TW201438978A - 移載裝置及移載方法 - Google Patents

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Takao Hayashi
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Abstract

本發明之目的在於檢測出當對位失敗時，在哪一個方向發生位置偏移，而可藉由再次測試來進行卸貨。於使物品朝向卸貨位置下降時，若物品之被卡合部未卡合於卸貨位置之卡合部的情況下，移載裝置係檢測出自卸貨位置側所受到之力。藉此，檢測出位置偏移的方向與程度。根據所求出之位置偏移的方向與程度，使物品上升且再次進行卸貨。

Description

移載裝置及移載方法
本發明係有關藉由移載裝置來進行物品之卸貨。
高架移行車等移載裝置係將FOUP(Front Opening Unified Pod，前開式晶圓盒)等物品於地面側之裝載埠、緩衝區、儲存區等之間進行搬送。此處，存在有於裝載埠等之側設置3根銷等定位構件而對物品進行定位之情況。於移載裝置將物品進行卸貨之情形時，以定位構件將物品底部之孔等進行定位，而卸貨至正確之位置。為使物品底部之孔卡合於定位構件，移載裝置有儲存定位構件之位置的必要。
專利文獻1(JP4296914B)揭示有利用高架移行車搬送具備攝影機之構件，用以拍攝裝載埠側之標記。若藉由拍攝標記而獲知高架移行車相對於裝載埠之位置及姿勢，即可得知用以進行卸貨之高架移行車之停止位置及姿勢等移載資料。然而，由於裝載埠處於物品之陰影處，因此於搬送FOUP等物品之情形時，無法拍攝裝載埠。因此，預先拍攝並儲存裝載埠之位置，依據儲存進行卸貨。如此一來，由於物品底部之孔未卡合於定位構件，因此即便產生定位錯誤，亦無法執行再試。其原因在於無法識別是向哪一側發生了何種程度之位置偏移。於此情形時，例如以人工操作來控制高架移行車而進行卸貨，於此期間不僅卸貨會延遲，而且高架移行車之移 行路線亦會造成堵塞。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]JP4296914B
本發明之課題，在於卸貨時檢測出當對位失敗時在哪一個方向發生位置偏移，而可藉由再試來進行卸貨。
本發明係一種移載裝置，其係藉由升降動作而將於底部具備有被卡合部或卡合部之物品，朝向固定於地面側之具備有卡合部或被卡合部且支持物品底部的卸貨位置進行卸貨者；其特徵在於，其具備有：位置偏移感測器，其於使物品朝向卸貨位置下降時，若物品之被卡合部或卡合部自卸貨位置之卡合部或被卡合部位置偏移而未卡合時，則藉由檢測出移載裝置經由物品而自卸貨位置側所受到之力，而檢測出位置偏移之方向與程度；及控制部，其根據由上述位置偏移感測器所求出之位置偏移的方向與程度，以使物品再次上升並且再次進行卸貨之方式控制移載裝置。再者，本說明書中，將因位置偏移而未卡合之情況簡稱為位置偏移。
又，本發明係一種移載方法，其係藉由升降動作而將於底部具備有被卡合部或卡合部之物品，朝向固定於地面側之具備有卡合部或被卡合部且支持物品底部的卸貨位置進行卸貨者；其特徵在於，依序地執行以下之步驟：使物品朝向卸貨位置下降之步 驟；利用位置偏移感測器，若物品之被卡合部或卡合部係自卸貨位置之卡合部或被卡合部位置偏移時，則藉由檢測出移載裝置經由物品而自卸貨位置側所受到之力，而檢測位置偏移的方向與程度之步驟；及利用控制部，根據由上述位置偏移感測器所求出之位置偏移的方向與程度，以使物品再次上升並且再次進行卸貨之方式以控制移載裝置之步驟。
