JPH116581A - 流体制御器の流路開閉ハンドルのロック装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 流体制御器の流路開閉に関連する誤操作を無
くすことができる流路開閉ハンドルのロック装置を提供
する。 【解決手段】 流体制御器本体5 に固定されたストッパ
支持体22と、ストッパ支持体22に回動不可能に設けられ
かつ流路開閉ハンドル8 に係合してその回動を阻止する
ストッパ26とを備えている。ストッパ26は、流路開閉ハ
ンドル8 に係合するロック位置と係合しないアンロック
位置との間を上下移動しうるようにストッパ支持体22に
取り付けられている。ストッパ支持体22には、流体制御
器本体5 を嵌入する貫通孔とストッパ26を嵌入する貫通
孔28とが形成されている。ストッパ26が、ストッパ嵌入
用貫通孔28に摺動自在に嵌め入れられかつ錠取付け孔32
が設けられた垂直部31を有している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造装置
などに使用される開閉弁等の流体制御器の流路開閉ハン
ドルを全開または全閉位置でロックする装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】流体制御器では、必要に応じて流路開閉
ハンドルを操作して全開または全閉とされるが、この位
置で固定しておく流路開閉ハンドルのロック装置は、従
来知られていなかった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】そのため、従来の流体
制御器では、半導体製造装置の稼働中に開閉ハンドルの
位置が変わってしまい、正しく流体が流れなくなって製
品に悪影響を与えるなどの事故につながるという問題が
あった。

【０００４】この発明の目的は、流体制御器の流路開閉
に関連する誤操作を無くすことができる流路開閉ハンド
ルのロック装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段および発明の効果】この発
明による流体制御器の流路開閉ハンドルのロック装置
は、流体制御器本体に対して回動させられる流路開閉ハ
ンドルを全開または全閉位置でロックする装置であっ
て、本体嵌入用貫通孔を有しかつ流体制御器本体に固定
されたストッパ支持体と、ストッパ支持体に回動不可能
に設けられかつ流路開閉ハンドルに係合してその回動を
阻止するストッパとを備えているものである。

【０００６】流体制御器本体とは、流体制御器のうちの
回動する流路開閉ハンドルに対して固定されている部分
を意味し、例えば流体制御器が、流路が設けられている
弁箱（ボディ）とこれに被せられて固定されている弁蓋
（ボンネット）とを有している場合には、両者を合わせ
たものを流体制御器本体というものとする。

【０００７】この発明の流体制御器の流路開閉ハンドル
のロック装置によると、流路開閉ハンドルに係合してそ
の回動を阻止するストッパが、流体制御器本体に固定さ
れたストッパ支持体に対して回動不可能であるから、不
注意によって、開閉ハンドルの位置が変わってしまうこ
とがなくなり、正しく流体が流れなくなって製品に悪影
響を与えるなどの事故が防止される。

【０００８】ストッパ支持体が、流体制御器本体の互い
に対向する２つの平坦面を両側から挟んでいる一対の側
壁を有する略Ｕ字状の第１部材と、両側壁の先端部間に
渡されて第１部材が流体制御器本体から脱落するのを防
止している直線状の第２部材とよりなり、ストッパは、
ストッパ支持体に一体に設けられていることがある。こ
のようにすると、第１部材の２つの側壁をそれぞれ流体
制御器本体の平坦面に合わせて、第１部材を流体制御器
本体に差し込むことにより、第１部材は流体制御器本体
に対して回動することができないようになる。この状態
で、第２部材を両側壁の先端部間に渡し止めることによ
り、第１部材が流体制御器本体から脱落することが防止
される。

