JP5347805B2

JP5347805B2 - 塗布装置及び塗布方法

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Publication number: JP5347805B2
Application number: JP2009175349A
Authority: JP
Inventors: 悟下田
Original assignee: Casio Computer Co Ltd
Current assignee: Casio Computer Co Ltd
Priority date: 2009-07-28
Filing date: 2009-07-28
Publication date: 2013-11-20
Anticipated expiration: 2029-07-28
Also published as: JP2011025189A

Description

本発明は、塗布装置及び塗布方法に関する。

従来、ＥＬ（Electro Luminescence）パネルに用いられるＥＬ素子の製造プロセスにおけるキャリア輸送層を成膜する工程において、ガラス基板上に設けられた透明電極（陽極）を囲むように形成された隔壁間の溝に、ノズルを通じてＥＬ材料液を流し込んで塗布するノズルプリント方式の技術が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
そして、塗布したＥＬ材料液を乾燥させて成膜したキャリア輸送層の上に対向電極（陰極）を設けることでＥＬ素子が製造され、このＥＬ材料液が塗布された塗布領域がＥＬパネルの発光領域となる。

特開２００２−７５６４０号公報

しかしながら、上記特許文献１の場合、ＥＬパネルの製造装置において、液体であるＥＬ材料液の塗布が連続して行われる過程で、ポンプによって送液された液体中の気泡が集まるなどして送液経路に滞留してしまうことがある。
そして、ノズルを有するノズルヘッド内に許容量を超える気泡が滞留してしまうことにより、そのノズルから液体の吐出が困難になることがある問題があった。

そこで、本発明の課題は、液体の塗布を良好に行うことである。

以上の課題を解決するため、本発明の一の態様は、対象物に液体を塗布する塗布装置であって、
前記対象物は、液体を塗布すべき塗布対象領域と前記液体を塗布しなくてもよい間隙領域とが交互に複数配設された形体を有し、
前記塗布装置は、
前記液体が貯留された液体貯留部と、
前記液体を吐出するノズルを有する吐出部と、
前記液体貯留部から前記吐出部にまで配管された供給管と、
前記対象物に対して前記吐出部を相対的に移動させるノズル移動部と、
前記吐出部内で前記液体が溜まる空間の光透過率を検出する透過率検出部と
前記ノズル移動部及び前記透過率検出部を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記ノズル移動部が前記吐出部を前記各塗布対象領域と前記各間隙領域とに対して相対的に連続して移動させながら、前記吐出部が前記ノズルから前記液体を吐出して、前記液体を前記対象物に塗布している間に、前記透過率検出部が検出した前記光透過率が許容値を超えているか否かを判断し、前記透過率が前記許容値を超えていると判断した場合に、前記透過率の時間に対する増加率に基づいて、前記光透過率が、前記ノズルから前記液体が吐出不能となる状態に相当する前記光透過率の閾値となると予測される第１のタイミングを予測し、該第１のタイミングにおける前記吐出部の位置を、前記ノズル移動部による前記吐出部の前記対象物に対する移動速度及び移動範囲に基づいて、特定の位置として算出し、前記特定の位置が前記間隙領域に対応する位置である場合、前記第１のタイミングにおいて、前記ノズル移動部によって前記吐出部を待機位置に移動させて、前記吐出部内に滞留する気泡を除去する処理を実行し、前記特定の位置が前記塗布対象領域に対応する位置である場合、前記第１のタイミングより前の、前記吐出部の位置が前記間隙領域に対応する位置となる第２のタイミングにおいて、前記ノズル移動部によって前記吐出部を待機位置に移動させて、前記気泡を除去する処理を実行することを特徴としている。
また、好ましくは、前記待機位置には、前記吐出部内の気泡を吸引して除去する脱泡部が備えられている。
また、好ましくは、前記透過率検出部は、
前記吐出部内の空間に向けて所定の光を出射する投光器と、前記空間を通過した光を検知する受光器とからなる。
また、好ましくは、前記吐出部は、前記ノズルから前記液体を連続的に吐出して、前記液体を前記対象物に塗布する。

また、本発明の他の態様は、塗布方法であって、
液体が貯留された液体貯留部から供給管を介して前記液体が供給され、前記液体を吐出するノズルを有する吐出部を、前記液体を塗布すべき塗布対象領域と前記液体を塗布しなくてもよい間隙領域とが交互に複数配設された対象物に対して相対的に移動させながら、前記吐出部の前記ノズルから前記液体を吐出して、前記対象物に前記液体を塗布し、
前記吐出部を前記対象物の前記各塗布対象領域と前記各間隙領域とに対して相対的に連続して移動させながら前記液体の塗布を行っている間に、前記吐出部内で前記液体が溜まる空間の光透過率を検出して、前記光透過率が許容値を超えているか否かを判断し、
前記光透過率が許容値を超えていると判断したときに、前記透過率の時間に対する増加率に基づいて、前記光透過率が、前記ノズルから前記液体が吐出不能となる状態に相当する前記光透過率の閾値となると予測される第１のタイミングを予測し、
前記第１のタイミングにおける前記吐出部の位置を、前記吐出部の前記対象物に対する移動速度及び移動範囲に基づいて、特定の位置として算出し、
前記特定の位置が前記間隙領域に対応する位置であるとき、前記第１のタイミングにおいて、前記吐出部を待機位置に移動させて、前記吐出部内に滞留する気泡を除去する脱泡処理を実行し、
前記特定の位置が前記塗布対象領域に対応する位置であるとき、前記第１のタイミングより前の、前記吐出部の位置が前記間隙領域に対応する位置となる第２のタイミングにおいて、前記吐出部を待機位置に移動させて、前記脱泡処理を実行することを特徴としている。

本発明によれば、液体の塗布を良好に行うことができる。

塗布装置を示す概略面である。ノズルヘッドを示す断面図である。待機位置の密閉キャップ等の脱泡部を示す断面図である。ノズルヘッド内に滞留する気泡の一例を示す説明図である。ノズルヘッド内に滞留する気泡の一例を示す説明図である。時間と光透過率の一例を示すグラフである。塗布装置のノズルヘッドの移動に伴う液体の塗布パターンを示す説明図である。ノズルヘッドの変形例を示す断面図である。ＥＬパネルの画素の配置構成を示す平面図である。ＥＬパネルの概略構成を示す平面図である。ＥＬパネルの１画素に相当する回路を示した回路図である。ＥＬパネルの１画素を示した平面図である。図１２のXIII−XIII線に沿った面の矢視断面図である。ＥＬパネルのバンク間に露出する画素電極を示す断面図である。表示パネルにＥＬパネルが適用された携帯電話機の一例を示す正面図である。表示パネルにＥＬパネルが適用されたデジタルカメラの一例を示す正面側斜視図（ａ）と、後面側斜視図（ｂ）である。表示パネルにＥＬパネルが適用されたパーソナルコンピュータの一例を示す斜視図である。

以下に、本発明を実施するための好ましい形態について図面を用いて説明する。但し、以下に述べる実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されているが、発明の範囲を以下の実施形態及び図示例に限定するものではない。

〔１〕塗布装置の構成
塗布装置は、例えば、発光パネルである有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルの有機層（例えば、正孔注入層、発光層、電子注入層）、有機トランジスタの有機層、液晶ディスプレイのカラーフィルタの有機発色層（例えば、有機材料を含むＲＧＢの発色層、有機材料を含むブラックマトリックス）、各種電子デバイスの有機導電層（例えば、有機材料を含む導電性配線）、その他の有機層、あるいは溶液中に金属微粒子等の無機材料を分散、または溶解させた材料を含む機能層を形成するために用いられるものである。

塗布装置１００は、図１に示すように、液体１２０が貯留される液体貯留部としての液体タンク１０８と、液体１２０を吐出するノズル１６８を有する吐出部であるノズルヘッド１０６と、液体タンク１０８からノズルヘッド１０６にまで配管された供給管１０７と、液体タンク１０８内の液体１２０を供給管１０７を通じてノズルヘッド１０６に送り出す供給器１１６と、液体１２０を塗布する対象物（基板１２１）に対してノズルヘッド１０６を相対的に移動させるノズル移動部としてのキャリッジ１０５および移動装置１０２と、ノズルヘッド１０６内で液体１２０が溜まる空間の光透過率を検出する透過率検出部である光センサ部６０と、装置の各部を制御する制御部１１９等を備えている。

図１に示すように、移動装置１０２上にワークテーブル１０１が搭載されており、そのワークテーブル１０１上に対象物としての基板１２１が載置される。
移動装置１０２は、ワークテーブル１０１及びそれに載置された基板１２１を直線方向に移動させるものである。例えば、移動装置１０２は、ワークテーブル１０１を案内するレールと、レールに沿ってワークテーブル１０１を駆動する駆動機構とを有する。
この移動装置１０２は、制御部１１９によって制御される。制御部１１９が移動装置１０２を間欠的に駆動し、移動装置１０２がワークテーブル１０１及び基板１２１を間欠的に移動させる。つまり、移動装置１０２は、制御部１１９の制御によって、ワークテーブル１０１及び基板１２１の移動及び停止を繰り返すように動作する。
このワークテーブル１０１の移動方向を副走査方向とする。

