TW201336591A - 太陽能電池製造用之細縫噴嘴及藥液塗佈裝置 - Google Patents
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Abstract
本發明之目的係於太陽能電池用之玻璃板上以所期望之膜厚穩定且均勻地塗佈藥液。該細縫噴嘴10係將於噴嘴長度方向上平行地延伸之各個半主體部之前唇12及後唇14夾著填隙片16對向而形成噴嘴本體，並於前唇前端部12a安裝可撓性之藥液導流構件30。該藥液導流構件30自前唇前端部12a之下端傾斜地突出，通過噴出口18之下方延伸至後唇前端部14a之下方。自細縫噴嘴10之噴出口18呈帶狀噴出之藥液MAR沿著藥液導流構件30向傾斜下方之後方流動，落於玻璃板G之表面上，而形成特定膜厚之液膜(塗佈膜)FMAR。
Description
本發明係關於一種用以於太陽能電池用之玻璃板上塗佈藥液之細縫噴嘴及藥液塗佈裝置。
近年來，太陽能電池被重新視作不會排出二氧化碳之清潔且可再生能源，其開發、生產及普及急遽擴大。於太陽能電池中，視發電層之基本材料或構造等而存在若干種類，已知有結晶矽系、薄膜矽系、化合物系、有機色素系等。無論係哪種類型之太陽能電池，均以發電效率之提高與量產化及低成本化為目標。
具體而言，為了提高發電效率，當然要改善發電層之光電轉換效率，但與此相應地，為了將反射損失抑制得較低而提高入射效率，而使用抗反射膜，為了暫時有效地封閉所提取到之太陽光而採用紋理構造。又，為了量產化及低成本化，保護發電層之表面之覆蓋玻璃係使用廉價之鈉鈣玻璃。自先前以來，在用以於覆蓋玻璃之表面形成抗反射膜之成膜步驟中，大多使用輥式塗佈法、凹版塗佈法、旋轉塗佈法等塗佈法。
專利文獻1：日本專利特開2005-142371
然而，於太陽能電池之製造中，輥式塗佈法或凹版塗佈法存在塗佈輥或凹版輥等塗佈治具之處理較為麻煩、或生產性較低之課題。另一方面，旋轉塗佈法不僅難以應對玻璃板之大型化，而且藥液使用量較多之情況對於生產性或成本性方面而言亦會成為問題。因此，於太陽能電池之製造中，尤其是於如上所述在覆蓋玻璃之表面塗佈用以形成抗反射膜之藥液之處理中，亦可考慮應用使用細縫噴嘴之非旋轉塗佈法。
使用細縫噴嘴之非旋轉塗佈法大多用於LCD(Liquid Crystal Display，液晶顯示器)製造之光微影步驟中於玻璃基板上形成光阻膜之塗佈處理中。此種光阻劑塗佈處理係於平台上或搬送路徑上在水平地支持之玻璃基板與細縫噴嘴之噴出口之間設定100 μm左右之微小塗佈間隙，而一面使光阻劑液相對於玻璃基板自細縫噴嘴噴出，一面使細縫噴嘴沿著與噴嘴長度方向正交之水平之一方向移動。如此一來，自細縫噴嘴之噴出口呈帶狀或簾幕狀噴出之光阻劑液於玻璃基板上平坦地延伸，而於基板一面上形成光阻劑液之塗佈膜。由於可不使光阻劑液向玻璃基板之外溢出而以較薄且均勻之膜厚形成光阻劑塗佈膜，故而生產性及成本性優異。
然而，LCD用之玻璃基板為了確保LCD之圖像品質而具有非常高之平坦度，即便於基板內存在翹曲或折曲(或變形)，其凹凸之範圍亦通常為數10 μm以下。與此相對地，太陽能電池用之覆蓋玻璃包含普通之鈉鈣玻璃或兼具光封閉效應之紋理強化玻璃，平坦性不佳。例如，藉由滾壓成形法而製作之紋理強化玻璃大多存在於玻璃製造步驟時自輥轉移之較大折曲。一般而言，太陽能電池用之覆蓋玻璃於數100 μm以上(較大為1 mm左右)之範圍內具有翹曲或折曲。
