TW201430351A - 探針模組 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種探針模組，包括具有一通孔之一基材以及至少四探針列。至少四探針列，其係分別固設於基材上，多個探針列於一第一方向由一第一側向一第二側排列，每一探針列具有朝一第二方向排列的至少兩探針，每一探針分別具有接觸段以及懸臂段，懸臂段之一端連接於基材上而另一端向通孔方向延伸而與接觸段連接，接觸段與懸臂段具有一夾角，每一探針列之探針係具有等長的接觸段。其中，每一探針列之多個探針在該第一方向之夾角大小係由第一側朝第二側逐漸增加。

Description

探針模組

本發明係為一探針結構，尤其是指一種具有多層且角度變化之探針配置的探針模組。

半導體晶片進行測試時，測試機必須透過一探針卡(probe card)接觸待測物(device under test,DUT)，例如：晶片，並藉由訊號傳輸以及電性訊號分析，以獲得待測物的測試結果。探針卡通常包含若干個尺寸精密的探針相互排列而成，每一個探針通常會對應晶片上特定的電性接點，當探針接觸待測物上的對應電性接點時，可以確實傳遞來自測試機的測試訊號；同時，配合探針卡及測試機之控制與分析程序，達到量測待測物之電性特徵的目的。

然而，隨著電子元件越來越精密，其尺寸越做越小使得晶片的電性接點密度越來越高，因此探針的密度與層數也隨之增加。請參閱第1A與第1B圖所示，其係分別為習用技術之探針模組所具有之多層探針結構示意圖。在第1A圖中，晶片100上具有電性接點100a與100b，探針模組具有第一探針列以及第二探針列。其中第一探針列具有複數個探針(12-1,12-2)，而第二探針列也具有複數個探針(12-3,12-4)，每一探針以端部12b與電性接點100a與100b接觸。每一探針之懸臂段12d與接觸段12e具有夾角，其中對於同一列的探針而言，如：第二探針列，探針12-3之夾角θ₁小於與探針12-4之夾角θ₂；以及第一探針列，探針 12-1之夾角θ₁小於探針12-2之夾角θ₂。此外，對於不同列且相對應的探針而言，其夾角相同，例如：第一列之探針12-1之夾角與第二列之探針12-3之夾角皆為θ₁；第一列之探針12-2之夾角與第二列之探針12-4之夾角皆為θ₂。另外，在第1B圖中，每一個探針之夾角皆相同，但每一列探針之接觸段其長度不同。

本發明提供一種探針模組，其具有多層的探針列結構，透過每一列之探針具有相同長度的接觸段結構以及不同列之相對應探針具有不同的彎折角度，以對具有高密度與小間距(pitch)電性接點分佈之晶片進行電性檢測。

在一實施例中，本發明提供一種探針模組，包括有一基材以及至少四探針列。基材，其係具有一通孔。至少四探針列，其係分別固設於基材上，複數個探針列於一第一方向由一第一側向一第二側排列，每一探針列具有朝一第二方向排列的至少兩探針，每一探針分別具有一接觸段以及一懸臂段，懸臂段之一端連接於基材上而另一端向通孔方向延伸而與接觸段連接，接觸段與懸臂段具有一夾角，每一探針列之探針係具有等長的接觸段。其中，每一探針列之複數個探針在第一方向之夾角大小係由第一側朝向第二側逐漸增加。

在另一實施例中，本發明更提供一種探針模組，包括：一基材以及至少四第一探針列。基材，其係具有一通孔。至少四第一探針列，其係分別固設於基材上，複數個 第一探針列於一第一方向由一第一側向一第二側排列，每一第一探針列具有朝一第二方向排列的至少兩探針，其中至少兩第一探針列之探針數不相同，每一探針分別具有一接觸段以及一懸臂段，懸臂段之一端連接於基材上而另一端向通孔方向延伸而與接觸段連接，接觸段與懸臂段具有一夾角，每一探針列之探針係具有等長的接觸段。其中，對兩相鄰之第一探針列而言，靠近第一側之第一探針列所具有最大夾角之探針之夾角小於等於靠近第二側之第一探針列所具有最小夾角之探針之夾角，使得相鄰每一第一探針列之複數個探針在該第二方向之夾角大小係由第一側朝向第二側逐漸增加。

