KR102021007B1 - 웨이퍼 내장 용기용 퍼지 선반에서의 퍼지 가스 누설 검사 디바이스 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 유입 노즐을 구비하는 바디; 및 상기 바디에 설치되고, 상기 바디가 공급 노즐을 구비하는 선반에 안착되는 경우에 상기 공급 노즐에서 공급되는 퍼지 가스를 상기 유입 노즐을 통해 입력받아 분석하도록 구성되는 분석 모듈을 포함하는, 웨이퍼 내장 용기용 퍼지 선반에서의 퍼지 가스 누설 검사 디바이스를 제공한다.

Description

웨이퍼 내장 용기용 퍼지 선반에서의 퍼지 가스 누설 검사 디바이스{DEVICE FOR TESTING LEAK OF PURGING GAS AT PURGING SHELF FOR WAFER CONTAINER}
본 발명은 웨이퍼 내장 용기용 퍼지 선반에서의 퍼지 가스 누설 검사 디바이스에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조 공정에서는 웨이퍼를 생산하고, 생산된 웨이퍼를 다음 단계로 이송하여 반도체 패키지를 제조하게 된다.
이때, 생산된 웨이퍼는 바로 다음 단계에 사용되지 못하고 일정 시간 대기한 후에 필요에 따라 순차적으로 다음 단계로 보내진다. 이러한 보관을 위한 설비로서, 선반을 가진 장치가 사용되고 있다.
그러나, 이러한 보관 중에 웨이퍼의 표면의 손상되는 경우가 발생한다. 이를 해결하기 위해, 상기 선반에 불활성 가스 공급 및 회수 모듈을 설치하여 웨이퍼를 보관하는 용기 내에 불활성 가스를 주입하는 방법이 이용된다. 위 가스의 안정적 주입을 위해서는, 선반에 웨이퍼를 보관하는 용기가 정확히 안착되고, 선반과 용기 사이에 누설이 발생하지 않아야 한다.
그러나, 선반의 손상 등에 의해, 용기가 선반에 대해 제대로 안착되지 못하거나, 선반과 용기 사이의 가스 주입 경로의 기밀성이 훼손되는 것에 의해, 퍼지 가스의 누설 문제가 발생하는 경우가 있다. 그 경우에도, 선반에 설치된 가스 공급 및 회수 모듈은 설정된 양의 가스가 용기 방향으로 방출되기만 하면 그 자체는 정상 작동하는 것으로 인식한다. 그 결과, 퍼지 가스가 웨이퍼 수용 용기를 향해 방출되기는 하나 실제적으로 용기에는 퍼지 가스가 제대로 유입되지 못해 웨이퍼의 퍼지가 제대로 이루어지지 못하게 된다. 이러한 상황에도 불구하고, 작업자는 퍼지 가스의 양이 제대로 용기로 유입되지 못해 발생하는 퍼지 작업의 불량을 알 수 없다.
본 발명의 일 목적은, 퍼지 선반 측에서의 구조적, 작동적 문제로 인해 웨이퍼 내장 용기 측으로의 퍼지 가스 공급이 제대로 이루어지지 못하는 것을 파악할 수 있게 하는, 웨이퍼 내장 용기용 퍼지 선반에서의 퍼지 가스 누설 검사 디바이스를 제공하는 것이다.
상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명의 측면에 따른 웨이퍼 내장 용기용 퍼지 선반에서의 퍼지 가스 누설 검사 디바이스는, 유입 노즐을 구비하는 바디; 및 상기 바디에 설치되고, 상기 바디가 공급 노즐을 구비하는 선반에 안착되는 경우에 상기 공급 노즐에서 공급되는 퍼지 가스를 상기 유입 노즐을 통해 입력받아 분석하도록 구성되는 분석 모듈을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 바디는, 상기 선반의 위치결정핀이 삽입되도록 형성되는 위치결정홈과, 상기 유입 노즐에 대응한 위치에 형성되는 노출홀을 구비하는 바닥판; 및 상기 분석 모듈을 내장하고, 상기 바닥판의 상측에 배치되는 수용 박스를 포함하며, 상기 유입 노즐은, 상기 수용 박스의 바닥에 관통 설치되고, 상기 공급 노즐과 접촉 가능하도록 상기 노출홀을 통해 외부로 노출할 수 있다.