若物品之被卡合部或卡合部係自卸貨位置之卡合部或被卡合部呈位置偏移時，移載裝置係受到來自卸貨位置側之力。以下，雖然以物品具備有被卡合部、卸貨位置側具備有卡合部者來進行說明，但亦可為物品具備有卡合部，卸貨位置側具備有被卡合部。若被卡合部未卡合於卡合部，則物品會搭在卡合部上，而可由加速度感測器檢測出此時施加之力。又，由於物品搭於卡合部上就會造成傾斜，而可由傾斜感測器檢測出該傾斜。於移載裝置使升降台升降而移載物品之情形時，升降台係由複數個懸吊構件所支持。由於物品搭於卡合部上，會使施加於懸吊構件之力變得不均等，故而可由扭矩感測器等檢測出。若以求取位置偏移之方向與程度之方式設置該等感測器，則即便卸貨失敗，亦可藉由再試來恢復。因此，無需使移載裝置停止，並等待作業人員到達後以手動操作來進行卸貨。再者，本說明書中，關於移載裝置之記載亦直接適用於移載方法。
較佳為，上述移載裝置係為具備有沿著設置於高處空間之移行軌道而移行之移行台車、及利用複數根懸吊構件使支持物品之升降台進行升降之升降驅動部的高架移行車，上述位置偏移感測器係為檢測出升降台之傾斜的感測器、或檢測出施加於升降台之 加速度之感測器。若物品搭於卡合部上，則可由加速度感測器檢測出此時施加之力。又，由於若物品搭於卡合部上，則升降台會傾斜，而可由傾斜感測器檢測出。無論於任一情形時，均可自動地進行再試，而完成卸貨。此處，當高架移行車卸貨失敗時，若無法自動地進行再試，則會長時間堵塞移行軌道，而妨礙後續之高架移行車之移行。
特佳為，上述高架移行車係更進一步具備有使升降台相對於移行軌道而進行橫向移動之橫向移動部、及使升降台繞著鉛垂軸而轉動之轉動部，並且在升降台呈上升至上升極限之狀態下進行移行，若物品之被卡合部或卡合部係自卸貨位置之卡合部或被卡合部位置偏移時，上述控制部使升降台再上升至上述上升極限，接著根據由上述位置偏移感測器所求出之位置偏移的方向與程度，加以控制上述移行台車、上述橫向移動部、及上述轉動部。由於使升降台上升至上升極限，因此即便變更升降台之位置及朝向等，升降台之晃動亦較少。而且，由於控制移行台車、橫向移動部、及轉動部，因此可確實地使再試成功。
較佳為，上述控制部係構成為藉由以解除由上述位置偏移感測器所求出位置偏移之方式予以控制上述移行台車、上述橫向移動部、及上述轉動部，並使物品朝向卸貨位置再次進行卸貨。
特佳為，上述位置偏移感測器係以檢測出三種位置偏移之方式所構成，而該三種位置偏移係由沿著移行台車之移行方向的位置偏移、沿著橫向移動部之橫向移動方向的位置偏移、及因繞著鉛垂軸之旋轉而導致的位置偏移所形成，且上述控制部係構成為於使物品朝向卸貨位置再次進行卸貨時，以解除沿著移行台車之移行方向的 位置偏移之方式加以控制上述移行台車，以解除沿著橫向移動部之橫向移動方向的位置偏移之方式加以控制上述橫向移動部，及以解除因上述繞著鉛垂軸之旋轉而導致的位置偏移之方式加以控制上述轉動部。
最佳為，上述位置偏移感測器係為檢測出加速度之方向不同且安裝於升降台之至少三個加速度感測器。
2‧‧‧高架移行車
4‧‧‧軌道
5‧‧‧支柱
6‧‧‧裝載埠
7‧‧‧定位銷
7c‧‧‧圓錐面
7p‧‧‧頂點
8‧‧‧移行台車
10‧‧‧橫向移動部
12‧‧‧轉動部
14‧‧‧升降驅動部
15‧‧‧懸吊構件
16‧‧‧升降台
18‧‧‧夾頭
19‧‧‧軸
20‧‧‧位置偏移感測器
22‧‧‧物品
24‧‧‧突起
26‧‧‧底部
27‧‧‧位置偏移感測器
27x、27y、27z‧‧‧半導體加速度感測器
27c‧‧‧信號處理部
28‧‧‧定位孔
29‧‧‧外殼
30‧‧‧擺錘
32‧‧‧狹縫
34‧‧‧纜線
35‧‧‧蓋
36‧‧‧狹縫
38~42‧‧‧受光位置
43‧‧‧壓力感測器
