TW201350935A - 偏光紫外線照射裝置 - Google Patents

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TW201350935A TW102114169A TW102114169A TW201350935A TW 201350935 A TW201350935 A TW 201350935A TW 102114169 A TW102114169 A TW 102114169A TW 102114169 A TW102114169 A TW 102114169A TW 201350935 A TW201350935 A TW 201350935A
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Eiichi Azami
Yasufumi Kawanabe
Hirokazu Ishitobi
Masayuki Ohno
Yukimasa Saito
Toshiyuki Kunieda
Fusaki Yanagidaira
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Iwasaki Electric Co Ltd
Eye Graphics Co Ltd
Iinuma Gauge Mfg Co Ltd
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Abstract

本發明提供一種防止異物混入至被照射物中之偏光紫外線照射裝置。本發明之偏光紫外線照射裝置1係設為如下構成：其係具備具有線狀之紫外線光源7、反射紫外線之反射鏡8、及用以使所照射之紫外線成為直線偏光之線柵偏光元件10的照射器6者，且其具備旋轉機構60，該旋轉機構60係於至將被照射物2搬送至照射器6之下方位置為止期間，使該被照射物2相對於光源7之軸線L旋轉既定角度。

Description

偏光紫外線照射裝置
本發明係關於一種對被照射物照射偏光紫外線之偏光紫外線照射裝置。
先前，已知有藉由對配向膜或配向層(以下，將其等稱為「光配向膜」)照射偏光光束而進行配向之被稱為光配向之技術，該光配向被廣泛應用於液晶顯示面板之液晶顯示元件所具備之液晶配向膜之配向等。作為用於光配向之照射裝置，已知有以如下方式構成之裝置，即，具備具有光源與偏光元件之照射器，一面將形成有光配向膜之被照射物搬送至照射器之下方位置，一面對被照射物照射偏光光束。尤其是近年來，為了實現帶狀之較長之光配向膜之光配向，而亦提出有如下照射裝置：將光源設為線狀之燈，並且於該燈之長軸方向上排列有數個線柵(wire grid)偏光元件。
光配向膜之配向方向取決於線柵偏光元件之金屬線之方向(偏向軸之方向)。另一方面，使光配向膜產生之配向方向根據光配向膜之用途或種類等而存在各種差異。因此，先前提出有如下偏光紫外線照射裝置：具備將線狀之紫外線光源作為光源之照射器，可藉由使該照射器於與光配向膜面正交之軸之周圍旋轉而調整偏光軸之方向(例如，參照專利文獻1)。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利第4604661號公報
例如液晶顯示面板等被照射物必需潔淨度(class)10左右之潔淨度(cleanliness)，但於上述習知之構成中，由於將照射器配置於被照射物之上方，故而於因照射器之旋轉而產生之塵埃落下至被照射物上之情形時，有對被照射物之光學性能產生影響之虞。本發明係鑒於上述情況而完成者，其目的在於提供一種防止異物混入至被照射物中之偏光紫外線照射裝置。
為了達成上述目的，本發明係一種偏光紫外線照射裝置，其係具備具有線狀之紫外線光源、反射紫外線之反射鏡、及用以使所照射之紫外線成為直線偏光之線柵偏光元件的照射器者；其特徵在於：具備旋轉機構，該旋轉機構於至將被照射物搬送至上述照射器之下方位置為止期間，使該被照射物相對於上述光源之軸線旋轉既定角度。
