TWI646619B - 光罩輸送設備 - Google Patents

Abstract

一種光罩輸送設備，包括一晶圓輸送盒、一支撐架、一第一光罩盒以及一第二光罩盒。晶圓輸送盒包括複數個第一定位槽以及複數個第二定位槽。支撐架設於該晶圓輸送盒之內，包括一第一承載單元、一第二承載單元、一第一翅以及一第二翅，該第一承載單元層疊於該第二承載單元之上，該第一翅設於該支撐架之一第一側，該第二翅設於該支撐架之一第二側，該第一翅插入於其中之一該第一定位槽，該第二翅插入於其中之一該第二定位槽。

Description

光罩輸送設備

本發明係有關於一種光罩輸送設備，特別係有關於一種以晶圓輸送盒輸送光罩盒之光罩輸送設備。

在習知技術中，若欲以單一個晶圓輸送盒同時對多個光罩盒進行輸送，必須將晶圓輸送盒的定位槽結構拆除，並於晶圓輸送盒內安裝特殊設計的金屬支架，以供承載光罩盒。然而，習知之方式增加了額外的成本，且經過改裝的晶圓輸送盒無法再提供晶圓輸送的功能，因此增加了工廠內的輸送盒數量，不但佔用空間，也造成成本的浪費。

本發明係為了欲解決習知技術之問題而提供之一種光罩輸送設備，包括一晶圓輸送盒、一支撐架、一第一光罩盒以及一第二光罩盒。晶圓輸送盒包括複數個第一定位槽以及複數個第二定位槽，該等第一定位槽相對於該等第二定位槽，該等第一定位槽以及該等第二定位槽適於對複數個晶圓進行限位。支撐架設於該晶圓輸送盒之內，包括一第一承載單元、一第二承載單元、一第一翅以及一第二翅，該第一承載單元層疊於該第二承載單元之上，該第一翅設於該支撐架之一第一側，該第二翅設於該支撐架之一第二側，該第一側相反於該第 二側，其中，該第一翅插入於其中之一該第一定位槽，該第二翅插入於其中之一該第二定位槽。

應用本發明實施例之光罩輸送設備，可以採用晶圓輸送盒輸送多個光罩盒。晶圓輸送盒可直接結合支撐架，而無須額外的改裝。甚至，晶圓輸送盒在輸送過光罩盒之後，仍可直接被調撥用於晶圓的輸送。

T‧‧‧光罩輸送設備

1‧‧‧晶圓輸送盒

11‧‧‧第一定位槽

12‧‧‧第二定位槽

13‧‧‧盒體

131‧‧‧盒體開口

132‧‧‧弧形內壁

14‧‧‧外蓋

141‧‧‧緩衝部

2‧‧‧支撐架

21‧‧‧第一承載單元

211‧‧‧第一承載部

212‧‧‧第一開口

22‧‧‧第二承載單元

221‧‧‧第二承載部

222‧‧‧第二開口

225‧‧‧柱

231‧‧‧第一翅

232‧‧‧第三翅

241‧‧‧第二翅

242‧‧‧第四翅

25‧‧‧肋

281‧‧‧簍空部分

291‧‧‧第一側

292‧‧‧第二側

293‧‧‧第三側

294‧‧‧第四側

295‧‧‧第一角

296‧‧‧第二角

297‧‧‧第三角

298‧‧‧第四角

31‧‧‧第一光罩盒

32‧‧‧第二光罩盒

L‧‧‧支撐架長度

Y‧‧‧第一方向

第1圖係顯示本發明一實施例之光罩輸送設備。

第2圖係顯示本發明一實施例之支撐架。

第3圖係顯示本發明一實施例之支撐架置於晶圓輸送盒情形。

第4圖係顯示本發明另一實施例之光罩輸送設備。

第5圖係顯示本發明又一實施例之光罩輸送設備。

參照第1圖，其係顯示本發明一實施例之光罩輸送設備T，包括一晶圓輸送盒1、一支撐架2、一第一光罩盒31以及一第二光罩盒32。晶圓輸送盒1包括複數個第一定位槽11以及複數個第二定位槽12，該等第一定位槽11相對於該等第二定位槽12，該等第一定位槽11以及該等第二定位槽12適於對複數個晶圓(未圖示)進行限位。支撐架2設於該晶圓輸送盒1之內，包括一第一承載單元21、一第二承載單元22、一第一翅231以及一第二翅241，該第一承載單元21層疊於該第二承載單元22之上。該第一翅231設於該支撐架2之一第一側291，該第二翅 241設於該支撐架2之一第二側292，該第一側291相反於該第二側292。該第一翅231插入於其中之一該第一定位槽11，該第二翅241插入於其中之一該第二定位槽12。第一光罩盒31被置放於該第一承載單元21。第二光罩盒32被置放於該第二承載單元22。

