201139049 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於被使用在爲了硏磨硏磨對象物的表面的 硏磨具。 【先前技術】 以往，爲了製造薄膜型電子零件，使用著玻璃基板、 矽基板、碳化矽基板、氮化矽基板、藍寶石基板、或是氧 化鋁-碳化鈦基板等。此些基板的表面是使用硏磨裝置而 平滑地被硏磨。 硏磨裝置是由硏磨具與其驅動裝置所構成。硏磨具是 由被連接於驅動裝置所具備的旋轉軸的砥石裝設板、及被 裝設於砥石裝設板下面的環狀砥石所構成。利用與硏磨具 一起旋轉該驅動裝置的旋轉軸，又將砥石的下面接觸於加 工對象物的表面，進行加工對象物表面的硏磨。 一方面，眾知於硏磨具的砥石裝設板固定超音波振動 子，而將在該超音波振動子所發生的超音波振動經由砥石 裝設板授與砥石的情形。藉此，可減低砥石與硏磨對象物 之摩擦之故，因而被抑制硏磨對象物的發熱。因此，於硏 磨對象物很難產生因發熱所致的膨脹或變質。所以，可以 高精度硏磨硏磨對象物的表面。 在專利文獻1，揭示表示於第1 3圖的硏磨具。第13 圖的硏磨具1 3 0是由：被固定於旋轉軸的環狀砥石保持構 件1 3 4、裝設於砥石保持構件1 3 4下面的環狀砥石1 3 3、 -5- 201139049 以及被固定於砥石保持構件134的超音波振動子135所構 成。在該硏磨具130的砥石保持構件134的內周面與外周 面分別形成有周溝134a。 在同文獻，記載著利用上述周溝1 34a的形成，就可 將比環狀連接部134的周溝134a還要下側的部分，以其 寬度方向的中央位置作爲振動之關節而朝徑方向進行超音 波振動，該超音波振動是不會傳輸至比胝石保持構件134 的周溝134a還要上側的部分之故，因而可有效率地使砥 石1 3 3超音波振動。 在專利文獻2，揭示著表示於第14圖的硏磨具。第 14圖的硏磨具140是由被固定於旋轉軸149的砥石保持 構件144，被裝設於砥石保持構件144之下面的環狀砥石 143，以及被固定於砥石保持構件144的超音波振動子 145所構成。砥石保持構件144是由圓板部144a與自其 周緣朝下方延伸的圓筒部144b所構成。 在圓筒部144b，設有包括環狀地形成的連續的空氣 相的空氣相含有區域145，147朝著圆筒部144b的軸方向 地（上下地）雙重形成的構成的環狀空氣相含有領域148。 環狀空氣相含有區域146是由形成於圓筒部144b的內周 面的圓環狀內側溝1 46c的內部的空氣相1 46a與連結領域 146b所構成。環狀空氣相含有區域147是由形成於圓筒 部144b的外周面的圓環狀外側溝147c的內部的空氣相 147a與連結領域147b所構成。 在同文獻，記載著以上述超音波振動子145所發生的. -6 - 201139049 超音波振動，是以圓筒部144b與溝146c，147c的各內部 的空氣相之界面所形成的超音波反射面被反射，很難傳輸 到比圓筒部14 4b的各溝還要上側的部分之故，因而其大 部分經由比圓筒部1 44b的各溝還要下側的部分有效率地 授與給砥石1 43。 (先前技術文獻） (專利文獻） 專利文獻1 :日本特開2009-226575(第7圖） 專利文獻2 :國際公開第08/1 08463號小冊子（第15圖） 【發明內容】 (發明所欲解決之課題） 專利文獻1的硏磨具是將超音波振動有效率地授與給 砥石之故，因而於砥石保持構件的內周面與外周面分別形 成周溝。 