TW201632340A - 模具、壓印設備、以及製造物品的方法 - Google Patents

Abstract

一種模具，包括：圖案部，圖案部中形成有圖案；以及凹部，形成在圖案部的背面中，並且在平面圖中具有能夠包含圖案部的尺寸。圖案部的邊緣在平面圖中為大致矩形形狀。凹部在平面圖中為帶四個倒圓轉角的大致矩形形狀。從圖案部的邊緣的側面上的每個點至凹部的邊緣的最短距離是相同的。

Description

模具、壓印設備、以及製造物品的方法

本發明涉及模具、壓印設備和製造物品的方法。

壓印技術是藉由在將形成有圖案的模具壓靠到塗布有壓印材料的基材上同時用紫外光或者熱來固化壓印材料來形成圖案的。該壓印技術不需要在光刻法中所用的昂貴設備(例如投影透鏡)，並且允許藉由簡單設備來進行微細圖案化。

在壓印技術中，如果將模具壓靠至壓印材料上(壓印)時在模具與基材上的壓印材料之間留有氣隙，就不可能用壓印材料填充模具的圖案部，從而在圖案中產生缺陷。

為了防止氣隙，已知的一種技術是藉由用穿透過壓印材料的氣體(例如氦氣)填充壓印空間並且對模具的背面施加壓力以使模具圖案部變形為下凸形狀來執行壓印(美國專利申請公開No.2008/0160129)。根據該技 術，在壓印時，藉由使模具從模具圖案的中心部與壓印材料接觸並且移動模具以便將氣體排出到圖案外，可以在不留下任何氣隙的情況下用壓印材料填充模具圖案部。

當在固化了壓印材料之後分開模具與壓印材料(脫模)時，黏附強度依圖案密度而變化，且因此脫模速度突然改變。這種改變會導致圖案脫落。在日本專利早期公開No.2010-221374中，藉由在脫模瞬間根據圖案的高密度而增大/減小施加至模具背面的壓力量，抑制了脫模力或者脫模速度的突然改變。

如上所述，作為壓印技術，提供了藉由在壓印時和脫模時向模具的背面施加壓力來使圖案部變形成下凸形狀的壓印方法和模具形狀。

當藉由向模具背面施加壓力以使圖案表面變形成下凸形狀並且進行壓印時，圖案表面接觸到壓印材料的時刻越靠圖案外側越遲。在此情況下，因為模具的下凸變形形狀的輪廓是圓形的而圖案區域為矩形形狀，所以距圖案中心最遠的四個轉角部接觸到壓印材料的時刻尤其遲。因此，由於填充時間的延遲，可能會導致生產率降低，或者可能會產生依四個轉角位置部位而定的未填充缺陷。

如日本專利早期公開No.2010-221374中那樣，在固化了壓印材料之後脫模時，藉由給模具的背面施加壓力以使模具變形成圓凸形狀來減小脫模力並且抑制脫模速度變化。然而，類似於壓印，因為模具的圓凸形狀不 同於圖案區域的矩形形狀，所以不可能達到最佳效果，並且很難減小脫模力和控制脫模速度。

因此，對於現有的壓印以及在脫模時的模具變形形狀來說，由於圖案缺陷(例如圖案未填充或者圖案脫落)或者填充時間延遲，可能會導致生產率降低或者模具可能會損壞。

本發明是考慮到上述問題而做出的，並且提供了有利於減少圖案缺陷並且提高生產率的模具、壓印設備和製造物品的方法。

根據本發明的一個方面，提供了一種模具。此模具包括：圖案部，圖案部中形成有圖案；以及凹部，形成在圖案部的背面中，並且在平面圖中具有能夠包含圖案部的尺寸，其中，圖案部的邊緣在平面圖中為矩形形狀，以及凹部包括沿著圖案部的矩形形狀的側面的側壁部。