由於本發明係揭露一種探針卡其所使用之探針模組，用於半導體或光電之測試，其中探針卡及探針的使用原理與基本功能，已為相關技術領域具有通常知識者所能明瞭，故以下文中之說明，不再作完整描述。同時，以下文中所對照之圖式，係表達與本發明特徵有關之結構示意，並未亦不需要依據實際尺寸完整繪製，合先述明。

請參閱第2圖所示，係為本發明提出之實施例探針模組側視與局部剖面示意圖。探針模組2包括有基材20以及四探針列21~24，其係分別固設於基材20上。基材20上具有通孔200，通孔200具有邊緣201，基材20具有外圍結構202。在本實施例中，四探針列21~24固設於通孔200之邊緣201側與基材20之外圍結構202間，但不以此為限制。為了強化固持 探針列21~24，在基材20上更具有固持件26，以提供固持探針列21~24。另外，要說明的是，固持件26以後的探針針端部分，會根據基材20所具有的電性接點佈局做焊接，不一定會如第2圖所示之一致性的排列，因此探針尾端連接於基材20上之位置係根據需求而定，並不以第2圖所示之態樣為限制。

請參閱第3圖所示，係為第2圖中局部區域3放大之立體示意圖。探針列21-24之探針與待測晶片9上之電性接點90電性接觸，以檢測待測晶片9之電性特徵，其中，對於同一列之電性接點而言，相鄰之電性接點90之節距(pitch)d小於等於40μm。在本實施例中，複數個探針列21-24沿第一方向X由第一側91朝向第二側92排列，每一個探針列21-24在第二方向Y上具有複數個探針，其中至少兩探針為一探針組，每一探針列具有複數個探針組，前述的排列方式是以各探針的針尖(接觸段250)作為排列的標準，探針的針尖是指探針與待測晶片9上之電性接點90接觸的部分。在本實施例中，第一方向X上之第一側91係為基材20之外圍結構202側，第二側92係為通孔200之邊緣201側。在本實施例中，每一探針列21~24於第二方向Y上具有數量相同且於第一方向X上相互對應之複數個探針組210a~240a。例如，對於探針列21其在Y方向上有複數個探針組210a~210n；探針列22其在Y方向上有複數個探針組220a~220n；探針列23其在Y方向上有複數個探針組230a~230n；以及探針列24其在Y方向上有複數個探針組240a~240n。此外，每一個探針組210a~210n、220a~220n、230a~230n以及240a~240n在X方向 為相互對應排列；例如：探針列21~24所具有之第一組探針組210a、220a、230a與240a在X方向為相互對應排列，其他以此類推。

在本實施例中，每一探針組包括有第一探針25a與第二探針25b，每一探針列21~24相互對應之探針組(210a~210n、220a~220n、230a~230n以及240a~240n)所具有之第一探針25a與第二探針25b係分別於第一方向X相互對應與對齊。請參閱第3與第4圖所示，每一第一探針25a與第二探針25b分別具有接觸段250以及懸臂段251，懸臂段251之一端連接於基材20上而另一端朝向通孔200方向延伸而與接觸段250相互連接，接觸段250與懸臂段251具有一夾角，每一探針列21~24之第一探針25a與第二探針25b係具有等長的接觸段250。例如：探針列21中每一個探針組210a~210n所具有之第一探針25a與第二探針25b中的接觸段250之長度相等，其他探針列22~24亦同，要說明的是本發明中所謂長度相等係可以容許有高度差，例如：第5A圖所示，對於同一探針組而言其第一與第二探針25a與25b之接觸段250具有一高度差△d，其高度差△d之絕對值係大於等於0小於等於1密耳(mil，千分之一英吋)。