因此，若使用先前之細縫噴嘴進行於太陽能電池用之覆蓋玻璃上塗佈藥液之非旋轉之塗佈處理，則於塗佈掃描中細縫噴嘴會刮擦到
玻璃板之隆起之部分之表面，或者於玻璃板之凹陷之部分藥液之帶或簾幕於空中(塗佈間隙)處中斷，而導致塗佈膜於玻璃板上殘缺。作為其對策，亦可考慮自最初即設定足夠大(1 mm左右)之塗佈間隙而使噴出流量相應地足夠大之方法，但此方法不僅會使藥液之使用量增加，而且無法控制抗反射膜之膜厚，會失去使用細縫噴嘴之意義。
本發明係鑒於如上所述之先前技術之現狀及問題點而完成者，提供一種可於太陽能電池用之玻璃板上以所期望之膜厚穩定且均勻地塗佈藥液之細縫噴嘴及藥液塗佈裝置。
本發明之細縫噴嘴係用以藉由塗佈掃描於太陽能電池用之玻璃板上塗佈藥液者，且包括：長條狀之噴嘴本體，該噴嘴本體包含：下端面，其形成有用以向上述基板噴出上述藥液之細縫狀之噴出口；前唇(front lip)前端部，其於上述噴出口之掃描方向之前方側自上述下端面向上方延伸；及後唇(rear lip)前端部，其於上述噴出口之掃描方向之後方側自上述下端面向上方延伸；以及可撓性之藥液導流構件，其係以將自上述噴出口噴出之上述藥液導引至上述玻璃板之表面或其附近之方式，安裝於上述噴嘴本體之上述前唇前端部。
本發明之藥液塗佈裝置係用以於太陽能電池用之玻璃板上塗佈藥液者，且包括：本發明之細縫噴嘴；藥液供給部，其向上述細縫噴嘴供給藥液；玻璃板支持部，其將上述玻璃板以水平姿勢支持；噴嘴支持部，其相對於支持於上述玻璃板支持部之上述玻璃板，朝向上述噴出口支持上述細縫噴嘴；及掃描部，其使上述細縫噴嘴以於上述玻璃板上沿著特定之掃描方向相對地水平移動之方式於上述玻璃板支持部與上述噴嘴支持部之間進行相對之水平移動。
於本發明之細縫噴嘴中，自其噴出口呈帶狀或簾幕狀噴出之藥液被導引至藥液導流構件，直接作為藥液導流構件之延長淌落於玻璃
板之表面上，或自藥液導流構件之前端(下端)通過間隙(空中)而落於玻璃板之表面上。藥液導流構件由於其自由端部追隨於玻璃板之表面之高度或形狀(輪廓)而於各位置獨立地彎曲變形，或不彎曲變形，故而可於玻璃板上之各位置形成特定膜厚之液膜(塗佈膜)。
根據本發明之較佳之一態樣，藥液導流構件自前唇前端部通過噴出口之下方延伸至後唇前端部之下方。
根據另一較佳之一態樣，藥液導流構件係以於噴嘴本體之長度方向上之任意部位，可使其自由端部自其他部位獨立而彎曲變形之方式構成。
根據另一較佳之一態樣，藥液導流構件包含具有與噴嘴本體相等之長度之長條狀之薄樹脂片，且自其自由端向與長度方向正交之方向延伸之裂縫沿著長度方向分佈有多個或無數個。
根據另一較佳之一態樣，藥液導流構件之自由端部形成為細短條狀或毛狀。
根據本發明之細縫噴嘴及藥液塗佈裝置，藉由如上所述之構成及作用，可於太陽能電池用之玻璃板上以所期望之膜厚穩定且均勻地塗佈藥液。
10‧‧‧細縫噴嘴
12‧‧‧前唇
12a‧‧‧前唇前端部
14‧‧‧後唇
14a‧‧‧後唇前端部
16‧‧‧填隙片
18‧‧‧噴出口
20‧‧‧噴出通路
22‧‧‧模腔
24‧‧‧藥液導入口
26‧‧‧藥液導入通路
28‧‧‧藥液供給管
30‧‧‧藥液導流構件
30a‧‧‧(藥液導流構件之)前端部
32‧‧‧螺栓