參照第2圖，其係顯示支撐架2之細部結構。在此實施例中，該第二承載單元22包括複數個柱225，該等柱225連接該該第一承載單元21的底側。在一實施例中，該等柱225的數量有四個，該等柱225之間具有簍空部分281，藉此以減輕支撐架2的整體重量。

參照第2圖，在一實施例中，該第一承載單元21包括一第一承載部211，該第一光罩盒31接觸該第一承載部211，該第二承載單元22包括一第二承載部221，該第二光罩盒32接觸該第二承載部221，該第一承載部211形成有複數個第一開口212，該第二承載部221形成有複數個第二開口222。在此實施例中，該第一承載部211以及該第二承載221部呈十字形。藉此，可以減輕支撐架2的整體重量。

參照第3圖，在一實施例中，該晶圓輸送盒1包括一盒體13以及一外蓋14，該盒體13包括一盒體開口131，該外蓋14覆蓋該盒體開口131，該支撐架2、該第一光罩盒31以及該第二光罩盒32被收容於該盒體13之內。

參照第3圖，在此實施例中，該第一翅231以及該第二翅241為矩形。在一實施例中，該支撐架2包括一第三側293以及一第四側294，該第三側293相反於該第四側294，該第三 側293朝向該盒體開口，該第三側293與該第四側294之間在一第一方向Y上形成有一支撐架長度L，該第一翅231以及該第二翅241於該第一方向Y上的延伸長度大於三分之一該支撐架長度L。藉此，可穩定的固定該支撐架2的位置。

再參照第1、2圖，在此實施例中，該支撐架2更包括一第三翅232以及一第四翅242，該第一翅231以及該第二翅241對應該第一承載單元21，該第三翅232以及該第四翅242對應該第二承載單元22，該第三翅232設於該支撐架2之該第一側291，該第四翅242設於該支撐架2之該第二側292。該第三翅232插入於其中之一該第一定位槽11，該第四翅242插入於其中之一該第二定位槽12。

在此實施例中，該支撐架2更包括該第三翅232以及該第四翅242。然而，上述揭露並未限制本發明。在另一實施例中，該支撐架2亦可能僅包括該第一翅231以及該第二翅241，並僅以該第一翅231以及該第二翅241與定位槽相卡合。具體而言，該支撐架2之翅的數量及位置可以適度變化。

參照第1圖，在一實施例中，該第三翅232插入於由下往上數之第二個該第一定位槽11，該第四翅242插入於由下往上數之第二個該第二定位槽12。藉此操作人員可以快速的辨識該支撐架2是否穩固的結合晶圓輸送盒1。

參照第3圖，在一實施例中，該外蓋14包括一緩衝部141，該支撐架更包括一第一角295以及一第二角296，該第一角295以及該第二角296位於該第三側293，該緩衝部141抵接該第一角296以及該第二角296。藉此，可穩定的固定該支撐架 2的位置。

參照第3圖，在一實施例中，該盒體13包括一弧形內壁132，該弧形內壁132朝向該盒體開口131，該支撐架2更包括一第三角297以及一第四角298，該第三角297以及該第四角298位於該第四側294，該第三角297以及該第四角298抵接該弧形內壁132。藉此，可穩定的固定該支撐架2的位置。

參照第1、2圖，在一實施例中，該支撐架2更包括複數個肋25，該等肋25分別設於該第一翅231、該第二翅241、該第三翅232以及該第四翅242之上，藉此以增強該第一翅231、該第二翅241、該第三翅232以及該第四翅242的結構強度。

應用本發明實施例之光罩輸送設備，可以採用晶圓輸送盒輸送多個光罩盒。晶圓輸送盒可直接結合支撐架，而無須額外的改裝。甚至，晶圓輸送盒在輸送過光罩盒之後，仍可直接被調撥用於晶圓的輸送。

參照第4圖，在另實施例中，該第三翅232位於該盒體開口131與該第一翅231之間，該第四翅242位於該盒體開口131與該第二翅241之間。在此實施例中，該第三側293與該第四側294之間在該第一方向Y上形成有該支撐架長度L，該第一翅231、該第二翅241、該第三翅232、該第四翅242於該第一方向Y上的延伸長度小於三分之一該支撐架長度L。

在前述實施例中，當該支撐架2僅包括該第一翅231以及該第二翅241時，該第一翅231以及該第二翅241於該第一方向Y上的延伸長度較佳為大於三分之一該支撐架長度L。而當該支撐架2包括該第一翅231、該第二翅241、第三翅232以及 該第四翅242，且該第二翅241與該第四翅242交錯排列時，該第一翅231、該第二翅241、該第三翅232、該第四翅242於該第一方向Y上的個別延伸長度可小於三分之一該支撐架長度L。

