TW201346272A - 組裝式探針卡 - Google Patents

Abstract

本發明係一種組裝式探針卡，該探針卡包括一基板、複數個懸臂、複數支探針及複數個壓蓋板，其中該基板係呈片狀；各該懸臂之後端係可拆卸地被組裝至該基板上，以令該等懸臂能被組裝至該基板之一側，各該懸臂之前端分別開設有一針槽；各該探針之後端係可拆卸地被安裝至各該針槽中，其前端則係朝向遠離該基板之一側彎曲；各該壓蓋板係可拆卸地被安裝至鄰近各該懸臂前端之位置，且能覆蓋位於該針槽中之該探針，以令各該探針能被穩固地定位於各該針槽中。如此，由於該探針卡之各該組成元件間皆係可拆卸地相互連接，故，當部份元件損壞時，能便利地更換該探針卡之各別元件，有效節省人力及時間等成本。

Description

組裝式探針卡

本發明係一種組裝式探針卡，尤指一種具有可拆卸的懸臂，且懸臂上安裝有可拆卸的探針，而能夠便利地進行元件更換及維修之一種探針卡。

按，一般半導體晶圓上，晶片供以電性連接的電路接點往往依照晶片內的電路元件特性而有多種不同的設置分佈，故執行晶圓級測試工程時，晶圓上不同位置所設置的電路元件即有不同的測試條件需求；因此測試用探針卡亦需有對應的電路佈設以及對應的探針分佈結構，以將不同電路元件所需的測試訊號藉由特定電性傳輸線路傳送至電路元件以進行測試。實際應用上，探針卡供應商除了將探針卡電路板的電路走線專門佈設為與晶片電路特定對應的專板結構，普遍更預先製作公板結構的電路板；亦即電路板平面上由外至內設置有多數個銲點，依徑向分佈而區分有測試區、轉接區及探針區之銲點，且探針區之銲點直接縱向導通與電路板下方所設置之探針電性連接，測試區與轉接區之銲點之間為簡單的徑向走線設計，用以將測試區上供測試機台點觸的銲點導通至轉接區以作其他電性連接用；然後再依晶圓廠所提供晶片電路佈設，於轉接區與探針區之銲點之間另行配置導線結構，利用導線以跳線方式使轉接區之銲點導通至探針區與探針電性連接。

請參閱第1圖所示，係習用之一探針卡1，該探針卡1包括一電路板10及一探針組11，其中電路板10上佈設有電子電路，且其上設有複數個銲點101，該等銲點101係能與電子電路電性導通；該探針組11包括複數支探針111及一固定座112，該等探針111與電路板10之組裝方式，係將所有探針111之身部黏著於該固定座112上，以形成該探針組11， 再將各該探針111之針尾焊接於該電路板10上之各該銲點101。因此，一旦將該等探針111之身部黏著於該固定座112後，若有需要供不同電路間距的晶片測試用，或者探針卡1使用過後需對各該探針111維修時，必須將所有探針111之針尾與其各自電性連接之銲點101進行回銲的工程，才得以將該探針111及該固定座112一同自該電路板10上移除，以進行後續之維修或更換。此種回銲的維修方式不但耗費工時，且容易因回銲過程的作業疏失反而造成該等探針111之損毀，徒增維修工程的負擔，且會造成探針卡1製作成本上不必要的支出。

由以上說明可知，由於習知探針卡1無法自由拆裝調整，以致於在維修或更換上，造成人力及時間成本極大的負擔，且很可能不慎使探針卡1受損，非常不理想。因此，如何設計出一種便於拆裝調整之探針卡，即成為相關業者亟思解決之一重要問題。

有鑑於習知探針卡因無法自由拆裝調整而衍生的諸多問題，發明人乃根據其長年服務於相關產業的實務經驗，加之以不斷研究、測試及調整改良後，終於開發設計出一種組裝式探針卡，期能藉由本發明，以舉改善習知探針卡的諸多問題，並提昇探針卡在使用上的便利性。

