TW201512068A - 晶圓定位機構及晶圓盒 - Google Patents
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Abstract
一種晶圓定位機構，包括一底座、一連結棒及一推動元件。底座具有一阻擋部。連結棒係樞接於底座之上，並且具有一彈性部。推動元件係樞接於連結棒之上。當推動元件係位於一保持位置處時，彈性部係抵接阻擋部，以及由連結棒所產生之一力係被施加於推動元件。
Description
本發明是有關於一種晶圓定位機構，特別是有關於一種晶圓盒。
在半導體工業之中，晶圓是被容納於晶圓盒之中以防止晶圓被污染。一般而言，晶圓是被插入至晶圓盒之一卡匣之中，以及一晶圓抽屜是被使用去固定晶圓於卡匣之中以及防止晶圓在晶圓盒之運送過程中發生損壞。
晶圓抽屜是以可分離之方式被設置於晶圓盒之上，以有利於晶圓盒之清洗。然而，由於晶圓抽屜之可分離結構，晶圓抽屜之一些零件可能會掉落以及損壞晶圓。
再者，一些微粒可能會藉由晶圓盒之一些組裝零件而被產生，以及微粒可能會掉落至晶圓之上。此外，在晶圓盒被清洗之後，一些水分可能會停留在盒殼之凹槽之中，以及晶圓可能會被停留在盒殼中之水分所污染。
有鑑於此，改良晶圓盒之結構是有一些挑戰性存在。
本發明基本上採用如下所詳述之特徵以為了要解決上述之問題。
本發明之一實施例提供一種晶圓定位機構，其包
括一底座，具有一阻擋部；一連結棒，樞接於該底座之上，並且具有一彈性部；以及一推動元件，樞接於該連結棒之上，其中，當該推動元件係位於一保持位置處時，該彈性部係抵接該阻擋部，以及由該連結棒所產生之一力係被施加於該推動元件。
根據上述之實施例，該連結棒包括一連結體，樞
接於該底座之上，其中，該彈性部係設置於該連結體之上；以及一連結軸，設置於該連結體之上。
根據上述之實施例，該推動元件包括一推動體；
一樞接部，設置於該推動體之上，並且具有一樞接狹縫；以及一固持部，設置於該推動體之上，其中，該連結軸係以轉動之方式設置於該樞接狹縫之中，並且係位於該固持部與該樞接狹縫之間。
根據上述之實施例，該固持部具有一阻擋表面，
該連結軸具有一溝渠，以及當該推動元件係位於該保持位置處時，該溝渠之一下表面係面對該阻擋表面。
根據上述之實施例，該推動元件具有一輪子，以
及該輪子係設置於該推動體之上。
本發明之另一實施例提供一種晶圓定位機構，其
包括一底座，具有一阻擋部；一連結棒，樞接於該底座之上，並且包括一連結體，樞接於該底座之上；一連結軸，設置於該連結體之上，並且具有一溝渠；以及一彈性部，設置於該連結體之上；以及一推動元件，樞接於該連結棒之上，並且包括一
推動體；一樞接部，設置於該推動體之上，並且具有一樞接狹縫，其中，該連結軸係以轉動之方式設置於該樞接狹縫之中；以及一固持部，設置於該推動體之上，並且具有一阻擋表面，其中，當該推動元件係位於一保持位置處時，該溝渠之一下表面係面對該阻擋表面，該彈性部係抵接該阻擋部，以及由該連結棒所產生之一力係被施加於該推動元件。
根據上述之實施例，該下表面及該阻擋表面係為平坦表面。
根據上述之實施例，該固持部包括一彈性臂，設置於該推動體之上；以及一卡鉤結構，設置於該彈性臂之上，並且具有該阻擋表面，其中，該連結軸係位於該卡鉤結構與該樞接狹縫之間。
根據上述之實施例，該推動體係實質上平行於一平面，以及該阻擋表面係實質上垂直於該平面。
根據上述之實施例，該推動元件具有一輪子，以及該輪子係設置於該推動體之上。