ワークテーブル１０１の上方には、案内部としてのレール１０３が機枠１０４に支持されて設けられている。このレール１０３は、上から見て、ワークテーブル１０１の移動方向に対して直交する向きに設けられている。レール１０３には、キャリッジ１０５が搭載されており、そのキャリッジ１０５にノズルヘッド１０６が搭載されている。キャリッジ１０５及びノズルヘッド１０６は、レール１０３に沿って案内され、レール１０３に沿って移動可能に設けられている。
キャリッジ１０５は、ワークテーブル１０１の移動方向と直交する方向にノズルヘッド１０６を直線状に往復移動させるものである。例えば、キャリッジ１０５には、モータ等の駆動源が内蔵されており、キャリッジ１０５はそのモータ駆動によりレール１０３に沿って移動する。
このキャリッジ１０５は、制御部１１９によって制御される。制御部１１９が移動装置１０２の間欠的な停止に合わせてキャリッジ１０５を駆動し、移動装置１０２の停止中にキャリッジ１０５が移動する。
このキャリッジ１０５の移動方向を主走査方向とする。

ノズルヘッド１０６は、その先端が下に向くようにしてキャリッジ１０５に搭載されている。
図２に示すように、このノズルヘッド１０６においては、略円筒状のノズルヘッド本体部１６１の上端に設けられた注入口１６２に供給管１０７が接続されている。ノズルヘッド本体部１６１の下端に底面１６５が設けられ、底面１６５の中央に開口１６６が形成されている。
ノズルヘッド本体部１６１の内部には、液体１２０が溜まる空間１６３が形成されており、その空間１６３の下部にノズルプレート１６７が配設され、開口１６６がノズルプレート１６７によって閉塞されている。そのノズルプレート１６７の中央であって開口１６６に対応する位置に微小なノズル孔（ノズル）１６８が形成されている。ノズル孔１６８の径は、１０〜２０μｍである。このノズル孔１６８から液体１２０が吐出される。
ノズルヘッド本体部１６１の空間１６３の上部には、液体中のパーティクルを除くためのフィルタ１６４が配設されている。

また、ノズルヘッド本体部１６１の側面には、ノズルヘッド１０６内の空間１６３の中心部分を挟んで対向する箇所に、光透過性を有する一対の透明窓６０ａ、６０ｂが設けられている。透明窓６０ａ、６０ｂとしては、液体１２０に対して耐性のある材料である、例えば、ガラス板を用いる。なお、透明窓６０ａ、６０ｂにＵＶカットフィルムを設けて、ＵＶ光による液体１２０の劣化を防ぐことが望ましい。
一方の透明窓６０ａの外側に所定の光を空間１６３に向けて出射する投光器６１が備えられ、他方の透明窓６０ｂの外側に空間１６３を通過した光を検知する受光器６２が備えられている。この投光器６１と受光器６２により光センサ部６０が構成される。
光センサ部６０は、受光器６２が検知した光の強度に対応する光透過率を検出し、検出した光透過率の値に基づき、ノズルヘッド１０６内の液体１２０を検出したり、その液体１２０に含まれる気泡の検出又は気泡の定量を行ったりする。光センサ部６０は、制御部１１９によって制御される。
この光センサ部６０による液体１２０や液体１２０中の気泡の検出については後述する。

投光器６１には、白熱灯、蛍光灯、ハロゲンランプ、タングステンランプ、半導体レーザ、ＬＥＤ、有機ＥＬ等を用いることができる。また、投光器６１からの光を光ファイバーや光導波路等により導光して透明窓６０ａから入射させるようにしてもよい。また、投光器６１からの光を常時ヘッド１０６内に入射させる必要はなく、シャッタ等により間欠的に入射させるようにしてもよい。
受光器６２には、光電子増倍管、フォトダイオード、光トランジスタ等を用いることができる。また、空間１６３を通過した光を光ファイバーや光導波路等により導光して受光器６２に入射させるようにしてもよい。また、受光器６２は、投光器６１自体の照度変化をモニタして透過光を検知することが望ましい。
なお、光センサ部６０における投光器６１が出力する光の波長は、液体１２０の吸収域に応じて選択することが好ましいが、汎用性のある白色光であってよい。
また、投光器６１及び受光器６２がノズルヘッド１０６の外に設けられているが、ノズルヘッド１０６内に設けられていてもよい。また、透明窓６０ａ、６０ｂがノズルヘッド１０６に設けられる代わりに、相対する２つの挿入口がノズルヘッド１０６の側面に設けられ、一方の挿入口に投光器６１が嵌め込まれ、他方の挿入口に受光器６２が嵌め込まれていてもよい。また、透明窓がノズルヘッド１０６の全周にわたって設けられていてもよい。また、光センサ部６０は、透過型センサを有して構成されるものに限らず、反射型センサを有して構成されるものであってもよい。つまり、受光器６２が投光器６１から投光されて液体１２０を透過した光を受光するのではなく、投光器６１から投光されてノズルヘッド１０６内の液体１２０で反射した反射光を受光器６２が受光するものとしてもよい。

供給管１０７は、ノズルヘッド１０６から液体タンク１０８にかけて配管されており、供給管１０７の一端がノズルヘッド１０６に接続され、供給管１０７の他端が液体タンク１０８に接続されている。
供給管１０７としては、液体タンク１０８内に貯留された液体１２０に対して耐性のある材料からなるチューブを用いる。具体的には、供給管１０７は、シリコーン樹脂からなるチューブである。供給管１０７の内径は１〜７ｍｍである。供給管１０７の内径は、液体タンク１０８からノズルヘッド１０６にかけて一様であってもよいし、不均一であってもよい。例えば、供給管１０７の内径は、液体タンク１０８寄りの部分で大きく、ノズルヘッド１０６寄りの部分で小さい。

液体タンク１０８内には、液体１２０が貯留されている。液体１２０は、例えば、有機系の液体、水性タイプの液体、エマルジョンタイプの液体などがある。液体１２０は、塗布装置１００の用途に応じて適宜選択される。
この液体タンク１０８には、供給器１１６が設けられている。この供給器１１６は、液体タンク１０８内の液体１２０を、供給管１０７を通じてノズルヘッド１０６に送り出すものである。より好ましくは、供給器１１６は、送り出す液体１２０の圧力を一定に保った状態で液体１２０を供給管１０７に圧送するものである。
供給器１１６は、例えば、ポンプであり、具体的には、ピストン式圧送ポンプ又はガス式圧送ポンプである。ピストン式圧送ポンプとは、シリンジ状の液体タンク１０８内に可動式ピストンが収容され、可動式ピストンがモータ、エアシリンダ又はソレノイド等の駆動源によって押し込まれることで、液体タンク１０８内の液体１２０を供給管１０７に押し出すものである。ガス式圧送ポンプとは、密閉された液体タンク１０８内にガス（主に不活性ガス（例えば、窒素ガス））を送り込んで液体タンク１０８内の液面を加圧して、液体タンク１０８内の液体１２０を供給管１０７に押し出すものである。勿論、ピストン式圧送ポンプ、ガス式圧送ポンプ以外の種類のポンプを供給器１１６に用いてもよい。
この供給器１１６は、制御部１１９によって制御される。制御部１１９がキャリッジ１０５の移動に合わせて供給器１１６を駆動し、供給器１１６がキャリッジ１０５の移動中に供給動作をする。

供給管１０７の中途部には、マスフローコントローラ１０９が設けられている。マスフローコントローラ１０９は、供給管１０７を流れる液体１２０の流量を計測したり、供給管１０７を流れる液体１２０の流量を制御したりする。マスフローコントローラ１０９によって計測された流量は、制御部１１９に出力される。
また、制御部１１９は、マスフローコントローラ１０９による流量を設定する（以下、設定された流量を設定流量という。）。マスフローコントローラ１０９が、供給管１０７を流れる液体１２０の流量をその設定流量に維持するよう定流量制御をする。

ワークテーブル１０１の近傍であって、レール１０３の下方であるノズルヘッド１０６の待機位置に、脱泡部としての密閉キャップ１５０が配設されている。
図３に示すように、脱泡部は、密閉キャップ１５０と、ドレイン管１５１と、冷却トラップ１３０と、吸引管１５２と、減圧装置であるバキュームポンプ１４０と、からなり、密閉キャップ１５０にはドレイン管１５１の一端が取り付けられている。密閉キャップ１５０でノズルヘッド１０６の下端を塞ぐことによって、ノズルヘッド１０６のノズル孔１６８がドレイン管１５１に通じる。そのドレイン管１５１の他端が冷却トラップ１３０に接続されている。
冷却トラップ１３０は、外容器１３１と、外容器１３１内の冷媒１３３と、外容器１３１の内側に収容されて冷媒１３３に浸けられた密閉容器１３２等を備えている。この密閉容器１３２の上面を貫通して、ドレイン管１５１の他端が備えられている。また、バキュームポンプ１４０に一端が接続された吸引管１５２の他端が密閉容器１３２の上面を貫通して備えられている。密閉容器１３２内において、吸引管１５２の端部がドレイン管１５１の端部よりも高い位置にある。
そして、ノズルヘッド１０６が基板１２１に液体１２０を塗布しない待機状態にあるときや、ノズルヘッド１０６内に滞留する気泡を除去する際に、ノズルヘッド１０６が密閉キャップ１５０と連結するように、キャリッジ１０５によってノズルヘッド１０６が密閉キャップ１５０に移動される。
この密閉キャップ１５０とノズルヘッド１０６の下端が密着した状態でバキュームポンプ１４０が作動して吸引を行うことにより、液体タンク１０８内の液体１２０をノズルヘッド１０６側に引き寄せたり、ノズルヘッド１０６から垂れ流される液体１２０を冷却トラップ１３０で受けたりすることができる。また、バキュームポンプ１４０が吸引を行うことにより、ノズルヘッド１０６内に滞留する気泡を吸い出して除去することができる。

