TW201505936A - 物品保管設備之檢查裝置 - Google Patents

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Daifuku Kk
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Abstract

本發明提供一種可以良好精確度測定供至搬送容器之惰性氣體之流量的技術。本發明是用於具有惰性氣體供給部之物品保管設備的檢查裝置，該惰性氣體供給部具有供給噴嘴，該供給噴嘴配設於用以載置支撐底部形成惰性氣體之供給口並將基板以密閉狀態收容之搬送容器的載置支撐部，而藉支撐於載置支撐部之搬送容器之自身重量，與供氣口接合，以將惰性氣體注入至搬送容器之內部，又，該檢查裝置具有藉支撐於載置支撐部之檢查裝置之自身重量而與供給噴嘴接合之檢查用供氣口，並構造成在支撐於載置支撐部之狀態下之沿著水平面的方向之重心位置與在搬送容器支撐於載置支撐部之狀態下之搬送容器的沿著水平面之方向之重心位置一致，而可檢查在支撐於載置支撐部之狀態下之惰性氣體的供給狀態。

Description

物品保管設備之檢查裝置 發明領域
本發明是有關於一種檢查裝置，該檢查裝置用於具有用以載置支撐搬送容器之載置支撐部的物品保管設備，以檢查在支撐於載置支撐部之狀態下之惰性氣體之供給狀態，該搬送容器是於底部形成惰性氣體之供氣口並將基板以密閉狀態收容。
發明背景
半導體元件一般在內部氣體環境已淨化之無塵室內製造。在作為半導體元件之材料之半導體晶圓的保管上或半導體元件之製程間之搬送時，皆需保護半導體晶圓免於因塵埃或灰塵等雜質之附著或者化學反應引起之污損。於日本專利公開公報2008-159734號(專利文獻1)揭示有用以保管半導體晶圓之該種保管設備。此保管設備具有收納用以收容半導體晶圓之晶圓傳送盒(FOUP：Front Opening Unified Pod：前開口式通用容器)等氣密性搬送容器之複數個收納部之保管架而構成。又，為防止因收容於搬送容器之半導體晶圓之自然氧化等引起之污損，此保管設備具有 將氮或氬等惰性氣體供至搬送容器之清除功能而構成。
收容半導體晶圓之搬送容器(收納用晶圓傳送盒)具有作為殼體之蓋及底面部，以該等形成密閉空間。在密閉空間，複數個半導體晶圓可沿著高度方向收容複數片。於底面部之下面形成有作為氣體之流入口及流出口之凹部，此凹部構造成可與供給惰性氣體之清除單元之配管接合。藉使搬送容器載置於清除單元，接合凹部與配管，而可將惰性氣體供至該搬送容器。在此，為確認是否對搬送容器適當地供給惰性氣體，有測定該惰性氣體之流量之情形。在專利文獻1，為測定惰性氣體之流量，而利用檢查裝置(測定用FOUP)。亦於檢查裝置(測定用FOUP)之底面形成有藉於清除單元載置檢查裝置而可與清除單元之配管接合之流入口及流出口。檢查裝置具有流量計，藉將檢查裝置取代搬送容器載置於清除單元，可測定惰性氣體之流量(專利文獻1：第32~36段落等)。
發明概要
如上述，搬送容器及檢查裝置之流入口及流出口與清除單元之配管藉搬送容器及檢查裝置之自身重量接合。亦即，接合之強度因搬送容器及檢查裝置之質量或重心位置變動。舉例言之，收容之半導體晶圓之數量少時，搬送容器輕，其重量較檢查裝置輕時，相較於檢查裝置，接合強度相對較弱。又，因重心位置之變動，有接合力時強時 弱之情形。當接合力弱時，有在清除單元與搬送容器或檢查裝置之間產生氣體漏洩之可能性，而當搬送容器與檢查裝置之接合力之差大時，無法考慮此種氣體漏洩，而有流量之測定精確度降低之可能性。