【０００９】第２部材は、例えば、Ｕ字状の第１部材の
両側壁にそれぞれ設けられた第２部材挿通孔に挿通され
る頭付きのピンとされる。そして、第２部材の頭と貫通
孔とによって１つの側壁を挟むように貫通孔を第２部材
の軸部に設けておき、第２部材を一方の側壁の第２部材
挿通孔側から挿入して他方の側壁の第２部材挿通孔に挿
通するとともに、第２部材の貫通孔を用いて錠を取り付
ける。この錠と第２部材の頭とにより第２部材の抜止め
が果たされ、錠を外さない限り、流路開閉ハンドルを回
動させることは不可能となる。これにより、流体制御器
の流路開閉に伴う誤操作を皆無とすることができる。な
お、錠を用いるほか、両側壁の第２部材挿通孔のいずれ
か一方をねじ孔とし、第２部材の先端におねじ部を設
け、この第２部材を一方の側壁の第２部材挿通孔を挿通
させて他方の側壁のねじ孔にねじ込むことにより、第２
部材の抜止めを果たすようにしてもよい。

【００１０】ストッパは、流路開閉ハンドルに係合する
ロック位置と係合しないアンロック位置との間を上下移
動しうるようにストッパ支持体に取り付けられているこ
とが好ましい。このようにすると、ストッパの上下移動
だけによりロック位置とアンロック位置との切換えが可
能となり、切換え作業が楽になる。

【００１１】このような構成とするには、たとえば、ス
トッパ支持体は、第１および第２部材が結合されること
により形成されており、各部材に、両部材が結合された
さいに本体嵌入用貫通孔となる凹所およびストッパ嵌入
用貫通孔となる凹所が形成されており、ストッパが、ス
トッパ嵌入用貫通孔に摺動自在に嵌め入れられかつ錠取
付け孔が設けられた垂直部を有しているものとすればよ
い。

【００１２】

【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を、以下図
面を参照して説明する。以下の説明において、図１およ
び図４の左右を左右といい、図３および図５の下を前、
上を後というものとする。

【００１３】図１から図３までは、流体制御器(1) とこ
の発明の流路開閉ハンドルのロック装置(11)とを示して
いる。

【００１４】図示した流体制御器(1) は、公知のダイヤ
フラム弁であり、入口管継手部(3)および出口管継手部
(4) が設けられたボディ(2) と、ボディ(2) 上部に嵌め
被せられた略円筒状のボンネット(5) と、ボンネット
(5) をボディ(2) に固定するボンネットナット(6) と、
ボンネット(5) に嵌め被せられたパネルナット(7) と、
時計回りまたは反時計回りに回動させられる流路開閉ハ
ンドル(8) と、流路開閉ハンドル(8) の回動に伴って上
下動する弁棒(9) と、弁棒(9) の上下動に伴ってボディ
(2) 内の入口通路と出口通路との連通を遮断または開放
するダイヤフラム（図示略）とを備えている。

【００１５】入口管継手部(3) はボディ(2) より左方に
突出し、出口管継手部(4) はボディ(2) より右方に突出
している。流路開閉ハンドル(8) は、平面から見て略楕
円状とされており、全開時には、その長手方向が左右方
向に向けられ、入口管継手部(3) と出口管継手部(4) と
をつなぐ方向と一致させられている（図２に鎖線で示す
位置）。そして、この位置から流路開閉ハンドル(8) を
９０°反時計回りに回動させたときが全閉位置（図１お
よび図２に実線で、図３に鎖線で示す位置）となる。

【００１６】ハンドルロック装置(11)は、全閉位置にあ
る流路開閉ハンドル(8) をその位置で固定するもので、
本体嵌入用貫通孔(19)を有しかつ流体制御器本体(5) に
固定された支持体(12)と、支持体(12)に一体的に設けら
れかつ流路開閉ハンドル(8)に係合してその回動を阻止
するストッパ(16)と、ストッパ(16)の係合を解除できる
者を鍵所持者に限定する錠(14)とを備えている。