從以下(參照附圖)對示例性實施例的說明將明白本發明的其它特徵。

1‧‧‧基材

1a‧‧‧壓印材料

2‧‧‧微動基材台

3‧‧‧粗動基材台

4‧‧‧底座

5‧‧‧模具

5a‧‧‧驅動裝置

5b‧‧‧圖案部

5c‧‧‧薄部

5d‧‧‧封閉空間

5e‧‧‧凹部

5f‧‧‧側壁部

5g‧‧‧加壓/減壓機構

5h‧‧‧模具夾具

5ba‧‧‧長度

5bb‧‧‧長度

5ca‧‧‧虛線

5cb‧‧‧虛線

5cA‧‧‧第一剛性部

5cB‧‧‧第一剛性部

5cC‧‧‧第二剛性部

5cD‧‧‧傾斜部

5cE‧‧‧傾斜部

5ea‧‧‧長度

5eb‧‧‧長度

6‧‧‧紫外光發生器

6a‧‧‧紫外光

7‧‧‧分配器

8‧‧‧儲罐

9‧‧‧管

10‧‧‧移動裝置

11‧‧‧對準用顯微鏡

12‧‧‧台板

100‧‧‧壓印設備

A‧‧‧線

A’‧‧‧線

B‧‧‧線

B’‧‧‧線

X‧‧‧方向

Y‧‧‧方向

Z‧‧‧方向

圖1是示出根據實施例的壓印設備的佈置的視圖；圖2A-圖2D和圖3A-圖3C是用於闡明壓印 順序的視圖；圖4是用於闡明晶圓上的壓印順序的視圖；圖5A-圖5B是用於闡明根據第一實施例的壓印設備的佈置的視圖；圖6A-圖6B是用於闡明根據第一實施例的壓印設備的佈置的視圖；圖7A-圖7D是用於闡明在壓印時的操作的視圖；圖8A-圖8B是用於闡明根據第一實施例的模具形狀的視圖；圖9是用於闡明根據第二實施例的模具形狀的視圖；圖10是用於闡明根據第三實施例的模具形狀的視圖；圖11是用於闡明根據第四實施例的模具形狀的視圖；圖12是用於闡明根據第五實施例的模具形狀的視圖；圖13A-圖13C是用於闡明根據第五實施例之在壓印期間的模具變形的視圖；圖14是用於闡明根據第六實施例的模具形狀的視圖；圖15是用於闡明根據傳統例子之在壓印期間的模具變形的視圖；以及 圖16是用於闡明根據第六實施例之在壓印期間的模具變形的視圖。

以下將參照附圖來詳細說明本發明的較佳實施例。注意，本發明不限於以下的實施例，並且這些實施例僅是實施本發明有利的實用例子。還要注意，以下實施例中所說明的特徵的所有組合並非都是對於本發明解決技術問題所必不可少的。

<第一實施例>

將參照圖1來描述根據第一實施例的壓印設備的概況。作為例子，將說明本發明應用於利用UV光(紫外光)的照射來固化樹脂的UV光固化壓印設備。注意，本發明也適用於利用具有其它波長範圍的光的照射來固化樹脂的壓印設備和使用其它能量(例如，熱)來固化樹脂的壓印設備。

壓印設備100構造成藉由重複壓印週期而在基材上的多個照射區域中形成圖案。注意，一個壓印週期是指藉由把模具壓靠到作為壓印材料的樹脂上同時固化樹脂來在基材上的一個照射區域中形成圖案的週期。

微動基材台2是能夠沿X-Y方向和X-Y平面內的旋轉方向以微量(例如，沿X-Y方向之大約1毫米以及沿X-Y平面內的旋轉方向之大約幾度)驅動基材1 的台。粗動基材台3是沿X-Y方向以較大量來移動基材1並且可以在基材的整個表面上從基材1的裝載/卸載位置沿相互垂直的方向來移動壓印區域的台。壓印設備的底座(base frame)4保持微動基材台2和粗動基材台3。

