201134672 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 [0001] 本申請案主張2010年4月8日向韓國智慧財產局申請之韓 國專利申請案第1 0-201 0-0 032328號及第 1 0-201 0-003231 8號之權利，該案之全文以引用的方式 ' 併入本文中。 [0002] 本發明係有關於一種網版印刷系統及網版印刷方法。 【先前技術】 ζ) [0003] 在製造太陽能電池過程中，係使用一印刷電極裝置來負 載被輸送的晶圓並計算出晶圓的位置*以便精確地在晶 圓上形成如正面電極和背面電極等精細圖案。習知技術 使用的印刷系統，藉由使用照相機檢測被輸送晶圓的位 • 置，以進行晶圓的位置修正，固定一工作台，藉由使晶 圓移動到水平、垂直及轉動方向而使其定位於該工作台 上，及輸送網版至固定工作台，以使用刮板進行印刷。 [0004] 然而，習知技術需要增加晶圓定位在上面之工作台及包 ϋ 含篩網之生產線的數目，以提高產量。不僅會增加製造 成本，而且還會增加網版印刷系統所佔用的空間。 [0005] 因此，在開發一種不會大幅增加成本的情況下，可提高 產量和空間效率的新穎網版印刷系統上有很大的需求。 【發明内容】 [0006] 本發明係提供一種網版印刷系統及網版印刷方法，在不 會大幅增加成本的情況下，提高產量及空間效率。 [0007] 根據本發明之一態樣，提供一種網版印刷系統，其包含 099127237 表單編號Α0101 第3頁/共45頁 0993390725-0 201134672 一用以輸送基板之輸送帶；一設置於輸送帶下方用以支 承被輸送基板之工作台；一用以檢測定位於工作台上之 基板的對準性之對準感應器單元；一用以使工作台向上 和向下移動之工作台升降單元；一網版組件，其位於工 作台上方，與工作台之間留有間隙，且包含一網版，其 位置係根據基板的對準性加以修正；及一用以使網版向 上和向下移動的網版升降單元。 [0008] 其中，工作台具有可提供負壓，以防止基板在工作台上 產生任何移位的負壓孔。 [0009] 可在工作台上部形成溝槽，以便使輸送帶嵌入。 [0010] 對準感應器單元可配置於工作台下方，且工作台可具有 一透明區域，以供對準感應器單元檢測基板的對準性。 對準感應器單元可包含一用以檢測基板背面之第一感應 器；一用以檢測基板侧面之第二感應器；及一用以檢測 基板的轉動狀態之第三感應器。第一、第二及第三感應 器可分別具有一照明裝置及一照相機。 I'— [0011] 再者，網版組件可包含一下框架，在中心部分具有一第 一開孔，其中網版係固定於下框架下方；一上框架，配 置於下框架上方且具有一對應於第一開孔的第二開孔； 一對導引單元，配置於上框架的上部，隔著第二開孔彼 此相對；一支撐桿，其兩端係由該對導引單元所支撐， 可沿著導引單元的縱向方向移動；及一刮板組件，與支 撐桿結合，穿過第一開孔與第二開孔，並且將分配在網 版上的糊料印刷於基板上。 099127237 表單編號A0101 第4頁/共45頁 0993390725-0 201134672 则導引單元可以是-輸送帶，且切桿可藉由伺服馬達驅 動導引單元而進行移動。 [0013]網版升降單元可包含複數個網版支撐腳，其沿著下框架 的邊緣隔開，支撐下框架並且可向上和向下延伸；及二 . 藉由使用一齒輪系使網版支撐腳向上和向下移動的馬達 〇 [0014] 輸送帶及工作台可配置於一工作台架上，且工作台架可 具有可供網版支撐腳穿過的開孔。 [0015] 輸送帶可以與一帶架結合，且工作台升降單元可包含複 數個工作台支撐腳，其沿著工作台的邊緣隔開，支撐工 作台並且可向上和向下延伸；及一用以使帶架向上和向 下移動的氣缸。 [0016] 此網版印刷系統可進一步包含一基板檢測感應器，其配 置於工作台前方，以檢測基板的運送及控制輸送帶的操 作’使基板停止在工作台上。 [0017] 根據本發明之另一態樣，提供一種網版印刷系統，其包 含：一界定有内部空間之殼體；一第一網版印刷單元及 一第二網版印刷單元，設置於内部空間内’直分別包含 一輸送帶，其中第一網版印刷單元之輸送帶及第二網版 印刷單元之輸送帶並排設置；及一控制該對網版印刷單 元之操作的控制單元。 [0018]第一網版印刷單元及第二網版印刷單元彳分別包含：一 用以輸送基板之輸送帶’Ή於輸送帶下方用以支承 被輸送基板之工作台；—用以檢測定位於工作台上之基 099127237 表單編號 A0101 第 5 09 201134672 板的對準性之對準感應器單元；一用以使工作台向上和 向下移動之工作台升降單元；一網版組件，其位於工作 台上方，與工作台之間留有間隙，且包含一網版，其位 置係根據基板的對準性加以修正；及一用以使網版組件 向上和向下移動的網版升降單元。 [0019] 第一網版印刷單元之網版組件及第二網版印刷單元之網 版組件可相互成對角設置。 [0020] 可將一檢測單元設置於工作台背面，以檢測網版印刷後 的基板是否不良。 [0021] 可將一測試帶設置在檢測單元下方，以支撐基板兩端及 輸送該基板，並且在測試帶之間設置一退出帶，使其以 與測試帶之移動方向成交叉方向進行操作，以排除利用 檢測單元檢測為不合格的基板。 [0022] 工作台可具有可提供負壓，以防止基板在工作台上移位 的負壓孔，並且可在工作台上部形成溝槽，以便使輸送 帶嵌入。 [0023] 對準感應器單元可配置於工作台下方，並且可在工作台 上設置一透明區域，以供對準感應器單元檢測基板的對 準性。 [0024] 對準感應器單元可包含：一用以檢測基板背面之第一感 應器；一用以檢測基板側面之第二感應器；及一用以檢 測基板的轉動狀態之第三感應器。第一、第二及第三感 應器可分別具有一照明裝置及一照相機。 099127237 表單編號A0101 第6頁/共45頁 0993390725-0 201134672 [0025] 網版組件可包含：-下框架，在中心部分具有-第-開 孔，其中網版係固定於下框架下方；一上框架，配置於 下框，上方且具有—對應於第—開孔的第二開孔；_對 導引單70 ’配置於上框架上，隔著第二開孔彼此相對； ^擇桿，其兩端係由該對導引單元所支撐，可沿著導 引單7C的縱向方向移動；及—到板組件，與支撐桿結合 穿過第-開孔與第二開孔，並且將分配在網版上的糊 料印刷於基板上。 ❹剛導引單元可以是—輪送帶，且靖桿可藉由舰馬達驅 動導弓丨單元而進行移動.βν. 闕駿升降單元可包含：複數_版支肋其沿著下框 架㈣緣隔開，切下框架並且可向上和向下延伸；及 「藉由使用-齒輪系使網版切腳向上和向下移動的馬 達。輸送帶及工作台可配置於一工作台架上，且工作台 架可具有可供網版支撐腳穿過的開孔。 α ❹闕輸送帶可讀m合，且工作台升降單元可包含複 數個工作台支撐腳，其沿著工作台的邊緣隔開，支撐工 作台並且可向上和向下延伸；及—用以使帶架向上和向 下移動的氣缸。 [0029]此網版印刷系統可進一步包含一基板檢測感應器，其配 置於工作台前方，以檢測基板的運送及控制輸送帶的操 作，使基板停止在工作台上。 [0030] 根據本發明之另一態樣，提供一種網版印刷方法，其包 含：提供一基板；將基板定位於一工作台上；檢測位於 099127237 表單編號A0101 第7頁/共45頁 0993390725-0 201134672 工作台上之基板的對準性· ，將基板定位在上面的工作台 升ifj ;根據基板的對準柯 1王，修正位於工作台上，與工作 台之間留有間隙之一網版 的位置；使網版下降，讓網版 定位在基板的上部；及估田 久便用刮板和糊料 基板的表面上。 將圖案印刷在 [0031] 工作台可具有負壓孔，+ 邊方法進一步包含對基板提供 負壓’使基板固定於工作&上 [0032]
[0033] [0034] [0035] 檢測位於# 口上之基板的對準性之步驟可包含：檢測 該基板的背面部分；檢測其k y 1基板的側面部分；及檢測基板 的轉動狀態。 提供-基板之步驟係藉由具有—輪㈣之—線内系統進 行。 【實施方式】 4- '争 儘管已根據狀具體實施例加魏明本發明，然而應了 解熟習此項技術者可在不偏離本發明之精神與範嗜如 後附申請專利範圍所定義及其等效者的情況下，進行各 種變化及修改。在本發明的整個說明書之中，當判斷說 明某種技術並非本發明之觀點時，係省略其相關的詳細 說明。 儘管「第一 J和「第二」等這類用語可以用來描述各種 元件，但這類元件不須限於上述用語。上述用語僅用以 區分某個元件與另一個元件。 099127237 表單編號A0101 第8頁/共45頁 0993390725-0 [0036] 201134672 [0037] 說明書中所使用的術語只是為了說明特定具體實施例， • 0 [0038] 並非用以限制本發明。除非另有明確地使用外，否則單 數的表述也包含複數的含義。在本說明書中，例如「包 含（comprising)」或「由...組成（consisting of )」的表述是為了表明一特性、一數量、一步驟、一操 作、一元件、一零件或其組合，不應視為排除一或多個 其他特性、數量、步驟、操作、元件、零件或其組合·的 任何存在性或可能性。 以下參照附圖更詳細地說明本發明特定具體實施例之網 版印刷系統及網版印刷方法，其中不論圖號為何，相同 或對等的元件係賦予相同的參考編號，並且省略多餘的 說明。 [0039] G 第1圖為本發明一具體實施例之網版印刷系統20 00的分解 透視圖，第2圖為本發明一具體實施例之網版印刷系統 2000的側視圖，而第3圖為輸送組件2100的平面圖。此 外，第4圖為工作台組件2110的透視圖，第5圖為第4圖不 含工作台（第4圖中的2112)的平面圖，而第6圖為工作 台組件2110的侧視圖。第7圖為網版組件2200的平面圖 〇 [0040] 本發明一具體實施例之網版印刷系統可用來將導電膏印 刷在基板（例如晶圓）的正面及/或背面上，以形成電極 。如第1圖所示，該網版印刷系統主要是由一網版組件 2200、一輸送組件2100及一網版升降單元2300所構成。 [0041] 輸送組件2100設有一基板，其係於網版印刷製程中支承 099127237 表單編號A0101 第9頁/共45頁 0993390725-0 201134672 [0042] [0043] [0044] [0045] [0046] 基板，並且在網版印刷製程後，將基板運送到下一個製 程。第1圖和第3圖係圖示作為輸送組件的一板狀工作台 架2140、一配置於工作台架2140上的前輸送帶單元212〇 、一工作台組件211〇、一後輸送帶單元213〇等。 刚輸送帶單元212G係提供基板給工作台組件211G，而後 輸送帶單元21_在網版印刷完成後 ’將基板運送到下 一個製程。工作台級件2110在網版印刷製程中支承基板 。各元件及功能詳述如下。 網版組件2200係配置於輸送組件21〇〇的上部特別是在 作σ組件2110的上部，在基板表面上進行網版印刷製 私。網版升降單7L230G使網版組件2糊向土和向下移動 。各元件及功能詳述如下。： 根據本發明之-具體實施例’使用—線㈣、統並使用輸 &帶2111-1、2111-2 (第4圖）來輸送基板。這類線内 系統可容許連續加，以提高參。_以輸送基板之輸 送帶可以是一對彼此隔開的帶i j v 2111 -2。 μ::: . 如第4圖所示，輸送帶2111-1、21112可以與一包含輥 2lW等的帶架2116結合。 在輪送帶2111-1、2111-2下方的特定位置處設置工作台 21丨2，以支承被輸送的基板。工作台2112係置於輸送帶 11 1、2111-2所輸送之基板的移動路徑内，且支承被 輪送的基板。形成電極的網版印刷係於工作台2112所支 承的基板上進行。後文將說明藉由網版組件22〇〇進行的 網版印刷。 t 099127237 表單鵠號A0101 第10頁/共45頁 0993390725-0 201134672 [0047] 如第3圖所示，基板檢測感應器2122可配置於工作台 2112前方，例如在前輸送帶單元212〇的上部，以檢測基 板的運送。基板檢測感應器2122檢測輸送到工作台2112 的基板，並且使基板停止而精確地被位在工作台2112上 。為達到此一目的，基板檢測感應器2122可在輸送基板 時，經過適當時間（例如約1. 5秒）後，停止輸送帶 2111-1、2111-2的操作。 [0048] Ο 可在工作台2112上形成能提供負壓的負壓孔2115，以防 止定位在工作台2112上的基板移位。當使用泵（未圖示 )透過負壓孔211 5在工作台2112上提供負壓時，定位在 工作台2112上的基板緊密地貼附在工作台2112上，因此 即使工作台2112移動時，其對準性也不受影響。 [0049] 可形成第4圖中的溝槽2114，使輸送帶2111-1、2111-2 喪在工作台2112的上表面上。這類溝槽2114可防止基板 除了在工作台2112上必須留有.間隙外，在其他地方不留 間隙，因此使工作台μ 12能更穩固地支承基板。 第5圖中的對準感應器單元2lib-i、2119-2、2119-3 ( 以下稱為「2119」）係檢測位於工作台2112上之基板的 對準性。換言之’該等對準感應器單元檢測基板的對準 性，使基板與網版2330的位置相吻合（請參見第2圖）， 以進行網版印刷❶這類對準感應器單元2119可包含配置 於工作台2112下方的一照相機及一照明裝置。第4圖的透 明區域2113-1、2113-2、2113-3 (以下稱為「2113」 )係設置在工作台上，以供對準感應器單元2119，特別 是照相機，檢測基板的對準性。在此並不意味著透明區 099127237 表單編號A0101 第11頁/共45頁 0993390725-0 201134672 域2113是完全透明的。應了解’此透明區域可包括足以 光學檢測基板之對祕料透明者。本發明—具體實施 例之透明區域2113係由石英所製成。 [0051] [0052] [0053] 對準感應ϋ單元2119可包含_用以檢測基板背面之第一 感應器2119-1 ; —用以檢測基板侧面之第二感應器 2119-2 ;及一用以檢測基板的轉動狀態之第三感應器 2119-3。第一感應器2119-1和第二感應器2119_2係分 別檢測基板的正面和側邊，以得到坐標方向上的對 準誤差。旋轉方向上的對準誤差係由第三感應器2119_3 所獲得。 在檢測基板的對準性之後，藉由第4圖中的工作台升降單 元2118將工作台2112與定位在工作台2112上的基板升高 。工作台升降單元2118使工作台2112向上和向下移動一 定的高度。工作台升降單元2118可沿著工作台2112的邊 緣隔開’以支推·工作台211:2 'λ ::並且可包含複數個可向上 和向下延伸的工作台支撐雜2丄18a ’及一用以使帶架 2116向上和向下移動的氣麵2:1.18b。各工作台支撐腳 2118 a可分別結合至一支架2118 c以達到更好的組合。此 外’也可使用其他動力傳送裝置，例如線性致動器（未 圖示）和齒輪系（未圖示）。 如第1圖和第2圖所示，將包含一網版2230的網版組件 2200 (第2圖）配置在工作台2112的上方，以進行網版 印刷。在此，基板的對準性係藉由控制單元5000 (第9圖 )傳送至網版2230 ’所以此對準性可用於網版2230的位 置修正。由於根據基板對準性的資訊來修正網版2230的 099127237 表單編號A0101 第12頁/共45頁 0993390725-0 201134672 [0054] Ο [0055] Ο [0056] 位置，因此可得到網版2230與基板之間位置相吻合的結 果。在此，可使用複數個伺服馬達2211-1、22U-2、 2211-3 (第7圖）。各伺服馬達分別運轉，使網版2230 移動，以根據基板對準性的資訊使網版與基板的位置相 吻合。 如第7圖所不’網版組件2200可包含一下框架，在中心部 分具有一第一開孔；一上框架，配置於下框架上方；一 對導引單元，配置於上框架上部；一支撐桿，其兩端係 由該對導引單元所支撐’可沿著導引單元的縱向方向移 動；及一刮板組件，與支撐稈緯合，並且踌塗布在網版 上的糊料印刷於基板上。 下框架2210多半為板狀，並且在中心部分具有一第一開 孔2213 (第1圖）。如第2圖所示，網版2 2 3 〇固定於下框 架2210的底部。因此，由於第一開孔2213而使網版2230 的上側暴露出來。可將複數個伺服馬達2211-1、2211-2 、2211-3配置於下框架2210上，以進行網版2230的位置 修正。 上框架2220與下框架2210係相距一定的距離。在上框架 2220的中心部分形成對應於第一開孔2213的第二開孔 2225。因此，由於第一開孔2213和第二開孔2225而使網 版2230的上側暴露出來。 於上框架2220上設置一對導引單元，使其隔著該第二開 孔2225彼此相對。導引單元2221-1、2221-2可引導刮 板組件2223 ’特別是支撐捍2222，的直線運動，其動作 099127237 表單编號Α0101 第13頁/共45頁 0993390725-0 [0057] 201134672 將說明如後。可使用輸送帶作為導引單 、 =21'2。在此’導引單元222H、222卜2可由伺服馬 達2224驅動。 [0058] [0059] [0060] 支撐扣2222的兩端係由導引單元222l_i、所支 撑。因此，支擇桿2222係穿過第—開孔2213與第二開孔 2225。如上所述，當使用輪送帶12UM、121G_2作為 導引單元222H、222卜2時’可藉由驅動輸送帶 U10-1、1210-2輸送支撐桿2222來引導支撐桿““的 直線運動。 用於網版印刷之刮板組件2223係與支撐桿2222結合。刮 板組件2223懸掛於支撐桿2222的某個位置處，並透過分 別形成在下框架2210與上框架2220上的第_開孔2213與 第二開孔2225配置在網版2230上。此刮板組件能夠藉由 支撐桿2222的運動而移動到X方向並且藉由支撐桿2222 的縱向運動而移動到Y方向.。當糊科也槪料進料單元 3000A、3000B (第9圖）塗布在支撐稈2222的上部時， 刮板組件2223，特別是刮板細诗.:端部分的刮板2223S (第2圖）會緊密地貼附在網版2230的上部，並且在X及/ 或Y坐標的方向上移動。因此，對應於形成在網版2230上 之圖案（未圖示）的特定圖案會印刷在基板的表面上。 包含網版2230的網版組件2200能夠藉由網版升降單元 2300而向上和向下移動。