本發明之一目的，係提供一種組裝式探針卡，該探針卡包括一基板、複數個懸臂、複數支探針及複數個壓蓋板，其中該基板係呈片狀，且其中央開設有一貫穿孔；各該懸臂之後端係可拆卸地被組裝至該基板之底側，以令該等懸臂能分別被組裝至該基板之底側，各該懸臂之前端係朝向對應於該貫穿孔之方向延伸，且分別開設有一針槽；各該探針之後端係可拆卸地被安裝至各該針槽中，各該探針之前端則係朝向對應於該貫穿孔之方向延伸，且朝向遠離該基板之一側彎曲；各該壓蓋板係可拆卸地被安裝至鄰近各該懸臂前端之位置，且能覆蓋位於該針槽中之該探針，以令各該探針能被穩固地定位於各該針槽中。由於該探針卡之各該組成元件間皆係可拆卸地相互連接，故，當部份元件損壞時，能便利地更換該探針卡之各別元件，有效節省人力及時間等成本。

為便 貴審查委員能對本發明之技術、結構特徵及其目的有 更進一步的認識與理解，茲舉實施例配合圖式，詳細說明如下：

〔習知〕

1‧‧‧探針卡

10‧‧‧電路板

101‧‧‧銲點

11‧‧‧探針組

111‧‧‧探針

112‧‧‧固定座

〔本發明〕

2‧‧‧探針卡

20‧‧‧基板

201‧‧‧貫穿孔

21‧‧‧懸臂

211‧‧‧第一座體

212‧‧‧第二座體

22‧‧‧探針

23‧‧‧壓蓋板

24‧‧‧組裝件

241‧‧‧組裝部

242‧‧‧頂靠部

25‧‧‧左右調整件

26‧‧‧前後調整件

251、261‧‧‧本體

252、262‧‧‧調整桿

27‧‧‧高度調整件

T‧‧‧針槽

A‧‧‧組裝孔

B‧‧‧左右調整孔

C‧‧‧前後調整孔

X‧‧‧左右調整件容置槽

Y‧‧‧前後調整件容置槽

Z‧‧‧高低調整件容置槽

第1圖係習知探針卡之示意圖；第2圖係本發明較佳實施例之探針卡立體示意圖；及第3圖係本發明較佳實施例之探針卡剖面示意圖。

本發明係一種組裝式探針卡，請參閱第2圖所示，在本發明之一較佳實施例中，該探針卡2包括一基板20、複數個懸臂21、複數支探針22及複數個壓蓋板23。其中，該基板20係呈片狀，且其中央開設有一貫穿孔201；各該懸臂21之後端係可拆卸地被組裝至該基板20之底側，以令該等懸臂21能被組裝至該基板20之底側。請參閱第2圖及第3圖所示，在此一較佳實施例中，該探針卡2尚包括一組裝件24，且該懸臂21上開設有一組裝孔A，該組裝件24能穿過該組裝孔A而被固定至該基板20，進而使該懸臂21與該基板20被相互組裝為一體。更進一步言，在本實施例中，該組裝件24包括一組裝部241及一頂靠部242，該組裝部241係穿過該組裝孔A而被固定至該基板20，且當該組裝部241被組裝並固定至該基板20上時，該頂靠部242能抵靠至該懸臂21之一側，以令該懸臂21之另一側能抵靠至該基板20之底側。此外，在此一較佳實施例中，該組裝孔A之孔徑係大於該組裝部241之直徑，且小於該頂靠部242之直徑，以在該懸臂21被該組裝件24組裝至該基板20時，令該懸臂21能相對該基板20移動(該組裝部241定位於該組裝孔A內之不同位置)。在此特別一提者，前述實施例僅係該懸臂21與該基板20相互組裝之一種方式，惟，本發明並不以此為限，該懸臂21與該基板20亦可透過其他方式相互組裝成一體，合先陳明。

