TW201113097A - Coating device and driving method thereof - Google Patents

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.201113097 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於塗布裝置及塗布裝置之驅動方法。 【先前技術】 以住’已知在EL(Electro Luminescence)面板所使用之 EL元件的製程中之將EL材料層成膜的步驟，對以包圍設 置於玻璃基板上的透明電極（陽極）之方式所形成之間壁間 的槽’經由噴嘴使E L材料液連續地流入而塗布之噴嘴印刷 方式的塗布方式。這例如記載於日本公開2002-75640。 在此情況’使所塗布的EL材料液乾燥而EL材料層被 成膜’並將相對向電極（陰極）設置於所成膜的EL材料層之 上’藉此製造EL元件，而被塗布該EL材料液的塗布區域 成爲EL面板的發光區域。 可是’在如該文獻所記載之構成的情況，吐出EL材 料液的噴嘴爲沿著引導構件移動的保持構件所具備。因 而’若引導構件有變形’在保持構件移動時發生振動，例 如可能噴嘴的位置相對於設置於間壁間之槽內的塗布對象 區域振動。而且’從偏離對塗布對象區域之適當位置的噴 嘴塗布EL材料液時，可能EL材料液就被塗布成超出塗布 對象區域，或所塗布之EL材料液的厚度變成不均勻。結 果’可能發生EL材料層的成膜不良。該不良未限定爲在上 述之噴嘴印刷方式的塗布方式’在斷續地吐出液滴並塗布 之噴墨方式的塗布方式亦一樣。 【發明內容】 本發明具有可提供可對基板上的塗布對象區域良好 S. -4- 201113097 地塗布液體，並可抑制由所塗布的膜所形成之膜發生成膜 不良的塗布裝置及塗布裝置之驅動方法的優點。 用以得到該優點之本發明的塗布裝置，其將液體塗布 於基板的塗布對象區域，該塗布裝置具備： 至少一個的吐出部，係具有吐出液體的噴嘴孔； 被載置該基板的支持座； 移動部，係使該吐出部相對該支持座朝向第1方向移 動； 位移量檢測部，係檢測出在該吐出部利用該移動部相 對該支持座朝向該第1方向移動之間該吐出部往與該第1 方向交叉之第2方向的位移量； 位置調整部，係使該吐出部與該支持座的一方相對另 一方朝向該第2方向相對地移動；及 控制部，係控制該位置調整部，在利用該移動部使該 吐出部相對該支持座朝向該第1方向移動之間，使該吐出 部和該支持座的任一方朝向抵消該位移量的方向移動。 用以得到該優點之本發明之塗布裝置的驅動方法，該 塗布裝置將液體塗布於基板的塗布對象區域，該驅動方法 包含： 載置步驟，係將該基板載置於支持座； 移動步驟，係使具有吐出液體的噴嘴孔之至少一個的 該吐出部相對該支持座朝向第1方向移動； 位移量檢測步驟，係檢測出在利用該移動步驟使該吐 出部相對該支持座朝向該第1方向移動之間該吐出部往與 該第1方向交叉之第2方向的位移量；及 201113097 位移量調整步驟，係在利用該移動步驟使該吐出部相 對該支持座朝向該第1方向移動之間，使該吐出部和該支 持座的任一方相對另一方朝向抵消該位移量的方向相對地 移動。 【實施方式】 以下，使用圖面說明實施本發明的較佳形態。其中’ 在以下所述的實施形態，雖然爲了實施本發明而附加在技 術上較佳的各種限定，但是發明之範圍未限定爲以下的實 施形態及圖示例。 塗布裝置是爲了形成例如是發光面板之有機電激發 螢光顯示面板的有機層（例如電洞注入層、發光層、電子注 入層）、有機電晶體的有機層、液晶顯示器之彩色濾光器的 有機發色層（例如包含有機材料之RGB的發色層、包含有機 材料之黑陣列等）、各種電子裝置之有機導電層（例如包含 有機材料之導電性配線等）、其他的有機層 '或使金屬粒子 等之無機材料分散或溶解之材料的功能層。 此外’在以下之各實施形態，雖然說明將本發明應用 於噴嘴印刷方式之塗布裝置的情況，但是本發明未限定如 此，例如亦可適合應用於斷續地吐出液滴並塗布之噴墨方 式的塗布裝置。 <第1實施形態> [1]塗布裝置之第1實施形態的構成 第1圖係表示本發明之第1實施形態之塗布裝置的示 意圖。 塗布裝置100如第1圖所示’具備以下之元件而 201113097 構成。 a. 貯存液體120的液體槽108。 b. 具有吐出液體120之噴嘴的噴嘴頭（吐出部）106。 c. 從液體槽108配管至噴嘴頭106的供給管107。 d. 經由供給管107向噴嘴頭106送出液體槽108內之 液體120的供給器1 16。 e. 是塗布液體120之對象物的基板121被載置於上面 之作爲支持座的工件工作台101。 f. 使噴嘴頭106相對工件工作台101上的基板121朝 向既定移動方向（第1方向）移動之作爲噴嘴移動部（移動部） 的輸送架1 05。 g. 使工件工作台101朝向與噴嘴頭106的移動方向交 叉之方向（第2方向）移動的移動裝置102。 h. 檢測出伴隨噴嘴頭1〇6朝向第1方向的移動之噴嘴 頭106往第2方向之位移量的位移量檢測部111。 i. 使噴嘴頭106朝向第2方向移動，而調整噴嘴頭106 相對基板121之位置的位置調整部11〇。 j. 控制裝置之各部的控制部119。 在此’將噴嘴頭106的移動方向（第1方向）設爲主掃 描方向。 如第1圖所示，將工件工作台101裝載於移動裝置102 上’並將基板121載置於該工件工作台101上。 移動裝置102係使工件工作台101及被載置於工件工 作台101上的基板121朝向直線方向移動。例如，移動裝 置102具有引導工件工作台ι〇1的軌道、及沿著軌道驅動 201113097 工件工作台1 〇 1的驅動機構。 此移動裝置1 02是由控制部11 9控制。控制部11 9間 歇地驅動移動裝置102，而移動裝置102使工件工作台101 及移動裝置102間歇地移動。即，移動裝置1〇2藉控制部 119的控制’而動作成重複工件工作台101及移動裝置ι〇2 之移動與停止。 將該工件工作台101之移動方向設爲副掃描方向。 在工件工作台101的上方，將作爲引導部的軌道1〇3 設置成被機框104支持。此軌道103係從上看時，.設置成 朝向與工件工作台101之移動方向正交的方向。將輸送架 105裝載於軌道103,並將噴嘴頭106裝載於該輸送架105。 輸送架105及噴嘴頭106設置成沿著軌道103被引導，並 可沿著軌道1 0 3移動。 輸送架105是使噴嘴頭106朝向在與工件工作台101 之上面平行的面內與工件工作台101之移動方向正交的方 向往復移動。例如，在輸送架105，內建馬達等的驅動源， 而輸送架105藉該馬達驅動而沿著軌道103移動。 該輸送架1 05係由控制部1 1 9控制。控制部1 1 9配合 移動裝置102之間歇停止而驅動輸送架105，而輸送架105 在移動裝置102之停止中移動。 在此，說明本實施形態之塗布裝置之塗布動作的槪 要。第2Α、Β圖係表示本發明之第1實施形態的塗布裝置 之塗布動作的槪略的圖。在此，第2Α、Β圖所示之X方向 是該第1方向，Υ方向是第2方向。 塗布裝置如第2Α圖所示，一面自噴嘴頭106的噴嘴 201113097 吐出液體120, 一面利用輸送染105和移動裝置i〇2 頭106相對基板121朝向X方向及Y方向移動，而 120塗布於基板121上。第2A圖表示只具有一個噴嘆 並對每一行塗布之情況的構成。噴嘴頭106的個數 爲一個，亦可具有2個或更多之複數個噴嘴頭1〇6。 況，同時塗布對應於噴嘴頭106之個數的複數行。 第2B圖表示只具有2個噴嘴頭106並同時塗 的情況之塗布動作的槪要。在此情況，將沿著Y方 之2個噴嘴頭106裝載於輸送架105,並構成爲2個 106同時移動。在此情況，除了藉移動裝置102之基 往Y方向的移動量增加至第2A圖所示之情況的2仓 和第2A圖的動作一樣。 在輸送架105被裝載複數個噴嘴頭106的情況 個噴嘴頭1 0 6設置供給管1 0 7、液體槽1 〇 8及質量流 器 109。 此外，在以下，說明噴嘴頭1 〇 6爲一個的情況 第3圖係表示本發明之第1實施形態的塗布裝 嘴頭的剖面圖。 噴嘴頭106以其前端朝下的方式被裝載於 105 ° 如第3圖所示，在該噴嘴頭供給管107 於大致圓筒形之噴嘴頭本體161之上端的注入口 接。底面165設置於噴嘴頭本體161的下端’開口 成於底面165的中央。 積存液體120的空間163形成於噴嘴頭本體1 使噴嘴 將液體 ，頭 106 未限制 在此情 布2行 向排列 噴嘴頭 ;板 121 查以外， ，對各 量控制 〇 置之噴 輸送架 和設置 162連 1 66形 61的內 201113097 部，噴嘴板167設置於該空間163的下部，開口 166 嘴板167封閉。微小的噴嘴孔（噴嘴）1 68形成於是該噴 167的約中央並對應於開口 166的位置。噴嘴孔168的 例如是10〜20 a m。從該噴嘴孔168吐出液體120。 又，用以排除液體中之粒子的過濾器164設置於 頭本體1 6 1內的中間。利用該過濾器1 64將空間1 6 3 成注入口 162側和開口 166側。 位移量檢測部1 11例如是使用壓電元件的力感測 迴轉儀感測器等，是檢測出伴隨噴嘴頭1 06沿著軌道 朝向主掃描方向（例如X軸方向、第1方向）移動之噴 106往與該主掃描方向正交之方向的副掃描方向（例如 方向、第2方向）的位移量。 位移量檢測部1 11例如裝載於噴嘴頭1 06的側面 噴嘴頭106沿著軌道103朝向主掃描方向移動時，根 嘴頭106往與主掃描方向正交的副掃描方向振動時之 頭106的位.移，檢測出噴嘴頭106在副掃描方向的位® 噴嘴頭1 06沿著軌道1 03直線地移動較佳。可是 軌道103有凹凸等之變形的情況，可能因應於該軌道 固有的變形而在輸送架105的移動發生摩擦聲或晃動 位移量檢測部111構成爲因應於該輸送架105之 聲或晃動傳達至噴嘴頭106而噴嘴頭106振動時之噴 106的位移，而檢測出該振動所伴隨之噴嘴頭106的 量。此位移量檢測部1 1 1由控制部1 1 9控制。 噴嘴頭106經由位置調整部110被裝載於輸送架 位置調整部110如第3圖所示，例如具備固定於 被噴 嘴板 直徑 噴嘴 隔開 器、 103 嘴頭 Y軸 ，在 據噴 噴嘴 ，量。 ，在 103 〇 摩擦 嘴頭 位移 105。 輸送

