JP3189811U - プローブモジュール - Google Patents

Abstract

【課題】多層かつ角度変化のあるプローブ配置を有するプローブモジュールを提供する。【解決手段】スルーホールを有する基材２０と、それぞれ基材に固設され、第１方向において第１側から第２側へ配列されており、第２方向へ配列された少なくとも２つのプローブをそれぞれ有し、それぞれのプローブが接触部２５０、及び一端が基材に接続され且つ他端がスルーホールの方向へ延びて接触部と接続し、接触部と夾角をなすカンチレバー部２５１を有し、それぞれのプローブ列２１〜２４のプローブが等長の接触部を有する少なくとも４つのプローブ列と、を備え、それぞれのプローブ列の複数のプローブの夾角の大きさは、前記第１方向においては、第１側から第２側へ漸増するプローブモジュール２。【選択図】図４

Description

本考案は、プローブ構造であり、特に、多層且つ角度変化のあるプローブ配置を有するプローブモジュールである。

半導体ウエハをテストする場合、試験機は、プローブカード（ｐｒｏｂｅ ｃａｒｄ）によって被測定物（ｄｅｖｉｃｅ ｕｎｄｅｒ ｔｅｓｔ；ＤＵＴ）、例えばウエハに接触し、信号伝送及び電気信号の分析によって、被測定物のテスト結果を取得する必要がある。プローブカードは、一般的に、それぞれチップにおける特定の電気接点に対応する若干の高寸法精度のプローブが互いに配列されてなるものであり、プローブを被測定物における対応の電気接点に接触させる際、試験機からのテスト信号を確実に伝達すると共に、プローブカード及び試験機の制御と分析プログラムに合わせて、被測定物の電気的特性を測定する目的を達することができる。

しかしながら、電子素子の精度が高くなるにつれて、その寸法が小さくなって、ウエハの電気接点の密度が高くなっているため、プローブの密度と層数もそれに伴って増加している。図１Ａと図１Ｂを参照されたい。図１Ａと図１Ｂは、それぞれ従来技術によるプローブモジュールの有する多層プローブ構造の模式図である。図１Ａにおいて、ウエハ１００には電気接点１００ａ及び１００ｂがあり、プローブモジュールは、第１プローブ列及び第２プローブ列を有する。第１プローブ列には、複数のプローブ（１２−１，１２−２）を有し、第２プローブ列にも、複数のプローブ（１２−３，１２−４）を有する。それぞれのプローブは、端部１２ｂで電気接点１００ａ及び１００ｂに接触しており、カンチレバー部１２ｄと接触部１２ｅとは、夾角をなしている。同列のプローブについては、例えば、第２プローブ列において、プローブ１２−３の夾角θ_１がプローブ１２−４の夾角θ_２よりも小さく、また、第１プローブ列において、プローブ１２−１の夾角θ_１がプローブ１２−２の夾角θ_２よりも小さい。また、異列の対応するプローブについては、それらの夾角が同じである。例えば、第１列のプローブ１２−１と第２列のプローブ１２−３の何れの夾角もθ_１であり、第１列のプローブ１２−２と第２列のプローブ１２−４の何れの夾角もθ_２である。また、図１Ｂにおいて、それぞれのプローブの夾角は、何れも同じであるが、それぞれの列のプローブの接触部の長さは異なっている。

本考案は、多層のプローブ列構造を有し、それぞれの列のプローブが等長の接触部構造を持つこと、および異列における対応するプローブが異なる曲げ角度を持つことにより、高密度と小さなピッチ（ｐｉｔｃｈ）の電気接点分布を持つウエハに対して、電気的検出を行うプローブモジュールを提供する。

一実施例において、本考案は、スルーホールを有する基材と、それぞれ基材に固設され、第１方向において第１側から第２側へ配列されており、第２方向へ配列された少なくとも２つのプローブをそれぞれ有し、それぞれのプローブが接触部、及び一端が基材に接続され且つ他端がスルーホールの方向へ延びて接触部と接続し、接触部と夾角をなすカンチレバー部を有し、それぞれのプローブ列のプローブが等長の接触部を有する少なくとも４つのプローブ列と、を備え、それぞれのプローブ列の複数のプローブの夾角の大きさは、第１方向においては、第１側から第２側へ漸増するプローブモジュールを提供する。

別の実施例において、本考案は、スルーホールを有する基材と、それぞれ基材に固設され、第１方向において第１側から第２側へ配列されており、第２方向へ配列された少なくとも２つのプローブをそれぞれ有し、少なくとも２つの第１プローブ列のプローブ数が異なり、それぞれのプローブが接触部、及び一端が基材に接続され且つ他端がスルーホールの方向へ延びて接触部と接続し、接触部と夾角をなすカンチレバー部を有し、それぞれのプローブ列のプローブが等長の接触部を有する少なくとも４つの第１プローブ列と、を備え、２つの隣接する第１プローブ列においては、第１側に近い第１プローブ列における最も大きな夾角のプローブの夾角が、第２側に近い第１プローブ列における最も小さな夾角のプローブの夾角の以下であることにより、隣接するそれぞれの第１プローブ列の複数のプローブの夾角の大きさは、前記第２方向においては、第１側から第２側へ漸増するプローブモジュールを更に提供する。

