TW201313420A - 機械手臂 - Google Patents

Abstract

[課題]更確實地防止臂等的部位的位置偏離。[技術內容]內部制動器，是具備：與伺服馬達的軸一體旋轉的制動器板、及可朝向制動器板移動的複數按壓構件(73a、73b)、及將按壓構件(73a、73b)朝向制動器板推迫的壓縮捲簧(78a、78b)、及在通電時由按壓構件(73a、73b)抵抗壓縮捲簧(78a、78b)的推迫力地電磁吸引的電磁線圈，壓縮捲簧(78a、78b)，是將2個按壓構件(73a、73b)由不同的推迫力推迫。

Description

機械手臂

本發明，是有關於具備旋轉電機的機械手臂。

習知，具備馬達等的旋轉電機的機械手臂，多被使用在生產現場等。在機械手臂的馬達中，電源被遮斷的情況時，為了防止臂等的部位藉由重力位置偏離，而具有設有例如無勵磁作動式電磁制動器等的制動器的情況(例如專利文獻1參照)。

又，無勵磁作動式電磁制動器，是具有在電源供給時中藉由電磁力使制動力被解除，在電源遮斷時中由彈簧等的機械的作用使制動力作用的結構。

[先行技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2008-307618號公報

如上述的制動器，是因為由例如煞車塊的磨耗等所產生的經年劣化或油脂的混入等而具有制動力下降的情況。制動器的制動力若下降的話，欲維持馬達的旋轉被限制的狀態成為困難，所以具有無法將臂等的部位保持的可能性。

因此，現在，將例如制動器的維修定期地實施，藉由 在制動力下降之前依據需要進行交換作業等來事先地防止。但是，臂等的部位的保持，希望可更確實地進行。

本發明所揭示的技術，是鑑於上述者，其目的是提供一種機械手臂，可以更確實地防止臂等的部位的位置偏離。

本案的揭示的機械手臂，是具備旋轉電機的機械手臂，具備限制前述旋轉電機的旋轉的制動器，前述制動器，是具備：與前述旋轉電機的軸一體旋轉的制動器板、及可朝向前述制動器板移動的複數按壓構件、及將前述按壓構件朝向前述制動器板推迫的推迫構件、及在通電時將前述按壓構件抵抗前述推迫構件的推迫力地電磁吸引的電磁線圈，前述推迫構件，是將前述複數按壓構件之中的至少2個前述按壓構件由不同的按壓力推迫。

依據本發明所揭示的機械手臂的一個態樣的話，可以更確實地防止臂等的部位的位置偏離。

以下參照添附圖面，詳細說明本案的揭示的機械手臂及機械手臂系統的一些實施例。但是，本發明不限定於這些實施例中的例示者。

[實施例1]

首先，對於實施例1的機械手臂的構成使用第1圖說明。第1圖，是實施例1的機械手臂的意示立體圖。又，以下，將第1圖所示的Y方向作為上方向說明。

且在此，機械手臂，雖說明具備2個手臂部的搬運機械手臂的情況的例，但是手臂部的數量不限於此。例如，手臂部是1個的搬運機械手臂也可以適用。且，在此，手臂部所搬運的被搬運物，雖舉例液晶用的玻璃基板和太陽光發電用的基板等的薄板狀的工件說明，但是被搬運物不限於此。

如第1圖所示，實施例1的機械手臂1，是具備：繞轉機構10、及昇降機構20、及水平臂單元30。繞轉機構10，是將昇降機構20及水平臂單元30以垂直的繞轉軸O為中心繞轉。

昇降機構20，是具備：基台21、及被立設在基台21的支柱部22、及基端部是藉由支柱部22被支撐且由先端部將水平臂單元30支撐的腳部單元23。且，腳部單元23，是具備：基端部可旋轉地被支撐於被立設在基台21的一端部的支柱部22上的第1腳部23a、及基端部可旋轉地被支撐在第1腳部23a的先端部且將水平臂單元30可旋轉地由先端部支撐的第2腳部23b。

在這種昇降機構20中，藉由將腳部單元23的姿勢變化使水平臂單元30朝上下方向移動。又，在基台21中，設有當昇降機構20下降至最下位置的情況時與水平臂單 元30抵接的止動器21a。設有可與水平臂單元30抵接的止動器21a。

水平臂單元30，是具備：將被搬運物也就是工件W載置用的手臂部33a、33b、及將手臂部33a、33b各別由先端支撐的臂部32a、32b。水平臂單元30，是藉由臂部32a、32b的伸縮將手臂部33a、33b朝預定方向移動。例如，機械手臂1是第1圖所示的繞轉位置中的情況時，臂部32a、32b是沿著Z方向將手臂部33a、33b直線地移動。

實施例1的機械手臂1，是例如，將被保管在無圖示的貯藏庫的工件W從貯藏庫取出，朝無圖示的作業區域搬運。又，在此，雖說明由手臂部33a所進行的搬運，但是由手臂部33b所進行的搬運也同樣。

首先，機械手臂1，是藉由使用昇降機構20將水平臂單元30上昇或下降，使手臂部33a位於比被保管在貯藏庫內成為取出對象的工件W的高度更低一些的高度。

接著，機械手臂1，是藉由驅動臂部32a而將手臂部33a在水平方向直線地移動，將手臂部33a進入保管工件W的貯藏庫內，其後，藉由昇降機構20將水平臂單元30上昇。由此，工件W被載置在手臂部33a上。

接著，機械手臂1，是藉由將臂部32a縮回將載置了工件W的手臂部33a從貯藏庫內在水平方向直線地退出。其後，機械手臂1，是藉由繞轉機構10將水平臂單元30及昇降機構20繞轉使手臂部33a的先端朝向作業區域的方向。

接著，機械手臂1，是藉由再度將臂部32a拉長，將手臂部33a在水平方向直線地移動，使手臂部33a進入作業區域。且，機械手臂1，是藉由昇降機構20將水平臂單元30下降。由此，手臂部33a的位置會下降，使工件W被載置在作業區域。

如此，機械手臂1，是藉著由臂部32a、32b的伸縮所進行的手臂部33a、33b的移動，由昇降機構20所進行的水平臂單元30的昇降及由繞轉機構10所進行的水平臂單元30的繞轉，進行工件W的搬運。

如此的機械手臂1的動作，是依據來自透過通訊網路與機械手臂1連接的控制裝置5的指示進行。

控制裝置5，是進行機械手臂1的驅動控制的控制裝置。具體而言，在機械手臂1的各關節部中，設有伺服馬達，控制裝置5，是控制這些伺服馬達的驅動。機械手臂1，是依照來自控制裝置5的指示藉由個別只有將各伺服馬達旋轉任意的角度，來驅動：繞轉機構10、昇降機構20及水平臂單元30。

