TW200934709A - Pick-and-place module for test handlers - Google Patents

Description

200934709 六、發明說明：

t發明所屬技術領域:J 發明領域 5 Ο 10 15 ❹ 20 本發明大體有關於一種用於測試操作器的拾取及置放 模組。術語‘拾取及置放模組，係指由拾取及置放裝置構成的 單一模組’其係經構形成可在不同的裝載或對準元件之間 轉移半導體元件以及裝載、對準半導體元件。 Λ. ^ 發明背景 製成的半導體元件會用測試儀測試以便區分良品、不 良品，藉此只讓良品上市。就此情形而言，有一種叫做‘測 試操作器’的自動設備是用測試儀來支援測試過程。此一測 試操作器包含拾取及置放裝置，其係用來在不同的裝載或 對準元件(例如，客戶料盤(cust〇mer tray)、測試料盤、校準 器、緩衝器及分選台）之間轉移半導體元件。該拾取及置放 裝置至少有一拾取及置放模組。 此外，該拾取及置放模組包含多個拾取器，彼等係排 成一列以便用真空壓力來完成以下操作：吸住及保持半導 體元件，或釋放持有的半導體元件。 同時，為了儲存半導體元件，用客戶料盤來裝載半導 體疋件。因此之故，最好將客戶料盤構形成能盡可能裝載 多個半導體元件。隨著半導體製程技術之發展以致有相同 功忐的半導體元件變得愈來愈小，可載入同一客戶料盤(其 面積有限）的半導體元件數也跟著增加。例如，假設在單排 3 200934709 中的客戶料盤慣例可裝載8個半導體元件，如果半導體元件 的大小因半導體製程技術的發展而變小，則單排中的客戶 料盤有可能裝載ίο個或12個半導體元件。就此情形而言， 10個或12個一排裝在客戶料盤上的半導體元件之間隔會變 5得比8個一排裝在客戶料盤上的半導體元件之間隔還窄。 因此，在測試操作器供給客戶料盤時，以及在客戶料 盤由一排裝8個半導體元件改成一排裝10個或12個半導體 元件或反之時，設於測試操作器的拾取及置放模組之中的 拾取器之間隔也必須調整。不過，沒有構件可用來調整拾 10取器之間的間隔以便實現適用於所有的客戶料盤，儘管彼 等可裝載半導體元件於相同面積的個數彼此不同。因此， 在供給容量不同的客戶料盤時，必須更改對應的拾取及置 放模組。 此外，只有在單一拾取及置放模組設有多個與保持在 15客戶料盤上成一排之所有半導體元件所需對應的拾取器 時，可減少轉移半導體元件所需要的時間。在客戶料盤一 排裝8個半導體元件換成客戶料盤一排裝1〇個或12個半導 體元件或反之的情形下，必須增減拾取器的個數。不過， 在習知拾取及置放模組中，無法增減拾取器的個數，因此 20問題在於必須更換整個拾取及置放模組。 上述問題會造成資源的再使用率降低而浪費資源，此 外’重置成本也會增加。 t發明内容】 發明概要 200934709 因此，鑑於上述先前技術的問題，吾等已完成本發明， 而且本發明旨在提供一種致能只更換拾取及置放模組之〜 部份的技術，從而可實現適用於有不同裝載量的所有客戶 料盤。 5 根據本發明之一具體實施例，提供一種用於測試操作

器的拾取及置放模組，其係包含：一具有N條真空路彳查的主 體(其中N為複數）；以及，一具有μ個拾取器的套件，該等 Μ個拾取器係經裝設成各自對應至μ個真空路徑部件（其中 1幺M S Ν) ’该等Μ個真空路徑部件係經形成為各自對應至 10形成於該主體中之所有或一些該等Ν條真空路徑，且該等Μ 個拾取器使用真空壓力來保持多數個半導體元件或釋放持 有的半導體元件；其中該套件係可拆却地安裝於該主體。 此外，最好不與該Μ個真空路徑部件對應地形成於該 主體上的(Ν·Μ)個真空路彳㈣件在該套件安裝於該主體時 15 能被該套件的一上表面封閉。 此外在藉由使多個該拾取及置放模組相互叙合來形 成該拾取及置放模組時’最好一中間拾取及置放模組係經 形成為使得其-主體與-套件有“ 1，，形，且配置於該中間拾 取及置放模組兩側的多數個拾取及置放模組係經形成為使 2〇得其主體及套件有“π，，形或“「，，形。 此外該等Μ個拾取器係經構形成即使在ν矣= Μ時，亦可讓最外面拾μ之間關隔都相同。 