TW201501230A - 防靜電熱板結構 - Google Patents

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Abstract

本公開提供一種防靜電熱板結構，應用于平面顯示器光阻塗佈及顯影機台，其中，所述熱板頂面能放置玻璃基板，並能對所述玻璃基板進行加熱；在所述熱板內安裝有多個能從所述熱板頂面向上頂起的頂杆，所述熱板頂面上設置有多個間隔布置的固定頂針，所述固定頂針在所述熱板頂面支撑所述玻璃基板。

Description

防靜電熱板結構
本發明是關於顯示面板製造設備，尤其是關於一種能保證OLED的可靠性的防靜電熱板結構。
在平面顯示器曝光工藝的光阻塗佈及顯影機台，如圖1至3所示，玻璃基板G傳送以機械手臂8為主。現有技術的熱板結構中，熱板9內具有用於加熱玻璃基板G的電加熱裝置。一般是在熱板9中通過熱槽布設有電熱絲。在熱板9內配置有多個可升降的頂杆91。分布於熱板9周邊和中心的頂杆91，均調整為相同的高度，使玻璃基板G在完成熱制程後，頂起過程中和頂起到指定高度後水平位置一致。
該現有技術中，在沒有加熱溫度時(常溫為23℃)，因無靜電影響，所以不易發現玻璃基板G於加熱後，整片玻璃基板G會因靜電影響而平貼熱板9上。如圖3所示，當頂杆91升起時，因周邊靜電吸附作用，玻璃基板G邊緣未先剝離，以至於玻璃基板G受到頂杆91升起的壓力，而造成破片。因而，易造成機台污染、清理破片及複機等生產中斷的損失。
另一種作法，如公開號為US6676761B2美國專利中，公開了一種基板剝離的裝置及方法。其要解决的技術 問題是：如果剝離過程期間的靜電吸附力足够大，基板弓過度會發生在基板從襯底支撑完全分離之前。基板的過度彎曲可能會導致破裂、斷裂或其它損壞的襯底和/或材料層或設置在基板上的設備。其技術方案請參照圖4、圖5所示。一般情况下，在升降板154接觸升降銷150、152之前，由升降板154移近支承組件138。相對升降板154，作為第一組180的升降銷150，一般長於第二組182的升降銷152。因此，第一組180的升降銷150，首先從支承表面134的周邊穿出來頂起玻璃基板140。一旦第一組180的升降銷150從支承表面134頂起距離『L』，升降板154便能接觸較短的第二組182的升降銷152。『L』，也可以代表該升降機銷150與152的長度的差。在一個實施例中，『L』至少約2毫米。
然而，這一現有技術，如圖5所示，玻璃基板140仍會在升降銷150與升降銷152之間的高度差2mm範圍內產生變形，也仍未消除靜電的影響。所以，此方法仍會因靜電吸附過强造成破片。又因升降銷150與152頂部面積過大，易造成玻璃基板產生劃傷，產生破片及外觀缺陷導致的良率損失。
為解决現有技術的問題，本發明的目的就在於提供一種消除熱板的靜電影響，還能確保不會影響熱量的輻射傳導的防靜電熱板結構。
本發明提供一種防靜電熱板結構，一種防靜電熱板 結構，應用於平面顯示器光阻塗佈及顯影機台，其中，所述熱板頂面能放置玻璃基板，並能對所述玻璃基板進行加熱；在所述熱板內安裝有多個能從所述熱板頂面向上頂起的頂杆，所述熱板頂面上設置有多個間隔佈置的固定頂針，所述固定頂針在所述熱板頂面支撑所述玻璃基板。
本公開的有益效果在於，相對於現有技術以玻璃基板直接貼附在熱板表面，本發明利用多個頂針將玻璃基板頂起0.1mm，即能消除熱板的靜電影響，還能確保不會影響熱量的輻射傳導。
根據一種實施方式，所述頂杆包括位於所述熱板外周的外頂杆及位於所述熱板中心的中心頂杆，所述中心頂杆低於所述外頂杆。