又，將機械手臂1及控制裝置5連接的通訊網路，是可以使用例如有線LAN(網路)(Local Area Network)和無線LAN(網路)的一般的網路。

在機械手臂1的各伺服馬達中，內藏有當驅動電源遮斷時限制伺服馬達的旋轉的制動器。具體而言，這種制動器，是具備：與伺服馬達的軸一體旋轉的制動器板、可朝向制動器板移動的按壓構件、將按壓構件朝向制動器板推 迫的推迫構件、在通電時將按壓構件抵抗推迫構件的推迫力地電磁吸引的電磁線圈等。

這種制動器，若通電被遮斷而成為無勵磁狀態的話，按壓構件是藉由來自推迫構件的推迫力將制動器板按壓，限制制動器板的旋轉。且，藉由使制動器板的旋轉被限制，使與制動器板一體旋轉的軸的旋轉被限制。由此，機械手臂1的姿勢被保持，昇降機構20和水平臂單元30的位置偏離被防止。

在此，如上述的制動器，是因為例如由按壓構件和煞車塊的磨耗等所產生的經年劣化或油脂的混入等，而具有制動力下降的情況。在習知中，例如定期地進行維修，藉由依據需要進行交換作業，來事先防止由制動器的制動力下降所產生的昇降機構20等的位置偏離。但是，昇降機構20等的位置偏離，是希望更確實地防止。

尤其是，實施例1的機械手臂1，是如第1圖所示，由1個腳部單元23將水平臂單元30支撐的型式的機械手臂。因此，與由2以上的腳部單元將水平臂單元30支撐的型式的機械手臂相比，雖可以將構成簡化，但制動器的制動力下降的情況時昇降機構20等的位置偏離仍容易發生。且，如實施例1的機械手臂1，將液晶用玻璃基板和太陽光發電用基板搬運的機械手臂，是伴隨基板的大型化，其臂也大型化。因此，重量化的臂是，成為更容易發生位置偏離。

在此，實施例1的機械手臂1，是藉由設置複數將制 動器板按壓的按壓構件，即使其中任一的按壓構件是藉由經年劣化和故障等而無法發揮功的情況，也可藉由使其他的按壓構件作動來防止由昇降機構20等的重力所產生的位置偏離。

且實施例1的機械手臂1，是將限制伺服馬達的旋轉用的制動器，不是只有設在伺服馬達的內部，藉由也設在伺服馬達的外部，來提高制動器的制動力。藉此，也可以更確實地防止由昇降機構20等的重力所產生的位置偏離。

以下，具體說明實施例1的機械手臂1所具備的制動器的構成和動作等。以下，將被內藏在伺服馬達的制動器(第1制動器)稱為「內部制動器」，將設在伺服馬達的外部的制動器(第2制動器)稱為「外部制動器」。

又，以下，內部制動器及外部制動器，雖是說明無勵磁作動式電磁制動器的情況的例，但是內部制動器及外部制動器是無勵磁作動式電磁制動器以外的電磁制動器也可以。

第2圖，是機械手臂1的示意側面圖。如第2圖所示，機械手臂1，是具備：第1關節部25、及第2關節部26、及第3關節部27。

第1關節部25，是第1腳部23a的基端部是以與Z方向平行的旋轉軸為中心可旋轉地連結在支柱部22的先端部的關節部。且，第2關節部26，是第2腳部23b的基端部是以與Z方向平行的旋轉軸為中心可旋轉地連結在第1腳部23a的先端部的關節部。且，第3關節部27，是水 平臂單元30是以與Z方向平行的旋轉軸為中心可旋轉地連結在第2腳部23b的先端部的關節部。

在這些第1關節部25~第3關節部27中，如第2圖所示，設有：伺服馬達41a~41c、減速機42a~42c及外部制動器44a~44c。且，各伺服馬達41a~41c，是各別內藏有內部制動器43a~43c。又，伺服馬達41a~41c，是「旋轉電機」的一例。

在第1關節部25中，伺服馬達41a的旋轉是藉由減速機42a被減速地被輸出而使第1腳部23a旋轉，使第1腳部23a的對於支柱部22的姿勢變化。且，在第1關節部25中，當電源供給遮斷時，藉由使內部制動器43a及外部制動器44a作動，使第1腳部23a的對於支柱部22的姿勢被保持。

在第2關節部26中，伺服馬達41b的旋轉是藉由減速機42b被減速地被輸出而使第2腳部23b旋轉，使第2腳部23b的對於第1腳部23a的姿勢變化。且，在第2關節部26中，當電源供給遮斷時，藉由使內部制動器43b及外部制動器44b作動，使第2腳部23b的對於第1腳部23a的姿勢被保持。

在第3關節部27中，伺服馬達41c的旋轉是藉由減速機42c被減速地被輸出而使水平臂單元30旋轉，使水平臂單元30的對於第2腳部23b的姿勢變化。且，在第3關節部27中，當電源供給遮斷時，藉由使內部制動器43c及外部制動器44c作動，使水平臂單元30的對於第2腳 部23b的姿勢被保持。

又，如第2圖所示，支柱部22、腳部單元23及水平臂單元30，是從X方向所見，使腳部單元23位於水平臂單元30及支柱部22之間地被連結。即，沿著Z方向，使水平臂單元30、第2腳部23b、第1腳部23a、支柱部22依序被配置，彼此且使相鄰接的構件可旋轉地連結。

接著，說明伺服馬達41a~41c的內部構成。在此，說明設在第3關節部27的伺服馬達41c的內部構成的其中一例。第3圖，是伺服馬達41c的意示剖面圖。且，第4圖，是內部制動器43c的放大剖面圖。又，在第4圖中，顯示制動解除狀態中的內部制動器43c的放大剖面圖。

如第3圖所示，伺服馬達41c，是具備馬達本體部60及內部制動器43c。馬達本體部60，是具備：朝Z方向延伸的軸61、及被固定於軸61並以軸61的中心為旋轉軸旋轉的轉子62、及沿著Z方向將轉子62挾持地配置並將軸61可旋轉自如地支撐的2個軸承63。且，馬達本體部60，是具備：將轉子62及軸承63覆蓋地設置的托架64、及在托架64內被設在與轉子62相面對的位置的定子65。

在這種馬達本體部60中，藉由將預定的電壓被外加在定子65的線圈使在定子65發生旋轉磁場。且，藉由此旋轉磁場及轉子62的永久磁鐵所發生的磁場的相互作用使轉子62旋轉，並伴隨此轉子62的旋轉使軸61旋轉。