次に、光センサ部６０による液体１２０の検出であり、液体１２０中の気泡の検出について説明する。

前述した光センサ部６０の受光器６２は、受光した光の強度を電気信号に光電変換し、受光した光の強度を表す受光強度信号を制御部１１９に出力する。受光器６２によって検出された受光強度は、ノズルヘッド１０６内の液体１２０の光透過率も表す。つまり、ノズルヘッド１０６内の液体１２０の光透過率が増加するにつれて、受光器６２によって検出される受光強度も高くなるから、受光強度と光透過率は相関関係を持つ。これにより受光強度のみならず、ノズルヘッド１０６内の液体１２０の光透過率も受光器６２によって定量化される。

また、受光器６２によって検出された受光強度は、ノズルヘッド１０６内の液体１２０に含まれる気泡の状態を定量化したものである。つまり、ノズルヘッド１０６中の液体１２０に気泡が存在しなければ、受光器６２によって検出される受光強度はほぼ一定（例えば、４０％；初期値）である（図６のグラフの線ｃ参照）。
これに対し、図４に示すように、液体１２０内に細かい気泡が発生すれば、光が液体１２０と気泡の界面で乱反射する。そのため、液体１２０内に発生する細かい気泡が増えるにつれて、受光器６２によって検出される受光強度（光透過率）が低下する。これによって液体１２０内の気泡の数が定量化される。例えば、図６に示すグラフの線ａのように、液体１２０内の気泡の数が時間の経過とともに増えると、受光強度が時間の経過とともに低下する。
また、図５に示すように、液体１２０内に発生した気泡同士が結合するなどして大きな気泡が発生すれば、光が気泡の空洞部分を通過する。そのため、気泡サイズが大きくなるにつれて、受光器６２によって検出される受光強度（光透過率）が増加する。これによって液体１２０内の気泡のサイズが定量化される。例えば、図６に示すグラフの線ｂのように、液体１２０内の気泡のサイズが時間の経過とともに大きくなれば、受光強度が時間の経過とともに増加する。

制御部１１９は、第１コンパレータとしての機能を有し、受光器６２から入力された受光強度信号のレベルに基づく光透過率を図６に示す所定の第１許容値と比較する。第１許容値は、例えば、６０％であって、ノズルヘッド１０６内に存する液体１２０に発生した気泡のサイズが所定サイズ以上である否かを仕切る値である。従って、制御部１１９は、比較の結果、受光器６２から入力した受光強度信号のレベルに基づく光透過率が第１許容値を超え、第１許容値以上であると判断したら、ノズルヘッド１０６内に存する液体１２０に発生した気泡のサイズが所定サイズ以上であると判定する。一方、制御部１１９は、比較の結果、受光器６２から入力した受光強度信号のレベルに基づく光透過率が第１許容値未満であると判断したら、ノズルヘッド１０６内に存する液体１２０に発生した気泡のサイズが所定サイズ未満であると判定する。ここでの所定サイズとは、液体１２０の流れを阻害しない程度のものである。ノズルヘッド１０６内の液体１２０に含まれる気泡のサイズが所定サイズよりも更に大きなサイズになって、図６に示す第１閾値に相当する大きさの気泡となると、液体１２０の流れが阻害される。

そして、制御部１１９は、光センサ部６０が検出した受光強度信号レベルに基づく光透過率が第１許容値を超えたと判断した場合に、制御部１１９は、ノズル移動部のキャリッジ１０５によってノズルヘッド１０６を待機位置の密閉キャップ９に移動させ、ノズルヘッド１０６内に滞留する気泡を除去する処理を実行する。
特に、制御部１１９は、光センサ部６０が検出する光透過率に基づき、光透過率が第１許容値（６０％）を超えた後、ノズルヘッド１０６から液体１２０が吐出不能となるタイミングに相当する光透過率の第１閾値（例えば、８０％）となるまでの間に、ノズルヘッド１０６を待機位置に移動させて、ノズルヘッド１０６内に滞留する気泡を除去する処理を実行する。具体的に、制御部１１９は、光センサ部６０が検出する光透過率が第１閾値（８０％）となるタイミングＴまでの時間を予測し、そのタイミングまでに制御部１１９がキャリッジ１０５を作動させ、ノズルヘッド１０６を待機位置に移動させてノズルヘッド１０６内に滞留する気泡を除去する処理を実行する。
なお、光センサ部６０が検出する光透過率が第１閾値（８０％）となるタイミングＴまでにノズルヘッド１０６を待機位置に移動させてノズルヘッド１０６内に滞留する気泡を除去する具体的な処理動作は後述する。

また、制御部１１９は、第２コンパレータとしての機能を有し、受光器６２から入力された受光強度信号のレベルに基づく光透過率を図６に示す所定の第２許容値と比較する。第２許容値は、例えば、３０％であって、ノズルヘッド１０６内に存する液体１２０に発生した気泡の数が所定数未満である否かを仕切る値である。この第２許容値は、第１許容値よりも低い。従って、制御部１１９は、比較の結果、受光器６２から入力した受光強度信号のレベルに基づく光透過率が第２許容値に達しておらず第２許容値より大きいと判断したら、ノズルヘッド１０６内に存する液体１２０に発生した気泡の数が所定数未満であると判定する。一方、制御部１１９は、比較の結果、受光器６２から入力した受光強度信号のレベルに基づく光透過率が第２許容値を超え、第２許容値以下であると判断したら、ノズルヘッド１０６内に存する液体１２０に発生した気泡の数が所定数以上であると判定する。ここでの所定数とは、液体１２０の流れを阻害しない程度のものである。ノズルヘッド１０６内の液体１２０に含まれる気泡の数が所定数よりも更に多くなって、図６に示す第２閾値に相当する多数の気泡が生じると、液体１２０の流れが阻害される。

そして、制御部１１９は、光センサ部６０が検出した受光強度信号レベルに基づく光透過率が第２許容値を超えたと判断した場合に、制御部１１９は、ノズル移動部のキャリッジ１０５によってノズルヘッド１０６を待機位置の密閉キャップ９に移動させ、ノズルヘッド１０６内に滞留する気泡を除去する処理を実行する。
特に、制御部１１９は、光センサ部６０が検出する光透過率に基づき、光透過率が第２許容値（３０％）を超えて、ノズルヘッド１０６から液体１２０が吐出不能となるタイミングに相当する光透過率の第２閾値（例えば、２０％）となるまでの間に、ノズルヘッド１０６を待機位置に移動させて、ノズルヘッド１０６内に滞留する気泡を除去する処理を実行する。具体的に、制御部１１９は、光センサ部６０が検出する光透過率が第２閾値（２０％）となるタイミングＴまでの時間を予測し、そのタイミングまでに制御部１１９がキャリッジ１０５を作動させ、ノズルヘッド１０６を待機位置に移動させてノズルヘッド１０６内に滞留する気泡を除去する処理を実行する。
なお、光センサ部６０が検出する光透過率が第２閾値（２０％）となるタイミングＴまでにノズルヘッド１０６を待機位置に移動させてノズルヘッド１０６内に滞留する気泡を除去する具体的な処理動作は後述する。

制御部１１９の第１コンパレータ、第２コンパレータとしての機能は、論理回路により実現してもよいし、プログラムの実行によって実現してもよい。
また、光センサ部６０が検出する光透過率は、液体１２０の色相や濃度、またノズルヘッド１０６内の空間１６３の容量により異なることは勿論であるので、上記した初期値、許容値、閾値は一例である。初期値、許容値、閾値は、液体１２０毎やノズルヘッド１０６毎に異なるものであるので、塗布装置１００毎に異なる。

なお、図１では、キャリッジ１０５に搭載されているノズルヘッド１０６の数が１つであったが、複数のノズルヘッド１０６がキャリッジ１０５に搭載されていてもよい。この場合、これらのノズルヘッド１０６は、副走査方向に沿って配列された状態でキャリッジ１０５に搭載されている。また、キャリッジ１０５に複数のノズルヘッド１０６が搭載されている場合、供給管１０７、液体タンク１０８、マスフローコントローラ１０９は、それぞれのノズルヘッド１０６に対して設けられている。

また、キャリッジ１０５が主走査方向に移動するものとしたが、主走査方向及び副走査方向に移動するものとしてもよい。また、ノズルヘッド１０６がその中心線を中心に回転するものとしてもよい。また、ワークテーブル１０１が移動装置１０２によって副走査方向に移動するものとしたが、移動装置１０２によって主走査方向及び副走査方向に移動するものとしてもよい。また、ワークテーブル１０１が移動装置１０２によってその中心回りに回転するものとしてもよい。

〔２〕塗布装置の動作及び塗布方法
以下、塗布装置１００の動作及びこの塗布装置１００を用いた塗布方法等について説明する。

まず、液体タンク１０８内に液体１２０を充填する。液体タンク１０８が取り替え式の場合には、液体１２０が充填された液体タンク１０８を供給管１０７に組み付け、液体タンク１０８に供給器１１６を組み付ける。なお、この時点では、供給管１０７は空の状態であり、液体１２０が供給管１０７内に充填されていない。

次に、制御部１１９がキャリッジ１０５を作動させて、ノズルヘッド１０６を待機位置に移動させ、ノズルヘッド１０６の下端を密閉キャップ１５０で塞ぐ。そして、制御部１１９が、バキュームポンプ１４０を作動させて、供給管１０７およびノズルヘッド１０６内の減圧を行いつつ、供給器１１６を作動させることにより、液体タンク１０８内の液体１２０を供給管１０７内に送り出し、ノズルヘッド１０６内にまで送給する。
更に、制御部１１９が、マスフローコントローラ１０９の設定流量を設定し、ノズルヘッド１０６から吐出する液体１２０の量を調整する。