在模具5的表面上形成三維圖案，並且藉由將壓印材料(未固化的樹脂)插入到模具5與基材1之間而將三維圖案轉印到基材1上。驅動裝置5a是用於上下驅動模具5並且執行將模具5壓靠到基材上的未固化樹脂的操作的裝置。紫外光發生器6藉由透過模具5以紫外光來照射未固化樹脂來固化樹脂。紫外光發生器6包括光源(例如鹵素燈)和使從光源發出的光會聚成形的功能，該光源產生i線或者g線。

分配器(dispenser)7可以藉由形成未固化樹脂的小液滴並且排出液滴來將預定量的樹脂塗布到基材上。未固化樹脂保存在儲罐(tank)8中，並且通過管9供應到分配器7。移動裝置10使分配器7在排出位置與退回位置(維護位置)之間移動。在正常的排出操作時，移動裝置10將分配器7定位在排出位置。當維護分配器7時，移動裝置10將分配器7移動至退回位置。

對準用顯微鏡(alignment scope)11是用於在分配器7排出未固化樹脂並將其塗布到基材上之後用來對準模具5的圖案和基材1的圖案的顯微鏡。對準用顯微鏡11測量形成在模具5上的對準標記與基材上的對準標記之間的重合狀態，從而對準模具5和基材。台板 (platen)12支承並固定上述的模具5、驅動裝置5a、紫外光發生器6、分配器7、儲罐8、移動裝置10和對準用顯微鏡11。

通常，根據本實施例的壓印設備100的佈置如上所述。將參照圖2A-圖2D和圖3A-圖3C來說明壓印設備100的操作。

在圖2A中，把基材1安裝在微動基材台2和粗動基材台3上。在圖2B中，微動基材台2和粗動基材台3藉由將基材1移動到分配器7下面來對準基材1。在圖2C中，分配器7將預定量的樹脂塗布到基材上。在圖2D中，對準用顯微鏡11使用微動基材台2將模具5的對準標記與基材1的對準標記重合，從而調整模具5和基材1的相對位置。

在圖3A中，驅動裝置5a把模具5沿向下方向朝基材1移動並且將模具5的圖案部壓靠到基材1上的未固化樹脂上，從而轉印圖案。在圖3B中，紫外光發生器6利用紫外光6a從上方執行照射。透過了模具5的紫外光6a照射未固化樹脂。在此階段，未固化的樹脂固化。在圖3C中，藉由向上分開模具(脫模)來在基材1上形成帶圖案的樹脂層，且結束壓印操作。

在基材上多次壓印模具圖案的壓印設備按照連續照射1、2、3…的次序對基材1重複地進行包括上述步驟的壓印操作，如圖4中所示。

將參照圖5A-圖5B、圖6A-圖6B、圖7A-圖 7D和圖8A-圖8B來描述模具周圍的佈置和壓印時的操作。

圖5A是示出模具5的背面的視圖，並且圖5B是示出模具5及其周邊的剖視圖。模具5例如是6英寸光罩(reticle)(152毫米長×152毫米寬×6.35毫米厚，材料：石英)。雖然在這裡例舉了6英寸的光罩，但是本發明不限於具體的尺寸或者材料。藉由真空吸引、伯努利吸引等用模具夾具5h夾緊和保持模具5的背面。模具5具有藉由加工背面而凹成預定形狀的凹部5e。這藉由加工背面而形成了殘留的薄部5c。凹部5e具有包含圖案部5b的尺寸。在平面圖中，圖案部5b位於模具5的表面的中心處和薄部5c的中心處。

當模具夾具5h夾緊模具5時，模具5形成了封閉空間5d。加壓/減壓機構5g經由管連接至封閉空間5d，並且可以把封閉空間5d控制在期望壓力。待控制的壓力例如是-30kPa到30kPa的表壓力(gauge pressure)，並且可以根據待變形之模具的變形量與圖案的高密度而在模具的夾緊力範圍內自由地設定，從而選擇加壓/減壓機構。壓力感測器設置在加壓/減壓機構5g內以控制壓力，但也可以設置在封閉空間5d內以便更高精度地控制壓力。

