TW200946604A - Intermediate layer-forming coating solution, process for production of organic electroluminescence device, and organic electroluminescence device - Google Patents
Intermediate layer-forming coating solution, process for production of organic electroluminescence device, and organic electroluminescence device Download PDFInfo
- Publication number
- TW200946604A TW200946604A TW098109852A TW98109852A TW200946604A TW 200946604 A TW200946604 A TW 200946604A TW 098109852 A TW098109852 A TW 098109852A TW 98109852 A TW98109852 A TW 98109852A TW 200946604 A TW200946604 A TW 200946604A
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- layer
- intermediate layer
- coating liquid
- light
- coating
- Prior art date
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 117
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 85
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 83
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 title description 5
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims abstract description 26
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 84
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 62
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 34
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 34
- -1 (tetra) Chemical compound 0.000 claims description 33
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 25
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 claims description 19
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 9
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 claims description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 4
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims description 3
- DPUOLQHDNGRHBS-UHFFFAOYSA-N Brassidinsaeure Natural products CCCCCCCCC=CCCCCCCCCCCCC(O)=O DPUOLQHDNGRHBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- URXZXNYJPAJJOQ-UHFFFAOYSA-N Erucic acid Natural products CCCCCCC=CCCCCCCCCCCCC(O)=O URXZXNYJPAJJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- ONVGHWLOUOITNL-UHFFFAOYSA-N [Zn].[Bi] Chemical compound [Zn].[Bi] ONVGHWLOUOITNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- DPUOLQHDNGRHBS-KTKRTIGZSA-N erucic acid Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCCCCCC(O)=O DPUOLQHDNGRHBS-KTKRTIGZSA-N 0.000 claims 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims 1
- 150000002923 oximes Chemical class 0.000 claims 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 claims 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 claims 1
- 159000000008 strontium salts Chemical group 0.000 claims 1
- 229910021653 sulphate ion Inorganic materials 0.000 claims 1
- 235000011149 sulphuric acid Nutrition 0.000 claims 1
- 239000001117 sulphuric acid Substances 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 6
- 239000003513 alkali Substances 0.000 abstract 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 abstract 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 364
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 69
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 69
- 239000000463 material Substances 0.000 description 42
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 24
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 22
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 19
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 18
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 15
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 13
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 12
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 12
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 10
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 10
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 8
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 7
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 7
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 6
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 6
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 6
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 6
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 150000004696 coordination complex Chemical class 0.000 description 5
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 5
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- VLAPMBHFAWRUQP-UHFFFAOYSA-L molybdic acid Chemical compound O[Mo](O)(=O)=O VLAPMBHFAWRUQP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 5
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 5
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 5
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 5
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 5
- AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 1,4-benzoquinone Chemical compound O=C1C=CC(=O)C=C1 AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 4
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 4
- 238000007756 gravure coating Methods 0.000 description 4
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 4
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 4
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 4
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 4
- CMPGARWFYBADJI-UHFFFAOYSA-L tungstic acid Chemical compound O[W](O)(=O)=O CMPGARWFYBADJI-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 4
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 3
- 229920000292 Polyquinoline Polymers 0.000 description 3
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 150000005215 alkyl ethers Chemical class 0.000 description 3
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 description 3
- 238000007611 bar coating method Methods 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 239000002585 base Substances 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N coumarin Chemical class C1=CC=C2OC(=O)C=CC2=C1 ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 3