是故，期望提供可以良好精確度測定供至搬送容器之惰性氣體之流量的技術。
本發明為一種物品保管設備之檢查裝置，前述物品保管設備包含有複數個收納部及惰性氣體供給部，該複數個收納部具有載置支撐搬送容器之載置支撐部，而可將前述搬送容器以支撐於前述載置支撐部之狀態收納，前述搬送容器於底部形成有惰性氣體之供氣口，並將預先規定之片數以內之基板以密閉狀態收容；該惰性氣體供給部具有供給噴嘴，該供給噴嘴為配設於前述載置支撐部之噴嘴，並以支撐於前述載置支撐部之前述搬送容器之自身重量與前述供氣口接合，以將前述惰性氣體注入至該搬送容器之內部；前述物品保管設備之檢查裝置為在支撐於前述載置支撐部之狀態下檢查前述惰性氣體供給部之前述惰性氣體之供給狀態的裝置，其具有以下：藉支撐於前述載置支撐部之前述檢查裝置之自身重量而與前述供給噴嘴接合之檢查用供氣口；在此，前述檢查裝置構造成在支撐於前述載置支撐部之狀態下之前述檢查裝置之沿著水平面之方向的重心位置與在前述搬送容器支撐於前述載置支撐部之狀態下之前述搬送容器之沿著水平面之方向的重心位置一致。
根據上述結構，供氣口與供給噴嘴以在支撐於載 置支撐部之狀態下之搬送容器的自身重量實現，檢查用供氣口與供給噴嘴之接合以在支撐於載置支撐部之狀態下之檢查裝置之自身重量實現。藉在支撐於該載置支撐部之狀態下之檢查裝置之沿著水平面之方向的重心位置與在支撐於該載置支撐部之狀態下之搬送容器之沿著水平面之方向的重心位置一致，可再現至少按搬送容器之重量與檢查裝置之重量之比率的接合力。舉例言之，供給噴嘴裝備於複數處時，亦可抑制因重心位置之不同(偏心)引起之接合力的偏差，而可提高檢查精確度。即，根據本結構，可實現提供可以良好精確度測定供給至搬送容器之惰性氣體之流量的技術。
以下，就本發明之較佳實施形態之例來說明。
檢查裝置有亦搭載流量計、檢查用控制裝置或電源等之情形。如上述，檢查用供氣口與供給噴嘴之接合以在支撐於載置支撐部之狀態下之檢查裝置的自身重量實現。因而，若考慮更易產生氣體之漏洩之惡劣條件(接合強度低之條件)之檢查的實現，檢查裝置之重量宜儘量輕。
在本發明之物品保管設備之檢查裝置之實施形態中，檢查裝置之重量宜較於前述搬送容器收容最大片數之前述基板之際的前述搬送容器之重量、即最大重量輕。
在本發明之物品保管設備之檢查裝置之實施形態中，檢查裝置之重量宜為前述搬送容器呈空之狀態之前述搬送容器之重量、即最小重量以下。
根據上述結構，可以檢查裝置再現依據在支撐於 載置支撐部之狀態下之搬送容器之自身重量的接合強度最弱之條件。
而搬送容器構造成可收容複數片基板。亦即，從 基板1片也未收納之空狀態之搬送容器的總重量至收納規定片數之上限之基板之滿載狀態之搬送容器的總重量，搬送容器之總重量可取各種值。因此，供氣口與供給噴嘴之接合強度亦按搬送容器之總重量而不同。舉例言之，在搬送容器為空之狀態下，總重量最輕，接合強度最弱。另一方面，在搬送容器為滿載狀態下，搬送容器之總重量最重，接合強度最強。因而，宜按各自之收納狀態，調整檢查裝置之重量，來進行檢查。
即，在本發明之物品保管設備之檢查裝置之實施 形態中，該檢查裝置宜包含有支撐重量調整用砝碼之砝碼支撐部。