於上述構成中，亦可具備：搬送台，其搬送上述被照射物；往返驅動機構，其朝向上述照射器之下方位置直線性地往返驅動上述搬送台；及旋轉驅動機構，其為了使載置於上述搬送台上之被照射物相對於上述光源之軸線旋轉既定角度而旋轉驅動上述搬送台。
於上述構成中，亦可具備：角度調整裝置，其使被照射物相對於上述光源之軸線旋轉既定角度；搬送台，其搬送上述被照射 物；及機器人，其用以將被照射物自上述角度調整裝置載置於上述搬送台上。
於上述構成中，上述旋轉機構亦可具備3軸驅動機構，該3軸驅動機構係使上述被照射物於相互正交之2軸方向上移動而使該被照射物之中心與上述被照射物之旋轉軸位置對準，並使上述被照射物以該旋轉軸為中心相對於上述光源之軸線旋轉既定角度。
根據本發明，由於具備於至將被照射物搬送至照射器之下方位置為止期間使該被照射物相對於光源之軸線旋轉既定角度之旋轉機構，故而於被照射物上未配置旋轉物，因此可防止異物混入至被照射物。
1‧‧‧偏光紫外線照射裝置
2‧‧‧被照射物
3‧‧‧工作台(搬送台)
3A‧‧‧緣端
4、21‧‧‧平台
5‧‧‧照射器收容箱
6‧‧‧照射器
7‧‧‧燈(紫外線光源)
8‧‧‧反射鏡
10‧‧‧偏光元件單元(線柵偏光元件)
11‧‧‧驅動銷
12‧‧‧銷驅動機構
12A‧‧‧旋轉軸
15‧‧‧對準標記
20‧‧‧角度調整裝置(旋轉機構)
20A‧‧‧3軸驅動機構
22‧‧‧調整台
23‧‧‧旋轉驅動機構
23A、62‧‧‧馬達
24‧‧‧X軸調整機構
24A、25A、42‧‧‧線性軌道
24B、25B、44‧‧‧線性導軌
25‧‧‧Y軸調整機構
26‧‧‧角度調整裝置用攝影單元
26A、71‧‧‧攝影裝置
26B、26C、74‧‧‧支撐柱
27、61‧‧‧基盤
28‧‧‧固定銷
30‧‧‧機器人
31‧‧‧支臂
31A‧‧‧基部
32‧‧‧保持部
33‧‧‧保持桿
40‧‧‧往返驅動機構
41‧‧‧磁鐵盤
43‧‧‧線性馬達
50‧‧‧控制部
60‧‧‧旋轉驅動機構(旋轉機構)
61A‧‧‧馬達支撐部
70‧‧‧搬送用攝影單元
72‧‧‧攝影裝置用馬達
73‧‧‧支撐體
A‧‧‧直線
C、C1、C2‧‧‧軸
L‧‧‧長軸(軸線)
S‧‧‧被照射物2之面
X‧‧‧線性運動方向
Y‧‧‧正交方向
α°、-α°、θ°‧‧‧角度
圖1係示意性地表示本發明之實施形態之偏光紫外線照射裝置之平面圖。
圖2係示意性地表示偏光紫外線照射裝置之前視圖。
圖3係表示角度調整裝置之前視圖。
圖4係示意性地表示工作台之驅動銷突出之狀態之偏光紫外線照射裝置的前視圖。
圖5係自線性運動方向表示圖2中之旋轉驅動機構之圖。
圖6係表示被照射物之角度之微調整之說明圖，(A)表示微調整前，(B)表示微調整後。
圖7係表示攝影裝置與被照射物之關係之說明圖。
以下，參照圖式對本發明之實施形態進行說明。圖1係示意性地表示本實施形態之偏光紫外線照射裝置1之平面圖，圖2係示意性地表示偏光紫外線照射裝置1之前視圖。偏光紫外線照射裝置1係對被照射物2照射偏光光束而進行光配向之裝置，且具備工作台(搬送台)3、平台(surface plate)4、照射器收容箱5、照射器6、角度調整裝置20、機器人30、往返驅動機構40及控制部50。再者，於圖2中，省略了機器人30及角度調整裝置20。
於圖1中，工作台3係具有至少1個線狀之緣端3A之例如大致矩形板狀之台，且藉由機器人30將被照射物2載置於上表面。被照射物2係例如液晶顯示面板等薄板狀之面板體，且包含作為光配向對象之配向膜或配向層。平台4係支撐工作台3且可實現防振之台，於平台4上設置有朝向照射器6之下方位置直線性地往返驅動工作台3之往返驅動機構40，藉由該往返驅動機構40使工作台3沿線性運動方向X於平台4之面上往返移動。