44~46‧‧‧加速度感測器
50‧‧‧控制部
52‧‧‧移載資料儲存部
54‧‧‧通信部
56‧‧‧地面側控制器
圖1係使用實施例之高架移行車之搬送系統之主要部分側視圖。
圖2係表示升降台底部之定位孔與升降台之位置偏移之圖。
圖3係示意地表示定位孔相對於定位銷之偏移之圖。
圖4係示意地表示定位孔相對於定位銷之偏移之鉛垂方向剖面圖。
圖5係位置偏移感測器之方塊圖。
圖6係表示位置偏移感測器之鉛垂方向剖面與受光部之圖。
圖7係表示到達受光部之LED光之位置之圖。
圖8係表示由升降台之夾頭之壓力感測器所構成之位置偏移感測器的圖。
圖9係表示監視升降台之懸吊構件之張力之情況的圖。
圖10係表示將設置於升降台之加速度感測器設為位置偏移感測器之情況的圖。
圖11係表示高架移行車之控制系統之圖。
圖12係表示實施例中卸貨之步驟之流程圖。
以下，表示用以實施本發明之最佳實施例。本發明之範圍應根據申請專利範圍之記載，參考說明書之記載與本領域中之周知技術，並依照本發明所屬技術領域中具有通常知識者之理解而定。以下，雖然以高架移行車為例來表示實施例，但亦可將實施例應用於具備滑動叉或水平多關節型機械臂(Selective Compliance Assembly Robot Arm)等之堆高起重機、或者不具備移行台車之具有升降機之滑動叉、具有升降機之水平多關節型機械臂等移載裝置。再者，於滑動叉、水平多關節型機械臂之情形時，支持物品底部並利用升降機使物品下降，藉此進行卸貨。針對該等情形時之位置偏移量，例如於堆高起重機之情形時，以移行方向與移載方向之二維進行檢測出，而於固定之滑動叉、水平多關節型機械臂等之情形時，以移載方向之一維進行檢測出。
[實施例]
於圖1中，元件符號2為高架移行車，4為其移行軌道且例如自建築物之天花板而由支柱5所支持。6為固定於地面側之裝載埠，且例如為用以於處理裝置與高架移行車2之間移載物品之場所。高架移行車2對裝載埠6進行物品22之卸貨及裝貨，於裝貨之情形時，關於升降台16相對於物品22之位置及朝向之容許度較高。以下，雖然針對向裝載埠6之卸貨而說明實施例，但向緩衝區或儲存區等之卸貨亦相同。7為設置於裝載埠6之例如3根的定位銷，且自裝載埠6突出。
高架移行車2具備有移行台車8，且沿著移行軌道4移行。元件符號10為橫向移動部，使轉動部12至升降台16於水 平面內沿著與移行軌道4之長度方向成直角之方向橫向移動。移動方向亦可不與移行軌道4成直角。轉動部12係使升降驅動部14與升降台16繞鉛垂軸於±10°~±180°等既定之範圍內轉動。升降驅動部14係利用例如4根之懸吊構件15懸吊升降台16，並且藉由懸吊構件15之捲入與捲出，而使升降台16升降。再者，於高架移行車2移行時，使升降台16上升至上升極限，而防止升降台16晃動。
升降台16具備有開閉自如之夾頭18，支持物品22之突起24之底部之凸緣面，且具備有位置偏移感測器20，用以測量升降台16傾斜之方向與程度。物品22例如為收納半導體基板之FOUP，但亦可為其他物品，其具備有例如設置於板狀之底部26之3個定位孔28。再者，亦可代替定位孔28而設置溝槽，使溝槽與定位銷7卡合。又，亦可於物品22之底部設置定位銷，於裝載埠之物品載置面設置定位孔。
圖2係示意地表示定位成功之情形(實線)與定位失敗之情形(鏈線)時之底部26之狀態。作為定位失敗之原因，有x方向(移行方向)之位置偏移、y方向(橫向移動方向)之位置偏移、繞鉛垂軸之旋轉(旋轉角為θ)。因此，位置偏移感測器20針對該等之值，係以±3水準、±10水準等適當之解析度來進行測量。