本發明之又一實施例提供一種晶圓盒，其包括一盒門；一卡匣，設置於該盒門之上，並且容納至少一晶圓；一盒殼，係以可分離之方式設置於該盒門之上，並且係覆蓋該卡匣；以及一晶圓定位機構，包括一底座，設置於該盒殼之一內表面之上，並且具有一阻擋部；一連結棒，樞接於該底座之上，並且具有一彈性部；以及一推動元件，樞接於該連結棒之上，其中，當該推動元件係位於一保持位置處時，該彈性部係抵接該阻擋部，以及由該連結棒所產生之一力係被施加於該推動元
件。
根據上述之實施例，該盒門具有一盒殼體及複數個保持突出部，該等保持突出部係設置於該盒殼體之上，該卡匣係被該等保持突出部所保持，以及該盒殼體及該等保持突出部係被成型為一單一件。
根據上述之實施例，該卡匣具有一保持板及一保持肋，該保持肋係設置於該保持板之上，以及該保持板及該保持肋係被該等保持突出部所保持。
根據上述之實施例，該盒殼具有一殼體、設置於該內表面中之一固定突出部以及具有一固定槽之一阻尼元件，以及該固定突出部係以可分離之方式被保持於固定槽之中。
根據上述之實施例，該盒殼包括具有一容納室之一殼體、一下表面以及一殼開口，該殼開口係成型於該下表面之上，並且係連通於該容納室，以及該下表面係不包括成型於其上之任何之槽。
根據上述之實施例，該推動體在移動過程中係實質上平行於一平面，該連結棒係繞著一旋轉軸樞接於該底座之上，以及該旋轉軸係位於該平面處。
根據上述之實施例，該連結棒包括一連結體，樞接於該底座之上，其中，該彈性部係設置於該連結體之上；以及一連結軸，設置於該連結體之上。
根據上述之實施例，該推動元件包括一推動體；一樞接部，設置於該推動體之上，並且具有一樞接狹縫；以及
一固持部，設置於該推動體之上，其中，該連結軸係以轉動之方式設置於該樞接狹縫之中，並且係位於該固持部與該樞接狹縫之間。
根據上述之實施例，該固持部具有一阻擋表面，該連結軸具有一溝渠，以及當該推動元件係位於該保持位置處時，該溝渠之一下表面係面對該阻擋表面。
根據上述之實施例，該下表面及該阻擋表面係為平坦表面。
為使本發明之上述目的、特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例並配合所附圖式做詳細說明。
1‧‧‧晶圓盒
10‧‧‧盒門
11‧‧‧盒殼體
12‧‧‧外保持突出部
13‧‧‧內保持突出部
20‧‧‧卡匣
21‧‧‧頂部
22‧‧‧底部
23‧‧‧側壁
30‧‧‧盒殼
31‧‧‧殼體
32‧‧‧把手
33‧‧‧固定突出部
34‧‧‧阻尼元件
40‧‧‧晶圓定位機構
41‧‧‧底座
42‧‧‧連結棒
43‧‧‧推動元件
111‧‧‧上表面
221‧‧‧保持板
222‧‧‧保持肋
231‧‧‧晶圓狹縫
311‧‧‧內表面
312‧‧‧下表面
313‧‧‧殼開口
341‧‧‧固定槽
342‧‧‧阻尼孔
411‧‧‧阻擋部
421‧‧‧連結體
422‧‧‧連結軸
423‧‧‧彈性部
424‧‧‧透孔
431‧‧‧推動體
432‧‧‧樞接部
433‧‧‧固持部
434‧‧‧輪子
4212‧‧‧端部
4221‧‧‧溝渠
4222‧‧‧下表面
4321‧‧‧樞接狹縫
4331‧‧‧彈性臂
4332‧‧‧卡鉤結構
4333‧‧‧阻擋表面
D1、D2、D3‧‧‧延伸方向
W1、W2‧‧‧晶圓
AX1、AX2‧‧‧軸
AX5、AX6‧‧‧旋轉軸
S1‧‧‧容納室
P1‧‧‧平面
第1圖係顯示根據本發明之一些實施例之一晶圓盒之立體示意圖；第2圖係顯示根據本發明之一些實施例之晶圓盒之立體分解示意圖；第3圖係顯示根據本發明之一些實施例之晶圓盒之剖面示意圖；第4圖係顯示根據本發明之一些實施例之盒門之立體示意圖；第5圖係顯示根據本發明之一些實施例之一殼體之立體示意圖；第6圖係顯示根據本發明之一些實施例之一晶圓定位機構之立體示意圖；