34‧‧‧(藥液導流構件之)裂縫
40‧‧‧藥液塗佈裝置
42‧‧‧平台
44‧‧‧掃描部
46‧‧‧藥液供給部
48‧‧‧門型之支持體
50‧‧‧掃描驅動部
52‧‧‧接頭部
CG‧‧‧太陽能電池之覆蓋玻璃
D‧‧‧基準距離間隔
FMAR‧‧‧液膜(塗佈膜)
G‧‧‧玻璃板
L‧‧‧高低差
MAR‧‧‧藥液
S‧‧‧間隙
SG‧‧‧玻璃基板
TX‧‧‧紋理
X‧‧‧方向
Y‧‧‧方向
Z‧‧‧方向
圖1係表示本發明之一實施形態中之細縫噴嘴之構成(藥液導流構件與玻璃板不接觸之狀態)之剖面圖。
圖2係表示上述細縫噴嘴之構成(藥液導流構件與平坦之玻璃板接觸之狀態)之剖面圖。
圖3係表示上述細縫噴嘴之主要部分之構成之立體圖。
圖4係表示上述細縫噴嘴之藥液導流構件之構成及彎曲功能之立體圖。
圖5係表示實施形態中之藥液塗佈裝置之構成之立體圖。
圖6(a)~(c)係示意性地表示可應用上述藥液塗佈裝置之太陽能電池之一例之剖面圖。
圖7係表示實施例中之上述細縫噴嘴及上述藥液塗佈裝置之一作用之剖面圖。
圖8係表示實施例中之上述細縫噴嘴及上述藥液塗佈裝置之一作用之剖面圖。
圖9係表示實施例中之上述細縫噴嘴及上述藥液塗佈裝置之一作用之前視圖。
圖10係表示一變形例中之上述細縫噴嘴及上述藥液塗佈裝置之一作用之剖面圖。
圖11係表示一變形例中之上述細縫噴嘴及上述藥液塗佈裝置之一作用之剖面圖。
以下，參照附圖對本發明之較佳之實施形態進行說明。
於圖1~圖4中，表示本發明之一實施形態中之細縫噴嘴之構成。該細縫噴嘴10包括於噴嘴長度方向上平行地延伸之各個半主體部之前唇12及後唇14，且使該等一對或1組唇12、14夾著固定板厚之填隙片16而對向，並藉由螺栓(未圖示)而結合成一體。細縫狀之噴出口18及細縫狀之噴出通路20之間隙尺寸係由填隙片16之厚度而規定。以此方式，前唇12、後唇14及填隙片16成為一體而形成噴嘴本體。
於細縫噴嘴10內之中心部形成有模腔22，該模腔22形成與噴出通路20之上端連接而用於壓力均勻化之緩衝部或歧管部。於細縫噴嘴10之上表面，在噴嘴長度方向之中心部設置有藥液導入口24，該藥液導入口24與模腔22藉由藥液導入通路26而相連。於藥液導入口24連接
有藥液供給管28。再者，模腔22、藥液導入口24及藥液導入通路26雖於圖示之例中係形成在前唇12，但亦可形成於後唇14側。
前唇12及後唇14分別包含與噴嘴長度方向正交之橫寬方向之尺寸朝向噴出口18呈楔形狀變細之前唇前端部12a及後唇前端部14a。於該實施形態中，在前唇前端部12a藉由例如螺栓32可裝卸地安裝有可撓性之藥液導流構件30。
該藥液導流構件30包含具有與前唇12相等之長度之長條狀之較薄(例如厚度為50 μm~數100 μm左右)之氟樹脂系之塑膠片，且自其自由端向與長度方向正交之方向延伸之裂縫34沿著長度方向分佈有多個或無數個，且包含細短條狀或毛狀之自由端部30a。此處，裂縫34較佳為不能使藥液通過之程度之較小之縫隙。藉由該構成，藥液導流構件30如圖4所示般於其長度方向上之任意部位，可使該部位之自由端部30a自其他部位獨立而朝向上方容易地彎曲變形。