如第1圖和第2圖所示，網版升 降單元2300可包含複數個網版支撐腳2310，其沿著下框 架2210的邊緣隔開，以支撐下框架2210並且可向上和向 下延伸；及一用以使網版支樓聊2310向上和向下移動的 099127237 表單編號A0101 第14頁/共45頁 0993390725-0 201134672 [0061] Ο [0062] 馬達2320。可藉由網版升降單元23〇〇，使與基板位置相 吻合的網版2230向下移動至定位於工作台2112上的基板 上，接著以刮板組件2223進行網版印刷。 如第1圖和第3圖所示’當輪送帶2111-ΐ、2111-2及工作 σ2ΐΐ2配置在工作台架214〇上時，工作台架2140可具有 周版支撐腳2310可穿過的開孔2141。在此，可在網版支 標腳2310的適當位置處包含支撑板2311，以支揮工作台 架2140的底側。第2圖係圖示支撐腳上部穿過工作台架 2140 ’支撐下框架2210。 本發明之一具體實施例係提供具有上述結構之網版升降 單元2300，但可使用其他動力傳送裝置，例如液壓缸等 [0063] Ο [0064] 當完成印刷時，網版組件2200向上移動回到原位，而工 作台2112則向下移動回到原位。當工作台2112向下移動 回到原位時，輸送帶2111-1、2111-2再次運轉，透過後 側輸送帶2130，將基板運送到下一個生產線。 本發明另一具體實施例之網版印刷系統可用來將導電膏 印刷在基板（例如晶圓）的正面及/或背面上，以形成電 極。網版印刷系統的外表係形成殼體1〇〇〇，如第8圖所示 。可在殼體1000的一侧形成出口 1130，以送出網版印刷 後的基板，可在殼體1 000的正面形成一用以檢查操作狀 態的顯示器1110及一用以手動輸入操作指令的輸入翠元 1120，例如觸控螢幕。 [0065] 請參閱第9圖，本發明一具體實施例之網版印刷系統在殼 099127237 表單編號Α0101 第15頁/共45頁 0993390725-0 201134672 體的内部空間中可包含複數個網版印刷單S2_A、 2〇〇〇B’以同時操作複數個基板。 [0066] 如第9圖所示，孫, 係由左至右運送基板。在殼體内設置糊料 進料單元3000A、3000B，使糊料供給至各網版印刷單元 2000A、2000B ’在殼體的最後端（最右邊）設置檢測單 元4000A、4000B，以檢測由網版印刷單元2〇〇〇八、 2000B進行網版印刷後的基板。此外，在殼體1〇〇〇内設 置控制單元5000，以控制本發明一具體實施例之網版印 刷系統的操作。 [0067] 第1 〇圖係圖示網版印刷單元2 〇 0 〇 A。由於網版印刷單元 2000A與第1圖中的網版印刷單元2〇〇〇相似，因此省略與 上述說明相同的多餘說明。雖然第1〇圖僅圖示在前端的 網版印刷單元2000A (以下稱為第一網版印刷單元），但 是在後端的網版印刷單元2000B (以下稱為第二網版印刷 單元）仍具有與第一網版印刷單元2〇0〇a對應的結構。因 此，只對第一網版印刷單元2〇〇〇a做辱細說明。於本發明 之一具體實施例’網版印刷早元2〇0〇A包含—網版組件 2200A、一輸送組件2100A ’及一網版升降單元23〇〇a， 如第10圖所示，但不以此為限。 [0068] 輸送組件2100A設有一基板，其係於網版印刷製程中支承 基板，並且在網版印刷製程後，將基板運送到下一個製 程。本發明一具體實施例之輸送組件2100A包含一板狀工 作台架2140、彼此平行設置在工作台架21 4〇上的印刷輸 送帶單元（請參見第11圖之2100A-1、2100B-1 )，及 運送輸送帶單元（請參見第11圖之2100A-2、2100B-2 099127237 表單編號A0101 第16頁/共45頁 099335 201134672 )° [0069] 印刷輸送帶單元2100Α-1、2100Β-1藉由網版組件（請參 見第10圖之2200Α)進行網版印刷製程。如第12圖所示 ，印刷輸送帶單元2100Α-1包含串聯設置的一前輪送帶單 凡2120、一工作台組件2110及一後輸送帶單元213〇。前 輸送帶單元2120係提供基板給工作台組件211〇，而後輸 送帶單元2130則在網版印刷完成後，將基板運送到下一 個製程。工作台組件2110在網版印刷製程中支承基板。 Ο [0070] 如第11圖所示，與第二輸送組件2100Β相比，包含在第一 輸送組件210 〇 Α中的運送輸送帶單元2】〇 〇Α_ 2係相對地配 置在前面，係提供要在第二輸送組件21〇〇β進行網版印刷 處理的基板。