本實施形態之往返驅動機構40係構成為線性馬達致動器(inear motor actuator)，如圖1及圖2所示，其係具備設置於平台4上之磁鐵盤41及線性軌道(linear rail)42、以及設置於工作台3上之線性馬達43及線性導軌(linear guide)44而構成。磁鐵盤41係沿工作台3之線性運動方向X呈直線狀配置，線性馬達43係以與該磁鐵盤41相對向之方式而配置。線性馬達43具有省略了圖示之線圈，於控制部50之控制下，使該線圈之磁極反轉，藉此，將線性導軌44導引至線性軌道42，而使工作台3沿線性運動方向X於平台4之面上往返移動。再者，往返驅動機構40並不限定於線性馬達致動器，可使用各種機構。又，線性軌道42並不限定於線性軌道，可使用各種軌道。
如圖2所示，照射器收容箱5係固定於平台4上、且在平台4之上方位置沿平台4之寬度方向(垂直於往返驅動機構40之線性運動方向X之方向)延伸的箱體。照射器6內置於照射器收容箱5中，且朝向平台4照射偏光光束。照射器6具備燈7、反射鏡8及偏光元件單元10，使偏光光束於藉由往返驅動機構40而於正下方移動之被照射物2之面s上聚光並照射。具體而言，燈7係至少與被照射物2之寬度同等以上地延伸之直管型(線狀)之紫外線燈，基於控制部50之控制而點亮。反射鏡8係剖面橢圓形、且沿燈7之長度方向延伸之柱狀凹面反射鏡，且對被照射物2照射反射光。
偏光元件單元10係配置於反射鏡8與被照射物2之間，使照射至被照射物2之光偏光。雖省略圖示，但該偏光元件單元10包括於燈7之長軸(軸線)L方向上排列之數個線柵偏光元件，線柵偏光元件之線之方向(偏向軸之方向)與燈7的長軸L方向一致。
機器人30具備：支臂31，其可沿往返驅動機構40之線性運動方向X往返移動；及保持部32，其固定於支臂31且保持被照射物2。支臂31之基部31A可於水平面上旋轉地支撐於平台4。機器人30基於控制部50之控制使支臂31移動(旋轉及伸縮)，而將被照射物2自偏光紫外線照射裝置1之外部載置於角度調整裝置20之調整台22上，並且將被照射物2自角度調整裝置20載置於工作台3上。本實施形態之支臂31係具有轉動自如之數個關節而伸縮自如地構成之多關節支臂，但支臂31之構成並不限定於此。保持部32係沿線性運動方向X平行地排列數個保持桿33而構成，被照射物2係配置於該等保持桿33上而移動至工作台3之上方。
圖3係表示角度調整裝置20之前視圖。角度調整裝置 20具備：平台21；調整台22，其載置被照射物2；旋轉驅動機構23，其使調整台22旋轉；X軸調整機構24，其使調整台22沿往返驅動機構40之線性運動方向X移動；Y軸調整機構25，其使調整台22沿與線性運動方向X正交之正交方向Y移動；及角度調整裝置用攝影單元26。平台21係支撐調整台22之台，於平台21上設置有旋轉驅動機構23。旋轉驅動機構23具備例如直接驅動(direct drive)方式之馬達23A，該馬達23A係以如下方式構成：可基於控制部50之控制以垂直於被照射物2之面S之軸C1為中心正反旋轉，且能夠以任意之角度停止。
於馬達23A安裝有基盤27，調整台22經由Y軸調整機構25及X軸調整機構24而支撐於基盤27。調整台22係大致矩形板狀之台，且藉由機器人30於上表面載置被照射物2。於調整台22上設置有數個自機器人30接收被照射物2之固定銷28。該等固定銷28係以可保持被照射物2之間隔配置於數個保持桿33(圖1)之間之位置。
X軸調整機構24具備：線性軌道24A，其安裝於調整台22且沿往返驅動機構40之線性運動方向X延伸；及線性導軌24B,其導引該線性軌道24A；且該X軸調整機構24於控制部50之控制下，藉由未圖示之驅動機構使調整台22於線性運動方向X上移動。Y軸調整機構25具備：線性軌道25A，其安裝於基盤27且沿與線性運動方向X正交之正交方向Y延伸；及線性導軌25B，其與線性導軌24B一體地形成且導引線性軌道25A；且該Y軸調整機構25於控制部50之控制下，藉由未圖示之驅動機構使調整台22於正交方向Y上移動。即，X軸調整機構24及Y軸調整機構25與旋轉驅動機構23一併構成針對被照射物2之3軸(軸C1、X軸、Y軸)而驅動之3軸驅動機構20A。再者，亦可將X軸調整機構24及Y軸調整機構25上下反轉地設置。