次に、基板１２１をワークテーブル１０１の上に載置する。
この基板１２１は、図７に示すように、基板１２１から切り出されてＥＬパネル（１）となる部分が配されている領域であり、液体１２０を塗布すべき塗布対象領域であるパネル領域Ｒ１と、パネル領域Ｒ１間であって液体１２０を塗布しなくてもよい非対象領域であるマージン領域Ｒ２とが、交互に複数並ぶ形体をとっている。

次に、制御部１１９が、供給器１１６及びキャリッジ１０５を作動させる。なお、液体タンク１０８内の液体１２０を供給管１０７内に送り出す供給器１１６は、引き続き作動することになる。

制御部１１９がキャリッジ１０５を作動させて、キャリッジ１０５とともにノズルヘッド１０６が主走査方向に移動する。その際、供給器１１６が作動しているので、液体タンク１０８内の液体１２０がノズルヘッド１０６へと送り出され、供給管１０７を流れる液体１２０の流量がマスフローコントローラ１０９によって一定の設定流量に制御される。そのため、キャリッジ１０５の移動中において、ノズルヘッド１０６のノズル孔１６８から液体１２０が連続的に吐出される。そのため、吐出された液体１２０が基板１２１上に線状に塗布され、主走査方向に沿った線状の有機層パターンが基板１２１上に形成される。キャリッジ１０５が移動範囲の反対の端まで移動したら、制御部１１９がキャリッジ１０５を停止する。
次に、制御部１１９が移動装置１０２を制御して、ワークテーブル１０１及び基板１２１が移動装置１０２によって副走査方向に所定距離だけ移動される。この際も、ノズルヘッド１０６のノズル孔１６８から液体１２０が連続的に吐出される。そのため、副走査方向に沿った線状の有機層パターンが基板１２１上に形成される。その後、移動装置１０２が停止する。
次に、制御部１１９がキャリッジ１０５を作動させて、キャリッジ１０５とともにノズルヘッド１０６が主走査方向を逆方向に移動する。この際も、ノズルヘッド１０６のノズル孔１６８から液体１２０が連続的に吐出される。そのため、主走査方向に沿った線状の有機層パターンが基板１２１上に形成される。キャリッジ１０５が移動範囲の反対の端まで移動したら、制御部１１９がキャリッジ１０５を停止する。
次に、制御部１１９が移動装置１０２を制御して、ワークテーブル１０１及び基板１２１が移動装置１０２によって副走査方向に所定距離だけ移動される。この際も、ノズルヘッド１０６のノズル孔１６８から液体１２０が連続的に吐出される。そのため、主走査方向に沿った線状の有機層パターンが基板１２１上に形成される。

以後、制御部１１９がキャリッジ１０５と移動装置１０２の制御、および供給器１１６とマスフローコントローラ１０９の制御を繰り返す。それにより、ノズルヘッド１０６のノズル孔１６８から液体１２０が連続的に吐出されながらキャリッジ１０５が移動範囲の端から端まで移動することが繰り返されるとともに、キャリッジ１０５が端に移動した際に移動装置１０２によってワークテーブル１０１及び基板１２１が所定距離だけ副走査方向に移動される。その結果、ノズルヘッド１０６から吐出された液体１２０によって、葛折り状の有機層パターンが基板１２１上に形成される。
ここで、制御部１１９は、液体１２０の塗布を行って移動中のノズルヘッド１０６の現在位置を把握している。これは、基板１２１のサイズ、キャリッジ１０５と移動装置１０２の移動範囲および移動速度に基づいて、制御部１１９が所定の演算処理を行うことによって、基板１２１に対するノズルヘッド１０６の現在位置を特定することが可能になっている。
また、制御部１１９は、その現在位置から所定時間後にノズルヘッド１０６が位置する箇所を同様の演算処理を行うことによって予測することが可能になっている。

ところで、制御部１１９が、キャリッジ１０５、移動装置１０２、供給器１１６、マスフローコントローラ１０９等の制御を繰り返して、基板１２１上に液体１２０の塗布を行っている際に、光センサ部６０からの受光強度信号が制御部１１９に入力されている。
制御部１１９は、入力された光センサ部６０の受光強度信号のレベルに基づく光透過率を第１許容値および第１閾値、第２許容値および第２閾値と比較する。
そして、制御部１１９は、比較の結果、光センサ部６０の受光強度信号のレベルに基づく光透過率が第１許容値および第２許容値を超えていないと判断したら、上記した液体１２０の塗布に関する制御を継続する。
一方、制御部１１９は、比較の結果、光センサ部６０の受光強度信号のレベルに基づく光透過率が第１許容値または第２許容値を超えたと判断したら、以下のような処理を行う。

制御部１１９は、光センサ部６０の受光強度信号のレベルに基づく光透過率が第１許容値を超えたと判断した場合、光センサ部６０が検出する光透過率である受光強度信号のレベルに基づく光透過率が第１閾値となるタイミングを予測する。受光強度信号のレベルに基づく光透過率が第１閾値となるタイミングは、図６に示すように、受光強度信号のレベルに基づく光透過率が初期値（例えば４０％）から第１許容値（例えば６０％）に達するまでの時間に基づく演算処理によって、第１閾値（例えば８０％）に達するまでの時間（Ｔ）として求めることができる。
同様に、制御部１１９は、光センサ部６０の受光強度信号のレベルに基づく光透過率が第２許容値を超えたと判断した場合、光センサ部６０が検出する光透過率である受光強度信号のレベルが第２閾値となるタイミングを予測する。受光強度信号のレベルに基づく光透過率が第２閾値となるタイミングは、図６に示すように、受光強度信号のレベルに基づく光透過率が初期値（例えば４０％）から第２許容値（例えば３０％）に達するまでの時間に基づく演算処理によって、第２閾値（例えば２０％）に達するまでの時間（Ｔ）として求めることができる。

そして、制御部１１９は、受光強度信号のレベルに基づく光透過率が第１閾値となるタイミング、または受光強度信号のレベルに基づく光透過率が第２閾値となるタイミングにおけるノズルヘッド１０６の配置であり、基板１２１に対するノズルヘッド１０６の位置を予測して特定する。
さらに、制御部１１９は、受光強度信号のレベルに基づく光透過率が第１閾値または第２閾値となるタイミングにおける基板１２１に対するノズルヘッド１０６の位置が、液体１２０を塗布すべき塗布対象領域である基板１２１のパネル領域Ｒ１に対応する位置であるか、パネル領域Ｒ１間であって液体１２０を塗布しなくてもよい非対象領域である基板１２１のマージン領域Ｒ２に対応する位置であるかを判断する。

制御部１１９が、受光強度信号のレベルに基づく光透過率が第１閾値または第２閾値となるタイミングにおけるノズルヘッド１０６の位置が、基板１２１のマージン領域Ｒ２に対応する位置にあると判断した場合、受光強度信号のレベルに基づく光透過率が第１閾値または第２閾値となったタイミングにおいて、そのマージン領域Ｒ２に対応する位置にあるノズルヘッド１０６を待機位置の密着キャップ１５０に移動させて、ノズルヘッド１０６内に滞留する気泡を除去する脱泡処理を実行する。
つまり、受光強度信号のレベルに基づく光透過率が第１閾値または第２閾値となるタイミングであって、ノズルヘッド１０６から液体１２０が吐出不能となるタイミングに、ノズルヘッド１０６が基板１２１のマージン領域Ｒ２に対応する位置にあれば、そのマージン領域Ｒ２で液体１２０が途切れてしまってもよい。そして、そのマージン領域Ｒ２に対応する位置にあったノズルヘッド１０６内の気泡を除去することで、ノズルヘッド１０６から液体１２０が再び連続的に吐出可能となるので、次のパネル領域Ｒ１に対して液体１２０の塗布を好適に再開することができる。

一方、制御部１１９が、受光強度信号のレベルに基づく光透過率が第１閾値または第２閾値となるタイミングにおけるノズルヘッド１０６の位置が、基板１２１のパネル領域Ｒ１に対応する位置にあると判断した場合、光強度信号のレベルが第１閾値または第２閾値となってしまうパネル領域Ｒ１前のマージン領域Ｒ２に対応する位置にあるノズルヘッド１０６を予め待機位置の密着キャップ１５０に移動させて、ノズルヘッド１０６内に滞留する気泡を除去する脱泡処理を実行する。
つまり、受光強度信号のレベルに基づく光透過率が第１閾値または第２閾値となるタイミングであって、ノズルヘッド１０６から液体１２０が吐出不能となるタイミングに、ノズルヘッド１０６が基板１２１のパネル領域Ｒ１に対応する位置にあって、そのパネル領域Ｒ１で液体１２０が途切れてしまっては、ＥＬパネルの生産性が低下してしまう。そこで、パネル領域Ｒ１で液体１２０が途切れてしまう前に、そのパネル領域Ｒ１前のマージン領域Ｒ２に対応する位置にあるノズルヘッド１０６内の気泡を除去することで、ノズルヘッド１０６から液体１２０が吐出不能となる前に、ノズルヘッド１０６から液体１２０を連続的に吐出可能な状態にして、次のパネル領域Ｒ１に対しても液体１２０の塗布を好適に行うことができる。

