、錠を外さない限り、流路開閉ハンドルを回動させる
ことは不可能となる。これにより、誤操作ゼロを保証す
ることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を、以下図
面を参照して説明する。以下の説明において、図１の左
右を左右というものとする。
面を参照して説明する。以下の説明において、図１の左
右を左右というものとする。
【００１０】図１から図３までは、この発明の流体制御
器(1) を示している。
器(1) を示している。
【００１１】図示した流体制御器(1) は、流体制御器本
体(2) およびこれに対して回動させられる流路開閉ハン
ドル(3) よりなる公知のダイヤフラム弁と、これに取り
付けられて流路開閉ハンドル(3) を全開または全閉位置
確実に保持しておく誤操作防止装置(11)とよりなる。
体(2) およびこれに対して回動させられる流路開閉ハン
ドル(3) よりなる公知のダイヤフラム弁と、これに取り
付けられて流路開閉ハンドル(3) を全開または全閉位置
確実に保持しておく誤操作防止装置(11)とよりなる。
【００１２】流体制御器本体(2) は、入口管継手部(9)
および出口管継手部(10)が設けられた弁箱(4) と、弁箱
(4) 上部に嵌め被せられたボンネット(5) と、ボンネッ
ト(5) を弁箱(4) に固定するボンネットナット(6) と、
ボンネット(5) の中間部に設けられたおねじ部(5a)にね
じ合わされたパネルナット(7) と、流路開閉ハンドル
(3) の回動に伴って上下動する弁棒(8) と、弁棒(8) の
上下動に伴って弁箱(4)内の入口通路と出口通路との連
通を遮断または開放するダイヤフラム（図示略）とを備
えている。
および出口管継手部(10)が設けられた弁箱(4) と、弁箱
(4) 上部に嵌め被せられたボンネット(5) と、ボンネッ
ト(5) を弁箱(4) に固定するボンネットナット(6) と、
ボンネット(5) の中間部に設けられたおねじ部(5a)にね
じ合わされたパネルナット(7) と、流路開閉ハンドル
(3) の回動に伴って上下動する弁棒(8) と、弁棒(8) の
上下動に伴って弁箱(4)内の入口通路と出口通路との連
通を遮断または開放するダイヤフラム（図示略）とを備
えている。
【００１３】入口管継手部(9) は弁箱(4) より左方に突
出し、出口管継手部(10)は弁箱(4)より右方に突出して
いる。流路開閉ハンドル(3) は、平面から見て略楕円状
とされており、全開時には、その長手方向が左右方向に
向けられて、入口管継手部(9) と出口管継手部(10)とを
つなぐ方向と一致させられている。そして、この位置か
ら流路開閉ハンドル(3) を９０°回動させたときが全閉
位置とされている。
出し、出口管継手部(10)は弁箱(4)より右方に突出して
いる。流路開閉ハンドル(3) は、平面から見て略楕円状
とされており、全開時には、その長手方向が左右方向に
向けられて、入口管継手部(9) と出口管継手部(10)とを
つなぐ方向と一致させられている。そして、この位置か
ら流路開閉ハンドル(3) を９０°回動させたときが全閉
位置とされている。
【００１４】誤操作防止装置(11)は、全閉位置にある流
路開閉ハンドル(3) を固定しているもので、流体制御器
本体(2) に固定されたカバー支持部材(12)と、流路開閉
ハンドル(3) を覆いかつカバー支持部材(12)に受け止め
られている円筒状ハンドルカバー(13)と、カバー支持部
材(12)とハンドルカバー(13)とを着脱自在に結合する結
合手段(14)とを備えている。
路開閉ハンドル(3) を固定しているもので、流体制御器
本体(2) に固定されたカバー支持部材(12)と、流路開閉
ハンドル(3) を覆いかつカバー支持部材(12)に受け止め
られている円筒状ハンドルカバー(13)と、カバー支持部
材(12)とハンドルカバー(13)とを着脱自在に結合する結
合手段(14)とを備えている。
【００１５】カバー支持部材(12)は、円板状であり、ハ
ンドルカバー(13)の外径に等しい外径を有し、かつボン
ネット(5) のおねじ部(5a)の外径よりも若干大きい径の
円形貫通孔(12a) を有している。カバー支持部材(12)
は、ボンネット(5) のおねじ部(5a)にボンネットナット
(6) の上から嵌め被せられ、その上からねじ合わせられ
たパネルナット(7) が締め付けられることにより流体制
御器本体(2) に固定されている。カバー支持部材(12)の
上面外周には、ハンドルカバー(13)の下端部を受ける環
状段部(15)が設けられている。また、カバー支持部材(1
2)の下面には、ボンネットナット(6) との干渉を避ける
ための凹所(16)が設けられている。
ンドルカバー(13)の外径に等しい外径を有し、かつボン
ネット(5) のおねじ部(5a)の外径よりも若干大きい径の
円形貫通孔(12a) を有している。カバー支持部材(12)
は、ボンネット(5) のおねじ部(5a)にボンネットナット
(6) の上から嵌め被せられ、その上からねじ合わせられ
たパネルナット(7) が締め付けられることにより流体制
御器本体(2) に固定されている。カバー支持部材(12)の
上面外周には、ハンドルカバー(13)の下端部を受ける環