여기서, 상기 수용 박스는, 상기 분석 모듈을 내장하는 내부 공간을 한정하는 내벽; 및 상기 내벽의 대향 위치에 돌출 형성되는 한 쌍의 지지턱을 더 포함하고, 상기 분석 모듈은, 상기 한 쌍의 지지턱에 지지되는 베이스; 및 상기 베이스에 설치되고, 상기 유입 노즐을 통해 입력된 상기 퍼지 가스의 유량, 압력, 온도, 및 습도 중 적어도 하나의 요소를 감지하도록 구성되는 감지 유닛을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 베이스는, 웨이퍼 형상을 갖는 원판체일 수 있다.
여기서, 상기 분석 모듈은, 상기 유입 노즐과 연통되는 가스 포집기; 및 상기 가스 포집기와 연통되어, 상기 가스 포집기에서 포집된 상기 퍼지 가스의 유량, 압력, 온도, 및 습도 중 적어도 하나의 요소를 감지하여 감지 정보를 획득하도록 구성되는 감지 유닛을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 가스 포집기는, 상기 유입 노즐에서 멀어질수록 내부 단면적이 줄어들도록 형성되고, 상기 감지 유닛과 연통되는 레듀사; 및 상기 레듀사와 상기 유입 노즐 사이에 배치되는 실링 부재를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 가스 포집기는, 상기 바디 및 상기 실링 부재를 관통하여 상기 레듀사에 체결되는 체결 피스를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 분석 모듈은, 외부와 통신하도록 구성되는 무선통신 유닛; 및 상기 감지 유닛이 획득한 상기 감지 정보를 외부로 전송하기 위해, 상기 감지 유닛과 상기 무선통신 유닛을 제어하는 제어 유닛을 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 분석 모듈은, 상기 선반의 인식 정보 표시기로부터 상기 선반의 인식 정보를 리딩하는 리딩 유닛을 더 포함하고, 상기 제어 유닛은, 상기 감지 유닛이 획득한 감지 정보와 상기 리딩 유닛이 획득한 인식 정보가 상기 무선통신 유닛을 통해 외부로 전송되게 할 수 있다.
여기서, 상기 분석 모듈은, 상기 제어 유닛의 제어 하에 상기 감지 정보 및 상기 인식 정보를 저장하는 메모리; 및 상기 리딩 유닛, 상기 무선 통신 유닛, 상기 메모리, 상기 제어 유닛, 및 상기 감지 유닛에 전원을 제공하도록 구성되는 배터리를 더 포함할 수 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 관련된 웨이퍼 내장 용기용 퍼지 선반에서의 퍼지 가스 누설 검사 디바이스에 의하면, 퍼지 선반 측에서의 구조적, 작동적 문제로 인해 웨이퍼 내장 용기 측으로의 퍼지 가스 공급이 제대로 이루어지지 못하는 경우, 이를 쉽게 파악할 수 있게 된다.
그에 의해, 단순히 퍼지 가스를 웨이퍼 내장 용기 측으로 방출하는 것만으로 퍼지 작업의 완전성을 평가하는 방식에서 발생할 수 있는 불완전 퍼지의 문제를 정확하게 인식하고, 불완전 퍼지 문제 발생 시 그의 원인이 되는 누설 요인을 찾아서 제거할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 내장 용기용 퍼지 선반(PS)과 그에 사용되는 퍼지 가스 누설 검사 디바이스(100)를 설명하기 위한 개념적 사시도이다.
도 2는 도 1의 퍼지 가스 누설 검사 디바이스(100)에 대한 사시도이다.
도 3은 도 2의 분석 모듈(150)을 독립적으로 보인 사시도이다.
도 4는 도 2의 라인(Ⅳ-Ⅳ)을 따라 취한 가스 포집기(151) 관련 단면도이다.
도 5는 도 3의 분석 모듈(150)의 작동을 설명하기 위한 제어 블럭도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 내장 용기용 퍼지 선반에서의 퍼지 가스 누설 검사 디바이스에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일·유사한 구성에 대해서는 동일·유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 내장 용기용 퍼지 선반(PS)과 그에 사용되는 퍼지 가스 누설 검사 디바이스(100)를 설명하기 위한 개념적 사시도이다.
본 도면을 참조하면, 먼저, 웨이퍼 수용 용기용 퍼지 선반(PS)은, 지지 플레이트(SP)와, 퍼지 가스 공급 및 회수 모듈을 포함할 수 있다.