再回到第3與第4圖所示，雖然本實施例中，每一探針組(210a~210n、220a~220n、230a~230n以及240a~240n)內所具有的探針為兩個，但在其他實施例中，每一探針組內所具有的探針亦可以為3個以上。如第5B圖所示，如果每一個探針組三個以上之探針，以三個探針，如第一、第二與第三探針25a~25c為例，任兩個探針之高度的差的絕對值係小 於等於1密耳。例如：| ha-hb |≦1mil；| ha-hc |≦1mil；以及| hb-hc |≦1mil。

再回到第3與第4圖所示，本發明所謂夾角的定義係為接觸段250之中心線與懸臂段251之中心線的夾角。而在本實施例中，相鄰探針之接觸段250的中心線之間之距離係小於等於40μm。

本發明佈設探針所具有之接觸段250以及懸臂段251所具有的夾角的特徵在於每一探針列21~24相對應之探針組(210a~210n、220a~220n、230a~230n以及240a~240n)所具有之於第一方向X相對應之第一探針25a與第二探針25b的夾角大小係由基材20之外圍結構202側向通孔200之邊緣201側逐漸增加。以第3圖中的探針組210a、220a、230a以及240a為例，參酌第4圖來說明。在第4圖中，每一探針列21~24所具有之探針組210a、220a、230a以及240a分別具有第一探針25a與第二探針25b。其中，對每一探針組210a、220a、230a以及240a中的第一探針25a與第二探針25b在第二方向Y上之位置相互對應，而探針組210a之第一探針25a與第二探針25b分別具有夾角θ₁以及θ₂；探針組220a之第一探針25a與第二探針25b分別具有夾角θ₃以及θ₄；探針組230a之第一探針25a與第二探針25b分別具有夾角θ₅以及θ₆；以及探針組240a之第一探針25a與第二探針25b分別具有夾角θ₇以及θ₈。在本實施例中，對於各組相對應之第一探針25a與第二探針25b所具有之夾角關係為： θ ₁<θ ₂<θ ₃<θ ₄<θ ₅<θ ₆<θ ₇<θ ₈，亦即由基材20之外圍結構202側朝向通孔200之邊緣201側逐漸增加。也可以是說，第二探針列最小夾角的探針之角度θ₃大於第一探針列最大夾角的探針之角度θ₂，以此類堆。此外，如第3圖所示，第一探針25a與第二探針25b分別具有接觸段長為T₁以及T₂；探針組220a之第一探針25a與第二探針25b分別具接觸段長為T₃以及T₄；探針組230a之第一探針25a與第二探針25b分別具有接觸段長為T₅以及T₆；以及探針組240a之第一探針25a與第二探針25b分別具有接觸段長為T₇以及T₈，其中T₇=T₈>T₅=T₆>T₃=T₄>T₁=T₂。以第3與第4圖來說明，在本實施例中，每一探針列21~24具有第一探針列及一第二探針列，第一探針列及一第二探針列鄰接，第二探針列探針的接觸段大於第一探針列探針的接觸段，例如：第一探針列為探針列21，第二探針列則為探針列22，探針列22的接觸段T₃以及T₄大於探針列21的接觸段T₁以及T₂。在此要特別說明的是，第二探針列22探針組的探針數目不等於第一探針列21探針組的探針數目。

此外，在本發明之實施例中，每一探針列21~24所具有相對應之探針組(210a~210n、220a~220n、230a~230n以及240a~240n)中之第一探針25a之夾角小於第二探針25b之夾角，最靠近通孔200之邊緣201之探針列所具有之每一探針組中所具有之第一探針25a之夾角與第二探針25b之夾角的角度差絕對值為大於等於2度。參閱第3圖與第4圖來說明，在本實施例中，最靠近通孔200之邊緣201為探針列24；又探針列24中所具有的每一個探針組240a~240n中的第一探 針25a之夾角θ₇與第二探針25b之夾角θ₈之角度差的絕對值係為：|θ ₈-θ ₇|2°。