根據本&月之另-具體實施例，提供—種用於測試操 作器的拾取及置放·，其包含：—主體，其包含：使用 200934709 真空壓力來保持半導體元件或釋放持有半導體元件的關 拾取器（其中N為複數）：以及，-安裝構件，其係用於使得 該N個拾取器中之L個拾取器（其中l < n)不同於M個其 餘拾取器，亦即，（N_L)個拾取器，且可個別定位及安裝； 5以及，-套件，其係可拆卸地安裝於該主體且經構形成可 調整該等Μ個拾取器之間的橫向間隔。 此外，最好該等Μ個拾取器之間的橫向間隔是用 以下 方式調整：在Ν個拾取器上形成各自的橫向間隔調整突出 物’且在該套件中形成插入各個橫向間隔調整突出物的Μ 1〇 個間隔調整凹穴。 此外，最好在該Ν個拾取器上形成各自的安裝突出物 (mounting protrusion)’使得該Ν個拾取器被安裝至該安裝構 件，且該安裝構件係經構形成使得一長安裝溝（l〇ng moimtmg groove)橫向地形成為可供形成於該等河個拾取器 上的該等安裝突出物插入其中，且使得該安裝溝的至少一 末端部份形成為可橫向延伸至一比該安裝溝之一橫向部份 還高的位置’使得料L個拾取器不同於料M個拾取器且 可個別安裝。 此外，該套件包含：-安裝於該主_安裝板；以及， 20 -橫向間隔調整構件，其係與該安裝板整合且經構形成可 調整該等Μ個拾取器之間的橫向間隔。 此外，最好該橫向間隔調整構件包含插在該等Μ個拾 取器之間的隔牆使得該等_拾取器以一定的間隔相互隔 開。 6 200934709 此外，最好該等N個拾取器包含各自的彈性構件，且施 加彈力至多數第一隔牆使得該等拾取器與多數第二隔牆緊 密接觸並對齊。 此外，最好在該等N個拾取器中形成各自的防垂直移動 5 ❹ 10 15 ❹ 20 凹穴以便防止該等拾取器垂直移動，且在該橫向間隔調整 構件中形成多數個插入各個防垂直移動凹穴的防垂直移動 突出物。 此外’最好在該安裝構件中橫向地形成穿經該安裝構 件的—長安裝縫(long mounting slot)，在該等N個拾取器上 形成各自的接合突出物(engaging pr〇trusi〇n)以便防止該等 拾取器向下移動。 此外’最好該安裝構件包含多數個區隔安裝器 (distinction mounter)，該等區隔安裝器使得該等[個拾取器 可不同於該等Μ個拾取器且可個別安裝。 根據本發明之又一具體實施例，提供一種用於測試操 作器的拾取及置放模組，其係包含：一主體；使用真空壓 力來保持多數半導體元件或釋放持有之半導體元件的Ν個 拾取器（其中Ν為複數）；以及，一套件，其係用於使得該等 Ν個拾取器中之L個拾取器（其中〇 $ [ < Ν)不同於Μ個其餘 拾取器，亦即’（N-L)個拾取器，且可個別定位及安裝，並 且使得該等Μ個拾取器之間的橫向間隔可加以調整。 此外’最好該套件包含插在該等Μ個拾取器之間的隔 牆，使得該等Μ個拾取器以一定的間隔相互隔開。 此外，最好該等隔牆包含各自的彈性構件，且施加彈 7 200934709 二隔牆緊密接 力至多數第一隔牆使得該等拾取器與多數第 觸並對齊。 5 此外’最好在該等N個拾取器中形成各自的防垂直移動 凹穴以便防止該等拾取器垂直移動，且在該等隔牆中形成 多數個插入各個防垂直移動凹穴的防垂直移動突出物。 該等區隔 器且可個 此外’最好該套件包含多數個區隔安裝器， 安裝器使得該等L個拾取器不同於該等μ個拾取 別安裝。 圖式簡單說明 10 閱讀結合以下附圖的詳細說明可更加明白本發明以上 及其他的目標、特徵及優點： 第1圖為本發明拾取及置放模組之第一具體實施的示 意透視圖； 第2圖為第1圖拾取及置放模組拆掉一部份時以方向 15 ‘Α’視之的側面概念圖； 第3圖的示意剖視圖係圖示第1圖拾取及置放模組沿著 直線I-Ι剖開並以方向‘Β’視之以便顯示真空壓力的活動路 徑； 第4圖的視圖係圖示另一套件應用於第1圖拾取及置放 2〇 模組之主體的實施例； 第5圖為3個拾取及置放模組之配置的側視圖； 第6Α圖與第6Β圖為本發明拾取及置放模組之第二具 體實施例的示意圖； 第7Α圖與第7Β圖係圖示另一套件應用於第6Α及6Β圖 200934709 拾取及置放模組之主體的實施•例； 第8圖為本發明拾取及置放模組之第三具體實施例的 示意圖；以及 第9圖為本發明拾取及置放模組之第四具體實施例的 5 10 15 ❹ 20 示意圖。 