TW201132578A - Fabrication of a floating rocker MEMS device for light modulation - Google Patents

Description

201132578 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本文所論述之實施例涉及製造並使用在釋放製程期間 解除栓繫（un-tethered)之微機電系統（MEMS)中的自由 浮動元件。該'等實施例可使用在搖桿設計中，其中自由 浮動元件搭接在搖動支柱上且具有兩個穩定位置，即傾 向左側或傾向右側。可將該結構用作光學應用之雙穩熊 開關°可將該等浮動搖桿之陣列用於視訊投影機。該等 投影機可與電腦一起使用以用於呈現或用於視訊娛樂或 用於高清晰度應用，如電影投影機。該技術亦可用於背 投影式電視。因為並不像懸臂或經栓繫之搖桿_般機械 地栓繫净動搖桿，所以僅由附著力將其保持在任何穩定 位置。可使用來自慣性、磁性及靜電之任何力來切換浮 2搖桿。無類彈簧之懸臂附接的優點意謂浮動搖桿可在 穩疋狀態與下一穩定狀態之間極其迅速地移動，因為 不需要克服來自㈣的類彈簧復位力（_〇Γ_ f。叫。 此舉允許更快之高頻振動且提供具有較少可見閃燦及較 佳地控制了色彩及灰度的優質影像。如此亦較適用於遊 戲應用或運動節目。不具有復位彈簧降低了製造成本， :為製造裝置所用處理步驟較^移除了製造彈黃臂的 又，由於不具有類復位彈黄臂，故溫度變化並不 M 寸刀換Γ生質對於溫度變化較不靈 。因為如今並未附接反射鏡， 所以更多區域可用於反 201132578 射，因為若反射鏡被栓繫則無需如所需要的一般將其連 接至具有貫孔之基板。 【先前技術】 製造MEMS裝置經常遭遇之—問題為：當將其設計成 懸臂時，由於懸臂之寬度、厚度及長度以及懸臂上之附 著力變化而導致懸臂之復位力發生變化。在浮動搖桿之 狀況下’移除通常用以將類彈簧搖桿保持在原位的類彈 簧臂。此類彈簧臂設置切換所需要的電壓且對處理參數 (諸如’微影寬度及長度）之變化敏感。 當搖桿降落時，附著力亦開始發生變化。在製成顯示 器時，緊密地隔開各像素進而提供高封裝密度極其重 要。此舉意謂在與反射像素材料相同之金屬化層中無空 間來裝配復位臂。又，必須最佳化反射像素材料以達到 高反射率且因此不可與彈簧臂同時製成，該等彈簧臂需 要較薄以使其適用。 先前在美國專利申請案第6,441,405 (:^)號中已論述 對自由浮動元件之使用。彼專利論述對自由浮動元件之 使用及其如何優於懸臂，但並未充分揭示如何使用自 目由 浮動元件來製造將不會因溫度變化而切換之雙穩雜 顯示器。 f 【發明内容】 201132578 使用浮動搖桿’移除類 力來保持搖桿沿一方向 位1之變化且使用附著 摔作中，Ιέ ά Μ φ n 或沿另一方向搖動。在正常 铩作中，藉由將電壓 電極來操作作為開關之浮側或另-側下方的 有透明封裝，故此裝置:由：洋動搖桿上方具 素。藉由量測穿過搖桿拖轴=又衫顯示器晶片中的像 可持續地監視搖桿之仇1。 力&的電阻 本揭示案展示如何製成 射鏡陣列。因為在反射〜顯不"之高速切換反 支座的、兄中部不具有連接至下層彈簧 座的貫孔，所以對比率 現存技術一般光气…改善，這是由於不具有像 接觸，所以可使反射鏡變小，^，為不存在支擇 密度顯示器之較小像/ 形成可用以製成較高 撐素。另外，因為不存在來自任何支 向或由於附著力朝向二 處於原位朝向一個方 A # * 〇 方向。此舉意謂無需使用電壓 术保持反射鏡處於历 該顯示器。…、。此舉意謂需要較少功率來操作