最靠近通孔200之邊緣201側之探針列所具有之每一探針組中所具有之第一探針25a之夾角與第二探針25b之夾角的角度差大於等於最靠近基材20之外圍結構202側之探針列之對應探針組中所具有之第一探針25a之夾角與第二探針25b之夾角的角度差。同樣參閱第3圖與第4圖來說明，在本實施例中，最靠近通孔200之邊緣201側為探針列24，其所具有之每一探針組240a~240n中所具有之第一探針25_a之夾角θ₇與第二探針25b之夾角θ₈的角度差之絕對值大於等於最靠近基材20之外圍結構202側之探針列21之對應探針組210a~210n中所具有之第一探針25a之夾角θ₁與第二探針_25b之夾角θ₂的角度差之絕對值，亦即|θ ₈-θ ₇||θ ₂-θ ₁|。

此外，本發明之探針所具有夾角的另一特徵為，在通孔200之邊緣201側之探針列之每一探針組所具有之第一探針之夾角與相鄰之探針列所具有之對應探針組內之第二探針之夾角之角度差為大於等於1度。以第3與第4圖來說明，在本實施例中，通孔200之邊緣201側為探針列24，以探針組240a為例，其所具有之第一探針25a之夾角θ₇與相鄰之探針列23中對應之探針組230a中之第二探針25b之夾角θ₆之夾角之角度差之絕對值為大於等於1度，亦即|θ ₇-θ ₆|1°。

在本實施例中，承續前述之角度差特徵，最靠近通孔200之邊緣201側之探針列之每一探針組所具有之第一探針之夾角與其相鄰之探針列所具有之對應探針組內之第二探針之夾角的角度差之絕對值大於等於最靠近基材20之外圍 結構202側之探針列之相對應探針組中所具有之第二探針之夾角與其相鄰之探針列所具有之對應探針組內之第一探針之夾角的角度差之絕對值。同樣以第3圖與第4圖來說明，在本實施例中，通孔200之邊緣201側為探針列24，以探針組240a為例，其所具有之第一探針25a之夾角θ₇與相鄰之探針列23中對應之探針組230a中之第二探針25b之夾角θ₆之夾角之角度差之絕對值為|θ ₇-θ ₆|；最靠近該基材20之外圍結構202側之探針列21之相對應探針組210a中所具有之第二探針25b之夾角θ₂與其相鄰之探針列22所具有之對應探針組220a內之第一探針25a之夾角θ₃的角度差為|θ ₃-θ ₂|，又|θ ₇-θ ₆||θ ₃-θ ₂|。

又前述關係中的探針所具有的夾角編號θ_n之編排方式，說明如下，請參照第3與4圖所示，由最靠近基板20外圍結構202側之探針組開始，由靠進第一方向X原點O側之探針開始先沿第二方向Y依序給予編號，探針組之所有探針都給予夾角編號後，再沿第一方向X換下一探針組，再沿第二方向Y依序給予編號，如此依序至完成所有相對應探針組內所具有之探針之夾角編號θ₁~θ_n。綜合上述之角度特徵，可以歸納出如下之關係：θ ₁<θ ₃<…θ _n-3<θ _n-1 θ ₂<θ ₄<…θ _n-2<θ _n

要說明的是，雖然前述第2-4圖所示的實施例為4列探針列21~24，但是並不以該四列為限制，只要是四列以上之探針列都可以適用前述之夾角關係。此外，雖然前述每一個探針組的探針數為2支，但在實施時，並不以2支探針為限制，3支探針以上都可以根據前述之夾角關係來實施。

例如，對於m列探針列(m≦9)而言，每一探針組中具有a支探針時(本實施例為a=2)，根據前述之精神，亦即對於矩陣型之探針，每一探針組相對應之探針的夾角關係歸納如下關係式(1)~(3)：