【００１７】支持体(12)は、右壁（底壁）(15c) および
前後側壁(15a)(15b)よりなり前後側壁(15a)(15b)によっ
て流体制御器(1) のボンネット(5) を前後両側から挟ん
でいる略Ｕ字状の第１部材(15)と、前後側壁(15a)(15b)
の先端部間に渡されて第１部材(15)がボンネット(5) か
ら脱落するのを防止している棒状の第２部材(13)とを備
えている。

【００１８】ボンネット(5) は略円筒状であるが、流路
開閉ハンドル(8) のすぐ下方の露出部分の外周面の前後
部分が削られることにより、ボンネット(5) には、図３
に示すように、第１部材(15)の前側および後側の側壁(1
5a)(15b)にそれぞれ対向しておりかつ互いに平行な前側
および後側の平坦面(5a)(5b)が形成されている。前側の
側壁(15a) と後側の側壁(15a) との間隔は、ボンネット
(5) の互いに平行な前側の平坦面(5a)と後側の平坦面(5
b)との間隔にほぼ等しくされている。

【００１９】第１部材(15)は、互いに平行な前後平坦面
(5a)(5b)が形成されているボンネット(5) の露出部分に
右側から差し込まれている。第１部材(15)の右壁(15c)
のボンネット(5) への当接面は、ボンネット(5) に沿う
水平断面円弧状とされている。こうして、第１部材(15)
および第２部材(13)により、図３に示すように、右面だ
けが円弧状である水平断面略方形となされた本体嵌入用
貫通孔(19)が形成されている。

【００２０】ストッパ(16)は、第１部材(15)の右壁(15
c) 上面に、第１部材(15)の前後側壁(15a)(15b)より上
方に突出するように設けられている。そして、このスト
ッパ(16)の流路開閉ハンドル(8) への当接面(16a) が、
図３に鎖線で示す流路開閉ハンドル(8) の右側面形状に
一致させられることにより、流路開閉ハンドル(8) の回
動を阻止している。なお、第１部材(15)の下端部は、ボ
ンネット(5) の互いに平行な前後平坦面が形成されてい
ない露出部分と干渉しないように形成されている。

【００２１】第１部材(15)の前後側壁(15a)(15b)には、
これを前後方向に貫通しかつ互いに共通の中心軸を有す
る第２部材挿通孔(17)がそれぞれ設けられている。第２
部材(13)は頭(13a) 付きピンとされており、この第２部
材(13)が前側の側壁(15a) の第２部材挿通孔(17)に前側
から挿入されて、後側の側壁(15b) の第２部材挿通孔(1
7)に挿通されている。第２部材(13)は、前側の側壁(15
a) よりも若干後方に位置する部分が小径とされてお
り、ここに、上下方向の貫通孔(18)が設けられている。
そして、この貫通孔(18)を用いて、第２部材(13)の抜止
めを防止している錠(14)が取り付けられている。錠(14)
は、例えば市販の南京錠でよく、足(14a) を貫通孔(18)
に通してこれを錠(14)の孔に差し込めばよい。これによ
り、錠(14)と第２部材(13)の頭(13a) とによって前側の
側壁(15a) が挟まれ、第２部材(13)の抜止めが果たされ
ている。したがって、鍵を用いて錠(14)を外さない限
り、流路開閉ハンドル(8) を回動させることは不可能と
なる。

【００２２】上記制御器(1) を組み立てるには、ボンネ
ット(5) の平坦面(5a)(5b)がボディ(2) の前後面と同方
向に向くように、ボンネット(5) をボディ(2) に嵌め被
せて、ボンネットナット(6) により両者(2)(5)を固定
し、次いで、弁棒(9) を上下動させて弁棒(9) の全閉位
置を決め、弁棒(9) が全閉位置にあるときに、流路開閉
ハンドル(8) も全閉位置となるように、両者 (8)(9) を
固定する。これにより、上述したように流路開閉ハンド
ル(8) が全閉位置にあるときにロックが可能となる。流
路開閉ハンドル(8) が全開位置にあるときにロックする
には、制御器(1)を組み立てるさいに、ボンネット(5)
の平坦面(5a)(5b)がボディ(2) の左右面と同方向に向く
ように、ボンネット(5) をボディ(2) に嵌め被せて、後
は上記と同様にすればよい。