專利文獻2的硏磨具是將超音波振動有效率地授與給 砥石之故，因而於砥石保持構件的圓筒部之內周面與形成 圓環狀內側溝，又於外周面形成圓環狀外側溝。 本發明的課題，是提供一種可將以超音波振動子所發 生的超音波振動有效率地授與給砥石的新穎構成的硏磨具 (解決課題之手段） 本發明是一種硏磨具’包括：於旋轉軸的下端部對於 -7- 201139049 旋轉軸垂直地被固定的圓盤狀或環狀的支撐板，經由環狀 連接部又與支撐板隔著間隔平行地被支撐於支撐板的下方 ，而於下面裝設有環狀砥石的環狀砥石裝設板，及被固定 於砥石裝設板的超音波振動子，其特徵爲：與上述環狀連 接部的支撐板連接的上側環狀連接面的內周緣，位於比與 環狀砥石裝設板連接的下側環狀連接面的外周緣還要外周 側，而於該連接部的上側環狀連接面的內周緣與下側環狀 連接面的外周緣之間，朝著上述連接部的徑方向多重地形 成包括環狀地形成或配置的連續或非連續的空氣相的環狀 空氣相含有區域所成的環狀空氣相含有領域，爲利用該環 狀空氣相含有領域自超音波振動子所發生的超音波振動沿 著與上述砥石裝設板平行的方向而不會傳輸至比環狀連接 部的環狀空氣相含有領域還要外周側的領域的方式所設置 〇 本發明是一種硏磨具，包括：於旋轉軸的下端部對於 旋轉軸垂直地被固定的圓盤狀或環狀的支撐板，經由環狀 連接部又與支撐板隔著間隔平行地被支撐於支撐板的下方 ，而於下面裝設有環狀砥石的環狀砥石裝設板，及被固定 於該砥石裝設板的超音波振動子，其特徵爲： 與上述環狀連接部的支撐板連接的上側環狀連接面的 外周緣，位於比與環狀砥石裝設板連接的下側環狀連接面 的內周緣還要內周側，而於該連接部的上側環狀連接面的 外周緣與下側環狀連接面的內周緣之間，朝著上述連接部 的徑方向多重地形成包括環狀地形成或配置的連續或非連 -8- 201139049 續的空氣相的環狀空氣相含有區域所成的環狀空氣相含有 領域，爲利用該環狀空氣相含有領域自超音波振動子所發 生的超音波振動沿著與上述砥石裝設板平行的方向而不會 傳輸至比環狀連接部的環狀空氣相含有領域還要內周側的 領域的方式所設置。 上述的各硏磨具的較佳態樣是如下。 (1) 設有環狀連接部的環狀空氣相含有領域的部位的 各自上下面爲與環狀砥石裝設板平行的面。 (2) 環狀連接部的下側環狀連接面的外周緣爲位於比 砥石的內周緣還要內周側。 (3) 超音波振動子爲具有比環狀連接部的下側環狀連 接面的內周緣的直徑還要小的外徑的環狀形狀，而此超音 波振動子爲與環狀砥石裝設板同軸地被固定於環狀砥石裝 設板的上面或下面。 (4) 環狀空氣相含有領域是於環狀連接部經由連結領 域斷續地形成的內周側的複數貫通溝及經由連結領域斷續 地形成的外周側的複數貫通溝所構成，內周側的連結領域 是配置成接觸於外周側的貫通溝，且外周側的連結領域是 配置成接觸於內周側的貫通溝。 (5) 環狀空氣相含有領域是於環狀連接部經由連結領 域斷續地形成的內周側的複數貫通孔及經由連結領域斷續 地形成的外周側的複數貫通孔所構成，內周側的連結領域 是配置成接觸於外周側的貫通孔，且外周側的連結領域是 配置成接觸於內周側的貫通孔。 -9- 201139049 (6) 環狀空氣相含有領域爲由環狀連接部的上側朝上 下方向延伸的非貫通的圓環狀上側溝及由環狀連接部的下 側朝上下方向延伸的非貫通的圓環狀下側溝所構成，而上 側溝的底面比下側溝的底面還位於下側。 (7) 環狀空氣相含有領域爲由多孔質環狀構件所構成 (發明之效果） 在本發明的硏磨具中，當在超音波振動子所發生的超 音波振動經由環狀砥石裝設板傳輸至環狀連接部，則將該 環狀連接部沿著與環狀砥石裝設板平行的方向傳輸的超音 波振動（或超音波振動成分），是藉由設於該環狀連接部的 環狀空氣相含有領域所形成的超音波反射面被反射。所以 ，在超音波振動子所發生的超音波振動經由環狀砥石裝設 板有效率地授與給砥石。 【實施方式】 使用所附圖式來說明本發明的硏磨具。第1圖是表示 本發明的硏磨具的構成例的斷面圖。又，第2圖是沿著記 入在第1圖的切斷線II-II線所切斷的硏磨具10的斷面圖 〇 表示於第1圖及第2圖的硏磨具10是由：於旋轉軸 19的下端部對於旋轉軸19垂直地被固定的環狀支撐板11 :經由環狀連接部1 2而與支撐板1 1隔著間隔平行地被支 -10- 201139049 撐於支撐板11的下方’而於下面裝設有環狀砥石13的環 狀砥石裝設板1 4 ;及被固定於砥石裝設板丨4的超音波振 動子15所構成。該硏磨具10是與環狀連接部12的支撐 板1 1連接的上側環狀連接面1 2a的內周緣位於比與環狀 砥石裝設板14連接的下側環狀連接面丨2b的外周緣還要 外周側，而於該連接部1 2的上側環狀連接面1 2 a的內周 緣與下側環狀連接面1 2b的外周緣之間，朝著連接部1 2 的徑方向雙重地形成包括環狀地配置的非連續的空氣相的 環狀空氣相含有區域所成的環狀空氣相含有領域18，爲 利用環狀空氣相含有領域1 8自超音波振動子1 5所發生的 超音波振動沿著與砥石裝設板14平行的方向而不會傳輸 至比環狀連接部1 2的環狀空氣相含有領域1 8還要外周側 的領域的方式所設置，爲其主要特徵者。 硏磨具10的支撐板11是被固定於驅動裝置所具備的 旋轉軸1 9的下端部。作爲驅動裝置是例如可使用記載於 專利文獻1或專利文獻2的硏磨裝置所具備的驅動裝置。 又，旋轉軸是配置在水平方向也可以。這時候，本發明的 硏磨具的「上側」是指支撐板之側’而「下側」是指砥石 之側° 支撐板1是使用螺栓21而被固定於旋轉軸19的下端 部支撐板11是使用螺栓22又被固定於環狀連接部12。 環狀連接部12是使用黏著劑而被固定於環狀砥石裝設板 14。旋轉軸19與支撐板11 ’支撐板丨1與環狀連接部12 ，環狀連接部12與環狀砥石裝設板14的各自的固定方法 -11 - 201139049 並未特別加以限制。 事先也可一體地（作爲一個零件）形成旋轉軸1 9與支 撐板11，支撐板11與環狀連接部12，或環狀連接部12 與環狀砥石裝設板14»又，例如，將旋轉軸與支撐板事 先一體地形成時，或是互相地藉由焊接予以固定時，也可 將支撐板的形狀作成圓盤狀。 支撐板11，環狀連接部12及環狀砥石裝設板14的 各個，是例如由金屬材料或陶瓷材料所形成。作爲金屬材 料的例子，例舉有鋁、不鏽鋼等的鋼、硬鋁（duralumin)等 的鋁合金、及青銅等的銅合金。 在環狀砸石裝設板14的下面，裝設有環狀的砥石13 。環狀砥石裝設板1 4與環狀的砥石1 3是例如使用黏著劑 加以固定。 