參照第5圖，在另一實施例中，該第一翅231以及該第二翅241的形狀配合該弧形內壁132的形狀，可以為克拉克Y翼形。藉此，可穩定的固定該支撐架2的位置。

在一實施例中，該支撐架的材質可以採用聚碳酸脂(PC)、聚醚醚酮(polyetheretherketone，PEEK)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物(ABS)等材料，其亦可以採用其他抗靜電材料，上述揭露並未限制本發明。

雖然本發明已以具體之較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此項技術者，在不脫離本發明之精神和範圍內，仍可作些許的更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

Claims (14)

1. 一種光罩輸送設備，包括：一晶圓輸送盒，包括複數個第一定位槽以及複數個第二定位槽，該等第一定位槽相對於該等第二定位槽，該等第一定位槽以及該等第二定位槽適於對複數個晶圓進行限位，每一第一定位槽以及對應之該第二定位槽適於對其中之一該晶圓進行限位；以及一支撐架，設於該晶圓輸送盒之內，包括一第一承載單元、一第二承載單元、一第一翅以及一第二翅，該第一承載單元層疊於該第二承載單元之上，該第一翅設於該支撐架之一第一側，該第二翅設於該支撐架之一第二側，該第一側相反於該第二側，其中，該第一翅插入於其中之一該第一定位槽，該第二翅插入於其中之一該第二定位槽。
2. 如申請專利範圍第1項所述之光罩輸送設備，其中，該第二承載單元包括複數個柱，該等柱連接該該第一承載單元的底側。
3. 如申請專利範圍第2項所述之光罩輸送設備，其中，該等柱的數量有四個，該等柱之間形成有複數個簍空部分。
4. 如申請專利範圍第1項所述之光罩輸送設備，其中，該第一承載單元包括一第一承載部，該第二承載單元包括一第二承載部，該第一承載部形成有複數個第一開口，該第二承載部形成有複數個第二開口。
5. 如申請專利範圍第4項所述之光罩輸送設備，其中，該第一承載部以及該第二承載部呈十字形。
6. 如申請專利範圍第1項所述之光罩輸送設備，其中，該第一翅以及該第二翅為克拉克Y翼形。
7. 如申請專利範圍第1項所述之光罩輸送設備，其中，該晶圓輸送盒包括一盒體以及一外蓋，該盒體包括一盒體開口，該外蓋覆蓋該盒體開口，該支撐架被收容於該盒體之內。
8. 如申請專利範圍第7項所述之光罩輸送設備，其中，該支撐架包括一第三側以及一第四側，該第三側相反於該第四側，該第三側朝向該盒體開口，該第三側與該第四側之間在一第一方向上形成有一支撐架長度，該第一翅以及該第二翅於該第一方向上的延伸長度大於三分之一該支撐架長度。
9. 如申請專利範圍第7項所述之光罩輸送設備，其中，該支撐架更包括一第三翅以及一第四翅，該第一翅以及該第二翅對應該第一承載單元，該第三翅以及該第四翅對應該第二承載單元，該第三翅設於該支撐架之該第一側，該第四翅設於該支撐架之該第二側。
10. 如申請專利範圍第9項所述之光罩輸送設備，其中，該支撐架更包括一第三側以及一第四側，該第三側相反於該第四側，該第三側朝向該盒體開口，該第三翅位於該盒體開口與該第一翅之間，該第四翅位於該盒體開口與該第二翅之間。
11. 如申請專利範圍第10項所述之光罩輸送設備，其中，該第三側與該第四側之間在一第一方向上形成有一支撐架長度，該第一翅、該第二翅、該第三翅、該第四翅於該第一 方向上的延伸長度小於三分之一該支撐架長度。
12. 如申請專利範圍第7項所述之光罩輸送設備，其中，該外蓋包括一緩衝部，該支撐架更包括一第三側、一第四側、一第一角以及一第二角，該第三側相反於該第四側，該第三側朝向該盒體開口，該第一角以及該第二角位於該第三側，該緩衝部抵接該第一角以及該第二角。
13. 如申請專利範圍第12項所述之光罩輸送設備，其中，該盒體包括一弧形內壁，該弧形內壁朝向該盒體開口，該支撐架更包括一第三角以及一第四角，該第三角以及該第四角位於該第四側，該第三角以及該第四角抵接該弧形內壁。
14. 如申請專利範圍第1項所述之光罩輸送設備，其中，當該支撐架設於該晶圓輸送盒之內時，未連接該支撐架之該等第一定位槽以及該等第二定位槽處於空槽狀態。