従来技術によるプローブモジュールの有する多層プローブ構造の模式図である。 従来技術によるプローブモジュールの有する多層プローブ構造の模式図である。 本考案の実施例に係るプローブモジュールの側面かつ部分断面の模式図である。 図２における局所領域３を拡大した斜視模式図である。 本考案の各プローブ列における対応するプローブセット内の各プローブの夾角関係の模式図である。 プローブの接触部の長さ誤差の模式図である。 プローブの接触部の長さ誤差の模式図である。 本考案のプローブ配置の別の実施例の模式図である。 本考案のプローブ配置のさらに他の実施例の模式図である。 本考案のプローブ配置のさらに他の実施例の模式図である。 本考案の非対称のプローブ配置の位置の実施例の模式図である。

本考案は、半導体又は光電のテストに用いられるプローブカード用プローブモジュールを開示し、プローブカード及びプローブの使用原理と基本機能については、当業者に明らかであるため、以下の説明では、完全に記述しないことにする。同時に、以下の参照図面は、本考案の特徴に関する構造を模式的に示すものであるので、必ずしも実際の寸法に応じて完全に作成する必要がないことを、前もって説明する。

図２に示すものを参照されたい。図２は、本考案の実施例に係るプローブモジュールの側面かつ部分断面の模式図である。プローブモジュール２は、基材２０と、それぞれ基材２０に固設された４つのプローブ列２１〜２４と、を備える。基材２０には、辺縁２０１を有するスルーホール２００があり、また、周囲構造２０２を有する。本実施例においては、４つのプローブ列２１〜２４は、スルーホール２００の辺縁２０１側と基材２０の周囲構造２０２との間に固設されているが、これに限定されるものではない。プローブ列２１〜２４を強くホールドするために、基材２０には、更に、プローブ列２１〜２４をホールドするためのホルダー２６がある。また、説明すべきなのは、ホルダー２６の後のプローブの端部は、基材２０の有する電気接点のレイアウトに応じてはんだ付けされ、必ずしも図２に示す一致的に配列するものではないため、プローブの末端が基材２０に接続される位置は、必要に応じて決められ、図２に示す態様に限定されるものではない。

図３に示すものを参照されたい。図３は、図２における局所領域３を拡大した斜視模式図である。プローブ列２１〜２４のプローブは、被測定ウエハ９における電気接点９０と電気的に接触して、被測定ウエハ９の電気的特性を検出する。同列の電気接点については、隣接する電気接点９０のピッチ（ｐｉｔｃｈ）ｄは、４０μｍ以下である。本実施例において、複数のプローブ列２１〜２４は、第１方向Ｘに沿って、第１側９１から第２側９２へ配列されている。それぞれのプローブ列２１〜２４には、第２方向Ｙにおいて複数のプローブを有し、そのうち少なくとも２つのプローブが１組のプローブセットとされ、それぞれのプローブ列には、複数のプローブセットを有する。前記配列方式は、各プローブの先端（接触部２５０）を配列の基準としている。プローブの先端とは、プローブの被測定ウエハ９における電気接点９０に接触する部分を指す。本実施例において、第１方向Ｘにおける第１側９１は、基材２０の周囲構造２０２側であり、第２側９２は、スルーホール２００の辺縁２０１側である。本実施例において、それぞれのプローブ列２１〜２４には、第２方向Ｙにおいて、数が同じ且つ第１方向Ｘにおいて互いに対応する複数のプローブセット２１０ａ〜２４０ａを有する。例えば、プローブ列２１には、Ｙ方向において複数のプローブセット２１０ａ〜２１０ｎを有し、プローブ列２２には、Ｙ方向において複数のプローブセット２２０ａ〜２２０ｎを有し、プローブ列２３には、Ｙ方向において複数のプローブセット２３０ａ〜２３０ｎを有し、プローブ列２４には、Ｙ方向において複数のプローブセット２４０ａ〜２４０ｎを有する。なお、それぞれのプローブセット２１０ａ〜２１０ｎ、２２０ａ〜２２０ｎ、２３０ａ〜２３０ｎ及び２４０ａ〜２４０ｎは、Ｘ方向において互いに対応して配列されている。例えば、プローブ列２１〜２４が有する第１プローブセット２１０ａ、２２０ａ、２３０ａ及び２４０ａは、Ｘ方向において互いに対応して配列されており、その他はこれによって類推する。