状段部(15)が設けられている。また、カバー支持部材(1
2)の下面には、ボンネットナット(6) との干渉を避ける
ための凹所(16)が設けられている。
【００１６】ハンドルカバー(13)の頂部には、頂壁(17)
が設けられており、この頂壁(17)には、ハンドル(3) の
開閉状態を確認するための開口(17a) が設けられてい
る。
が設けられており、この頂壁(17)には、ハンドル(3) の
開閉状態を確認するための開口(17a) が設けられてい
る。
【００１７】結合手段(14)は、カバー支持部材(12)にね
じ(25)で止められたＬ字状ピース(21)と、ハンドルカバ
ー(13)にねじ(25)で止められた逆Ｌ字状ピース(22)と、
両ピース(21)(22)を水平に貫通している頭付きピン(23)
と、頭付きピン(23)の先端部に設けられた貫通孔(26)に
通されたピン抜止め用錠(24)とよりなる。
じ(25)で止められたＬ字状ピース(21)と、ハンドルカバ
ー(13)にねじ(25)で止められた逆Ｌ字状ピース(22)と、
両ピース(21)(22)を水平に貫通している頭付きピン(23)
と、頭付きピン(23)の先端部に設けられた貫通孔(26)に
通されたピン抜止め用錠(24)とよりなる。
【００１８】Ｌ字状ピース(21)の上半部および逆Ｌ字状
ピース(22)の下半部には、それぞれピン挿通孔(21a)(22
a)が設けられており、Ｌ字状ピース(21)の上半部と逆Ｌ
字状ピース(22)の下半部とが突き合わされている。
ピース(22)の下半部には、それぞれピン挿通孔(21a)(22
a)が設けられており、Ｌ字状ピース(21)の上半部と逆Ｌ
字状ピース(22)の下半部とが突き合わされている。
【００１９】図２に示すように、逆Ｌ字状ピース(22)の
ハンドルカバー(13)に当接している面(22a) は、水平断
面が円弧状の凹面とされており、同様に、Ｌ字状ピース
(21)のカバー支持部材(12)およびハンドルカバー(13)に
当接している面(21a) も、水平断面が円弧状の凹面とさ
れている。
ハンドルカバー(13)に当接している面(22a) は、水平断
面が円弧状の凹面とされており、同様に、Ｌ字状ピース
(21)のカバー支持部材(12)およびハンドルカバー(13)に
当接している面(21a) も、水平断面が円弧状の凹面とさ
れている。
【００２０】錠(24)は、例えば市販の南京錠でよく、足
(24a) をピン(23)の貫通孔(26)に通してこれを錠(24)の
孔に差し込めばよい。これにより、錠(24)とピン(23)の
頭(23a) とによって両ピースが挟まれ、ピン(23)の抜止
めが果たされている。したがって、鍵を用いて錠(24)を
外さない限り、流路開閉ハンドル(3) を回動させること
が不可能となっている。
(24a) をピン(23)の貫通孔(26)に通してこれを錠(24)の
孔に差し込めばよい。これにより、錠(24)とピン(23)の
頭(23a) とによって両ピースが挟まれ、ピン(23)の抜止
めが果たされている。したがって、鍵を用いて錠(24)を
外さない限り、流路開閉ハンドル(3) を回動させること
が不可能となっている。
【００２１】なお、流路開閉ハンドル(3) の形状は、平
面から見て略楕円状であるが、流路開閉ハンドルの形状
がこれ以外の場合、例えば、流路開閉ハンドルが完全な
円筒形である流体制御器でも、上記と同様にして流路開
閉ハンドルの誤操作防止装置を備えた流体制御器を得る
ことができる。また、上記の流体制御器本体(2) は、ダ
イヤフラム弁を使用したものであるが、流体制御器本体
がボール弁とかその他の弁であってもよい。
面から見て略楕円状であるが、流路開閉ハンドルの形状
がこれ以外の場合、例えば、流路開閉ハンドルが完全な
円筒形である流体制御器でも、上記と同様にして流路開
閉ハンドルの誤操作防止装置を備えた流体制御器を得る
ことができる。また、上記の流体制御器本体(2) は、ダ
イヤフラム弁を使用したものであるが、流体制御器本体
がボール弁とかその他の弁であってもよい。
【図１】この発明による流体制御器を示す正面図であ
る。
る。
【図２】同一部を切欠いた平面図である。
【図３】同一部を切欠いた側面図である。
【図４】正面から見た誤操作防止装置の分解図である。
(1) 流体制御器 (2) 流体制御器本体 (3) 流路開閉ハンドル (12) カバー支持部材 (13) ハンドルカバー (14) 結合手段 (21) Ｌ字状ピース (22) 逆Ｌ字状ピース (23) 頭付きピン (24) ピン抜止め用錠 (26) 貫通孔
Claims (3)
- 【請求項１】 流体制御器本体(2) と、これに対して回
動させられる流路開閉ハンドル(3) と、流体制御器本体
(2) に固定されたカバー支持部材(12)と、流路開閉ハン
ドル(3) を覆いかつカバー支持部材(12)に受け止められ
た筒状ハンドルカバー(13)と、カバー支持部材(12)とハ
ンドルカバー(13)とを着脱自在に結合する結合手段(14)
とを備えている流体制御器。 - 【請求項２】 流体制御器本体(2) が、外周におねじ部
(5a)が設けられたボンネット(5) を有しており、カバー
支持部材(12)に、ボンネット(5) のおねじ部(5a)が挿通
されている貫通孔(12a) が設けられており、ボンネット