지지 플레이트(SP)는 웨이퍼 수용 용기(Foup, 미도시)가 안착되는 구성이다. 웨이퍼 수용 용기는 층층이 쌓인 수 장 내지 수십 장의 웨이퍼를 내장할 수 있다. 이러한 지지 플레이트(SP)에는 퍼지 가스 누설 검사를 위해, 웨이퍼 수용 용기를 대신하여 검사 디바이스(100)가 안착될 수도 있다. 이를 위해, 지지 플레이트(SP)는 대략 사각형의 형태를 가질 수 있다. 지지 플레이트(SP) 상에는 복수 개의 위치 결정핀(LP)이 돌출 형성될 수 있다. 지지 플레이트(SP)에는 해당 지지 플레이트(SP)를 식별하기 위한 정보가 표시된 인식 정보 표시기(ID)가 설치될 수 있다.
상기 퍼지 가스 공급 및 회수 모듈은 지지 플레이트(SP)에 안착된 웨이퍼 수용용기에 대해 불활성 가스를 공급하고 그로부터 불활성 가스를 회수하기 위한 구성이다. 상기 퍼지 가스 공급 및 회수 모듈은, 불활성 가스를 상기 웨이퍼 수용 용기에 공급하기 위한 공급 라인(GS)과, 상기 웨이퍼 수용 용기에 공급된 불활성 가스를 회수하기 위한 회수 라인(GR)을 구비할 수 있다. 공급 라인(GS)과 회수 라인(GR)의 말단에는 공급 노즐(SN) 및 회수 노즐(RN)이 설치된다. 공급 노즐(SN) 및 회수 노즐(RN)의 상단, 구체적으로 각각의 노즐 캡은 지지 플레이트(SP) 상에 위치하게 된다.
퍼지 가스 누설 검사 디바이스(100)는 지지 플레이트(SP)에 안착되어 공급 노즐(SN)을 통해 입력되는 퍼지 가스를 분석하기 위한 구성이다. 이를 위해, 퍼지 가스 누설 검사 디바이스(100)는, 대체로 웨이퍼 수용 용기와 유사한 형태를 갖는 바디(110)를 구비할 수 있다. 바디(110)는 공급 노즐(SN)에 대응하는 유입 노즐()을 가진다.
이러한 구성에 의하면, 검사 디바이스(100)가 지지 플레이트(SP)에 놓여질 때, 검사 디바이스(100)의 유입 노즐()은 공급 노즐(SN)에 대응하게 된다. 그에 의해, 공급 노즐(SN)은 유입 노즐()과 연통되게 된다. 이는 공급 라인(GS)이 공급 노즐(SN)과 유입 노즐()을 매개로 바디(110)의 내부 공간과 연통됨을 말한다.
그 결과, 공급 라인(GS)을 통해 공급된 불활성 가스는, 공급 라인(GS)에 연결된 공급 노즐(SN) 및 그 노즐에 대응하는 유입 노즐()을 통해 바디(110) 내로 투입된다. 퍼지 가스 누설 검사 디바이스(100)는 바디(110) 내로 투입된 불활성 가스를 분석하는 분석 모듈(150, 도 2 참조)을 통해 퍼지 선반(PS)에서의 가스 누설의 문제를 파악하게 된다. 여기서, 가스 누설은, 공급 노즐(SN)의 손상, 구체적으로 공급 노즐(SN) 중 캡(실리콘 재질)의 손상, 위치 결정핀(LP)의 불량에 의한 퍼지 가스 누설 검사 디바이스(100)의 잘못된 안착 등에 의해 발생할 수 있다.
또한, 검사 디바이스(100) 내에 투입된 불활성 가스는, 분석 모듈(150)에 의해 분석된 후에, 또 배출 노즐(112), 그리고 회수 노즐(RN) 및 그에 연결된 회수 라인(GR)을 통해 외부로 배출된다.
이상의 퍼지 가스 누설 검사 디바이스(100)에 대해 도 2를 참조하여 보다 구체적으로 설명한다.
도 2는 도 1의 퍼지 가스 누설 검사 디바이스(100)에 대한 사시도이다.
본 도면을 참조하면, 바디(110)는, 유입 노즐()에 더하여, 수용 박스(113)와, 바닥판(116)을 구비할 수 있다.