其中，前述之n=F(m,a)，m等於列數，m≦9，a為每一探針列中的探針組所具有之針序號，1≦a。在上述關係式(1)代表，在第一方向上，對應相同探針組且同一針序號的探針夾角角度逐漸增加。在第2-4圖所示的實施例中，a可為1或2，因此關係式(1)可代換成關係式(2)(3)。在一實施例中，列數m之最大值m_max範圍係為：4 m 9。其他的關係式可以歸納如下：

其中，a_max為每一探針組之探針序號的最大值，關係式(4)代表對於同一列的探針而言，相鄰兩探針之所具有的夾角的角度差絕對值大於等於2度，關係式(4)的限制條件為 (a+1) a _max；關係式(5)係為對於相鄰兩探針列而言，靠近第一方向第二側之探針列(m+1)所具有最小夾角之探針之夾角與靠近第一方向第一側之探針列m所具有最大夾角之探針之夾角之角度差絕對值大於等於1度；其他的關係式可以歸納如下：

其中，關係式(6)代表對於同一列(m<m_max)的探針而言，相鄰兩探針(a+1及a)之所具有的夾角的角度差絕對值小於等於探針列m_max中相對應之兩探針(a+1及a)夾角之角度差絕對值；在關係式(6)，若m=1，a=1，關係式(6)可代換成關係式(7)。其他的關係式可以歸納如下：

關係(8)係為對於相鄰兩探針列(m及m+1，其中(m+1)<m_max)而言，靠近第一方向第二側之探針列(m+1)所具有最小夾角之探針之夾角與靠近第一方向第一側之探針列m所具有最大夾角之探針之夾角的角度差絕對值小於等於第一方向最後一列(m_max)探針列所具有最小夾角之探針之夾角與其前一列(m_max-1)之探針列所具有最大夾角之探針之夾角的角度差絕對值；在關係式(8)，若m=1，a=1，關係式(8)可代換成關係式(9)。

另外，如第3圖中所示的第一方向與第二方向，並不限於同平面相互垂直之X與Y方向，在另一實施例中，如第6圖所示，係為本發明之探針佈設另一實施例示意圖。在本實施例中，探針的佈設方式，第一方向為弧向(θ)，第二方向則為徑向(r)。在這種弧向(θ)與徑向(r)定義的座標係下，第6圖的實施例，同樣具有四探針列21~24，每一探針列具有複數個探針組210a~210f。同樣對於每一探針列21~24，也具有相對應的探針模組210a、220a、230a與240a以及相對應的第一探針25a與第二探針25b。置於探針之夾角關係則如前所述，在此不作贅述。

請參閱第7A與7B圖所示，係為本發明之探針模組具有之探針佈設又一實施例示意圖。在本實施例中，基本上與第2-4圖所示之架構類似，差異的是，本實施例中，更具有另一探針列27，其係設置於通孔200之邊緣201與最靠近通孔200之邊緣201之一探針列24之間，探針列27具有複數個探針270a，每一個探針270a分別對應有其中之一探針組。本又一實施例主要的特徵是，在原先各探針列21~24已經相互對應的探針組，以探針組210a~240a為例，再增加單一探針270a與該探針組210a~240a相對應，亦即，根據前述第2至4圖所示的架構下，是可以增加單一探針與相對應的各探針組相對應。前述單一探針與探針組相對應的特徵，亦可以應用於第6圖所示的弧向(θ)與徑向(r)架構中的探針結構分佈。

請參閱第8圖所示，係為本發明之非對稱探針佈設位置再一實施例示意圖。所謂非對稱佈設係指，每一探針列所 具有之探針數量並不相同，或者是由探針數量相同之部分探針列與其他不同探針數之探針列組合而成。在本實施例中，第8圖所示的矩型框代表各探針之接觸段對應待測晶片9電性接點90的位置。