本実施例において、それぞれのプローブセットには、第１プローブ２５ａ及び第２プローブ２５ｂを含み、それぞれのプローブ列２１〜２４における互いに対応するプローブセット（２１０ａ〜２１０ｎ、２２０ａ〜２２０ｎ、２３０ａ〜２３０ｎ及び２４０ａ〜２４０ｎ）の有する第１プローブ２５ａ及び第２プローブ２５ｂは、それぞれ第１方向Ｘにおいて互いに対応して位置合わせる。図３と図４に示すものを参照されたい。各第１プローブ２５ａ及び第２プローブ２５ｂは、それぞれ接触部２５０と、一端が基材２０に接続され、他端がスルーホール２００の方向へ延びて接触部２５０と互いに接続して、接触部２５０と夾角をなすカンチレバー部２５１を有し、それぞれのプローブ列２１〜２４の第１プローブ２５ａ及び第２プローブ２５ｂは、等長の接触部２５０を有する。例えば、プローブ列２１において、それぞれのプローブセット２１０ａ〜２１０ｎの有する第１プローブ２５ａ及び第２プローブ２５ｂにおける接触部２５０の長さが同じであり、他のプローブ列２２〜２４についても同じである。説明すべきなのは、本考案で長さが同じであるというのは、高度差を許容可能であり、例えば、図５Ａに示すように、同一のプローブセットについて、その第１プローブ２５ａ及び第２プローブ２５ｂの接触部２５０には、絶対値が０以上且つ１ミル（ｍｉｌ、千分の１インチ）以下である高度差Δｄがある。

再び図３と図４に示すものを参照されたい。本実施例においては、それぞれのプローブセット（２１０ａ〜２１０ｎ、２２０ａ〜２２０ｎ、２３０ａ〜２３０ｎ及び２４０ａ〜２４０ｎ）内におけるプローブは、２つずつであるが、他の実施例においては、３つ以上であってもよい。図５Ｂに示すように、それぞれのプローブセットには３つ以上のプローブがあれば、例えば第１、第２及び第３プローブ２５ａ〜２５ｃの３つのプローブを例として、何れの２つのプローブの高度の差の絶対値も、１ミル以下である。例えば、
｜ｈａ−ｈｂ｜≦１ｍｉｌ、
｜ｈａ−ｈｃ｜≦１ｍｉｌ、及び
｜ｈｂ−ｈｃ｜≦１ｍｉｌである。

再び図３と図４に示すものを参照されたい。本考案において、夾角とは、接触部２５０の中心線とカンチレバー部２５１の中心線との夾角として定義される。本実施例において、隣接するプローブの接触部２５０の中心線の間の距離は、４０μｍ以下である。

本考案で配置されたプローブの有する接触部２５０とカンチレバー部２５１との夾角は、それぞれのプローブ列２１〜２４における対応するプローブセット（２１０ａ〜２１０ｎ、２２０ａ〜２２０ｎ、２３０ａ〜２３０ｎ及び２４０ａ〜２４０ｎ）の有する、第１方向Ｘにおける対応の第１プローブ２５ａ及び第２プローブ２５ｂの夾角の大きさが、基材２０の周囲構造２０２側からスルーホール２００の辺縁２０１側へ漸増することを特徴とする。図３におけるプローブセット２１０ａ、２２０ａ、２３０ａ及び２４０ａを例として、図４を参照しながら説明する。図４において、それぞれのプローブ列２１〜２４の有するプローブセット２１０ａ、２２０ａ、２３０ａ及び２４０ａは、それぞれ第１プローブ２５ａ及び第２プローブ２５ｂを有する。それぞれのプローブセット２１０ａ、２２０ａ、２３０ａ及び２４０ａにおける第１プローブ２５ａ及び第２プローブ２５ｂは、第２方向Ｙにおける位置が互いに対応しており、プローブセット２１０ａの第１プローブ２５ａ及び第２プローブ２５ｂはそれぞれ夾角θ_１及びθ_２を有し、プローブセット２２０ａの第１プローブ２５ａ及び第２プローブ２５ｂはそれぞれ夾角θ_３及びθ_４を有し、プローブセット２３０ａの第１プローブ２５ａ及び第２プローブ２５ｂはそれぞれ夾角θ_５及びθ_６を有し、プローブセット２４０ａの第１プローブ２５ａ及び第２プローブ２５ｂはそれぞれ夾角θ_７及びθ_８を有する。本実施例においては、各セットにおける対応する第１プローブ２５ａ及び第２プローブ２５ｂの有する夾角関係は、θ_１＜θ_２＜θ_３＜θ_４＜θ_５＜θ_６＜θ_７＜θ_８であり、即ち、基材２０の周囲構造２０２側からスルーホール２００の辺縁２０１側へ漸増する。言い換えると、第２プローブ列における最も小さな夾角のプローブの角度θ_３は、第１プローブ列における最も大きな夾角のプローブの角度θ_２よりも大きく、これによって類推する。なお、図３に示すように、第１プローブ２５ａ及び第２プローブ２５ｂはそれぞれ長さＴ_１、Ｔ_２の接触部を有し、プローブセット２２０ａの第１プローブ２５ａ及び第２プローブ２５ｂはそれぞれ長さＴ_３、Ｔ_４の接触部を有し、プローブセット２３０ａの第１プローブ２５ａ及び第２プローブ２５ｂはそれぞれ長さＴ_５、Ｔ_６の接触部を有し、プローブセット２４０ａの第１プローブ２５ａ及び第２プローブ２５ｂはそれぞれ長さＴ_７、Ｔ_８の接触部を有し、ただし、Ｔ_７＝Ｔ_８＞Ｔ_５＝Ｔ_６＞Ｔ_３＝Ｔ_４＞Ｔ_１＝Ｔ_２である。図３と図４により説明すると、本実施例においては、それぞれのプローブ列２１〜２４には、隣接する第１プローブ列及び第２プローブ列を有し、第２プローブ列のプローブの接触部が第１プローブ列のプローブの接触部よりも大きく、例えば、第１プローブ列がプローブ列２１である場合、第２プローブ列はプローブ列２２となり、プローブ列２２の接触部Ｔ_３及びＴ_４がプローブ列２１の接触部Ｔ_１及びＴ_２よりも大きい。ここで、特に説明すべきなのは、第２プローブ列２２のプローブセットのプローブ数は、第１プローブ列２１のプローブセットのプローブ数とは等しくないことである。