수용 박스(113)는 대체로 육면체 형태를 갖는 중공 용기이다. 수용 박스(113)의 내부 공간에는 분석 모듈(150)이 설치될 수 있다. 이를 위해, 상기 내부 공간을 한정하는 내벽(114)에는 서로 대향되는 지지턱(115)이 형성된다. 이러한 지지턱(115)에는 분석 모듈(150), 구체적으로 그의 베이스(151, 도 3 참조)가 지지될 수 있다. 앞서 설명한 유입 노즐()은 수용 박스(113)의 바닥에 관통 설치될 수 있다.
바닥판(116)은 수용 박스(113)의 저면에 결합되어, 수용 박스(113)의 저면에서 이격되는 부분을 갖는다. 바닥판(116)과 수용 박스(113) 사이의 이격된 부분에는 퍼지 가스 누설 검사 디바이스(100)를 핸들링하기 위한 로봇 암이 삽입될 수 있다. 바닥판(116)의 저면에는 위치 결정핀(LP)이 삽입되도록 형성되는 위치결정홈(117)이 형성될 수 있다. 위치결정홈(117)은 위치 결정핀(LP)에 대응하는 개수로, 예를 들어 3개로 형성될 수 있다. 바닥판(116)에는 노출홀(118)이 관통 형성될 수 있다. 노출홀(118)은 유입 노즐()과 배출 노즐(112) 각각에 대응한 한 쌍으로 형성될 수 있다. 노출홀(118)은 유입 노즐()과 배출 노즐(112)에 각각 공급 노즐(SN)과 회수 노즐(RN)이 접촉되도록 노즐( 및 112)을 외부로 노출한다.
바디(110)의 수용 박스(113)에 내장되는 분석 모듈(150)은, 유입 노즐()을 통해 수용 박스(113)의 내부 공간으로 입력된 퍼지 가스를 분석하는 구성이다.
이러한 분석 모듈(150)은 도 3을 참조하여 설명한다.
도 3은 도 2의 분석 모듈(150)을 독립적으로 보인 사시도이다.
본 도면을 참조하면, 분석 모듈(150)은, 베이스(151)와, 감지 유닛(155), 그리고 가스 포집기(161)를 포함할 수 있다.
베이스(151)는 한 쌍의 지지턱(115, 도 2 참조)에 지지되는 프레임이다. 베이스(151)는 대체로 웨이퍼 형태인 원판체일 수 있다. 베이스(151)가 웨이퍼와 동일한 형태를 가진다면, 바디(110)로는 그 웨이퍼를 수용하는 기존의 웨이퍼 수용 용기(Foup)가 이용될 수 있다.
감지 유닛(155)은 베이스(151) 상에 설치되어 상기 퍼지 가스의 특성을 감지하여 감지 정보를 획득하는 구성이다. 구체적으로, 감지 유닛(155)은 상기 퍼지 가스의 유량, 압력, 온도, 및 습도 중 적어도 하나의 요소를 감지하는 센서로 구성될 수 있다.
가스 포집기(161)는 유입 노즐()과 연통되게 설치되어, 유입 노즐()을 통해 입력된 상기 퍼지 가스를 포집하여 감지 유닛(155)으로 유동하게 하는 구성이다. 이를 위해, 가스 포집기(161)는, 레듀사(162), 실링 부재(163), 및 유동 튜브(165)를 포함할 수 있다.
레듀사(162) 및 실링 부재(163)는 유입 노즐()과 결합되고, 유동 튜브(165)는 레듀사(162)를 감지 유닛(155)과 연통시키는 관체이다.
이러한 가스 포집기(161)의 구성은 도 4를 참조하여 설명한다.
도 4는 도 2의 라인(Ⅳ-Ⅳ)을 따라 취한 가스 포집기(151) 관련 단면도이다.
본 도면을 참조하면, 먼저 유입 노즐(111)은 상부 노즐(111a)과 하부 노즐(111b)로 구성될 수 있다. 상부 노즐(111a)은 수용 박스(113)의 바닥에 관통 설치되며, 그의 외면에는 제1 나사산이 형성될 수 있다. 하부 노즐(111b)은 그의 내면에 형성된 제2 나사산을 통해 제1 나사산과 나사 결합될 수 있다. 그에 의해, 하부 노즐(111b)은 상부 노즐(111a)과 나사 결합되고, 또한 노출홀(118)을 통해 외부로 노출된다.
레듀사(162)는 유입 노즐(111)에서 멀어질수록 내부 단면적이 줄어드는 형태를 가질 수 있다. 실링 부재(163)는 레듀사(162)의 일 단부와 유입 노즐(111) 사이에 배치되어 그들 사이의 누설을 방지하는 구성이다. 실링 부재(163)는 예를 들어, 실리콘 재질로 형성될 수 있다.