本再一實施例中具有9個探針列40~48，沿第一方向X依序排列，探針列40~44分別具有複數個探針，沿第二方向Y依序排列，探針列45~48分別具有一探針。其中，探針列40具有探針400~403，探針列41具有探針410~412，探針列42具有探針420~421，探針列43具有探針430~431，而探針列44具有探針440~441，其述之探針所具有之結構與第4圖所示之探針結構相同，探針之懸臂段與接觸段具有一夾角。根據本發明之精神，每一探針列之複數個探針在第一方向X之夾角大小係由待測晶片9之第一側91朝向第二側92逐漸增加。

在本實施例中，探針400~403具有相等的接觸段長度L0且每一探針400~403之夾角分別為θ₄₀₀、θ₄₀₁、θ₄₀₂以及θ₄₀₃，探針410~412具有相等的接觸段長度L1且每一探針410~412之夾角分別為θ₄₁₀、θ₄₁₁以及θ₄₁₂，探針420~421具有相等的接觸段長度L2且每一探針420~421之夾角分別為θ₄₂₀以及θ₄₂₁，探針430~431具有相等的接觸段長度L3且每一探針430~431之夾角分別為θ₄₃₀以及θ₄₃₁，而探針列44具有探針440~441具有相等的接觸段長度L4且每一探針440~441之夾角分別為θ₄₄₀以及θ₄₄₁，至於探針450、460、470與480之接觸段長度為L5~L8且每一探針450~480之夾角分別為θ₄₅₀、θ₄₆₀、θ₄₇₀、θ₄₈₀。其中，接觸段長度關係為 L1<L2<L3<L4<L5<L6<L7<L8，而角度之關係可分為兩個部份，在第二方向Y的夾角大小關係為：θ₄₀₀<θ₄₀₁<θ₄₀₂<θ₄₀₃；θ₄₁₀<θ₄₁₁<θ₄₁₂；θ₄₂₀<θ₄₂₁；θ₄₃₀<θ₄₃₁；以及θ₄₄₀<θ₄₄₁。

上述關係，即每一探針列40~44在第二方向Y排列的探針，其夾角在第二方向Y由第一側向第二側漸增，在本再一實施例中，以探針列40為例，第二方向Y的第一側為探針400的一側，第二方向Y的第二側為探針403的一側。在實施時，並不以本再一實施例為限，在一實施例中，第二方向Y的第一側可以為探針403的一側，第二側可以為探針400的一側，依然有相同的關係。

另外，不同列針腳間，在第一方向X角度漸增的趨勢下，任相鄰兩探針列中，靠近第一方向X第二側92具有最小夾角之探針的夾角大於靠近第一方向X第一側91之探針列具有最大夾角之探針的夾角，且其角度差係大於等於1度，前述角度差以下簡稱相臨探針列角度差，而且，前述任意相臨探針列角度差(非最靠近第二側之最後兩探針列)會小於等於最靠近第二側92之最後兩探針列的相臨探針列角度差，因此第8圖的角度關係表示如下：θ₄₁₀-θ₄₀₃≧1°；θ₄₂₀-θ₄₁₂≧1°；θ₄₃₀-θ₄₂₁≧1°； θ₄₄₀-θ₄₃₁≧1°；θ₄₅₀-θ₄₄₁≧1°；θ₄₆₀-θ₄₅₀≧1°；θ₄₇₀-θ₄₆0≧1°；θ₄₈₀-θ₄₇₀≧1°；以及θ₄₁₀-θ₄₀₃≦θ₄₈₀-θ₄₇₀。

要說明的是，雖然上述最後一角度關係θ₄₁₀-θ₄₀₃≦θ₄₈₀-θ₄₇₀，係以探針列40與41與探針列47與48來比較，但探針列42-46中任兩相鄰之探針列的相臨探針列角度差亦是小於等於θ₄₈₀-θ₄₇₀。

另外，對於同一探針列之不同針腳間，也存在相鄰兩探針之角度差的絕對值大於等於2度的關係，以第一探針列40為例，亦即：|θ₄₀₁-θ₄₀₀|≧2°；|θ₄₀₂-θ₄₀₁|≧2°；以及|θ₄₀₃-θ₄₀₂|≧2°。