雔爲^作該顯示器’各像素可與SRAM記憶體單元成 中。 像素下次作用所需要之資訊儲存在SRAM 暫伽泌子在復位力之事實亦意謂基於靜摩擦（stietion)之 料， 舉允許在重置之前寫入低於像素之資 ** iA /λ. JL? 5己憶體效率及較好的總光學效率。當 改變 SRAM 3» — + Π己隐體狀態時，像素並不遵循此變化因為 、力維持其處於原位直至施加重置脈衝為止。此重置 201132578 脈衝足夠大以克服附著力。 在一實施例中，揭示一種浮動搖桿MEMS裝置之製造 方法。該方法包括：將第一氮化鈦層沈積在基板上；圖 案化第一氮化鈦層及蝕刻第一氮化鈦層。該方法亦包 括：將第二氮化鈦層沈積在經蝕刻之第一氮化鈦層上； 圖案化第二氮化鈦層及蝕刻第二氮化鈦層。該方法亦包 括.將第一犧牲層沈積在經姓刻之第二氮化鈦層上；圖 案化第一犧牲層及蝕刻第一犧牲層。該方法亦包括：將 反射鏡層沈積在經蝕刻之第一犧牲層上；將第二犧牲層 沈積在反射鏡層上；及將透明層沈積在第二犧牲層上以 封裝第二犧牲層、反射鏡層、經蝕刻之第一犧牲層、經 蝕刻之第二氮化鈦層及經蝕刻之第一氮化鈦層。該方法 亦包括：穿過透明層蝕刻孔；電漿蝕刻第二犧牲層及經 蝕刻之第-犧牲層以形成分立、浮動搖#;及用選自： 以下組成之群組的材料來填充該孔：金屬及介電材料。 在另一實施例中，揭示一種浮動搖桿MEMS裝置之製 造方法。該方法包括：將第一氮化鈦層沈積在基板上； 圖案化第-氮化鈦層及蝕刻第一氮化鈦層。該方法亦包 括：將第二氮化鈦層沈積在經蝕刻之第一氮化鈦層上； 圖案化第二氮化鈦層及蝕刻第二氮化鈦層。該方法亦包 括··將第-犧牲層沈積在經蝕刻之第二氮化鈦層上；圖 案化第-犧牲層及㈣第―犧牲層。該方法亦包括：將 反射鏡層沈積在經蝕刻之第一犧牲層 沈積在反射鏡層上；及將透明層沈積在第二 201132578 封裝第二犧牲層、反射鏡層、經蝕刻之第一犧牲層、經 蝕刻之第二氮化鈦層及經蝕刻之第—氮化鈥層。該方法 亦包括1案化透明層；電漿蝕刻第二犧牲層及經蝕刻 之第一犧牲層以形成分立、浮動搖桿；及封裝分立、浮 動搖桿。 在另一實施例中，揭示一種浮動搖桿“£河8裝置之製 造方法。該方法包括：將導電層沈積在第一犧牲層及一 或多個導電電極上；及將第二犧牲層沈積在導電層上。 該方法亦包括·將第一犧牲芦、道« 俄杜赝、導電層及第二犧牲層封 閉在一空腔内。該方法另外白扛.必λ μ 友力外包括.移除第二犧牲層及第 一犧牲層以釋放空腔内之導電；，M v；fe + a 守电增’以使得導電層形成靜 置在支點上且經樞轉以盥一式客加 ^ 或夕個導電電極接觸及不接 觸之分立、浮動搖桿。隨後密封該空腔。 在另一實施例中，揭示_插& w 種’予動MEMS裝置之製造方 法。5玄方法包括.將導雷居、、士 層’尤積在第一犧牲層及複數個 導電電極上；圖案化導電層 一 a以形成苐—反射鏡元件及第 一反射鏡元件；及將第-槐 第—犧牲層沈積在第-反射鏡元件 及第一反射鏡元件上。該方、土 + a 哀方去亦包括：將第一犧牲層、 第一反射鏡元件、第二及射炉_ 反射鏡疋件及第二犧牲層封閉在 空腔内’及移除第二犧牲；月楚 s及第一犧牲層以釋放該空腔 内之第一反射鏡元件及第二 i+ ^ ^ 反射鏡7L件，以使得第一反 射鏡7G件為靜置在第一支 € ^ t ^ ^ it Φ .