S -10- .201113097 架105的上面部ii〇a、被安裝噴嘴頭1〇6的下面部ll〇c、 及使上面部ll〇a和下面部110c朝向副掃描方向相對移動 的伸縮部1 10b。 位置調整部1 1 0例如是精密線性工作台、壓電工作 台、靜電工作台等，藉由伸縮部11 〇b隨著輸入既定之驅動 信號而朝向與主掃描方向（X軸方向）正交的水平方向（Y軸 方向）伸縮，而使設置於下面部110c的噴嘴頭106朝向與主 掃描方向（X軸方向）正交的副掃描方向（Y軸方向）移動。 而’位置調整部110在噴嘴頭106藉輸送架105朝向主掃 描方向移動時，使噴嘴頭106朝向副掃描方向移動，而調 整噴嘴頭106相對於基板121的位置。 位置調整部1 1 0因應於由位移量檢測部1 1 1所檢測出 之噴嘴頭106的位移量，而使噴嘴頭1〇6朝向抵消噴嘴頭 106相對於基板121之位移量的方向移動。 此位置調整部1 1 0由控制部1 1 9控制。 供給管107.從噴嘴頭106被配管至液體槽108，供給 管107的一端與噴嘴頭106連接，供給管107的另一端與 液體槽1 0 8連接。 作爲供給管1 07，使用由對液體槽1 08內所貯存的液 體1 20具有耐性的材料所構成之管。具體而言，供給管1 〇7 例如是由矽樹脂所構成之管》供給管107的內徑是1〜7mm。 供給管107的內徑亦可從液體槽108至噴嘴頭106是相同， 亦可是不完全相同。例如，供給管1 07的內徑在靠液體槽 108的部分粗（例如約7mm)，而在靠噴嘴頭106的部分細（例 如約1 m m)。 -11 - .201113097 液體1 20貯存於液體槽1 〇8內。液體1 20例如有有機 系的液體 '水性型式的液體、乳化式的液體等。液體120 係因應於塗布裝置100的用途而適當地選擇。 供給器供給器1 1 6設置於此液體槽1 〇 8»此供給器1 1 6 係經由供給管107向噴嘴頭106送出液體槽108內的液體 120,在將送出液體120的壓力保持定値之狀態下向供給管 107壓送液體120更佳。 供給器1 1 6例如是泵，具體而言，是活塞式壓送泵或 氣體式壓送泵。活塞式壓送泵係將可動式活塞收容於注射 器狀的液體槽108內，並利用馬達、氣壓缸或螺管等之驅 動源推入可動式活塞，藉此，向供給管107壓出液體槽108 內的液體1 20。氣體式壓送泵是將氣體（主要爲惰性氣體（例 如氮氣））送入密封的液體槽108內，並將液體槽108內的液 面加壓，而向供給管107壓出液體槽108內的液體120。當 然，亦可將活塞式壓送泵、氣體式壓送泵以外之種類的泵 用於供給器1 1 6。 此供給器1 1 6由控制部11 9控制。控制部1 1 9配合輸 送架105的移動而驅動供給器116,而供給器116在輸送架 105的移動中進行供給動作。 質量流量控制器1 09設置於供給管1 07的中途部。質 量流量控制器1 09測量在供給管1 〇7流動之液體1 20的流 量，或控制在供給管1 07流動之1 20的流量。向控制部11 9 輸出由質量流量控制器1 09所測量的流量。 又，控制部11 9設定利用質量流量控制器1 0 9所設定 之流量値（以下將所設定之流量稱爲設定流量）。質量流量 -12- 201113097 控制器109將在供給管l〇7流動之液體120的流量値進行 定流量控制，使保持成該設定流量。 第4圖係表示在本發明之第1實施形態的塗布裝置之 等待位置之脫泡部之構成的剖面圖。 噴嘴頭106的等待位置設置於是工件工作台101附近 之軌道103的下方，將密閉蓋150作爲脫泡部，設置於此 等待位置。 如第4圖所示，排洩管151的一端安裝於密閉蓋150〇 藉由以密閉蓋150塞住噴嘴頭106的下端，而噴嘴頭106 的噴嘴孔168和排洩管151相通。該排洩管151的另一端 與冷卻捕集器130連接。 冷卻捕集器130具備外容器131、外容器131內的冷 媒133及被收容於外容器131的內側並浸泡於冷媒133的 密閉容器132等。貫穿該密閉容器132的上面，而具備排 洩管151的另一端。又，貫穿密閉容器132的上面，而具 備一端與真空泵（降壓裝置）1 40連接之抽真空管152的另一 端。在密閉容器132內，抽真空管152的端部位於比排洩 管151之端部更高的位置。 而，在噴嘴頭106位於未將液體120塗布於基板121 的等待狀態時，或除去滞留於噴嘴頭106內的氣泡時，利 用輸送架105將噴嘴頭106移至密閉蓋150，以將噴嘴頭 106與密閉蓋150連結。 在該密閉蓋150與噴嘴頭106之下端密接的狀態真空 泵140動作，進行抽真空，藉此，可將液體槽1〇8內的液 體120吸至噴嘴頭106側，或以冷卻捕集器130接受從噴 3 -13- .201113097 嘴頭106所滴下的液體120。又，藉由真空泵140進 空，而可吸出並除去滞留於噴嘴頭106內的氣泡。 其次，說明因應於由位移量檢測部1 1 1所檢測 嘴頭106往副掃描方向的位移量，位置調整部110 頭106移動，藉此，抵消噴嘴頭106相對於基板12 移量。 噴嘴頭106沿著軌道103往主掃描方向直線 佳’並向在基板121之應塗布液體120的塗布對象 與掃描方向正交的寬度方向之大致中央的位置吐 120並塗布較佳。可是，因應於軌道1〇3固有的變形 送架105的移動可能發生摩擦聲或晃動。由於該輸送 的摩擦聲或晃動傳達至噴嘴頭106,而噴嘴頭106振 能發生噴嘴頭106偏向副掃描方向的位移。 在使噴嘴頭106朝向主掃描方向移動並對基板 布液體120時，若發生噴嘴頭1〇6偏向副掃描方向的 可能液體120對基板121之塗布對象區域之寬度方 布量變成不均勻，或噴嘴頭106偏離對應於塗布區 置’而將基板121塗布於偏離塗布對象區域的位置 爲了防止那種問題，而適當地塗布液體120， 消噴嘴頭106相對於基板121的位移量。 第5A、B圖係表示本發明之第丨實施形態的塗 之噴嘴頭及位置調整部的圖。 第ό圖係表示本發明之第1實施形態的塗布裝 置調整部之動作的說明圖。 第7圖係用以說明在本發明之第1實施形態的 行抽真 出之噴 使噴嘴 11的位 移動較 區域之 出液體 ，在輸 架105 動，可 121塗 位移， 向的塗 域的位 〇 需要抵 布裝置 置之位 塗布裝 -14- 201113097 置之位置調整部之動作的圖。 上述的位移量檢測部111將與所檢測出之噴嘴頭丨06 的位移量對應之振動強度變換成電性信號，並向控制部119 輸出表示所檢測出之位移量之大小或方向的位移量信號。 在此’第5A、B圖表示噴嘴頭1〇6之噴嘴板167之從 噴嘴孔1 6 8所看到的狀態，位移量檢測部丨丨丨如第5 A圖所 示’被裝載於噴嘴頭106。位移量檢測部ill在使輸送架 105沿著軌道103朝向X軸方向移動，並使噴嘴頭1〇6朝向 沿著軌道1 03的主掃描方向往復一回時，檢測出因噴嘴頭 106朝向與主掃描方向正交的副掃描方向（γ軸方向）振動而 所產生之振動的振動強度。然後，向控制部1 1 9輸出關於 振動強度的位移量信號。控制部1 1 9將位移量信號的波形 資料記憶於記億體1 1 8 »在位移量信號的値是正的情況，例 如表示噴嘴頭106之行進方向朝右的位移，而在位移量信 號的値是負的情況，例如表示噴嘴頭106之行進方向朝左 的位移。 此外，位移量檢測部11 1如第5B圖所示，亦可被裝 載於輸送架105。 又，位移量檢測部111亦可作成將輸送架105沿著軌 道1 0 3往復複數次所檢測出之位移量的平均値用作位移量。 由該位移量檢測部Π 1所檢測出之振動強度亦表示由 軌道103的凹凸等所引起之軌道1〇3固有的變形。即’因 爲軌道1 〇 3的變形愈大’由位移量檢測部111所檢測出之 振動愈大，所以振動強度及位移量信號與軌道103的變形 具有相關關係。而且，可將與軌道103固有的變形相關之 -15- 201113097 振動強度及與其對應的位移量信號對軌道103的較長方向 賦予對應。 控制部1 1 9因應於由位移量檢測部1 1 1所檢測出並記 憶於記憶體1 1 8之關於振動強度的位移量信號，產生用以 使噴嘴頭106朝向抵消噴嘴頭106相對基板121之位移量 的方向移動之驅動信號。例如，控制部1 1 9產生大小與位 移量信號相同位準而正負相反的驅動信號。在此情況，驅 動信號成爲將位移量信號變換成反相的信號。關於該產生 之驅動信號的波形資料亦記憶於記憶體1 1 8。 控制部119向位置調整部110輸出所產生之驅動信 號，執行使位置調整部110進行動作的處理，以抵消輸送 架105的振動所伴隨之噴嘴頭106的位移量。 具體而言，因應於輸送架105的移動，控制部119輸 出驅動信號，使位置調整部1 10動作，藉此，如第6圖所 示，在因軌道103的變形等而輸送架105向圖中Y軸方向 的上方向振動，而噴嘴頭106向圖中之上方向位移的位置， 藉由位置調整部110進行朝向圖中 Y軸方向的下方向動 作，而抵消輸送架105的振動所伴隨之噴嘴頭1〇6的位移 量。 —樣地’在因軌道103的變形等而輸送架1〇5向圖中 Y軸方向的下方向振動，而噴嘴頭106向圖中之下方向位 移的位置，藉由位置調整部110進行朝向圖中γ軸方向的 上方向動作，而抵消輸送架105的振動所伴隨之噴嘴頭1〇6 的位移量。 然後’控制部119在輸送架1〇5使噴嘴頭106朝向主

S -16- 201113097 掃描方向移動的過程，藉由控制部119根據驅動信號使位 置調整部1 1 0連續動作，而如第7圖所示，可利用位置調 整部110的動作抵消軌道103的變形所伴隨之噴嘴頭1〇6 的位移量，而可使噴嘴頭106相對基板121直線地移動。 在此，控制部1 1 9因應於與由位移量檢測部1 1 1所檢 測出之振動強度對應的位移量信號而產生驅動信號，再根 據該驅動信號抵消輸送架105的振動所伴隨之噴嘴頭1〇6 之位移量的處理，未限定爲利用使位置調整部110動作的 形態。 例如，使移動裝置1 0 2作用爲位置調整部，而可進行 抵消輸送架105的振動所伴隨之噴嘴頭106之位移量的處 理。 在此情況，控制部1 1 9因應於由位移量檢測部111所 所檢測出並記憶於記憶體1 1 8之振動強度對應的位移量信 號’而產生大小與該位移量信號相同的位準且正負相同的 驅動信號。即，該驅動信號是與位移量信號同相的信號。 控制部119向移動裝置102輸出該驅動信號，執行使 移動裝置102動作的處理，以抵消輸送架105的振動所伴 隨之噴嘴頭1 06的位移量。然後，以使工件工作台1 〇 1朝 向與噴嘴頭106之位移量相同的方向（副掃描方向）移動與 噴嘴頭106之位移量相同之大小的方式使移動裝置1〇2動 作。依此方式，因爲藉由使工件工作台Γ01配合噴嘴頭106 的位移量朝向副掃描方向移動，而工件工作台101上的基 板121與噴嘴頭106的位移同步，所以可抵消輸送架105 的振動所伴隨之噴嘴頭106的位移量。