- 125000005678 ethenylene group Chemical group [H]C([*:1])=C([H])[*:2] 0.000 description 3
- 235000003642 hunger Nutrition 0.000 description 3
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 3
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 150000004866 oxadiazoles Chemical class 0.000 description 3
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 3
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 3
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 3
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000006228 supernatant Substances 0.000 description 3
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WQEVDHBJGNOKKO-UHFFFAOYSA-K vanadic acid Chemical compound O[V](O)(O)=O WQEVDHBJGNOKKO-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 3
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 3
- SCYULBFZEHDVBN-UHFFFAOYSA-N 1,1-Dichloroethane Chemical compound CC(Cl)Cl SCYULBFZEHDVBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N Acetophenone Chemical compound CC(=O)C1=CC=CC=C1 KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241000282994 Cervidae Species 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 2
- 229910000846 In alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 240000005373 Panax quinquefolius Species 0.000 description 2
- 235000003140 Panax quinquefolius Nutrition 0.000 description 2
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- 206010036790 Productive cough Diseases 0.000 description 2
- SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N Quinoline Chemical compound N1=CC=CC2=CC=CC=C21 SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DZBUGLKDJFMEHC-UHFFFAOYSA-N acridine Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3N=C21 DZBUGLKDJFMEHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000005907 alkyl ester group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 2
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 125000000609 carbazolyl group Chemical class C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3NC12)* 0.000 description 2
- 229940125904 compound 1 Drugs 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 210000003298 dental enamel Anatomy 0.000 description 2
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 2
- 230000004064 dysfunction Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 2
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 2
- JBTWLSYIZRCDFO-UHFFFAOYSA-N ethyl methyl carbonate Chemical compound CCOC(=O)OC JBTWLSYIZRCDFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-M hexanoate Chemical compound CCCCCC([O-])=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 150000004678 hydrides Chemical class 0.000 description 2
- GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N hydron Chemical compound [H+] GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 2
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001748 luminescence spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 2
- 229910052976 metal sulfide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 2
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920005596 polymer binder Polymers 0.000 description 2
- 239000002491 polymer binding agent Substances 0.000 description 2
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 2
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 description 2
- IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N rubidium atom Chemical compound [Rb] IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 210000003296 saliva Anatomy 0.000 description 2
- 239000005394 sealing glass Substances 0.000 description 2
- 239000011684 sodium molybdate Substances 0.000 description 2
- 235000015393 sodium molybdate Nutrition 0.000 description 2
- XMVONEAAOPAGAO-UHFFFAOYSA-N sodium tungstate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][W]([O-])(=O)=O XMVONEAAOPAGAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 2
- 208000024794 sputum Diseases 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N stilbene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C=CC1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- LLZRNZOLAXHGLL-UHFFFAOYSA-J titanic acid Chemical compound O[Ti](O)(O)O LLZRNZOLAXHGLL-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- AAWZDTNXLSGCEK-WYWMIBKRSA-N (-)-quinic acid Chemical compound O[C@@H]1C[C@](O)(C(O)=O)C[C@@H](O)[C@H]1O AAWZDTNXLSGCEK-WYWMIBKRSA-N 0.000 description 1
- RETDKIXQRINZEF-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzoxazole;zinc Chemical compound [Zn].C1=CC=C2OC=NC2=C1 RETDKIXQRINZEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FXVNBZGTAWLLNE-UHFFFAOYSA-N 1,3-thiazole;zinc Chemical compound [Zn].C1=CSC=N1 FXVNBZGTAWLLNE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 1,4,4-triphenylbuta-1,3-dienylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C=1C=CC=CC=1)=CC=C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KVGZZAHHUNAVKZ-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxin Chemical compound O1C=COC=C1 KVGZZAHHUNAVKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TUSDEZXZIZRFGC-UHFFFAOYSA-N 1-O-galloyl-3,6-(R)-HHDP-beta-D-glucose Natural products OC1C(O2)COC(=O)C3=CC(O)=C(O)C(O)=C3C3=C(O)C(O)=C(O)C=C3C(=O)OC1C(O)C2OC(=O)C1=CC(O)=C(O)C(O)=C1 TUSDEZXZIZRFGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VFBJMPNFKOMEEW-UHFFFAOYSA-N 2,3-diphenylbut-2-enedinitrile Chemical group C=1C=CC=CC=1C(C#N)=C(C#N)C1=CC=CC=C1 VFBJMPNFKOMEEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NECRQCBKTGZNMH-UHFFFAOYSA-N 3,5-dimethylhex-1-yn-3-ol Chemical compound CC(C)CC(C)(O)C#C NECRQCBKTGZNMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FJNCXZZQNBKEJT-UHFFFAOYSA-N 8beta-hydroxymarrubiin Natural products O1C(=O)C2(C)CCCC3(C)C2C1CC(C)(O)C3(O)CCC=1C=COC=1 FJNCXZZQNBKEJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000017166 Bambusa arundinacea Nutrition 0.000 description 1
- 235000017491 Bambusa tulda Nutrition 0.000 description 1