圖6A-圖6B示出了藉由給封閉空間5d施加壓力來使模具5變形的情況。當在圖6A中所示狀態中將壓力施加至封閉空間5d時，模具5如圖6B中所示沿增大容積的方向變形，並且因此薄部5c和圖案部5b變形成下 凸形狀。

將參照圖7A-圖7D來說明在壓印時的操作。圖7A示出了當在圖2B中所示步驟中將壓印材料塗布到基材上之後使模具變形成下凸形狀同時驅動裝置5a向下移動模具以執行壓印操作的情況。壓印操作首先使圖案部5b與基材1上的壓印材料1a接觸。然後，接觸部向外擴展，並且壓印材料1a與圖案部5b的整個區域接觸，從而執行填充。

圖7B示出了在基材1與壓印材料接觸的情況下在壓印材料被紫外光固化之前所執行的對準操作。更具體地說，對準用顯微鏡11調整微動基材台2，以便將模具5的對準標記與基材1上的對準標記重合。

圖7C示出了藉由紫外光發生器6利用紫外光6a從上方執行照射的操作。透過了模具5的紫外光6a照射未固化樹脂。在此階段，未固化樹脂被固化。

圖7D示出了向上分開並退回模具5(脫模)的操作。在此操作中，模具從圖案的外側開始與壓印材料分開。此刻，調整封閉空間5d的壓力。這改變了模具的下凸變形的形狀，並且因此可控制進行分開的速度、控制進行分開的區域和隨著分開控制模具脫模力的增減。當模具完全分開並退回時，結束壓印操作。

圖8A-圖8B各自示出了模具的平面圖、剖視圖和透視圖的例子。圖8A示出了根據傳統例子的模具，並且圖8B示出了根據本實施例的模具。虛線5ca或者 5cb示出了當凹部5e因施加壓力而變形時表示變形形狀的輪廓。沿線A-A截取的各剖視圖用虛線示出了下凸變形的形狀。圖案部5b在平面圖中大體上為矩形形狀。相反地，如圖8A中所示，在根據傳統例子的模具中，凹部5e在平面圖中大體上為圓形形狀。因此，在施加壓力時的形狀是按圓形形狀描繪輪廓的形狀。在圖案部5b的區域中，在四個轉角部中之沿+Z方向的位移量是最小的。

另一方面，在根據此實施例的模具中，如圖8B中所示，凹部5e具有沿著圖案部5b的矩形形狀之各側面的側壁部5f。因此，凹部5e的邊緣具有類似於圖案部5b之形狀的矩形形狀。側壁部可以形成為使得凹部5e的邊緣具有帶四個倒圓轉角的大致矩形形狀。在此情況下，如果凹部5e的四個倒圓轉角的圓心都設定在圖案部5b的轉角，則從圖案部5b整個邊緣上的各個點至凹部5e的側壁部的最短距離可以設定為相同。在圖案部5b的周邊之各點處的凹部5e的變形量彼此相等。在施加壓力時的形狀變成按矩形形狀描繪輪廓的形狀。這可以使圖案部5b之區域的四個轉角部的+Z方向的變形量在圖案的周邊上都一致。在此實施例中，藉由使用硬質磨具(例如鑽石)進行磨削或者藉由涉及到噴射磨料的噴砂法，來進行用於形成模具的凹部5e(薄部)的加工。對以下各實施例的凹部可進行同樣的加工。