なお、本考案の実施例において、それぞれのプローブ列２１〜２４の有する互いに対応するプローブセット（２１０ａ〜２１０ｎ、２２０ａ〜２２０ｎ、２３０ａ〜２３０ｎ及び２４０ａ〜２４０ｎ）においては、第１プローブ２５ａの夾角は、第２プローブ２５ｂの夾角よりも小さく、スルーホール２００の辺縁２０１に最も近いプローブ列の有するそれぞれのプローブセットにおける第１プローブ２５ａの夾角と第２プローブ２５ｂの夾角の角度差の絶対値は、２度以上である。図３と図４を参照して説明すると、本実施例においては、スルーホール２００の辺縁２０１に最も近いものはプローブ列２４であり、また、プローブ列２４の有するそれぞれのプローブセット２４０ａ〜２４０ｎにおける第１プローブ２５ａの夾角θ_７と第２プローブ２５ｂの夾角θ_８の角度差の絶対値は、｜θ_８−θ_７｜≧２°である。

スルーホール２００の辺縁２０１側に最も近いプローブ列の有するそれぞれのプローブセット内の第１プローブ２５ａの夾角と第２プローブ２５ｂの夾角の角度差は、基材２０の周囲構造２０２側に最も近いプローブ列における対応するプローブセット内の第１プローブ２５ａの夾角と第２プローブ２５ｂの夾角の角度差以上である。同様に、図３と図４を参照して説明すると、本実施例においては、スルーホール２００の辺縁２０１側に最も近いものは、プローブ列２４であり、それが有するそれぞれのプローブセット２４０ａ〜２４０ｎ内の第１プローブ２５ａの夾角θ_７と第２プローブ２５ｂの夾角θ_８の角度差の絶対値は、基材２０の周囲構造２０２側に最も近いプローブ列２１における対応するプローブセット２１０ａ〜２１０ｎ内の第１プローブ２５ａの夾角θ_１と第２プローブ２５ｂの夾角θ_２の角度差の絶対値以上であり、即ち、｜θ_８−θ_７｜≧｜θ_２−θ_１｜である。

なお、本考案のプローブの有する夾角の別の特徴は、スルーホール２００の辺縁２０１側におけるプローブ列のそれぞれのプローブセットの有する第１プローブの夾角と、隣接するプローブ列における対応するプローブセット内の第２プローブの夾角の角度差は、１度以上であることである。図３と図４により説明すると、本実施例においては、スルーホール２００の辺縁２０１側は、プローブ列２４となり、プローブセット２４０ａを例とし、それが有する第１プローブ２５ａの夾角θ_７と、隣接するプローブ列２３における対応するプローブセット２３０ａの第２プローブ２５ｂの夾角θ_６の夾角の角度差の絶対値は、１度以上であり、即ち、｜θ_７−θ_６｜≧１°である。

本実施例において、前記角度差の特徴を引き続き、スルーホール２００の辺縁２０１側に最も近いプローブ列におけるそれぞれのプローブセットの有する第１プローブの夾角と、隣接するプローブ列の有する対応のプローブセット内の第２プローブの夾角の角度差の絶対値は、基材２０の周囲構造２０２側に最も近いプローブ列における対応するプローブセットの有する第２プローブの夾角と、隣接するプローブ列の有する対応のプローブセット内の第１プローブの夾角の角度差の絶対値以上である。同様に、図３と図４により説明すると、本実施例においては、スルーホール２００の辺縁２０１側はプローブ列２４となり、プローブセット２４０ａを例とし、それが有する第１プローブ２５ａの夾角θ_７と、隣接するプローブ列２３における対応するプローブセット２３０ａ内の第２プローブ２５ｂの夾角θ_６の夾角の角度差の絶対値は｜θ_７−θ_６｜であり、前記基材２０の周囲構造２０２側に最も近いプローブ列２１における対応するプローブセット２１０ａ内の第２プローブ２５ｂの夾角θ_２と、隣接するプローブ列２２の有する対応のプローブセット２２０ａ内の第１プローブ２５ａの夾角θ_３の角度差は｜θ_３−θ_２｜であり、更に｜θ_７−θ_６｜≧｜θ_３−θ_２｜である。