S -17- 201113097 此外，控制部1 1 9因應於位移量信號而產生驅動信 號，並向位置調整部110輸出該驅動信號之功能亦可利用 邏輯電路實現，亦可利用程式實現》 [2]塗布裝置之第1實施形態的動作及塗布方法 以下，說明塗布裝置100的動作及使用該塗布裝置 100的塗布方法等。 第8圖係表示本發明之第1實施形態的塗布裝置之伴 隨噴嘴頭的移動之液體的塗布圖案的說明圖。 首先，在從噴嘴頭106之噴嘴孔168不吐出液體120 之狀態，控制部119使輸送架105動作，使輸送架105與 噴嘴頭106 —起沿著軌道103朝向主掃描方向往復一回。 在噴嘴頭1 06沿著軌道1 03往復一回時，位移量檢測 部111檢測出噴嘴頭106朝向主掃描方向移動所伴隨之噴 嘴頭106之朝向副掃描方向的位移量。 位移量檢測部1 1 1檢測出由軌道1 0 3固有的變形所引 起之噴嘴頭1 06之往副掃描方向的位移量，並向控制部1 1 9 輸出關於所檢測出之噴嘴頭1 06的位移量之振動強度及位 移量信號。 控制部1 1 9將與由位移量檢測部1 1 1所供給之振動強 度及位移量信號對應的波形資料儲存於記憶體1 1 8。 控制部119產生因應於振動強度及位移量信號的驅動 信號，並將關於該驅動信號的波形資料儲存於記億體118。 此外，雖然在上述使輸送架105沿著軌道103朝向主 掃描方向往復一回，但是未限定如此，亦可作成使輸送架 105沿著軌道103朝向主掃描方向往復複數次，而且位移量

S -18- 201113097 檢測部1 1 1將藉往復複數次所檢測出之位移的平均値用作 位移量。 接著’對液體槽108內塡充液體120。 在液體槽108爲更換式的情況，將已塡充液體12〇的 液體槽108組裝於供給管1〇7，再將供給器丨16組裝於液體 槽 108。 此外’在此時間點’供給管107是空的狀態，在供給 管107內未塡充液體120。 接著，控制部119使輸送架105動作，而使噴嘴頭1〇6 移至等待位置。在等待位置，密閉蓋15〇塞住噴嘴頭1〇6 的下端。 然後’控制部1 1 9使真空泵1 40動作，一面使供給管 107及噴嘴頭106內降壓，一面使供給器116動作，藉此， 向供給管107內送出液體槽1〇8內的液體120,並送至噴嘴 頭106內。 進而’控制部1 1 9設定質量流量控制器1 09的設定流 量，並調整從噴嘴頭106所吐出之液體120的量。 接著，將基板121載置於工件工作台101之上。 .此基板1 2 1如第8圖所示，具有交互排列複數個面板 區域R1和邊緣區域R2的形態。面板區域R1是最後從基板 121被剪出而成爲EL面板1的區域，並設置複數個應塗布 液體120的塗布對象區域R3。邊緣區域R2是位於面板區 域R 1之間之亦可不塗布液體1 20的非對象區域。 接著，控制部1 1 9使供給器1 1 6及輸送架1 05動作。 此時，控制部119使向供給管107內送出液體槽108內之 -19- 201113097 液體120的供給器116繼續動作。 控制部119使輸送架105動作，並使噴嘴 送架105 —起朝向主掃描方向移動。 那時，因爲供給器116動作，所以向噴嘴 液體槽108內的液體120’並利用質量流量控制 供給管1 07流動之液體1 20的流量控制成固定庄 因而，在輸送架105的移動中，從噴嘴頭 孔168連續吐出液體120。因而，沿著基板121 布對象區域R 3線狀地塗布從噴嘴頭1 〇 6的噴嘴 出的液體120,而將沿著主掃描方向之線狀的有 成於塗布對象區域R3。 輸送架105移至移動範圍之相反的一端 1 19使輸送架105停止。 接著，控制部1 1 9控制移動裝置1 02，利 1 0 2使工件工作台1 0 1及基板1 2 1朝向副掃描方 定距離。 在此時，亦從噴嘴頭1 0 6的噴嘴孔1 6 8連 1 20。因而，沿著副掃描方向之線狀的有機層圖 板121上。然後，移動裝置102停止。 接著，控制部119使輸送架105動作，使 與輸送架105 —起朝向主掃描方向的反方向移丨 在此時，亦從噴嘴頭106的噴嘴孔168連 120。因而，沿著基板121上之其他的塗布對象 狀地塗布從噴嘴頭106的噴嘴孔168所連續 120,而將沿著主掃描方向之線狀的有機層圖案 頭1 06與輸 頭1 06送出 器1 09將在 ϋ設定流量。 106的噴嘴 上之一個塗 孔168所吐 機層圖案形 時，控制部 用移動裝置 向僅移動既 續吐出液體 案形成於基 噴嘴頭106 肋。 續吐出液體 ί區域R 3線 吐出的液體 形成於塗布 S. -20- 201113097 對象區域R3 » 輸送架105移至移動範圍之相反的一端時，控制部 119使輸送架105停止。 接著，控制部1 1 9控制移動裝置1 02，利用移動裝置 102使工件工作台101及基板121朝向副掃描方向僅移動既 定距離。 在此時，亦從噴嘴頭106的噴嘴孔168連續吐出液體 120。因而，沿著副掃描方向之線狀的有機層圖案形成於塗 布對象區域R3。 以後，控制部1 1 9重複輸送架1 05和移動裝置1 02的 控制 '及供給器1 1 6和質量流量控制器1 0 9的控制。 因而，一面從噴嘴頭106的噴嘴孔168連續吐出液體 120，一面輸送架105重複從移動範圍之一端移至另一端， 同時在輸送架105移至移動範圍之一端時，利用移動裝置 102使工件工作台101及基板121朝向副掃描方向僅移動既 定距離。 結果，如第8圖所示，利用從噴嘴頭1 06所吐出的液 體120將曲折狀的有機層圖案形成於基板121上。 而，控制部119在重複控制輸送架1〇5、移動裝置 102、供給器1 16及質量流量控制器109等，而將液體120 塗布於基板121上時，向位置調整部11〇輸出所預先產生 之驅動信號。 即，在控制部1 19使輸送架105動作，使噴嘴頭106 與輸送架105 —起朝向主掃描方向移動，而將液體12〇塗 布於基板1 2 1時，控制部1 1 9根據驅動信號使位置調整部

S -21 - 201113097 1 1 0動作。 然後，根據驅動信號動作的位置調整部1 1 ο 嘴頭1 06朝向副掃描方向移動的位置，而抵消軌 有的變形所引起之輸送架105的振動所伴隨之噴 之往副掃描方向的位移量。 位置調整部110藉由抵消輸送架105的振動 噴嘴頭106之往副掃描方向的位移量，而抵消噴 相對基板121之位移量。 在依此方式輸送架105使噴嘴頭106朝向主 移動時，藉由位置調整部110動作，抵消噴嘴頭 副掃描方向的位移量，而噴嘴頭106可相對基板 主掃描方向直線地移動。 藉由被抵消往副掃描方向之位移量的噴嘴蓮 板1 2 1朝向主掃描方向相對直線地移動，而對基 直線地塗布從噴嘴頭1 06所吐出的液體1 20，而沿 方向之直線狀的有機層圖案形成於基板121上的 象區域R 3。 又，控制部119掌握一面塗布液體120 —面 噴嘴頭106的現在位置。這構成爲可藉由控制部 基板121的尺寸、輸送架105和移動裝置102之 與移動速度，進行既定的運算處理，而特定噴嘴 對基板1 2 1的位置。或者，構成爲控制部1 1 9可 一樣的運算處理，而預測從該現在位置在經過既 噴嘴頭106所在的位置。 然後，控制部1 1 9在噴嘴頭1 06位於與基板

調整使噴 道103固 嘴頭106 所伴隨之 嘴頭1 0 6 掃描方向 106之往 121朝向 丨106對基 板121上 著主掃描 各塗布對 移動中之 1 1 9根據 移動範圍 頭106相 藉由進行 定時間後 121之邊 S -22- .201113097 緣區域R2對應的位置時之時序，使噴嘴頭i〇6移至等待位 置的密閉蓋150,在液體120無法從噴嘴頭106吐出之前除 去噴嘴頭106內的氣泡，或將液體丨2〇塡充於液體槽108 內。藉由依此方式，構成爲在基板121的面板區域R1液體 120不會中斷。 依此方式，本實施形態的塗布裝置1〇〇在使輸送架 105沿著軌道103移動，使噴嘴頭1〇6朝向主掃描方向移 動，而將液體120塗布於基板121時，使位置調整部110 動作，而可抵消軌道103固有的變形所引起之輸送架105 的振動所伴隨之噴嘴頭106之往副掃描方向的位移量。 塗布裝置1 00使位置調整部1 1 0動作，抵消噴嘴頭1 06 之往副掃描方向的位移量，藉此，可使噴嘴頭1 06相對基 板121朝向主掃描方向直線地移動。 而，塗布裝置100使噴嘴頭106相對基板121朝向主 掃描方向直線地移動，可將從噴嘴頭106所吐出的液體120 適當地塗布於基板121。 具體而言，在基板121 (基板10)，以沿著朝向主掃描 方向延伸之是後述之間壁的疊層（bank)13的方式使噴嘴頭 106朝向主掃描方向直線地移動，而液體120不會在副掃描 方向越過間隔部1 3，或偏離位於間隔部1 3之間的塗布對象 區域R3，可適當地塗布液體120。 <第2實施形態> [3]塗布裝置之第2實施形態的構成 第9圖係表示本發明之第2實施形態之塗布裝置的示 意圖。