I：實施方式3 較佳實施例之詳細說明 以下用附圖詳述本發明用於測試操作器之拾取及置放 模組(下文稱作‘拾取及置放模組’）的較佳具體實施例。為了 便於說明，若可能則省略或概述重覆的描述。 <第一具《實施例> 第1圖為本發明拾取及置放模組100之第一具體實施例 的示意透視圖，第2圖為第1圖拾取及置放模組1〇〇拆掉一部 份時以方向‘Α’視之的侧面概念圖，以及第3圖的示意剖視 圖係圖示第1圖拾取及置放模組100沿著直線1_1剖開並以方 向‘Β’視之以便顯示真空壓力的活動路徑。 請參考第1圖’本具體實施例的拾取及置放模組1〇〇包 含安裝於Χ-Υ機械手臂（未圖示）的主體110與可拆卸地安裝 於主體110的套件120。 請參考第3圖’各自對應連接至12條真空線路(未圖示) 的12條真空路徑111八至11匕為在主體110中形成，，形（請 參考第2圖）的管體。請參考第丨圖，提供12個連接塊 (connection block) 112Α至112L使得12條真空線路可各自對 應地連接至12條真空路徑111 &至i丨k。 9 200934709 請參考第2圖及第3圖，在套件12〇上垂直地形成對應至 η條真空路徑lllA至1Ul中之1〇條真空路徑u1aJui1e與 - 111H至111乙的1〇條真空路徑部件121八至121』。將1〇個拾取器 mA至122;裝設成與1G條真空路徑部件1214至121谢應以 5及用經由真空壓力傳輸路徑（真空線路.連接塊-真空路徑_ 真空路徑部件）來傳送的真Μ力來㈣半導體元件或解 除持有的半導體元件。在此’除了與12條真空路徑U1A至 mL中之10條真空路徑部件12。至121』相通的10條真空路 -

徑111A至11“與111„至111L以外，在使用螺栓v安裝套件12〇 Q 10於主體110時，其餘兩個真空路徑1111?與111〇會被套件12〇 的上表面封閉。 儘管第1圖至第3圖圖示有1〇個拾取器122八至122】的套 件120，由此可見，任何有丨至12個拾取器的套件可應用於 具體實施例的主體110。例如，第4圖圖示總共有12個拾取 15器122'的套件120’應用於主體110的情形。 僅供參考，第5圖的側視圖係圖示根據本具體實施例來 配置3個拾取及置放模組100’、1〇〇|，及1〇〇”，的結構。典型的 〇 拾取及置放裝置係包含一或更多拾取及置放模組。因此， 當構形有3個拾取及置放模組1〇〇’、100”及100”’的拾取及置 20 放裝置時，如第5圖所示，如果將中間拾取及置放模組1〇〇” 的主體及套件配置成“I”形以及如果將旁邊的拾取及置放模 組100,或100”，的i體及套件配置成“π，’形或“ r”形，可適當 地配置這3個拾取及置放模組100’、丨❹0，，及1〇〇”，，而不管連 接塊的大小如何。 10 200934709 特別是，在本具體實施例中，套件120均由主體11〇下 表面向上麵合至各個主體110，藉此，即使配置3個拾取及 置放模組100，、1〇〇”及100，”，仍可只藉由卸下套件來完成 套件的更換。 5 <第^具Λ實施例> 弟6Α圖的後視圖係圖示本發明拾取及置放模組之第二 具體實施例解除套件的狀態，而第63圖的前視圖圖示本發明 拾取及置放模組600之第二具體實施例裝上套件62〇的狀態。 請參考第6Α圖與第6Β圖，本具體實施例的拾取及置放 10 模組600包含主體61〇與套件620。 主體610包含板狀安裝構件611與12個拾取器612八至 612L。 請參考第6A圖，在安裝構件611橫向地形成長安裴溝 611a。此外，安裝溝61丨3的兩末端部份係經製作成可各自延 15伸至比安裝溝611a橫向部份還高的位置，因而各個末端部 份可安置一對個別的拾取器612A、612B與612K、612L。 在安裝構件611的向後方向中形成12個安裝突出物 於各個拾取器612A至612L上以便插入安裝溝6iia。