角度調整裝置用攝影單元26係具備攝影裝置26A而構成。該攝影裝置26A係藉由攝影而取入被照射物2之對準標記(alignment mark)15(圖6)，並輸出至控制部50之裝置，例如包含電荷耦合器件(CCD，Charge Coupled Device)攝影機。如圖1所示，本實施形態之攝影裝置26A係於對角設置有一對，各攝影裝置26A係如圖3所示般經由支撐柱26B、26C而固定於平台21。
圖4係示意性地表示工作台3之驅動銷11突出之狀態之偏光紫外線照射裝置1的前視圖。如圖1及圖4所示，於工作台3上設置有數個自機器人30接收被照射物2之驅動銷11。該等驅動銷11係以可保持被照射物2之間隔配置於數個保持桿33之間之位置，且藉由銷驅動機構12而上下移動。本實施形態之銷驅動機構12具備數個對應於沿線性運動方向X排列之驅動銷11之行而延伸且旋轉自如的旋轉軸12A，於該等旋轉軸12A中，在對應於驅動銷11之位置上設置有凸輪(未圖示)。因此，於控制部50之控制下，使旋轉軸12A旋轉，藉此使驅動銷11沿著凸輪之凸輪輪廓而上下移動。驅動銷11自工作台3之上表面突出並自機器人30接收被照射物2，其後，被收納於工作台3內，藉此，將被照射物2載置於工作台3之上表面。再者，銷驅動機構12並不限定於具備旋轉軸12A及凸輪之機構，可適用各種機構。又，於工作台3上，以於將被照射物2自機器人30交接至驅動銷11時，觸碰被照射物2之至少2邊而放置之方式設置有導引件(未圖示)。
又，偏光紫外線照射裝置1具備旋轉機構，該旋轉機構係於至將被照射物2搬送至照射器6之下方位置(即，照射器6之光所照射到之位置)為止期間，使被照射物2相對於長軸L旋轉既定角度。本實施形態之旋轉機構係構成為旋轉驅動工作台3之旋轉驅動機構 60，以下，對該旋轉驅動機構60進行詳細說明。圖5係自A方向觀察圖2中之旋轉驅動機構60之圖。旋轉驅動機構60具備基盤61及馬達62。基盤61係經由馬達62而支撐工作台3之台，且於基盤61之下部設置有上述往返驅動機構40之線性馬達43及線性導軌44，於基盤61之上部形成有旋轉自如地支撐馬達62之馬達支撐部61A。
馬達62係直接驅動方式之馬達，於馬達62上隔銷驅動機構12而安裝有工作台3。馬達62係以如下方式構成：可基於控制部50之控制以垂直於被照射物2之面S之軸C2為中心正反旋轉，且能夠以任意角度停止。因此，藉由驅動馬達62，使馬達62、銷驅動機構12及工作台3成為一體而以軸C2為中心旋轉，故而可將偏光紫外線相對於被照射物2之偏光軸角度設定為0~180°之任意角度。
然而，存在如下情形：自角度調整裝置20被載置於工作台3上之前，被照射物2之正確姿勢偏離，而使被照射物2相對於長軸L之角度之精度不充分。因此，於本實施形態中，於被照射物2設置一對對準標記(標記)15(參照圖6)，並且設置有讀取該對準標記15之搬送用攝影單元70。
如圖2所示，搬送用攝影單元70具備攝影裝置71、及使該攝影裝置71以垂直於被照射物2之面S之軸C為中心正反旋轉之攝影裝置用馬達72。攝影裝置71係藉由支撐體73而支撐於攝影裝置用馬達72，攝影裝置用馬達72係經由支撐柱74而固定於平台4。攝影裝置71係藉由攝影而取入被照射物2之對準標記15(圖4)並輸出至控制部50之裝置，例如包含CCD攝影機。如圖1所示，本實施形態之攝影裝置71沿長軸L而設置有一對。攝影裝置用馬達72係以藉由控制部50之控制而與工作台3之馬達62之旋轉同步地旋轉之方式構 成。