唯以上所述之具體實施例，僅係用於例釋本發明之特點及功效，而非用於限定本發明之可實施範疇，於未脫離本發明上揭之精神與技術範疇下，任何運用本發明所揭示內容而完成之等效改變及修飾，均仍應為下述之申請專利範圍所涵蓋。

2‧‧‧探針模組

20‧‧‧基材

200‧‧‧通孔

201‧‧‧邊緣

202‧‧‧外圍結構

21~24‧‧‧探針列

210a~210n、220a~220n、230a~230n、240a~240n‧‧‧探針組

25a‧‧‧第一探針

25b‧‧‧第二探針

25c‧‧‧第三探針

250‧‧‧接觸段

251‧‧‧懸臂段

26‧‧‧固持件

27‧‧‧探針列

270a‧‧‧探針

3‧‧‧局部區域

40~48‧‧‧探針列

400~403、410~412、420~421、430~431、440~441‧‧‧探針

450、460、470、480‧‧‧探針

9‧‧‧待測晶片

90‧‧‧電性接點

91‧‧‧第一側

92‧‧‧第二側

θ ₁<θ ₂<θ ₃<θ ₄<θ ₅<θ ₆<θ ₇<θ ₈‧‧‧夾角關係

第1A與第1B圖分別為習用技術之探針模組所具有之多層探針結構示意圖。

第2圖係為本發明之探針模組實施例側視與局部剖面示意圖。

第3圖係為第2圖中局部區域3放大之立體示意圖。

第4圖係為本發明各探針列相互對應之探針組中各探針之夾角關係示意圖。

第5A與第5B係為探針之接觸段長度誤差示意圖。

第6圖係為係為本發明之探針佈設另一實施例示意圖。

第7A與7B圖係為係為本發明之探針佈設又一實施例示意圖。

第8圖係為本發明之非對稱探針佈設位置實施例示意圖。

2‧‧‧探針模組

20‧‧‧基材

200‧‧‧通孔

201‧‧‧邊緣

202‧‧‧外圍結構

21~24‧‧‧探針列

210a~240a‧‧‧探針組

25a‧‧‧第一探針

25b‧‧‧第二探針

250‧‧‧接觸段

251‧‧‧懸臂段

9‧‧‧待測晶片

θ ₁<θ ₂<θ ₃<θ ₄<θ ₅<θ ₆<θ ₇<θ ₈‧‧‧夾角關係

Claims (22)