承前所述，各該懸臂21之前端係朝向對應於該貫穿孔201之方向延伸，且分別開設有一針槽T，以令各該探針22之後端能夠可拆卸地被安裝至各該針槽T中。各該探針22之前端則之前端則係朝向對應於該貫穿孔201之方向延伸，且朝向遠離該基板20之一側彎曲，進而能用於執 行晶元檢測。各該壓蓋板23係可拆卸地被安裝至鄰近各該懸臂21前端之位置，且能覆蓋位於該針槽T中之該探針22，以令各該探針22能被穩固地定位於各該針槽T中。在本實施例中，該懸臂21係由一第一座體211及一第二座體212相互組裝結合而成，該第一座體211係位於該懸臂21之後端，該第二座體212則係位於該懸臂21之前端。該組裝孔A係開設於該第一座體211，該針槽T則係開設於該第二座體212之前端，此外，該壓蓋板23同樣地被組裝至該第二座體212上，惟，該懸臂21之結構並不以此為限，業者在生產該探針卡2時，亦可將該懸臂21設計成一體成形之之結構，合先敘明。

由以上說明可知，由於該探針卡2之各該組成元件間皆係可拆卸地相互連接，故，當部份元件損壞(如：各該探針22)時，能便利地更換該探針卡2之各別元件，有效節省人力及時間等成本，且能避免在操作的過程中，不慎毀損該探針卡2。

復請參閱第2圖及第3圖所示，在此一較佳實施例中，各該懸臂21尚開設有一左右調整孔B及一前後調整孔C，該基板20則開設有一左右調整件容置槽X、一前後調整件容置槽Y及一高低調整件容置槽Z。其中，該左右調整孔B係沿該懸臂21之縱向開設於該懸臂21上，而該左右調整件容置槽X則係開設在該基板20上對應於該左右調整孔B之位置，且該左右調整件容置槽X之直徑係大於該左右調整孔B之寬度。該左右調整件容置槽X能供一左右調整件25容置於其中。該左右調整件25包括一本體251及一調整桿252，該本體251能於該左右調整件容置槽X中旋轉；該調整桿252係沿該本體251之軸向延伸而成，且係位於偏離該本體251之軸心的位置，當該本體251被容置於該左右調整件容置槽X中，該調整桿252能伸入至該左右調整孔B中，且當該本體251於該左右調整件容置槽X中旋轉時，該調整桿252會推抵該懸臂21上對應於該左右調整孔B之內壁，以在該本體251被轉動至不同角度時，能將該懸臂21朝左右推動至不同的角度。再者，在本實施例中，該探針卡2尚包括一前後調整件26，該前後調整件26同樣地包括一本體261及一調整桿262，其具體作動方示大致與該左右調整件25同，在此不再贅述。此外，在本實施例中，該探針 卡2尚包括一高低調整件27，該高低調整件27係容置於該高低調整件容置槽Z中，且能沿該高低調整件容置槽Z之軸向移動，以令該高低調整件27之一端能推抵該懸臂21之該另一側(即，抵靠於該基板20底側之一側)，進而使該懸臂21之前端及該探針22能被調整為不同高度。在透過前述各該左右調整件25、前後調整件26或高低調整件27調整該探針22之角度時，操作者可由該貫穿孔201檢視該探針之角度及位置。

綜上所述，透過前述之結構設計，使用者僅需調整該左右調整件25、前後調整件26及高低調整件27，便能輕易地調整該探針22之角度，大大地提昇了該探針卡2在使用上的便利性。

按，以上所述，僅為本發明之若干較佳實施例，惟，本發明之技術特徵並不侷限於此，凡相關技術領域之人士，在參酌本發明之技術內容後所能輕易思及之等效變化，均應不脫離本發明之保護範疇。

2‧‧‧探針卡

20‧‧‧基板

201‧‧‧貫穿孔

21‧‧‧懸臂

22‧‧‧探針

23‧‧‧壓蓋板

24‧‧‧組裝件

25‧‧‧左右調整件

26‧‧‧前後調整件

27‧‧‧高度調整件

A‧‧‧組裝孔

B‧‧‧左右調整孔

C‧‧‧前後調整孔

X‧‧‧左右調整件容置槽

Y‧‧‧前後調整件容置槽

Z‧‧‧高低調整件容置槽

Claims (7)