레듀사(162) 및 실링 부재(163)가 유입 노즐(111)에 대해 안정적으로 연통되게 하기 위해, 가스 포집기(161)는 체결 피스(164)를 더 가질 수 있다. 체결 피스(164)는 수용 박스(113)에 박히면서 동시에 실링 부재(163) 및 레듀사(162)에 결합될 수 있다. 그에 의해, 레듀사(162) 및 실링 부재(163)는 유입 노즐(111)에 결합되어 연통된 채로 수용 박스(113)에 결합되게 된다.
이러한 구성에 의해, 유입 노즐(111)로 유입된 퍼지 가스는 감지 유닛(155)으로 유동하는 중에 누설되는 일이 없어진다. 그에 의해, 공급 라인(GS)을 통해 공급되는 퍼지 가스의 양에 비해 감지 유닛(155)이 감지하는 양이 부족한 경우에, 퍼지 가스 누설 검사 디바이스(100) 내의 문제가 아닌 퍼지 선반(PS)의 문제임을 확정할 수 있게 된다.
이상의 분석 모듈(150)의 구체적 분석 작동은 도 5를 참조하여 설명한다.
도 5는 도 3의 분석 모듈(150)의 작동을 설명하기 위한 제어 블럭도이다.
본 도면을 참조하면, 분석 모듈(150)은, 감지 유닛(155)에 더하여, 리딩 유닛(156), 무선통신 유닛(157), 메모리(158), 배터리(159), 및 제어 유닛(160)을 가질 수 있다.
먼저, 감지 유닛(155)은, 유량 센서(155a), 압력 센서(155b), 온도 센서(155c), 및 습도 센서(155d) 중 적어도 하나를 구비할 수 있다. 유량 센서(155a)는 수용 박스(113) 내로 입력되는 퍼지 가스의 유량을 측정하게 된다. 압력 센서(155b)는 상기 퍼지 가스의 압력을, 온도 센서(155c)는 상기 퍼지 가스의 온도를, 습도 센서(155d)는 상기 퍼지 가스의 습도를 각각 측정하게 된다.
리딩 유닛(156)은 선반(PS)의 인식 정보 표시기(ID)로부터 해당 선반(PS)의 인식 정보를 리딩하기 위한 구성이다. 여기서, 상기 인식 정보는 바코드 형태로 인식 정보 표시기(ID)에 표시될 수 있다.
무선통신 유닛(157)은 외부의 서버나 컴퓨터와 무선통신하기 위한 구성이다. 무선통신 유닛(157)은 상기 감지 정보 및 상기 인식 정보를 외부로 전송할 수 있다.
메모리(158)는 상기 감지 정보 및 상기 인식 정보를 저장하는 구성이다. 배터리(159)는 감지 유닛(155) 등에 대한 전원을 공급한다.
제어 유닛(160)은 감지 유닛(155), 리딩 유닛(156), 무선통신 유닛(157), 메모리(158), 및 배터리(159)를 제어하는 구성이다.
이러한 구성에 의하면, 퍼지 가스 누설 검사 디바이스(100)이 특정한 퍼지 선반(PS)에 놓여지고 수용 박스(113)에 퍼지 가스가 입력되었을 때, 제어 유닛(160)의 제어 하에, 감지 유닛(155)은 상기 감지 정보를 획득하고 리딩 유닛(156)은 해당 선반(PS)에 대한 상기 인식 정보를 획득하게 된다.
제어 유닛(160)은, 상기 인식 정보 및 상기 감지 정보를 서로 매칭시켜서, 메모리(158)에 저장하거나 무선통신 유닛(157)을 통해 외부로 전송할 수 있다. 그에 의해, 작업자는 특정한 선반(PS)에서의 퍼지 가스의 누설 문제를 발견하고, 해당 선반(PS)을 수리할 수 있다.
상기와 같은 웨이퍼 내장 용기용 퍼지 선반에서의 퍼지 가스 누설 검사 디바이스는 위에서 설명된 실시예들의 구성과 작동 방식에 한정되는 것이 아니다. 상기 실시예들은 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 구성될 수도 있다.