S -23- 201113097 第1 0 A圖係用以說明本發明之第2實施形態的塗布裝 置之藉攝影部之間隔部之變形的檢測的圖，第圖係 表示攝影部之設置位置的變形例的圖。 在此’第l〇A~F圖係表示從輸送架1〇5的上方所看到 的主要部分。 本實施形態的塗布裝置1 0 0 A相對於該第1實施形態 的塗布裝置100’在具備可拍攝被載置於工件工作台ι〇1 上之基板121的上面之攝像部112上相異。攝像部112例 如被裝載於輸送架105。 攝像部112具備例如CCD等的攝像元件，一面隨著 輸送架105的移動而與噴嘴頭1〇6同時往主掃描方向移 動’ 一面拍攝基板121的上面。攝像部112沿著主掃描方 向拍攝在基板121之包含被塗布液體120之塗布對象區域 R3(參照第10A圖）的範圍。 攝像部112拍攝在基板121之與被塗布液體12〇之塗 布對象區域R3對應的位置。 又，攝像部112拍攝是朝向主掃描方向延伸的間壁， 並是夾著被塗布液體120之塗布對象區域R3之間壁的間隔 部1 3 (後述）。 例如’攝像部1 1 2以設置於基板1 2 1的指標等爲基 準’拍攝是基板121之特徵點的塗布對象區域R3或間壁（間 隔部13)。向控制部119輸出攝像部ι12所拍攝之基板121 的攝像資料。 該攝像部1 1 2由控制部1 1 9控制。 ^ 位置調整部110不僅根據驅動信號動作，使因應於由

S -24- 201113097 位移量檢測部1 1 1所檢測出之噴嘴頭1 〇 6之往副掃描方向 的位移量，使噴嘴頭106朝向抵消噴嘴頭106相對基板121 之位移量的方向移動，而且以根據由攝像部112所拍攝之 基板121的特徵點，使噴嘴頭106朝向副掃描方向移動而 調整噴嘴頭106之位置的方式動作，使噴嘴頭106位於與 基板121之塗布對象區域R3對應的位置，具體而言，使噴 嘴頭106的噴嘴孔168位於塗布對象區域R3之與掃描方向 正交之寬度方向的約中央位置。 控制部119 —面使輸送架105沿著軌道103移動，並 使攝像部112朝向主掃描方向移動，一面使攝像部112拍 攝基板121之包含塗布對象區域R3的範圍。將攝像部112 所拍攝之基板121的攝像資料與沿著軌道103移動之輸送 架105的位置賦予對應。 控制部1 1 9對由攝像部1 1 2所拍攝之基板1 2 1的攝像 資料施加既定的影像識別處理，抽出是基板1 2 1之特徵點 的間隔部1 3，再抽出沿著該間隔部1 3之側壁的基準線，並 求得間隔部1 3所夾之塗布區域的中心線。 此外，如第1 ΟΑ圖所示，若形成於基板1 2 1 (基板1 0) 的間隔部1 3是完全如設計，則所抽出之基準線在既定位置 朝向主掃描方向直線地延伸。 另一方面，在是未如設計所形成之間隔部1 3 ’而該 間隔部1 3之副掃描方向的寬度一樣粗，或一樣細的情況’ 所抽出之基準線在偏離副掃描方向的位置朝向主掃描方向 直線地延伸。 又，在未如設計所形成而形成變形的形狀之間隔部 -25- 201113097 13的情況，所抽出之基準線偏離副掃描方向並彎曲等不規 則地延伸。 控制部119爲了根據所抽出之間隔部13的基準線， 使噴嘴頭106的位置對準與基板121上之與間隔部13間之 塗布對象區域R3對應的位置，而製作位置調整部110使噴 嘴頭106之位置朝向副掃描方向移動的位置調整量資料。 此位置調整量資料是與在所抽出之間隔部1 3的基準線之 往與主掃描方向正交之副掃描方向偏差或變形對應的資 料，被賦予與沿著軌道103之輸送架105的位置對應。 . 即，用以因應於沿著軌道103移動之噴嘴頭106在主 掃描方向的位置，使噴嘴頭106的位置對準對應於塗布對 象區域R3的位置之往副掃描方向的移動量係根據位置調 整量資料被規定。所製作之位置調整量資料記憶於記憶體 118° 然後，控制部119藉由因應於根據攝像部112之攝像 資料所製作的位置調整量資料使位置調整部1 1 0動作，而 使噴嘴頭106往副掃描方向移動，將該噴嘴頭106配置於 與從間隔部13朝向水平方向距離既定量之塗布對象區域 R3側對應的位置，並將噴嘴頭1〇6的噴嘴孔168配置於與 間隔部1 3間之約中央對應的位置。 依此方式，控制部1 1 9根據位置調整量資料使位置調 整部1 1 0動作，而將噴嘴頭1 06的噴嘴孔1 68配置於與間 隔部1 3間之約中央對應的位置，並將噴嘴頭1 〇6配置於與 間隔部13間之塗布對象區域R3對應的位置，藉此，可將 從朝向主掃描方向移動之噴嘴頭106所吐出的液體液體 -26- 201113097 120在寬度方向均勻地塗布於塗布對象區域R3。 又，控制部119根據位置調整量資料，將噴嘴頭106 配置於與間隔部1 3間的塗布對象區域R3對應之位置的處 理，未限定爲藉由使位置調整部11 〇動作的形態。 例如，使移動裝置102作用爲位置調整部，移動裝置 1 02根據位置調整量資料，使工件工作台1 0 1朝向副掃描方 向移動，進行使被載置於工件工作台101之基板121相對 噴嘴頭106移動的調整，藉此，可進行將噴嘴頭106配置 於與間隔部1 3間的塗布對象區域R3對應之位置的處理。 此外，實際上，控制部1 1 9因應於將因應於驅動信號 之噴嘴頭106的移動量和因應於位置調整量資料之噴嘴頭 1 0 6的移動量加減所得之移動量，使位置調整部1 1 〇移動， 而使噴嘴頭106朝向副掃描方向移動。 即，控制部11 9使噴嘴頭1 06朝向副掃描方向移動， 以同時進行抵消105往主掃描方向移動所伴隨之噴嘴頭 1 〇 6之往副掃描方向的位移量，及因應於形成於基板1 2 i 之間隔部13的形狀而將噴嘴頭106配置於與間隔部13間 之塗布對象區域R3對應的位置。 除了上述事項以外，塗布裝置100A還具備與塗布裝 置1 00 —樣之構成，並一樣地動作。 在該構成，雖然攝像部112被裝載於輸送架105，但 是未限定如此，亦可如第10B圖所示，被裝載於噴嘴頭1〇6。 又，攝像部112亦可如第l〇C、D圖所示，也可設置 於噴嘴頭1〇6之主掃描方向的延長線上。在依此方式的情 況’可和塗布同時求得進行塗布之塗布對象區域R3的中心 3 -27- .201113097 線，因而具有減少控制部1 1 9之記憶體1 1 8之容量的效果。 在此情況，攝像部1 1 2亦可如第1 0C圖所示，被裝載於輸 送架105，亦可如第10D圖所示，被裝載於噴嘴頭1〇6。 又’亦可如第10E、F圖所示，攝像部112設置於是 噴嘴頭106之主掃描方向的延長線上並位於噴嘴頭丨〇6之 移動方向的前後。在此情況，即使在主掃描方向之雙向的 塗布’亦可求得塗布對象區域R 3的中心線。在此情況，攝 像部1 1 2亦可如第1 〇E圖所示，被裝載於輸送架1 〇5，亦可 如第10F圖所示，被裝載於噴嚙頭1〇6。 [4]塗布裝置之第2實施形態的動作 其次，說明本實施形態之塗布裝置1 〇 〇 A的動作。 此外’在此’說明用以因應於形成於基板1 2 1之間隔 部1 3的形狀而將噴嘴頭1 06配置於與間隔部1 3間之塗布 對象區域R3對應的位置之位置調整.部1 1〇的動作。配合用 以因應於間隔部1 3的形狀而調整噴嘴頭1 〇6的位置之位置 調整部110的動作，亦進行用以抵消該輸送架105往主掃 描方向的移動所伴隨之噴嘴頭106之往副掃描方向的位移 量之位置調整部110的動作。在此，因爲用以抵消噴嘴頭 106的位移量之位置調整部11〇的動作係和在該第1實施形 態的動作一樣，所以省略其說明。又，關於除此以外之關 於該第1實施形態的塗布裝置100所說明之動作—樣的動 作，亦省略或簡化其說明。 首先，將基板121載置於工件工作台101上。此時， 將基板1 2 1設定成形成於基板1 2 1的間隔部1 3朝向主掃描 方向（X軸方向）延伸的方向。 -28- 201113097 接著，在從噴嘴頭106的噴嘴孔168不吐出液體120 之狀態，控制部1 19使輸送架105動作’並使輸送架105 與噴嘴頭106及攝像部112 —起沿著軌道103朝向主掃描 方向往復一回。 在攝像部112沿著軌道103往復一回時，攝像部112 在下一步驟拍攝從噴嘴頭106所吐出的液體120被塗布於 基板121的範圍，該範圍相當於基板121的塗布對象區域 R3及間隔部13。 然後，控制部1 1 9根據由攝像部1 1 2所拍攝之攝像資 料，抽出關於間隔部1 3的基準線。 控制部119根據所抽出之基準線，製作使噴嘴頭1〇6 的位置朝向副掃描方向移動的位置調整量資料。該位置調 整量資料被儲存於記憶體1 1 8。 此外，在噴嘴頭1 0 6與攝像部1 1 2 —起沿著軌道1 〇 3 往復一回時，上述的位移量檢測部1 1 1檢測出噴嘴頭1 〇 6 的位移量，並向控制部119輸出關於該位移量的振動強度 及位移量信號。 控制部1 1 9將與由位移量檢測部1 1 1所供給之振動強 度及位移量信號對應的波形資料儲存於記憶體u 8。 又，對液體槽108塡充液體120，並向供給管1〇7內 送出該液體槽108內的液體120，並送給噴嘴頭1〇6。 接著’控制部119使輸送架105動作，而噴嘴頭1〇6 與輸送架105 —起朝向主掃描方向移動。那時，因爲供給 器116動作’所以向噴嘴頭106送出液體槽丨〇8內的液體 120 ’在供給管107流動之液體120的流量由質量流量控制 -29- .201113097 器109控制成固定的設定流量。因而，在輸送架ι〇5的移 動中，從噴嘴頭106的噴嘴孔168連續吐出液體12〇。 然後，所吐出的液體120被線狀地塗布於基板i2l 上，而沿著主掃描方向之線狀的有機層圖案形成於基板121 上。 在此，控制部119在使輸送架105等動作，使噴嘴頭 106朝向主掃描方向移動，而將液體120塗布於基板丨21上 時，執行根據所預先製作的位置調整量資料，使位置調_ 部110動作，使噴嘴頭106往副掃描方向移動，而將噴嘴 頭1 06的噴嘴孔1 68配置於與間隔部1 3間之大致中央對應 之位置的處理。 即，因爲伴隨輸送架105的移動而朝向主掃描方向移 動之噴嘴頭106的位置被配置於與間隔部13間之約中央對 應的位置，所以噴嘴頭1 06移至沿著間隔部1 3間之約中央 的位置，而將從噴嘴頭1 06所吐出的液體1 20適當地在寬 度方向均勻地塗布於間隔部1 3間的塗布對象區域R 3。 又，在一面噴嘴頭106將液體120塗布於間隔部π 間的塗布對象區域R3，一面輸送架105朝向主掃描方向移 動時，攝像部112拍攝與現在正被塗布液體120中之塗布 對象區域R3相鄰的下一塗布對象區域R3及間隔部13。 然後’控制部119構成爲抽出關於下一塗布對象區域 R 3之間隔部1 3的基準線，並根據該基準線製作位置調整 量資料。 即，控制部119構成爲在使輸送架105移動，並將從 噴嘴頭106所吐出的液體120塗布於塗布對象區域R3時，