以此頂杆的配置，可較好的頂起玻璃基板，玻璃基板不會發生破裂。
根據一種實施方式，所述中心頂杆與外頂杆的高度差為1.8mm至0.8之間。
這樣的距離對於玻璃基板具有較佳的防靜電吸附效果。
根據一種實施方式，所述頂杆頂面為球形或針狀。頂針可采用圓型或針狀設計，防止劃傷產生。
根據一種實施方式，所述熱板的頂杆由底部的托板帶動升起和降下，所述托板下部由馬達驅動。
根據一種實施方式，所述固定頂針呈針狀，其凸出於所述熱板頂面的高度為0.1mm。
借此，即不會影響熱板中電熱絲對玻璃基板的輻射加熱，同時還能避免玻璃基板與熱板之間的靜電吸附力的產生。
根據一種實施方式，所述固定頂針的材料為聚苯硫醚、氯化聚醚、聚芳碸或氨基塑料。
本發明相較於現有技術的有益技術效果在於：
(1)减少玻璃基板破片造成產品污染的機會；
(2)降低破片清理機台，所造成的生產損失，降低產品返工(Rework)的機會。
(3)通過改變硬體設定的規格，改善實際生產中產生的破片問題。
以往都是玻璃基板直接貼附在熱板表面，本發明利用多個頂針將玻璃基板頂起0.1mm，即能消除熱板的靜電影響，還能確保不會影響熱量的輻射傳導。
G‧‧‧玻璃基板
3‧‧‧玻璃基板
4‧‧‧熱板
5‧‧‧馬達
8‧‧‧機械手臂
9‧‧‧熱板
41‧‧‧固定頂針
51‧‧‧托板
52‧‧‧頂杆
53‧‧‧頂杆
91‧‧‧頂杆
138‧‧‧支承組件
140‧‧‧玻璃基板
150‧‧‧升降銷
152‧‧‧升降銷
154‧‧‧升降板
180‧‧‧第一組
182‧‧‧第二組
為了更充分地瞭解本發明的本質及期望目的，將結合隨附的圖式附圖來進行以下說明，在這些附圖中，相似的附圖標記在若干個視圖均表示相應的部件，其中：圖1是現有技術熱板結構示意圖；圖2是現有技術熱板升降裝置結構示意圖；圖3是現有技術熱板升降裝置造成破片的情形示意圖；圖4是另一種現有技術升降裝置結構示意圖；圖5是圖4中升降裝置在運作時的結構示意圖；圖6是本公開熱板及其升降裝置的結構示意圖；圖7是本公開熱板及其升降裝置的運作時示意圖；圖8是一種實施方式，顯示熱板及其升降裝置的結構 示意圖。
體現本發明特徵與優點的典型實施方式將在以下的說明中詳細叙述。應理解的是本發明能够在不同的實施例上具有各種的變化，其皆不脫離本發明的範圍，且其中的說明及附圖在本質上是當作說明之用，而非用以限制本發明。
說明書和附圖所使用的單數形式『一』、『一個』及『該』包括複數關係，除非該內容另外清楚指定。有關本公開的前述及其他技術內容、特點與功效，在以下配合參考圖式的一較佳實施例的詳細說明中，將可清楚的呈現。以下實施例中所提到的方向用語，例如：上、下、左、右、前或後等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用來說明並非用來限制本公開。
如圖6所示，本發明提供一種防靜電熱板，應用於平面顯示器曝光工藝光阻塗佈及顯影機台。熱板4內具有用於加熱玻璃基板3的電加熱裝置，一般是在熱板4中通過熱槽布設有多條電熱絲，以電熱絲進行輻射加熱。
熱板4上部能放置玻璃基板3，並能對玻璃基板3以電熱絲進行輻射加熱.。本公開的實施方式中，如圖7所示，在熱板4內安裝有多個能從熱板4頂面向上頂起的頂杆52、頂杆53，頂杆52、頂杆53包括位於熱板4外周的外頂杆52及位於熱板4中部的中心頂杆53.。
根據一實施方式，如圖6、圖7所示，本公開中心 頂杆53較佳是低於外頂杆52，以便於如圖7所示，可使外頂杆52先頂起玻璃基板3周邊，而避免玻璃基板3周邊受靜電吸附。中心頂杆53與外頂杆52的高度差較佳是1.8mm至0.8之間，這樣的距離對於玻璃基板具有較佳的防靜電吸附效果。