(5) のおねじ部(5a)にねじ合わされたナット(7) が締め
付けられることによりカバー支持部材(12)が流体制御器
本体(2) に固定されている請求項１の流体制御器。 - 【請求項３】 結合手段(14)が、カバー支持部材(12)に
ねじ止められた第１ピース(21)と、ハンドルカバー(13)
にねじ止められた第２ピース(22)と、両ピース(21)(22)
を貫通している頭付きピン(23)と、頭付きピン(23)の先
端部にあけられた貫通孔(26)に通されたピン抜止め用錠
(24)とよりなる請求項２の流体制御器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21043797A JPH1151240A (ja) | 1997-08-05 | 1997-08-05 | 流体制御器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21043797A JPH1151240A (ja) | 1997-08-05 | 1997-08-05 | 流体制御器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1151240A true JPH1151240A (ja) | 1999-02-26 |
Family
ID=16589322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21043797A Pending JPH1151240A (ja) | 1997-08-05 | 1997-08-05 | 流体制御器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1151240A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002323167A (ja) * | 2001-04-24 | 2002-11-08 | Ckd Corp | ロック機構付手動弁 |
| JP2008185461A (ja) * | 2007-01-30 | 2008-08-14 | Fujii Gokin Seisakusho Co Ltd | 検圧プラグ |
| JP2010169224A (ja) * | 2009-01-26 | 2010-08-05 | Kitz Sct:Kk | 流体制御器 |
| KR20160063388A (ko) | 2014-02-28 | 2016-06-03 | 가부시키가이샤 후지킨 | 회전 핸들용 캡 |
| JP2020037970A (ja) * | 2018-09-03 | 2020-03-12 | Ckd株式会社 | 誤操作防止カバー及び誤操作防止カバー付き手動弁 |
| KR20200126242A (ko) * | 2019-04-29 | 2020-11-06 | 박정민 | 안전 잠금 장치 |
-
1997
- 1997-08-05 JP JP21043797A patent/JPH1151240A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002323167A (ja) * | 2001-04-24 | 2002-11-08 | Ckd Corp | ロック機構付手動弁 |
| JP4657490B2 (ja) * | 2001-04-24 | 2011-03-23 | シーケーディ株式会社 | ロック機構付手動弁 |
| JP2008185461A (ja) * | 2007-01-30 | 2008-08-14 | Fujii Gokin Seisakusho Co Ltd | 検圧プラグ |
| JP2010169224A (ja) * | 2009-01-26 | 2010-08-05 | Kitz Sct:Kk | 流体制御器 |
| KR20160063388A (ko) | 2014-02-28 | 2016-06-03 | 가부시키가이샤 후지킨 | 회전 핸들용 캡 |
| US9951882B2 (en) | 2014-02-28 | 2018-04-24 | Fujikin Incorporated | Handwheel cap |
| JP2020037970A (ja) * | 2018-09-03 | 2020-03-12 | Ckd株式会社 | 誤操作防止カバー及び誤操作防止カバー付き手動弁 |
| KR20200126242A (ko) * | 2019-04-29 | 2020-11-06 | 박정민 | 안전 잠금 장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040805 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070112 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070123 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070315 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070605 |