S -30- 201113097 使攝像部112拍攝今後噴嘴頭i〇6前進之目的地的塗布對 象區域R3及間隔部1 3，並抽出關於間隔部1 3的基準線等’ 在噴嘴頭106到達該拍攝之範圍的塗布對象區域R3並塗布 液體120的情況，進行預先製作用以將噴嘴頭1〇6配置於 對應於該‘塗布對象區域R3之位置之位置調整量資料的動 作。 此外，攝像部112之拍攝範圍未限定爲是現在噴嘴頭 106正塗布液體120中之塗布對象區域R3的下一行之塗布 對象區域R3及間隔部1 3，亦可作成拍攝再往前數行的塗 布對象區域R3及間隔部13。 依此方式，在本實施形態的塗布裝置100 A在使噴嘴 頭106朝向主掃描方向移動並將液體120塗布於基板121 時，因應於由攝像部112所拍攝之間隔部13的位置或形狀 而使位置調整部110動作，調整噴嘴頭106往副掃描方向 的位置，藉此，可使噴嘴頭1 06移至與間隔部1 3間之約中 央對應的位置，並將該噴嘴頭106的噴嘴孔168調整至對 應於塗布對象區域R3的位置。 塗布裝置100A使位置調整部110動作，將噴嘴頭106 調整至與間隔部1 3間之塗布對象區域R 3對應的位置，藉 此，沿著軌道103移動之噴嘴頭106的噴嘴孔168移至沿 著間隔部1 3間之約中央的位置，可將從噴嘴頭1 〇6所吐出 的液體1 20適當地塗布於間隔部1 3間之塗布對象區域R3。 具體而言，在基板1 2 1 (基板1 0)，以沿著朝向主掃描 方向延伸之軌道103的方式使封閉構件16移動，可在寬度 方向均勻適當地塗布液體120，不會偏離位於該間隔部13 5 -31 - 201113097 間的塗布對象區域R3。 如上述所示，在塗布裝置100A， 輸送架 掃描方向移動，一面噴嘴頭106將液體120塗 13間之塗布對象區域R3，一面攝像部112拍攝 範圍未限定爲是今後噴嘴頭丨06將前進之目的 象區域R 3或間隔部1 3。 如第10C、D圖的構成所示，亦可攝像部 噴嘴頭106之主掃描方向的延長線上，攝像部 板121之範圍是現在正被塗布液體12〇中的塗 R 3或間隔部1 3。 在此’如第10C圖所不，攝像部112被裝 1 05 ’並具備可利用位置調整部丨丨〇朝向副掃描 噴嘴頭106時，首先，調整攝像部112之拍攝 從噴嘴頭106所吐出的液體120被塗布於基板 成爲攝像部1 1 2的攝像中心。 控制部1 1 9例如對由攝像部1 1 2所拍攝之 攝像資料施加既定的影像識別處理，抽出是基: 徵點的間隔部1 3，再抽出該間隔部1 3間的中4 然後，控制部1 1 9在使輸送架1 0 5移動並 1〇6所吐出的液體120沿著朝向主掃描方向延 塗布於塗布對象區域R3時，使攝像部H2 對象區域R3之兩側的間隔部1 3，並抽出該間码 中心線。 在控制部11 9所抽出之攝像資料的中心線 的情況，因爲間隔部1 3間之塗布對象區域R 3 105朝向主 布於間隔部 基板121之 地的塗布對 1 12設置於 1 12拍攝基 布對象區域 載於輸送架 方向移動的 範圍，以使 1 2 1的位置 基板1 2 1的 阪1 2 1之特 ,、線。 將從噴嘴頭 伸的間隔部 拍攝該塗布 專部1 3間的 例如向右偏 相對於攝像 -32· 201113097 部1 1 2 (輸送架1 〇 5)向右偏，所以控制部11 9使位置調整部 1 1 〇動作，使噴嘴頭1 〇 6朝向行進方向右側移動相當於中心 線所偏離之量的移動量。一樣地，在控制部11 9所抽出之 攝像資料的中心線例如向左偏的情況，因爲間隔部1 3間之 塗布對象區域R3相對於攝像部1 12(輸送架105)向左偏，所 以控制部1 1 9使位置調整部1 1 0動作，使噴嘴頭1 06朝向 行進方向左側移動相當於中心線所偏離之量的移動量。 即，藉由以攝像部1 1 2拍攝從噴嘴頭1 06正塗布液體 1 20中之塗布對象區域r3或間隔部1 3，而控制部1 1 9瞬間 判斷該塗布對象區域R3或間隔部1 3之往副掃描方向的偏 移’使位置調整部1 1 0動作，而使噴嘴頭1 0 6朝向副掃描 力向移動，噴嘴頭106被調整成位於對應於塗布對象區域 R3的位置。 利用這種攝像部112和位置調整部110的動作，亦將 噴嘴頭1 06調整至與間隔部1 3間之塗布對象區域R3對應 的位置’可使噴嘴頭1 06的噴嘴孔1 68移至沿著間隔部1 3 間之約中央的位置，而可將從噴嘴頭1 06所吐出的液體1 2〇 在寬度方向均勻適當地塗布於間隔部1 3間之塗布對象區 域R3。 又’如第10D圖所示，攝像部Π2被裝載於噴嘴頭 106’並具備可利用位置調整部11〇朝向副掃描方向移動的 噴嘴頭106和攝像部1 12 ’在噴嘴頭1〇6和攝像部1 12利用 位置調整部1 10的動作一體地朝向副掃描方向移動的情 況’例如以攝像部1 1 2的攝像中心對應於噴嘴頭Η)6之位 置的方式組裝於裝置。 201113097 在此情況’控制部1 1 9例如對由攝像部1 1 2所 基板1 2 1的攝像資料施加既定的影像識別處理，抽 板1 2 1之特徵點的間隔部1 3 ’再抽出該間隔部1 3間 線。 然後’藉由控制部1 1 9以在控制部1 1 9所抽出 資料的中心線總是位於攝像視野之中心的方式使位 部110動作’而可將噴嘴頭106總是配置於與間隔g 之約中央側的塗布對象區域R3對應的位置。 即’藉由控制部1 1 9以一面以攝像部1 1 2拍攝 頭106正塗布液體120中之塗布對象區域R3或間隔 一面其攝像中心成爲間隔部1 3間之約中央側之塗 區域R 3的方式使位置調整部1 1 0動作，而將對應於 中心的噴嘴頭106調整至對應於塗布對象區域R3的 利用這種攝像部112和位置調整部110的動作 將噴嘴頭1 06調整至與間隔部1 3間之塗布對象區塌 應的位置，並使噴嘴頭106的噴嘴孔168移至沿著 13間之約中央的位置，而可將從噴嘴頭106所吐出 1 20適當地塗布於間隔部1 3間之塗布對象區域R3。 進而，如第10E、F圖所示，在攝像部112設 噴嘴頭106之主掃描方向的延長線上，且位於噴嘴 之移動方向之前後的情況，可在主掃描方向之雙向 適當地執行和關於該第10C圖或第10D圖所說明的 動作，而可更均勻地將液體120塗布於塗布對象區: [5]EL面板之構成 其次，說明使用上述各實施形態的塗布裝置所

拍攝之 出是基 的中心 之攝像 置調整 13 間 從噴嘴 部13， 布對象 該攝像 1位置。 ，亦可 S R3對 間隔部 的液體 置於是 頭106 的塗布 一樣的 咸R3。 製造之 S •34- 201113097 EL面板1的構成。 此外，EL面板1是對大的基板121切割出已形成複 數個EL面板1(參照第8圖）的各個。 而，在EL面板1的基板1〇是大的基板121所分割而 成之相當於一片EL面板1的小基板。 第11圖係表示在是發光面板之EL面板1之複數個像 素P之配置構成的平面圖。 第12圖係表示EL面板1之示意構成的平面圖。 第1 3圖係表示相當於以主動陣列驅動方式動作之EL 面板1之一個像素之電路的電路圖。 .如第1 1圖、第12圖所示，在EL面板1，將各自發 出R(紅）、G(綠）、B(藍）光的複數個像素P以既定的圖案配 置成陣列狀。 在此EL面板1，複數條掃描線2排列成沿著列方向 彼此大致平行，複數條信號線3排列成在平面圖上與掃描 線2大致正交並沿著行方向彼此大致平行。 又，在相鄰的掃描線2之間沿著掃描線2設置電壓供 給線4。而，由這些與掃描線2相鄰的2條信號線3和各電 壓供給線4所包圍的範圍相當於像素P。 在此，發出R(紅）光的複數個像素P、發出G(綠）光的 複數個像素P、及發出B(藍）光的複數個像素P各自沿著信 號線3的排列方向並列排列，而且沿著掃描線2的排列方 向按照發出R(紅）光的像素P、發出G(綠）光的像素P、及 發出B(藍）光的像素P之順序排列。 又，是朝向沿著信號線3之方向延伸之間壁的間隔部 -35- 201113097 13設置於EL面板1。既定的載子輸送層（後述的電洞注入 層8b、發光層8c)設置於由該間隔部丨3所夾的範圍，成爲 像素P的發光區域。即，該間隔部13對R(紅）、G(綠）、B(藍） 之各色隔開像素P。此外，載子輸送層是藉由被施加電壓 而輸送電洞或電子的層。 如第12圖 '第13圖所示，掃描線2、與掃描線2正 交的信號線3、及沿著掃描線2的電壓供給線4設置於EL 面板1。 在該EL面板1的一個像素p，例如設置是薄膜電晶 體的開關電晶體5、是薄膜電晶體的驅動電晶體6、電容器 7及EL元件8。 在各像素P ’開關電晶體5的閘極與掃描線2連接， 開關電晶體5之汲極與源極中的一方和信號線3連接，開 關電晶體5之汲極與源極中的另一方和電容器7之一方的 電極及驅動電晶體6的閘極‘連接。 驅動電晶體6之源極與汲極中的一方和電壓供給線4 連接，驅動電晶體6之源極與汲極中的另一方和電容器7 之一方的電極及EL元件8的陽極連接。 此外’全部的像素P之EL元件8的陰極被保持於固 定電壓Vcom(例如被接地）。 又’在該EL面板1的周圍’各掃描線2與掃描驅動 器連接。又’各電壓供給線4與輸出固定電壓源或適當電 壓信號的驅動器連接。 又，各信號線3與資料驅動器連接。利用這些驅動器 以主動陣列驅動方式驅動EL面板1。利用固定電壓源或驅