- 239000005711 Benzoic acid Substances 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000284156 Clerodendrum quadriloculare Species 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QSJXEFYPDANLFS-UHFFFAOYSA-N Diacetyl Chemical group CC(=O)C(C)=O QSJXEFYPDANLFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical class C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001263 FEMA 3042 Substances 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N N-[2-oxo-2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930192627 Naphthoquinone Natural products 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OJUDHNSPIZQAOJ-UHFFFAOYSA-N O.O.O.[Na].C(N)(SCC)=S Chemical compound O.O.O.[Na].C(N)(SCC)=S OJUDHNSPIZQAOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000005035 Panax pseudoginseng ssp. pseudoginseng Nutrition 0.000 description 1
- LRBQNJMCXXYXIU-PPKXGCFTSA-N Penta-digallate-beta-D-glucose Natural products OC1=C(O)C(O)=CC(C(=O)OC=2C(=C(O)C=C(C=2)C(=O)OC[C@@H]2[C@H]([C@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)[C@@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)[C@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)O2)OC(=O)C=2C=C(OC(=O)C=3C=C(O)C(O)=C(O)C=3)C(O)=C(O)C=2)O)=C1 LRBQNJMCXXYXIU-PPKXGCFTSA-N 0.000 description 1
- 244000082204 Phyllostachys viridis Species 0.000 description 1
- 235000015334 Phyllostachys viridis Nutrition 0.000 description 1
- 102100026123 Pirin Human genes 0.000 description 1
- 101710176373 Pirin Proteins 0.000 description 1
- 229920002675 Polyoxyl Polymers 0.000 description 1
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 1
- NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N Quinacridone Chemical class N1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C1C(=O)C3=CC=CC=C3NC1=C2 NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PJANXHGTPQOBST-VAWYXSNFSA-N Stilbene Natural products C=1C=CC=CC=1/C=C/C1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-VAWYXSNFSA-N 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005864 Sulphur Substances 0.000 description 1
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YIYFFLYGSHJWFF-UHFFFAOYSA-N [Zn].N1C(C=C2N=C(C=C3NC(=C4)C=C3)C=C2)=CC=C1C=C1C=CC4=N1 Chemical compound [Zn].N1C(C=C2N=C(C=C3NC(=C4)C=C3)C=C2)=CC=C1C=C1C=CC4=N1 YIYFFLYGSHJWFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 1
- 230000032900 absorption of visible light Effects 0.000 description 1
- PQLVXDKIJBQVDF-UHFFFAOYSA-N acetic acid;hydrate Chemical compound O.CC(O)=O PQLVXDKIJBQVDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000013543 active substance Substances 0.000 description 1
- 125000004183 alkoxy alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002280 amphoteric surfactant Substances 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 1
- 150000001454 anthracenes Chemical class 0.000 description 1
- PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N anthraquinone Natural products CCC(=O)c1c(O)c2C(=O)C3C(C=CC=C3O)C(=O)c2cc1CC(=O)OC PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004056 anthraquinones Chemical class 0.000 description 1
- UEGOSOXLDDJUKS-UHFFFAOYSA-N arsenic;oxotin Chemical compound [As].[Sn]=O UEGOSOXLDDJUKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000011425 bamboo Substances 0.000 description 1
- 235000010233 benzoic acid Nutrition 0.000 description 1
- NDTSRXAMMQDVSW-UHFFFAOYSA-N benzthiazide Chemical class C1=C(Cl)C(S(=O)(=O)N)=CC(S(N2)(=O)=O)=C1N=C2CSCC1=CC=CC=C1 NDTSRXAMMQDVSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 1
- ZPFKRQXYKULZKP-UHFFFAOYSA-N butylidene Chemical group [CH2+]CC[CH-] ZPFKRQXYKULZKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 description 1
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N copper;5,10,15,20-tetraphenylporphyrin-22,24-diide Chemical compound [Cu+2].C1=CC(C(=C2C=CC([N-]2)=C(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(N=2)=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=C3[N-]2)C=2C=CC=CC=2)=NC1=C3C1=CC=CC=C1 RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960000956 coumarin Drugs 0.000 description 1
- 235000001671 coumarin Nutrition 0.000 description 1
- UBLYEVLMRSPMOG-UHFFFAOYSA-N cyclopentylmethanamine Chemical class NCC1CCCC1 UBLYEVLMRSPMOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004985 diamines Chemical class 0.000 description 1
- SMBQBQBNOXIFSF-UHFFFAOYSA-N dilithium Chemical compound [Li][Li] SMBQBQBNOXIFSF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AAQNGTNRWPXMPB-UHFFFAOYSA-N dipotassium;dioxido(dioxo)tungsten Chemical compound [K+].[K+].[O-][W]([O-])(=O)=O AAQNGTNRWPXMPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 1
- 125000003983 fluorenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3CC12)* 0.000 description 1
- GNBHRKFJIUUOQI-UHFFFAOYSA-N fluorescein Chemical compound O1C(=O)C2=CC=CC=C2C21C1=CC=C(O)C=C1OC1=CC(O)=CC=C21 GNBHRKFJIUUOQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000008434 ginseng Nutrition 0.000 description 1
- PJJJBBJSCAKJQF-UHFFFAOYSA-N guanidinium chloride Chemical compound [Cl-].NC(N)=[NH2+] PJJJBBJSCAKJQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 150000007857 hydrazones Chemical class 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 1
- YZASAXHKAQYPEH-UHFFFAOYSA-N indium silver Chemical compound [Ag].[In] YZASAXHKAQYPEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000009830 intercalation Methods 0.000 description 1
- 230000002687 intercalation Effects 0.000 description 1
- 238000000752 ionisation method Methods 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 239000003446 ligand Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- NMHMDUCCVHOJQI-UHFFFAOYSA-N lithium molybdate Chemical compound [Li+].[Li+].[O-][Mo]([O-])(=O)=O NMHMDUCCVHOJQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000004185 liver Anatomy 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 229940053326 magnesium salt Drugs 0.000 description 1
- 159000000003 magnesium salts Chemical class 0.000 description 1