因 此，當該等安裝突出物612a插入安裝溝6113時，拾取器 20至6〖2l都裝上安裝構件611。此外，如第6A圖所示，當安裝 突出物612a都插入安裝溝61匕時，安裝溝611a的兩末端部份 各插入一對拾取器612A、612b與612K、612L。因此，這兩 對拾取器612A、612B與612K、612L會不同於配置於安裝溝 611a橫向部份的拾取器612c至612】，並分開安置於較高的位 11 200934709 置。此外，請參考第6B圖，在安裝構件611的向前方向中形 成12個橫向間隔調整突出物612b於各個拾取器612八至6仏 上僅供參考，由真空泵(未圖示)提供的真空線路(未圖示） 均直接連接至各個拾取器612八至612]^。 5 各自插入8個橫向間隔調整突出物61213的8個間隔調整 凹穴621均形成於套件62〇以便與安裝溝6Ua的橫向部份才目 通。因此，當套件620裝上安裝構件611時，可調整及維持 這8個拾取器612c至612;的橫向間隔。 第6A圖與第6B圖圖示在需要使用8個拾取器612c至 ❹ 1〇 612〗但不需要使用其餘4個拾取器612a、612b、612κ及612l 時套件620裝上主體610的應用情形。反之，第7八圖的後視 圖與第7B圖的前視圖圖示在需要使用1〇個拾取器612β至 612κ但不需要使用其餘兩個拾取器μα、612l時套件62〇， 裝上主體610的應用情形。 15 亦即，根據本具體實施例，只藉由更換套件620即可改 變拾取及置放模組600的保持容量。 <第三具«實施例> 〇 第8圖為本發明拾取及置放模組8 〇 〇之第三具體實施例 的爆炸透視圖。 20 請參考第8圖，本具體實施例的拾取及置放模組800包 含主體810與套件820。 主體810包含安裝構件811與12個拾取器812a至812L。 在安裝構件811橫向地形成穿過安裝構件811下半部的 安裝縫811a。主體810的兩末端部份加上劃分安裝器 12 200934709 • (division m0Unter) 811-R與811-L使得沒用上的拾取器 812A、812b、812K及812L可不同於用上的拾取器812c至812j 並個別安裝於相對較高的位置。 12個接合突出物812a各自形成於拾取器812八至814上 5以便防止拾取器814至814向下移動，從而使穿經安裝縫 - 81込來裝上的拾取器812a至8121能與接合突出物812a接 合。此外，12個防垂直移動凹穴812b各自形成於拾取器812八 至812l以便防止拾取器812八至8121垂直移動。此外，拾取 © 器^^△至8121^各自装上彈性構件812c。 1〇 套件820包含板狀安裝板821與橫向間隔調整構件822。 安裝板821用螺栓V耗合至主體81〇。 橫向間隔調整構件822係與安裝板821整合或與安裝板 821 —體成形，且經裝設成可調整8個拾取器8丨4至812;的橫 向間隔。插在8個拾取器812c至812j之間使得這8個拾取器 15 81心至812;能以一定間隔相互隔開的隔牆822a均形成於橫 向間隔調整構件822。插入拾取器812(：至812;之防垂直移動 凹穴812b的防垂直移動突出物8221}均形成於橫向間隔調整 構件822上。 在拾取器812c至812:經安裝成可藉由隔牆822a來以一 20定間隔相互隔開的情形下，彈性構件812c施加彈力至形成 於彈性構件812c之第一側面上的隔牆822a，因而使得拾取器 812C至812;能與形成於彈性構件812c之第二側面上的隔牆 82\緊密接觸並對齊。 就本具體實施例的上述拾取及置放模組800而言，只藉 13 200934709 由更換套件820即可改變拾取及置放模組800的保持容量。 <第四具«實施例> 第9圖為本發明拾取及置放模組9〇〇之第四具體實施例 的展開圖。 5 請參考第9圖，本發明的拾取及置放模組900包含主體 910、12個拾取器920六至92(^、以及套件930。 在此係提供板狀的主體910。 