<第二實施例>

接下來將描述第二實施例。壓印設備的佈置和壓印操作與第一實施例(圖1到圖8B)中的是相同的。

圖9示出了各自示出根據第二實施例的模具的平面圖、剖視圖和透視圖。在X方向和Y方向上從圖案部5b的中心至其邊緣的長度分別由5ba和5bb來表示。在X方向和Y方向上從圖案部5b的邊緣至凹部5e的邊緣的長度分別由5ea和5eb來表示。如果圖案部5b的X方向上的長度5ba不同於圖案部5b的Y方向上的長度5bb，則凹部5e的長度5ea和5eb設定為與圖案部的上述兩長度成正比。這可以將施加壓力時之形狀的輪廓間隔設定為與圖案的垂直長度和水平長度成正比，從而抑制圖案的周邊的垂直輪廓差異與水平輪廓差異之間的差異。更加嚴格地說，可以形成這樣的形狀，其中，在圖案部的四個轉角處之+Z方向的變形量在圖案的周邊彼此相等。

<第三實施例>

接下來將描述第三實施例。壓印設備的佈置和壓印操作與第一實施例(圖1到圖8B)中的是相同的。

圖10示出了各自示出根據第三實施例模的具的平面圖、剖視圖和透視圖。凹部5e在平面圖中的形狀例如為圓形。凹部5e在平面圖中的形狀可以是矩形形狀。各自具有厚度的第一剛性部5cA和5cB形成為凹部5e內、圖案部5b外的沿圖案部5b之矩形形狀的各側面的側壁部5f。第一剛性部5cA和5cB可以具有不同的厚 度。藉由利用第一剛性部5cA和5cB使圖案部5b的四個側部具有強度，與四個轉角部和圖案部相比，側部在施加壓力時很難變形。因此，在施加壓力時的形狀為如輪廓5ba所示出的矩形形狀。代替形成剛性部5cA和5cB，形狀可以形成為使得僅四個轉角部的厚度較小。藉由使四個側面的厚度不同於四個轉角部的厚度，就可在施加壓力時變形成矩形形狀。

<第四實施例>

接下來將描述第四實施例。壓印設備的佈置和壓印操作與第一實施例(圖1到圖8B)中的是相同的。

圖11示出了各自示出根據第四實施例的模具的平面圖、剖視圖和透視圖。在圖11中，凹部5e的開口為大致矩形形狀。注意，開口可以為圓形形狀或者別的幾何形狀。如在第三實施例中那樣，在凹部5e內、圖案部5b外沿著各側面形成了各自具有厚度的第一剛性部5cA和5cB。也可以在圖案部5b的四個轉角外形成第二剛性部5cC。各個第二剛性部5cC的頂面是傾斜的，以使得第二剛性部的高度朝凹部的轉角變低，如沿線B-B截取的剖視圖和沿線B’-B’截取的剖視圖中所示。也就是說，每個第二剛性部5cC朝向凹部的轉角具有較低的剛度。這可以在施加壓力時將形狀更精確地形成如輪廓5ba那樣的矩形形狀。因此，可藉由逐漸改變四個轉角部的厚度來使形狀更精確地變形成矩形形狀。

<第五實施例>

接下來將描述第五實施例。壓印設備的設備和壓印操作與第一實施例(圖1到圖8B)中的是相同的。

圖12示出了各自示出根據第五實施例的模具的平面圖、剖視圖和透視圖。在圖12中，凹部5e的開口為大致矩形形狀。注意，開口可以為圓形形狀或者別的幾何形狀。在圖12中，凹部5e的底部包括傾斜部5cD，其高度朝向圖案部5b中心變低。也就是說，凹部5e的底部是由傾斜部5cD形成，以便具有朝向圖案部5b變小的厚度。表示厚度變化的輪廓為矩形形狀。這可以在施加壓力時使圖案部之變形形狀形成為矩形形狀。

還可以達到的效果是抑制因壓印操作時來自壓印材料的反作用力所導致的圖案部變形。這將參照圖13A-圖13C來描述。圖13A-圖13C示出了在壓印時之圖案部5b的變形。圖13A示出了根據此實施例之在壓印之前的模具5的狀態。在此實施例中，如上所述，包括有朝向圖案部中心傾斜的傾斜部5cD。