且在軸61的Z方向負側(內部制動器43c側)的先端部中，沿著Z方向形成有花鍵部61a。即，軸61的先端 部，其外周面是形成外齒輪狀。又，這種花鍵部61a，是藉由與形成於後述的制動器板72的內周面的內齒輪嚙合，使制動器板72與軸61一體地旋轉。

內部制動器43c，是具備：煞車塊71、及制動器板72、及按壓構件73、及螺栓74、及導引件75、及磁場芯76。

煞車塊71，是例如由橡膠等的摩擦阻力較高的材料形成的構件，各別被安裝在制動器板72的表面及背面(Z方向的正側及負側)。這些的煞車塊71，是在制動時，成為各別與托架64及按壓構件73抵接。

制動器板72，是其內周面形成內齒輪狀的環狀的構件。這種制動器板72，其內周面是藉由與軸61的花鍵部61a嚙合，而與軸61一體地旋轉。又，制動器板72，是沿著Z方向可移動地被設在托架64及按壓構件73之間。

按壓構件73，是被配設在磁場芯76及制動器板72之間的構件，藉由導引件75將磁場芯76及制動器板72間可移動地支撐。又，按壓構件73，是藉由設在磁場芯76的壓縮捲簧78a、78b成為朝向制動器板72被推迫的狀態。

磁場芯76，是包含由軟磁性材料形成的環狀的構件，藉由螺栓74被固定於托架64。在這種磁場芯76中，設有：電磁線圈77、及壓縮捲簧78a、78b。

電磁線圈77，是在通電時抵抗壓縮捲簧78a、78b的推迫力將按壓構件73電磁吸引的構件。且，壓縮捲簧78a、78b，是將按壓構件73朝向制動器板72推迫的構件。又，壓縮捲簧78a、78b，是「推迫構件」及「彈簧構件」 的一例。

在電磁線圈77通電的話，內部制動器43c是成為勵磁狀態，如第4圖所示，按壓構件73是抵抗壓縮捲簧78a、78b的推迫力朝磁場芯76被磁性吸引。由此，對於制動器板72的壓住力被開放，使軸61成為可旋轉。

另一方面，驅動電源是成為未被遮斷的勵磁狀態的話，內部制動器43c，是按壓構件73是藉由壓縮捲簧78a、78b的推迫力朝托架64側被壓住。由此，制動器板72的旋轉，是藉由按壓構件73及煞車塊71之間的摩擦力、及托架64及煞車塊71之間的摩擦力被限制，伴隨此，使軸61的旋轉被限制。

在本實施例1中，將制動器板72按壓的按壓構件73，是由2個按壓構件73a、73b所構成。在此，使用第5圖說明按壓構件73的具體的構成。第5圖，是實施例1的按壓構件73的前視圖。

如第5圖所示，2個按壓構件73a、73b，是從正面(Z方向)所見，具有將1個環狀的按壓構件73沿著徑方向分割的形狀，並且被配置成環狀。即，藉由這2個按壓構件73a、73b形成1個環狀的按壓構件73。

這些2個按壓構件73a、73b，是各別具有不同的中心角度。即，按壓構件73a、73b，是沿著按壓構件73的周方向具有不同的中心角度地被分割。具體而言，按壓構件73a的中心角度，是約150度，按壓構件73b的中心角度，是約210度。

藉由如此分割，可以使按壓構件73a的按壓面積(表面積)及按壓構件73b的按壓面積(表面積)相異。在此，按壓構件73b的按壓面積(表面積)是比按壓構件73a的按壓面積(表面積)更大。

又，在此，將按壓構件73a的中心角度雖為約150度，按壓構件73b的中心角度雖為約210度，但是不限定於此，2個按壓構件73a、73b的中心角度是相異的話，上述以外的角度也可以。

且在此，按壓構件73b的按壓面積(表面積)雖是分割成比按壓構件73a的按壓面積(表面積)更大，但是與此相反，按壓構件73a的按壓面積(表面積)是分割成比按壓構件73b的按壓面積(表面積)更大也可以。這種情況時，使按壓構件73a的中心角度成為比按壓構件73b的中心角度更大的方式將按壓構件73分割的話即可。

按壓構件73a、73b，是各別承受來自具有同一的彈簧常數的壓縮捲簧78a、78b的推迫力來按壓制動器板72。

在此，在按壓構件73a、73b中，壓縮捲簧78a、78b是對應各別的按壓面積(表面積)的大小各別設置不同的個數。具體而言，將按壓構件73a推迫的壓縮捲簧78a，是在與按壓構件73a的制動器板72相面對的面(按壓構件73a的中心側的部分)被設置4個。且，將按壓構件73b推迫的壓縮捲簧78b，是在與按壓構件73b的制動器板72相面對的面(按壓構件73b的中心側的部分)被設置6個。

如此，藉由將具有同一的彈簧常數的壓縮捲簧78a、 78b，對應2個按壓構件73a、73b的各面積的大小各別設置不同的個數，就可以使各按壓構件73a、73b的按壓力對應各面積的大小的按壓力。

如此藉由使按壓力相異，按壓構件73a、73b，是成為由各別不同的按壓力將制動器板72按壓。第5圖所示的情況時，按壓構件73b的按壓力，是比按壓構件73a的按壓力更大。

又，在此，因為使用具有同一的彈簧常數的壓縮捲簧78a、78b使2個按壓構件73a、73b的按壓力相異，與使用具有不同的彈簧常數的壓縮捲簧的情況相異，可以減少構成內部制動器43c的零件的種類。且，與使用具有不同的彈簧常數的壓縮捲簧的情況相比較，可以容易使2個按壓構件73a、73b的按壓力相異。

又，如第5圖所示，在未與按壓構件73a的制動器板72相面對的面(比配置有壓縮捲簧78a的圓狀領域更靠外側的圓狀領域)，設有3個導引件75。且，在未與按壓構件73b的制動器板72相面對的面(比配置有壓縮捲簧78b的圓狀領域更靠外側的圓狀領域)中，設有4個導引件75。

除了基於使用第5圖說明的按壓構件73a、73b的構成以外，具體說明制動器板72的制動時及制動解除時的動作。

如第3圖所示，內部制動器43c，是進行制動器板72的制動的情況時，即，預定的電壓未被外加在電磁線圈77狀態下，是2個按壓構件73a、73b是藉由壓縮捲簧78a、 78b的推迫力大致同時地將制動器板72按壓。又，如上述，按壓構件73b的按壓力，是比由按壓構件73a所產生的按壓力更大。