如圖1及圖3所示，藥液導流構件30自前唇前端部12a之前端(下端)傾斜突出，通過噴出口18之前(下)方延伸至後唇前端部14a之前(下)方。自噴出口18至藥液導流構件30之前端之垂直方向之距離(高低差)L選定為以適當之比大於基準距離間隔D(圖2)之值，該基準距離間隔D係假定處理對象之玻璃板G係毫無翹曲或折曲之完全平坦之理想玻璃板之情形時的噴出口18與玻璃板G之間之間隔。具體而言，例如，設定為D=1 mm、L=1.5 mm。
從而，於玻璃板G為平坦之理想玻璃板之情形時之塗佈掃描中，如圖2所示，藥液導流構件30之自由端部30a自噴嘴長度方向之一端至另一端遍及整個區域稍向上方彎曲變形而與玻璃板G之表面輕微接觸。
於圖5中，表示包含上述細縫噴嘴10之太陽能電池製造用之藥液
塗佈裝置40之構成。該藥液塗佈裝置40可用於以下處理中，例如：於如圖6(a)所示之結晶矽系之太陽能電池中，用以於覆蓋玻璃CG之表面形成抗反射膜AR之藥液塗佈處理；於如圖6(b)所示之薄膜矽系之太陽能電池中，用以於覆蓋玻璃CG之表面形成抗反射膜AR之藥液塗佈處理；或於如圖6(c)所示之薄膜矽系之太陽能電池中，用以於玻璃基板SG之背面形成抗反射膜AR之藥液塗佈處理。於以下之說明中，對以圖6(a)或(b)之覆蓋玻璃CG作為處理對象之玻璃板G而於其表面形成抗反射膜AR之情形進行說明。
如圖5所示，該藥液塗佈裝置40包括：平台42，其用以水平地載置並保持玻璃板(母玻璃)G；及支架式掃描部44，其於塗佈處理時使細縫噴嘴10於平台42之上方沿著箭頭方向(X方向)水平移動即掃描。細縫噴嘴10如上所述，包括可於與掃描方向(X方向)正交之水平方向(Y方向)上將玻璃板G自一端覆蓋至另一端之長條狀之噴嘴本體(12、14、16)及細縫狀之噴出口18，且於噴出口18附近安裝有藥液導流構件30。於細縫噴嘴10之藥液導入口24經由藥液供給管28連接有藥液供給部46。該藥液供給部46雖省略圖示，但包括藥液容器、噴出泵、流量調整閥、開閉閥等。
該實施形態中之藥液MAR係以水作為溶劑，且以水溶性之抗反射膜材料(例如SiO2或TiO2等)作為溶質。水不僅環境負擔較小，而且具有較大之表面張力，就該方面考慮，於該實施形態中其係最理想之溶劑。
掃描部44包括：門型之支持體48，其水平地支持細縫噴嘴10；及掃描驅動部50，其使該支持體48於X方向上雙向地直線移動。該掃描驅動部50可由例如帶導引器之線性馬達機構或滾珠螺桿機構所構成。於將支持體50與細縫噴嘴10連接之接頭部52，設置有用以變更或調節細縫噴嘴10之高度位置之帶導引器之升降機構(未圖示)。藉由調
節細縫噴嘴10之高度位置，可任意設定或調整細縫噴嘴10之下端面或噴出口18與平台42上之玻璃板G之表面之間之基準距離間隔D(圖2)之尺寸。
基於圖5、圖7~圖9，對該實施形態中之細縫噴嘴10及藥液塗佈裝置40之作用進行說明。
如圖5所示，藥液塗佈裝置40係於平台42上載置有玻璃板G之狀態下，一面以沿著X方向縱截平台42之上方之方式使細縫噴嘴10藉由掃描部44以固定之速度掃描，一面於藥液供給部46自細縫噴嘴10之噴出口18經由藥液導流構件30以沿著噴嘴長度方向(Y方向)延伸之寬廣之帶狀或簾幕狀之噴出流將藥液MAR供給至平台42上之玻璃板G之表面。該塗佈掃描之掃描速度及藥液噴出流量係根據形成於玻璃板G上之抗反射膜AR之膜厚設定值而選為特定之值。