又，在沿著水平方向之方向之搬送容器的重心位 置與基板之重心位置一般並不一致，故按在搬送容器之基板之收納片數，搬送容器在沿著水平方向之重心位置為不同之位置。因此，按基板在搬送容器之收納狀態，不僅搬送容器之重量變化，在沿著水平方向之方向之重心位置也變化。當重心位置變化時，供氣口與供給噴嘴之接合強度也變化。因而，宜可按基板在各搬送容器之收納狀態，亦調整檢查裝置在沿著水平方向之方向的重心位置，來進行檢查。
即，在本發明之物品保管設備之檢查裝置之實施 形態中，支撐重量調整用砝碼之砝碼支撐部於前述檢查裝置之與沿著水平面之方向之前述重心位置不同的位置配置有複數個。
根據上述結構，藉砝碼在複數處之砝碼支撐部之配置，可調整該重心位置。
1‧‧‧檢查裝置
1c‧‧‧引導用凹部
1m‧‧‧底部
1R‧‧‧檢查用連通孔
1G‧‧‧檢查用眼圈(檢查用供氣口)
1Gm‧‧‧檢查裝置側接合面
1V‧‧‧檢查用開關閥機構
2‧‧‧設備間容器搬送裝置
3‧‧‧堆高式起重機
3a‧‧‧行走台車
3b‧‧‧升降引導柱
3c‧‧‧升降台
3d‧‧‧移載裝置
4‧‧‧容器(搬送容器)
4m‧‧‧底部
4F‧‧‧頂凸緣
4G‧‧‧眼圈
4Gm‧‧‧容器側接合面
4R‧‧‧連通孔
4S‧‧‧容器內空間
4T‧‧‧晶圓支撐體
4V‧‧‧開關閥機構
9‧‧‧收納部
10‧‧‧保管架
10a‧‧‧清除架
10b‧‧‧非清除架
14‧‧‧壁體
15‧‧‧容器支撐體(載置支撐部)
15m‧‧‧上面
15p‧‧‧定位銷
51‧‧‧供給配管(惰性氣體供給部)
52‧‧‧供給流量調節裝置(惰性氣體供給部)
53‧‧‧容器用供給配管(惰性氣體供給部)
53N‧‧‧供給噴嘴(惰性氣體供給部)
55‧‧‧支撐體側連接部(惰性氣體供給部)
55a‧‧‧第1支撐體側連接部
55b‧‧‧第2支撐體側連接部
55K‧‧‧腳部
55R1‧‧‧供給孔
55R2‧‧‧排出孔
55S‧‧‧縮徑部
55T‧‧‧頂部
55m‧‧‧支撐體側接合面
56‧‧‧彈性構件
56H‧‧‧孔部
57‧‧‧小螺釘
58，59‧‧‧安裝構件
58a‧‧‧第1安裝構件
58b‧‧‧第2安裝構件
83‧‧‧行走軌道
84‧‧‧入庫出庫輸送機
100‧‧‧檢查用控制裝置
101‧‧‧流量計
103‧‧‧檢查用配管
109‧‧‧電池
F‧‧‧惰性氣體供給部
G‧‧‧重心位置
P‧‧‧砝碼支撐部
W‧‧‧半導體晶圓(基板)
圖1是顯示基板容器保管設備之結構的縱斷側視圖。
圖2是該設備之部份平面圖。
圖3是容器之部份切開說明圖。
圖4是容器支撐體之立體圖。
圖5是支撐體側連接部之截斷側視圖。
圖6是說明支撐狀態之眼圈及支撐體側連接部之狀態的說明圖。
圖7是顯示對容器支撐體之檢查裝置之載置方法的立體圖。
圖8是在載置有檢查裝置之狀態下之容器支撐體的縱斷側視圖。
圖9是檢查裝置之平面圖。
用以實施發明之形態
以下，依據圖式，說明將本發明應用於基板容器保管設備之檢查裝置時之實施形態。如圖1及圖2所示，基板容器保管設備(物品保管設備)包含有具有支撐容器4(搬 送容器)之容器支撐體15(載置支撐部)而於上下方向及左右方向排列備有複數個可收納容器4之收納部9之保管架10、在設置於該保管架10之前面之行走軌道83上行走而移載容器4之堆高式起重機3。堆高式起重機3具有具有在行走軌道83上滾動之行走輪(省略圖式)之行走台車3a、直立設於行走台車3a之升降引導柱3b、受到升降引導柱3b引導而可升降移動之升降台3c而構成。升降台3c設有在升降台3c與容器支撐體15之間自由移載容器4之選擇順應性裝配機械手臂式移載裝置3d。移載裝置3d在圖2所示之平面觀看(從沿著上下方向之方向觀看)可在與升降台3c重複之退離位置與突出至容器支撐體15側之突出位置間切換位置，而構造成可移載容器4。