這些頂杆52、頂杆53頂面最好設計為球形或針狀。目前熱板4加熱溫度應該控制在130度至140度之間。因為，本發明的玻璃基板3邊側會有固定裝置(擋件)進行固定，所以，玻璃基板3放置在熱板4上後，並不會水平移動，因此不用擔心水平位移使其破壞玻璃基板3。且本發明中活動頂杆52、頂杆53頂部最好為圓弧形，可防止劃傷玻璃基板3。
如圖7所示，熱板4中的頂杆52、頂杆53可由熱板4底部的托板51帶動升起和降下，並且托板51下部由馬達5進行驅動。馬達5可以是電動馬達，其配合齒輪及齒條可帶動托板51升起及降下。
如圖6、圖7所示，熱板4頂面上設置有多個間隔佈置的固定頂針41，固定頂針41在熱板4頂面支撑玻璃基板3。固定頂針41呈針狀，其凸出於熱板4頂面的高度為大約0.1mm。本發明中固定頂針利用耐高溫材料製成，頂部為尖狀即可，固定頂針的材料可以為聚苯硫醚、氯化聚醚、聚芳碸或氨基塑料。這些材料都能耐受熱板4的加熱溫度。
例如，聚苯硫醚(PPS)的熱變形溫度可達240℃，氯 化聚醚的熱變形溫度可達210℃，聚芳碸(PAR)的熱變形溫度可達280℃，PEEK的熱變形溫度可達230℃，POB的熱變形溫度可達260~300C，可熔PI的熱變形溫度為270~280℃、氨基塑料的熱變形溫度為240℃，EP的熱變形溫度可達230℃，PF的熱變形溫度可達200℃，F4的熱變形溫度為260℃。
固定頂針41的佈置可根據基板3的大小和厚度來均勻佈置。
如圖8所示，為本公開中提供的一種防靜電熱板的具體實施方式，可應用於平面顯示器曝光工藝光阻塗佈及顯影機台。主要用於放置尺寸為620mmx750mm的玻璃基板3，熱板4內具有用於加熱玻璃基板3的電加熱裝置，電加熱裝置是在熱板4中通過熱槽布設有多條電熱絲，以電熱絲進行輻射加熱。玻璃基板3可放置於熱板4上部，熱板4能對玻璃基板3以電熱絲進行輻射加熱.。
本實施方式中，在熱板4內安裝有多個能從熱板4頂面向上頂起的頂杆52、頂杆53，頂杆52、頂杆53包括位於熱板4外周的外頂杆52及位於熱板4中部的中心頂杆53.。外頂杆52為4個，以熱板4的中心為中心分布在熱板4的4個角部。在熱板4寬度方向兩個外頂杆52的間隔較佳為576mm，在熱板4長度方向兩個外頂杆52的間隔較佳為704mm。而中心頂杆53安裝於熱板4的中心位置。以此5個頂杆52、53，可較好的頂起玻璃基板3，玻璃基板3不會發生破裂。
本實施方式的中心頂杆53較佳是低於外頂杆52，可使外頂杆52先頂起玻璃基板3周邊，而避免玻璃基板3周邊受靜電吸附。對於尺寸為620x750mm的玻璃基板，中心頂杆53與外頂杆52的高度差較佳是1.7mm，這樣的距離對於這種玻璃基板具有較佳的防靜電吸附效果。避免同步頂起時靜電太大造成碎片。
這些頂杆52、頂杆53頂面最好設計為球形。目前熱板4加熱溫度應該控制在130度至140度之間。因為，本發明的玻璃基板3邊側會有固定裝置(擋件)進行固定，所以，玻璃基板3放置在熱板4上後，並不會水平移動，因此不用擔心水平位移使其破壞玻璃基板3。本發明中活動頂杆52、頂杆53頂部最好為圓弧形，可防止劃傷玻璃基板3。
如圖7所示，熱板4中的頂杆52、頂杆53可由熱板4底部的托板51帶動升起和降下，並且托板51下部由馬達5進行驅動。馬達5可以是電動馬達，由驅動電路和傳鹹器進行驅動控制，其配合齒輪及齒條可帶動托板51升起及降下。