また、前記関係におけるプローブの有する夾角番号θ_ｎの番号付け方式については、以下のように説明する。図３と図４に示すものを参照されたい。基板２０の周囲構造２０２側に最も近いプローブセットから始め、第１方向Ｘの原点Ｏ側に近いプローブから、先に第２方向Ｙに沿って、プローブセットのすべてのプローブに夾角番号を与えたまで順次に番号を与え、更に、第１方向Ｘに沿って次のプローブセットに変わって、再び第２方向Ｙに沿って順次に番号を与えるように、すべての対応のプローブセット内のプローブの夾角番号θ_１〜θ_ｎを完成するまで、順次に行う。以上の角度の特徴を総合すると、次のような関係としてまとめることができる。
θ_１＜θ_３＜…θ_ｎ−３＜θ_ｎ−１
θ_２＜θ_４＜…θ_ｎ−２＜θ_ｎ
｜θ_ｎ−θ_ｎ−１｜≧２°
｜θ_ｎ−１−θ_ｎ−２｜≧１°
｜θ_２−θ_１｜≦｜θ_ｎ−θ_ｎ−１｜
｜θ_３−θ_２｜≦｜θ_ｎ−１−θ_ｎ−２｜

説明すべきなのは、前記図２〜４に示す実施例においては、４列のプローブ列２１〜２４であるが、それに限定されるものではなく、４列以上のプローブ列であれば、何れも前記夾角の関係を適用できることである。なお、前記それぞれのプローブセットのプローブ数は２本であるが、実施する際、それに限定されるものではなく、３本以上のプローブであれば、何れも前記夾角の関係によって実施することができる。

例えば、ｍ列のプローブ列（ｍ≦９）について、それぞれのプローブセットにはａ本のプローブを有する場合（本実施例では、ａ＝２）、前記精神に基づいて、即ち、マトリックス型のプローブに対して、それぞれのプローブセットにおける対応するプローブの夾角関係は、次のような関係式（１）〜（３）としてまとめることができる。

ただし、前記ｎ＝Ｆ（ｍ，ａ）において、ｍが列数であり、ｍ≦９であり、ａがそれぞれのプローブ列におけるプローブセットの有するプローブ番号であり、１≦ａである。上記関係式（１）は、第１方向において、同じプローブセット且つ同一のプローブ番号に対応するプローブ夾角の角度が漸増することを示す。図２〜４に示す実施例において、ａが１又は２であってよいため、関係式（１）を関係式（２）、（３）に切り替えてよい。一実施例において、列数ｍの最大値ｍ_ｍａｘの範囲は、４≦ｍ≦９である。他の関係式は、次のようにまとめることができる。

ただし、ａ_ｍａｘは、それぞれのプローブセットのプローブ番号の最大値である。関係式（４）は、同列のプローブに対して、隣接する２つのプローブの有する夾角の角度差の絶対値が２度以上であることを示す。関係式（４）の限定条件は、（ａ＋１）≦ａ_ｍａｘである。関係式（５）は、隣接する２つのプローブ列に対して、第１方向の第２側に近いプローブ列（ｍ＋１）における最も小さな夾角のプローブの夾角と第１方向の第１側に近いプローブ列ｍにおける最も大きな夾角のプローブの夾角の角度差の絶対値は１度以上であることを示す。その他の関係式は、次のようにまとめることができる。

ただし、関係式（６）は、同列（ｍ＜ｍ_ｍａｘ）のプローブに対して、隣接する２つのプローブ（ａ＋１及びａ）の有する夾角の角度差の絶対値は、プローブ列ｍ_ｍａｘにおける対応する２つのプローブ（ａ＋１及びａ）の夾角の角度差の絶対値の以下であることを示す。関係式（６）において、ｍ＝１、ａ＝１であれば、関係式（６）を関係式（７）に切り替えてよい。その他の関係式は、次のようにまとめることができる。

関係式（８）は、隣接する２つのプローブ列（ｍ及びｍ＋１、ただし（ｍ＋１）＜ｍ_ｍａｘ）に対して、第１方向の第２側に近いプローブ列（ｍ＋１）における最も小さな夾角のプローブの夾角と第１方向の第１側に近いプローブ列ｍにおける最も大きな夾角のプローブの夾角の角度差の絶対値は、第１方向における最後列（ｍ_ｍａｘ）のプローブ列における最も小さな夾角のプローブの夾角とその直前の列（ｍ_ｍａｘ−１）のプローブ列における最も大きな夾角のプローブの夾角の角度差の絶対値の以下であることを示す。関係式（８）において、ｍ＝１、ａ＝１であれば、関係式（８）を関係式（９）に切り替えてよい。