S -36- 201113097 動器向電壓供給線4供給既定之電力。 其次’說明EL面板1和其像素P的電路構造。 第14圖係相當於EL面板1之一個像素p的平面圖。 第15圖係沿著第14圖之XV — XV線之面的箭號方 向剖面圖。 如第14圖所示，開關電晶體5及驅動電晶體6排列 成沿著信號線3。電容器7配置於開關電晶體5的附近。 EL元件8配置於驅動電晶體6的附近。 又’開關電晶體5、驅動電晶體6、電容器7及EL兀 件8配置於掃描線2和電壓供給線4之間。 驅動電晶體6如第15圖所示，是具有閘極6a、半導 體膜6b、通道保護膜6d、雜質半導體膜6f、6g、汲極6h 及源極6i等。 又，開關電晶體5因爲是和以下所詳述之驅動電晶體 6 —樣的薄膜電晶體，並具有閘極5a、半導體膜、通道保 護膜、雜質半導體膜、汲極5h及源極5i等，所以省略其 細節。 如第14圖、第1 5圖所示，成爲閘極絕緣膜之層間絕 緣膜11成膜於基板10上的一面，而層間絕緣膜12成膜於 該層間絕緣膜11之上。 信號線3形成於層間絕緣膜1 1和基板10之間，掃描 線2及電壓供給線4形成於層間絕緣膜1 1和層間絕緣膜12 之間。 閘極6a形成於基板1 0和層間絕緣膜1 1之間。 該閘極6a例如由Cr膜、A1膜、Cr/Al疊層膜、AlTi

S -37- •201113097 合金膜或AlTiNd合金膜所構成。 又’絕緣性的層間絕緣膜11成膜於閘極6 a之上，閘 極6 a被該層間絕緣膜1 1包覆。 層間絕緣膜1 1例如由矽氮化物或矽氧化物所構成。 本質半導體膜6b形成於該層間絕緣膜丨丨上之對應於閘極 6a的位置。半導體膜6b隔著層間絕緣膜η與閘極6a相向。 半導體膜6b例如由非晶形矽或多結晶矽所構成。通 道形成於該半導體膜6b。 又’絕緣性的通道保護膜6d形成於半導體膜6b的中 央部上。此通道保護膜6d例如由矽氮化物或矽氧化物所構 成。 又’雜質半導體膜6f以與通道保護膜6d部分重疊的 方式形成於半導體膜6b的一端部之上。雜質半導體膜6g 以與通道保護膜6d部分重疊的方式形成於半導體膜6b的 另一端部之上。 而且，雜質半導體膜6f' 6g各自形成爲與半導體膜 6b的兩端側彼此分開。此外，雖然雜質半導體膜6f、6g是 η型半導體，但是未限定如此，亦可是p型半導體。 汲極6h形成於雜質半導體膜6f之上。源極6i形成於 雜質半導體膜6g之上。汲極6h、源極6i例如由Cr膜、A1 膜、Cr/Al疊層膜、AlTi合金膜或AlTiNd合金膜所構成。 成爲保護膜之絕緣性的層間絕緣膜1 2成膜於通道保 護膜6d、汲極6h及源極6i之上。通道保護膜6d、汲極6h 及源極6 i被層間絕緣膜1 2包覆。 而，驅動電晶體6被層間絕緣膜1 2覆蓋。層間絕緣 -38- •201113097 膜12例如由厚度爲l〇〇nm〜200nm的氮化矽或氧化矽所構 成。 電容器7接在驅動電晶體6的閘極6a與源極6i之間。 如第15圖所示，電容器7之一方的電極7a形成於基 板10和層間絕緣膜11之間。電容器7之另一方的電極7b 形成於層間絕緣膜1 1和層間絕緣膜1 2之間。而，電極7 a 與電極7b隔著是電介質的層間絕緣膜11相向。藉此，構 成電容器7。 此外，信號線3、電容器7的電極7 a、 開關電晶體 5的閘極5 a及驅動電晶體6的閘極6 a是利用光微影法及蝕 刻法等將整個面成膜於基板1 0的導電膜進行形狀加工而 —起形成。 又，掃描線2、電壓供給線4、電容器7的電極7b、 開關電晶體5的汲極5h、源極5i及驅動電晶體6的汲極 6h、源極6i是利用光微影法及蝕刻法等將整個面成膜於層 間絕緣膜1 1的導電膜進行形狀加工而形成。 又，在層間絕緣膜1 1，接觸洞11 a形成於閘極5 a與 掃描線2重疊的區域。接觸洞lib形成於汲極5h與信號線 3重疊的區域。 接觸洞1 1 c形成於閘極6a與源極5i重疊的區域。接 觸插頭20a~20c各自被埋入那些接觸洞11a〜11c內。 利用接觸插頭20a使開關電晶體5的閘極5a與掃描 線2以電性導通。利用接觸插頭20b使開關電晶體5的汲 極5h與信號線3以電性導通。利用接觸插頭20c使開關電 晶體5的源極51與電容器7的電極7a以電性導通，同時使 -39- ,201113097 開關電晶體5的源極5 i與驅動電晶體6的閘極6 a以電性導 通。亦可不經由這些接觸插頭20a〜20c，掃描線2直接與閛 極5a接觸’汲極5h與信號線3接觸，源極5i與閘極6a 接觸。 又’驅動電晶體6的閘極6a與電容器7的電極7a — 體地連接。驅動電晶體6的汲極6h與電壓供給線4 一體地 連接。驅動電晶體6的源極61與電容器7的電極7b —體 地連接。 像素電極8 a經由層間絕緣膜1 1設置於基板1 〇上， 對各像素P獨地形成像素電極8a。該像素電極8a是透明 電極’例如由錫摻雜氧化銦（IT0) '鋅摻雜氧化銦、氧化銦 (Ιη2〇3)、氧化錫（Sn〇2)、氧化鋅（Ζη0)或鎘—錫氧化物（CT0) 所構成。像素電極8a的一部分與驅動電晶體6的源極6i 重疊，而連接像素電極8a與源極6i。 而’如第14圖、第15圖所示，層間絕緣膜12以覆 蓋掃描線2、信號線3 '電壓供給線4、開關電晶體5 '驅 動電晶體6、像素電極8a的周邊部、電容器7的電極7b 及層間絕緣膜1 1的方式形成。 以各像素電極8a的中央部露出的方式將開口部12a 形成於層間絕緣膜1 2。此層間絕緣膜1 2在平面圖上形成爲 格子狀。 間隔部1 3如第14圖、第15圖所示，設置成朝向沿 著信號線3之方向延伸，同時彼此平行。因而，這些間隔 部1 3形成條紋狀。又，間隔部！ 3經由層間絕緣膜1 2形成 於覆蓋開關電晶體5或驅動電晶體6的位置。 -40- 201113097 該間隔部1 3的側壁1 3 a位於比層間絕緣膜1 2的開口 部12a內側，在相向的側壁13a間露出像素電極8a的中央 側。 而，間隔部1 3在利用濕式法形成後述的電洞注入層 8b或發光層8c時，作用爲使成爲電洞注入層8b或發光層 8 c的材料溶解或分散於溶媒的液狀體不會向相鄰的像素p 滲出的間壁。 EL元件8如第14圖、第15圖所示，具備成爲陽極 之作爲第一電極的像素電極8a、是形成於像素電極8a上之 化合物膜的電洞注入層8b、是形成於電洞注入層8b上之化 合物膜的發光層8c及形成於發光層8c上之作爲第二電極 的相對向電極8d。相對向電極8d是在全部像素P共用的單 —電極，連續地形成於全部像素P。 電洞注入層 8b例如是由係導電性高分子的 PEDOT(poly(ethylenedioxy)thiophene :聚乙嫌二氧基噻吩） 及係慘雜劑的 PSS(polystyrene sulfonate:聚苯乙烧擴酸） 所構成之載子輸送層。電洞注入層8b是從像素電極8a向 發光層8c注入電洞的層。 發光層8c是在各像素P包含發出R(紅）、G(綠）、B (藍） 之任一種光的材料。發光層8c例如是由聚芴系發光材料或 聚苯伸乙燃（polyphenylene vinylene)系發光材料所構成之 載子輸送層。發光層8c是伴隨從相對向電極8d所供給之 電子與從電洞注入層8b所注入之電洞的重新復合而發光 的層。因而’發出R(紅）光的像素p、發出G(綠）光的像素 P、及發出B(藍）光的像素p彼此之發光層8c的發光材料相 -41 - .201113097 異。像素P之R(紅）、G(綠）、B(藍）的圖案是在縱向排列同 色像素的條紋圖案。 相對向電極8d由功函數比像素電極8a更低的材料所 形成。相對向電極8d例如由包含銦、鎂、鈣、鋰、鈀、稀 土類金屬之至少一種的單體或合金所形成。 此相對向電極8d是全部像素P所共用的電極，和發 光層8c等之化合物膜一起包覆間隔部13。 又’電洞注入層8b及發光層8c在相鄰的間隔部1 3 之間朝向沿著間隔部1 3的方向設置成帶狀，同時朝向沿著 間隔部13的方向連續設置。因而，電洞注入層8b及發光 層8 c ’在沿疊層13的方向，各像素p無法被分開。即，電 洞注入層8b及發光層8c共同地設置於在相鄰的間隔部1 3 之間所排列的複數個像素電極8 a。另一方面，電洞注入層 8b及發光層8c在與間隔部1 3正交的方向被間隔部1 3分開》 然後，在層間絕緣膜12的開口部1 2a內之間隔部1 3 的側壁1 3a間，作爲載子輸送層的電洞注入層8b及發光層 8c被層積於像素電極8a上（參照第15圖）。即，若對像素 電極8a與相對向電極8d之間施加電壓，電洞注入層8b及 發光層8c在與像素電極8a重疊的部分作用爲載子輸送 層，在該部分的發光層8c發光。 具體而言，設置於層間絕緣膜1 2之上之間隔部1 3的 側壁13a形成於比層間絕緣膜12的開口部12a內側。 然後，在由開口部1 2a所包圍並被側壁1 3a所夾的像 素電極8a上，塗布含有成爲電洞注入層8b之材料的液狀 體，對各基板10加熱而使該液狀體乾燥並成膜的化合物