- SJCKRGFTWFGHGZ-UHFFFAOYSA-N magnesium silver Chemical compound [Mg].[Ag] SJCKRGFTWFGHGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 229910000476 molybdenum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- DCZNSJVFOQPSRV-UHFFFAOYSA-N n,n-diphenyl-4-[4-(n-phenylanilino)phenyl]aniline Chemical class C1=CC=CC=C1N(C=1C=CC(=CC=1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC=CC=1)C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 DCZNSJVFOQPSRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002791 naphthoquinones Chemical class 0.000 description 1
- 238000007645 offset printing Methods 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N oxadiazole Chemical compound C1=CON=N1 WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002917 oxazolidines Chemical class 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N oxomolybdenum Chemical compound [Mo]=O PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- DGBWPZSGHAXYGK-UHFFFAOYSA-N perinone Chemical class C12=NC3=CC=CC=C3N2C(=O)C2=CC=C3C4=C2C1=CC=C4C(=O)N1C2=CC=CC=C2N=C13 DGBWPZSGHAXYGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- UOMHBFAJZRZNQD-UHFFFAOYSA-N phenoxazin-3-one Chemical compound C1=CC=C2OC3=CC(=O)C=CC3=NC2=C1 UOMHBFAJZRZNQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HXITXNWTGFUOAU-UHFFFAOYSA-N phenylboronic acid Chemical compound OB(O)C1=CC=CC=C1 HXITXNWTGFUOAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003227 poly(N-vinyl carbazole) Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000768 polyamine Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920001021 polysulfide Polymers 0.000 description 1
- 239000005077 polysulfide Substances 0.000 description 1
- 150000008117 polysulfides Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- RKCAIXNGYQCCAL-UHFFFAOYSA-N porphin Chemical group N1C(C=C2N=C(C=C3NC(=C4)C=C3)C=C2)=CC=C1C=C1C=CC4=N1 RKCAIXNGYQCCAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- JEXVQSWXXUJEMA-UHFFFAOYSA-N pyrazol-3-one Chemical compound O=C1C=CN=N1 JEXVQSWXXUJEMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 1
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 1
- 230000027756 respiratory electron transport chain Effects 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- NGFMICBWJRZIBI-UJPOAAIJSA-N salicin Chemical class O[C@@H]1[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](CO)O[C@H]1OC1=CC=CC=C1CO NGFMICBWJRZIBI-UJPOAAIJSA-N 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- APSBXTVYXVQYAB-UHFFFAOYSA-M sodium docusate Chemical group [Na+].CCCCC(CC)COC(=O)CC(S([O-])(=O)=O)C(=O)OCC(CC)CCCC APSBXTVYXVQYAB-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- GROMGGTZECPEKN-UHFFFAOYSA-N sodium metatitanate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Ti](=O)O[Ti](=O)O[Ti]([O-])=O GROMGGTZECPEKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CMZUMMUJMWNLFH-UHFFFAOYSA-N sodium metavanadate Chemical compound [Na+].[O-][V](=O)=O CMZUMMUJMWNLFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TVXXNOYZHKPKGW-UHFFFAOYSA-N sodium molybdate (anhydrous) Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Mo]([O-])(=O)=O TVXXNOYZHKPKGW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HVTHJRMZXBWFNE-UHFFFAOYSA-J sodium zincate Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[Na+].[Na+].[Zn+2] HVTHJRMZXBWFNE-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- DXIHILNWDOYYCH-UHDJGPCESA-M sodium;(e)-3-phenylprop-2-enoate Chemical compound [Na+].[O-]C(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1 DXIHILNWDOYYCH-UHDJGPCESA-M 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 210000003802 sputum Anatomy 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 235000021286 stilbenes Nutrition 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 230000033772 system development Effects 0.000 description 1
- LRBQNJMCXXYXIU-NRMVVENXSA-N tannic acid Chemical compound OC1=C(O)C(O)=CC(C(=O)OC=2C(=C(O)C=C(C=2)C(=O)OC[C@@H]2[C@H]([C@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)[C@@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)[C@@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)O2)OC(=O)C=2C=C(OC(=O)C=3C=C(O)C(O)=C(O)C=3)C(O)=C(O)C=2)O)=C1 LRBQNJMCXXYXIU-NRMVVENXSA-N 0.000 description 1
- 229940033123 tannic acid Drugs 0.000 description 1
- 235000015523 tannic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229920002258 tannic acid Polymers 0.000 description 1
- PCCVSPMFGIFTHU-UHFFFAOYSA-N tetracyanoquinodimethane Chemical compound N#CC(C#N)=C1C=CC(=C(C#N)C#N)C=C1 PCCVSPMFGIFTHU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KTQYWNARBMKMCX-UHFFFAOYSA-N tetraphenylene Chemical group C1=CC=C2C3=CC=CC=C3C3=CC=CC=C3C3=CC=CC=C3C2=C1 KTQYWNARBMKMCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RMVRSNDYEFQCLF-UHFFFAOYSA-N thiophenol Chemical compound SC1=CC=CC=C1 RMVRSNDYEFQCLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- 150000003852 triazoles Chemical class 0.000 description 1
- 125000006617 triphenylamine group Chemical group 0.000 description 1
- IUURMAINMLIZMX-UHFFFAOYSA-N tris(2-nonylphenyl)phosphane Chemical compound CCCCCCCCCC1=CC=CC=C1P(C=1C(=CC=CC=1)CCCCCCCCC)C1=CC=CC=C1CCCCCCCCC IUURMAINMLIZMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PBYZMCDFOULPGH-UHFFFAOYSA-N tungstate Chemical compound [O-][W]([O-])(=O)=O PBYZMCDFOULPGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- LSGOVYNHVSXFFJ-UHFFFAOYSA-N vanadate(3-) Chemical compound [O-][V]([O-])([O-])=O LSGOVYNHVSXFFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N vanadium Chemical compound [V]#[V] GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001935 vanadium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
- NWONKYPBYAMBJT-UHFFFAOYSA-L zinc sulfate Chemical compound [Zn+2].[O-]S([O-])(=O)=O NWONKYPBYAMBJT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000166 zirconium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/17—Carrier injection layers