また、図３に示す第１方向と第２方向は、同一平面においての互いに垂直するＸとＹ方向に限定されるものではない。別の実施例において、本考案のプローブ配置の別の実施例を示す模式図を図６に示す。本実施例において、プローブの配置方式としては、第１方向が円弧方向（θ）であり、第２方向が径方向（ｒ）である。このような円弧方向（θ）と径方向（ｒ）で定義された座標系で、図６の実施例において、同様に４つのプローブ列２１〜２４を有し、それぞれのプローブ列には複数のプローブセット２１０ａ〜２１０ｆを有する。同様に、それぞれのプローブ列２１〜２４においては、対応するプローブモジュール２１０ａ、２２０ａ、２３０ａ及び２４０ａ、並びに対応する第１プローブ２５ａ及び第２プローブ２５ｂをも有する。プローブの夾角の関係については、以上の説明の通りであるが、ここで詳しく説明しない。

図７Ａと７Ｂに示すものを参照されたい。図７Ａと７Ｂは、本考案に係るプローブモジュールの有するプローブ配置のさらに他の実施例の模式図である。本実施例においては、図２〜４に示す構成とほぼ類似であるが、更にスルーホール２００の辺縁２０１とスルーホール２００の辺縁２０１に最も近いプローブ列２４の間に設置された別のプローブ列２７を有し、プローブ列２７に複数のプローブ２７０ａを有し、各プローブ２７０ａがそれぞれ１組のプローブセットに対応する点が異なっている。このさらに他の実施例の主な特徴は、元の各プローブ列２１〜２４において互いに対応するプローブセット、例えばプローブセット２１０ａ〜２４０ａにおいて、前記プローブセット２１０ａ〜２４０ａと対応する単一のプローブ２７０ａを更に付加し、即ち、前記図２〜４に示す構成で、互いに対応する各プローブセットに、対応する単一のプローブを付加してよいことにある。前記単一のプローブがプローブセットと対応する特徴は、図６に示す円弧方向（θ）と径方向（ｒ）構成でのプローブ構造分布に応用されてもよい。

図８に示すものを参照されたい。図８は、本考案の非対称のプローブ配置の位置のさらに１つの実施例を示す模式図である。非対称の配置とは、それぞれのプローブ列に有するプローブ数が異なること、又はプローブ数が同じである一部のプローブ列と他の異なるプローブ数のプローブ列により組み合わせてなるものを指す。本実施例において、図８に示す長方形のボックスは、それぞれのプローブの接触部が被測定ウエハ９の電気接点９０に対応する位置を示す。

このさらに１つの実施例において、第１方向Ｘに沿って順次に配列された９つのプローブ列４０〜４８があり、プローブ列４０〜４４には、それぞれ第２方向Ｙに沿って順次に配列された複数のプローブを有するが、プローブ列４５〜４８には、それぞれ１つのプローブを有する。プローブ列４０にはプローブ４００〜４０３を有し、プローブ列４１にはプローブ４１０〜４１２を有し、プローブ列４２にはプローブ４２０〜４２１を有し、プローブ列４３にはプローブ４３０〜４３１を有し、プローブ列４４にはプローブ４４０〜４４１を有し、そのプローブの有する構造は、図４に示すプローブ構造と同じであり、プローブのカンチレバー部と接触部が夾角をなす。本考案の精神によって、それぞれのプローブ列の複数のプローブの夾角の大きさは、第１方向Ｘにおいては被測定ウエハ９の第１側９１から第２側９２へ漸増する。

本実施例において、プローブ４００〜４０３は、等しい接触部長さＬ０を有し、且つそれぞれのプローブ４００〜４０３の夾角はそれぞれθ_４００、θ_４０１、θ_４０２及びθ_４０３である。プローブ４１０〜４１２は、等しい接触部長さＬ１を有し、且つそれぞれのプローブ４１０〜４１２の夾角は、それぞれθ_４１０、θ_４１１及びθ_４１２である。プローブ４２０〜４２１は、等しい接触部長さＬ２を有し、且つそれぞれのプローブ４２０〜４２１の夾角は、それぞれθ_４２０及びθ_４２１である。プローブ４３０〜４３１は、等しい接触部長さＬ３を有し、且つそれぞれのプローブ４３０〜４３１の夾角は、それぞれθ_４３０及びθ_４３１である。プローブ列４４の有するプローブ４４０〜４４１は、等しい接触部長さＬ４を有し、且つそれぞれのプローブ４４０〜４４１の夾角はそれぞれθ_４４０及びθ_４４１である。プローブ４５０、４６０、４７０及び４８０の接触部長さは、Ｌ５〜Ｌ８であり、且つそれぞれのプローブ４５０〜４８０の夾角はそれぞれθ_４５０、θ_４６０、θ_４７０、θ_４８０である。接触部長さの関係はＬ１＜Ｌ２＜Ｌ３＜Ｌ４＜Ｌ５＜Ｌ６＜Ｌ７＜Ｌ８であり、角度の関係は２つの部分に分けられてよく、第２方向Ｙにおける夾角の関係は、
θ_４００＜θ_４０１＜θ_４０２＜θ_４０３、
θ_４１０＜θ_４１１＜θ_４１２、
θ_４２０＜θ_４２１、
θ_４３０＜θ_４３１、及び
θ_４４０＜θ_４４１である。