在拾取器92〇a至92〇l中形成12個防垂直移動凹穴92〇a 用來防止拾取器92(^至92(^垂直移動。 10 套件930用螺栓安裝於主體910且呈板狀。在套件93〇上 形成隔牆931使得8個用上的拾取器920c至920:能以一定的 間隔相互隔開。彈性構件932安裝於各個隔牆931且經構形 成可順著一方向施加彈力至拾取器92〇c至92〇】，從而使得拾 取器920c至920:能與第一隔牆931緊密接觸並對齊。此外， 15插入防垂直移動凹穴92〇a的防垂直移動突出物931a均形成 於隔牆931上，從而可限制拾取器92〇c至92〇】的垂直移動。 此外，在套件930的末端部份分別加上劃分安裝器兕^尺與 933-L藉此將沒用上的其餘4個拾取器92〇A、920b、92〇1<_及 920L分成兩組並能裝上。 20 如上述，本發明用於測試操作器的拾取及置放模組只 藉由更換套件即可應用於有不同裝載量的客戶料盤，藉此 可增加資源的再使用率而可防止浪費資源，此外，也可減 少重置成本。 儘管已揭示僅供圖解說明的本發明較佳具體實施例， 200934709 • 然而熟諳此藝者明白可做出各種修改、增添及替代而不脫 離如隨附申請專利範圍所揭示的本發明精神與範疇。 【阈式簡單説明】 第1圖為本發明拾取及置放模組之第一具體實施的示 5 意透視圖； 第2圖為第1圖拾取及置放模組拆掉一部份時以方向 - ‘A’視之的側面概念圖； 第3圖的示意剖視圖係圖示第1圖拾取及置放模組沿著 © 直線Η剖開並以方向‘B’視之以便顯示真空壓力的活動路 10 徑； 第4圖的視圖係圖示另一套件應用於第1圖拾取及置放 模組之主體的實施例； 第5圖為3個拾取及置放模組之配置的側視圖； 第6Α圖與第6Β圖為本發明拾取及置放模組之第二具 15 體實施例的示意圖； 第7Α圖與第7Β圖係圖示另一套件應用於第6Α及6Β圖 © ' 拾取及置放模組之主體的實施例； 第8圖為本發明拾取及置放模組之第三具體實施例的 示意圖；以及 20 第9圖為本發明拾取及置放模組之第四具體實施例的 示意圖。 【主要元件符號說明1 100…拾取及置放模組 模組 1〇〇|、100"、100”'…拾取及置放 110...主體 15 200934709 111A至111L…真空路徑 112八至1121/..連接塊 120…套件 121八至121广.真空路徑部件 122A至122广·拾取器 600…拾取及置放模組 610…主體 611···板狀安装構件 611a…安裝溝 612ν·橫向間隔調整突出物 612八至6121/·.拾取器 620…套件 621···間隔調整凹穴 800…拾取及置放模組 810…主體 811…安裝構件 811…安裝缝 811-L、811-R..·劃分安裝号 812a…接合突出物 812b…防垂直移動凹穴 8 12a至812L…拾取器 820…套件 821…板狀安裝板 822…橫向間隔調整構件 822a…隔牆 822b…防垂直移動突出物 900…拾取及置放模組 910…主體 920a…防垂直移動凹穴 920a至920L…拾取器 930…套件 931…隔牆 931a…防垂直移動突出物 932…彈性構件 933-L、933-R···劃分安巢芎

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Claims (1)

1. 200934709 七、申請專利範圍： 一種用於測試操作器的拾取及置放模組，其包含： 具有N條真空路徑的主體（其中N為複數）；以及 —具有Μ個拾取器的套件，該等]^個拾取器係經裝 权成各自對應至河個真空路徑部件（其中丨該 等Μ個真空路控部件係經形成為各自對應至形成於該 主體中之所有或-些該等Ν條真空路徑，且該等河個拾 取器使用真空壓力來保持多數個半導體元件或釋放持 有的半導體元件， 其中該套件係可拆卸地安裝於該主體。 2_如申請專利範圍第1項的拾取及置放模組，其中不與該 等Μ個真空路徑部件對應地形成於該主體上的(Ν_Μ)個 真空路徑部件在該套件裝上該主體時被該套件的一上 表面封閉。 3. 