なお、ノズルヘッド１０６を待機位置の密着キャップ１５０に移動させて、そのノズルヘッド１０６内の気泡を除去する際、制御部１１９は入力された光センサ部６０の受光強度信号のレベルに基づく光透過率が初期値（例えば４０％）となったことに伴い、ノズルヘッド１０６内の気泡が除去されて、脱泡処理が完了したことを判断するようになっている。

ノズルヘッド１０６内の脱泡処理が完了したら、塗布装置１００の制御部１１９は、キャリッジ１０５等を作動させて、脱泡処理のために塗布を中断したマージン領域Ｒ２に対応する位置にノズルヘッド１０６を移動させる。そして、制御部１１９がキャリッジ１０５と移動装置１０２の制御、および供給器１１６とマスフローコントローラ１０９の制御を繰り返すことにより、ノズルヘッド１０６から吐出される液体１２０を基板１２１に塗布する動作を再開する。

このように、塗布装置１００は、ノズルヘッド１０６に備えられた光センサ部６０によって、ノズルヘッド１０６内の液体１２０の光透過率を検出して、ノズルヘッド１０６内で滞留する気泡の大きさ及び量を判定することができる。
そして、塗布装置１００において、光センサ部６０の受光強度信号のレベルに基づく光透過率が第１許容値または第２許容値を超えた後、ノズルヘッド１０６から液体１２０が吐出不能となるまでに、ノズルヘッド１０６を待機位置に移動させてノズルヘッド１０６内に滞留する気泡を除去することができるので、ノズルヘッド１０６に気泡が溜まり過ぎたことにより、液体１２０の塗布が中断してしまうトラブルを低減することができる。

特に、塗布装置１００の制御部１１９は、光センサ部６０の受光強度信号のレベルに基づく光透過率がノズルヘッド１０６から液体１２０が吐出不能となるタイミングに相当する第１閾値または第２閾値となるタイミングを予測して、その予測されたタイミングにノズルヘッド１０６が基板１２１のパネル領域Ｒ１に対応する位置にあると判断した場合に、そのパネル領域Ｒ１前のマージン領域Ｒ２において、ノズルヘッド１０６を待機位置に移動させてノズルヘッド１０６内に滞留する気泡を除去することができる。
また、ノズルヘッド１０６から液体１２０が吐出不能となるタイミングに相当する第１閾値または第２閾値となるタイミングに、ノズルヘッド１０６が基板１２１のマージン領域Ｒ２に対応する位置にあると制御部１１９が判断した場合、そのマージン領域Ｒ２に対応する位置となったノズルヘッド１０６を待機位置に移動させてノズルヘッド１０６内に滞留する気泡を除去することができる。
こうして、制御部１１９は、ノズルヘッド１０６から液体１２０が吐出不能となるタイミングを予測し、ノズルヘッド１０６から液体１２０が吐出不能となる前に、マージン領域Ｒ２に対応する位置にあるノズルヘッド１０６を待機位置に移動させて、ノズルヘッド１０６内の脱泡処理を行うので、基板１２１のパネル領域Ｒ１で液体１２０の塗布を中断することなく、基板１２１のパネル領域Ｒ１で液体１２０が途切れてしまうことがない。
従って、この塗布装置１００は、基板１２１に対する液体１２０の塗布を良好に行うことができる。

なお、塗布装置１００のノズルヘッド１０６は、上記実施形態に限られるものではない。
例えば、図８に示すように、ノズルヘッド本体部１６１の空間１６３の中程にフィルタ１６４を配設して、その空間１６３を注入口１６２側と開口１６６側に仕切ってもよい。
そのフィルタ１６４の上方の空間１６３部分に対応するノズルヘッド本体部１６１の側面には空間１６３を挟んで対向する箇所に、光透過性を有する一対の透明窓６０ｃ、６０ｄが設けられている。また、一方の透明窓６０ｃの外側に所定の光を空間１６３に向けて出射する投光器６１１が備えられ、他方の透明窓６０ｄの外側に空間１６３を通過した光を検知する受光器６２１が備えられている。この投光器６１１と受光器６２１により光センサ部６０が構成される。
また、フィルタ１６４の下方の空間１６３部分に対応するノズルヘッド本体部１６１の側面には空間１６３を挟んで対向する箇所に、光透過性を有する一対の透明窓６０ｅ、６０ｆが設けられている。また、一方の透明窓６０ｅの外側に所定の光を空間１６３に向けて出射する投光器６１２が備えられ、他方の透明窓６０ｆの外側に空間１６３を通過した光を検知する受光器６２２が備えられている。この投光器６１２と受光器６２２により光センサ部６０が構成される。
このように、１つのノズルヘッド１０６に２つ以上の光センサ部６０を備えるようにしてもよい。
なお、フィルタ１６４の上方の空間１６３と、フィルタ１６４の下方の空間１６３において滞留する気泡の性状が異なる場合には、その空間毎に異なる許容値および閾値を設定するようにしてもよい。

〔３〕塗布装置を用いて製造される有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネル（ＥＬパネル）の構成
図１に示される塗布装置１００を用いて製造されるＥＬパネル１について、図９〜図１３を用いて説明する。
なお、ＥＬパネル１は、大きな基板１２１に対して複数形成されたＥＬパネル１（図７参照）が個々に切り出されたものである。そして、ＥＬパネル１における基板１０は、大きな基板１２１が分割されてなる、１つ分のＥＬパネル１に相当する小さな基板である。

図９は、発光パネルであるＥＬパネル１における複数の画素Ｐの配置構成を示す平面図である。図１０は、ＥＬパネル１の概略構成を示す平面図である。図１１は、アクティブマトリクス駆動方式で動作するＥＬパネル１の１画素に相当する回路を示した回路図である。図１２は、ＥＬパネル１の１画素Ｐに相当する平面図であり、図１３は、図１２のXIII−XIII線に沿った面の矢視断面図である。

図９、図１０に示すように、ＥＬパネル１には、Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）をそれぞれ発光する複数の画素Ｐが所定のパターンでマトリクス状に配置されている。
このＥＬパネル１には、複数の走査線２が行方向に沿って互いに略平行となるよう配列され、複数の信号線３が平面視して走査線２と略直交するよう列方向に沿って互いに略平行となるよう配列されている。また、隣り合う走査線２の間において電圧供給線４が走査線２に沿って設けられている。そして、これら各走査線２と隣接する二本の信号線３と各電圧供給線４とによって囲われる範囲が、画素Ｐに相当する。ここでは、Ｒ（赤）を発光する複数の画素Ｐ，Ｇ（緑）を発光する複数の画素Ｐ、Ｂ（青）を発光する複数の画素Ｐが、それぞれ信号線３の配列方向に沿って並んで配列され、且つ走査線２の配列方向に沿ってＲ（赤）を発光する画素Ｐ，Ｇ（緑）を発光する画素Ｐ，Ｂ（青）を発光する画素Ｐの順に配列されている。

また、ＥＬパネル１には、信号線３に沿う方向に延在する隔壁であるバンク１３が設けられている。このバンク１３によって挟まれた範囲に所定のキャリア輸送層（後述する正孔注入層８ｂ、発光層８ｃ）が設けられて、画素Ｐの発光領域となる。つまり、このバンク１３が、Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の各色毎に画素Ｐを仕切っている。なお、キャリア輸送層とは、電圧が印加されることによって正孔又は電子を輸送する層である。

図１０、図１１に示すように、ＥＬパネル１には、走査線２と、走査線２と交差する信号線３と、走査線２に沿う電圧供給線４とが設けられており、このＥＬパネル１の１画素Ｐにつき、薄膜トランジスタであるスイッチトランジスタ５と、薄膜トランジスタである駆動トランジスタ６と、キャパシタ７と、ＥＬ素子８とが設けられている。

各画素Ｐにおいては、スイッチトランジスタ５のゲートが走査線２に接続され、スイッチトランジスタ５のドレインとソースのうちの一方が信号線３に接続され、スイッチトランジスタ５のドレインとソースのうちの他方がキャパシタ７の一方の電極及び駆動トランジスタ６のゲートに接続されている。駆動トランジスタ６のソースとドレインのうちの一方が電圧供給線４に接続され、駆動トランジスタ６のソースとドレインのうち他方がキャパシタ７の他方の電極及びＥＬ素子８のアノードに接続されている。なお、全ての画素ＰのＥＬ素子８のカソードは、一定電圧Ｖcomに保たれている（例えば、接地されている）。

また、このＥＬパネル１の周囲において各走査線２が走査ドライバに接続されている。また各電圧供給線４が、一定電圧源又は適宜電圧信号を出力するドライバに接続されている。また各信号線３が、データドライバに接続されている。これらドライバによってＥＬパネル１がアクティブマトリクス駆動方式で駆動される。電圧供給線４には、一定電圧源又はドライバによって所定の電力が供給される。

次に、ＥＬパネル１と、その画素Ｐの回路構造について、図１２、図１３を用いて説明する。
図１２に示すように、スイッチトランジスタ５及び駆動トランジスタ６は、信号線３に沿うように配列されている。キャパシタ７は、スイッチトランジスタ５の近傍に配置されている。ＥＬ素子８は、駆動トランジスタ６の近傍に配置されている。また、スイッチトランジスタ５、駆動トランジスタ６、キャパシタ７及びＥＬ素子８が、走査線２と電圧供給線４の間に配置されている。