S -42- 201113097 膜，成爲是第1載子輸送層的電洞注入層8b。 進而，在由開口部12a所包圍並被側壁13a所夾的電 洞注入層8b上，塗布含有成爲發光層8c之材料的液狀體， 對各基板10加熱而使該液狀體乾燥並成膜的化合物膜，成 爲是第2載子輸送層的發光層8c。 此外，以包覆該發光層8c和間隔部1 3的方式設置相 對向電極8d(參照第15圖）。 然後，在此E L面板1，像素電極8 a、基板10及層間 絕緣膜11是透明，從發光層8c所發出的光透過像素電極 8a、層間絕緣膜11及基板10後射出。因而，基板1〇的背 面成爲顯示面。 此外，亦可不是基板1 0側，而是反側成爲顯示面。 在此情況，作成將相對向電極8d作爲透明電極，將像素電 極8a作爲反射電極，從發光層8c所發出的光透過相對向 電極8d後射出。 此EL面板1如以下所示被驅動而發光。 在對全部的電壓供給線4施加既定位準之電壓的狀 態，利用掃描驅動器對掃描線2依序施加電壓，藉此，依 序選擇這些掃描線2。 在選擇各掃描線2時，若利用資料驅動器對全部的信 號線3施加因應於灰階之位準的電壓，因爲與該選擇之掃 描線2對應的開關電晶體5變成導通，所以對驅動電晶體6 的閘極6a施加因應於該灰階之位準的電壓。 因應於對該驅動電晶體6的閘極6a所施加的電壓， 而決定驅動電晶體6之閘極6a與源極6i之間的電位差， 3 -43- 201113097 並決定在驅動電晶體6之汲極-源極電流的大小，而EL元 件8以因應於該汲極一源極電流的亮度發光》 然後’解除該掃描線2的選擇時，因爲開關電晶體5 變成不導通’所以根據施加於驅動電晶體6之閘極6a之電 壓的電荷被儲存於電容器7，而保持驅動電晶體6的閘極 6a與源極6i間的電位差。 因而，驅動電晶體6使電流値與選擇時相同的汲極一 源極電流繼續流動，以維持EL元件8的亮度。 [6]使用塗布裝置之EL面板的製造方法 其次，說明使用上述之各實施形態的塗布裝置之EL 面板1的製造方法。 [6 - 1]使用塗布裝置之前的製程（主要爲電晶體製程） 第1 6圖係表示在EL面板之間隔部間所露出之像素電 極的剖面圖。 首先，以濺鍍使閘極金屬層堆積於成爲基板10的基 板121上。 然後，利用光微影及蝕刻等產生該閘極金屬層的圖 案。 藉此，從該閘極金屬層形成信號線3、電容器7的電 極7 a、開關電晶體5的閘極5 a及驅動電晶體6的閘極6a。 接著，利用電漿CVD堆積氮化矽等之成爲_極絕緣 膜的層間絕緣膜1 1。 然後，將在用以與位於EL面板1之一邊的掃描驅動 器連接之各掃描線2的外部連接端子（例如掃描線2的端部） 上所開口的接觸洞（未圖示）形成於層間絕緣膜11 ° S- -44- 201113097 接著，連續堆積成爲半導體膜6b (5 b)之非晶形矽等的 半導體層、成爲通道保護膜6d( 5 d)之氮化矽的絕緣層。然 後，利用光微影及蝕刻等產生該絕緣膜的圖案。藉此，從 該絕緣膜形成通道保護膜6d(5d)。 然後，在堆積成爲雜質半導體膜6f、6g(5f、5g)的雜 質層後，利用光微影及蝕刻等連續產生雜質層及半導體層 的圖案。藉此，從該雜質層形成雜質半導體膜6f、6g(5f、 5g)，同時從該半導體層形成半導體膜6b(5b)。 然後，利用光微影及蝕刻形成接觸洞1 1 a ~ 1 1 c。接著， 接觸插頭20a〜20c形成於接觸洞lla~llc內。亦可省略該製 程。 堆積成爲開關電晶體5的汲極5h、源極5i及驅動電 晶體6的汲極6h、源極6i的源極•汲極金屬層，並產生該 源極•汲極金屬層的圖案。藉此，從該源極·汲極金屬層 形成掃描線2、電壓供給線4、電容器7的電極7 b、開關電 晶體5的汲極5 h、源極5 i及驅動電晶體6的汲極6 h、源極 6i ° 依此方式形成開關電晶體5及驅動電晶體6。然後， 堆積ITO膜後，產生該ITO膜的圖案，藉此，從該IT〇膜 形成像素電極8 a。 然後，利用氣相成長法進行絕緣膜的成膜，以覆蓋開 關電晶體5或驅動電晶體6等。然後，利用光微影及蝕刻 等產生該絕緣膜的圖案。 藉此，將複數個開口部1 2 a形成於該絕緣膜，並形成 層間絕緣膜12。開口部12a的形成位置設爲像素電極8a的 -45- 201113097 中央部上，在各開口部12a內露出像素電極8a的中央部。 又，與這些開口部12a同時形成在用以與位於未圖示 之掃描線2的外部連接端子、EL面板1之一邊的資料驅動 器連接之各信號線3的外部連接端子（例如信號線3'的端部） 及電壓供給線4的外部連接端子（例如電壓供給線4的端部） 上開口的複數個接觸洞。 接著，在堆積聚醯亞胺等之感光性樹脂後將該感光性 樹脂曝光，而形成彼此平行之條紋狀的間隔部1 3。 此時，以間隔部1 3的側壁1 3 a位於像素電極8 a上的 方式形成間隔部1 3。在此，間隔部1 3露出在該外部連接端 子開口的接觸洞（未圖示）。 利用以上的製程，如第1 6圖所示，各像素電極8a在 層間絕緣膜12之各個開口部12a內露出。又，在條紋狀之 間隔部1 3間的凹部內複數個像素電極8a露出，同時這些 像素電極8 a沿著間隔部1 3排列。 [6- 2]使用塗布裝置的塗布製程 爲了將成爲載子輸送層的液體塗布於間隔部1 3間的 像素電極8a上，設定例如4台的塗布裝置1 00( 1 00A)。 然後，對第1台之塗布裝置100(100A)的液體槽108 塡充成爲電洞注入層8b之材料的液體120。 對第2台之塗布裝置i〇〇(i〇〇A)的液體槽108塡充成 爲紅色之發光層8c之材料的液體120。 對第3台之塗布裝置i〇〇(i〇〇A)的液體槽108塡充成 爲綠色之發光層8c之材料的液體120。 對第4台之塗布裝置ι〇〇(ι〇〇Α)的液體槽1〇8塡充成 • 46 - .201113097 爲藍色之發光層8c之材料的液體120。 此外，在以下，雖然說明依序使用該4台塗布裝置 100(100A)塗布的情況，但是例如亦可使用1台塗布裝置 1 00(100A)，適當地更換對液體槽108所塡充之液體120後 塗布。 接著，將在前製程形成至間隔部13的基板121載置 於第1台之塗布裝置100(100A)的工件工作台101上。此 時，使間隔部1 3所延伸的方向沿著主掃描方向，並將基板 121載置於工件工作台101上。 然後，利用控制部1 1 9的控制，設置質量流量控制器 1 0 9的設定流量。 接著，利用控制部1 1 9使供給器1 1 6及輸送架1 05動 作’輸送架105從移動範圍之一端朝向主掃描方向移動， 同時從噴嘴頭106的噴嘴孔168連續吐出液體120。 然後’所吐出的液體120被塗布於相鄰的間隔部13 之間。藉此，帶狀的電洞注入層8 b形成於該相鄰的間隔部 1 3之間’並利用電洞注入層8b覆蓋排列於該相鄰的間隔部 1 3之間的像素電極8 a。 輸送架105移至移動範圍之另一端時，利用控制部 119使輸送架1〇5停止。 接著’控制部1 1 9控制移動裝置1 〇2，利用移動裝置 102使工件工作台ι〇1及基板121朝向副掃描方向僅移動— 個像素份量’然後’利用控制部u 9使移動裝置1 〇2停止。 接著’控制部119使輸送架1〇5動作，藉此，輸送架 105朝向反方向移動’同時從噴嘴頭1〇6的噴嘴孔ι68連續 -47- 201113097 吐出液體120，而形成帶狀的電洞注入層8b » 輸送架105移至移動範圍之一端時，利用控制部119 使輸送架105停止。接著，控制部1 1 9控制移動裝置1 02， 利用移動裝置102使工件工作台101及基板121朝向副掃 描方向僅移動一個像素份量，然後，利用控制部1 1 9使移 動裝置102停止。 以後，控制部119重複輸送架105和移動裝置102的 控制、及供給器1 1 6和質量流量控制器1 09的控制。 藉此，重複一面從噴嘴頭106的噴嘴孔168連續吐出 液體120, 一面輸送架105從移動範圍的端部移至端部，同 時在輸送架105移至端部時，利用移動裝置102使工件工 作台101及基板121朝向副掃描方向僅移動既定距離。 結果，以曲折狀的圖案將從噴嘴頭106所吐出的液體 120塗布於基板121上（參照第8圖）。 然後，基板121上之全部的像素電極8a被電洞注入 層8b覆蓋。 接著，在電洞注入層8b之乾燥後，將基板121載置 於第2台之塗布裝置ΙΟΟ(ΙΟΟΑ)的工件工作台1〇1上。 然後，藉由第2台之塗布裝置i〇〇(i〇〇A)進行一樣的 塗布，而將帶狀之紅色的發光層8c形成於電洞注入層8b 上。 在此，工件工作台101及基板121利用移動裝置102 朝向副掃描方向間歇移動，其移動範圍是3個像素份量。 依此方式’在主掃描方向每隔3行形成紅色的發光層 8c ° -48- 3 201113097 接著’將基板121載置於第3台之塗布裝置i〇〇(i〇〇A) 的工件工作台1 0 1上。 然後，藉由第3台之塗布裝置i〇〇(i〇〇A)進行一樣的 塗布，而將帶狀之綠色的發光層8c形成於電洞注入層8b 上。 在此’工件工作台101及基板121利用移動裝置1〇2 朝向副掃描方向間歇移動，其移動範圍是3個像素份量。 依此方式’在主掃描方向每隔3行形成綠色的發光層 8 c ° 接著’將基板121載置於第4台之塗布裝置1 00( 100A) 的工件工作台1 0 1上。 然後’藉由第4台之塗布裝置i〇〇(i〇〇A)進行一樣的 塗布，而將帶狀之藍色的發光層8c形成於電洞注入層8b 上。 在此，工件工作台101及基板121利用移動裝置102 朝向副掃描方向間歇移動，其移動範圍是3個像素份量。 依此方式’在主掃描方向每隔3行形成藍色的發光層 8 c ° 依此方式’發光層8c形成於全部的電洞注入層8b上。 [6 — 3]使用塗布裝置後的製程 接著’將相對向電極8d成膜於已形成發光層8c的基 板121上，再利用相對向電極8d包覆發光層8c及間隔部 13。 然後，將基板121切割成各個基板1〇，而完成el面 板1。 -49- 201113097 如以上所示，使用塗布裝置100(1 ο〇A)所製造之EL面 板1，例如用作各種電子機器的顯示面板。 例如，可將EL面板1應用於第17圖所示之手機200 的顯示面板la、或第18A、B圖所示之數位相機300的顯 示面板lb、或第19圖所示之個人電腦400的顯示面板lc。 此外，本發明的應用未限定爲上述的實施形態，可在 不超出本發明之主旨的範圍適當地變更。 【圖式簡單說明】 第1圖係表示本發明之第1實施形態之塗布裝置的示 意圖。 第2A、B圖係表示本發明之第1實施形態的塗布裝置 之塗布動作的槪略的圖。 第3圖係表示本發明之第1實施形態的塗布裝置之噴 嘴頭的剖面圖。 第4圖係表示在本發明之第1實施形態的塗布裝置之 等待位置之脫泡部之構成的剖面圖。 第5 A、B圖係表示本發明之第1實施形態的塗布裝置 之噴嘴頭及位置調整部的圖。 第6圖係表示本發明之第1實施形態的塗布裝置之位 置調整部之動作的說明圖。 第7圖係用以說明在本發明之第1實施形態的塗布裝 置之位置調整部之動作的圖。 第8圖係表示本發明之第1實施形態的塗布裝置之伴 隨噴嘴頭的移動之液體的塗布圖案的說明圖。 第9圖係表示本發明之第2實施形態之塗布裝置的示 -50- 201113097 意圖。 第10A圖係用以說明本發明之第2實施形態的塗布裝 置之藉攝影部之間隔部之變形的檢測的圖。 第10B~F圖係用以說明本發明之第2實施形態的塗布 裝置之攝影部之設置位置的變形例的调。 第11圖係表示EL面板之像素之配置構成的平面圖。 第12圖係表示EL面板之示意構成的平面圖。 第13圖係表示相當於EL面板之一個像素之電路的電 路圖》 第14圖係表示EL面板之一個像素的平面圖。 第15圖係沿著第14圖之XV — XV線之面的箭號方 向剖面圖8 第16圖係表示在EL面板之間隔部間所露出之像素電 極的剖面圖。 第17圖係表示EL面板應用於顯示面板之手機例的正 視圖.。 第18A、B圖係表示EL面板應用於顯示面板之數位相 機例的正面側立體圖（第18A圖）和後面側立體圖（第18B 圖）。 第19圖係表示EL面板應用於顯示面板之個人電腦例 的立體圖。 【主要元件符號說明】 1 EL面板 la 顯示面板 lb 顯示面板 -51- 201113097 1 c 顯示面板 2 •掃猫線 3 信號線 4 電壓供給線 5 電晶體 5 a 閘極 5h 汲極 5i 源極 6 驅動電晶體 6 a 閛極 6b 半導體膜 6d 通道保護膜 6f, 6g 雜質半導體膜 6i 源極 7 電容器 8 EL元件 8 a 像素電極 8b 電洞注入層 8 c 發光層 10 基板 11, 12 •層間絕緣膜 1 la~l lc 接觸洞 12a 開口部 13 間隔部 20a~20c 接觸插頭