此時，於無玻璃G之翹曲或折曲之平坦之部分，如圖2所示，於藥液導流構件30之前端部(自由端部)30a與玻璃板G之表面輕微接觸而稍向上方彎曲之狀態下，細縫噴嘴10通過(掃描)該平坦部分之上。即便藥液導流構件30之前端部(自由端部)30a刮擦到玻璃板G之表面，玻璃板G亦不會損傷。自細縫噴嘴10之噴出口18呈帶狀或簾幕狀噴出之藥液MAR直接被導引至藥液導流構件30並淌落於玻璃板G之表面上，於該液體淌落之附近形成特定膜厚之液膜(塗佈膜)FMAR。
於因玻璃板G之翹曲或折曲而隆起之部分，如圖7所示，於藥液導流構件30之前端部(自由端部)30a向上方進一步彎曲之狀態下，細縫噴嘴10以刮擦玻璃板G之表面之方式通過(掃描)該隆起部分之上。此處，玻璃G之隆起越大，藥液導流構件30之彎曲越大。然而，若玻璃板G之翹曲或折曲處於通常之範圍(1 mm左右)內，則於玻璃板G之隆起部位，自細縫噴嘴10之噴出口18呈帶狀或簾幕狀噴出之藥液MAR
會碰撞藥液導流構件30而向後唇前端部14a之背面側暫時大幅回流，然後沿著藥液導流構件30淌落於玻璃板G之表面上，於該液體淌落之附近形成特定膜厚之液膜(塗佈膜)FMAR。
再者，該實施例中之玻璃板G係紋理強化玻璃，於與發電層接觸之背面形成有較細之凹凸之紋理TX(圖7~圖9)。
又，即便於因玻璃板G之翹曲或折曲而凹陷之部分，只要藥液導流構件30之前端部30a與玻璃板G之表面接觸，則亦與上述同樣地，自細縫噴嘴10之噴出口18呈帶狀或簾幕狀噴出之藥液MAR直接被導引至藥液導流構件30並淌落於玻璃板G之表面上，於該液體淌落之附近形成特定膜厚之液膜(塗佈膜)FMAR。
然而，若存在因玻璃板G之翹曲或折曲而大幅凹陷之部分，則亦存在如圖8所示，於該位置，藥液導流構件30之前端不會到達至玻璃板G之表面的情況。於該情形時，自細縫噴嘴10之噴出口18呈帶狀或簾幕狀噴出之藥液MAR會沿著藥液導流構件30向傾斜下方之後方流動，自藥液導流構件30之前端(下端)通過間隙S而落於玻璃板G之表面上。此處，若間隙S係特定之極限塗佈間隙SL以下，則帶狀或簾幕狀之藥液噴出流不會於間隙S(空中)處中斷而係以連續地相連之狀態著液於玻璃板G之表面上，從而形成特定膜厚之液膜(塗佈膜)FMAR。
於塗佈掃描中，來自細縫噴嘴10之噴出口18之帶狀或簾幕狀之藥液噴出流中斷時之極限塗佈間隙SL與藥液MAR之噴出流量及表面張力成正比，與藥液MAR之黏度及掃描速度成反比。如上所述，噴出流量與掃描速度係規定塗佈膜FMAR之膜厚之因素，該等值或比取決於膜厚設定值而決定。從而，極限塗佈間隙SL主要取決於藥液MAR之表面張力及黏度。即，藥液MAR之表面張力越大，且藥液MAR之黏度越小，極限塗佈間隙SL越大。
於該實施形態中，在藥液MAR之溶劑中使用表面張力較大之水。
水之黏度亦比較大(1.01 cp at 20℃)，為了彌補該點，表面張力會更大以至過剩程度(72-3 N/m at 20℃)。從而，例如，相較將黏度為0.67cp(at 20℃)且表面張力為28-3 N/m(at 20℃)之甲苯(稀釋劑)用在溶劑中之情形而言，可使極限塗佈間隙SL擴大約1.5倍。
總之，於該實施形態中，藉由如上所述之藥液導流構件30之藥液導流功能或藥液保持功能，自細縫噴嘴10之噴出口18觀察到之極限塗佈間隙係(L+SL)。從而，即便玻璃板G之凹陷較大，只要為通常之範圍內，於其附近，亦可使來自細縫噴嘴10之噴出口18之帶狀或簾幕狀之藥液噴出流不中斷而係以連續地相連之狀態著液於玻璃板G之表面上，從而形成特定膜厚之液膜(塗佈膜)FMAR。