於圖3至圖5中表示位置偏移之測量，定位銷7係於頂點7p之周圍設置有圓錐面7c，定位銷7之下部呈圓柱狀，且例如於裝載埠上配置成正三角形狀。而且，於物品底部之3個部位，以與定位銷7吻合之方式設置有定位孔28，於定位孔28之周圍設置有位置偏移感測器27。再者，該物品係用以取得卸貨用之移載資料之物品，於正常之物品上並未設置位置偏移感測器27。此外，於 使用具備有位置偏移感測器27之物品之情形時，無需於高架移行車之升降台設置位置偏移感測器20。
如圖5所示，位置偏移感測器27具備有3個半導體加速度感測器27x、27y、27z及信號處理部27c。半導體加速度感測器27x、27y、27z具備有覆蓋設於矽基板之孔洞之振動膜(diaphragm)，根據因加速度所導致振動膜變形之程度來測量加速度。而且，藉由設置3個半導體加速度感測器27x、27y、27z，可檢測出xyz三個方向之加速度。信號處理部27c係針對xyz每個方向輸出加速度之累計值，並且以10微秒~1毫秒等時間解析度輸出三個方向之加速度之均方根。或者，信號處理部27c係將各方向之加速度不進行累計等而予以輸出。
例如，圖3中相對於右上方之定位銷之偏移較大，而相對於左上方與中央下側之定位銷之位置偏移較小。於此情形時，藉由比較3個位置偏移感測器27之信號之強弱，可推定位置偏移之方向。又，可於位置偏移最大之定位孔最先獲得位置偏移之檢測信號。此外，由於各個位置偏移感測器27輸出將加速度分解為xyz三個方向之信號，因此可得知位置偏移之方向。
於圖4中表示定位孔28由定位銷7引導之過程。若將圖4之左右方向設為x方向，則定位感測器27會將與定位銷7接觸所產生之衝擊作為x方向及z方向之加速度而檢出。又，x方向之加速度之正負係表示相對於定位銷7是沿著x方向向正向側位置偏移或向負向側位置偏移。
因此，根據3個位置偏移感測器27各個方向信號之大小與正負、及信號之波形與各個感測器信號波形之時間差等，可 知物品22是向哪一方向位置偏移何種程度。根據該資料可得到在不與定位銷碰撞之情形下，將物品向裝載埠卸貨之移載資料。而且，預先於高架移行車之整個移行路線中，設置用以求出高架移行車之絕對座標之感測器，例如為申請人所提出之磁力式之線性感測器。於高架移行車系統之啟動時等，可由線性感測器求出向裝載埠移載用之停止位置之資料，且由位置偏移感測器27求出卸貨用之移載資料。若將該等資料移植(複製)至各高架移行車，則可無需作業者進行設定，自動地移載物品而不會與定位銷碰撞。
藉由如上述於3個定位孔28分別設置位置偏移感測器27，且綜合地分析該等之信號，可準確地檢測出x方向、y方向、θ方向之位置偏移，從而進行高精度之位置修正。於圖3至圖5中，雖然於1個位置偏移感測器27設置有3個半導體加速度感測器27x、27y、27z，但可省略z方向之加速度感測器。又，由於可根據3個部位之位置偏移感測器信號之強弱、信號之時間差等，而推定位置偏移之方向與程度，因此亦可於各個位置偏移感測器各設置1個加速度感測器。
圖6係表示位置偏移感測器20，於暗室之外殼29內以附有電線之纜線34支持有擺錘30。而且，擺錘30之晃動係由纜線34所制動。於擺錘30內設置有未圖示之LED，並自十字狀之狹縫32射出平行光線。於蓋35例如以相對於狹縫32旋轉90°之朝向設置有狹縫36，於狹縫36之內側，沿著狹縫36呈十字狀地配置有例如4個未圖示之光電二極體陣列等受光元件，用以檢測出光入射至狹縫36之哪一位置。
於圖7中表示圖6之位置偏移感測器20之檢測出原 理。正常時狹縫32相對於狹縫36係位於圖7之實線之位置，受光處為受光位置38之一點上。若狹縫32如圖之鏈線般移位，則狹縫36側例如於4點之受光位置39~42受光。受光位置移位之圖案係由x方向之位置偏移與y方向之位置偏移及旋轉角θ而定，根據受光位置之圖案可知該等之值。又，由於擺錘30由纜線34制動而不會晃動，因此受光位置穩定。