駆動トランジスタ６は、図１３に示すように、ゲート電極６ａ、半導体膜６ｂ、チャネル保護膜６ｄ、不純物半導体膜６ｆ，６ｇ、ドレイン電極６ｈ、ソース電極６ｉ等を有するものである。
また、スイッチトランジスタ５は、以下に詳述する駆動トランジスタ６と同様の薄膜トランジスタであって、ゲート電極５ａ、半導体膜、チャネル保護膜、不純物半導体膜、ドレイン電極５ｈ、ソース電極５ｉ等を有するものであるので、その詳細については省略する。
図１２、図１３に示すように、基板１０上の一面にゲート絶縁膜となる層間絶縁膜１１が成膜されており、その層間絶縁膜１１の上に層間絶縁膜１２が成膜されている。信号線３は層間絶縁膜１１と基板１０との間に形成され、走査線２及び電圧供給線４は層間絶縁膜１１と層間絶縁膜１２との間に形成されている。

ゲート電極６ａは、基板１０と層間絶縁膜１１の間に形成されている。このゲート電極６ａは、例えば、Ｃｒ膜、Ａｌ膜、Ｃｒ／Ａｌ積層膜、ＡｌＴｉ合金膜又はＡｌＴｉＮｄ合金膜からなる。また、ゲート電極６ａの上には、絶縁性の層間絶縁膜１１が成膜されている。ゲート電極６ａが、その層間絶縁膜１１によって被覆されている。
層間絶縁膜１１は、例えば、シリコン窒化物又はシリコン酸化物からなる。この層間絶縁膜１１上であってゲート電極６ａに対応する位置には、真性な半導体膜６ｂが形成されている。半導体膜６ｂは、層間絶縁膜１１を挟んでゲート電極６ａと相対している。
半導体膜６ｂは、例えば、アモルファスシリコン又は多結晶シリコンからなる。この半導体膜６ｂにチャネルが形成される。また、半導体膜６ｂの中央部上には、絶縁性のチャネル保護膜６ｄが形成されている。このチャネル保護膜６ｄは、例えば、シリコン窒化物又はシリコン酸化物からなる。
また、半導体膜６ｂの一端部の上には、不純物半導体膜６ｆが一部チャネル保護膜６ｄに重なるようにして形成されている。半導体膜６ｂの他端部の上には、不純物半導体膜６ｇが一部チャネル保護膜６ｄに重なるようにして形成されている。そして、不純物半導体膜６ｆ，６ｇは、それぞれ半導体膜６ｂの両端側に互いに離間して形成されている。なお、ここでは不純物半導体膜６ｆ，６ｇはｎ型半導体であるが、これに限らず、ｐ型半導体であってもよい。
不純物半導体膜６ｆの上には、ドレイン電極６ｈが形成されている。不純物半導体膜６ｇの上には、ソース電極６ｉが形成されている。ドレイン電極６ｈ，ソース電極６ｉは、例えば、Ｃｒ膜、Ａｌ膜、Ｃｒ／Ａｌ積層膜、ＡｌＴｉ合金膜又はＡｌＴｉＮｄ合金膜からなる。
チャネル保護膜６ｄ、ドレイン電極６ｈ及びソース電極６ｉの上には、保護膜となる絶縁性の層間絶縁膜１２が成膜されている。チャネル保護膜６ｄ、ドレイン電極６ｈ及びソース電極６ｉが、層間絶縁膜１２によって被覆されている。そして、駆動トランジスタ６は、層間絶縁膜１２によって覆われるようになっている。層間絶縁膜１２は、例えば、厚さが１００ｎｍ〜２００ｎｍ窒化シリコン又は酸化シリコンからなる。

キャパシタ７は、駆動トランジスタ６のゲート電極６ａとソース電極６ｉとの間に接続されている。図１３に示すように、キャパシタ７の一方の電極７ａが基板１０と層間絶縁膜１１との間に形成されている。キャパシタ７の他方の電極７ｂが、層間絶縁膜１１と層間絶縁膜１２との間に形成されている。そして、電極７ａと電極７ｂが誘電体である層間絶縁膜１１を挟んで相対している。これにより、キャパシタ７が構成されている。

なお、信号線３、キャパシタ７の電極７ａ、スイッチトランジスタ５のゲート電極５ａ及び駆動トランジスタ６のゲート電極６ａは、基板１０に一面に成膜された導電膜をフォトリソグラフィー法及びエッチング法等によって形状加工することで一括して形成されたものである。
また、走査線２、電圧供給線４、キャパシタ７の電極７ｂ、スイッチトランジスタ５のドレイン電極５ｈ，ソース電極５ｉ及び駆動トランジスタ６のドレイン電極６ｈ，ソース電極６ｉは、層間絶縁膜１１に一面に成膜された導電膜をフォトリソグラフィー法及びエッチング法等によって形状加工することで形成されたものである。

また、層間絶縁膜１１には、ゲート電極５ａと走査線２とが重なる領域に、コンタクトホール１１ａが形成されている。ドレイン電極５ｈと信号線３とが重なる領域に、コンタクトホール１１ｂが形成されている。ゲート電極６ａとソース電極５ｉとが重なる領域に、コンタクトホール１１ｃが形成されている。それらコンタクトホール１１ａ〜１１ｃ内にコンタクトプラグ２０ａ〜２０ｃがそれぞれ埋め込まれている。
コンタクトプラグ２０ａによってスイッチトランジスタ５のゲート電極５ａと走査線２が電気的に導通する。コンタクトプラグ２０ｂによってスイッチトランジスタ５のドレイン電極５ｈと信号線３が電気的に導通する。コンタクトプラグ２０ｃによってスイッチトランジスタ５のソース電極５ｉとキャパシタ７の電極７ａが電気的に導通するとともに、スイッチトランジスタ５のソース電極５ｉと駆動トランジスタ６のゲート電極６ａが電気的に導通する。
これらコンタクトプラグ２０ａ〜２０ｃを介することなく、走査線２が直接ゲート電極５ａと接触し、ドレイン電極５ｈが信号線３と接触し、ソース電極５ｉがゲート電極６ａと接触してもよい。
また、駆動トランジスタ６のゲート電極６ａが、キャパシタ７の電極７ａに一体に連なっている。駆動トランジスタ６のドレイン電極６ｈが、電圧供給線４に一体に連なっている。駆動トランジスタ６のソース電極６ｉが、キャパシタ７の電極７ｂに一体に連なっている。

画素電極８ａは、層間絶縁膜１１を介して基板１０上に設けられており、画素電極８ａは、画素Ｐごとに独立して形成されている。この画素電極８ａは透明電極であって、例えば、錫ドープ酸化インジウム（ＩＴＯ）、亜鉛ドープ酸化インジウム、酸化インジウム（Ｉｎ₂Ｏ₃）、酸化スズ（ＳｎＯ₂）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）又はカドミウム−錫酸化物（ＣＴＯ）からなる。画素電極８ａは一部、駆動トランジスタ６のソース電極６ｉに重なり、画素電極８ａとソース電極６ｉが接続している。
そして、図１２、図１３に示すように、層間絶縁膜１２が、走査線２、信号線３、電圧供給線４、スイッチトランジスタ５、駆動トランジスタ６、画素電極８ａの周縁部、キャパシタ７の電極７ｂ及び層間絶縁膜１１を覆うように形成されている。
層間絶縁膜１２には、各画素電極８ａの中央部が露出するように開口部１２ａが形成されている。この層間絶縁膜１２は、平面視して格子状に形成されている。

バンク１３は、図１２、図１３に示すように、信号線３に沿う方向に延在しているとともに、互いに平行に設けられている。そのため、これらバンク１３は、縞状を成している。また、バンク１３は、層間絶縁膜１２を介してスイッチトランジスタ５や駆動トランジスタ６を覆う位置に形成されている。
このバンク１３の側壁１３ａは、層間絶縁膜１２の開口部１２ａより内側に位置し、対向する側壁１３ａ間に画素電極８ａの中央側が露出するようになっている。
そして、バンク１３は、後述する正孔注入層８ｂや発光層８ｃを湿式法により形成するに際して、正孔注入層８ｂや発光層８ｃとなる材料が溶媒に溶解または分散された液状体が隣接する画素Ｐに滲み出ないようにする隔壁として機能する。

ＥＬ素子８は、図１２、図１３に示すように、アノードとなる第一電極としての画素電極８ａと、画素電極８ａの上に形成された化合物膜である正孔注入層８ｂと、正孔注入層８ｂの上に形成された化合物膜である発光層８ｃと、発光層８ｃの上に形成された第二電極としての対向電極８ｄとを備えている。対向電極８ｄは全画素Ｐに共通の単一電極であって、全画素Ｐに連続して形成されている。

正孔注入層８ｂは、例えば、導電性高分子であるＰＥＤＯＴ（poly(ethylenedioxy)thiophene；ポリエチレンジオキシチオフェン）及びドーパントであるＰＳＳ（polystyrene sulfonate；ポリスチレンスルホン酸）からなるキャリア輸送層である。正孔注入層８ｂは、画素電極８ａから発光層８ｃに向けて正孔を注入する層である。
発光層８ｃは、画素Ｐ毎にＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）のいずれかを発光する材料を含む。発光層８ｃは、例えば、ポリフルオレン系発光材料やポリフェニレンビニレン系発光材料からなるキャリア輸送層である。発光層８ｃは、対向電極８ｄから供給される電子と、正孔注入層８ｂから注入される正孔との再結合に伴い発光する層である。このため、Ｒ（赤）を発光する画素Ｐ、Ｇ（緑）を発光する画素Ｐ、Ｂ（青）を発光する画素Ｐは互いに発光層８ｃの発光材料が異なる。画素ＰのＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）のパターンは、縦方向に同色画素が配列されるストライプパターンである。