作爲環狀砥石1 3，例如可使用將金剛石砥粒所代表 的砥粒，以金屬結合或樹脂結合予以結合而形成爲環狀的 砥石。通常，砥粒的平均粒徑是被設定在0.1至50μηι的 範圍內。 又，在環狀的砥石，也包括環狀排列配置的複數個（ 例如2至50個）的砥石片的集合體。如此地，當由複數個 砥石片構成環狀的砥石，則環狀的砥石（尤其是尺寸大者） 的製作成爲容易。又，藉由超音波振動對於砥石的授與， 或藉由砥石與硏磨對象物之摩擦而發生於砥石內部的應力 被減低之故，因而可防止砥石的損壞（例如發生裂縫）。 在環狀砥石裝設板14的上面例如使用環氧樹脂而固 -12- 201139049 定著環狀的超音波振動子1 5。 作爲環狀超音波振動子1 5，係使用在環狀的壓電體 的上面及下面的各個附設有電極層的構成的壓電振動子。 作爲壓電體的材料的例子，例舉有锆鈦酸鉛系的壓電 陶瓷材料。壓電體是例如朝其厚度方向（在第1圖中爲上 下方向）被分極處理。作爲電極層的材料之例子，例舉著 銀或磷青銅等的金屬材料。 超音波振動子1 5是當以電源所發生電性能（代表例爲 交流電壓）授與給其電極層，則發生超音波振動。超音波 振動子1 5與電源是例如經由旋轉變壓器或滑環互相地被 電性連接。針對於超音波振動子與電源的電性地連接方法 ，在上述的專利文獻2有詳細記載。因此，例如利用上述 的專利文獻2所述的電性連接方法，就可互相地電性連接 本發明的硏磨具的超音波振動子與電源。 又，對超音波振動子的形狀並沒有特別加以限制，惟 使用環狀的超音波振動子較佳。藉此，與環狀的砥石一起 朝著徑方向以均勻的振幅可超音波振動環狀砥石裝設板的 周方向的全體。所以，即使長期間所使用也很難在環狀的 砥石發生偏磨耗（圓周方向的不均勻的磨耗）。因此，以穩 定的高精度可繼續進行硏磨硏磨對象物的表面。代替環狀 的超音波振動子，也可使用環狀地排列配置的複數個（例 如，2至50個）的超音波振動子片的集合體。 又，超音波振動子是固定於環狀砥石裝設板的上面、 下面、外周面及內周面的任一面都可以，惟固定於環狀砥 -13- 201139049 石裝設板的上面較佳。藉此，可防止在硏磨之際經由被供 應於硏磨對象物的表面的硏削輔助液（代表例：水）的超音 波振動子的上下面的電極層的電性短路》 以下，針對於本發明的硏磨具ίο的特徵的環狀連接 部1 2進行詳細說明。 第1圖的硏磨具10中，與環狀連接部12的支撐板 11連接的上側環狀連接面12a的內周緣，位於比與環狀 砥石裝設板14連接的下側環狀連接面12b的外周緣還要 外周側。亦即，上側環狀連接面1 2 a的內周緣的直徑，比 下側環狀連接面1 2b的外周緣的直徑還要大。 在環狀連接部1 2的上側環狀連接面1 2a的內周緣與 下側環狀連接面1 2b的外周緣之間的部位，設有環狀空氣 相含有領域1 8。 環狀空氣相含有領域18是具有朝環狀連接部12的徑 方向雙重地形成有：包括環狀配置的合計12個空氣相 16a的環狀空氣相含有區域16、及包括環狀配置的合計 12個空氣相17a的環狀空氣相含有區域17，的構成。 藉此，在環狀連接部12形成有：由連接部（固體）12 與各空氣相（氣體）1 6a之界面（相當於之後所說明的貫通溝 16c的內周側的表面的一面）所成的超音波反射面、及由連 接部12與各空氣相17a之界面（相當於之後所說明的貫通 溝1 7c的內周側的表面的一面）所成的超音波反射面。 