，且！樞轉以與複數個導電 電極f之第一導電電極接 ^ ^ 0 ^ 觸及不接觸的分立、浮動第一 搖# ’且弟二反射鏡元件 二靜置在第二支點上且樞轉與 201132578 複數個導電電柄由+ @ 中之第一 電電極接觸及不接觸的分 立、浮動第二搖才旱。隨後密封該空腔。 在又實施例中，一種方法包括：將第一電流施加至 或多個電極以使-或多個分立反射鏡元件在支點上樞 轉，將光穿過第-透鏡照射在-或多個分立反射鏡元件 上;' 及將反射光穿過第二透鏡照射在螢幕上。 應理解，可使用相同钱刻劑以相同步驟及相同製程來 同時㈣第-犧牲層、反射金屬層（或反射鏡層）及第 二犧牲層或頂部犧牲層。 【實施方式】 第1A圖圖示可如何製造浮動搖桿裝置。最初，備製基 板材料以使之具有來自金屬軌道（metal track) 2之貫孔 貫孔向上L伸穿過可為一氧化石夕或氮化石夕的絕緣層 或某種其他絕緣層或半絕緣層^此基板材料可為互補式 金屬氧化物半導體（CM〇s)裝置之層間介電質，其中活 性CMOS用於為在下方界定之反射鏡陣列定址。待沈積 之第- MEMS層可為TiN層，其將用於在釋放搖桿時， 搖#將搭接之支柱6的基座部份。使用半導體處理廠中 通吊可見之光學微影製程來圖案化第一 MEMS層。光學 微影製程可包括：濕式蝕刻經圖案化之光阻層下方的金 屬層或使用電漿蝕刻製程來乾式蝕刻該層。 在將第—MEMS層餘刻以留下支柱6之基座後，將沈 201132578 積亦可為TiN之第二層。隨後圖案化並蝕刻第二層以形 成搭接電極8及搭接電極1〇以及切換電極7及切換電極 9，及支柱6之頂部部份。隨後，放下犧牲層n。犧牲 層11可為SiN層或旋塗式玻璃或可使用反應性離子蝕刻 法移徐之任何其他犧牲層。隨後將犧牲層u圖案化為亦 可具有橫向突出物（參看下圖）的形狀，此形狀可提供 橫向釋放通道以允許經由反射鏡周圍之側壁中的孔將犧 牲層11蝕刻出來。 隨後將反射鏡層12沈積在犧牲層u上。反射鏡層 可由薄TiN基座組成以提供與覆蓋有厚μ層之中心柱的 優良電氣接觸，該厚A1層經熱處理以確保具有極其平滑 之反射表面。 隨後將第二犧牲層13沈積在晶圓上且隨後將其圖案 化為適田的形狀。第二犧牲層13之犧牲材料可與犧牲 層11相同或可為一種不同材料。對於經微封裝之設計， 並未將透明層14沈積在第二犧牲層13 i。第二犧牲層 13可為二氧化矽或氮化矽，其厚度提供機械強度但不會 導致任何顯著光學吸收。選擇兩個犧牲層厚度及柱高度 以使得搖桿可M轉而不會接觸頂部窗4必須選擇頂部 犧牲層及頂部窗，以使得當搖桿柩轉時其並^引起反射 出搖桿之光之間的法布裏，羅諧振（Fabry_per〇t reS〇nanC〇,進而干擾反射出窗内部之光。 隨後如圖所不自頂部或自側邊，穿過塗佈頂部犧牲層 之材料㈣—孔。隨後使用電㈣刻製程㈣掉犧牲 10 201132578 層。安置㈣π以將t先在才主及搭接電極周目之犧牲材 料敍刻出來。此舉確保在移除犧牲層剩餘部份之前其為 乾淨的，且凡得瓦爾力（vanderWaalsf〇rce)將搖桿; 拉至基板。選擇頂部犧牲層與底部犧牲層之比以使得搖 桿下方之㈣力大於搖桿上方之附著力。此舉確保在釋 放搖桿時總是將其下拉。 .在些實施例中，將銦錫氧化物或其他導電透明電極 用於頂部窗可極其有用。此舉確保外部電場不擾亂搖 桿。