- H10K50/171—Electron injection layers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Description
200946604 ' 六、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關在有機電致發光元件中,為了形成中間 層而使用的中間層形成塗佈液、有機電致發光元件之製造 方法、以及使用此等所形成之有機電致發光元件。 【先前技術】 有機電致發光元件(以下,有稱為有機EL元件之情形) 是發光元件之一。有機EL元件具備含有有機物之發光層以 ❹及挾持此發光層之一對電極(陽極及陰極),藉由外加電壓 到該一對電極,自陽極注入電洞同時自陰極注入電子,此 等電洞與電子在發光層中結合而發光。如此之有機EL元件 係以驅動電壓之低電壓化以及元件之長壽命化等為目的, 在電極與發光層之間設置與發光層不同之中間層。作為如 此之中間層者,例如有:電子注入層、電洞注入層、電洞 輸送層、以及電子輸送層等(例如參照專利文獻1或2)。 _ [專利文獻1]日本特開平9-17574號公報 [專利文獻2]日本特開2000-243569號公報 【發明内容】 (發明欲解決之課題) 電子注入層,例如藉由電子束(electron beam:簡稱 EB)蒸鍍法、或是電阻加熱蒸鍍法等之蒸鍍法而形成。在如 此之方法中,為了作成真空環境而必需要真空裝置,使裝 置及製程變得複雜,而有元件之製造成本變高之問題存在。 因此,本發明之目的係提供不必要真空環境而以簡易 3 321147 200946604 方法形成中間層之手段,以及使用此等手段製造有機電致 發光元件之方法、以及有機電致發光元件。 (解決課題之手段) 為了解決上述課題,本案發明人等研究檢討不必要真 空環境而以塗佈法形成中間層之方法,發現可以在該塗佈 法中使用,並且可以在形成中間層中使用之中間層形成塗 佈液,遂而完成本發明。 本發明是一種中間層形成塗佈液,其係在具備至少一 對電極、設置在該一對電極之間含有機物之發光層、以及 ❹ 設置在電極與發光層間之中間層之有機電致發光元件中, 為了形成中間層而使用的塗佈液,其特徵係溶解鹼金屬鹽 而得。 再者,本發明為中間層形成塗佈液,其中,前述驗金 屬鹽為選自鉬酸、鎢酸、钽酸、鈮酸、釩酸、鈦酸、及辞 酸所成群組中至少一種酸之鹽者。 再者,本發明為中間層形成塗佈液,其中,前述鹼金 q 屬鹽為選自鋰、鈉、鉀、铷及鉋所成群組中至少1種金屬 之鹽者。 再者,本發明為中間層形成塗佈液,其中,前述鹼金 屬鹽為鉋鹽者。 再者,本發明為中間層形成塗佈液,其中,前述鹼金 屬鹽為顧酸絶者。 再者,本發明為中間層形成塗佈液,其中,含有醇及 /或水者。 321147 200946604 再者,本發明為中間層形成塗佈液,其中,含有界面 活性劑者。 再者,本發明為中間層形成塗佈液,其中,對於由聚 萘二甲酸乙二酯(polyethylene naphthalate,PEN)所成基 板的接觸角為60。以下者。 再者’本發明為中間層形成塗佈液,其中,氫離子指 數為7以上13以下者。 再者’本發明為有機電致發光元件之製造方法,係使 對電極,5又置在該一對電極之間之含有機物之發光層; 以及設置在電極與發光層之間的中間層分別成膜者, 其特徵為使用前述中間層形成塗佈液,藉由塗佈法形 成該中間層之膜者。 再者,本發明為有機電致發光元件,係具備: 一對電極;與 八 設置在該一對電極之間之含有機物之發光層;與 ❹ 設置在電極與發光層之間的中間層; 該中間層係使用前述中間層形成塗佈液,藉由塗佈法 而形成者。 (發明效果) 依本發明,藉由使用中間層形成塗体液,不用製作真 空環境而以塗佈法就可以容易地形成中間層。 【實施方式】 (發明實施之最佳形態) 第1圖是表示本發明實施形態之—的有機電致發光元 321147 5 200946604 件(以下有稱為EL元件之情形)丨之正面圖。本發明實施形 態的有機EL元件1 ’例如可使用在全彩色顯示裝置、部分 彩色顯示裝置、液晶顯示裝置等顯示裝置中之光源,以1 照明裝置等。 本實施形態之有機EL元件丨,係具備一對電極(在本 實施形態中是陽極2及陰極3)、設置在該一對電極之間含 有有機物之發光層4、與設置在電極(在本實施形態中是陰 極3)與發光層4間之中間層(在本實施形態中是電子注入 層5) ’而該中間層係使用後述之中間層形成塗佈液藉由塗 佈法而形成。本實施形態有機EL元件1,復具備基板6及 設置在陽極2與發光層4之間的電洞注入層7,在基板6 上,依照陽極2、電洞注入層7、發光層4、電子注入層5、 及陰極3之順序積層的結構,分別成膜而製成。 本實施形態之有機EL元件1,係將來自發光層4之光 從基板6侧射出,即所謂的底部發光(bottom emission) 型之元件’適合使用對於可視光區域的光之透過率高的基 板6。同時,作為基板6者,適合使用在形成有機EL元件 1之步騾中不會有變化者,可以使用硬的基板、也可以是 軟性基板,例如可以使用玻璃、塑膠、高分子薄膜、矽基 板、金屬板、積層此等之基板等。再者,也可以使用經低 透水處理過之塑膠、高分子薄膜等。作為前述基板6者, 可以使用市售品,同時可以藉由習知之方法來製造。然而, 自陰極3側射出光之所謂頂部發光(ΐ〇ρ emissi〇n)型有機 EL元件’基板也可以是不透光性基板。 321147 6 200946604 在陽極2,適合使用低電阻薄膜。陽極2及陰極3之 中至少任一方是透明的,例如, 底部發光型之有機el元件 方面,配置在基板6側之陽極9 θ 嗯極2是透明的,適合使用對於 可視光區域之光的透過率高者。 ^ ^ ^ s 有作為陽極2之材料,可使 用有導電性之金屬氧化物及金屈笼 久变屬溥膜等。具體上’作為陽 極2可使用氧化銦、氧化鋅、备/ 乳化錫、銦錫氧化物(Indium Tin Oxide:簡稱⑽、及銦鋅氧化物(indiumZinc〇xide: 簡稱_等所成之薄膜,或金mu# 〇至少1種以上此等金屬之合金等。其中,作為陽極2者, 從透過率、作圖案的容易度而言,適合使用由ιτ〇、ιζ〇、 及氧化錫所成之薄膜。然而,在頂部發光型之有機EL元件 方面,作為陽極2者,以由能夠將來自發光層4之光反射 到陰極3侧的材料所形成者為佳,作為該材料者,以使用 功能常數3.㈣以上之金屬、金屬氧化物、金屬硫化物為 佳。例如使用使光反射程度之膜厚的金屬薄膜。 ® 陽極2之製作方法’可以列舉如:真空蒸鍍法、錢錢 法、離子電鍵法、電鑛法等。同時,作為陽極2者,也可 以使用聚苯胺或其衍生物'聚嗟吩或其衍生物等之有機透 月導電膜产同時’也可以使用在前述有機透明導電膜中使 用之材料等或含有金屬氧化物、金屬硫化物或金屬等碳奈 米管等碳材料之至少1種以上之混合物。陽極之膜厚,係 考慮光之透過|±與電傳導度而作適當選擇 ,例如為5 nm至! 10//m、較佳為1〇 nm至,更佳為⑽至5〇〇⑽。 電洞;主入層7 ’係具有改善由陽極2之電洞注入效率 321147 7 200946604 機能之層。作為構成電洞注入層7之電洞注入材料,並無 特別限制,可以適當使用習知之材料,可例舉如:苯基胺 系化合物、星型胺(starburst amine)系化合物、駄菁 (phthalocyanine)系化合物、腙(hydrazone)衍生物、叶哇 (carbazole)衍生物、三唑(triazole)衍生物、咪唑 (imidazole)衍生物、具有胺基之噁二唑(oxadiaz〇le)衍生 物、及氧化釩、氧化鉬、氧化釕、氧化鋁等之氧化物,以 及無定型碳、聚苯胺、聚噻吩衍生物等。 電洞注入層7,例如是將經溶劑溶解之前述電洞注入 ❹ 材料塗佈液藉由塗佈法塗佈而形成。溶劑只要能溶解電洞 注入材料者即可,例如可列舉:氯仿、水、氯化乙烯、二 氯乙烷等氯系溶劑;四氫呋喃等醚系溶劑;曱苯、二甲苯 等芳香族烴系溶劑;酮、甲基乙基酮等酮系溶劑;乙酸乙 酯、乙酸丁酯、乙基纖維素乙酸酯等酯系溶劑。 作成電洞注入層7之膜的塗佈法,可以列舉如:旋轉 塗膜法、鑄模法、微凹版塗膜法(micro gravure)、凹版塗 膜法(gravure)、棒塗膜法(bar coating)、輥筒塗膜法、 〇 線棒塗膜法(wire bar coating)、浸潰塗膜法、喷霧塗膜 法、網版印刷法、軟版印刷法(flexo printing)、平版印 刷法(offset printing)、及噴墨印刷法等。使用此等塗佈 法中之一種,藉由在形成陽極2之基板6上塗佈前述塗佈 液,可以形成電洞注入層7。 同時也可以使用真空蒸鍍法等來成膜。再者,若為金 屬氧化物也可以使用減鑛法、離子電鑛法等來成膜。 321147 8 200946604 電洞’主入層7之厚度是隨使用材料不同而有不同之最 適值,以使驅動電壓及發光效率成為適度值之方式來選 擇’必需至少要有不產生針孔之厚度,太厚時因元件之驅 動電壓變南故而不佳。因此,作為電洞注人層7之膜厚, 例如是1 mn至l#m,較佳為2咖至5〇0 ηπι,更佳是5 nm 至 200 nm 〇 發光層4是含有能發出螢光及/或磷光之有機物的結 構或疋3有該有機物與摻配物(dopant)之結構 。播配物, 例如是以提高發光效率或變更發光波長等 目的而賦加。在 發光層4使用之發光材料,只要是低分子化合物或是高分 子化合物之任意者都可以,例如可以列舉以下之物質。 作為色素系之發光材料者,可列舉如:環戊丙甲胺衍 生物、四苯基丁二烯衍生化合物、三苯基胺衍生物、噁二 唾衍生物、吨唑喹啉衍生物、二苯乙烯基苯衍生物、二苯 乙婦基伸芳香基(distyryl arylene)衍生物、π比洛衍生 ⑩物、嗟吩環化合物、°比咬環化合物、紫環酮(perinone)衍 生物、花衍生物、寡噻吩衍生物、噁二唑二聚物、吡唑啉 一 t物、噎吖鲷(quinacridone)衍生物、及香豆素(cumarin) 衍生物等。 作為金屬錯體系之發光材料者,可以列舉中心金屬 有:Al、Zn、Be等,或是Tb、Eu、Dy等稀土族金屬,配 位子有· °惡二唾、嗟二嗤、苯基ϋ比咬、苯基笨併味唾、啥 淋結構等之金屬錯體,例如可列舉:具有從銥錯體、敍錯 體等之三重項激起狀態之發光的金屬錯體、鋁喹咐盼錯 321147 9 200946604 體、笨併喹啉酚鈹錯體、苯併噁唑啉鋅錯體〜、 錯體、偶氮基甲基鋅錯體、卟啉鋅錯體、^銪、笨併噻唑鋅 作為南分子系之發光材料者,可列舉如.冬 基亞乙烯)衍生物、聚噻吩衍生物、聚(對〜j聚(對〜伸笨 聚石夕院衍生物、聚乙快衍生物、聚苟衍生物本基),生物、 口卡唾衍生物等、以及將上述色素系之發光埽基 系之發光材料經高分子化之物質等。 ,或金屬錯體 ❹ 上述發光材料之中,作為青色發光之 如:二苯乙烯基伸芳香基衍生物、噪嗤二 0列舉 此等之聚合物、聚乙烯基咔唑衍 /物、以及 物™物等。其中也以高:子材=笨:生 何生二”乍對為=基)衍生物、或聚苟衍生物等為佳。坐 R守:作為、、亲色發光之材料者,可列舉如:喧 物、香旦餘生物、及料之聚合物、聚(對-伸: 乙稀)衍生物、聚8衍生物等。其中以高分子材料之聚(土對 伸苯基亞乙烯)衍生物、聚苟衍生物等為佳。(對一 〇 同時,作為紅色發光之材料者,可列舉如:香 生物、嗟吩環化合物、及此等之聚合物、聚(對-伸笨某亞丁 乙缚)衍生物、聚齡衍生物、聚奸生物等,其中也^ ::材對—伸苯基亞乙歸)衍生物、聚嗟吩衍生物、 1勿仿生物等為佳。 作為摻配材料者,可列舉如:絲生物、香豆素衍生 、工螢稀何生物、七丫酮衍生物、四方_(琴…⑽) 竹生物、口卜琳衍生物、苯乙烯基系色素、祠四苯(W) 321147 10 200946604 衍生物、吡唑啉酮(pyrazolone)衍生物、十環烯、吩噁嗪 酮等。然而,如此之發光層4的厚度,通常約2 nm至2〇〇〇 nm ° 製作發光層4的成膜方法,係將含有發光材料之溶液 塗佈在基體表面的方法、真空蒸鍍法、複印法等。含有發 光材料溶液之溶劑,可以使用形成電洞注入層7時所使用 塗佈液之溶劑。 料塗佈含有發储料之溶液的方法,可以使用旋轉 ©塗膜法、鑄模法、微凹版塗膜法、凹版塗膜法、棒塗膜法、 輥筒塗膜法、線塗膜法、浸潰塗膜法、縫隙塗膜法、毛細 管塗膜法、喷霧塗膜法、嘴嘴塗膜法等塗膜法,凹版印刷 法、網版印刷法、軟版印刷法、平版印刷法、逆轉印刷法、 噴墨印刷法等塗佈法。由圖案形成或多色分塗之容易度而 言,以凹版印刷法、網版印刷法、軟版印刷法、平版印刷 法、逆轉印刷法、喷墨印刷法為佳。同時,在呈現昇華性 ❿之低分子化合物之情形,可以使用真空蒸鍍法。再者,藉 由雷射或摩擦之複印或熱複印等之方法,也可以只在預期 之處形成發光層4。 電子注入層5是為了改善主要來自陰極3之電子注入 效率而設置,可以藉由將巾間層形成塗佈液在發光層4之 表面上塗佈後乾燥而形成。在形成電子注入層5時使用之 中間層形成塗佈液,係由溶解驗金屬鹽而得。同時,中間 層形成塗佈液雖至少含有驗金屬鹽,但也可以 屬鹽不同之材料。作為在中間層形成塗佈液所含與驗金屬 321147 200946604 鹽不同之材料,可以列舉如導電性有機化合物、增黏安定 劑等。亦即使用中間層形成塗佈液形成之電子注入層5, 是含有鹼金屬鹽之結構。同時,電子注入層5也可以是只 由鹼金屬鹽所構成。 鹼金屬鹽係選自鋰、鈉、鉀、铷及鉋所成群組中之至 少1種金屬鹽,其中以選自鈉、鉀、鉋、鋰所成群組中之 至少1種金屬鹽為佳,以鉋鹽最佳。因鹼金屬鹽之功能常 數低,使用中間層形成塗佈液所形成之電子注入層5容易 自陰極3注入電子。藉此可以謀求有機EL元件1之驅動電 ❹ 壓的低壓化。 鹼金屬鹽是以選自鉬酸、鎢酸、钽酸、鈮酸、釩酸、 鈦酸及鋅酸所成群組中至少1種酸之鹽為佳。作為鹼金屬 鹽者,可以列舉如以一般式:M2M0O4、M2WO4、M2Ta2〇6、M2Nb2〇6、 M3V〇4、M3V2〇6、M2Ti〇3、M2Zn〇2所示之鹽(式中,Μ表示驗金 屬)。具體而言可列舉:鉬酸鋰、鎢酸鋰、釩酸鋰、鈮酸鋰、 钽酸鋰、鈦酸鋰、鋅酸鋰、鉬酸鈉、鎢酸鈉、釩酸鈉、鈮 ^