因此，當在超音波振動子1 5所發生的超音波振動經 由環狀砥石裝設板1 4傳輸至環狀連接部1 2，則將該環狀 -14- 201139049 連接部1 2的內部沿著與環狀砥石裝設板1 4平行的方向所 傳輸的超音波振動（或超音波振動成分），是藉由由環狀空 氣相含有領域1 8所形成的任一超音波反射面予以反射， 而不會傳輸至比環狀連接部12的環狀空氣相含有領域18 還要外周側的領域。所以，在超音波振動子1 5所發生的 超音波振動，是經由環狀砥石裝設板14有效率地授與給 祗石1 3。 環狀砥石裝設板是若被授與對應於其固有振動數的頻 率的超音波振動時，則以大振幅進行超音波振動（固有振 動）。因此，藉由於環狀砥石裝設板，例如授與對應於以 其寬度方向的振動作爲主成分的固有振動的振動數的頻率 的超音波振動、或是授與對應於以厚度方向的振動作爲主 成分的固有振動的振動數的頻率的超音波振動，就可將該 環狀砥石裝設板以大振幅進行超音波振動。又，以上述的 砥石裝設板的寬度方向的振動作爲主成分的固有振動的振 動數’是比以厚度方向的振動作爲主成分的固有振動的振 動數還要小之故’因而具有前者的固有振動的振幅比後者 的固有振動的振幅還要大的優點。 所以’在超音波振動子發生對應於以環狀砥石裝設板 I4的寬度方向的振動作爲主成分的固有振動的振動數的 頻率的超音波振動’藉由將該超音波振動授與給砥石裝設 板1 4 ’俾將砥石裝設板1 4以大振幅進行超音波振動（固 有振動）較佳。 然而，假設環狀連接部的環狀空氣相含有區域朝著環 •15- 201139049 狀連接部的軸方向（上下地）多重地配置時，則以如上述的 環狀砥石裝設板的寬度方向的振動作爲主成分的固有振動 (超音波振動）的一部分，會經環狀連接部的上下的環狀空 氣相含有區域之間的部位而傳輸至比環狀空氣相含有領域 還要外周側的領域而有發生超音波振動的能量損失的情形 。爲了抑制此損失，必須朝環狀連接部的徑方向地多重地 設置環狀空氣相含有區域。然而，若環狀連接部的形狀爲 如圓筒狀形狀，則無法朝環狀連接部的徑方向多重地配置 空氣相含有區域。 因此，在本發明的硏磨具10中，採用環狀連接部12 的上側環狀連接面1 2 a的內周緣位於比下側環狀連接面 1 2b的外周緣還要外周側的構成，亦即採用使上側環狀連 接面12a的內周緣的直徑比下側環狀連接面12b的外周緣 的直徑還要大的構成。藉此，於環狀連接部12的上側環 狀連接面12a的內周緣與下側環狀連接面12b的外周緣之 間的部位，可設置朝環狀連接部1 2的徑方向多重地形成 有環狀空氣相含有區域16、17的構成的環狀空氣相含有 領域1 8。 又，在超音波振動子1 5所發生的超音波振動的頻率 ，亦即授與給超音波振動子1 5的交流電壓的頻率，是例 如可決定如下。首先’例如使用阻抗分析器來測定被固定 在裝設有砥石13的環狀砥石裝設板14的超音波振動子 1 5的阻抗的頻率特性。又’將授與給超音波振動子1 5的 交流電壓的頻率’決定爲表現於所得到的阻抗特性的複數 -16- 201139049 導納（阻抗之倒數）的峰値中，與對應於以上述的砥石裝設 板的寬度方向的振動作爲主成分的固有振動的振動數的峰 値（通常爲表現於20〜100kHz的範圍的頻率的峰値）所對 應的頻率。 