対向電極８ｄは、画素電極８ａよりも仕事関数の低い材料で形成されている。対向電極８ｄは、例えば、インジウム、マグネシウム、カルシウム、リチウム、バリウム、希土類金属の少なくとも一種を含む単体又は合金で形成されている。
この対向電極８ｄは、全ての画素Ｐに共通した電極であり、発光層８ｃなどの化合物膜とともにバンク１３を被覆している。

また、正孔注入層８ｂ及び発光層８ｃは、隣り合うバンク１３の間においてバンク１３に沿う方向に帯状に設けられているとともに、バンク１３に沿う方向に連続して設けられている。そのため、正孔注入層８ｂ及び発光層８ｃは、バンク１３に沿う方向には、画素Ｐごとに区切られていない。つまり、正孔注入層８ｂ及び発光層８ｃは、隣り合うバンク１３の間において配列された複数の画素電極８ａに共通して設けられている。一方、正孔注入層８ｂ及び発光層８ｃは、バンク１３に直交する方向には、バンク１３によって区切られている。
そして、層間絶縁膜１２の開口部１２ａ内におけるバンク１３の側壁１３ａ間において、キャリア輸送層としての正孔注入層８ｂ及び発光層８ｃが、画素電極８ａ上に積層されている（図１３参照）。つまり、画素電極８ａと対向電極８ｄの間に電圧が印加されたら、正孔注入層８ｂ及び発光層８ｃは画素電極８ａに重なる部分においてキャリア輸送層として機能し、その部分の発光層８ｃにおいて発光する。
具体的には、層間絶縁膜１２の上に設けられたバンク１３の側壁１３ａは、層間絶縁膜１２の開口部１２ａより内側に形成されている。
そして、開口部１２ａに囲まれて側壁１３ａで挟まれた画素電極８ａ上に、正孔注入層８ｂとなる材料が含有される液状体を塗布し、基板１０ごと加熱してその液状体を乾燥させ成膜させた化合物膜が、第１のキャリア輸送層である正孔注入層８ｂとなる。
さらに、開口部１２ａに囲まれて側壁１３ａで挟まれた正孔注入層８ｂ上に、発光層８ｃとなる材料が含有される液状体を塗布し、基板１０ごと加熱してその液状体を乾燥させ成膜させた化合物膜が、第２のキャリア輸送層である発光層８ｃとなる。
なお、この発光層８ｃとバンク１３を被覆するように対向電極８ｄが設けられている（図１３参照）。

そして、このＥＬパネル１においては、画素電極８ａ、基板１０及び層間絶縁膜１１が透明であり、発光層８ｃから発した光が画素電極８ａ、層間絶縁膜１１及び基板１０を透過して出射する。そのため、基板１０の裏面が表示面となる。
なお、基板１０側ではなく、反対側が表示面となってもよい。この場合、対向電極８ｄを透明電極とし、画素電極８ａを反射電極として、発光層８ｃから発した光が対向電極８ｄを透過して出射するようにする。

このＥＬパネル１は、次のように駆動されて発光する。
全ての電圧供給線４に所定レベルの電圧が印加された状態で、走査ドライバによって走査線２に順次電圧が印加されることで、これら走査線２が順次選択される。
各走査線２が選択されている時に、データドライバによって階調に応じたレベルの電圧が全ての信号線３に印加されると、その選択されている走査線２に対応するスイッチトランジスタ５がオンになっていることから、その階調に応じたレベルの電圧が駆動トランジスタ６のゲート電極６ａに印加される。
この駆動トランジスタ６のゲート電極６ａに印加された電圧に応じて、駆動トランジスタ６のゲート電極６ａとソース電極６ｉとの間の電位差が定まって、駆動トランジスタ６におけるドレイン−ソース電流の大きさが定まり、ＥＬ素子８がそのドレイン−ソース電流に応じた明るさで発光する。
その後、その走査線２の選択が解除されると、スイッチトランジスタ５がオフとなるので、駆動トランジスタ６のゲート電極６ａに印加された電圧にしたがった電荷がキャパシタ７に蓄えられ、駆動トランジスタ６のゲート電極６ａとソース電極６ｉ間の電位差は保持される。
このため、駆動トランジスタ６は選択時と同じ電流値のドレイン−ソース電流を流し続け、ＥＬ素子８の輝度を維持するようになっている。

〔４〕塗布装置を用いた有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネル（ＥＬパネル）の製造方法
次に、ＥＬパネル１の製造方法について説明する。

〔４−１〕塗布装置を使用する前の工程（主に、トランジスタ製造工程）
まず、基板１０となる基板１２１上にゲートメタル層をスパッタリングで堆積させる。そして、そのゲートメタル層をフォトリソグラフィー及びエッチング等によりパターニングする。これによって、そのゲートメタル層から信号線３、キャパシタ７の電極７ａ、スイッチトランジスタ５のゲート電極５ａ及び駆動トランジスタ６のゲート電極６ａを形成する。
次いで、プラズマＣＶＤによって窒化シリコン等のゲート絶縁膜となる層間絶縁膜１１を堆積する。ＥＬパネル１の一辺に位置する走査ドライバに接続するための各走査線２の外部接続端子（例えば、走査線２の端部）上において開口するコンタクトホール（図示せず）を層間絶縁膜１１に形成する。
次いで、半導体膜６ｂ（５ｂ）となるアモルファスシリコン等の半導体層、チャネル保護膜６ｄ（５ｄ）となる窒化シリコン等の絶縁層を連続して堆積する。その後、その絶縁層をフォトリソグラフィー及びエッチング等によってパターニングする。これにより、その絶縁膜からチャネル保護膜６ｄ（５ｄ）を形成する。
その後、不純物半導体膜６ｆ，６ｇ（５ｆ，５ｇ）となる不純物層を堆積した後、フォトリソグラフィー及びエッチング等によって不純物層及び半導体層を連続してパターニングする。これにより、その不純物層から不純物半導体膜６ｆ，６ｇ（５ｆ，５ｇ）を形成するとともに、その半導体層から半導体膜６ｂ（５ｂ）を形成する。
そして、フォトリソグラフィー及びエッチングによってコンタクトホール１１ａ〜１１ｃを形成する。次いで、コンタクトホール１１ａ〜１１ｃ内にコンタクトプラグ２０ａ〜２０ｃを形成する。この工程は省略されてもよい。
スイッチトランジスタ５のドレイン電極５ｈ，ソース電極５ｉ及び駆動トランジスタ６のドレイン電極６ｈ，ソース電極６ｉとなるソース・ドレインメタル層を堆積し、そのソース・ドレインメタル層をパターニングする。これにより、そのソース・ドレインメタル層から走査線２、電圧供給線４、キャパシタ７の電極７ｂ、スイッチトランジスタ５のドレイン電極５ｈ，ソース電極５ｉ及び駆動トランジスタ６のドレイン電極６ｈ，ソース電極６ｉを形成する。こうしてスイッチトランジスタ５及び駆動トランジスタ６が形成される。その後、ＩＴＯ膜を堆積した後、そのＩＴＯ膜をパターニングすることによって、そのＩＴＯ膜から画素電極８ａを形成する。

そして、スイッチトランジスタ５や駆動トランジスタ６等を覆うように、気相成長法により絶縁膜を成膜する。その後、その絶縁膜をフォトリソグラフィー及びエッチングでパターニングする。これにより、その絶縁膜に複数の開口部１２ａを形成して、層間絶縁膜１２を形成する。開口部１２ａの形成位置は各画素電極８ａの中央部上とし、各開口部１２ａ内において、画素電極８ａの中央部を露出される。また、これら開口部１２ａとともに、図示しない走査線２の外部接続端子、ＥＬパネル１の一辺に位置するデータドライバに接続するための各信号線３の外部接続端子（例えば、信号線３の端部）及び電圧供給線４の外部接続端子（例えば、電圧供給線４の端部）上において開口する複数のコンタクトホールを形成する。

次いで、ポリイミド等の感光性樹脂を堆積後にその感光性樹脂を露光して、互いに平行な縞状のバンク１３を形成する。この際、バンク１３の側壁１３ａが画素電極８ａ上に位置するように、バンク１３を形成する。なお、このバンク１３は、上記外部接続端子を開口するコンタクトホール（図示せず）を露出している。

以上の工程により、図１４に示すように、各画素電極８ａは層間絶縁膜１２のそれぞれの開口部１２ａ内において露出する。また、縞状のバンク１３間の凹部内において複数の画素電極８ａが露出しているとともに、これら画素電極８ａがバンク１３に沿って配列される。

〔４−２〕塗布装置を使用する塗布工程
バンク１３間の画素電極８ａ上にキャリア輸送層となる液体を塗布するために、塗布装置１００を４台分セッティングする。
そして、１台目の塗布装置１００の液体タンク１０８には、正孔注入層８ｂとなる材料の液体１２０が充填されている。２台目の塗布装置１００の液体タンク１０８には、赤の発光層８ｃとなる材料の液体１２０が充填されている。３台目の塗布装置１００の液体タンク１０８には、緑の発光層８ｃとなる材料の液体１２０が充填されている。４台目の塗布装置１００の液体タンク１０８には、青の発光層８ｃとなる材料の液体１２０が充填されている。