換言之，配置在第一輸送組件21〇〇八上的運 送輸送帶單元2100Α-2並不進行網版印刷，但只將基板運 送到第二輸送組件21〇〇β。 [0071] ❹ [0072] 同樣地，在第二輪送組件21〇〇Β的運送輪送帶單元 210 0Β-2係將網版印刷後的基板從第一輸送組件21〇〇八運 送到下一個製程。 對於網版印刷系統空間的實際個而言，相鄰兩輸送組 件2100Α、2100Β ’特別是相鄰兩工作台架214〇，係以互 相偏移的方式設置。換言之，兩輸送組件21〇〇Α、21〇〇Β 相鄰侧的-部分係彼此相對刷輸送帶單元UGH、 2100B-1及運送輪送帶單元21〇〇A_2、21〇〇B_2係配置於 對向部。更具體而言’在第一輸送組件21嶋的印刷輸送 帶單7〇21隱-1與在第二輸送組件21剛的運送輸送帶單 099127237 表單編號A0101 第17頁/共45頁 0993390725-0 201134672 元2100B-2係串聯設置’而在第一輸送組件2100A的運送 輸送帶單元2100A-2與在第二輸送組件21〇〇b的印刷輸送 帶單元2100B-1係串聯設置。 [0073] [0074] [0075] [0076] 如第10圖所示，網版組件2200A係配置於輸送組件2100A 上，特別是在工作台組件2110上，在基板表面上進行網 版印刷製程。網版升降單元2300A使網版2200A向上和向 下移動。如第9圖所示，本發明一具體實施例中的兩網版 組件與這兩個網版組件也像輪送組件一樣以偏移的方式 設置。 如上所述’對準感應器單元HUM、2119_2、2119_3 (請參見第5圖，以下稱為「2119」）係檢測定位在工作 台2112上之基板的對準性。檢測到的基板對準性係藉由 控制單元5000 (請參見第9圖）傳送至網版223〇，並且 用來修正網版2230的位置。換言之，根據基板對準性的 —貝讯來修正網版2230的位置，使網版2230與基板的位置 相吻合。 根據本發明之一具體實施例，即使使用複數個網版印刷 單兀2000A、2000B ’仍只要一個控制單元5〇〇〇便能控制 其操作，因此不僅大幅降低系統的製造成本，而且還能 減少系統所佔用的空間。 如第9圖所示’檢測單元4〇〇〇a、4〇〇〇b係配置在第二網 版印刷單元2000B的背面，以檢測由網版印刷單元2〇〇〇a 、2000B進行網版印刷後的基板。以下參閱第9圖、第13 圖及第14圖’說明檢測單元4〇〇〇α、4〇〇〇β的結構和功能 099127237 表單編號Α0101 第18頁/共45頁 0993390725-0 201134672 Ο [0077] Ο 根據本發明之一具體實施例，設置兩檢測單元4〇〇〇α、 4000Β，以檢測兩網版印刷單元2〇〇(^、2〇〇卟進行網版 印刷後的兩基板是否不良。根據第9圖，檢測裝置4〇〇〇α (以下稱為「[檢測單元」）係配置在相對上部的位 置，其檢測在第一網版印刷單元2〇〇(^進行網版印刷後的 基板是否不良，而檢測單元（在第13圖中未圖示在第 14圖中為4GGGB ’以下稱為「第二檢測單元」）係配置在 相對下部的位置，其檢測在第二網版印刷單元2〇〇〇β進行 網版印刷後的基板是否不良。以下說明第一檢測單元 4000Α的結構和功能。由於第二檢測單武4〇〇(^的結構和 功係對應於第一檢測單元4〇〇〇α，因此只針對第_檢測單 元400 0Α做詳細說明。 [0078] 第一檢測單元4000Α係檢測基板的印刷狀態、第—網版印 刷單元2100Α之印刷輸送帶單元及第二網版印刷 單元2100Β之運送輸送帶單元2ΐ〇〇β_2的輸送是否不良。 可藉由配置在第一檢測單元4 〇 0 〇 Α下部的測試帶連續供應 欲提供給第一檢測單元4〇〇〇Α的基板。 [0079] 第一檢測單元4000Α係配置在測試帶4100-1、41〇〇_2中 心部分的上部，欲檢測之基板係運送到第一檢測單元 4000Α的下部’由測試帶41 〇〇-1、41 00-2使基板停止。 為達到此一目的’可在測試帶4100-1、4100-2的前面設 置一感應器4600。此感應器4600可藉由與基板檢測感應 器2122 (第5圖）所述相同的方式使基板停止在第—檢測 單元4000Α的下部》 099127237 表單編號Α0101 第19頁/共45頁 0993390725-0 201134672 [0080] 當基板運送到第一檢測單元4000A時，第一檢測單元 4000A光學檢查基板表面，並比較檢查所得的資訊與輸入 的資訊（規格）。當所得資訊偏離誤差容許範圍時，該 基板判定為不良。另一方面，當所得資訊在誤差容許範 圍内時，該基板判定為良好。 [0081] 判定為不良的基板應從生產線排除，而不送到下一個製 程。