圖13B示出了傳統例子。在該傳統例子中，與圖13A中不同，沒有傾斜部。在該傳統例子中，藉由在即將壓印之前給模具的背面施加壓力而使圖案部5b變形成下凸形狀。在壓印期間，藉由來自壓印材料的反作用力而使圖案部5b變形。此時，圖案部5b中具有較低剛性的部分和圖案部周圍的薄部較大地變形。在該傳統例子中， 因為薄部的剛性是最低的，所以靠近薄部的圖案部之周邊區域較大地變形。因為在圖案區域內出現了Z方向上的變形的差異，所以在壓印之後在固化的壓印材料中的圖案內出現了厚度差異。壓印材料中之厚度差異會導致在晶圓的後處理中的蝕刻之後的殘留誤差，從而導致了圖案缺陷。

相反地，在本實施例中，如圖13C中所示，傾斜部5cD減小了圖案部的中心區域的剛性，從而減小了中心區域的剛性與圖案的周邊的剛性之間的差異。這樣可使壓印時由反作用力所導致的圖案內變形一致，並且因此可減小圖案內的Z方向上的變形的差異。

如上所述，藉由圖12中所示的模具之形狀，可在施加壓力時使圖案部變形成矩形凸形形狀，並且可減小在壓印時因來自壓印材料的反作用力所導致的圖案內的變形差異。

<第六實施例>

接下來將描述第六實施例。壓印設備的佈置和壓印操作與第一實施例(圖1到圖8B)中的是相同的。

圖14示出了各自示出根據第六實施例的模具的平面圖、剖視圖和透視圖。在圖14中，凹部5e的開口為大致矩形形狀。注意，開口可以為圓形形狀或者別的幾何形狀。在圖14中，凹部5e的底部包括傾斜部5cE，其高度朝向圖案部5b的中心部變高。也就是說，凹部5e的底部是由傾斜部5cE形成的，以在圖案部的中心部具有比 圖案部外部的薄部更大的厚度。注意，傾斜部5cE的傾斜度僅需是線性的，或者藉由曲線之組合等方式而比圖案部外部的薄部厚。藉由朝向圖案區域的中心部增大厚度，可減小在壓印和脫模時由來自壓印材料的反作用力所導致的圖案區域的中心部的變形。有必要藉由在壓印之前給模具施加壓力並且使模具變形成下凸形狀來使壓印材料從模具的中心潤濕模具，並且也有必要抑制壓印和脫模時的變形扭曲。因此，可藉由僅增大圖案部的中心區域的厚度同時保持圖案部外部的薄部之厚度較小來滿足上述兩個要求。

圖15示出了在傳統模具之壓印和脫模時的模具變形的例子。在即將壓印之前給模具的背面施加壓力以使圖案部5b變形成下凸形狀，並且用晶圓上的壓印材料從圖案部的中心部潤濕模具以便排出氣體。然後，在脫模期間使圖案部變形成下凸形狀，並且使模具從圖案部外側脫模。如果圖案部的變形比所需的更大，則出現例如圖案脫落的缺陷。因此，有必要減小圖案部的模具變形。此外，如果變形較大，則模具的中心部的變形較大，並且會損壞在模具的中心部中的模具圖案。

圖16示出了根據此實施例之在壓印和脫模時的模具的變形。在即將壓印之前給模具的背面施加壓力以使圖案部5b變形成下凸形狀。此時，因為圖案區域比傳統例子中的更厚，所以可藉由在壓印時將變形量抑制到足以排出氣體的最小限度，並且使圖案部具有盡可能接近平面形狀的形狀來減小填充圖案的四個轉角部的延遲。在脫 模期間，因為圖案部的剛性高，與傳統例子相比可抑制圖案部的變形，並且可減少例如圖案脫落的缺陷。此外，因為可以抑制在脫模時之模具的中心部的變形量，所以還可以抑制對模具的中心部的損壞。如上所述，在此實施例中，藉由使圖案部的厚度大於圖案部周圍的薄部的厚度，可達到的效果是減小了在壓印時的填充延遲，並且減少了脫模時之圖案的脫落和對模具的損壞。