第7圖係顯示根據本發明之一些實施例之晶圓定位機構之立體分解示意圖；
第8圖係顯示根據本發明之一些實施例之一推動元件之立體示意圖；第9A圖係顯示根據本發明之一些實施例之晶圓盒位於釋放位置處之示意圖；第9B圖係顯示根據本發明之一些實施例之晶圓盒位於保持位置處之示意圖；第9C圖係顯示根據第9B圖之部分A之放大示意圖；第10A圖係顯示根據本發明之一些實施例之一晶圓定位機構於保持位置處之立體示意圖；第10B圖係顯示根據第10A圖之部分B之放大示意圖；以及第10C圖係顯示根據本發明之一些實施例之晶圓盒位於一堵塞位置中之示意圖。
茲配合圖式說明本發明之較佳實施例。
有關本發明之前述及其他技術內容、特點與功效，在以下配合參考圖式之一較佳實施例的詳細說明中，將可清楚的呈現。以下實施例中所提到的方向用語，例如：上、下、左、右、前或後等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用來說明並非用來限制本發明。
第1圖係顯示根據本發明之一些實施例之一晶圓盒1之立體示意圖。第2圖係顯示根據本發明之一些實施例之晶圓盒1之立體分解示意圖。晶圓盒1是被使用於容納複數個晶圓
W1(如第2圖所示)。晶圓盒1包括有一盒門10、一卡匣20、一盒殼30及一晶圓定位機構40。卡匣20是被設置於盒門10之上，並且卡匣20容納有晶圓W1。盒殼30是以可分離之方式設置於盒門10之上，並且盒殼30是覆蓋著卡匣20。晶圓定位機構40是設置於盒殼30之一內壁之上。晶圓定位機構40是用於保持晶圓W1於卡匣20之中。
第3圖係顯示根據本發明之一些實施例之晶圓盒1
之剖面示意圖。第4圖係顯示根據本發明之一些實施例之盒門10之立體示意圖。盒門10係為一平板結構。在一些實施例之中，盒門1具有一盒殼體11、複數個外保持突出部12及複數個內保持突出部13。外保持突出部12及內保持突出部13是被設置於盒殼體11之一上表面111之上。在一些實施例之中，兩個外保持突出部12及四個內保持突出部13是被顯示於第2圖之中。
在一些實施例之中，外保持突出部12是平行於彼
此，並且外保持突出部12是沿著一延伸方向D1延伸。內保持突出部13是實質上位於兩個鄰接之外保持突出部12之間。換言之，內保持突出部13是分別沿著軸AX1及AX2延伸，其是位於兩個鄰接之外保持突出部12之間。位於兩個鄰接之外保持突出部12間的距離是大於兩個鄰接之內保持突出部13間的距離。在一些實施例之中，盒殼體11、外保持突出部12及內保持突出部13是被成型為一單一件。
卡匣20包括有一頂部21、一底部22及兩側壁23。
側壁23是連接於頂部21及底部22，並且側壁23是位於頂部21與底部22之間。在一些實施例之中，頂部21及底部22是實質上平
行於彼此。再者，側壁23是實質上垂直於頂部21及底部22。
在一些實施例之中，卡匣20係為一中空結構。卡匣20及晶圓定位機構40是由耐熱材料所製成，例如，聚醚醚酮(PEEK)、聚醚(PEI)或polybenzimidazole(PBI)。在一些實施例之中，卡匣20之熱耐受性是介於大約150℃與大約350℃之間。因此，晶圓W1可以被放入溫度大於100℃之卡匣20之中，並且晶圓W1不會被黏住於卡匣20之上。在一些實施例之中，卡匣20及晶圓定位機構40之材料是不同的或相同的。