それぞれのプローブ列４０〜４４の第２方向Ｙに配列されたプローブは、その夾角が第２方向Ｙにおいて第１側から第２側へ漸増するという前記関係については、このさらに１つの実施例において、プローブ列４０を例にすると、第２方向Ｙにおける第１側はプローブ４００の側であり、第２方向Ｙにおける第２側はプローブ４０３の側である。実施する際、このさらに１つの実施例に限定されるものではない。一実施例において、第２方向Ｙにおける第１側はプローブ４０３の側であってよく、第２側はプローブ４００の側であってよく、依然として同様な関係がある。

また、異列のプローブピンにおいては、第１方向Ｘの角度が漸増する傾向で、何れの隣接する２つのプローブ列において、第１方向Ｘの第２側９２に近い最も小さな夾角を有するプローブの夾角は、第１方向Ｘの第１側９１に近いプローブ列における最も大きな夾角を有するプローブの夾角よりも大きく、且つその角度差は１度以上である。前記角度差は、以下に隣接プローブ列角度差と略称される。そして、前記何れの隣接プローブ列角度差（第２側に最も近い最後の２つのプローブ列ではない）が第２側９２に最も近い最後の２つのプローブ列の隣接プローブ列角度差の以下であるため、図８の角度の関係を、次のように示す。
θ_４１０−θ_４０３≧１°、
θ_４２０−θ_４１２≧１°、
θ_４３０−θ_４２１≧１°、
θ_４４０−θ_４３１≧１°、
θ_４５０−θ_４４１≧１°、
θ_４６０−θ_４５０≧１°、
θ_４７０−θ_４６０≧１°、
θ_４８０−θ_４７０≧１°、及び
θ_４１０−θ_４０３≦θ_４８０−θ_４７０である。

説明すべきなのは、上記最後の角度関係θ_４１０−θ_４０３≦θ_４８０−θ_４７０は、プローブ列４０及び４１とプローブ列４７及び４８で比較したが、プローブ列４２−４６の中の何れの２つの隣接するプローブ列の隣接プローブ列角度差もθ_４８０−θ_４７０の以下である。

また、同一のプローブ列の異なるプローブピンにおいても、隣接する２つのプローブの角度差の絶対値は２度以上である関係が存在し、第１プローブ列４０を例とし、即ち、
｜θ_４０１−θ_４００｜≧２°、
｜θ_４０２−θ_４０１｜≧２°、及び
｜θ_４０３−θ_４０２｜≧２°である。

以上のように説明した具体的な実施例は、本考案の特点及び効果を例示するためのものだけで、本考案の実施可能な範囲を制限するためのものではなく、本考案に開示した精神と技術範囲から逸脱しない限り、本考案に開示した内容を用いて達した等価な修正や変更は、何れも後の実用新案登録請求の範囲に含まれる。

２ プローブモジュール
２０ 基材
２００ スルーホール
２０１ 辺縁
２０２ 周囲構造
２１〜２４ プローブ列
２１０ａ〜２１０ｎ、２２０ａ〜２２０ｎ、２３０ａ〜２３０ｎ、２４０ａ〜２４０ｎ プローブセット
２５ａ 第１プローブ
２５ｂ 第２プローブ
２５ｃ 第３プローブ
２５０ 接触部
２５１ カンチレバー部
２６ ホルダー
２７ プローブ列
２７０ａ プローブ
３ 局所領域
４０〜４８ プローブ列
４００〜４０３、４１０〜４１２、４２０〜４２１、４３０〜４３１、４４０〜４４１ プローブ
４５０、４６０、４７０、４８０ プローブ
９ 被測定ウエハ
９０ 電気接点
９１ 第１側
９２ 第２側
夾角の関係 θ_１＜θ_２＜θ_３＜θ_４＜θ_５＜θ_６＜θ_７＜θ_８

Claims (20)

