JP3189811U - プローブモジュール - Google Patents
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Abstract
Description
|ha−hb|≦1mil、
|ha−hc|≦1mil、及び
|hb−hc|≦1milである。
θ1<θ3<…θn−3<θn−1
θ2<θ4<…θn−2<θn
|θn−θn−1|≧2°
|θn−1−θn−2|≧1°
|θ2−θ1|≦|θn−θn−1|
|θ3−θ2|≦|θn−1−θn−2|
θ400<θ401<θ402<θ403、
θ410<θ411<θ412、
θ420<θ421、
θ430<θ431、及び
θ440<θ441である。
θ410−θ403≧1°、
θ420−θ412≧1°、
θ430−θ421≧1°、
θ440−θ431≧1°、
θ450−θ441≧1°、
θ460−θ450≧1°、
θ470−θ460≧1°、
θ480−θ470≧1°、及び
θ410−θ403≦θ480−θ470である。
|θ401−θ400|≧2°、
|θ402−θ401|≧2°、及び
|θ403−θ402|≧2°である。
20 基材
200 スルーホール
201 辺縁
202 周囲構造
21〜24 プローブ列
210a〜210n、220a〜220n、230a〜230n、240a〜240n プローブセット
25a 第1プローブ
25b 第2プローブ
25c 第3プローブ
250 接触部
251 カンチレバー部
26 ホルダー
27 プローブ列
270a プローブ
3 局所領域
40〜48 プローブ列
400〜403、410〜412、420〜421、430〜431、440〜441 プローブ
450、460、470、480 プローブ
9 被測定ウエハ
90 電気接点
91 第1側
92 第2側
夾角の関係 θ1<θ2<θ3<θ4<θ5<θ6<θ7<θ8
Claims (20)
- スルーホールを有する基材と、
それぞれ前記基材に固設され、第1方向において第1側から第2側へ配列されており、第2方向へ配列された少なくとも2つのプローブをそれぞれ有し、それぞれのプローブが接触部、及び一端が前記基材に接続され且つ他端が前記スルーホールの方向へ延びて前記接触部と接続し、前記接触部と夾角をなすカンチレバー部を有し、それぞれのプローブ列のプローブが等長の接触部を有する、少なくとも4つのプローブ列と、
を備え、
それぞれのプローブ列の前記プローブの夾角の大きさは、前記第1方向においては、前記第1側から前記第2側へ漸増するプローブモジュール。 - それぞれのプローブ列のプローブは、前記第2方向において互いに位置合わせて配列されている請求項1に記載のプローブモジュール。
- それぞれのプローブ列には、隣接する第1プローブ及び第2プローブを有し、前記第1プローブの夾角が前記第2プローブよりも小さく、前記第1プローブの夾角と前記第2プローブの夾角の角度差の絶対値が2度以上である請求項1に記載のプローブモジュール。
- 前記少なくとも2つのプローブは、1組のプローブセットとなり、それぞれのプローブ列には、複数のプローブセットを有する請求項1に記載のプローブモジュール。
- 前記少なくとも4つのプローブ列には、隣接する第1プローブ列及び第2プローブ列を有し、前記第2プローブ列のプローブの接触部が、前記第1プローブ列のプローブの接触部よりも大きい請求項4に記載のプローブモジュール。
- 前記第2プローブ列における最も小さな夾角のプローブの角度は、前記第1プローブ列における最も大きな夾角のプローブの角度よりも大きい請求項5に記載のプローブモジュール。
- 前記第2プローブ列における最も小さな夾角のプローブ及び前記第1プローブ列における最も大きな夾角のプローブの角度差の絶対値は、1度以上である請求項6に記載のプローブモジュール。
- 前記第2プローブ列のプローブセットのプローブ数は、前記第1プローブ列のプローブセットのプローブ数とは等しくない請求項5に記載のプローブモジュール。
- 隣接するプローブの接触部の中心線の距離は、40μm以下である請求項1に記載のプローブモジュール。
- 前記等長の接触部の誤差範囲は、0以上且つ1ミル(mil)以下である請求項1に記載のプローブモジュール。
- 前記スルーホールの辺縁と前記スルーホールの辺縁に最も近いプローブ列との間に設置されおり、それぞれ1組のプローブセットに対応する第3プローブを複数有する第5プローブ列を更に備える請求項4に記載のプローブモジュール。
- 前記プローブ列の列数は、9以下である請求項1に記載のプローブモジュール。
- 前記第2側に最も近いプローブ列における第1プローブの夾角と、隣接する第2プローブの夾角の角度差の絶対値は、前記第1側に最も近いプローブ列における第1プローブの夾角と、隣接する第2プローブの夾角の角度差の絶対値の以上である請求項3に記載のプローブモジュール。
- 第1方向の第2側に近いプローブ列における最も小さな夾角のプローブの夾角と第1方向の第1側に近いプローブ列における最も大きな夾角のプローブの夾角の角度差の絶対値は、第1方向の最後列のプローブ列における最も小さな夾角のプローブの夾角とその直前の列のプローブ列における最も大きな夾角のプローブの夾角の角度差の絶対値の以下である請求項1に記載のプローブモジュール。
- スルーホールを有する基材と、
それぞれ前記基材に固設され、第1方向において第1側から第2側へ配列されており、第2方向へ配列された少なくとも2つのプローブをそれぞれ有し、少なくとも2つの第1プローブ列のプローブ数が異なり、それぞれのプローブが接触部、及び一端が前記基材に接続され且つ他端が前記スルーホールの方向へ延びて前記接触部と接続し、前記接触部と夾角をなすカンチレバー部を有し、それぞれのプローブ列のプローブが等長の接触部を有する少なくとも4つの第1プローブ列と、
を備え、
2つの隣接する第1プローブ列においては、前記第1側に近い第1プローブ列における最も大きな夾角のプローブの夾角は、前記第2側に近い第1プローブ列における最も小さな夾角のプローブの夾角よりも小さいプローブモジュール。 - それぞれの第1プローブ列の前記第2方向に配列されたプローブは、その夾角が前記第2方向において第1側から第2側へ漸増する請求項15に記載のプローブモジュール。
- それぞれの第1プローブ列における隣接する2つのプローブの夾角の角度差の絶対値は、2度以上である請求項15に記載のプローブモジュール。
- 前記第1側に近い第1プローブ列における最も大きな夾角のプローブの夾角と前記第2側に近い第1プローブ列における最も小さな夾角のプローブの夾角の角度差の絶対値は、1度以上である請求項15に記載のプローブモジュール。
- それぞれ1つのプローブを有する少なくとも1つの第2プローブ列を更に備え、隣接する第1プローブ列と第2プローブ列においては、前記第1側に近い第1プローブ列における最も大きな夾角のプローブの夾角と前記第2側に近い第2プローブ列におけるプローブの夾角の角度差の絶対値は1度以上である請求項15に記載のプローブモジュール。
- 前記第1方向において、隣接する2つの第2プローブ列の有するプローブにおける前記第1側に近いプローブの夾角は、前記第2側に近いプローブの夾角よりも小さい請求項19に記載のプローブモジュール。
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