側壁23具有複數個晶圓狹縫231，以及晶圓W1可以被容納於晶圓狹縫231之中。晶圓狹縫231是平行於以及遠離於彼此。因此，被容納於晶圓狹縫231中之晶圓W1亦是平行於以及遠離於彼此。在一些實施例之中，只有晶圓W1之邊緣係接觸晶圓狹縫231。因此，當晶圓W1沿著晶圓狹縫231被插入至卡匣20之中時，在晶圓W1之邊緣內之上表面及下表面不會被損壞。
如第3圖及第4圖所示，卡匣20之頂部21具有一保持板221及一保持肋222。在此，保持肋222是被設置於保持板221之上。在一些實施例之中，保持肋222是沿著延伸方向D1延伸。保持板221之寬度是實質上與在兩鄰接之外保持突出部12間的距離相同。保持肋222之寬度是實質上與在兩鄰接之內保持突出部13間的距離相同。因此，當卡匣20是被設置於盒門10之上時，保持板221是被外保持突出部12所保持，以及保持肋222是被內保持突出部13所保持。
倘若外保持突出部12及內保持突出部13是獨立的
以及被組裝於盒殼體11，則一些微粒可能會從外保持突出部12及內保持突出部13被產生，由於在外保持突出部12與盒殼體11之間的移動以及在內保持突出部13與盒殼體11之間的移動。
由於外保持突出部12、內保持突出部13及盒殼體
11是被成型為一單一件，故在晶圓盒1中的微粒會被減少。再者，外保持突出部12及內保持突出部13不會從盒殼體11掉落而損壞晶圓W1。
盒殼30具有一殼體31、複數個把手32、複數個固
定突出部33及複數個阻尼元件34。把手32是被設置於殼體31之一外表面之上。晶圓盒1可以被把手32所攜載。再者，一容納室S1是被成型於殼體31之中，以及卡匣20是位於容納室S1之中。
第5圖係顯示根據本發明之一些實施例之一殼體
31之立體示意圖。如第3圖及第5圖所示，複數個固定突出部33是被設置於殼體31之一內表面311之上。阻尼元件34是被設置於固定突出部33之上。當盒殼30是被設置於盒門10之上時，阻尼元件34是抵接於卡匣20之頂部21。因此，阻尼元件34可以防止卡匣20直接碰撞殼體31，以及在卡匣20中之晶圓W1的震動可以被降低，即使晶圓盒1受到衝擊或當晶圓盒1是被運送時。
阻尼元件34包括有一固定槽341及一阻尼孔342。固定突出部33是以可分離之方式被保持於固定槽341之中。在一些實施例之中，固定突出部33之一截面係為十字形的。固定槽341之截面係為對應於固定突出部33之截面之一十字形狀。因此，固定突出部33相對於固定槽341之旋轉是被限制的。再
者，阻尼元件34之阻尼是被阻尼孔342所增加。
一般而言，晶圓盒1必須被清洗以防止晶圓盒1中
之微粒掉落至晶圓W1之上。在殼體31被清洗之前，把手32及阻尼元件34可以被分離於殼體31，以利於殼體31之清洗。在殼體31被清洗之後，水或液體將不會停留在殼體31之固定突出部33之上。因此，晶圓W1可以藉由保持水或液體而被避免於可能的污染，因為沒有更深的槽被成型於固定突出部33之上。
如第3圖及第5圖所示，殼體31具有一下表面312以
及一殼開口313。殼開口313是被成型於下表面312之上，並且殼開口313是連通於一容納室S1。同時，下表面312係為環形的。在一些實施例之中，沒有環形的槽是被成型於下表面312之上。在殼體31被清洗之後，水或液體將不會停留在殼體31之下表面312之上。因此，晶圓W1可以藉由保持水或液體而被避免於可能的污染，因為下表面312不具有任何的槽。
第6圖係顯示根據本發明之一些實施例之一晶圓
定位機構40之立體示意圖。第7圖係顯示根據本發明之一些實施例之晶圓定位機構40之立體分解示意圖。第8圖係顯示根據本發明之一些實施例之一推動元件43之立體示意圖。晶圓定位機構40包括有一底座41、複數個連結棒42及一推動元件43。