100: 퍼지 가스 누설 검사 디바이스 110: 바디
111: 유입 노즐 113: 수용 박스
116: 바닥판 150: 분석 모듈
151: 베이스 155: 감지 유닛
156: 리딩 유닛 157: 무선통신 유닛
160: 제어 유닛

Claims (10)

  1. 바닥판과, 상기 바닥판에서 이격된 채로 상기 바닥판의 상측에 배치되는 수용 박스와, 상기 바닥판을 통과하여 상기 수용 박스의 내부 공간에 연통되는 유입 노즐을 구비하는 바디; 및
    상기 수용 박스에 내장되고, 상기 바디가 선반에 안착되는 경우에 상기 선반의 공급 노즐에서 공급되는 퍼지 가스를 상기 유입 노즐을 통해 입력받아 분석하도록 구성되는 분석 모듈을 포함하고,
    상기 바닥판은,
    상기 선반의 위치결정핀이 삽입되도록 형성되는 위치결정홈과, 상기 유입 노즐에 대응한 위치에 형성되는 노출홀을 구비하고,
    상기 유입 노즐은,
    상기 수용 박스의 바닥에 관통 설치되며 제1 나사산을 구비하는 상부 노즐; 및
    상기 노출홀을 통해 상기 바닥판을 관통하여 상기 공급 노즐과 접속되도록 설치되며, 상기 제1 나사산에 나사 결합되는 제2 나사산을 구비하는 하부 노즐을 포함하며,
    상기 분석 모듈은,
    상기 유입 노즐과 연통되는 가스 포집기;
    상기 가스 포집기와 연통되어, 상기 가스 포집기에서 포집된 상기 퍼지 가스의 유량, 압력, 온도, 및 습도 중 적어도 하나의 요소를 감지하여 감지 정보를 획득하도록 구성되는 감지 유닛;
    외부와 통신하도록 구성되는 무선통신 유닛; 및
    상기 감지 유닛과 상기 무선통신 유닛을 제어하여, 상기 감지 유닛이 획득한 상기 감지 정보가 외부로 전송되게 하는 제어 유닛을 포함하는, 웨이퍼 내장 용기용 퍼지 선반에서의 퍼지 가스 누설 검사 디바이스.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 수용 박스는,
    상기 분석 모듈을 내장하는 내부 공간을 한정하는 내벽; 및
    상기 내벽의 대향 위치에 돌출 형성되는 한 쌍의 지지턱을 더 포함하고,
    상기 분석 모듈은,
    상기 한 쌍의 지지턱에 지지되고, 상기 감지 유닛이 설치되는 베이스를 더 포함하는, 웨이퍼 내장 용기용 퍼지 선반에서의 퍼지 가스 누설 검사 디바이스.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 베이스는, 웨이퍼 형상을 갖는 원판체인, 웨이퍼 내장 용기용 퍼지 선반에서의 퍼지 가스 누설 검사 디바이스.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 가스 포집기는,
    상기 유입 노즐에서 멀어질수록 내부 단면적이 줄어들도록 형성되고, 상기 감지 유닛과 연통되는 레듀사; 및
    상기 레듀사와 상기 유입 노즐 사이에 배치되는 실링 부재를 포함하는, 웨이퍼 내장 용기용 퍼지 선반에서의 퍼지 가스 누설 검사 디바이스.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 가스 포집기는,
    상기 바디 및 상기 실링 부재를 관통하여 상기 레듀사에 체결되는 체결 피스를 더 포함하는, 웨이퍼 내장 용기용 퍼지 선반에서의 퍼지 가스 누설 검사 디바이스.
  8. 삭제
  9. 제1항에 있어서,
    상기 분석 모듈은,
    상기 선반의 인식 정보 표시기로부터 상기 선반의 인식 정보를 리딩하는 리딩 유닛을 더 포함하고,
    상기 제어 유닛은, 상기 감지 유닛이 획득한 감지 정보와 상기 리딩 유닛이 획득한 인식 정보가 상기 무선통신 유닛을 통해 외부로 전송되게 하는, 웨이퍼 내장 용기용 퍼지 선반에서의 퍼지 가스 누설 검사 디바이스.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 분석 모듈은,
    상기 제어 유닛의 제어 하에 상기 감지 정보 및 상기 인식 정보를 저장하는 메모리; 및
    상기 리딩 유닛, 상기 무선 통신 유닛, 상기 메모리, 상기 제어 유닛, 및 상기 감지 유닛에 전원을 제공하도록 구성되는 배터리를 더 포함하는, 웨이퍼 내장 용기용 퍼지 선반에서의 퍼지 가스 누설 검사 디바이스.
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