如申請專利範圍第1項的拾取及置放模組，其中，在藉 由使多數個該拾取及置放模組相互耦合來形成該拾取 及置放模組時，一中間拾取及置放模組係經形成為使得 其一主體與一套件有“I”形，且配置於該中間拾取及置放 模組兩側的多數個拾取及置放模組係經形成為使得其 主體及套件有”形或形。 4. 如申請專利範圍第丨項的拾取及置放模組，其中該等Μ 個拾取器係經構形成即使在Ν ^ Μ或Ν = Μ時，亦可讓 最外面拾取器之間的間隔都相同。 5. —種用於測試操作器的拾取及置放模組，其包含： 17 200934709 一主體’包含：使用真空壓力來保持多數半導體元 件或釋放持有之半導體元件的N個拾取器（其中N為複 數）；以及一安裝構件，其係用於使得該等N個拾取器中 之L個拾取器（其中〇<l<N)不同於Μ個其餘拾取器，亦 即’（N-L)個拾取器，且可個別定位及安裝；以及 一套件’其係可拆卸地安裝於該主體且經構形成可 調整該等Μ個拾取器之間的橫向間隔。 6. 如申請專利範圍第5項的拾取及置放模組，其中該等μ 個拾取器之間的橫向間隔是用以下方式調整：在Ν個拾 取器上形成各自的橫向間隔調整突出物，且在該套件中 形成插入各個橫向間隔調整突出物的厘個間隔調整凹 穴。 7. 如申請專利範圍第5項的拾取及置放模組，其中： 在該Ν個拾取器上形成各自的安裝突出物，使得該 Ν個拾取器被安裝至該安裝構件；且 該安裝構件係經構形成使得一長安裝溝橫向地形 成為可供形成於該等_拾取器上的該等安裝突出物 插入其中，且使得該安裝溝的至少一末端部份形成為可 杈向延伸至一比該安裝溝之一橫向部份還高的位置，使 得。亥等L個拾取器不同於該等Μ個拾取器且可個別 裝。 8. 如申請專利朗第5項的拾取及置放模組，其中該套件 包含： 一女裝於該主體的安裝板；以及 200934709 9. 10. ❹ 11. 12. ❹ 13. 一橫向間隔調整構件，其係與該安裝板整合且經構 形成可調整該等Μ個拾取器之間的橫向間隔。 如申請專利範圍第8項的拾取及置放模組，其中該橫向 間隔調整構件包含多數個插在該等Μ個拾取器之間的 隔牆’使得該等Μ個拾取器以一定的間隔相互隔開。 如申請專利範圍第9項的拾取及置放模組，其中該等Ν 個拾取器包含各自的彈性構件，且施加彈力至多數第一 隔牆使得該等拾取器與多數第二隔牆緊密接觸並對齊。 如申請專利範圍第8項的拾取及置放模組，其中： 在該等Ν個拾取器中形成各自的防垂直移動凹穴以 便防止该專拾取器垂直移動；且 在該橫向間隔調整構件中形成多數個插入各個防 垂直移動凹穴的防垂直移動突出物。 如申請專利範圍第5項的拾取及置放模組，其中： 在該安裝構件中橫向地形成穿經該安裝構件的— 長安裝缝；以及 在該等Ν個拾取器上形成各自的接合突出物以便防 止該等拾取器向下移動。 如申請專利範圍第5項的拾取及置放模組，其中該安裝 構件包含多數個區隔安裝器，該等區隔安裝器使得該等 L個拾取器可不同於該等]^個拾取器且可個別安裝。 一種用於測試操作器的拾取及置放模組，其包含： 一主體； 使用真空壓力來保持多數半導體元件或釋放持有 14. 200934709 之半導體元件的N個拾取器（其中N為複數）；以及 一套件，其係用於使得該等N個拾取器中之L個拾 取器（其中0<L<N)不同於Μ個其餘拾取器，亦即，（n_l) 個拾取器，且可個別定位及安裝，並且使得該等Μ個拾 取器之間的橫向間隔可加以調整。 15. 如申請專利範圍第14項的拾取及置放模組，其中該套件 包含多數個插在該等河個拾取器之間的隔牆，使得該等 Μ個拾取器以一定的間隔相互隔開。 16. 如申請專利範圍第15項的拾取及置放模組， 純含各自的评性構件，且施加彈力至多數第一二 ° 得該等拾取器與多數第二隔牆緊密接觸並對齊。 17·如申請專利範圍第15項的拾取及置玫模組，其中： 在該等Ν個拾取器中形成各自的防垂直移動凹穴以 便防止該等拾取器垂直移動；且 在該等隔牆中形成多數個插入各個防垂直移動凹 穴的防垂直移動突出物。 18.如申請專利範圍第14項的拾取及置放模組，其中該套件 _ 〇 包含多數個區隔安裝器，該等區隔安裝器使得該等L個 拾取器可不同於該等Μ個拾取器且可個別安裳。 20