A -52- 201113097 100 塗布裝置 101 工件工作台 102 移動裝置 103 軌道 104 機框 105 輸送架 106 噴嘴頭 107 供給管 108 液體槽 109 質量流量控制器 1 00A 塗布裝置 110 位置調整部 100a 上面部 100b 上面部 100c 下面部 111 位移量檢測部 112 攝像部 116 供給器 118 記憶體 119 控制部 120 液體 121 基板 130 冷卻捕集器 150 密閉蓋 151 排洩管 S- -53- 201113097 152 抽真空管 161 噴嘴頭本體 162 注入口 163 空間 165 底面 166 開口 167 噴嘴板 168 噴嘴孔 200 手機 300 數位相機 4 00 個人電腦 R3 塗布對象區域 100A 第2台之塗布裝置 P 像素 5, -54-

Claims (1)

1. 201113097 七、申請專利範圍： 1.—種塗布裝置，其將液體塗布於基板的塗布對象區域， 該塗布裝置具備： 至少一個的吐出部，係具有吐出液體的噴嘴孔； 被載置該基板的支持座； 移動部，係使該吐出部相對該支持座朝向第1方向移 動； 位移量檢測部，係檢測出在該吐出部利用該移動部相 對該支持座朝向該第1方向移動之間該吐出部往與該第1 方向交叉之第2方向的位移量； 位置調整部，係使該吐出部與該支持座的一方相對另 一方朝向該第2方向相對地移動；及 控制部，係控制該位置調整部，在利用該移動部使該 吐出部相對該支持座朝向該第1方向移動之間，使該吐 出部或該支持座的任一方朝向抵消該位移量的方向移 動。 ， 2 ·如申請專利範圍第1 i之塗布裝置，其中 該基板係在該支持座’被載置成該塗布對象區域之較 長方向成爲該第1方向； 該控制部係在該基板被載置於該支持座，將該吐出部 配置於該塗布對象區域上’ 一面使從該噴嘴孔吐出該液 體’一面利用該移動部使該吐出部沿著該塗布對象區域 朝向該第1方向相對地移動，而將該液體塗布於該塗布 對象區域時，控制該位置調整部，使該吐出部和該支持 座的該一方朝向抵消該位移量的方向移動。 S -55- 201113097 3. 如申請專利範圍第1項之塗布裝置，其中該第2方向係 在與該支持座之被載置該基板之面平行的面內，與該第1 方向正交的方向。 4. 如申請專利範圍第1項之塗布裝置，其中該位移量檢測 部係在藉該移動部使該吐出部朝向該第1方向往復移動 複數次時，檢測出各回該吐出部往該第2方向之位移的 平均値，作爲該位移量。 5. 如申請專利範圍第1項之塗布裝置，其中 該位移量檢測部係檢測出與該吐出部之該位移量對應 的振動強度； 該控制部，係根據該振動強度控制該位置調整部； 使該吐出部相對該支持座，朝向與由該位移量檢測部所 檢測出之該振動強度反相的方向移動與該振動強度相同 的大小； 或， 使該支持座相對於該吐出部，朝向該第2方向中之該檢 測出之該動強度相同的方向移動與該振動強度相同的 大小。 6. 如申請專利範圍第1項之塗布裝置，其中 該移動部係具備沿著該第丨方向所設置之軌道、及沿著 該軌道設置成可朝向該第1方向移動的輸送架； 該吐出部係經由該位置調整部被裝載於該輸送架。 7·如申請專利範圍第6項之塗布裝置，其中該位移量檢測 部檢係被裝載於該吐出部或該輸送架的任一方。 8.如申請專利範圍第6項之塗布裝置，其中 -56- 201113097 具備攝像部，其被裝載於該吐出部或該輸送架的任一 方，並拍攝該基板的該塗布對象區域； 該控制部係根據由該攝像部所拍攝之該塗布對象區域 的影像控制該位置調整部，使該吐出部或該支持座的任 一方移動，以使該吐出部的該噴嘴孔接近該塗布對象區 域之在該第2方向之寬度的中央位置。 9. 如申請專利範圍第8項之塗布裝置，其中該攝像部係在 該吐出部被配置於該塗布對象區域中之一個區域上時， 拍攝該塗布對象區域之其他的未塗布該液體的區域。 10. 如申請專利範圍第8項之塗布裝置，其中 具備移動裝置，其使該支持座相對該吐出部朝向在與 該支持座之被載置該基板之面平行的面內和該第1方向 正交的方向相對地移動； 該基板係具有複數個該塗布對象區域； 該攝像部係在該吐出部被配置於該複數個塗布對象 區域中之一個塗布對象區域上時，拍攝與該塗布對象區 = 域分開之未塗布該液體之其他的塗布對象區域。 11. 如申請專利範圍第8項之塗布裝置，其中該控制部係根 據由該攝像部所拍攝之該塗布對象區域的影像，抽出該 塗布對象區域之沿著該第2方向之一側的邊並朝向該第 1方向延伸的基準線之在該第2方向的變形量，再根據 所抽出之該基準線的該變形量控制該位置調整部，使該 吐出部或該支持座的任一方移動。 12. 如申請專利範圍第11項之塗布裝置’其中該控制部係 抽出該塗布對象區域之沿著該第2方向之兩側的邊之2 -57- 201113097 條基準線，再從該2條基準線抽出該塗布對象區域之沿 著該第2方向之寬度的中央並朝向該第1方向延伸的中 心線’根據所抽出之該中心線控制該位置調整部，使該 吐出部或該支持座的任一方朝向該第2方向移動，以使 該吐出部之該噴嘴孔的位置接近該中央線的位置。 13.—種塗布裝置之驅動方法，該塗布裝置將液體塗布於基 板的塗布對象區域，該驅動方法包含： 載置步驟，係將該基板載置於支持座； 移動步驟，係使具有吐出液體的噴嘴孔之至少一個的 該吐出部相對該支持座朝向第1方向移動； 位移量檢測步驟，係檢測出在利用該移動步驟使該吐 出部相對該支持座朝向該第1方向移動之間該吐出部往 與該第1方向交叉之第2方向的位移量；及 位移量調整步驟，係在利用該移動步驟使該吐出部相 對該支持座朝向該第1方向移動之間，使該吐出部或該 支持座的任一方相對另一方朝向抵消該位移量的方向相 對地移動。 1 4 .如申請專利範圍第1 3項之驅動方法，其中 在該載置步驟’該基板係在該支持座被載置成該塗布 對象區域之較長方向成爲該第1方向； 該第2方向係在與該支持座之被載置該基板之面平行 的面內，與該第1方向正交的方向； 包含： 吐出步驟，係使從該吐出部的該噴嘴孔吐出該液體； 及 S- -58- 201113097 塗布步驟，係將該吐出部配置於該塗布對象區域上， 一面使從該噴嘴孔吐出該液體，一面利用該移動步驟使 該吐出部沿著該塗布對象區域朝向第1方向相對地移 動，而將該液體塗布於該塗布對象區域； 該位移量調整步驟係在該塗布步驟使該吐出部相對 該支持座朝向該第1方向移動之間，使該吐出部或該支 持座的任一方朝向抵消該位移量的方向移動。 15. 如申請專利範圍第13項之驅動方法，其中該位移量檢 測步驟係包含平均位移量檢測步驟，其使該吐出部相對 該支持座朝向該第1方向往復移動複數次，並檢測出各 回該吐出部往該第2方向之位移的平均値，作爲該位移 量。 16. 如申請專利範圍第13項之驅動方法，其中包含： 攝像步驟，係拍攝該基板的該塗布對象區域；及 中央位置調整步驟，係根據利用該攝像步驟所拍攝之 該塗布對象區域的影像，使該吐出部或該支持座的任一 方朝向該第2方向移動，以使該吐出部的該噴嘴孔接近 該塗布對象區域之在該第2方向之寬度的中央位置。 17. 如申請專利範圍第16項之驅動方法，其中該攝像步驟 係在該吐出部被配置於該塗布對象區域中之一個區域上 時，拍攝該塗布對象區域之其他之該吐出部移動的目的 地之未塗布該液體的區域。 18. 如申請專利範圍第16項之驅動方法，其中 該基板係具有複數個該塗布對象區域； 該移動步驟係包含使該支持座相對該吐出部，朝向在 S -59· .201113097 與該支持座之被載置該基板之面平行的面內和該第1方 向正交之方向相對地移動的步驟： 該攝像步驟係在該吐出部被配置於該複數個塗布對 象區域中之一個塗布對象區域上時，拍攝與該，塗布對象 區域分開之該吐出部利用該移動步驟移動的目的地之未 塗布該液體之其他的塗布對象區域。 19. 如申請專利範圍第16項之驅動方法，其中 該中央位置調整步驟係包含： 基準線抽出步驟，係抽出該塗布對象區域之沿著該第 2方向之至少一側的邊並朝向該第1方向延伸之至少一 條的基準線；及 基準線調整步驟，係根據在該抽出之基準線之在該第 2方向的變形量，使該吐出部或該支持座的任一方朝向 該第2方向移動。 20. 如申請專利範圍第19項之驅動方法，其中 該中央位置調整步驟係包含： 中心線抽出步驟，係抽出該塗布對象區域之沿著該第 2方向之兩側的邊之2條該基準線，再從該2條基準線 抽出該塗布對象區域之沿著該第2方向之寬度的中央並 朝向該第1方向延伸的中心線；及 中心線調整步驟，係使該吐出部或該支持座的任一方 朝向該第2方向移動，以使該吐出部之該噴嘴孔的移至 沿著該中央線的位置》 -60-