【００２３】なお、上記の実施形態では、ストッパ(16)
の流路開閉ハンドル(8) への当接面(16a) は、全閉位置
にある流路開閉ハンドル(8) の右側面形状に一致させら
れているが、ストッパ(16)の形状はこれに限られるもの
ではなく、流路開閉ハンドル(8) に係合してその回動を
阻止するものであれば、種々の変更が可能である。ま
た、流路開閉ハンドル(8) の形状は、平面から見て略楕
円状であるが、流路開閉ハンドルの形状がこれ以外であ
っても、流路開閉ハンドルが完全な円筒形でない限り、
上記と同様にして流路開閉ハンドルのロック装置を得る
ことができる。なお、流路開閉ハンドルが完全な円筒形
である場合には、流路開閉ハンドルに、第１部材と係合
する係合部を設けることにより、上記と同様の機能を有
する流路開閉ハンドルのロック装置を得ることも可能で
ある。

【００２４】図４から図８までは、ハンドルロック装置
の第２実施形態を示す。流体制御器は、第１実施形態の
ものと同じであり、同じ符号を付して説明を省略する。

【００２５】ハンドルロック装置(21)は、全閉位置にあ
る流路開閉ハンドル(8) をその位置で固定するもので、
方形の本体嵌入用貫通孔(23)を有しかつ流体制御器本体
(5)に固定された支持体(22)と、支持体(22)に回動不可
能にかつ上下移動可能に設けられ、流路開閉ハンドル
(8) に係合してその回動を阻止するストッパ(26)と、ス
トッパ(26)の係合を解除できる者を鍵所持者に限定する
錠(27)とを備えている。

【００２６】ストッパ支持体(22)は、同一形状の前側の
半体（第１部材）(24)と後側の半体第２部材(25)とが互
いに突き合わされて結合されることにより形成されてい
る。ストッパ支持体(22)は、全体として方形板状であ
り、ボンネット(5) の互いに平行な前後平坦面(5a)(5b)
と高さが等しい右半部(22a) と、これより高さが低くス
トッパ(26)を受けている左半部(22b) とを備えている。
本体嵌入用貫通孔(23)は、一部が左半部(22b) にかかる
ようにして、ストッパ支持体(22)の右部に設けられてい
る。ストッパ支持体(22)の左半部(22b) には、本体嵌入
用貫通孔(23)より前後幅が狭く左右に長い方形のストッ
パ嵌入用貫通孔(28)が設けられている。

【００２７】ストッパ(26)は、流路開閉ハンドル(8) へ
の当接面(29a) が右面に形成された前後にのびる当接部
(29)と、当接部(29)の前後の中央部分から左方にのびる
水平基部(30)と、水平基部(30)より下方にのびかつスト
ッパ嵌入用貫通孔(23)に摺動自在に嵌め入れられた垂直
部(31)とよりなる。

【００２８】当接部(29)の前後長さは、ストッパ支持体
(22)の前後幅に等しくなされており、当接面(29a) の形
状は、流路開閉ハンドル(8) の左側面形状に一致させら
れている。水平基部(30)の水平断面積は、ストッパ嵌入
用貫通孔(28)よりも大きくなされており、水平基部(30)
は、ストッパ嵌入用貫通孔(28)の縁部で受けられてい
る。垂直部(31)には、これを前後方向に貫通する錠取付
け孔(32)が設けられている。