藉由從按壓構件73a、73b受到按壓力，制動器板72，是被按壓至托架64。由此，設在按壓構件73a、73b側的煞車塊71是與按壓構件73a、73b抵接，並且設在托架64側的煞車塊71是與托架64抵接。

此結果，藉由煞車塊71及按壓構件73a、73b之間的摩擦、及煞車塊71及托架64之間的摩擦，使制動器板72的旋轉被限制，隨此使軸61的旋轉被限制。

另一方面，將制動器板72的制動解除時，是藉由將預定的電壓外加在電磁線圈77，使從電磁線圈77發生電磁力。由此，按壓構件73a、73b，是如第4圖所示，抵抗壓縮捲簧78a、78b的推迫力朝電磁線圈77被電磁吸引。

此時，按壓構件73a、73b之中按壓力較小者(在此為按壓構件73a)，是成為比另一方(在此為按壓構件73b)更先朝電磁線圈77被電磁吸引。即，由按壓構件73a所產生的制動器板72的制動被解除的時間點、及由按壓構件73b所產生的制動器板72的制動被解除的時間點之間，會發生時間遲滯。

且按壓構件73a、73b是藉由一起遠離制動器板72，使按壓構件73及煞車塊71之間的摩擦力被解除，進一步，托架64及煞車塊71之間的摩擦力也被解除。此結果，制動器板72是隨著成為可軸61的旋轉而旋轉，即，由內 部制動器43c所產生的軸61的旋轉的限制被解除。

如此，在實施例1中，將制動器板72按壓的按壓構件，是具備2個按壓構件73a、73b。

由此，與只有設置1個按壓構件的情況相異，即使例如按壓構件73a或按壓構件73b之中的一方故障的情況，也因為可以使未故障的按壓構件作動，而可以更確實地防止昇降機構20等的部位的位置偏離。

且因為為將按壓構件73a及按壓構件73b的按壓力的大小相異，可以偏離起因於各按壓構件73a、73b的磨耗等的故障的發生時間點。因此，可以抑制2個按壓構件73a、73b同時故障的事態。

且因為將具有同一的彈簧常數的壓縮捲簧78a、78b，對應被配置於環狀的2個按壓構件73a、73b的不同的按壓面積分別設置不同的個數，所以可以使各按壓構件73a、73b的按壓力，對應各按壓構件73a、73b的按壓面積相異。

又，藉由維持2個按壓構件73a、73b的按壓力不同的條件，且適宜調整壓縮捲簧78a、78b的彈簧常數和個數、或是按壓構件73a、73b的質量等，就可以調整按壓構件73a、73b與制動器板72(煞車塊71)抵接的時間點。

這種調整的結果，按壓構件73a及按壓構件73b是大致同時與制動器板72(煞車塊71)抵接的情況時，可以將制動器板72的旋轉的制動時間更短縮。

且按壓構件73a及按壓構件73b是由不同的時間點與 制動器板72(煞車塊71)抵接的情況時，可以將制動器的制動力階段地(在此為2階段)發生。因此，制動器板72的旋轉的制動成為更圓滑，可以使制動時的衝擊和制動器音更緩和。

又，這種調整時，是也有使壓縮捲簧78a及壓縮捲簧78b的彈簧常數彼此相異。如此，壓縮捲簧78a、78b，不一定需要具有同一的彈簧常數。

在此，雖說明了將1個按壓構件73 2分割的情況的例，但是按壓構件的分割數量，不限定於此。將按壓構件分割成3個以上的按壓構件的情況時，至少2個按壓構件的按壓力不同地設置壓縮捲簧即可。且，在此，雖舉例伺服馬達41c說明，但是其他的伺服馬達41a、41b也具備與伺服馬達41c同樣的構成。

且在此，雖藉由將1個按壓構件73由不同的中心角度分割，並使分割後的按壓構件73a、73b的按壓面積相異，但是不限定於此。例如，中心角度皆是180度，且，將半徑的不同的2個按壓構件組合形成1個按壓構件73也可以。這種情況，也可以使2個按壓構件的按壓面積相異。

且在此，對於2個按壓構件73a、73b，雖藉由將具有同一的彈簧常數的壓縮捲簧各別設置不同的條數，使2個按壓構件73a、73b的按壓力相異，但是不限定於此。例如，對於2個按壓構件73a、73b，藉由將具有不同的彈簧常數的壓縮捲簧各別設置相同條數，使2個按壓構件73a 、73b的按壓力相異也可以。

接著，說明減速機42a~42c及外部制動器44a~44c的具體的構成。在此，使用第6圖說明設在第3關節部27的減速機42c及外部制動器44c的具體的構成的其中一例。第6圖，是第3關節部27周邊的放大剖面圖。

如第6圖所示，在第3關節部27中，伺服馬達41c是被固定在水平臂單元30側的外殼100內，減速機42c及外部制動器44c是被固定在第2腳部23b側的外殼200內。

減速機42c，是具備：形成筒狀的減速機本體部421、及設在貫通這種減速機本體部421的輸入軸422、及輸出軸423。這種減速機42c，是例如行星滾子型的減速機，在減速機本體部421中，配設有太陽滾子和行星滾子等。

輸入軸422，是與基端部是伺服馬達41c的軸61連結，將軸61的旋轉朝減速機本體部421的太陽滾子傳達。且，輸出軸423，其基端部是被固定於減速機本體部421的行星滾子，先端部是被固定於外殼100。

在這種減速機42c中，太陽滾子是伴隨輸入軸422的旋轉而旋轉，並且行星滾子是伴隨太陽滾子的旋轉而自轉且以太陽滾子為中心公轉。且，藉由伴隨這種行星滾子的公轉使輸出軸423旋轉，使被固定於輸出軸423的先端部的水平臂單元30旋轉，使水平臂單元30的對於第2腳部23b的姿勢變化。

又，減速機42c，是並非限於行星滾子型，例如行星 齒輪型的減速機等也可以。且，在實施例1中，雖例示機械手臂1是具備減速機42c的情況，但是機械手臂1，不一定需要具備減速機42c也可以。

外部制動器44c，是具備：制動器軸441、及制動器本體部442。制動器軸441，是在基端部與輸入軸422的先端部連結，且，其中心軸與輸入軸422的中心軸相同。

具體而言，制動器軸441的基端部，其內周面是形成於內齒輪狀，輸入軸422的先端部，其外周面是形成外齒輪狀。且，藉由輸入軸422的先端部及制動器軸441的基端部相互嚙合，使輸入軸422及制動器軸441被一體化，使制動器軸441伴隨輸入軸422的旋轉而旋轉。