底座41是被設置於盒殼30之內表面311之上。連結
棒42是分別地樞接於底座41之上。在一些實施例之中，底座41係為一框架結構。底座41具有沿著一延伸方向D2延伸之複數個阻擋部411。
連結棒42具有一連結體421、一連結軸422及複數
個彈性部423。連結體421之兩相對端部4212是分別地樞接於底座41。連結軸422是連接於連結體421。彈性部423是連接於連結體421，並且彈性部423是鄰接於連結體421之端部4212。在一些實施例之中，一透孔424是被成型於連結體421與連結軸422之間。連結體421、連結軸422及彈性部423是被成型為一單一件。
在一些實施例之中，連結體421實質上是沿著延伸
方向D2延伸。連結軸422是沿著延伸方向D2延伸。連結軸422分別具有一旋轉軸AX5及一旋轉軸AX6。彈性部423是延伸垂直於延伸方向D2。
推動元件43是樞接於連結棒42。推動元件43係選
擇性地與卡匣20中之晶圓W1接觸。推動元件43具有一推動體431、複數個樞接部432、複數個固持部433以及一輪子434。輪子434是被設置於推動體431之一底部之上。樞接部432是被設置於推動體431之上，並且樞接部432是樞接於連結軸422之上。在一些實施例之中，樞接部432具有一樞接狹縫4321，以及連結軸422是以轉動之方式被設置於樞接狹縫4321之中。
在一些實施例之中，推動體431係為一板結構。推
動體431、複數個樞接部432及複數個固持部433是被成型為一單一件。藉由連結棒42，推動元件43之推動體431是實質上平行於平面P1，在推動元件43之移動過程之中。
複數個固持部433是被設置於推動體431之上。每一個固持部433包括有一彈性臂4331及一卡鉤結構4332。彈性臂4331之一端是連接於推動體431，以及彈性臂4331之另一端
是連接於卡鉤結構4332。卡鉤結構4332是鄰接於樞接狹縫4321。連結軸422是位於卡鉤結構4332與樞接狹縫4321之間，並且連結軸422是被卡鉤結構4332與樞接狹縫4321所夾持。
固持部433係提供一彈性力於連結軸422之上，以
防止連結軸422離開樞接狹縫4321。因此，推動元件43可以被安裝於連結棒42之連結軸422之上，並且推動元件43可以藉由彎曲固持部433而分離於連結軸422。
第9A圖係顯示根據本發明之一些實施例之晶圓盒
1位於釋放位置處之示意圖。第9B圖係顯示根據本發明之一些實施例之晶圓盒1位於保持位置處之示意圖。第9C圖係顯示根據第9B圖之部分A之放大示意圖。在第9A圖之中，晶圓定位機構40是位於一釋放位置處。推動元件43已藉由重力相對於底座41掉落。因此，推動元件43是靠近於底座41。由於推動元件43是靠近於底座41，故推動元件43是遠離於晶圓W1。因此，當盒殼30被移動至盒門10時，推動元件43之底部不會碰撞晶圓W1。
在第9B圖及第9C圖之中，晶圓定位機構40是位於
一保持位置處。如第9B圖所示，盒殼30是被設置於盒門10之上。當盒殼30移動至盒門10時，盒殼30會推動推動元件43移動向上以及遠離於底座41，當推動元件43接觸盒門10時。藉由輪子434，推動元件43是相對於盒門10被平順地移動，當盒殼30被移動至盒門10時。
在一些實施例之中，在推動元件43與位於保持位
置處之底座41之間的一距離是遠於在推動元件43與位於釋放
位置處之底座41之間的一距離。再者，位於保持位置處之推動元件43是高於位於釋放位置處之推動元件43。
如第9C圖所示，連結軸422是被複數個樞接部432