【００２９】錠(27)は、第１実施形態のものと同じもの
である。

【００３０】図６に示すように、錠(27)をかけていない
状態では、当接部(29)および水平基部(30)の上面は、ス
トッパ支持体(22)の右半部(22a) の上面と面一であり、
ストッパ(26)は、流路開閉ハンドル(8) に係合しないよ
うになされている。そして、この状態からストッパ(26)
を持ち上げて、ストッパ支持体(22)の左半部(22b) より
上方に露出した錠取付け孔(32)に錠(27)の足(27a) を通
すことにより、図４に示すように、錠(27)の足(27a) の
厚み分だけストッパ(26)がストッパ支持体(22)の右半部
(22a) の上面より上方に突出し、流路開閉ハンドル(8)
に係合した状態となる。この状態では、鍵を用いて錠(2
7)を外さない限り、流路開閉ハンドル(8) を回動させる
ことは不可能となる。

【００３１】こうして、ストッパ(26)は、流路開閉ハン
ドル(8) に係合する上方位置（ロック位置）と係合しな
い下方位置（アンロック位置）との間を上下移動しうる
ようにストッパ支持体(22)に取り付けられ、ストッパ(2
6)の上下移動だけによりロック位置とアンロック位置と
の切換えが可能となる。したがって、第１実施形態のも
のでは、第２部材(13)を第１部材(15)から外してしまわ
ないと、アンロック状態にすることができないのに対し
て、この第２実施形態のものでは、錠(27)を外すだけで
アンロック状態になり、ロック・アンロックの切換え作
業が楽になる。

【００３２】なお、ストッパ(26)の垂直部(31)の下端に
は、図６に示す鎖線位置までストッパ(26)を持ち上げた
ときに、ストッパ嵌入用貫通孔(28)の縁部に係合するこ
とによりストッパ(26)の上方への抜けを阻止する前方突
出縁部(31a) が設けられている。

【００３３】図７および図８に詳しく示すように、第１
および第２部材(24)(25)の突き合わせ部には、両部材(2
4)(25)が結合されたさいに本体嵌入用貫通孔(23)となる
水平断面長方形の凹所(33)(34)およびストッパ嵌入用貫
通孔(28)となる水平断面長方形の凹所(35)(36)が形成さ
れている。また、その凹所(33)(34)と凹所(35)(36)の間
にある突き合わせ面には、前後にのびるピン挿通孔(37)
(38)がそれぞれ設けられ、また、第１部材(24)の右端部
には、ボルト挿通孔(39)が、第２部材(25)の右端部に
は、ねじ孔(40)がそれぞれ設けられている。そして、各
部材(24)(25)に設けられたピン挿通孔(37)(38)に連結ピ
ン(41)がきつく挿入されるとともに、第２部材(25)のね
じ孔(40)に、第１部材(24)のボルト挿通孔(39)に通され
た平小ねじ(42)がねじ込まれることにより、両部材(24)
(25)が結合されている。

【００３４】なお、本体嵌入用貫通孔(23)となる各部材
(24)(25)の凹所(33)(34)の下端部は、ボンネット(5) の
互いに平行な前後平坦面が形成されていない露出部分と
干渉しないようにそれより上の部分に比べて大きく形成
されている。また、図示省略したが、第１および第２部
材(24)(25)を結合する平小ねじ(42)の頭を隠すピンが、
ボルト挿通孔(39)に強制嵌入される。

【００３５】第１部材(24)下面には、図７に鎖線で示す
ように、垂直カバープレート(43)が一体に設けられてい
ることが好ましい。垂直カバープレート(43)は、ストッ
パ(26)が下方位置にある状態で、図９および図１０に示
すように、ストッパ(26)の垂直部(31)と平行となり、錠
取付け孔(32)を隠すことができる。これにより、ストッ
パ(26)を上方位置に持ち上げない限り、錠(27)をかける
ことができないことになり、ストッパ(26)が下方位置に
ある状態で錠(27)をかけてしまうという誤作業を防止す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】流体制御器およびこの発明による流路開閉ハン
ドルのロック装置の第１の実施形態の外観を示す正面図
である。