又，軸承201是被固定在外殼200中，藉由這種軸承201可旋轉地被支撐制動器軸441。

制動器本體部442，是具有與使用第3圖等說明的內部制動器43c同樣的構成的無勵磁作動式電磁制動器。即，制動器本體部442，是具備：與制動器軸441一體地旋轉的制動器板、透過螺栓等被固定於外殼200的磁場芯、被配設在磁場芯及制動器板之間的按壓構件、將按壓構件朝向制動器板推迫的壓縮捲簧等。

且外部制動器44c的按壓構件，是與內部制動器43c的按壓構件73同樣地被2分割。由此，即使例如一方的按壓構件故障的情況，因為可以使未故障的按壓構件作動，所以可以更確實地防止昇降機構20等的部位的位置偏離。

又，在此，制動器本體部442的按壓構件的構成及內部制動器43c的按壓構件的構成雖是作成同一者，但是不限定於此。例如，制動器本體部442的按壓構件的分割數量和分割角度，即使是與內部制動器43c的按壓構件73的分割數量和分割角度相異也可以。且，設於制動器本體部442的按壓構件的壓縮捲簧的條數等，也不需要與內部制動器43c的按壓構件73相同。且，制動器本體部442的按壓構件不被分割也可以。

如此，本實施例1的機械手臂1，是對於1個伺服馬達41c具備內部制動器43c及外部制動器44c的2個制動器。因此，與將伺服馬達41c的旋轉只有由內部制動器43c限制的情況相比，可以提高制動力。

且內部制動器43c或外部制動器44c之中一方的制動力即使是因為經年劣化等成為不充分情況，因為可以藉由另一方的制動器限制伺服馬達41c的旋轉，所以可以更確實地防止由水平臂單元30的重力所產生的位置偏離。

又，如第6圖所示，外部制動器44c，不是限制輸出軸423而是限制輸入軸422的旋轉。這是因為與輸出軸423相比輸入軸422的扭矩較小，藉由限制這種輸入軸422的旋轉，與限制輸出軸423的旋轉的情況相比，可以將外部制動器小型化。

各別被設在第1關節部25及第2關節部26的伺服馬達41a、41b、減速機42a、42b及外部制動器44a、44b的構成，也與設在第3關節部27的伺服馬達41c、減速機 42c及外部制動器44c同樣。

接著，使用第7~9圖說明由控制裝置5所進行的機械手臂1的動作控制。本實施例1的控制裝置5，是除了伺服馬達41的驅動控制以外，也實行：診斷內部制動器43和外部制動器44是否正常地發揮功能的診斷處理、和診斷為內部制動器43或外部制動器44未正常地發揮功能的情況時使機械手臂1成為退避姿勢取的異常對應處理的處理。

首先，使用第7圖說明控制裝置5的構成。第7圖，是顯示控制裝置5的構成的一例的方塊圖。又，在第7圖中，為了說明控制裝置5的特徵只有顯示需要的構成要素，省略一般的構成要素的記載。

如第7圖所示，控制裝置5，是具備：轉換部51、及伺服擴大器52、及DC電源53、及開關54a、54b、及控制部55。

且如第7圖所示，機械手臂1，是進一步具備編碼器46。編碼器46，是檢出伺服馬達41的旋轉位置的位置檢出部，對應各伺服馬達41被設置。藉由這種編碼器46被檢出的伺服馬達41的旋轉位置(編碼器值)，是朝控制部55被輸出。

又，在此，編碼器46雖是絕對值編碼器者，但不限定於此，編碼器46，是增量式編碼器也可以。且，可取代編碼器46，將分析器等作為位置檢出部用也可以。

轉換部51，是使用從AC(Alternating Current)主電源 2被供給的交流電力來生成伺服馬達41的驅動電力的裝置。藉由轉換部51被生成的驅動電力，是朝伺服擴大器52被輸入。伺服擴大器52，是依據來自控制部55的指令進行PWM控制，對於伺服馬達41供給驅動電力的處理部。

DC電源53，是由從AC主電源2被供給的交流電力生成直流電力。藉由DC電源53被生成的直流電力，是朝內部制動器43及外部制動器44被供給。又，雖未圖示，但是藉由DC電源53被生成的直流電力，也朝控制部55等被供給。

開關54a，是內部制動器43的電源開關，切換來自對於內部制動器43的DC電源53的直流電力的供給及遮斷。且，開關54b，是外部制動器44的電源開關，切換來自對於外部制動器44的DC電源53的直流電力的供給及遮斷。

這些開關54a、54b的切換，是藉由控制部55進行。又，內部制動器43及外部制動器44，是藉由使開關54a、54b被斷開(OFF)，即，藉由電源供給被遮斷而作動來限制伺服馬達41的旋轉。

控制部55，是依據來自吊架等的操作部或PC(Personal Computer)等的上位控制器的指令資料、及從編碼器46取得的編碼器值，對於伺服馬達41的控制進行需要的計算處理，生成PWM波形朝伺服擴大器52輸出。又，在伺服擴大器52中，依據這種PWM波形進行PWM控制。

且控制部55，是依據來自操作部或是上位控制器的指 令，實行內部制動器43及外部制動器44的診斷處理。在此，診斷處理，是在使內部制動器43或外部制動器44作動的狀態下將伺服馬達41驅動的情況時依據從編碼器46取得的編碼器值，判別內部制動器43或外部制動器44是否正常的處理。對於這種診斷處理的具體的處理程序，是使用第8圖如後述。

且控制部55，是在上述的診斷處理判別為內部制動器43或外部制動器44為異常的情況時，實行異常對應處理。在此，異常對應處理，是萬一即使昇降機構20或水平臂單元30是藉由重力位置偏離的情況，為了確保對於這種位置偏離的安全性，除了將昇降機構20下降至最下位置為止以外，將朝伺服馬達41的電源供給遮斷的處理。對於這種異常對應處理的具體的處理程序，是使用第9圖如後述。

又，控制部55，是藉由控制開關54a、54b的通斷(ON/OFF)，可以將內部制動器43及外部制動器44由不同的時間點作動。且，在此雖省略圖示，但是控制部55，也具備從伺服馬達41取得伺服馬達41的扭矩值的功能。即，控制部55，也具有將伺服馬達41的扭矩值取得的扭矩值取得部功能。