將位置偏移感測器20之其他例子，表示於圖8、圖9、圖10。圖8係表示由例如4個壓力感測器43構成位置偏移感測器之例。再者，圖8之元件符號19為將夾頭18安裝於升降台之軸。物品之荷重於正常時均等地施加於4個壓力感測器43。若物品搭在裝載埠之定位銷上，由於壓力感測器43之信號會變得不均等，因此可檢測出位置偏移。又，根據此時之壓力感測器43之信號之圖案，可求出位置偏移之方向(x、y、θ)及程度。
圖9係表示使用施加於懸吊構件15之張力來檢測出位置偏移之位置偏移感測器。若物品搭在裝載埠之定位銷上，則施加於4根懸吊構件15之張力會變得不均等，而根據4根懸吊構件15間之張力分佈，可求出位置偏移之方向(x、y、θ)及程度。然而，圖8、圖9之位置偏移感測器，難以準確地檢測出位置偏移之程度。
圖10係表示於升降台16設置加速度感測器44~46而用以檢測出位置偏移之位置偏移感測器，而加速度感測器44~46例如為半導體加速度感測器，加速度感測器44係用以檢測出x方向之加速度，加速度感測器45係用以檢測出y方向之加速度，加速度感測器46係用以檢測出θ方向之加速度。亦即，若以固定速度下降之物品搭於定位銷上，則會受到脈衝力，而由於該力會傳遞 至升降台16，因此可由加速度感測器44~46檢測出。藉由3個加速度感測器44~46可得知各個加速度之成分之強度，且根據該等可得知位置偏移之方向與程度。
於圖11中表示高架移行車2之構造，藉由控制部50而控制移行台車4、橫向移動部10、轉動部12、升降驅動部14。於移載資料儲存部52中，儲存有用以於與裝載埠之間移載物品之停止位置、橫向移動距離、旋轉角、下降量等移載資料。當物品搭於裝載埠之定位銷上時，位置偏移感測器20會輸出向哪一方向位置偏移何種程度之資料。通信部54係與地面側控制器56進行通信，接收搬送指令並報告結果。又，若發生位置偏移，則通信部54會向地面側控制器56發送位置偏移之方向與程度之資料，而地面側控制器56會將該資料進行例如平均化，並發送至複數個高架移行車2，而修正移載資料儲存部52之移載資料。於使用位置偏移感測器27代替位置偏移感測器20之情形時，感測器27係藉由近距離無線而與控制部50進行通信。
於圖12中表示卸貨之步驟。再者，於圖12中，並非假定為高架移行車系統之啟動時，而是假定為於正常之運用時因某種原因而導致卸貨失敗之情況。若高架移行車停止，則在進行升降台之橫向移動、轉動等之後，使升降台下降而執行卸貨。此時，若儲存於移載資料儲存部中之移載資料與實際不同，或者高架移行車之移行、升降台之橫向移動及轉動之精準度較低，則物品之定位孔不會與裝載埠之定位銷卡合，物品會搭於定位銷上而導致卸貨失敗。如此一來，藉由位置偏移感測器來求出位置偏移之方向與程度，使升降台暫時上升至上升極限以使升降台不會產生晃動，並進 行高架移行車之移行、升降台之橫向移動及轉動，而修正位置偏移。接著，使升降台再次下降，而再試卸貨，若位置偏移感測器之輸出正確，則卸貨成功。若無論再試數次，卸貨仍不成功之情形時，則使高架移行車停止，而由作業者以手動操作進行卸貨。
於實施例中，於高架移行車移載失敗之情形時，測量位置偏移之方向與程度，進行再試。因此，無需等待作業人員到達後以手動操作進行修復。又，於高架移行車系統之啟動時，可自動地取得用以向裝載埠進行卸貨之移載資料。
2‧‧‧高架移行車
4‧‧‧軌道
5‧‧‧支柱
6‧‧‧裝載埠
7‧‧‧定位銷
8‧‧‧移行台車
10‧‧‧橫向移動部
12‧‧‧轉動部
14‧‧‧升降驅動部
15‧‧‧懸吊構件
16‧‧‧升降台