【図２】要部の拡大縦断面図である。

【図３】要部の一部切欠き平面図である。

【図４】この発明による流路開閉ハンドルのロック装置
の第２の実施形態を示す一部を切欠いた正面図である。

【図５】同平面図である。

【図６】第２の実施形態の流路開閉ハンドルのロック装
置の錠をかけないときの正面図である。

【図７】第２の実施形態の流路開閉ハンドルのロック装
置の要部の分解斜視図である。

【図８】同組立て後の分解斜視図である。

【図９】第２の実施形態の流路開閉ハンドルのロック装
置の変形例を示す正面図である。

【図１０】図９のX-X 線に沿う断面図である。

【符号の説明】

(1) 流体制御器 (5) ボンネット（流体制御器本体） (5a) 前側の平坦面 (5b) 後側の平坦面 (8) 流路開閉ハンドル (11) ハンドルロック装置 (12) ストッパ支持体 (13) 第２部材 (14) 第２部材抜止め防止用錠 (15) 第１部材 (15a) 前側の側壁 (15b) 後側の側壁 (16) ストッパ (18) 錠取付け用貫通孔 (19) 本体嵌入用貫通孔 (21) ハンドルロック装置 (22) ストッパ支持体 (23) 本体嵌入用貫通孔 (24) 第１部材 (25) 第２部材 (26) ストッパ (28) ストッパ嵌入用貫通孔 (31) 垂直部 (32) 錠取付け孔 (33) 本体嵌入用貫通孔形成凹所 (34) 本体嵌入用貫通孔形成凹所 (35) ストッパ嵌入用貫通孔形成凹所 (36) ストッパ嵌入用貫通孔形成凹所

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体制御器本体(5) に対して回動させら
   れる流路開閉ハンドル(8) を全開または全閉位置でロッ
   クする装置であって、本体嵌入用貫通孔(19)(23)を有し
   かつ流体制御器本体(5) に固定されたストッパ支持体(1
   2)(22)と、ストッパ支持体(12)(22)に回動不可能に設け
   られかつ流路開閉ハンドル(8) に係合してその回動を阻
   止するストッパ(16)(26)とを備えている流体制御器の流
   路開閉ハンドルのロック装置。
2. 【請求項２】 ストッパ支持体(12)が、流体制御器本体
   (5) の互いに対向する２つの平坦面(5a)(5b)を両側から
   挟んでいる一対の側壁(15a)(15b)を有する略Ｕ字状の第
   １部材(15)と、両側壁(15a)(15b)の先端部間に渡されて
   第１部材(15)が流体制御器本体(5) から脱落するのを防
   止している直線状の第２部材(13)とよりなり、ストッパ
   (16)は、第１部材(15)に一体に設けられている請求項１
   の流体制御器の流路開閉ハンドルのロック装置。
3. 【請求項３】 第２部材(13)に、第２部材抜止め防止用
   錠(14)が取り付けられる貫通孔(18)が設けられている請
   求項２の流体制御器の流路開閉ハンドルのロック装置。
4. 【請求項４】 ストッパ(26)は、流路開閉ハンドル(8)
   に係合するロック位置と係合しないアンロック位置との
   間を上下移動しうるようにストッパ支持体(22)に取り付
   けられている請求項１の流体制御器の流路開閉ハンドル
   のロック装置。
5. 【請求項５】 ストッパ支持体(22)は、第１および第２
   部材(24)(25)が結合されることにより形成されており、
   各部材(24)(25)に、両部材(24)(25)が結合されたさいに
   本体嵌入用貫通孔(23)となる凹所(33)(34)およびストッ
   パ嵌入用貫通孔(28)となる凹所(35)(36)が形成されてお
   り、ストッパ(26)が、ストッパ嵌入用貫通孔(28)に摺動
   自在に嵌め入れられかつ錠取付け孔(32)が設けられた垂
   直部(31)を有している請求項４の流体制御器の流路開閉
   ハンドルのロック装置。