接著，使用第8圖說明控制裝置5所實行的內部制動器43及外部制動器44的診斷處理的處理程序。第8圖，是顯示診斷處理的處理程序的一例的流程圖。

又，在第8圖中，雖只有顯示內部制動器43的診斷 處理的處理程序，但是控制裝置5，是也對於外部制動器44進行與如第8圖所示的處理程序同樣的處理程序。且，在診斷處理的開始前，開關54a、54b皆是被導通(ON)的狀態，即，內部制動器43及外部制動器44皆是被解除的狀態下。

如第8圖所示，控制裝置5的控制部55，是診斷為處理開始的話，從編碼器46取得現在的編碼器值作為基準值(步驟S101)。將在此取得被的編碼器值作成編碼器值A。又，控制部55，是將所取得的編碼器值A記憶在RAM(動態隨機存取記憶體、Random Access Memory)等的無圖示的記憶部。

接著，控制部55，是除了藉由將開關54a斷開(OFF)使內部制動器43作動以外(步驟S102)，更驅動伺服馬達41(步驟S103)。且，控制部55，是再度取得編碼器值(編碼器值B)(步驟S104)，判別所取得的編碼器值B及基準值也就是編碼器值A的差的絕對值是否超過預定的門檻值(步驟S105)。

在這種處理中，編碼器值A及編碼器值B的差的絕對值未超過預定的門檻值的情況(步驟S105、No)時，控制部55，判別內部制動器43為正常(步驟S106)。

即，驅動伺服馬達41也無法看到編碼器值變化的情況時，可以判別為伺服馬達41的旋轉有藉由內部制動器43被適切地限制(即內部制動器43正常地作動)。又，控制部55，是將步驟S106中的判別結果朝上位控制器等通 知也可以。

另一方面，編碼器值A及編碼器值B的差的絕對值是超過預定的門檻值情況(步驟S105、Yes)時，控制部55，就判別為內部制動器43是異常(步驟S107)，實行異常對應處理(步驟S108)。控制部55，是結束步驟S106或步驟S108的處理的話，終了對於內部制動器43的診斷處理。

如此，控制裝置5，是在使內部制動器43或外部制動器44作動的狀態下依據將伺服馬達41驅動的情況時的編碼器值，判別內部制動器43或外部制動器44是否正常。因此，可以容易地診斷內部制動器43和外部制動器44是否正常地發揮功能。

又，在此，控制裝置5雖是在接到來自操作部或是上位控制器的指令的情況時開始進行診斷處理，但是控制裝置5，是定期地實行診斷處理也可以。

接著，使用第9圖說明步驟S108中的異常對應處理的處理程序。第9圖，是顯示異常對應處理的處理程序的一例的流程圖。

如第9圖所示，控制部55，是異常對應處理開始的話，將伺服馬達41驅動使機械手臂1的昇降機構20下降至預定位置(步驟S201)。這種預定位置，是例如由軟體設定的控制裝置5將昇降機構20昇降的範圍的下限位置。昇降機構20即使下降至這種預定位置，水平臂單元30，也不會與設在基台21的止動器21a接觸。

接著，控制部55，是驅動伺服馬達41使昇降機構20 進一步下降(步驟S202)。由此，水平臂單元30，是進一步朝向止動器21a下降。

接著，控制部55，是從伺服馬達41取得扭矩值(步驟S203)，判別所取得的扭矩值是否超過預定的門檻值(步驟S204)。在這種處理中，所取得的扭矩值未超過預定的門檻值的情況時(步驟S204、No)，直到所取得的扭矩值超過預定的門檻值為止反覆步驟S202~S204的處理。

在此，水平臂單元30與止動器21a抵接而成為無法越限下降的狀態的話，伺服馬達41的扭矩值會上昇。在此，所取得的扭矩值是超過預定的門檻值的情況時(步驟S204、Yes)，控制部55就判別為水平臂單元30下降至最下位置，並將朝伺服馬達41的電源供給遮斷(步驟S205)，結束處理。

又，進行將有關於制動器異常的資訊朝上位控制器等通知的處理也可以。例如，藉由通知在內部制動器43或外部制動器44發生的任何異常，作業者等，就可以有效率地進行交換作業等。

且在此，雖在內部制動器43或外部制動器44的其中任一方若異常被檢出的情況時進行異常對應處理，但不限定於此，在內部制動器43或外部制動器44的雙方異常被檢出的情況時進行異常對應處理也可以。

這種的情況時，只有在內部制動器43或外部制動器44的其中任一方異常被檢出的情況時，例如，只有進行異常被檢出的情況朝上位控制器等通知的處理也可以。

如此，控制裝置5，是判別為內部制動器43或外部制動器44不正常的情況時，藉由將伺服馬達41驅動使昇降機構20移動至最下位置。因此，萬一，昇降機構20或水平臂單元30是藉由重力位置偏離的情況，也可以確保對於這些昇降機構20和水平臂單元30的位置偏離的安全性。

且控制裝置5，是將昇降機構20移動至預定位置之後進一步驅動伺服馬達41，從伺服馬達41取得的扭矩值若超過預定值情況時，就判別為昇降機構20已移動至最下位置。因此，可以將昇降機構20更確實地移動至最下位置。

且控制裝置5，因為是在將昇降機構20移動至最下位置之後，將朝伺服馬達41的電源供給遮斷，所以可以提高例如進行制動器的交換作業等的作業者的安全性。

如上述，在實施例1中，機械手臂，是具備限制伺服馬達的旋轉的內部制動器(或是外部制動器)，內部制動器(或是外部制動器)，是具備：與伺服馬達的軸一體旋轉的制動器板、及可朝向制動器板移動的複數按壓構件、及將按壓構件朝向制動器板推迫的壓縮捲簧、及在通電時將按壓構件抵抗壓縮捲簧的推迫力地電磁吸引的電磁線圈，壓縮捲簧，是將2個按壓構件由不同的推迫力推迫。因此，可以更確實地防止昇降機構等的部位的位置偏離。

且在實施例1中，機械手臂，是具備內部制動器及外部制動器。因此，可以提高限制伺服馬達的旋轉的制動器的制動力，可以更確實地防止昇降機構等的部位的位置偏 離。

又，在上述的實施例1中，雖說明了對於1個伺服馬達41各別設置1個內部制動器43及外部制動器44的情況的例，但不限定於此，對於1個伺服馬達41設置複數內部制動器43或複數外部制動器44也可以。

[實施例2]

但是在上述的實施例1中，如第5圖所示，雖說明了2個按壓構件73a、73b是被配置成環狀的情況的例，但是按壓構件的配置，不限定於此。以下，使用第10圖說明有關於按壓構件的其他的構成的實施例2。第10圖，是實施例2的按壓構件的前視圖。