為達到此一目的，在一對測試帶4100-1、41 00-2之 間設置退出帶4200-1、4200-2，使其以與測試帶 4100-1、4100之移動方向成交叉方向進行操作。 [0082] 測試帶4100-1、4100-2通常可配置在低於測試帶 4100-1、4100-2的位置，使基板的運送不會被中斷。然 而，當判定基板為不良時，使退出帶420 0-1、4200-2上 升至比測試帶4100-1、4100-2更高的位置，藉由從測試 帶41 00-1、4100-2的移動方向運送到不同的方向而將基 板排除。如第13圖所示，可使用氣缸440 0使支承退出帶 4200-1、4200-2的框架4500升高，以升高退出帶 4200-1 、 4200-2 。 [0083] 可設置一退出器4300，以便在退出帶4200-1、4200-2 之移動方向的前方引導被排除的基板。該退出器4300可 以如第1 3圖和第14圖所示地向下傾斜。 [0084] 另一方面，當判定基板為良好時，停止的測試帶4100-1 、41 00-2再次運轉，將基板運送到下一個製程。 [0085] 以下說明本發明一具體實施例之網版印刷系統。 [0086] 使用輸送帶2111-1、2111-2提供基板於工作台2112上 099127237 表單編號A0101 第20頁/共45頁 0993390725-0 201134672 [0087] [0088]Ο [0089] Ο [0090] [0091] 099127237 更具體而言，第一輸送組件21 00Α之印刷輸送帶單元 2100A_1所提供的基板與第一輸送組件2100Α之運送輸送 帶單兀2100A-2所提供的基板，於通過第一輸送組件 2l〇〇A之後，配置在第二輸送組件2100B的工作台上2112 〇 在輸送帶2111-1、2111-2下方的特定位置處配置工作台 2112，以支承被輸送的基板。 當基板定位在工作台2112上時，檢測基板的對準性，使 基板與網版2230的位置相吻合，以進行網版印刷。第一 感應器2119-1和第二感應器2119_2係分別檢測基板的正 面和側邊，以得到X和γ坐樣方向上的對準誤差。旋轉方 向上的對準誤差係由第三感應器2119_3所獲得。 接著將基板定位在上面的工作台2112升高。檢測到的基 板對準性係藉由控制單元5000 (參見第2圖）傳送至網版 V ： 組件2200A，並且根據基板的對準性來修正網版2230的 位置。由於根據基板對準性的資訊來修正網版2230的位 置，因此可得到網版2230與基板之間位置相吻合的結果 〇 接著使網版2230下降在基板的上部，使用刮板組件2223 ，以藉由糊料進料單元3000A、3000B塗布在網版2230上 部的糊料來印刷圖案。 當完成印刷時’網版組件2200會上升回到原位，而工作 台2112會下降回到原位，其中基板則運往檢測單元。 當藉由網版印刷製程在上面形成圖案的基板運送到檢測 表單編號A0101 第21頁/共45頁 [0092] 201134672 單元時，檢測單元400OA、400OB係檢測基板表面並從中 獲得資訊，然後比較所得到的資訊與預先輸入的資訊（ 規格），以判定基板是否不良。 [0093] 當判定基板為良好時，將基板運送到下一個製程。另一 方面，當判定基板為不良時，使退出帶4200-1、4200-2 上升，藉由升高的退出帶4200-1、4200-2將判定為不良 的基板排除到與移動方向成交叉方向的另一個方向。 [0094] 參閱第15圖，其係為本發明另一具體實施例之網版印刷 方法的流程圖，以說明本發明之另一態樣的網版印刷方 法。下述網版印刷方法可藉由使用具有與上述具體實施 例之網版印刷系統相同結構或類似結構的網版印刷系統 來實現。為了能更深入的了解，請參聞第1至7圖所示的 網版印刷系統。 [0095] 提供一基板（S100)，其中該基板為用於製造太陽能電 池的材料，例如晶圓，及用於網版印刷的其他材料。提 供一基板之步驟可藉由一線内系統，使用輸送帶2111-1 、2111 -2來進行。當使用線内系統時，可容許連續加工 ’以提南產率。 [0096] 接著將所提供的基板定位於一工作台2112上（S200 )。 在輸送帶2111-1、2111-2下部的特定位置處配置工作台 2112，以支承被輸送的基板。 [0097] 可在工作台2112上形成能提供負壓的負壓孔2115，以防 止定位在工作台2112上的基板移位。當使用泵（未圖示 )透過負壓孔2 11 5在工作台2112上提供負壓時，定位在 099127237 表單編號A0101 第22頁/共45頁 0993390725-0 201134672 工作台2112上的基板緊密地貼附在工作台2112上，因此 即使工作台2112移動時，其對準性也不受影響。 [0098] 然後檢測定位在工作台2112上之基板的對準性（S3〇〇) ，使基板與網版2230的位置相吻合，以進行網版印刷。 第一感應器2119-1和第二感應器2119-2係分別檢測基板 的正面和側邊，以得到χ*γ坐標方向上的對準誤差。旋 轉方向上的對準誤差係由第三感應器2119_3所獲得。 [0099] 將基板定位在上面的工作台2112升高（S4〇〇)。 0 [〇1〇〇]將基板對準性的資訊傳送至配置於工作台2112上部並且 與工作台之間留有間隙的網版223〇，根據基板對準性的 資訊來修正網版2230的位置。由於根據基板對準性的資 訊來修正網版2230的位置，因此可得到網版22_基板 之間位置相吻合的結果。 闺接著使網版2230下降，定位於基板的上部，然後使用刮 板組件2223,將圖案印刷在基板的表面上（S7〇〇)。 ◎ [〇1〇2]當完成印刷時，網版組件2200會上升回到原位，而工 台2112會下降回到原位，其中基板則運往下—條生產線 〇 [0103] 儘管已根據特定具體實施例加以說明本發明，然而靡 解熟習此項技術者可在不偏離本案具體實施例之精 範疇，如後附申請專利範圍所定義及其等效者的情況下 ，進行各種變化及修改。 [0104] 就其本身而論，可在後附申請專利範圍内找到許多有別 099127237 表單編號A0101 第23頁/共45頁 0993390725-0 201134672 於上述的具體實施例。 【圖式簡單說明】 [0105] 第1圖為本發明一具體實施例之網版印刷系統的分解透視 圖0 第2圖為本發明一具體實施例之網版印刷系統的側視圖。 第3圖為本發明一具體實施例之網版印刷系統之輸送組件 的平面圖。 第4圖為本發明一具體實施例之網版印刷系統之工作台組 件的透視圖。 第5圖為第4圖不含工作台的平面圖。 第6圖為本發明一具體實施例之網版印刷系統之工作台組 件的侧視圖。 第7圖為本發明一具體實施例之網版印刷系統之網版組件 的平面圖。 第8圖為本發明另一具體實施例之網版印刷系統外部的透 視圖。 第9圖為本發明另一具體實施例之網版印刷系統内部的平 面圖。 第10圖為本發明另一具體實施例之網版印刷系統之網版 印刷單元的分解透視圖。 第11圖為本發明另一具體實施例之網版印刷系統之輸送 組件的平面圖。 第12圖為本發明另一具體實施例之網版印刷系統之印刷 輸送帶的平面圖。 第13圖為本發明另一具體實施例之網版印刷系統之檢測 單元的透視圖。 表單編號A0101 099127237 第24頁/共45頁 0993390725-0 201134672 第1 4圖為本發明另一具體實施例之網版印刷系統之檢測 單元的剖視圖。 第1 5圖為本發明另一具體實施例之網版印刷方法的流程 圖。 【主要元件符號說明】 _6] 1 00 0 ·•殼體 1110 :顯示器 1120 :輸入單元 ， 1130:出口 2000A、2000B:網版印刷單元 2100、2100A、210GB :輪送組件 2100A-1、2100B-1 :印刷輸送帶單元 2100A-2、2100B-2 :運送輸送帶單元 2110:工作台組件 2111-1、2111-2 :輸送帶 2112 :工作台 2113-1、2113-2、2113-3 :透明區域 、 2115 :負壓孔 2116 :帶架 2117 :輥 2118 :工作台升降單元 2118a :工作台支撐腳 2118b :氣缸 2118c :支架 2119-1、2119-2、2119-3 :對準感應器單元 2122 :基板檢測感應器 2140 :工作台架2141 :開孔 099127237 表單編號A0101 第25頁/共45頁 0993390725-0 201134672 2200、2200A :網版組件 2210 :下框架 2211-1、2211-2、221 卜3 :伺服馬達 2213 :第一開孔2220 :上框架 2221-1、2221-2 :導引單元 2222 :支撐桿 2223 :刮板組件 2224 :伺服馬達 2225 :第二開孔 2230 :網版 2300、2300A :網版升降單元 2310 :網版支撐腳 2311 :支撐板 2320 :馬達 2330 :網版 3000A、3000B :糊料進料單元 4000A、4000B :檢測單元 4100-1、4100-2 :測試帶 4200-1、4200-2 :退出帶 5000 :控制單元 099127237 表單編號A0101 第26頁/共45頁 0993390725-0