U 酸納、钮酸納、鈦酸納、鋅酸納、銦酸鉀、鎢酸鉀、飢酸 钟、銳酸奸、组酸鉀、欽酸卸、辞酸链、錮酸敛1、鶴酸、 饥酸#〇、銳酸#〇、组酸#α、欽酸#〇、辞酸#〇、銦酸絶、鎢 酸絶、凱酸絶、銳酸絶、組酸絶、欽酸飽、鋅酸絶。同時 作為鹼金屬鹽者,可以1種或複數種之鹼金屬,也可以是 與1種或複數種酸之鹽,可列舉如:鉬酸鎢酸鋰鈉、鉬酸 銳酸鈉絶、飢酸组酸絶等。再者,作為驗金屬鹽者,以絶 鹽為佳,例如可列舉選自鉬酸、鎢酸、鈕酸、鈮酸、釩酸、 12 321147 200946604 及欽酸所成群組中至少丨種酸之㈣。作為驗金屬鹽者, 其中以鉬酸绝(Cs2M〇〇4)為佳,藉由形成含有鉬酸錄之電子 注入層5,可以有效降低有機EL元件i之驅動電壓。同時, 鹼金屬鹽因為比鹼金屬單體更缺乏反應性,故由使用中間 層形成塗佈液,可以形成經時變化小的電子注入層5。 作為中間層形成塗佈液之溶劑,只要能溶解前述鹼金 屬鹽者即可,而以含有醇及/水者為佳。 中間層形成塗佈液以復含界面活性劑為佳。藉由界面 ® 活性劑可以降低中間層形成塗佈液之表面張力,故提高中 間層形成塗佈液對所塗佈之層(在本實施形態中是發光層 4)的濕濡性,可以使使用中間層形成塗佈液所形成之中間 層(在本實施形態中是電子注入層5)之層厚均勻。作為如 此之界面活性劑者,可例舉陰離子性界面活性劑、陽離子 性界面活性劑、兩性界面活性劑、及非離子性界面活性劑 等,具體上,可以列舉如:多元醇之烷基醚、多元醇之烷 ❹基酯、聚環氧乙烷烷基醚、聚環氧乙烷燒基酯、聚環氧丙 烷烷基醚、聚環氧丙烷烷基酯、及乙炔二醇以及此等烷基 之氫原子的至少一部分被氟原子取代所成之氟素系非離子 性界面活性劑。針對所塗佈之層(在本實施形態中是發光層 4)中間層形成塗佈液之濕濡性愈高,愈能使中間層之層厚 均勻而較佳’對於由聚萘二甲酸乙二酯(p〇lyethylene Naphthalate,PEN)所成之基板(以下,有稱為PEN基板之 情形),中間層形成塗佈液之接觸角以在6〇。以下為佳。藉 由使用對PEN基板顯示如此接觸角之中間層形成塗佈液, 13 321147 200946604 可以形成表面粗糙度小之平坦中間層(在本實施形態中是 電子注入層5)。 中間層形成塗佈液,係藉由在前述含有醇及/水等之 溶劑中溶解前述驗金屬鹽而得。同時也可以再添加如前述 之界面活性劑。又,作為中間層形成塗佈液者,只要是該 中間層形成塗佈液乾燥後析出鹼金屬鹽之液體就可以,沒 有必要得到被溶解之驗金屬鹽。 在發光層4表面塗佈中間層形成塗佈液之方法,可以 使用旋轉塗膜法、鑄模法、微凹版塗膜法、凹版塗膜法、 棒塗膜法、輥筒塗膜法、線塗膜法、浸潰塗膜法、縫隙塗 膜法、毛細管塗膜法、喷霧塗膜法、喷嘴塗膜法等塗膜法, 凹版印刷法、網版印刷法、軟版印刷法、平版印刷法、逆 轉印刷法、喷墨印刷法等塗佈法。由圖案形成或多色分塗 之容易度而言,以凹版印刷法、網版印刷法、軟版印刷法、 平版印刷法、逆轉印刷法、喷墨印刷法為佳。 電子注入層5之層厚,係隨使用之材料而有不同之最 適值,以使驅動電壓及發光效率成為適度值之方式選擇, 必需至少要有不產生針孔之厚度,太厚時因元件之驅動電 壓變高而不佳。因此,電子注入層5之膜厚,通常是1 nm 至1 # m,車交佳為2 nm至500 nm,更佳是3 nm至200 nm。 作為陰極3的材料,以功能常數小、對發光層4之電 子注入容易者為佳,同時電傳導度高者為佳。同時自陽極 2侧射出光之情形,為了將來自發光層4之光反射到陽極2 侧,以可視光反射率高者為佳。作為陰極3之材料,可以 14 321147 200946604 使用驗族金屬、驗土族金屬、過渡金屬及π卜㈣金屬等 金屬。具體上,作為陰極3的材料者,可以使用鐘、鋼、 鉀、釕 '鉋、鈹、鎂、鈣、勰、鎖、紹、銃、釩、鋅、釔、 銦、鈽、釤、錄、餌、铽、鏡、金、銀、翻、銅、錳、鈦、 姑、錄、鶴、錫、或含有此等金屬至少j種以上之合金、 或石墨或石墨層間化合物等。合金之例可列舉如:鎂°一銀合 金、鎮-銦合金、鎂—紹合金、銦—銀合金、链—銘合金、鐘^ Λ鎂合金、鐘-銦合金、約-紹合金等。同時,作為陰極3, 〇可以使用透明導電性電極,例如可以使用:氧化鋼、氧化 辞、氧化錫、ΙΤ0及ΙΖ0等導電性金屬氧化物所成之薄膜、 或由t笨胺或其衍生物、聚嗟吩或其衍生物等導電性有機 物所成之薄膜。同時,陰極也可以為2層以上之積層結構。 以上說明本實施形態之有機EL元件1,係使用中間層 形成塗佈液,藉由塗佈法形成電子注入層5。依此,與由 蒸鑛法等在真空環境中形成電子注入層5之以往技術相 ❹比’不必作成真空環境而可以簡易地形成電子注入層5, 可以降低有機EL元件之製造成本。 尤其使用溶解鹼金屬鹽而得之中間層形成塗佈液,因 形成連接在陰極3之電子注入層5,故可以降低有機EL元 件1之驅動電壓。 同時,有機EL元件,只要在陽極2與陰極3之間至少 設置有發光層4即可,陽極2與陰極3之間的層結構,並 不限於前述實施形態之有機EL元件1之層結構。發光層通 常雖設置1層’但並不限定如此,也可以設置成2層以上 15 321147 200946604 之發光層。此時,2層以上之發光層可以直接連接而積層, 也可以在相關層之間設置發光層以外之層。 以下,說明在陽極2與陰極3之間設置之層結構的一 個例子。同時,以下之說明中,有關陽極、陰極、發光層、 電洞注入層、及電子注入層,有省略重覆說明之情形。 作為設置在陰極與發光層之間的層者,可以列舉:電 子注入層、電子輸送層、電洞阻擋層(hole block layer, HBL)等。在陰極與發光層之間,設有電子注入層與電子輸 送層等兩層的情形,位在陰極近側之層稱為電子注入層, 0 位在發光層近侧之層稱為電子輸送層。 電子注入層係具有改善自陰極注入電子效率之機能的 層。電子輸送詹疋具有改善自陰極、或電子注入層、或是 比陰極近之電子輸送層之電子注入機能之層。電洞阻擋層 是有攔住電洞輸送機能之層,時,電子注人層或電子輸 送層有兼作電洞阻擋層之情形。 作為設置在陽極與發光層之間的層,可以列舉:前述 之電洞注人層、電洞輸送層、電子阻播層(eiectrQnMc)ck layer)等。在陽極與發光層之間,設有電洞注入層與電洞 輸送層等兩層時,位在陽極近侧之層稱為電洞注入層,位 在發光層近侧之層稱為電洞輸送層。 電洞庄入層係具有改善自陽極注入電洞效率機能的 9電洞輸送層是具有改善自陽極、或電洞注入層、或是 =陽極近之電洞輸送層的電洞注入機能之層。電子阻擋層 疋具有攔住電子之輸送機能之層。電洞注入層或電洞輸送 321147 16. 200946604 層有兼作電子阻撞層之情形。 声,=;1將電子注入層及電祠注入層總稱為電荷注入 ^ :電子輪送層及電洞輸送層總稱為電荷輪送層之情 二也有將電子阻擋層及電洞阻擋層總稱為電荷阻擒層: 電子輸送 ❹ β有機EL TL件之層結構的具體例子表示如下。 a)陽極/電祠注入層/電洞輸送層/發光層/ 層/電子注入層/陰極 陽極/電,同〉主入層/電洞輸送層/發光層/電子輸送 層/陰極 、 )陽極/電洞注入層/電洞輸送層/發光層/電子注入 層/陰極 d) 陽極/電洞注入層/電洞輸送層/發光層/陰極 e) 陽極/電洞注入層/發光層/電子輸送層/電子注入 層/陰極 © 陽極/電洞注入層/發光層/電子輸送層/陰極 g) IV極/電洞注入層/發光層/電子注入層/陰極 h) 陽極/電洞注入層/發光層/陰極 i) 陽極/電洞輸送層/發光層/電子輸送層/電子注入 層/陰極 J’)陽極/電洞輸送層/發光層/電子輸送層/陰極 k) 陽極/電洞輸送層/發光層/電子注入層/陰極 l) 陽極/電洞輸送層/發光層/陰極 m) 陽極/發光層/電子輸送層/電子注入層/陰極 17 321147 200946604 η)陽極/發光層/電子輸送層/陰極 〇)陽極/發光層/電子注入層/陰極 Ρ)陽極/發光層/陰極 (在此,記號「/」是表示挾住此記號「/」的2層為 鄰接而積層之意,以下相同。) 於上述層結構之各例中,在發光層與陽極或是電洞注 入層或是電洞輸送層之間,可以插入電子阻擋層。同時, 發光層與陰極或是電子注入層或是電子輸送層之間,可以 插入電洞阻擋層。 又有機EL元件亦可以具有2層以上之發光層。作為具 有2層發光層的有機EL元件之元件結構,可以列舉以下之 例子。 q) 陽極/電洞注入層/電洞輸送層/發光層/電子輸送 層/電子注入層/電極/電洞注入層/電洞輸送層/ 發光層/電子輸送層/電子注入層/陰極 又作為具有3層以上之發光層的有機EL元件之元件結 構,係將(電極/電洞注入層/電洞輸送層/發光層/電子 輸送層/電子注入層)作為一個重覆單元,可以列舉以下含 有2個以上重覆單元的例子。 r) 陽極/電荷注入層/電洞輸送層/發光層/電子輸送 層/電荷注入層/重覆單元/重覆單元/· · ·/陰極 在上述層結構q及r中,陽極、陰極、發光層以外之 各層因應需要可以免除。又上述層結構q及r中,將與電 子輸送層接連之電荷注入層,與前述實施形態的電子注入 18 321147 200946604 層5同樣,亦可以藉由塗佈中間層形成塗佈液而形成。 自基板6射出光之底部發光型有機EL元件,相對於發 光層’在基板6側所配置之層是全透明之層的結構。又自 與基板6相反側之陰極3侧射出光之所謂頂部發光型有機 EL元件’相對於發光層,在陰極3侧所配置之層是全透明 之層的結構。 有機EL元件,為了更提高與電極之密著性,或改善自 電極之電荷注入效率,亦可以鄰接電極設置膜厚為2 nm以 ® 下之絕緣層’同時,為了提高界面之密著性或防止各層之 混合等,在鄰接之前述各層的界面亦可以插入薄的緩衝層。 以下,說明有關各層之具體結構。 <電洞輸送層> 作為構成電洞输送層之電洞輸送材料,並無特別限 制,例如可列舉:Ν,Ν’-二苯基-N,N,-二(3-曱基苯基) -4,4’-二胺基聯苯(丁?0)、肝6(4,4,-雙[1^-(1-萘基)項-苯 ❹基胺基]雙本基)專芳香族胺衍生物、聚乙稀基味σ坐或是其 衍生物、聚矽烷或是其衍生物、在侧鏈或是在主鏈有芳香 族胺之聚梦氧烧衍生物、η比唾琳衍生物、芳基胺衍生物、 二苯乙烯衍生物、三苯基二胺衍生物、聚苯胺或是其衍生 物、聚噻吩或是其衍生物、聚芳基胺或是其衍生物、聚吡 洛或是其衍生物、聚(對-苯伸基亞乙烯基)或是其衍生物、 以及聚(2, 5-伸噻吩基亞乙烯基)或是其衍生物等。 此等電洞輸送材料之中,作為電洞輸送材料者,以聚 乙烯基味唾或是其衍生物、聚石夕烧或是其衍生物、在侧鍵 321147 19 200946604 或是在主鏈有芳香族胺化合物基之聚矽氧烷衍生物、聚苯 胺或是其衍生物、聚噻吩或是其衍生物、聚芳基胺或是其 衍生物、聚(對-苯伸基亞乙浠基)或是其衍生物、以及聚 (2,5 -伸噻吩基亞乙烯基)或是其衍生物等高分子的電洞輸 送材料為佳,而以聚乙稀基σ卡嗤或是其衍生物、聚石夕烧或 是其衍生物、在側鏈或是在主鏈有芳香族胺之聚矽氧烷衍 生物等更佳。對於低分子之電洞輸送材料,以分散在高分 子黏著劑中使用為佳。 電洞輸送層之成膜方法,在低分子之電洞輸送材料方 面,可以列舉如:藉由與高分子黏著劑之混合溶液而成膜 的方法。在高分子之電洞輸送材料方面,可以列舉如由溶 液之成膜的方法。 自溶液成膜使用的溶劑,只要能溶解電洞輸送材料者 即可,可以列舉如:氣仿、二氯甲烷、二氯乙烷等氣系溶 劑,四氫呋喃等之醚系溶劑、曱苯 '二曱苯等芳香族烴系 溶劑,丙酮、曱乙酮等酮系溶劑,乙酸乙酯、乙酸丁酯、 乙基纖維素乙酸酯等酯系溶劑。 自溶液成膜之方法,可以列舉如:與電洞注入層7之 成膜方法所列舉方法相同的塗佈法。 混合之高分子黏著劑,以極度不阻礙電荷輸送者為 宜,同時適合使用對可視光吸收弱者。該高分子黏著劑, 可以列舉如:聚碳酸酯、聚丙烯酸酯、聚甲基丙烯酸酯、 聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯、聚氯化乙烯、聚矽氧烷等。 電洞輸送層之膜厚,依所使用之材料而有不同之最適 20 321147 200946604 值,以使具有適當驅動電壓與發光效率之值方式來選擇, 至少必需要有不會產生針孔之厚度,過厚時,元件之驅動 電壓變高而不佳,因此,電洞輸送層之膜厚,例如是1 nm 至l//m,而以2nm至500 nm為佳,更佳是5nm至200 nm。 <電子輸送層> 構成電子輸送層之電子輸送材料,可以列舉如:惡二 唑(oxadiazole)衍生物、蒽醒二甲烧或其衍生物、苯職或 其衍生物、萘醌或其衍生物、蒽醌或其衍生物、四氰基蒽 ❹醌二甲烷或其衍生物、芴衍生物、二苯基二氰基乙烯或其 衍生物、聯對苯醌衍生物、以及8-羥基喹啉或其衍生物之 金屬錯體、聚喹啉或其衍生物、聚喹喔啉或其衍生物、聚 芴或其衍生物等。 此等之中,電子輸送材料以噁二唑衍生物、苯醌或其 衍生物、蒽酿或其之衍生物、或是8-經基喧#或其衍生物 之金屬錯體、聚喹啉或其衍生物、聚喹喔啉或其衍生物、 φ 聚芴或其之衍生物為佳,以2-(4-聯苯基)-5-(4-第三-丁 基苯基)-1, 3, 4-噁二唑、苯醌、蒽醌、參(8-喹啉醇)鋁、 聚喹啉更佳。 電子輸送層之成膜法,在低分子之電子輸送材料方 面,可以列舉如:由粉末之真空蒸鍍法、以及由溶液或熔 融狀態之成膜方法,在高分子之電子輸送材料方面,可以 列舉如:由溶液或熔融狀態成膜的方法。由溶液或熔融狀 態成膜,可再併用高分子黏著劑由溶液之電子輸送層成膜 方法,可以列舉:與由前述溶液之電洞輸送層成膜方法相 21 321147 200946604 同之成膜法。 電子輸送層之膜厚,依所使用之材料而有不同之最適 值,以使具有適當驅動電壓與發光效率值之方式來選擇就 可以,至少必需要有不會產生針孔之厚度,過厚時,元件 之驅動電壓變高而不佳,因此,該電子輸送層之膜厚,例 如是1 nm至1 /z m,而以2 rnn至5 0 0 nm為佳,更佳是5 nm 至 200 nm 。 藉由中間層形成塗佈液所形成之層,不僅前述電子注 入層5,也可以作為為了形成陰極之塗佈液使用。電子注 入層5沒有必要連接陰極3,電子注入層5與陰極3之間 亦可插入與電子注入層5不同之層,又在如上述之電子注 入層5與發光層4之間,亦可插入與電子注入層5相異之 層。再者,因為中間層形成塗佈液能提高電荷之注入性, 可以作為有機太陽電池及有機晶體管等之電極,或是作為 電極與有機材料之間的中間層使用。 