及複數個固持部433所夾持。連結軸422可以藉由彎曲固持部433被移動出樞接狹縫4321。因此，推動元件43是可分離於連結軸422，以有利於盒殼30之清洗。
連結軸422具有一溝渠4221。固持部433之卡鉤結構4332具有一阻擋表面4333。在一些實施例之中，溝渠4221之下表面4222係為一平坦表面。阻擋表面4333係為一平坦表面。在一些實施例之中，固持部433係為一L形結構。彈性臂4331是沿著一延伸方向D3延伸，以及阻擋表面4333是實質上垂直於延伸方向D3及平面P1(如第6圖所示)。換言之，阻擋表面4333是垂直於彈性臂4331。
當推動元件43被盒門10推向上時，卡鉤結構4332是位於溝渠4221之中，以及下表面4222係接觸或面對阻擋表面4333。對於連結軸422被推離於固持部433是困難的，因為下表面4222及阻擋表面4333係為平坦的表面。因此，當盒殼30是被設置於盒門10時，推動元件43不會輕易地從連結棒42掉落。
相反地，倘若溝渠4221不被包括及/或阻擋表面4333是彎曲的，則連結軸422可以被輕易地推離於固持部433。因此，推動元件43可以輕易地從連結棒42掉落。
第10A圖係顯示根據本發明之一些實施例之一晶圓定位機構40於保持位置處之立體示意圖。第10B圖係顯示根據第10A圖之部分B之放大示意圖。如第10A圖所示，晶圓定位
機構40是位於釋放位置處。彈性部423是遠離於阻擋部411。
如第10A圖及第10B圖所示，晶圓定位機構40是位
於保持位置處。在第10B圖之中，彈性部423是抵接於阻擋部411。因此，當晶圓定位機構40是位於一保持位置處時，由連結棒42所產生之一力是被施加於推動元件43。
第10C圖係顯示根據本發明之一些實施例之晶圓
盒1位於一堵塞位置中之示意圖。如第10C圖所示，盒殼30是被移動朝向盒門10，以及晶圓W2是相對於晶圓W1突出。然而，在第10C圖之中，晶圓定位機構40是被堵塞，以及晶圓定位機構40是被固持於保持位置處。倘若晶圓定位機構40是不停地被移動至盒門10，則晶圓W2可能會被彈性部423所損壞。
由於本發明之彈性部423及阻擋部411，連結棒42
可以被旋轉去推動推動元件43向下移動。因此，在第10C圖中之晶圓定位機構40可以被移動至釋放位置，以及在第10C圖中之描述狀況可以被防止。
用於容納至少一晶圓之一晶圓盒之機構的實施例
是被提供。保持突出部以及一盒殼體是被成型為一單一件，以及因此在晶圓盒中之微粒是被降低。藉由保持水或液體，晶圓是被避免於可能的污染，因為沒有槽被成型在一盒殼之一固定突出部及一下表面之上。當推動元件不接觸晶圓時，一晶圓定位機構之一推動元件是被避免於保持於一保持位置處。再者，晶圓定位機構是被防止掉落於一保持位置處。
雖然本發明已以較佳實施例揭露於上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此項技藝者，在不脫離本發明之精
神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
1‧‧‧晶圓盒
10‧‧‧盒門
11‧‧‧盒殼體
12‧‧‧外保持突出部
13‧‧‧內保持突出部
20‧‧‧卡匣
21‧‧‧頂部
22‧‧‧底部
23‧‧‧側壁
30‧‧‧盒殼
31‧‧‧殼體
32‧‧‧把手
40‧‧‧晶圓定位機構
231‧‧‧晶圓狹縫
D1‧‧‧延伸方向
W1‧‧‧晶圓
Claims (10)