又，在以下的說明中，對於與已經說明的部分同樣的部分，是附加與已經說明的部分同相的符號，並省略重複的說明。

如第10圖所示，按壓構件73'，是由半徑的大小各別不同的2個按壓構件73a'及按壓構件73b'所構成。這些2個按壓構件73a'、73b'，是從正面(Z方向)所見，形成環狀，且，使中心大致的方式被配置成同心圓狀。又，按壓構件73a'的半徑是比按壓構件73b'的半徑更小，按壓構件73a'的按壓面積是比按壓構件73b'的按壓面積更小。

按壓構件73a'、73b'之中，在位於同心圓的中心側的按壓構件73a'中，將按壓構件73a'推迫的8個壓縮捲簧78a'，是橫跨按壓構件73a'的大致全周地設置。且，在位 於比按壓構件73a'更靠同心圓的外側的按壓構件73b'中，將按壓構件73b'推迫的12個的壓縮捲簧78b'，是橫跨按壓構件73b'的大致全周被設置。壓縮捲簧78a'、78b'，是「推迫構件」及「彈簧構件」的一例。

如此，壓縮捲簧78a'及壓縮捲簧78b'，是各別對應按壓構件73a'的按壓面積的大小及按壓構件73b'的按壓面積的大小，各別設置不同的個數。又，壓縮捲簧78a'及壓縮捲簧78b'，是具有同一的彈簧常數。

又，在按壓構件73a'中，由90度間隔設置4個導引件75。且，在按壓構件73b'中，由90度間隔設置4個導引件75。

如上述，在實施例2中，與實施例1相異，具有不同的大小的半徑的複數按壓構件是被配置成同心圓狀，被配置成同心圓狀的複數環狀的按壓構件之中被配置於外側的按壓構件及被配置於內側的按壓構件，是藉由壓縮捲簧各別由不同的按壓力被推迫。

如此構成按壓構件的情況，也可以獲得與實施例1同樣的效果。即，與只有設置1個按壓構件的情況相異，即使例如由按壓構件73a'或按壓構件73b'之中的一方故障的情況，因為可以使未故障的按壓構件作動，所以可以更確實地防止昇降機構20等的部位的位置偏離。又，實施例2的其他的效果，是與上述的實施例1同樣。

[實施例3]

但是在上述的各實施例中，如第6圖所示，雖將外部制動器44c配置在透過減速機本體部421與伺服馬達41c相面對的位置。但是，外部制動器的安裝位置，是不限定於此。

以下，使用第11圖說明有關於外部制動器的其他的安裝位置的實施例3。第11圖，是顯示外部制動器的安裝位置的其他的一例的圖。

如第11圖所示，外部制動器44'，是例如設在伺服馬達41'及減速機42'之間也可以。在第11圖中，外部制動器44'，雖是例示被固定於伺服馬達41'的情況，但是外部制動器44'，是被固定於減速機42'也可以。

如此，外部制動器，是如實施例1的外部制動器44，透過減速機本體部421設在與伺服馬達41相面對的位置也可以，如實施例3的外部制動器44'，設在伺服馬達41'及減速機42'之間也可以。

又，伺服馬達41'，是與實施例1及實施例2同樣地，具備內部制動器43'。這種內部制動器43'的按壓構件的構成，是與實施例1的按壓構件73相同也可以，與實施例2的按壓構件73'相同也可以。

[實施例4]

在上述的各實施例中，雖說明了機械手臂，是由1個腳部單元將水平臂單元支撐的型式的機械手臂的情況的例，但是機械手臂的型式，不限定於此。

例如，機械手臂，是由2個以上的腳部單元將水平臂單元支撐的型式的機械手臂也可以。以下，使用第12圖說明這種情況的實施例4。第12圖，是實施例4的機械手臂的意示立體圖。

如第12圖所示，實施例4的機械手臂1a，是具備：基台310、及昇降機構320、及水平臂單元330。且，昇降機構320，是具備：可旋轉地被安裝於於基台310的繞轉部321、及各別被立設在繞轉部321兩端的支柱部322、323、及將水平臂單元330可旋轉地支撐的支撐基座部324、及基端部各別被支撐在支柱部322、323並由先端部將支撐基座部324支撐的2個腳部單元325、326。

且腳部單元325，是具備：基端部可旋轉地被支撐於支柱部322的第1腳部325a、及基端部可旋轉地被支撐在第1腳部325a的先端部且將支撐基座部324由先端部支撐的第2腳部325b。同樣地，腳部單元326，是具備：基端部可旋轉地被支撐於支柱部323的第1腳部326a、及基端部可旋轉地被支撐在第1腳部326a的先端部且將支撐基座部324由先端部支撐的第2腳部326b。

水平臂單元330，是具備：載置工件用的手臂部331a、331b、及各別由先端將手臂部331a、331b支撐的臂部332a、332b。水平臂單元330，是與實施例1的水平臂單元30同樣，藉由臂部332a、332b的伸縮使手臂部331a、331b朝預定方向移動。

在這種昇降機構320中，藉由變化2個腳部單元325 、326的姿勢使水平臂單元330朝上下方向移動。又，昇降機構320，因為是使用2個腳部單元325、326將水平臂單元330支撐，所以與實施例1的昇降機構20相比可以更確實地保持水平臂單元330。

且在昇降機構320的各關節部，即，第1腳部325a、326a的基端部是可旋轉地與支柱部322、323的先端部連結的第1關節部、及第2腳部325b、326b的基端部是可旋轉地與第1腳部325a、326a的先端部連結的第2關節部中，各別設有內藏了內部制動器的伺服馬達、減速機及外部制動器。這些伺服馬達、減速機、內部制動器及外部制動器的構成，是與實施例1的伺服馬達41、減速機42、內部制動器43及外部制動器44、或實施例3的伺服馬達41'、減速機42'、內部制動器43'及外部制動器44'同樣。

如此，機械手臂，是藉由2個腳部單元將水平臂單元支撐的型式的機械手臂也可以。又，在第12圖中，雖顯示具備2個腳部單元的機械手臂，但是腳部單元的數量是2個以上也可以。

[實施例5]

且機械手臂，是例如直線運動型的搬運機械手臂也可以。以下，使用第13圖說明這種情況的實施例5。第13圖，是擴大實施例5的機械手臂的一部分的圖。又，以下，將第13圖所示的Y方向作為上下方向說明。

如第13圖所示，實施例5的機械手臂1b，是藉由將 旋轉力轉換成直線的動作來進行朝上下方向的移動的齒條和小齒輪型的機械手臂。具體而言，機械手臂1b，是具備：朝上下方向延伸的齒條部510、及朝上下方向可移動地被保持於齒條部510的直線運動體520、及被搭載於直線運動體520上的馬達單元部530。