又，於該實施形態中，如圖9所示，即便隆起及凹陷沿著細縫噴嘴10之長度方向(Y方向)於玻璃板G上混合存在，但由於藥液導流構件30之自由端部30a於各位置追隨於玻璃板G之表面高度形狀(輪廓)而分別獨立地彎曲變形或非彎曲變形，故而亦可於長度方向(Y方向)之各位置形成特定膜厚之液膜(塗佈膜)FMAR。
如此，於該實施形態中，即便於玻璃板G上存在隆起或凹陷，亦可於玻璃板G上毫無遺漏且均勻地塗佈用以形成抗反射膜AR之藥液塗佈膜FMAR。
於上述作用之說明中，如圖7~圖9所示，列舉了玻璃板G之厚度存在不均之情形。然而，於上述實施形態中，如圖10及圖11所示，即便於厚度均勻之玻璃板G上存在因變形而導致之凹凸之情形時，亦可獲得與上述相同之作用。雖省略圖示，但與玻璃板G上存在翹曲之情形時亦相同。又，如圖10及圖11所示，處理對象之玻璃板(加工件)G亦可為無紋理之玻璃板。
於上述實施形態中，對以太陽能電池之覆蓋玻璃CG作為處理對
象之玻璃板G而於其表面形成抗反射膜AR之情形進行了說明。然而，上述實施形態之細縫噴嘴10及藥液塗佈裝置40可應用於用以在覆蓋玻璃以外之任意玻璃板(例如玻璃基板)上形成抗反射膜之藥液塗佈處理中，並且亦可應用於用以形成抗反射膜以外之任意功能膜例如防污膜或撥水膜、撥油膜等之藥液塗佈處理中。進而，除了用於太陽能電池之玻璃板以外，本發明亦可應用於面臨相同課題之技術領域。例如，本發明之細縫噴嘴及藥液塗佈裝置亦可應用於在觸控面板之製造中用以在面板上形成功能膜之藥液塗佈處理中。
上述實施形態之藥液塗佈裝置使用支架式塗佈掃描機構。然而，例如，亦可使用將細縫噴嘴固定而平流，使玻璃板或加工件於搬送路徑例如輥搬送路徑上沿著水平方向移動之方式之塗佈掃描機構。
10‧‧‧細縫噴嘴
12‧‧‧前唇
12a‧‧‧前唇前端部
14‧‧‧後唇
14a‧‧‧後唇前端部
16‧‧‧填隙片
18‧‧‧噴出口
20‧‧‧噴出通路
22‧‧‧模腔
24‧‧‧藥液導入口
26‧‧‧藥液導入通路
28‧‧‧藥液供給管
30‧‧‧藥液導流構件
30a‧‧‧(藥液導流構件之)前端部
32‧‧‧螺栓
42‧‧‧平台
G‧‧‧玻璃板
FMAR‧‧‧液膜(塗佈膜)
MAR‧‧‧藥液
S‧‧‧間隙
TX‧‧‧紋理
X‧‧‧方向
Y‧‧‧方向
Z‧‧‧方向
Claims (12)
- 一種細縫噴嘴，其係用以藉由塗佈掃描於太陽能電池用之玻璃板上塗佈藥液者，且包括：長條狀之噴嘴本體，該噴嘴本體包含：下端面，其形成有用以向上述基板噴出上述藥液之細縫狀之噴出口；前唇前端部，其於上述噴出口之掃描方向之前方側自上述下端面向上方延伸；及後唇前端部，其於上述噴出口之掃描方向之後方側自上述下端面向上方延伸；及可撓性之藥液導流構件，其係以將自上述噴出口噴出之上述藥液導引至上述玻璃板之表面或其附近之方式，安裝於上述噴嘴本體之上述前唇前端部。
- 如請求項1之塗佈噴嘴，其中上述藥液導流構件係自上述前唇前端部通過上述噴出口之下方延伸至上述後唇前端部之下方。
- 如請求項1之細縫噴嘴，其中上述藥液導流構件係以於上述噴嘴本體之長度方向上之任意部位，可使其自由端部自其他部位獨立而彎曲變形之方式構成。