環狀空氣相含有領域18是由在環狀連接部12經由連 結領域1 6b斷續性地形成的內周側的複數（例如1 2個）的 貫通溝1 6c，及經由連結領域1 7b斷續性地形成的外周側 的複數（例如12個）的貫通溝17c所構成，而內周側的連 結領域1 6b是配置成接觸於外周側的貫通溝1 7c，且外周 側的連結領域1 7b，是配置成接觸於內周側的貫通溝1 6c 較佳。藉此，將環狀連接部1 2的內部沿著與砥石裝設板 1 4平行的方向所傳輸的所有超音波振動藉由各貫通溝1 6c 內部的空氣相16a，及各貫通溝17c內部的空氣相17a所 形成的超音波反射面中的任一被反射。因此，在超音波振 動子1 5所發生的超音波振動經由環狀砥石裝設板1 4有效 率地授與給砥石1 3。 環狀空氣相含有領域18是具有在其圓周方向的85至 100%(尤其是90至100%)的範圍內的部位，配置有形成超 音波反射面的空氣相1 6 a，1 7 a的至少一方的構成較佳。 如第1圖所示地，環狀連接部1 2的設有環狀空氣相 含有領域1 8的部位的上下面爲分別與環狀砸石裝設板14 平行的一面較佳。藉此，形成環狀空氣相含有領域1 8的 貫通溝16c，17c成爲容易。形成貫通溝16c，17c，是例 如藉由放電加工或切削加工所進行。 -17- 201139049 環狀連接部1 2的下側環狀連接面1 2b的外周緣是位 於比砥石1 3的內周緣還要內周側，亦即下側環狀連接面 1 2b的外周緣的直徑是比砥石1 3的內周緣的直徑還要小 較佳。若採用此種構成，則藉由環狀連接部1 2 ’使得環 狀砥石裝設板14被支撐在比環狀砥石13的裝設位置還要 內周側的位置。因此，可將環狀砥石1 3以更大振幅進行 超音波振動。 在環狀砥石裝設板14容易發生以其寬方向的振動作 爲主成分的固有振動之故，因而通常砥石裝設板14的寬 度（最大値），是被設定在厚度（最大値）的2〜20倍（較佳是 3〜20倍，更佳是4〜20倍，最佳是4〜15倍）的範圍內 的長度。利用同樣的理由，砥石裝設板14的寬度（最大値 )，是通常被設定在環狀連接部12的下端部的寬度的2〜 5〇倍（較佳是5〜45倍，更佳是8〜40倍）的範圍內的長度 〇 又，超音波振動子1 5是具有比環狀連接部1 2的下側 環狀連接面1 2b的內周緣的直徑還要小的外徑的環狀形狀 ，該超音波振動子1 5爲與砥石裝設板1 4同軸地被固定於 環狀砥石裝設板14的上面或下面較佳。藉此，發生相同 振幅的超音波振動時，可減小以超音波振動子1 5所消耗 的電力。 第3圖是表示環狀連接部的其他構成例的斷面圖，又 ，第4圖是第3圖的環狀連接部32的俯視圖。 表示於第3圖及第4圖的環狀連接部32的構成是由 -18- 201139049 環狀空氣相含有領域3 8在環狀連接部3 2經由連結領域 3 6 b斷續性地形成的內周側的複數貫通孔3 6 c，及經由連 結領域3 7 b斷續性地形成的外周側的複數貫通孔3 7 c所構 成，而內周側的連結領域3 6 b是配置成接觸於外周側的貫 孔3 7 c，且外周側的連結領域3 7b是配置成接觸於內周側 的貫通孔3 6c的情形以外是與表示於第1圖的環狀連接部 1 2同樣。 利用該複數貫通孔36c內部的空氣相36a與複數連結 領域36b構成著環狀空氣相含有區域36，又利用複數貫 通孔37c內部的空氣相37a與複數連結領域37b構成著環 狀空氣相含有區域37。