中間層形成塗佈液,係以氫離子指數為7以上13以下 為佳。使用如此之中間層形成塗佈液,例如在呈現酸性之 溶液中容易溶解之膜上,塗佈中間層形成塗佈液後可以形 成含有驗金屬鹽之中間層。例如,由在呈現酸性之溶液中 容易溶解之ΙΤ0所成之電極上形成含有鹼金屬鹽之中間層 時,可以適當使用中間層形成塗佈液。 [實施例] 作為實施例,首先製作中間層形成塗佈液。 實施例1 200946604 將CS2M0O4粉末(純度99. 9%、Furuchi化學公司製)與 超純水(電阻率為15MΩ · cm以上)以重量比10 : 90秤量, 放入螺旋(screw)管中擾拌製成中間層形成塗佈液。以目視 確定CS2M0O4粉末是否完全溶解。此中間層形成塗佈液之表 面張力是58. 3 mN/m。分別測定製成之中間層形成塗佈液 與複數種類基板的接觸角,結果在下述之表1中表示。使 用pH試紙測定pH(氫離子指數)時顯示為約7。 實施例2 ❿ 將CS2M0O4粉末(純度99. 9%、Furuchi化學公司製)、 超純水(電阻率為15ΜΩ · cm以上)、乙醇(純度99. 5%、鹿 1級,關東化學公司製)以重量比10: 26: 63秤量,依Cs2Mo〇4 粉末、超純水之順序放入螺旋管中攪拌,然後混合乙醇製 成中間層形成塗佈液。以目視確定Cs2Mo〇4粉末是否完全溶 解。此中間層形成塗佈液之表面張力是22. 6 mN/m。分別 測定製成之中間層形成塗佈液與複數種類基板的接觸角, ^ 結果在下述之表1中表示。使用pH試紙測定pH時顯示為 約8至9。 實施例3 將Cs2Mo〇4粉末(純度99. 9%、Furuchi化學公司製)、 超純水(電阻率為15ΜΩ · cm以上)、乙醇(純度99. 5%、鹿 1級,關東化學公司製)、界面活性劑(SURFYNOL(註冊商標) 104A :日信化學公司製)以重量比10 : 25 : 61 : 4秤量,依 Cs2Mo〇4粉末、超純水之順序放進螺旋管中攪拌,然後混合 乙醇,最後混合界面活性劑製成中間層形成塗佈液。以目 23 321147 200946604 視確定CszMoCU粉末是否完全溶解。此中間層形成塗佈液之 表面張力是26. 6感/m。分別測定製作之中間層形成塗佈 液與複數種類基板的接觸角,結果在下述之表1中表示。 使用pH試紙測定pH時顯示為約8至9。 實施例4 將CssVCU粉末(純度99. 9%、Aldrich製)與超純水(電 阻率為15ΜΩ .cm以上)以重量比1 : 99秤量,放進螺旋管 中攪拌,製成中間層形成塗佈液。以目視確定完全溶解。 使用pH試紙測定pH時顯示為約7。 實施例5 將CsV〇3粉末(純度99. 9%、Aldrich製)與超純水(電阻 率為15ΜΩ · cm以上)以重量比1 : 99秤量,放進螺旋管中 攪拌,製成中間層形成塗佈液。以目視確定CsV〇3粉末完全 溶解。使用pH試紙測定pH時顯示為約12。 實施例6 將CsV〇3粉末(純度99. 9%、Aldrich製)與超純水(電阻 率為15ΜΩ · cm以上)以重量比30 : 70秤量,放進螺旋管 中攪拌,製成中間層形成塗佈液。使用pH試紙測定上澄液 之pH時顯示為約13。 實施例7 將K2M0O4粉末(純度98%、Aldrich製)與超純水(電阻 率為15ΜΩ · cm以上)以重量比1 : 99秤量,放進螺旋管中 攪拌,製成中間層形成塗佈液。以目視確定完全溶解。使 用pH試紙測定pH時顯示為約7. 5。 24 321147 200946604 » 實施例8 將K2Mo〇4粉末(純度98%、Aldrich製)與超純水(電阻 率為15M Ω · cm以上)以重量比30 ·· 70科量,放進螺旋管 中擾拌,製成中間層形成塗佈液。使用pH試紙測定上澄液 之pH時顯示為約9。 實施例9 將NazMoO4粉末(純度>98%、Aldrich製)與超純水(電 阻率為15ΜΩ .cm以上)以重量比1 : 99科量,放進螺旋管 ® 中攪拌,製成中間層形成塗佈液。以目視確定完全溶解。 使用pH試紙測定pH時顯示為約7。 實施例10 將NaWoCh粉末(純度> 98%、Aldrich製)與超純水(電 阻率為15ΜΩ · cm以上)以重量比30 : 70秤量,放進螺旋 管中攪拌,製成中間層形成塗佈液。使用pH試紙測定上澄 液之pH時顯示為約8。 〇 比較例1 將BaMo〇4粉末(純度> 99. 9%、Aldrich製)與超純水(電 阻率為15ΜΩ · cm以上)以重量比1 : 99秤量,放進螺旋管 中攪拌,製作成中間層形成塗佈液。以目視確定BaM〇〇4粉 末幾乎不溶解。使用pH試紙測定pH時顯示為約7。 (表面張力及接觸角之測定方法) 使用Data physics公司(德)製之型號OCA-20之測定 裝置進行測定。表面張力之測定’首先是在注射茼(s y r i n g e ) 中充填溶液,將外徑1· 4 mm之金屬針裝著在注射筒上,自 321147 25 200946604 該金屬針推出溶液 解析。 進行溶液從金屬針脫離時的形狀晝像 接觸角係在基板上接觸並附著溶液後,測定附著溶液 之液=與基板表面連接位置的液面與基板表面所成之角度 求得基板使用(1)未進行uv_〇3洗淨之未處理無驗玻璃 基板⑵以Technovision公司製之裝置進行1()分鐘uv_〇3 洗淨處理(在表1記為「UV洗淨」)的級_基板、⑶ 將由濺鍍法在玻璃基板上製成膜厚為15〇nm白勺ιτ〇薄膜而 成的™基板,未進行㈣3洗淨處理之未纽ίτ〇基板、❹ U)在以Technovision公司製之裝置進行1〇分鐘-―⑴洗 淨處理之玻璃基板上’由賤鑛法作成膜厚⑽⑽之IT〇薄 膜的ΙΤ0基板、⑸藉由ΕΒ法在玻璃基板上形成·⑽膜 厚之铭薄膜的Α1蒸鍍基板、(6)高分子發光有機材料 (SCB670, Samation公司製)藉由旋轉塗膜法在玻璃基板上 成膜,製成80 nm聚合物膜的聚合物旋轉成膜基板、以及 (7)由聚萘二甲酸乙二酯(PEN)所成之PEN基板等7種,針 對各基板測定與實施例1至3所製作的中間層形成塗佈液 〇 的接觸角。 在表1表示實施例1至3的中間層形成塗佈液,與複 數種類基板之接觸角的測定結果。 321147 26 200946604 [表1]
Ο 用實施Γ3製作之中間層形成塗佈液製作有機EL元 件。在貫_製作㈣機EL元件之結構,係由玻璃基板/ m薄膜所成之陽極/電洞注人層/電子阻擋層/發光層 /電子注人層/陰極’將此復經由封止玻軸封。其中, 電子注入層係使用實施例3製成之中間層形成塗佈液製 作。 〈合成例> 合成作為上述電子阻擋層之高分子化合物丨。首先, 在具備有攪拌板、擋板(baffle)、可以調整長度的氮氣導 入管、冷卻管、以及溫度計之可分離燒瓶2中,放入158 29 重量份之7-雙(1,3, 2-二氧硼雜環戊烷·_2_基)_9, 9_二辛基 知、136. 11重里份之雙_(4_漠本基)_4- (1-甲美丙某)_苯 321147 27 200946604 胺、27重量份之氯化三辛基曱基銨(Henkei公 J 衣 Λ iiquaf 336)、以及1800重篁份之曱笨,一面由氮氣導入管導, 氣’ 一面在攪拌下昇溫到90。(:為止。加入〇. 〇66 1 入鼠 醋酸把(II)與0.45重量份之三(鄰-曱苯基)膦之後,將 重量份之17. 5%碳酸鈉水溶液在1小時間滴下。^ 。滴完後, 將氮氣導入管拉上液面,保溫迴流7小時後,加入 量份之苯基硼酸,保溫迴流14小時,冷卻$含% ·重 * 土至 >置。除T- Ο 應液水層後’以曱苯稀釋反應液油層,以醋酸水、* f 離子交換水洗淨。在分液油層中加入13重量份之n ^ 乙基二硫代胺基甲酸鈉三水合物並攪拌4小時後,、六纩通 過活性氧化紹與石夕膠之混合管柱,通過曱笨以洗、、爭其检 混合濾液及洗液後,滴下甲醇,沉澱聚合物。過濾所得聚 合物沉澱,以甲醇洗淨沉澱後,用真空乾燥機乾燥'聚合二, 得到192重量份之聚合物。所得聚合物稱為高分子^合物 1,高分子化合物1之聚苯乙烯換算重量平均分子量為3 7 xlO5 ’數平均分子量是8. 9xl04。 ' 〇 (GPC分析法) 聚苯乙烯換算重量平均分子量及數平均分子量是藉由 凝膠滲透層析分析儀(GPC)而求得。GPC檢量線之作成是使 用Polymer Laboratories公司製標準聚苯乙烯。測定聚合 物是溶解到四氫呋喃中成為約〇.〇2重量%之濃度,注入1〇 A L到GPC中,GPC裝置是用島津製作所製π—〗〇Advp。管 柱是使用2枝串聯連接之p〇iymer Lab〇rat〇ries公司製 PLgel 10#m MIXED—b管柱(3〇〇χ7 5咖),移動相是四氫 321147 28 200946604 σ夫喃在25C以l.Oinl / in i π之流速流動。檢測器是使用jj v 檢測器,以228 ηιη之吸光度測定。 基板使用玻璃基板,在此玻璃基板之表面上藉由賤链 法成膜、進一步以預定形狀作成圖案之ITO薄膜作為陽極 來使用。ITO薄膜之膜厚約150 nm。 將1 (3, 4)乙婦一氧嗟吩/聚苯乙歸續酸(h c
Starck-V TECH 公司製,商品名,Bytron ρ/Τρ μ 之懸濁液以0.5/z m過濾器過濾,在形成ΙΤ〇薄膜之玻璃美 ❹板上將過濾、液以旋塗法塗佈,以膜厚6〇 nm咸膜。其次取 出擦拭除去在電極部分或在密封區域形成之膜,進—步在 大氣下使用熱盤在約200°C下乾燥1〇分鐘,形成電洞注入 層0 其次在形成電職人層之基板上將含有前述高分 合物1之塗佈液以旋塗法塗佈,以膜厚約2〇咖成膜。 次取出擦拭除去在電極部分或在密封區卿成之膜,、二 步在氮氣環境下使用熱盤在20代下進行焕培處理~ 鐘,形成電子阻擋層。 刀 其次在形成電子阻擋層之基板上,藉由旋塗 矢子發光有機材料(BP361 : Samati〇n公 、布间 ⑽成膜,其次取出擦拭除去在電° 形成之膜,進行烘培處理而形成發光層/从㈣區域 其次在形成發光層之基板上,以實 層形成㈣⑽旋塗法塗佈,以膜厚約;=作的中間 子注入層。复-女,嵌Φ抿只广丄 成膜’形成電 …取出擦拭除去在電極部分或在密封區域 321147 29 200946604 形成之膜’將此基板移到Tokki公司製真空蒸鍍機(smau- 、 ELVESS)之加熱室内。(以後進行在真空中或氮氣中之製 程,製程中元件並未曝露在大氣中。)其次,在真空度1χ 10 4Pa以下之真空中以基板溫度約8〇至i2(TC加熱基板20 分鐘。 然後,基板移入热鑛室,在發光部及射出電極部使陰 極成膜並與陰極用之金屬光罩位置對合,進一步在不變更 金屬光罩及基板之相對位置下’一面回轉兩者一面蒸鑛陰 極。蒸鍍開始前之室内真空度為3xi〇-5Pa以下。蒸鍍法是 ❹ 使用電子束瘵鑛法,铭蒸鍍是以約l〇A/sec之速度成膜, 形成膜厚為100 nm之陰極。然後,將在表面周邊部分塗佈 UV(紫外線)硬化樹脂之密封玻璃,在惰性氣體中減壓貼合 在基板上,然後回復到大氣壓中,照射uv使uv(紫外線) 硬化樹脂光硬化而在基板上固定密封玻璃,製成高分子有 機EL元件。同時1個晝素之發光區域是2mmx2mm。 (有機EL元件之評估) 使用東京系統開發公司製之有機EL測定裝置,進行電 0 流-電壓-亮度、發光光譜之測定。在本實施例所製作之有 機EL元件外加約12v之電壓時,正面亮度為1〇〇〇cd/m2。 此時之電流密度是〇· 〇88A/cm2,EL發光光譜是在46〇⑽ 處顯現波峰。如此,可以輕具備#由塗佈法㈣中間層 形成塗佈液所形成之電子萍入層的有機EL元件能發光。 [產業上之可能利用] 依本發明,藉由使用中間層形成塗佈液,不需作成真 321147 30 200946604 空環境而以塗佈法就可以容易地形成中間層。 【圖式簡單說明】 第1圖表示本發明實施形態之一的有機EL元件1之正 面圖。 【主要元件符號說明】 1 有機EL元件 2 陽極 3 陰極 4 發光層 5 電子注入層 6 基板 7 電洞注入層 ❹ 31 321147
Claims (1)
- 200946604 . 七、申請專利範圍: 1. -種塗佈液,係在具敍少—對電極、設置在該一對電 極之間之含有祕之發韻、从㈣在f極與發光層 :::中間層之有機電致發光元件令’為了形成中間層 而使用的㈣液,其魏係溶解驗金屬鹽而得者。 2. ^申請專利範圍第1項之塗佈液,其中,前述驗金屬趟 為選自㈣、鶴酸、㈣、銳酸、叙酸 ς 所成群組中至少一種酸之鹽者。 及鋅馱 3. 如申請專利範圍第1 屬越為iP自雜細 其中’前述鹼金 屬之鹽者。 .丁王乂 i種金 其中 4. =申請專利範圍第】至3項令任一項之塗佈液 月'J述驗金屬鹽為铯鹽者。 其中 t申π專利la圍第1至4項中任一項之塗佈液 則述鹼金屬鹽為鉬酸鉋者。 其中 6·=請專利範圍第1至5項中任—項之塗佈液 含有醇及/或水者。 其中 7.=請專利範圍第!至6項中任_項之塗佈液, 3有界面活性劑者。 利範圍第1至7項中任一項之中間層形成_ 者對由聚蔡二甲酸乙二嶋基板之接觸角為 中申::利軏圍第1至8項中任-項之之塗佈液,其 中,氣離子指數為7以上13以下者。 其 321147 32 200946604 ) 10. —種有機電致發光元件之製造方法,係使至少一對電 極、設置在該一對電極之間之含有機物之發光層、以及 設置在電極與發光層之間之中間層分別成膜之方法, 其特徵係使用申請專利範圍第1至9項中任一項之 塗佈液、藉由塗伟法使該中間層成膜者。 11. 一種有機電致發光元件,係具備: 一對電極、 設置在該一對電極之間之含有機物之發光層、以及 © 設置在電極及發光層之間之中間層, 而該中間層係使用申請專利範圍第1至9項中任一 項之塗佈液、藉由塗佈法而形成者。 33 321147
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008090683A JP5515234B2 (ja) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | 中間層形成塗布液、および有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法、並びに有機エレクトロルミネッセンス素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW200946604A true TW200946604A (en) | 2009-11-16 |