保管架10以前面對向之形態設有1對。該1對保管 架10其中一者構造成作為清除架10a，另一者構造成作為非清除架10b。清除架10a為設有支撐體側連接部55之保管架10。在此，支撐體側連接部55為防止容器4內之半導體晶圓之污損，而具有用以將氮氣等惰性氣體供至容器4之容器內空間4S的供給孔55R1、或將容器內之氣體從容器內空間4S排出至外部之排出孔55R2。另一方面，非清除架10b為未設有該種支撐體側連接部55之保管架10。堆高式起重機3之移載裝置3d對清除架10a之容器支撐體15及非清除架10b之容器支撐體15任一者皆可移載容器4。
清除架10a、非清除架10b及堆高式起重機3設置於以壁體14包圍之空間之內部。又，在壁體14之外部與內 部之間搬送容器4之入庫出庫輸送機84以貫穿壁體14之狀態而設。入庫出庫輸送機84之壁體14外部側之端部為在與吊車式設備間容器搬送裝置2之間交遞容器4的交接處。又，入庫出庫輸送機84之壁體14內部側之端部為在與堆高式起重機3之移載裝置3d之間交遞容器4的交接處。
如圖3所示，容器4為依據SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International：國際半導體設備暨材料產業協會)規格之合成樹脂製氣密容器。又，於容器4之內部設有將收容之半導體晶圓W(基板)在寬度方向兩側從下方支撐之晶圓支撐體4T。在此，複數個晶圓支撐體4T隔著預定間隔於上下方向排列設置，而構成造可收容複數片半導體晶圓W。於容器4之前面形成有以可裝卸之蓋體開關之基板取出放入用開口。於容器4之上面形成有以設備間容器搬送裝置2握持之頂凸緣4F。此外，容器4可使用例如將半導體晶圓以密閉狀態收容之晶圓傳送盒(FOUP：Front Opening Unified Pod：前開口式通用容器)等。
如圖4所示，容器支撐體15形成為平面觀看形狀 呈U字形，以可形成供移載裝置3d上下通過之空間，定位銷15p以立起狀態裝備於其上面之複數處(在本例中為3處)。將容器4移載至容器支撐體15時，使升降台3c升降，俾使以移載裝置3d支撐之容器4之下面的高度形成為較移載對象之容器支撐體15高設定高度之位置，而將移載裝置3d切換為突出位置，接著，使升降台3c下降至容器4之下面之高度形成為較移載對象之容器支撐體15低設定高度之位置為止。 藉此，可將容器4從支撐於移載裝置3d之裝置切換為支撐於容器支撐體15之支撐狀態。
於容器4之底部4m形成有供設於容器支撐體15 之上面之複數個(在本例中為3個)定位銷15p分別卡合之複數個(在本例中為3個)引導用凹部(省略圖示)。引導用凹部形成為容器4在設定位置時，抵接定位銷15p之上端之部份形成為最深之最深部，其他之部份形成為逐漸變淺之傾斜面狀被引導面。因而，隨著使容器4移動至下方以形成為支撐於容器支撐體15之支撐狀態，容器4在沿著水平面之方向逐漸移動至設定位置。藉此，容器支撐體15將容器4在對位於設定位置之狀態下從下方支撐。
如圖3所示，容器4之底部4m具有具有作為可連 通容器內空間4S與外部之間之連通孔4R之容器側連接部的眼圈4G(供氣口、排氣口)。藉由此連通孔4R，將惰性氣體(在本例中為氮氣)供至容器內空間4S。眼圈4G形成為平面觀看圓形，於平面觀看圓形之中心設有連通孔4R。又，於眼圈4G之下面之連通孔4R的周圍形成有形成平坦之容器側接合面4Gm。此外，眼圈4G之內部設有以彈簧等賦與勢能機構賦與往關閉方向之開關閥機構4V。開關閥機構4V構造成僅於藉由連通孔4R供給之氣體或藉由連通孔4R排出之氣體之壓力達設定壓力以上時，形成為開啟狀態。