18‧‧‧夾頭
20‧‧‧位置偏移感測器
22‧‧‧物品
24‧‧‧突起
26‧‧‧底部
27‧‧‧位置偏移感測器
28‧‧‧定位孔

Claims (7)

  1. 一種移載裝置，係藉由升降動作而將於底部具備有被卡合部或卡合部之物品，朝向固定於地面側之具備有卡合部或被卡合部且支持物品底部的卸貨位置進行卸貨者；其特徵在於，其具備有：位置偏移感測器，其於使物品朝向卸貨位置下降時，若物品之被卡合部或卡合部自卸貨位置之卡合部或被卡合部位置偏移時，則藉由檢測出移載裝置經由物品而自卸貨位置側所受到之力，而檢測出位置偏移的方向與程度；及控制部，其根據由上述位置偏移感測器所求出之位置偏移的方向與程度，以使物品再次上升並且再次進行卸貨之方式控制移載裝置。
  2. 如申請專利範圍第1項之移載裝置，其中，上述移載裝置係具備有沿著設置於高處空間之移行軌道而移行之移行台車、及利用複數根懸吊構件使支持物品之升降台進行升降之升降驅動部的高架移行車，上述位置偏移感測器係為檢測出升降台之傾斜的感測器、或檢測出施加於升降台之加速度的感測器。
  3. 如申請專利範圍第2項之移載裝置，其中，上述高架移行車係更進一步具備有使升降台相對於移行軌道而進行橫向移動之橫向移動部、及使升降台繞著鉛垂軸而轉動之轉動部，並且在升降台呈上升之狀態下進行移行，若物品之被卡合部或卡合部係自卸貨位置之卡合部或被卡合部位置偏移時，則上述控制部使升降台再上升，接著根據由上述位置偏移感測器所求出之位置偏移的方向與程度，加以控制上 述移行台車、上述橫向移動部、及上述轉動部。
  4. 如申請專利範圍第3項之移載裝置，其中，上述控制部係構成為藉由以解除由上述位置偏移感測器所求出之位置偏移之方式予以控制上述移行台車、上述橫向移動部、及上述轉動部，並使物品朝向卸貨位置再次進行卸貨。
  5. 如申請專利範圍第4項之移載裝置，其中，上述位置偏移感測器係以檢測出三種位置偏移之方式所構成，而該三種位置偏移係由沿著移行台車之移行方向的位置偏移、沿著橫向移動部之橫向移動方向的位置偏移、及因繞著鉛垂軸之旋轉而導致的位置偏移所形成，且上述控制部係構成為於使物品朝向卸貨位置再次進行卸貨時，以解除沿著移行台車之移行方向的位置偏移之方式加以控制上述移行台車，以解除沿著橫向移動部之橫向移動方向的位置偏移之方式加以控制上述橫向移動部，及以解除因上述繞著鉛垂軸之旋轉而導致的位置偏移之方式加以控制上述轉動部。
  6. 如申請專利範圍第5項之移載裝置，其中，上述位置偏移感測器係為檢測出加速度之方向不同且安裝於升降台之至少三個加速度感測器。
  7. 一種移載方法，其係藉由升降動作而將於底部具備有被卡合部或卡合部之物品，朝向固定於地面側之具備有卡合部或被卡合部且支持物品底部的卸貨位置進行卸貨者；其特徵在於，依序地執行以下之步驟：使物品朝向卸貨位置下降之步驟；利用位置偏移感測器，若物品之被卡合部或卡合部係自卸貨位 置之卡合部或被卡合部位置偏移時，則藉由檢測出移載裝置經由物品而自卸貨位置側所受到之力，而檢測位置偏移的方向與程度之步驟；及利用控制部，根據由上述位置偏移感測器所求出之位置偏移的方向與程度，以使物品再次上升並且再次進行卸貨之方式以控制移載裝置之步驟。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108382995A (zh) * 2018-03-01 2018-08-10 安徽火炎焱文化传媒有限公司 一种舞台用可调节平衡吊杆的操作方法
CN116443730A (zh) * 2023-06-13 2023-07-18 上海新创达半导体设备技术有限公司 一种辅助天车补偿校正系统及控制方法