最終，沈積金屬層（或介電層）16以填充經由其移 除犧牲材料之孔。隨後將金屬層或介電層丨6自搖桿反射 鏡所在之窗的頂部上方移除β應將金屬層或介電層Μ沈 積在與犧牲材料被移除進入之群集工具的腔室相同的腔 至中。此舉確保在釋放及密封製程期間從不將該等裝置 曝露於空氣中，進而為各反射鏡建立具有低壓受控環境 之空腔。 如第ic圖所示，亦可製成無頂部窗的裝置。在此種狀 況下，製造程序止於第1B圖中之位置Η處。隨後，將 —蓋層添加到頂部犧牲層上。此蓋層可為透明絕緣體或 反射金屬層。隨後，圖案化蓋層以在反射鏡上開啟一大 孔。設計之蓋層具有盡可能大之開口，但該開口足夠小 以在旦移除犧牲層時，防止反射鏡經由孔掉出。第^ ◦ 圖之11圖示移除犧牲層且反射鏡向下掉落到支柱上。 在下一製程中，將裝置安放在具有受控環境及透明光 學窗之包裝中。包裝製程為類似於用於當前MEMS包裝 11 201132578 中的後處理製程。在分割並包裝裝置之前，測試該裝置， 隨後將錢佈保持反射鏡處於原位之犧牲層。此舉在第 1C圖之iv中圖示為層17。 應理解，可使用相同㈣劑以相同步驟及相同製程來 同時㈣第-犧牲層、反射金屬層（或反射鏡層）及第 二犧牲層或頂部犧牲層。另外’儘管已參閱氮化鈦描述 了 MEMS層、搭接電極及反射鏡層，但是應理解，該材 料可包含紹保護膜（overc〇at)以增加材料之反射率。可使 用之另一適合導電枯料為TiA1N。不管⑽⑽層、搭接 電極及反射鏡層使用何種材料，該等材料可㈣有諸如 紹之反射材料。 第2圖圖示處於其自身封裝中的兩個搖桿反射鏡。搖 才干A坐洛在支柱G上且可使用電心及電極p2使宜自 2右切換。搖桿搭接在電極c及電極^。可藉由量 2電極C與支柱G之間的電阻來推斷搖桿之狀態。在此 =:，將各元件安放在其自身之由透明材料製成的 鏡具有兩個穩定狀態，即向左搖動並使搖桿 搭接在支柱A上且接觸搭接電極D，或傾向右側並使搖 Γ=支柱A上且接觸搭接電極C。使用電極… 力使搖柃自左至右移動且使 右至左移動。 P2之拉力使搖桿自 ==顯示器’可將像素安置在_記憶 體早7L上方。將下一像素操 吓而要之資料安放在 12 201132578 SRAM單元中，且隨後將電壓脈衝發送至像素以將其切 換成下一狀態。因為轉換電壓需要克服附著力，所以施 加至SRAM之離散電壓（stray v〇hage)將通常使得反射鏡 輕微移動，至於未附接之反射鏡，此狀況則不是問題， 因為附著力將其保持在原位。 第3圖圖示在處理期間封裝有頂部窗而非經微封裝的 實施例。搖桿A坐落在支柱G上且使用電極ρι及電極 P2可使其自左至右切換。搖桿搭接在電極c及電極〇 上。可藉由量測電極C與支柱G之間的電阻來推斷搖桿 之狀態。在此實施例十，將各元件安放在其自身之由透 明材料製成的空腔中。 可設計在更廣範圍之角纟移動的封裝搖桿，但製造該 等封裝搖桿成本較為昂貴。帛5圖及第6圖圖示使用兮 裝置之兩種可能實施例。在第5圖中，於左側圖示且安 置陣列以使得當反射鏡像素完全至左側時，光照射在光 學同步件（optical sync)上且若其搖動至右側，則光穿過 透鏡L3照射以聚焦在螢幕上。 第4A圖-第4C圖圖示在製造程序期間處於各種時段的 四個像素陣列之俯視圖。使用虛線邊緣Η或A以透明的 灰色圖示經圖案化之第一犧牲層u及第一犧牲層"(透 明地圖示）及浮動像素搖桿。 