於容器支撐體15分別配設有複數個支撐體側連 接部55。在本實施形態中，如圖4所示，在容器支撐體15，從架正面觀看，架內側配設有2個、架前側配設有2個共計4 個支撐體側連接部55。架內側之2個及架右前側之1個為具有用以進行惰性氣體對容器4之容器內空間4S之供給的供給孔55R1之第1支撐體側連接部55a。又，架左前側之1個為具有用以進行氣體從容器內空間4S之排出之排出孔55R2的第2支撐體側連接部55b。
如圖4所示，於排氣架10a之各容器支撐體15個別 配設有供給惰性氣體之供給配管51，供給配管51連接於供給流量調整裝置52之流入側連接部。又，於供給流量調節裝置52之流出側連接部連接有容器用供給配管53。容器用供給配管53連接於在容器支撐體15之第1支撐體側連接部55a之設置位置中，從容器支撐體15之上面15m突出至上方之供給噴嘴53N，而構造成可從供給噴嘴53N噴出惰性氣體。
又，於容器支撐體15之第2支撐體側連接部55b 之設置位置設有從容器支撐體15之上面15m突出至上方的排出噴嘴(省略圖示)。排出噴嘴從容器支撐體15之上面15m之突出高度(突出之部份之上下方向的尺寸)與供給噴嘴53N從容器支撐體15之上面15m之突出高度相同。又，排出噴嘴之氣體流通方向下游側開口，來自容器4之容器內空間4S之氣體從此開口釋放。藉該等供給配管51、供給流量調節裝置52、容器用供給配管53、供給噴嘴53N、支撐體側連接部55，構成惰性氣體供給部F。
供給噴嘴53N可滑動地嵌合於供給孔55R1，惰性 氣體透過供給孔55R1噴出。又，排出噴嘴可滑動地嵌合於 排出孔55R2，氣體透過排出孔55R2從容器內空間4S排出。支撐體側連接部55之供給孔55R1形成部份及排出孔55R2形成部份之上下方向的尺寸構造成至少大於從供給噴嘴53N及排出噴嘴之從容器支撐體15之上面15m之突出高度。此外，由於第1支撐體側連接部55a與第2支撐體側連接部55b為相同之結構，故在之後之說明中，除了特別需要區別之情形外，僅以支撐體側連接部55來說明。
支撐體側連接部55以筒狀之聚四氟乙烯(PTFE)構成，如圖5及圖6所示，形成平面觀看圓形。又，支撐體側連接部55在容器4支撐於容器支撐體15之支撐狀態下，為眼圈4G之下面之容器側接合面4Gm與為該支撐體側連接部55之上面之支撐體側接合面55m接合，此時，構造成供給孔55R1與連通孔4R連通(關於排出孔55R2亦相同)。支撐體側接合面55m形成沿著朝上方凸出之球面之形狀。即，支撐體側接合面55m形成為隨著遠離供給孔55R1或排出孔55R2而逐漸往下之形狀。
如圖5所示，支撐側連接部55具有頂部55T、縮徑部55S、腳部55K。頂部55T為具有支撐體側接合面55m之部份。縮徑部55S為較頂部55T小徑且較供給孔55R1或排出孔55R2大徑並接合頂部55T之下方而形成之部份。又，腳部55K為較縮徑部55S大徑並與縮徑部55S之下方相鄰而形成之部份。