其次，參照圖1、圖6及圖7，對本實施形態之作用進行說明。圖6係表示被照射物2之角度之微調整之說明圖，圖6(A)表示微調整前，圖6(B)表示微調整後。圖7係表示攝影裝置71與被照射物2之關係之說明圖。於圖1中，在初始狀態下，工作台3位於機器人30側，並且工作台3之緣端3A處於與燈7之長軸L一致之初始姿勢，工作台3之驅動銷11係收納於工作台3內。首先，機器人30移動支臂31而自偏光紫外線照射裝置1之外部接收被照射物2，並將其載置於角度調整裝置20之固定銷28上。繼而，控制部50基於由攝影裝置26A輸出之對準標記15之位置，藉由X軸調整機構24及Y軸調整機構25，以使被照射物2之中心與成為馬達23A之旋轉中心之軸C1一致的方式進行被照射物2相對於調整台22之X軸方向及Y軸方向的定位。再者，X軸方向及Y軸方向之定位之順序可任意，又，亦可同時進行X軸方向及Y軸方向之定位。
其次，旋轉驅動機構23以使被照射物2成為如下正確姿勢之方式使調整台22旋轉，即，使被照射物2之一對邊相對於燈7之長軸L一致(平行)，使被照射物2之另外一對邊相對於燈之長軸L正交。此時，控制部50基於由攝影裝置26A輸出之對準標記15之位置算出使被照射物2成為正確姿勢所需之旋轉角度，並使馬達23A旋轉相當於該角度，從而對被照射物2之角度進行微調整。
若被照射物2成為正確姿勢，則機器人30移動支臂31而再次自調整台22接收被照射物2，並將被照射物2移動至工作台3上。此時，被照射物2觸碰至工作台3之導引件(未圖示)而被定位。繼而，驅動銷11自工作台3突出而支撐被照射物2，將被照射物2自機 器人30交接至驅動銷11。其次，機器人30自工作台3之上方撤回而返回至初始位置，並且驅動銷11被收納至工作台3內，從而將被照射物2載置於工作台3上。
如圖6(A)所示，藉由攝影裝置71對此時之被照射物2之一對對準標記15進行攝影，控制部50進行圖像處理而算出連結一對對準標記15之直線A與工作台3之緣端3A所成之偏離角度α。算出之結果為，若α>0或0>α，則如圖6(B)所示，使工作台3旋轉相當於-α°而進行微調整。再者，於本實施形態中，與燈7之長軸L一致之工作台3之緣端3A之資訊係預先記憶於控制部50所具備之記憶部(未圖示)中。而且，於欲對被照射物2進行照射之偏光紫外線之偏光軸角度為θ°之情形時，如圖7所示，旋轉驅動機構60使工作台3旋轉θ°(既定角度)。藉此，可獲得所需之偏光軸角度θ°，故而可藉由一面驅動往返驅動機構40一面點亮燈7，而以偏光軸角度θ°對被照射物2進行光配向。
於返回至初始狀態時，驅動往返驅動機構40而使工作台3移動至機器人30側，並且使工作台3旋轉相當於已旋轉之角度(α°及-θ°)。再者，由於預先記憶有與燈7之長軸L一致之工作台3之緣端3A之資訊，並且攝影裝置用馬達72以與工作台3之馬達62之旋轉同步地旋轉之方式構成，故而即便於工作台3未準確地恢復至初始姿勢之情形時，亦可準確地算出連結一對對準標記15之直線A與工作台3之緣端3A(即，燈7之長軸L)所成之偏離角度α，因此可準確地獲得所需之偏光軸角度θ°。
如以上所說明般，根據本實施形態，將偏光紫外線照射裝置1設為具備旋轉機構之構成，該旋轉機構係於至將被照射物2搬 送至照射器6之下方位置為止期間使該被照射物2相對於燈7之軸線L旋轉既定角度，並且將偏光紫外線照射裝置1設為具備如下機構之構成：工作台3，其搬送被照射物2；往返驅動機構40，其朝向照射器6之下方位置直線性地往返驅動工作台3；及旋轉驅動機構60，其為了使載置於工作台3上之被照射物2相對於燈7之軸線L旋轉既定角度而旋轉驅動工作台3。藉由該構成，由於在被照射物2上並未配置旋轉物，故而可防止異物混入至被照射物2中。
然而，上述實施形態為本發明之一態樣，當然可於不脫離本發明之主旨之範圍內進行適當變更。例如，於上述實施形態中，於將被照射物2載置於工作台3上之後，進行微調整，其後，使工作台3旋轉既定角度，但亦可於使工作台3旋轉既定角度之後進行被照射物2之角度之微調整。於此情形時，只要進行圖像處理而算出連結一對對準標記15之直線A與旋轉既定角度後之工作台3之緣端3A所成的偏離角度α即可。