環狀空氣相含有區域36與環狀空 氣相含有區域3 7是朝環狀連接部3 2的徑方向雙重地配置 ，以構成環狀空氣相含有領域3 8。 第5圖是表示瓌狀連接部的又一構成例的斷面圖’又 第6圖是第5圖的環狀連接部52的俯視圖。 表示於第5圖及第6圖的環狀連接部52的構成，是 環狀空氣相含有領域58爲從環狀連接部52的上側朝上下 方向延伸的非貫通的圓環狀上側溝5 6 c及從環狀連接部 5 2的下側朝上下方向延伸的非貫通的圓環狀下側溝5 7 c 所構成，而上側溝5 6 c的底面位於比下側溝5 7 c的底面還 要下側的情形以外是與表示於第1圖的環狀連接部1 2同 樣。 利用該上側溝5 6 c內部的空氣相（環狀地形成的連續 空氣相）56a與連結領域56b構成著環狀空氣相含有區域 -19- 201139049 5 6，又利用下側溝5 7 c內部的空氣相5 7 a與連結領域5 7b 構成著環狀空氣相含有區域57。環狀空氣相含有區域56 與環狀空氣相含有區域57是朝環狀連接部52的徑方向雙 重地配置，以構成環狀空氣相含有領域5 8 » 第7圖是表示環狀連接部的另一構成例的斷面圖，又 第8圖是第7圖的環狀連接部72的俯視圖。 表示於第7圖及第8圖的環狀連接部72的構成是環 狀空氣相含有領域78由多孔質環狀構件所構成的情形以 外是與表示於第1圖的環狀連接部12同樣。 在該多孔質環狀構件的內部中，例如沿著環狀連接部 72的圓周方向環狀地配置的多數氣泡（空氣相）76a，及沿 著環狀連接部72的圓周方向環狀地配置的多數氣泡77a ，分別構成環狀空氣相含有區域。 本發明的硏磨具所具備的環狀空氣相含有領域的構成 ，是與上述的專利文獻2所述的硏磨具所具備的環狀空氣 相含有領域同樣之故，因而不進行多餘的說明。 第9圖是表示本發明的硏磨具的又一構成例的斷面圖 。第9圖的硏磨具90的構成是事先一體地（作爲一零件） 形成著環狀連接部92與環狀砥石裝設板94，又在砥石裝 設板94的上面形成有超音波振動子15的定位用的環狀突 起94a的情形以外是與第1圖的硏磨具1 〇同樣。 第10圖是表示本發明的硏磨具的另一構成例的斷面 圖，第10圖的硏磨具100的構成是環狀連接部102的內 周面與外周面爲上側開口徑分別比下側開口徑還要大的圓 -20- 201139049 筒面的情形以外是與第1圖的硏磨具1 0的同樣。 第11圖是表示本發明的硏磨具的又一構成例的斷面 圖。 第π圖的硏磨具1 1 0的構成，是與環狀連接部1 1 2 的支撐板1 1連接的上側環狀連接面1 1 2 a的外周緣’位於 比與環狀砥石裝設板1 4連接的下側環狀連接面1 1 2b的內 周緣還要內周側，而於該連接部1 1 2的上側環狀連接面 1 1 2a的外周緣與下側環狀連接面1 1 2b的內周緣之間，朝 著上述連接部112的徑方向多重地形成包括環狀地配置的 非連續的空氣相的環狀空氣相含有區域16，17所成的環 狀空氣相含有領域1 8，爲利用該環狀空氣相含有領域1 8 自超音波振動子15所發生的超音波振動沿著與砥石裝設 板1 4平行的方向而不會傳輸至比環狀連接部1 1 2的環狀 空氣相含有領域1 8還要內周側的領域的方式所設置的情 形以外是與第1圖的硏磨具10同樣。又，第11圖的硏磨 具1 1 〇的較佳態樣，是與第1圖的硏磨具1 0的情形同樣 〇 第12圖是表示本發明的硏磨具的又一構成例的斷面 圖。