舉例言之，如圖5所示，支撐體側連接部55使用安裝構件58，安裝於容器支撐體15之上面15m。安裝構件58 由為平面觀看環狀之板狀構件之第1安裝構件58a與第2安裝構件58b構成。此外，如圖4所示，U字形之容器支撐體15之內側之支撐體側連接部55使用安裝構件58來安裝於容器支撐體15之上面15m，開口部側之支撐體側連接部55使用安裝構件59來安裝於容器支撐體15之上面15m。安裝構件(58、59)之形狀按支撐體側連接部55之安裝位置而不同，安裝尺寸或安裝方法等則相同。
彈性構件56夾在支撐體側連接部55與容器支撐 體15之間。彈性構件56以薄厚度且中心具有供給噴嘴53N貫穿用孔部56H之環狀橡膠片(彈性係數小於為支撐體側連接部55之材質PTFE的材質)構成。孔部56H之徑方向之尺寸形成為與供給噴嘴53N之筒外徑尺寸相同，或為稍微小於供給噴嘴53N之筒外徑尺寸之尺寸。支撐體側連接部55以供給噴嘴53N貫穿彈性構件56之孔部56H且彈性構件56之下面抵接容器支撐體15之上面15m之狀態，安裝於容器支撐體15。 如圖5所示，在第1安裝構件58a嵌合於支撐體側連接部55之縮徑部55S之狀態下，安裝構件58以小螺釘57鎖固固定於容器支撐體15。如此，支撐體側連接部55於容器支撐體15安裝成被容許相當於第1安裝構件58a之上下尺寸與縮徑部55S之上下尺寸之差之距離的上下移動，並且不致從在容器支撐體15之平面觀看之預定位置移動。
圖6顯示在容器4支撐於容器支撐體15之支撐狀 態之眼圈4G及支撐體側連接部55之狀態。在該容器4之支撐狀態下，藉容器4之自身重量，供給噴嘴53N(亦包含排出噴 嘴)與眼圈4G接合。如上述，於支撐體側連接部55之下部設有彈性構件56，支撐體側連接部55被容許上下移動且賦與往上方之勢能。因而，可呈為眼圈4G之下面之容器側接合面4Gm與為支撐體側連接部55之上面之支撐體側接合面55m適當地接合之狀態。如上述，開關閥機構4V以彈簧等賦與勢能機構賦與往關閉方向之勢能，僅於藉由連通孔4R供給之氣體或藉由連通孔4R排出之氣體之壓力達設定壓力以上時，形成為開啟狀態。藉容器側接合面4Gm與支撐體側接合面55m適當地接合，可抑制漏洩而將氣體供至容器4之內部，或從容器4之內部排出至外部。
在作為半導體元件之材料之半導體晶圓W的保 管時或半導體元件之製程間之搬送時，為確認是否可適當地保護半導體晶圓W免於灰塵或塵埃等雜質之附著或化學反應引起的污損，基板容器保管設備亦接受檢查。此種檢查之1種是為確認是否對容器4適當地供給惰性氣體，而測定惰性氣體之供給流量。舉例言之，如圖7所示，使用取代容器4來支撐於容器支撐體15之檢查裝置1，檢查惰性氣體之供給狀態。此檢查裝置1以比照依據SEMI規格之容器4之規格構成。具體言之，與容器支撐體15接觸之部份之規格、例如與定位銷15p之對應關係、與支撐體側連接部55之接合方法等構造成與容器4相同。
如上述，於容器4之底部4m形成有供設於容器支撐體15之上面之3個定位銷15p分別卡合的3個引導用凹部。與此同樣地，於檢查裝置1之底部1m形成有供該等定位銷 15p分別卡合之複數個(在本例中為3個)引導用凹部1c(參照圖8)。引導用凹部1c形成為於檢查裝置1在與容器4相同之設定位置時，抵接定位銷15p之上端之部份形成為最深之最深部，其他之部份形成為逐漸變淺之傾斜面狀被引導面。亦即，檢查裝置1在與將容器4對位於設定位置之狀態相同之狀態下，從下方支撐於容器支撐體15。