第4B圖圖示沈積在頂部且隨後經姓刻以顯露犧 :側面標鐵之經圖案化的頂tl4e如第4C圖所示，隨 後則面標鐵提供用於將相同腔室中位於頂蓋下方之犧牲 13 201132578 材料#刻出來的通道，隨後沈積密封材料。 在第4C圖中，已將犧牲材料自搖桿之下方及上方移除 且已施加封閉層16以提供位於浮動搖桿上方的密封透 明空腔，浮動搖桿又坐落在切換電極及搭接電極上方之 搖動支柱上。 在第5圖中，光穿過透鏡l 1照射且經由自旋色彩輪聚 焦。隨後光穿過透鏡L2聚焦在傾斜反射鏡陣列上。若反 射鏡沿一種方向傾斜，則將來自色彩輪之光穿過透鏡U 導向至螢幕。當反射鏡沿另一方向傾斜時’光被聚焦進 入擷取光之光同步件。個別反射鏡隨著光輪之紅色區、 藍色區、頁色區及白色區及時高頻振動以在螢幕上產生 正確的色彩。藉由以比眼睛不能觀測到的速度還快的速 度來調制色彩，以使得在較短時段各像素可投射不同色 彩達不同時段以提供組合色彩。在第5圖之狀況下，白 色光與色彩輪組合使用以產生紅色、黃色、藍色及白色 之閃控。藉由使反射鏡隨著適當的閃光色彩及時旋轉， 可將彼色彩投射在螢幕上。 第6圖圖示一替代性技術’其中用不同色彩之明亮發 光一極體（LEDs )取代色彩輪及白色燈。可極其迅速地 電氣切換該等發光二極體，進而使得迅速切換變得較容 易’此舉極其配合該等自由浮動搖桿之高速切換速度。 在第6圖中’來自3種色彩（紅色、黃色及藍色）LED 光源之光穿過透鏡L 1至傾斜反射鏡陣列上。若反射鏡沿 一種方向傾斜，則將來自彩色LED之光穿過透鏡L3導 14 201132578 向至螢幂。▲反射鏡沿另一方向傾斜時，光 擷取光之光同步件。個別反射鏡隨著紅色led、藍色led 及黃色LED及時高頻振動以在螢幕上產生正確的色彩。 藉由以比眼睛不能觀測到的速度還快速的速度來調制色 彩，以使得在較短時段各像素可投射不同色彩達不同時 段以提供組合色彩。 因為本文所描述之浮動搖桿裝置可用在非揮發性像素 模式中，所以不需要保持經由靜電電壓閃鎖之像素狀 態。顯示器之狀態將得以保持而無需消耗額外功率:、浮 動搖桿裝置可詩在-模式下操作之转發性像素中， 在該模式下僅將改變之資料發送至陣列，進而允許降低 資料氣寬要求。未改變之資料將不會失去其狀態。浮動 搖桿裝置亦可用於在一槿彳丁 π & 褀式下刼作之非揮發性像素中， 在該模式下整個顯示器停駐在黑暗狀態下（陣列中之所 有像素皆停駐在反射光錐超出顯示光圈之外處），且隨後 :更新明亮狀態位元’進而降低資料頻寬要求。浮動搖 =置亦可用於在自用於明亮狀態改變之單個電晶體賦 \非揮發性像素中，同時驅動關閉狀態電極以進行陣 圍清除或在方塊令清除。浮動搖桿裝置亦可用於以 二：發性像素中：經交又點定址之非揮發性像 是使㈣統手段^之非揮發性像素、用以在 故障後或在災難性事件期間使用光學方法讀取記憶 位几狀癌之非揮获性傻去 m 像素、用於成像uv光（印刷） 發性像素、用於成像同調（c〇heren⑽光（通訊） 15 201132578 之非揮發性像素’及每個像素使用兩個記憶體單元之非 揮發性像素，所以在狀態改變之前可快取輸入資料，藉 此消除對關閉晶片訊框儲存器之需要。因此，使用本文 所响述之浮動搖桿裝置的非揮發性像素對於最小化數位 顯不器之電子元件製造費用極其有用。 本文所論述之浮動搖桿為分立浮動搖桿。因為浮動搖 才干為刀立的’所以浮動榣桿為與裝置中其他元件個別地 刀離之單獨實體。換言之’浮動搖桿組成實為非連接並 分離件的單獨實體。事實上’將浮動搖桿釋放之後其 並未附接至空腔内的任何物。