又，於上述實施形態中，將旋轉機構構成為旋轉驅動工作台3之旋轉驅動機構60，但旋轉機構並不限定於此，亦可將旋轉機構構成為旋轉驅動調整台22之旋轉驅動機構23，藉由旋轉驅動機構23使被照射物2相對於燈7之長軸L旋轉既定角度。因此，於將旋轉機構設為旋轉驅動機構23之情形時，於偏光紫外線照射裝置1具有旋轉驅動機構60之情形時，只要於藉由旋轉驅動機構23使被照射物2相對於燈7之長軸L旋轉既定角度後，於調整台22中使用角度調整裝置用攝影單元26，及/或於工作台3中使用搬送用攝影單元70而進行被照射物2之角度之微調整即可。又，於將旋轉機構設為旋轉驅動機構23之情形時，亦可省略旋轉驅動機構60，於此情形時，只要於調整 台22中使用角度調整裝置用攝影單元26進行被照射物2之角度之微調整即可。
又，於上述實施形態中，具備角度調整裝置用攝影單元26及搬送用攝影單元70用以進行被照射物2之角度之微調整，但亦可省略其等。又，於上述實施形態中，將被照射物2之移動方向設為1方向，但並不限定於此，亦能夠以如下方式構成，即，於對被照射物照射紫外線後，例如，使燈7熄滅或藉由遮蔽構件遮蔽紫外線，而使被照射物返回至近前側(機器人30側)。
又，於上述實施形態中，將角度調整裝置20、機器人30及工作台3沿線性運動方向X而配置於直線上，但角度調整裝置20、機器人30及工作台3之配置關係並不限定於此。又，於上述實施形態中，將紫外線光源設為燈7而進行了說明，但並不限定於此，紫外線光源亦可為發光二極體(LED，Light Emitting Diode)或有機發光二極體(OLED，Organic light-emitting diode)等發光元件。於此情形時，只要藉由使數個發光元件於直線上排列而構成長軸(軸線)L即可。
1‧‧‧偏光紫外線照射裝置
2‧‧‧被照射物
3‧‧‧工作台(搬送台)
4‧‧‧平台
5‧‧‧照射器收容箱
6‧‧‧照射器
7‧‧‧燈(紫外線光源)
8‧‧‧反射鏡
10‧‧‧偏光元件單元(線柵偏光元件)
12‧‧‧銷驅動機構
40‧‧‧往返驅動機構
42‧‧‧線性軌道
44‧‧‧線性導軌
60‧‧‧旋轉驅動機構(旋轉機構)
62‧‧‧馬達
70‧‧‧搬送用攝影單元
71‧‧‧攝影裝置
72‧‧‧攝影裝置用馬達
73‧‧‧支撐體
74‧‧‧支撐柱
C2‧‧‧軸
L‧‧‧長軸(軸線)
S‧‧‧被照射物2之面
X‧‧‧線性運動方向

Claims (4)

  1. 一種偏光紫外線照射裝置，其係具備具有線狀之紫外線光源、反射紫外線之反射鏡、及用以使所照射之紫外線成為直線偏光之線柵偏光元件的照射器者；其特徵在於：具備旋轉機構，該旋轉機構係於至將被照射物搬送至上述照射器之下方位置為止期間，使該被照射物相對於上述光源之軸線旋轉既定角度。
  2. 如申請專利範圍第1項之偏光紫外線照射裝置，其具備：搬送台，其搬送上述被照射物；往返驅動機構，其朝向上述照射器之下方位置直線性地往返驅動上述搬送台；及旋轉驅動機構，其為了使載置於上述搬送台上之被照射物相對於上述光源之軸線旋轉既定角度而旋轉驅動上述搬送台。
  3. 如申請專利範圍第1項之偏光紫外線照射裝置，其具備：角度調整裝置，其使被照射物相對於上述光源之軸線旋轉既定角度；搬送台，其搬送上述被照射物；及機器人，其用以將被照射物自上述角度調整裝置載置於上述搬送台上。
  4. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之偏光紫外線照射裝置，其中，上述旋轉機構具備3軸驅動機構，該3軸驅動機構使上述被照射物於相互正交之2軸方向上移動而使該被照射物之中心與上述被照射物之旋轉軸位置對準，並使上述被照射物以該旋轉軸為中心相對於上述光源之軸線旋轉既定角度。
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