且馬達單元部530，是具備：被立設在直線運動體520的支撐部531、及被固定於支撐部531的伺服馬達532、及將伺服馬達532的旋轉減速輸出的減速機533、及限制伺服馬達532的旋轉的外部制動器534、及被安裝於減速機533的輸出軸533a先端的小齒輪535。

且伺服馬達532，是與上述的各實施例的伺服馬達同樣地內藏內部制動器536。這種內部制動器536的按壓構件的構成，是與實施例1的按壓構件73相同也可以，與實施例2的按壓構件73'相同也可以。

在這種機械手臂1b中，藉由伺服馬達532的驅動使小齒輪535一邊與齒條部510嚙合一邊旋轉，使直線運動體520可朝上下方向移動。

且在實施例5的機械手臂1b中，與上述的各實施例同樣，因為設置內部制動器536及外部制動器534於1個伺服馬達532，所以與只有由內部制動器536限制伺服馬達532的旋轉的情況相比較可以提高制動力，可以更確實地防止由直線運動體520的重力所產生的位置偏離。如此，機械手臂，是第13圖所示的直線運動型的機械手臂也可以。

對於進一步的效果和變形例，本行業者可以容易地導出。因此，本發明的更廣範的態樣，不限定於如以上表示及記載的特定的詳細及代表的實施例。因此，在不脫離藉由添附的申請專利範圍及其均等物所定義的總括的發明的概念的精神或是範圍內，可進行各式各樣的變更。

例如，在上述的各實施例中，雖對於1個伺服馬達設置內部制動器及外部制動器的2個制動器，但不限定於此，對於1個伺服馬達只有設置內部制動器或外部制動器的其中任一方也可以。

1‧‧‧機械手臂

2‧‧‧AC主電源

5‧‧‧控制裝置

10‧‧‧繞轉機構

20‧‧‧昇降機構

21‧‧‧基台

21a‧‧‧止動器

22‧‧‧支柱部

23‧‧‧腳部單元

23a‧‧‧第1腳部

23b‧‧‧第2腳部

25‧‧‧第1關節部

26‧‧‧第2關節部

27‧‧‧第3關節部

30‧‧‧水平臂單元

32a、32b‧‧‧臂部

33a、33b‧‧‧手臂部

41a~41c‧‧‧伺服馬達

42a~42c‧‧‧減速機

43a~43c‧‧‧內部制動器

44a~44c‧‧‧外部制動器

45‧‧‧續流二極體

46‧‧‧編碼器

51‧‧‧轉換部

52‧‧‧伺服擴大器

53‧‧‧DC電源

54a、54b‧‧‧開關

55‧‧‧控制部

61‧‧‧軸

62‧‧‧轉子

63‧‧‧軸承

64‧‧‧托架

65‧‧‧定子

71‧‧‧煞車塊

72‧‧‧制動器板

73(73a、73b)‧‧‧按壓構件

74‧‧‧螺栓

75‧‧‧導引件

76‧‧‧磁場芯

77‧‧‧電磁線圈

78a、78b‧‧‧壓縮捲簧

100、200‧‧‧外殼

201‧‧‧軸承

421‧‧‧減速機本體部

422‧‧‧輸入軸

423‧‧‧輸出軸

441‧‧‧制動器軸

442‧‧‧制動器本體部

[第1圖]第1圖，是實施例1的機械手臂的意示立體圖。

[第2圖]第2圖，是機械手臂的示意側面圖。

[第3圖]第3圖，是伺服馬達的意示剖面圖。

[第4圖]第4圖，是內部制動器的放大剖面圖。

[第5圖]第5圖，是實施例1的按壓構件的前視圖。

[第6圖]第6圖，是第3關節部周邊的放大剖面圖。

[第7圖]第7圖，是顯示控制裝置的構成的一例的方塊圖。

[第8圖]第8圖，是顯示診斷處理的處理程序的一例的流程圖。

[第9圖]第9圖，是顯示異常對應處理的處理程序的一例的流程圖。

[第10圖]第10圖，是實施例2的按壓構件的前視圖。

[第11圖]第11圖，是顯示外部制動器的安裝位置的其他的一例的圖。

[第12圖]第12圖，是實施例4的機械手臂的意示立體圖。

[第13圖]第13圖，是擴大實施例5的機械手臂的一部分的圖。

73(73a、73b)‧‧‧按壓構件

75‧‧‧導引件

77‧‧‧電磁線圈

78a、78b‧‧‧壓縮捲簧

Claims (7)

1. 一種機械手臂，是具備旋轉電機，其特徵為：具備限制前述旋轉電機的旋轉的制動器，前述制動器，是具備：與前述旋轉電機的軸一體旋轉的制動器板、及可朝向前述制動器板移動的複數按壓構件、及將前述按壓構件朝向前述制動器板推迫的推迫構件、及在通電時將前述按壓構件抵抗前述推迫構件的推迫力地電磁吸引的電磁線圈，前述推迫構件，是將前述複數按壓構件之中的至少2個前述按壓構件由不同的推迫力推迫。
2. 如申請專利範圍第1項的機械手臂，其中，前述推迫構件，是包含彈簧構件，藉由使用前述彈簧構件使對於至少2個前述按壓構件的推迫力相異，使至少2個前述按壓構件的按壓力相異。
3. 如申請專利範圍第2項的機械手臂，其中，前述複數按壓構件，是具有彼此不同的按壓面積。
4. 如申請專利範圍第3項的機械手臂，其中，前述複數按壓構件，是使沿著周方向具有不同的中心角度的方式被分割成複數部分，並且被配置成環狀。
5. 如申請專利範圍第4項的機械手臂，其中，前述彈簧構件，是具有同一的彈簧常數， 對應被配置於前述環狀的前述複數部分的不同的按壓面積各設置不同的個數。
6. 如申請專利範圍第3項的機械手臂，其中，前述複數按壓構件，是半徑的大小各別相異，且，被配置成同心圓狀，被配置成前述同心圓狀的複數環狀的按壓構件之中被配置於外側的前述按壓構件及被配置於內側的前述按壓構件，是藉由前述推迫構件由各別不同的按壓力被推迫。
7. 如申請專利範圍第1~6項中任一項的機械手臂，其中，該機械手臂，具備：水平臂單元，是設有將被搬運物載置的手臂部、及將該手臂部朝預定方向移動的臂部；及昇降機構，是使用前述旋轉電機將前述水平臂單元朝上下方向移動。