如圖6、圖7所示，熱板4頂面上設置有多個間隔佈置的固定頂針41，固定頂針41在熱板4頂面支撑玻璃基板3。對於尺寸為620x750mm的玻璃基板3，在熱板4的寬度方向佈置有7列固定頂針41，列間距較佳為96mm；在熱板4的長度方向，佈置有9行固定頂針41，行間距較佳為88mm。並且固定頂針41佈置時，均讓出頂杆52、53 的位置，且都不超出頂杆52、53的外圍。固定頂針41呈針狀，其凸出於熱板4頂面的高度為大約0.1mm。借此，即不會影響熱板4中電熱絲對玻璃基板3的輻射加熱，同時還能避免玻璃基板3與熱板4之間的靜電吸附力的產生。
本實施方式中固定頂針41利用耐高溫材料製成，頂部為尖狀即可，固定頂針的材料較佳為聚苯酯(POB)。這種材料結晶度很高；自潤滑性非常好；拉伸强度17.64MPa，拉伸模量0.42GPa，彎曲强度38.7MPa，彎曲模量7.74GPa，壓縮强度107.8MPa；體積電阻率>1015Ω．cm。能耐受熱板4的加熱溫度，且介電性能優、摩擦係數低。且聚苯酯(POB)可采用等離子噴塗的方式進行精准成型固定頂針41，這種成型方式精度高且成型快速。
根據本公開的示例實施方式，於熱板的中心，以等距的方式於長邊及短邊上，配置高為0.1mm的固定頂針，消除基板於熱板上的靜電。相對於玻璃基板直接貼附在熱板表面，本發明利用多個頂針將玻璃基板頂起0.1mm，即能消除熱板的靜電影響，還能確保不會影響熱量的輻射傳導。另外，可調高外頂杆52的高度。外頂杆52高度與中心頂杆53高度差，可以小於2mm以內，避免微量靜電產生的吸附。另外，頂杆可采用圓型或針狀設計，防止劃傷產生。
本發明相對於現有技術的優點至少在於下面之一：
(1)减少玻璃基板破片造成產品污染的機會。
(2)降低由於破片而清理機台所造成的生產損失，降 低產品返工(Rework)的機會。
(3)通過改變硬件設備設定的規格，改善實際生產中產生的破片問題。
雖然本發明的優選實施例是以特定用語敘述，此叙述僅例示性說明本發明的原理、特點及其功效，本發明的技術方案已由優選實施例揭示如上。本領域技術人員應當意識到在不脫離本發明所附的申請專利範圍所揭示的本發明的範圍和精神的情况下所作的更動與潤飾，均屬本發明的申請專利範圍的保護範圍之內。
3‧‧‧玻璃基板
4‧‧‧熱板
5‧‧‧馬達
41‧‧‧固定頂針
51‧‧‧托板
52‧‧‧頂杆
53‧‧‧頂杆

Claims (7)

  1. 一種防靜電熱板結構，應用於平面顯示器光阻塗佈及顯影機台，其中，所述熱板頂面能放置玻璃基板，並能對所述玻璃基板進行加熱；在所述熱板內安裝有多個能從所述熱板頂面向上頂起的頂杆，所述熱板頂面上設置有多個間隔佈置的固定頂針，所述固定頂針在所述熱板頂面支撑所述玻璃基板。
  2. 根據請求項1所述的防靜電熱板結構，其中所述頂杆包括位於所述熱板外周的外頂杆及位於所述熱板中心的中心頂杆，所述中心頂杆低於所述外頂杆。
  3. 根據請求項2所述的防靜電熱板結構，其中所述中心頂杆與外頂杆的高度差為1.8mm至0.8mm之間。
  4. 根據請求項2所述的防靜電熱板結構，其中所述頂杆頂面為球形或針狀。
  5. 根據請求項1所述的防靜電熱板結構，其中所述熱板的頂杆由底部的托板帶動升起和降下，所述托板下部由馬達驅動。
  6. 根據請求項1所述的防靜電熱板結構，其中所述固定頂針呈針狀，其凸出於所述熱板頂面的高度為0.1mm。
  7. 根據請求項6所述的防靜電熱板結構，其中所述固定頂針的材料為聚苯硫醚、氯化聚醚、聚芳碸或氨基塑料。
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