又，於檢查裝置1之底部具有與容器4之眼圈4G相同之檢查用眼圈1G(檢查用供氣口)。容器4之眼圈4G具有可連通容器內空間4S與外部之間之連通孔4R而構成，檢查用眼圈1G具有藉由檢查用配管103可與流量計101連通之檢查用連通孔1R而構成。惰性氣體藉由此檢查用連通孔1R，供至流量計101。檢查用連通孔1R與眼圈4G同樣地設於形成平面觀看圓形之檢查用眼圈1G之中心。又，於檢查用眼圈1G之下面與容器4之眼圈4G同樣地，於檢查用連通孔1R之周圍平坦地形成有檢查裝置側接合面1Gm。
此外，於檢查用眼圈1G之內部設有以彈簧等賦與勢能機構賦與往關閉方向之勢能之檢查用開關閥機構1V。檢查用開關閥機構1V構造成僅於藉由檢查用連通孔1R供給之氣體或藉由檢查用連通孔1R排出之氣體之壓力達設定壓力以上時，形成為開啟狀態。該等檢查用開關閥機構1V之規格亦與容器4相同。即，檢查裝置1載置於容器支撐體15之際，以與容器4相同之連接形態與支撐體側連接部55連接。
又，於檢查裝置1搭載有進行依據以流量計101 所測定之測定結果的判定或者記憶測定結果或判定結果之檢查用控制裝置100。由於檢查裝置1需取代容器4可載置於各容器支撐體15，故驅動檢查用控制裝置100等、檢查裝置1之電力可從搭載於檢查裝置1之電池109供給。
而如上述，供給噴嘴53N(亦包含排出噴嘴)與眼 圈4G在容器4支撐於容器支撐體15之支撐狀態下，藉容器4之自身重量接合。為眼圈4G之下面之容器側接合面4Gm與為支撐體側連接部55之上面之支撐體側接合面55m的接合強度取決於容器4之總重量。參照圖3，如上述，容器4構造成於上下方向排列備有複數個將收容之半導體晶圓W在寬度方向兩側從下方支撐之晶圓支撐體4T，而可收容複數片半導體晶圓W。亦即，從1片半導體晶圓W也未收納之空狀態之容器4的總重量至所有晶圓支撐體4T皆收納有半導體晶圓W之滿載狀態之容器4的總重量，容器4之總重量可採各種值。因此，容器側接合面4Gm與支撐體側接合面55m之接合強度也依容器4之總重量而不同。舉例言之，在容器4為空之狀態，容器4之總重量最輕，該接合強度最弱。另一方面在容器4滿載之狀態下，容器4之總重量最重，該接合強度最強。
又，在平面觀看之(沿著水平方向之方向)容器4之重心位置與各半導體晶圓W之重心位置一般並不一致。因而，依半導體晶圓W在容器4之收納片數，容器4之在沿著水平方向之方向的重心位置為不同之位置。因此，在本實施形態中，在4處設定之各支撐體側連接部55，容器側接 合面4Gm與支撐體側接合面55m之接合強度根據重心位置之變化，伴隨各自不同之變化。
接合強度之強弱影響惰性氣體之供給效率。當接 合強度弱時，容器側接合面4Gm與支撐體側接合面55m之間之氣密性降低，有產生漏洩之可能性。對檢查裝置1要求亦考慮此種產生漏洩之情形，測定按容器4之狀態之惰性氣體的流量。是故，檢查裝置1構造成至少支撐於容器支撐體15之支撐狀態之沿著水平面之方向的重心位置G(參照圖9)與支撐於容器支撐體15之支撐狀態之容器4之沿著水平面之方向的重心位置一致。此重心位置G為容器4之重量與檢查裝置1之重量幾乎一致時之重心位置。
又，使重心位置一致之際之此重量宜為容器4為 空之狀態時、亦即容器4之最小重量。亦即，可使用檢查裝置1，再現容器4最輕、容器側接合面4Gm與支撐體側接合面55m之接合強度最弱時之狀態。此外，因藉於檢查裝置1附加砝碼等，可使檢查裝置1之重量增加，故檢查裝置1之重量未必與最小重量一致，亦可為最小重量以下。
而如上述，於檢查裝置1除了流量計101外，還搭 載有檢查用控制裝置100及電池109。因而，檢查裝置1之重量有較空狀態之容器4之重量重的可能性。然而，若考慮容器側接合面4Gm與支撐體側接合面55m之接合強度，檢查裝置1之重量宜儘量輕。因而，檢查裝置1之重量宜至少較於容器4收容最大片數半導體晶圓W之際之容器4之重量、即最大重量輕。此時，無法再現容器4為空之狀態，但至少藉 統一沿著水平面之重心位置，可提高檢查精確度。