1. スルーホールを有する基材と、
   それぞれ前記基材に固設され、第１方向において第１側から第２側へ配列されており、第２方向へ配列された少なくとも２つのプローブをそれぞれ有し、それぞれのプローブが接触部、及び一端が前記基材に接続され且つ他端が前記スルーホールの方向へ延びて前記接触部と接続し、前記接触部と夾角をなすカンチレバー部を有し、それぞれのプローブ列のプローブが等長の接触部を有する、少なくとも４つのプローブ列と、
   を備え、
   それぞれのプローブ列の前記プローブの夾角の大きさは、前記第１方向においては、前記第１側から前記第２側へ漸増するプローブモジュール。
2. それぞれのプローブ列のプローブは、前記第２方向において互いに位置合わせて配列されている請求項１に記載のプローブモジュール。
3. それぞれのプローブ列には、隣接する第１プローブ及び第２プローブを有し、前記第１プローブの夾角が前記第２プローブよりも小さく、前記第１プローブの夾角と前記第２プローブの夾角の角度差の絶対値が２度以上である請求項１に記載のプローブモジュール。
4. 前記少なくとも２つのプローブは、１組のプローブセットとなり、それぞれのプローブ列には、複数のプローブセットを有する請求項１に記載のプローブモジュール。
5. 前記少なくとも４つのプローブ列には、隣接する第１プローブ列及び第２プローブ列を有し、前記第２プローブ列のプローブの接触部が、前記第１プローブ列のプローブの接触部よりも大きい請求項４に記載のプローブモジュール。
6. 前記第２プローブ列における最も小さな夾角のプローブの角度は、前記第１プローブ列における最も大きな夾角のプローブの角度よりも大きい請求項５に記載のプローブモジュール。
7. 前記第２プローブ列における最も小さな夾角のプローブ及び前記第１プローブ列における最も大きな夾角のプローブの角度差の絶対値は、１度以上である請求項６に記載のプローブモジュール。
8. 前記第２プローブ列のプローブセットのプローブ数は、前記第１プローブ列のプローブセットのプローブ数とは等しくない請求項５に記載のプローブモジュール。
9. 隣接するプローブの接触部の中心線の距離は、４０μｍ以下である請求項１に記載のプローブモジュール。
10. 前記等長の接触部の誤差範囲は、０以上且つ１ミル（ｍｉｌ）以下である請求項１に記載のプローブモジュール。
11. 前記スルーホールの辺縁と前記スルーホールの辺縁に最も近いプローブ列との間に設置されおり、それぞれ１組のプローブセットに対応する第３プローブを複数有する第５プローブ列を更に備える請求項４に記載のプローブモジュール。
12. 前記プローブ列の列数は、９以下である請求項１に記載のプローブモジュール。
13. 前記第２側に最も近いプローブ列における第１プローブの夾角と、隣接する第２プローブの夾角の角度差の絶対値は、前記第１側に最も近いプローブ列における第１プローブの夾角と、隣接する第２プローブの夾角の角度差の絶対値の以上である請求項３に記載のプローブモジュール。
14. 第１方向の第２側に近いプローブ列における最も小さな夾角のプローブの夾角と第１方向の第１側に近いプローブ列における最も大きな夾角のプローブの夾角の角度差の絶対値は、第１方向の最後列のプローブ列における最も小さな夾角のプローブの夾角とその直前の列のプローブ列における最も大きな夾角のプローブの夾角の角度差の絶対値の以下である請求項１に記載のプローブモジュール。
15. スルーホールを有する基材と、
    それぞれ前記基材に固設され、第１方向において第１側から第２側へ配列されており、第２方向へ配列された少なくとも２つのプローブをそれぞれ有し、少なくとも２つの第１プローブ列のプローブ数が異なり、それぞれのプローブが接触部、及び一端が前記基材に接続され且つ他端が前記スルーホールの方向へ延びて前記接触部と接続し、前記接触部と夾角をなすカンチレバー部を有し、それぞれのプローブ列のプローブが等長の接触部を有する少なくとも４つの第１プローブ列と、
    を備え、
    ２つの隣接する第１プローブ列においては、前記第１側に近い第１プローブ列における最も大きな夾角のプローブの夾角は、前記第２側に近い第１プローブ列における最も小さな夾角のプローブの夾角よりも小さいプローブモジュール。
16. それぞれの第１プローブ列の前記第２方向に配列されたプローブは、その夾角が前記第２方向において第１側から第２側へ漸増する請求項１５に記載のプローブモジュール。
17. それぞれの第１プローブ列における隣接する２つのプローブの夾角の角度差の絶対値は、２度以上である請求項１５に記載のプローブモジュール。
18. 前記第１側に近い第１プローブ列における最も大きな夾角のプローブの夾角と前記第２側に近い第１プローブ列における最も小さな夾角のプローブの夾角の角度差の絶対値は、１度以上である請求項１５に記載のプローブモジュール。
19. それぞれ１つのプローブを有する少なくとも１つの第２プローブ列を更に備え、隣接する第１プローブ列と第２プローブ列においては、前記第１側に近い第１プローブ列における最も大きな夾角のプローブの夾角と前記第２側に近い第２プローブ列におけるプローブの夾角の角度差の絶対値は１度以上である請求項１５に記載のプローブモジュール。
20. 前記第１方向において、隣接する２つの第２プローブ列の有するプローブにおける前記第１側に近いプローブの夾角は、前記第２側に近いプローブの夾角よりも小さい請求項１９に記載のプローブモジュール。
    

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