浮動搖桿僅靜置在支點上。 儘管上述内容針對本發明之實施例，但可在不脫離本 發明之基本範疇的情況下設計本發明之其他及更多實施 彳且本發明之I巳嘴由以了申請專利範圍來確定。 【圖式簡單說明】 因此’可詳細理解本發明之上述特徵結構之方式，即 亡文簡要概述之本發明之更特定描述可參照實施例進 订些實施例圖示於附加圖式中 '然而 ::式僅圖示本發明之典型實施例，，因此不欲:為： 、之限制，目A本發料允料 ’例 第-圖之i-vu圖示製造程序之部份有效之實施例。 第1B圖之i_iv圖示製造程序之後半部份。 第1C圖之^圖示稍後在受控環境中封裝有透明頂部 16 201132578 窗的替代性製造程序。 第2圖圖示根據一實施例之浮動搖桿配置。 第3圖圖示根據另-實施例之浮動搖桿配置。 第4A圖圖示在已製造切換電極（P2 & ρι)、搭 桎（D及C)及支柱G後之四個像素的俯視圖。 第4B圖⑹沈積在第隨後㈣刻 犧牲層之側面標籤之經圖案化的頂蓋M。 第4C圖圖示經移除之第4B圖的犧牲層。 第5圖圖不光穿過透鏡L1照射且 '經由自旋色彩輪聚 焦0 一第6圖圖示來自3種色彩（紅色、黃色及藍色）led 光源之光穿過透鏡L1至傾斜反射鏡陣列上。 為了促進理解，在可能情況下已使用相同元件符號以 扣疋為諸圖所共有之相同元件。預期可將一實施例中所 揭示之元件有利地用於其他實施例，而無需特定敘述。 【主要元件符號說明】 2 金屬軌道 3 貫孔 6/G 支柱 7/9 切換電極 8/1〇 搭接電極 H 犧牲層 17 201132578 12 反射鏡層 13 第二犧牲層 14 透明層 16 金屬層/介電層 17 層 A 搖桿 C/D 搭接電極 P1/P2 切換電極 L1/L2/L3 透鏡 18 5

Claims (1)

1. 201132578 七、申請專利範圍： 1 · 一種方法，其包含以下步驟： 將導電層沈積在一第一犧牲層及一或多個導電電極 上； 將一第二犧牲層沈積在該導電層上； 將該第-犧牲層、導電層及第二犧牲層封閉在一空腔内; 移除該第二犧牲層及該第一犧牲層以釋放該空腔内之該 導電層’以使得該導電層形成靜置在—支點上且經樞轉 以與該一或多個j導f電極接觸及不接觸之—分立、浮動 搖桿；及 密封該空腔。 .如申吻專利範圍第1項之方法，其中該空腔由一透明 窗黏合。 .如申叫專利範圍第1項之方法，其進一步包含以下步 驟： 將一第一氨化鈦層沈積在一基板上； 圖案化該第一氮化鈦層； 敍刻該第一氮化鈦層； 將一第二氮化鈦層沈積在該經蝕刻之第一氮化鈦層上丨 -圖案化該第二氮化鈦層； -蝕刻該第二氮化鈦層以形成該一或多個導電電極； 19 201132578 將該第一犧牲層沈積在該一或多個導電電極上； * 圖案化該第一犧牲層；’ - 蝕刻該第一犧牲層； 將該導電層沈積在該經蝕刻之第一犧牲層上； 將該第二犧牲層沈積在該導電層上； 將一透明層沈積在該第二犧牲層上以封裝該第二犧牲 層、該導電層、該第一犧牲層及該一或多個電極； 穿過該透明層蝕刻一孔； 電漿蝕刻該第二犧牲層及該第一犧牲層以形成該分立、 浮動搖桿；及 填充該孔以密封該空腔。 4.如申請專利範圍第1項之方法，其中該導電層包含氮 化鈦。 5.如申請專利範圍第4項之方法，其進一步包含該氮化 鈦層上之一銘層。 6. 如申請專利範圍第5項之方法，其中該一或多個導電 電極包含氮化鈦。 7. 如申請專利範圍第1項之方法，其中該一或多個導電 電極包含一透明導電材料。 