次いで、前工程において、バンク１３まで形成されている基板１２１を、１台目の塗布装置１００のワークテーブル１０１上に載置する。この際、バンク１３が延在する方向が主走査方向に沿うようにして、基板１２１をワークテーブル１０１上に載置する。
そして、制御部１１９の制御によって、マスフローコントローラ１０９の設定流量が設定される。

次に、制御部１１９によって供給器１１６及びキャリッジ１０５が作動され、キャリッジ１０５が移動範囲の一方の端から主走査方向に移動するとともに、ノズルヘッド１０６のノズル孔１６８から液体１２０が連続的に吐出される。そして、吐出された液体１２０が、隣り合うバンク１３の間に塗布される。これにより、帯状の正孔注入層８ｂがその隣り合うバンク１３の間に形成され、その隣り合うバンク１３の間に配列された画素電極８ａが正孔注入層８ｂによって覆われる。
キャリッジ１０５が移動範囲の反対の端まで移動したら、キャリッジ１０５が制御部１１９によって停止される。そして、制御部１１９が移動装置１０２を制御し、ワークテーブル１０１及び基板１２１が移動装置１０２によって副走査方向に１画素分だけ移動されて、その後、移動装置１０２が制御部１１９によって停止される。

次に、制御部１１９がキャリッジ１０５を作動させる。これにより、キャリッジ１０５が逆方向に移動するとともに、ノズルヘッド１０６のノズル孔１６８から液体１２０が連続的に吐出されて、帯状の正孔注入層８ｂが形成される。
キャリッジ１０５が移動範囲の一方の端まで移動したら、キャリッジ１０５が制御部１１９によって停止される。そして、制御部１１９が移動装置１０２を制御し、ワークテーブル１０１及び基板１２１が移動装置１０２によって副走査方向に１画素分だけ移動されて、その後、移動装置１０２が制御部１１９によって停止される。

以後、制御部１１９がキャリッジ１０５と移動装置１０２の制御、および供給器１１６とマスフローコントローラ１０９の制御を繰り返す。それにより、ノズルヘッド１０６のノズル孔１６８から液体１２０が連続的に吐出されながらキャリッジ１０５が移動範囲の端から端まで移動することが繰り返されるとともに、キャリッジ１０５が端に移動した際に移動装置１０２によってワークテーブル１０１及び基板１２１が所定距離だけ副走査方向に移動される。その結果、ノズルヘッド１０６から吐出された液体１２０が基板１２１上に葛折り状のパターンで塗布される（図７参照）。
そして、基板１２１上の全ての画素電極８ａが正孔注入層８ｂによって覆われる。

次に、正孔注入層８ｂの乾燥後、基板１２１を２台目の塗布装置１００のワークテーブル１０１上に載置する。そして、２台目の塗布装置１００が同様の塗布を行うことによって、帯状の赤の発光層８ｃが正孔注入層８ｂ上に形成される。ここで、ワークテーブル１０１及び基板１２１が移動装置１０２によって間欠的に副走査方向に移動されるが、その移動距離は３画素分である。そして、主走査方向の３列毎に、赤の発光層８ｃが形成される。

次に、基板１２１を３台目の塗布装置１００のワークテーブル１０１上に載置する。そして、３台目の塗布装置１００が同様の塗布を行うことによって、帯状の緑の発光層８ｃが正孔注入層８ｂ上に形成される。ここで、ワークテーブル１０１及び基板１２１が移動装置１０２によって間欠的に副走査方向に移動されるが、その移動距離は３画素分である。そして、主走査方向の３列毎に、緑の発光層８ｃが形成される。

次に、基板１２１を４台目の塗布装置１００のワークテーブル１０１上に載置する。そして、４台目の塗布装置１００が同様の塗布を行うことによって、帯状の青の発光層８ｃが正孔注入層８ｂ上に形成される。ここで、ワークテーブル１０１及び基板１２１が移動装置１０２によって間欠的に副走査方向に移動されるが、その移動距離は３画素分である。そして、主走査方向の３列毎に、青の発光層８ｃが形成される。

このようにして、全ての正孔注入層８ｂ上に発光層８ｃが形成される。
同様にしてモノカラーパネルの塗布も行えるが、発光層塗布時の副走査方向の移動距離は1画素となり、２台目の塗布装置１１０のみが発光層塗布用途して必要となる。

〔４−３〕塗布装置を使用した後の工程
続いて、発光層８ｃが形成された基板１２１上に対向電極８ｄを成膜し、対向電極８ｄによって発光層８ｃ及びバンク１３を被覆する。
そして、基板１２１を基板１０ごとに切り分けて、ＥＬパネル１が完成する。

以上のように、塗布装置１００を使用して製造されたＥＬパネル１は、各種電子機器の表示パネルとして用いられる。
例えば、図１５に示す、携帯電話機２００の表示パネル１ａや、図１６（ａ）（ｂ）に示す、デジタルカメラ３００の表示パネル１ｂや、図１７に示す、パーソナルコンピュータ４００の表示パネル１ｃに、ＥＬパネル１を適用することができる。

なお、本発明の適用は上述した実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

１００塗布装置
１０１ワークテーブル
１０２移動装置（ノズル移動部）
１０５キャリッジ（ノズル移動部）
１０６ノズルヘッド（吐出部）
１６８ノズル孔（ノズル）
６０光センサ部（透過率検出部）
６１投光器
６２受光器
１０７供給管
１０８液体タンク（液体貯留部）
１１６供給器
１１９制御部
１２０液体
１２１基板（対象物）
１３０冷却トラップ（脱泡部）
１４０バキュームポンプ（減圧装置、脱泡部）
１５０密閉キャップ（脱泡部）
Ｒ１パネル領域（塗布対象領域）
Ｒ２マージン領域（非対象領域）

Claims

対象物に液体を塗布する塗布装置において、
前記対象物は、液体を塗布すべき塗布対象領域と前記液体を塗布しなくてもよい間隙領域とが交互に複数配設された形体を有し、
前記塗布装置は、
前記液体が貯留された液体貯留部と、
前記液体を吐出するノズルを有する吐出部と、
前記液体貯留部から前記吐出部にまで配管された供給管と、
前記対象物に対して前記吐出部を相対的に移動させるノズル移動部と、
前記吐出部内で前記液体が溜まる空間の光透過率を検出する透過率検出部と
前記ノズル移動部及び前記透過率検出部を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記ノズル移動部が前記吐出部を前記各塗布対象領域と前記各間隙領域とに対して相対的に連続して移動させながら、前記吐出部が前記ノズルから前記液体を吐出して、前記液体を前記対象物に塗布している間に、前記透過率検出部が検出した前記光透過率が許容値を超えているか否かを判断し、前記透過率が前記許容値を超えていると判断した場合に、前記透過率の時間に対する増加率に基づいて、前記光透過率が、前記ノズルから前記液体が吐出不能となる状態に相当する前記光透過率の閾値となると予測される第１のタイミングを予測し、該第１のタイミングにおける前記吐出部の位置を、前記ノズル移動部による前記吐出部の前記対象物に対する移動速度及び移動範囲に基づいて、特定の位置として算出し、前記特定の位置が前記間隙領域に対応する位置である場合、前記第１のタイミングにおいて、前記ノズル移動部によって前記吐出部を待機位置に移動させて、前記吐出部内に滞留する気泡を除去する処理を実行し、前記特定の位置が前記塗布対象領域に対応する位置である場合、前記第１のタイミングより前の、前記吐出部の位置が前記間隙領域に対応する位置となる第２のタイミングにおいて、前記ノズル移動部によって前記吐出部を待機位置に移動させて、前記気泡を除去する処理を実行することを特徴とする塗布装置。
前記待機位置には、前記吐出部内の気泡を吸引して除去する脱泡部が備えられていることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
前記透過率検出部は、
前記吐出部内の空間に向けて所定の光を出射する投光器と、前記空間を通過した光を検知する受光器とからなることを特徴とする請求項１又は２に記載の塗布装置。
前記吐出部は、前記ノズルから前記液体を連続的に吐出して、前記液体を前記対象物に塗布することを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の塗布装置。
液体が貯留された液体貯留部から供給管を介して前記液体が供給され、前記液体を吐出するノズルを有する吐出部を、前記液体を塗布すべき塗布対象領域と前記液体を塗布しなくてもよい間隙領域とが交互に複数配設された対象物に対して相対的に移動させながら、前記吐出部の前記ノズルから前記液体を吐出して、前記対象物に前記液体を塗布し、
前記吐出部を前記対象物の前記各塗布対象領域と前記各間隙領域とに対して相対的に連続して移動させながら前記液体の塗布を行っている間に、前記吐出部内で前記液体が溜まる空間の光透過率を検出して、前記光透過率が許容値を超えているか否かを判断し、
前記光透過率が許容値を超えていると判断したときに、前記透過率の時間に対する増加率に基づいて、前記光透過率が、前記ノズルから前記液体が吐出不能となる状態に相当する前記光透過率の閾値となると予測される第１のタイミングを予測し、
前記第１のタイミングにおける前記吐出部の位置を、前記吐出部の前記対象物に対する移動速度及び移動範囲に基づいて、特定の位置として算出し、
前記特定の位置が前記間隙領域に対応する位置であるとき、前記第１のタイミングにおいて、前記吐出部を待機位置に移動させて、前記吐出部内に滞留する気泡を除去する脱泡処理を実行し、
前記特定の位置が前記塗布対象領域に対応する位置であるとき、前記第１のタイミングより前の、前記吐出部の位置が前記間隙領域に対応する位置となる第２のタイミングにおいて、前記吐出部を待機位置に移動させて、前記脱泡処理を実行することを特徴とする塗布方法。