- 如請求項3之細縫噴嘴，其中上述藥液導流構件包含具有與上述噴嘴本體相等之長度之長條狀之薄樹脂片，且自其自由端向與長度方向正交之方向延伸之裂縫沿著長度方向分佈有多個或無數個。
- 如請求項3之細縫噴嘴，其中上述藥液導流構件之自由端部形成為細短條狀或毛狀。
- 一種藥液塗佈裝置，其係用以於太陽能電池用之玻璃板上塗佈藥液者，且包括：如請求項1之細縫噴嘴； 藥液供給部，其向上述細縫噴嘴供給藥液；玻璃板支持部，其將上述玻璃板以水平姿勢支持；噴嘴支持部，其相對於支持於上述玻璃板支持部之上述玻璃板，朝向上述噴出口支持上述細縫噴嘴；及掃描部，其使上述細縫噴嘴以沿著特定之掃描方向於上述玻璃板上相對地水平移動之方式於上述玻璃板支持部與上述噴嘴支持部之間進行相對之水平移動。
- 如請求項6之藥液塗佈裝置，其中上述藥液係用以於上述玻璃板上形成功能膜之溶液。
- 如請求項7之藥液塗佈裝置，其中上述功能膜係抗反射膜。
- 如請求項6之藥液塗佈裝置，其中上述藥液之溶劑係水。
- 如請求項6之藥液塗佈裝置，其中上述玻璃板構成太陽能電池之覆蓋玻璃。
- 如請求項6之藥液塗佈裝置，其中上述玻璃板係鈉鈣玻璃。
- 如請求項6之藥液塗佈裝置，其中上述玻璃板係紋理強化玻璃。
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Cited By (3)
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|---|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
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Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI511180B (zh) * | 2013-09-24 | 2015-12-01 | Univ Nat Chiao Tung | 薄膜塗佈方法 |
| TWI702672B (zh) * | 2017-02-06 | 2020-08-21 | 美商應用材料股份有限公司 | 改良式半角噴嘴 |
| US10752991B2 (en) | 2017-02-06 | 2020-08-25 | Applied Materials, Inc. | Half-angle nozzle |
| US11220746B2 (en) | 2017-02-06 | 2022-01-11 | Applied Materials, Inc. | Half-angle nozzle |
| US11634813B2 (en) | 2017-02-06 | 2023-04-25 | Applied Materials, Inc. | Half-angle nozzle |
| TWI797900B (zh) * | 2017-04-28 | 2023-04-01 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 塗佈處理裝置、塗佈處理方法，及光學膜形成裝置 |
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