第12圖的硏磨具120的構成，是環狀連接部122的 內周面與外周面分別作成上側開口徑比下側開口徑還要小 的圓筒面的情形以外是與第1 1圖的硏磨具1 1 0同樣。 又，本發明的硏磨具的環狀連接部是具備上述環狀空 氣相含有領域所形成的部位（上面不會接觸到支撐板，且 下面不會接觸到環狀砥石裝設板的部位），則其上端部沿 -21 - 201139049 著支撐板延長也可以，或是其下端部沿著環狀砥石裝設板 延長也可以。 【圖式簡單說明】 第1圖是表示本發明的硏磨具的構成例的斷面圖。 第2圖是沿著記入在第1圖的切斷線Π-ΙΙ線所切斷 的硏磨具的斷面圖。 第3圖是表示環狀連接部的另一構成例的斷面圖。 第4圖是第3圖的環狀連接部的俯視圖。 第5圖是表示環狀連接部的又一構成例的斷面圖。 第6圖是第5圖的環狀連接部的俯視圖。 第7圖是表示環狀連接部的又一構成例的斷面圖。 第8圖是第7圖的環狀連接部的俯視圖。 第9圖是表示本發明的硏磨具的又一構成例的斷面圖 〇 第10圖是表示本發明的硏磨具的另一構成例的斷面 圖。 第π圖是表示本發明的硏磨具的另一構成例的斷面 圖。 第12圖是表示本發明的硏磨具的另一構成例的斷面 圖。 第13圖是表示習知的硏磨具的構成的斷面圖。 第14圖是表示習知的硏磨具的又一構成的斷面圖。 -22- 201139049 【主要元件符號說明】 1 〇 :硏磨具 1 1 :支撐板 1 2 :環狀連接部 12a ··上側環狀連接面 12b :下側環狀連接面 1 3 ‘·環狀砥石 1 4 :環狀砥石裝設板 1 5 :超音波振動子 1 6，1 7 :環狀空氣相含有區域 1 6 a，1 7 a :空氣相 16b，1 7b :連結領域 1 6 c，1 7 c :貫通溝 1 8 :環狀空氣相含有領域 1 9 :旋轉軸 2 1，2 2 :螺栓 3 2 :環狀連接部 3 6，3 7 :環狀空氣相含有區域 36a， 37a:空氣相 3 6b，3 7b :連結領域 36c， 37c:貫通孔 3 8 :環狀空氣相含有領域 52 :環狀連接部 5 6，5 7 :環狀空氣相含有區域 -23 201139049 56a， 57a:空氣相 5 6b，5 7b :連結領域 56c :圓環狀上側溝 57c :圓環狀下側溝 5 8 :環狀空氣相含有領域 72 :環狀連接部 76a，76b :氣泡（空氣相） 7 8 :環狀空氣相含有領域 90，100 :硏磨具 92，102 :環狀連接部 94 :環狀砥石裝設板 99a :環狀突起 1 1 0，1 20 :硏磨具 1 1 2，1 2 2 :環狀連接部 1 1 2 a :上側環狀連接面 1 12b :下側環狀連接面 1 3 0 :硏磨具 1 3 3 :環狀砥石 1 3 4 :砥石保持構件 1 3 4 a :周溝 1 3 5 :超音波振動子 1 4 0 :硏磨具 143 :環狀砥石 144 :砥石保持構件 -24 201139049 1 4 4 a :圓板部 144b :圓筒部 145 :超音波振動子 1 4 6，1 4 7 :環狀空氣相含有區域 146a， 147a ：空氣相 14 6b，147b ：連結領域 1 4 6 c :圓環狀內側溝 147c :圓環狀外側溝 1 4 8 :環狀空氣相含有領域 1 4 9 :旋轉軸 -25-