- 一種晶圓定位機構，包括：一底座，具有一阻擋部；一連結棒，樞接於該底座之上，並且具有一彈性部；以及一推動元件，樞接於該連結棒之上，其中，當該推動元件係位於一保持位置處時，該彈性部係抵接該阻擋部，以及由該連結棒所產生之一力係被施加於該推動元件。
- 如申請專利範圍第1項所述之晶圓定位機構，其中，該連結棒包括：一連結體，樞接於該底座之上，其中，該彈性部係設置於該連結體之上；以及一連結軸，設置於該連結體之上。
- 如申請專利範圍第2項所述之晶圓定位機構，其中，該推動元件包括：一推動體；一樞接部，設置於該推動體之上，並且具有一樞接狹縫；以及一固持部，設置於該推動體之上，其中，該連結軸係以轉動之方式設置於該樞接狹縫之中，並且係位於該固持部與該樞接狹縫之間。
- 如申請專利範圍第3項所述之晶圓定位機構，其中，該固持部具有一阻擋表面，該連結軸具有一溝渠，該推動元件具有一輪子，該輪子係設置於該推動體之上，以及當該推動 元件係位於該保持位置處時，該溝渠之一下表面係面對該阻擋表面。
- 一種晶圓定位機構，包括：一底座，具有一阻擋部；一連結棒，樞接於該底座之上，並且包括：一連結體，樞接於該底座之上；一連結軸，設置於該連結體之上，並且具有一溝渠；以及一彈性部，設置於該連結體之上；以及一推動元件，樞接於該連結棒之上，並且包括：一推動體；一樞接部，設置於該推動體之上，並且具有一樞接狹縫，其中，該連結軸係以轉動之方式設置於該樞接狹縫之中；以及一固持部，設置於該推動體之上，並且具有一阻擋表面，其中，當該推動元件係位於一保持位置處時，該溝渠之一下表面係面對該阻擋表面，該彈性部係抵接該阻擋部，以及由該連結棒所產生之一力係被施加於該推動元件。
- 如申請專利範圍第5項所述之晶圓定位機構，其中，該固持部包括：一彈性臂，設置於該推動體之上；以及一卡鉤結構，設置於該彈性臂之上，並且具有該阻擋表面，其中，該連結軸係位於該卡鉤結構與該樞接狹縫之間。
- 一種晶圓盒，包括：一盒門； 一卡匣，設置於該盒門之上，並且容納至少一晶圓；一盒殼，係以可分離之方式設置於該盒門之上，並且係覆蓋該卡匣；以及一晶圓定位機構，包括：一底座，設置於該盒殼之一內表面之上，並且具有一阻擋部；一連結棒，樞接於該底座之上，並且具有一彈性部；以及一推動元件，樞接於該連結棒之上，其中，當該推動元件係位於一保持位置處時，該彈性部係抵接該阻擋部，以及由該連結棒所產生之一力係被施加於該推動元件。
- 如申請專利範圍第7項所述之晶圓盒，其中，該盒門具有一盒殼體及複數個保持突出部，該等保持突出部係設置於該盒殼體之上，該卡匣係被該等保持突出部所保持，該盒殼體及該等保持突出部係被成型為一單一件，該卡匣具有一保持板及一保持肋，該保持肋係設置於該保持板之上，該保持板及該保持肋係被該等保持突出部所保持，該盒殼具有一殼體、設置於該內表面中之一固定突出部以及具有一固定槽之一阻尼元件，該固定突出部係以可分離之方式被保持於固定槽之中，該盒殼包括具有一容納室之一殼體、一下表面以及一殼開口，該殼開口係成型於該下表面之上，並且係連通於該容納室，以及該下表面係不包括成型於其上之任何之槽。
- 如申請專利範圍第7項所述之晶圓盒，其中，該連結棒包括： 一連結體，樞接於該底座之上，其中，該彈性部係設置於該連結體之上；以及一連結軸，設置於該連結體之上。
- 如申請專利範圍第9項所述之晶圓盒，其中，該推動元件包括：一推動體；一樞接部，設置於該推動體之上，並且具有一樞接狹縫；以及一固持部，設置於該推動體之上，其中，該連結軸係以轉動之方式設置於該樞接狹縫之中，並且係位於該固持部與該樞接狹縫之間。
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