1. 一種探針模組，包括：一基材，其係具有一通孔；至少四探針列，其係分別設置於該基材上，該些探針列於一第一方向由一第一側向一第二側排列，每一探針列具有朝一第二方向排列的至少兩探針，每一探針分別具有一接觸段以及一懸臂段，該懸臂段之一端連接於該基材上而另一端向該通孔方向延伸而與該接觸段連接，該接觸段與該懸臂段具有一夾角，每一探針列之探針係具有等長的接觸段；其中，每一探針列之該些探針在該第一方向之夾角大小係由該第一側朝該第二側逐漸增加。
2. 如申請專利範圍第1項所述之探針模組，其中每一探針列的探針在該第二方向相互對齊排列。
3. 如申請專利範圍第1項所述之探針模組，其中每一探針列具有一第一探針以及一第二探針，其中每一探針列的第一探針之夾角小於該第二探針之夾角，該第一探針與該第二探針鄰接，該第一探針之夾角與該第二探針之夾角的角度差絕對值為大於等於2度。
4. 如申請專利範圍第1項所述之探針模組，其中該至少兩探針為一探針組，每一探針列具有複數個探針組。
5. 如申請專利範圍第4項所述之探針模組，其中該至少四探針列具有一第一探針列及一第二探針列，該第一探針列及一第二探針列鄰接，該第二探針列探針的接觸段大 於該第一探針列探針的接觸段。
6. 如申請專利範圍第5項所述之探針模組，其中該第二探針列最小夾角的探針之角度大於該第一探針列最大夾角的探針之角度。
7. 如申請專利範圍第6項所述之探針模組，其中該第二探針列最小夾角的探針及該第一探針列最大夾角的探針之角度差絕對值為大於等於1度。
8. 如申請專利範圍第5項所述之探針模組，其中該第二探針列探針組的探針數目不等於該第一探針列探針組的探針數目。
9. 如申請專利範圍第1項所述之探針模組，其中該夾角係為該接觸段之中心線與該懸臂段之中心線的夾角。
10. 如申請專利範圍第1項所述之探針模組，其中相鄰探針之接觸段的中心線距離係小於等於40μm。
11. 如申請專利範圍第1項所述之探針模組，其中該等長的接觸段之誤差範圍係大於等於0小於等於1密耳(mil)。
12. 如申請專利範圍第1項所述之探針模組，其係更包括有一第五探針列，其係設置於該通孔之邊緣與最靠近該通孔之邊緣之一探針列之間，該第五探針列具有複數個第三探針，每一個第三探針分別對應有其中之一探針組。
13. 如申請專利範圍第1項所述之探針模組，其第一方向與第二方向係為兩同平面且相互垂直之方向之組合，或者是同平面且為徑向與弧向之組合。
14. 如申請專利範圍第1項所述之探針模組，其中該探針列 之列數係小於等於9。
15. 如申請專利範圍第1項所述之探針模組，其中最靠近該第二側之探針列之第一探針之夾角與其相鄰之第二探針之夾角的角度差絕對值大於等於最靠近該第一側之探針列之第一探針之夾角與其相鄰之第二探針之夾角的角度差絕對值。
16. 如申請專利範圍第1項所述之探針模組，其中靠近第一方向第二側之探針列所具有最小夾角之探針之夾角與靠近第一方向第一側之探針列所具有最大夾角之探針之夾角的角度差絕對值小於等於第一方向最後一列探針列所具有最小夾角之探針之夾角與其前一列之探針列所具有最大夾角之探針之夾角的角度差絕對值。
17. 一種探針模組，包括：一基材，其係具有一通孔；至少四第一探針列，其係分別固設於該基材上，該些第一探針列於一第一方向由一第一側向一第二側排列，每一第一探針列具有朝一第二方向排列的至少兩探針，其中至少兩第一探針列之探針數不相同，每一探針分別具有一接觸段以及一懸臂段，該懸臂段之一端連接於該基材上而另一端向該通孔方向延伸而與該接觸段連接，該接觸段與該懸臂段具有一夾角，每一探針列之探針係具有等長的接觸段；其中，對兩相鄰之第一探針列而言，靠近該第一側之第一探針列所具有最大夾角之探針之夾角小於靠近該第二側之第一探針列所具有最小夾角之探針之夾角。
18. 如申請專利範圍第17項所述之探針模組，其中每一第一探針列在該第二方向排列的探針，其夾角在該第二方向由一第一側向一第二側漸增。
19. 如申請專利範圍第17項所述之探針模組，其中每一第一探針列相鄰兩探針之夾角角度差絕對值為大於等於2度。
20. 如申請專利範圍第17項所述之探針模組，其中靠近該第一側之第一探針列所具有最大夾角之探針之夾角與靠近該第二側之第一探針列所具有最小夾角之探針之夾角角度差絕對值為大於等於1度。
21. 如申請專利範圍第17項所述之探針模組，其係更包括有至少一第二探針列，每一第二探針列具有一探針，其中兩相鄰之第一探針列與第二探針列之間靠近該第一側之第一探針列所具有最大夾角之探針之夾角與靠近該第二側之第二探針列之探針所具有之夾角角度差絕對值為大於等於1度。
22. 如申請專利範圍第21項所述之探針模組，其中於該第一方向上，相鄰之兩第二探針列所具有之探針在靠近該第一側之探針夾角小於靠近該第二側之探針夾角。