Family
ID=41135338
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW098109852A TW200946604A (en) | 2008-03-31 | 2009-03-26 | Intermediate layer-forming coating solution, process for production of organic electroluminescence device, and organic electroluminescence device |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8358061B2 (zh) |
EP (1) | EP2273578A4 (zh) |
JP (1) | JP5515234B2 (zh) |
KR (1) | KR20110000732A (zh) |
CN (1) | CN101981723A (zh) |
TW (1) | TW200946604A (zh) |
WO (1) | WO2009122958A1 (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI554396B (zh) * | 2013-12-23 | 2016-10-21 | Lg化學股份有限公司 | 傳導性聚合物膜 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5509530B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2014-06-04 | 住友化学株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 |
DE102009047880A1 (de) * | 2009-09-30 | 2011-03-31 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Organische elektronische Vorrichtung und Verfahren zu dessen Herstellung |
CN102738400B (zh) * | 2011-03-31 | 2015-11-25 | 海洋王照明科技股份有限公司 | 一种白光电致发光器件 |
DE102015210388A1 (de) * | 2015-06-05 | 2016-12-08 | Siemens Aktiengesellschaft | Organische Heterozyklische Alkalimetallsalze als n-Dotierstoffe in der Organischen Elektronik |
GB2539404A (en) * | 2015-06-15 | 2016-12-21 | Cambridge Display Tech Ltd | Organic diode |
KR102064650B1 (ko) * | 2017-05-02 | 2020-01-09 | 주식회사 엘지화학 | 유기 태양 전지의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 유기 태양 전지 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3529543B2 (ja) * | 1995-04-27 | 2004-05-24 | パイオニア株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JPH10270171A (ja) | 1997-01-27 | 1998-10-09 | Junji Kido | 有機エレクトロルミネッセント素子 |
JP4486713B2 (ja) * | 1997-01-27 | 2010-06-23 | 淳二 城戸 | 有機エレクトロルミネッセント素子 |
JP3739182B2 (ja) * | 1997-06-25 | 2006-01-25 | 三井化学株式会社 | 有機電界発光素子 |
JP2000164359A (ja) * | 1998-11-25 | 2000-06-16 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP3844105B2 (ja) | 1999-02-16 | 2006-11-08 | パイオニア株式会社 | 有機エレクトロルミネセンス素子及びその製造方法 |
JP2001351785A (ja) * | 2000-06-09 | 2001-12-21 | Sumitomo Chem Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP3773423B2 (ja) * | 2001-06-11 | 2006-05-10 | Tdk株式会社 | 有機el素子 |
EP1285957A3 (en) | 2001-08-20 | 2005-12-21 | TDK Corporation | Organic electroluminescent device and method of its preparation |
KR100515827B1 (ko) * | 2002-10-28 | 2005-09-21 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 전계 발광소자 |
JP2006302637A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Konica Minolta Holdings Inc | 有機エレクトロルミネッセンス素子、表示装置及び照明装置 |
JPWO2007058172A1 (ja) * | 2005-11-17 | 2009-04-30 | 出光興産株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP5217153B2 (ja) * | 2005-11-18 | 2013-06-19 | 住友化学株式会社 | 高分子化合物およびそれを用いた高分子発光素子 |
WO2009110075A1 (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-11 | パイオニア株式会社 | 有機半導体素子 |
-
2008
- 2008-03-31 JP JP2008090683A patent/JP5515234B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-03-24 US US12/935,178 patent/US8358061B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-03-24 CN CN2009801108966A patent/CN101981723A/zh active Pending
- 2009-03-24 KR KR1020107021408A patent/KR20110000732A/ko not_active Withdrawn
- 2009-03-24 EP EP09727356A patent/EP2273578A4/en not_active Withdrawn
- 2009-03-24 WO PCT/JP2009/055780 patent/WO2009122958A1/ja active Application Filing
- 2009-03-26 TW TW098109852A patent/TW200946604A/zh unknown
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI554396B (zh) * | 2013-12-23 | 2016-10-21 | Lg化學股份有限公司 | 傳導性聚合物膜 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5515234B2 (ja) | 2014-06-11 |
JP2009246124A (ja) | 2009-10-22 |
CN101981723A (zh) | 2011-02-23 |
EP2273578A4 (en) | 2012-01-25 |
WO2009122958A1 (ja) | 2009-10-08 |
KR20110000732A (ko) | 2011-01-05 |
EP2273578A1 (en) | 2011-01-12 |
US8358061B2 (en) | 2013-01-22 |
US20110018432A1 (en) | 2011-01-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5001745B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子及び製造方法 | |
TWI452929B (zh) | 包含金屬摻雜鉬氧化物層的有機電致發光元件及其製造方法 | |
TW200946604A (en) | Intermediate layer-forming coating solution, process for production of organic electroluminescence device, and organic electroluminescence device | |
TWI461101B (zh) | 有機電致發光元件、製造方法以及塗佈液 | |
TWI498043B (zh) | 親液及疏液圖案之形成方法及有機電致發光元件之製造方法 | |
CN101926218B (zh) | 带有透明导电膜的透明板和有机电致发光元件 | |
TW200948178A (en) | Organic electroluminescence device and fabricating method thereof | |
CN102792777B (zh) | 有机电致发光器件的制造方法 | |
CN103238228A (zh) | 空穴注入层 | |
US20060152147A1 (en) | Electroluminescent device and method for preparing the same | |
TW201125429A (en) | Organic electroluminescence device | |
CN102549793B (zh) | 有机电致发光元件及使用该元件的显示装置以及有机电致发光元件的制造方法 | |
TW201021264A (en) | Ink for making an organic electrolliminescent element, method for making an orgainc electrolliminescent element, and display device | |
TW200917893A (en) | Organic electroluminescent device and fabricating method thereof | |
US20100258797A1 (en) | Organic electroluminescent device and method for manufacturing the same | |
CN107210381B (zh) | 有机el元件 | |
TW200950580A (en) | Organic electroluminescence device and process for production of the same | |
JP2015153864A (ja) | 有機膜及びこれを用いた有機電子デバイス | |
TW201041206A (en) | Method for manufacturing organic electroluminescence device | |
JP2006019678A (ja) | 有機電子デバイス、及び有機電子デバイスの製造方法 | |
Ji et al. | Tailoring Niox/Perovskite Interface via a Multifunctional Self‐Assembled Molecule for High‐Performance Blue Perovskite Light‐Emitting Diodes | |
JP5155136B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 | |
TW201014008A (en) | Electroluminescence light-emitting component and method for fabricating the same | |
TW201138176A (en) | Organic electroluminescence element, method and apparatus for manufacturing the same | |
CN101926225A (zh) | 有机电致发光元件及其制造方法、面状光源、照明装置以及显示装置 |