1. 一種組裝式探針卡，包括：一基板，係呈片狀，且其中央開設有一貫穿孔；複數個懸臂，各該懸臂之後端係可拆卸地被組裝至該基板之底側，以令該等懸臂能分別被組裝至該基板之底側，各該懸臂之前端係朝向對應於該貫穿孔之方向延伸，且分別開設有一針槽；複數支探針，各該探針之後端係可拆卸地被安裝至各該針槽中，各該探針之前端則係朝向對應於該貫穿孔之方向延伸，且朝向遠離該基板之一側彎曲；及複數個壓蓋板，係可拆卸地被安裝至鄰近各該懸臂前端之位置，且能覆蓋位於該針槽中之該探針，以令各該探針能被穩固地定位於各該針槽中。
2. 如請求項1所述之探針卡，尚包括：一組裝件，該組裝件包括一組裝部及一頂靠部，當該組裝部被組裝並固定至該基板之底側上時，該頂靠部能抵靠至該懸臂之一側，以令該懸臂之另一側能抵靠至該基板之底側。
3. 如請求項2所述之探針卡，其中該懸臂尚開設有一組裝孔，該組裝件之該組裝部係穿過該組裝孔而被固定至該基板之底側，該組裝孔之孔徑係大於該組裝部之直徑，且小於該頂靠部之直徑，以在該懸臂被該組裝件組裝至該基板之底側時，令該懸臂能相對該基板移動。
4. 如請求項3所述之探針卡，尚包括： 一左右調整孔，係沿該懸臂之縱向開設於該懸臂上；一左右調整件容置槽，係開設在該基板上對應於該左右調整孔之位置，該左右調整件容置槽之直徑係大於該左右調整孔之寬度；及一左右調整件，包括一本體及一調整桿，該本體能被容置於該左右調整件容置槽中，且能於該左右調整件容置槽中旋轉，該調整桿係沿該本體之軸向延伸而成，且係位於偏離該本體之軸心的位置，當該本體被容置於該左右調整件容置槽中，該調整桿能伸入至該左右調整孔中，且當該本體於該左右調整件容置槽中旋轉時，該調整桿會推抵該懸臂上對應於該左右調整孔之內壁，以在該本體被轉動至不同角度時，能將該懸臂朝左右推動至不同的角度。
5. 如請求項3所述之探針卡，尚包括：一前後調整孔，係沿該懸臂之橫向開設於該懸臂上；一前後調整件容置槽，係開設在該基板上對應於該前後調整孔之位置，該前後調整件容置槽之直徑係大於該前後調整孔之寬度；及一前後調整件，包括一本體及一調整桿，該本體能被容置於該前後調整件容置槽中，且能於該前後調整件容置槽中旋轉，該調整桿係沿該本體之軸向延伸而成，且係位於偏離該本體之軸心的位置，當該本體被容置於該前後調整件容置槽中，該調整桿能伸入至該前後調整孔中，且當該本體於該前後調整件容置槽中旋轉時，該調整桿會推抵該懸 臂上對應於該前後調整孔之內壁，以在該本體被轉動至不同角度時，能將該懸臂朝前後推動至不同的角度。
6. 如請求項3所述之探針卡，尚包括：一高低調整件容置槽，係開設在該基板上，且係對應於該懸臂上較該組裝孔鄰近前端之位置；及一高低調整件，係容置於該高低調整件容置槽中，且能沿該高低調整件容置槽之軸向移動，以令其一端能推抵該懸臂之該另一側，進而使該懸臂之前端及該探針能被調整為不同高度。
7. 如請求項3、4、5或6所述之探針卡，其中該懸臂尚包括：一第一座體，係位於該懸臂之後端，且該組裝孔係開設於該第一座體；及一第二座體，係位於該懸臂之前端，且能與該第一座體相互組裝成一體，該針槽係開設於該第二座體之前端，且該壓蓋板係被組裝至該第二座體。