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015166738A1 (ja) * 2014-05-01 2015-11-05 村田機械株式会社 ティーチングユニット及びティーチング方法
JP6304084B2 (ja) * 2015-03-16 2018-04-04 株式会社ダイフク 物品搬送設備及び検査用治具
DK3283428T3 (da) * 2015-07-21 2024-05-21 Siemens Gamesa Renewable Energy As Tårnpositioneringssystem
WO2018179931A1 (ja) * 2017-03-28 2018-10-04 村田機械株式会社 天井搬送車
CN107487616B (zh) * 2017-08-04 2023-09-01 佛山市科莱机器人有限公司 一种磁力矫偏结构
JP6849074B2 (ja) * 2017-08-16 2021-03-24 村田機械株式会社 搬送システム、及び天井搬送車の制御方法
CN111212797B (zh) * 2017-11-02 2021-07-20 村田机械株式会社 空中输送车系统以及其中的物品的暂时保管方法
WO2019086672A1 (en) 2017-11-03 2019-05-09 ETH Zürich System for handling an object to be displaced by two influencers
JP7195127B2 (ja) * 2018-12-06 2022-12-23 株式会社ディスコ 搬送ユニット及び搬送トレイの位置決め方法
US11854849B2 (en) * 2020-06-12 2023-12-26 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. Method for operating conveying system
JPWO2023084940A1 (zh) * 2021-11-11 2023-05-19

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002002909A (ja) * 2000-06-19 2002-01-09 Shinko Electric Co Ltd ストッカ用ロボットの教示確認方法
JP5267853B2 (ja) * 2008-07-23 2013-08-21 株式会社ダイフク 物品搬送設備における学習装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108382995A (zh) * 2018-03-01 2018-08-10 安徽火炎焱文化传媒有限公司 一种舞台用可调节平衡吊杆的操作方法
CN108382995B (zh) * 2018-03-01 2022-11-18 安徽火炎焱文化传媒有限公司 一种舞台用可调节平衡吊杆的操作方法
CN116443730A (zh) * 2023-06-13 2023-07-18 上海新创达半导体设备技术有限公司 一种辅助天车补偿校正系统及控制方法
CN116443730B (zh) * 2023-06-13 2023-08-25 上海新创达半导体设备技术有限公司 一种辅助天车补偿校正系统及控制方法

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