又，如上述，從1片半導體晶圓W也未收納之空 狀態之容器4的總重量，至所有晶圓支撐體4T皆收納有半導體晶圓W之滿載狀態之容器4的總重量，容器4之總重量可採各種值。因而，在各個狀態下，可進行檢查裝置1之檢查而較佳。舉例言之，宜藉將砝碼等附加於檢查裝置1，構造成可調整重量。
舉例言之，如圖9所示，宜於檢查裝置1設有支撐 重量調整用砝碼之砝碼支撐部P。在本實施形態中，例示於檢查裝置1之地板面設6處砝碼支撐部P之形態，砝碼支撐部P之設置數為任意，藉將砝碼支撐部P設定於複數處，可調整重心位置G。砝碼支撐部P為1處時，為抑制因砝碼之附加引起之重心位置G之大幅變動，砝碼支撐部P宜設置於重心位置G。此外，在本實施形態中，例示於檢查裝置1之地板面設有砝碼支撐部P之形態，亦可為垂吊保持砝碼之形態。
1‧‧‧檢查裝置
1m‧‧‧底部
1G‧‧‧檢查用眼圈(檢查用供氣口)
15‧‧‧容器支撐體(載置支撐部)
15m‧‧‧上面
15p‧‧‧定位銷
51‧‧‧供給配管(惰性氣體供給部)
52‧‧‧供給流量調節裝置(惰性氣體供給部)
53‧‧‧容器用供給配管(惰性氣體供給部)
53N‧‧‧供給噴嘴(惰性氣體供給部)
55‧‧‧支撐體側連接部(惰性氣體供給部)
55a‧‧‧第1支撐體側連接部
55b‧‧‧第2支撐體側連接部
55m‧‧‧支撐體側接合面
100‧‧‧檢查用控制裝置
101‧‧‧流量計
103‧‧‧檢查用配管
109‧‧‧電池
F‧‧‧惰性氣體供給部

Claims (5)

  1. 一種物品保管設備之檢查裝置，前述物品保管設備包含有：複數個收納部，具有載置支撐搬送容器之載置支撐部，而可將前述搬送容器以支撐於前述載置支撐部之狀態收納，前述搬送容器於底部形成有惰性氣體之供氣口並將預先規定之片數以內之基板以密閉狀態收容；及惰性氣體供給部，具有供給噴嘴，該供給噴嘴為配設於前述載置支撐部之噴嘴，並以支撐於前述載置支撐部之前述搬送容器之自身重量與前述供氣口接合，以將前述惰性氣體注入至該搬送容器之內部；前述物品保管設備之檢查裝置之特徵在於：前述物品保管設備之檢查裝置為在支撐於前述載置支撐部之狀態下檢查前述惰性氣體供給部之前述惰性氣體之供給狀態的裝置，其具有藉支撐於前述載置支撐部之前述檢查裝置之自身重量而與前述供給噴嘴接合之檢查用供氣口；並構造成在支撐於前述載置支撐部之狀態下之前述檢查裝置之沿著水平面之方向的重心位置與在前述搬送容器支撐於前述載置支撐部之狀態下之前述搬送容器之沿著水平面之方向的重心位置一致。
  2. 如請求項1之物品保管設備之檢查裝置，其中前述檢查裝置之重量較於前述搬送容器收容最大片數之前述基 板之際的前述搬送容器之重量、即最大重量輕。
  3. 如請求項1或2之物品保管設備之檢查裝置，其中前述檢查裝置之重量為前述搬送容器呈空之狀態之前述搬送容器之重量、即最小重量以下。
  4. 如請求項1或2之物品保管設備之檢查裝置，其中前述檢查裝置包含有支撐重量調整用砝碼之砝碼支撐部。
  5. 如請求項4之物品保管設備之檢查裝置，其中前述砝碼支撐部於前述檢查裝置之與沿著水平面之方向之前述重心位置不同的位置配置有複數個。
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