根據上述各個實施例，增大了在壓印時之圖案部的四個轉角部的填充速度，並且因此可達到提高生產率的效果。減少未填充區域產生了減少圖案缺陷的效果。此外，在脫模時可減小脫模力並且可控制脫模速度，從而減少了例如圖案脫落的缺陷和減少了對模具的損害。因此，根據這些實施例，可以達到減少圖案缺陷和提高生產率的效果。

<製造物品的方法>

根據本發明之實施例的製造物品的方法適合於製造諸如微裝置(例如半導體裝置)或者具有微結構的元件之類的物品。此製造方法包括藉由使用壓印設備在基材上形成圖案的步驟。此製造方法還可以包括對形成有圖案的基材進行處理的其它熟知步驟(例如，氧化、沉積、氣相沉積、摻雜、平面化、蝕刻、壓印材料分離、切割、結合和封裝)。根據此實施例之製造物品的方法在物品的性能、品質、生產率和生產成本中的至少一個方面比任何傳統方 法更優越。

雖然已經參照示例性實施例描述了本發明，但是應當理解，本發明不限於所公開的示例性實施例。以下申請專利範圍的範圍應給予最寬泛的解釋，以便涵蓋所有這樣的修改以及等同結構和功能。

5‧‧‧模具

5b‧‧‧圖案部

5cb‧‧‧虛線

5e‧‧‧凹部

5f‧‧‧側壁部

A‧‧‧線

Claims (9)

1. 一種模具，包括：圖案部，該圖案部中形成有圖案；以及凹部，形成在該圖案部的背面中，並且在平面圖中具有能夠包含該圖案部的尺寸，其中，該圖案部的邊緣在該平面圖中為矩形形狀，以及該凹部包括沿著該圖案部的該矩形形狀的側面的側壁部。
2. 根據申請專利範圍第1項所述的模具，其中，從該圖案部的該矩形形狀的該側面上的多個點至該凹部的該側壁部的最短距離是相同的。
3. 根據申請專利範圍第2項所述的模具，其中，該凹部具有一形狀，在該形狀中，從該圖案部的整個該邊緣上的每個點至該側壁部的最短距離是相同的。
4. 根據申請專利範圍第1項所述的模具，其中，該側壁部是由第一剛性部形成的，該第一剛性部沿著該圖案部的該矩形形狀的每個側面形成在該凹部內。
5. 根據申請專利範圍第4項所述的模具，其中，該凹部還包括在該圖案部的該矩形形狀的四個轉角的每一個的外部的第二剛性部，該第二剛性部的剛性朝向該凹部的轉角變低。
6. 根據申請專利範圍第1項所述的模具，其中，該凹部的底部包括傾斜部，該傾斜部的高度朝向該圖案部的中 心變低。
7. 根據申請專利範圍第1項所述的模具，其中，該凹部的底部包括傾斜部，該傾斜部的高度朝向該圖案部的中心變高。
8. 一種壓印設備，其係用於藉由使用模具來使基材上的壓印材料成型，其中，該模具包括：圖案部，該圖案部中形成有圖案；以及凹部，形成在該圖案部的背面中，並且在平面圖中具有能夠包含該圖案部的尺寸，其中，該圖案部的邊緣在該平面圖中為矩形形狀，以及該凹部包括沿著該圖案部的該矩形形狀的側面的側壁部。
9. 一種製造物品的方法，該方法包括：使用壓印設備在基材上形成壓印材料的圖案；以及對形成有該圖案的該基材進行處理以製造出該物品，其中，該壓印設備係用於藉由使用模具來使該基材上的該壓印材料成型，該模具包括：圖案部，該圖案部中形成有圖案；以及凹部，形成在該圖案部的背面中，並且在平面圖中具有能夠包含該圖案部的尺寸，其中，該圖案部的邊緣在該平面圖中為矩形形狀，以及該凹部包括沿著該圖案部的該矩形形狀的側面的側壁部。