20 201132578 8. 一種方法 將一導電層沈積在一第 圖案化該導電層以形成 鏡元件； 其包含以下步驟： 犧牲層及複數個導電電極上 第—反射鏡元件及一第二反 射 反射鏡元件及該第二反射 將一第二犧牲層沈積在該第一 鏡元件上； 該第二反射鏡元件 將該第一犧牲；、贫 饿往層第一反射鏡元件 及第二犧牲層封閉在相鄰空腔内； :示〜第—犧牲層及該第—犧牲層以釋放該等空腔内之 該第-反射鏡元件及該第二反射鏡元件，以使得該第一 反射鏡元件為靜詈A —笛__ 罝在第一支點上且經樞轉以與該複數 個導電電極中 〒之一第一導電電極接觸及不接觸的一分 立、浮動第-搖桿，且該第二反射鏡元件為靜置在一第 支點上且經樞轉以與該複數個導電電極中之一第二導 電電極接觸及不接觸的—分立、浮動第二搖桿；及 密封該等空腔。 9·如申請專利範圍第8項之方法，其進一步包含以下步 驟： 將一第一氮化鈦層沈積在一基板上； 圖案化該第一氮化鈦層； 雀虫刻該第一氮化鈦層； 將一第二氮化鈦層沈積在該經蝕刻之第一氮化鈦層上； 圖案化該第二氮化鈦層； 21 201132578 蝕刻該第二氮化鈦層以形成該複數個導電電極； 將遠第—犧牲層沈積在該複數個導電電極上； 圖案化該第一犧牲層； 钮刻該第一犧牲層； 形成該第一反射鏡元件及該第二反射鏡元件； 將該第二犧牲層沈積在該第一反射鏡元件及該第二反射 鏡元件上； 將一透明層沈積在該第二犧牲層上’以封裝該第二犧牲 層、該第一反射鏡元件、該第二反射鏡元件、該第〆犧 牲層及該一或多個電極； 經由該透明層蝕刻一孔； 電表钮刻έ玄第二犧牲層及該第一犧牲層以形成該分立、 第一浮動搖桿及該分立、第二浮動搖桿；及 填充該孔以密封該等空腔。 10.如申請專利範圍第8項之方法，其中該導電層包含氮 化鈦。 11 ·如申請專利範圍第10項之方法，其進一步包含該氮 化鈦層上之一銘層。 12.如申請專利範圍第u項之方法，其中該複數個導電 電極包含氮化欽。 22 201132578 ,13 ’如申明專利範圍第8項之方法，其中該複數個導電電 極包含一透明導電材料。 14.如申咕專利範圍第8項之方法，其中該空腔由一透明 窗黏合。 1 5. —種方法，其包含以下步驟： 將第電流施加至一或多個電極以使一或多個分立反 射鏡元件在一支點上樞轉； 將光穿過—第—透鏡照射在該-或多個分立反射鏡元件 上；及 將該反射光穿過一第二透鏡照射在一螢幕上。 16.如申叫專利範圍第15項之方法，其進一步包含以下 步驟： 將一第二電流施加至該—或多個電極以使該一或多個分 立反射鏡元件在一支點上樞轉； 將光穿過該第一透鏡照射在該一或多個分立反射鏡元件 上；及 將該反射光照射進入一光同步件以擷取該反射光。 ， 17.如申請專利範圍第15項之方法，其中該一或多個分 立反射鏡疋件包含複數個分立反射鏡元件，且其中該等 個別反射鏡隨著照射該光之一或多個LED的紅色區、藍 23 201132578 色區、黃色區及白色區 正確的色彩。 及時高頻振動 以在該螢幕上產生 18.如申請專利範圍第17 項之方法’其中除自該一 個LED照射之該# w认 曰通或夕 光以外，照射—白色光。 ，其中該複數個分立 時樞轉以冑得可將色 其中該複數個分立 19.如申請專利範圍第18項之方法 反射鏡元件隨著該適當閃光色彩及 彩投射在該螢幕上。 20.如申請專利範圍第19項之方法 反射鏡元件包含塗佈有鋁之氮化鈦 24