CN101821639A - 用于测试分选机的拾放模块 - Google Patents

Abstract

一种用于测试分选机的拾放模块包括主体与套件。该主体有N条真空路径(其中N为大于1的整数)。该套件有M个拾取器。该M个拾取器被设置以分别对应于M个真空路径部件(其中1≤M≤N)，该M个真空路径部件被形成为分别与形成于该主体中的该N条真空路径的一些路径或所有路径对应；以及，使用真空压力来保持数个半导体器件或释放持有的半导体器件。该套件可拆卸地安装于该主体。

Description

用于测试分选机的拾放模块

技术领域

本发明大体涉及一种用于测试分选机的拾放模块。术语‘拾放模块’是指由拾放装置构成的单一模块，其被构成为在不同的装载或对准组件之间转移半导体器件以及装载、对准半导体器件。

背景技术

制成的半导体器件会用测试仪测试以便区分良品、不良品，藉此只让良品上市销售。就此情形而言，有一种叫做‘测试分选机’的自动设备被用于支持使用测试仪的该测试过程。这样的测试分选机包括拾放装置，其用来在不同的装载或对准组件例如客户料盘(customertray)、测试料盘、校准器、缓冲器及分选台等之间转移半导体器件。该拾放装置具有至少一个拾放模块。

此外，该拾放模块包括多个拾取器，彼此排成一列以便用真空压力来完成吸住及保持半导体器件或释放所持有的半导体器件的操作。

同时，为了储存半导体器件，客户料盘用来装载半导体器件。为此，最好将客户料盘构形成能尽可能装载大量的半导体器件。随着半导体制程技术的发展，使得具有相同功能的半导体器件的尺寸变得愈来愈小，因而可以增加可载入同一客户料盘(其面积有限)的半导体器件数。例如，假设在单排中的客户料盘按惯例可装载8个半导体器件，如果半导体器件的尺寸因半导体制程技术的发展而变小，则有可能在单排的客户料盘中装载10个或12个半导体器件。就此情形而言，10个或12个一排装在客户料盘上的半导体器件之间的间隔将变得比8个一排装在客户料盘上的半导体器件之间的间隔窄。

因此，在测试分选机提供客户料盘时，以及在客户料盘由一排装8个半导体器件改成一排装10个或12个半导体器件或反之时，设于测试分选机的拾放模块中的拾取器之间的间隔也必须调整。然而，没有构件可用来调整拾取器之间的间隔以便实现适用于所有的客户料盘，尽管它们在相同面积中可装载半导体器件的个数方面彼此不同。因此，在提供容量不同的客户料盘时，必须更改对应的拾放模块。

此外，只有当单一拾放模块设有与保持成一排地装在客户料盘上的所有半导体器件所需的数量对应的多个拾取器时，才可减少转移半导体器件所需要的时间。在客户料盘一排装8个半导体器件换成客户料盘一排装10个或12个半导体器件或反之的情形下，必须增加或减少拾取器的数量。然而，在常规拾放模块中，无法增减拾取器的数量，因此产生了必须更换整个拾放模块的问题。

上述问题会造成资源的再使用率降低，导致资源浪费，此外，更换成本增加。

发明内容

因此，本发明是鉴于上述现有技术的问题而提出的，本发明旨在提供一种能够只更换一部分拾放模块的技术，从而可实现适用于具有不同装载量的所有客户料盘。

根据本发明的实施方式，提供一种用于测试分选机的拾放模块，其包括：具有N条真空路径的主体(其中N为大于1的整数)；以及具有M个拾取器的套件，M个拾取器被设置成分别对应于M个真空路径部件(其中1≤M≤N)，M个真空路径部件被形成为各自对应于形成于该主体中的N条真空路径的所有路径或一些路径，且M个拾取器使用真空压力保持半导体器件或释放所保持的半导体器件；其中该套件可拆卸地安装于该主体。

此外，优选地形成于主体上且未与该M个真空路径部件对应的(N-M)个真空路径部件当套件安装到主体时能被套件的上表面封闭。

此外，在通过使多个拾放模块相互耦合来形成拾放模块时，优选地，中间拾放模块被形成为使其主体与套件呈“I”形，配置于该中间拾放模块两侧的多个拾放模块被形成为使其主体及套件呈

形或呈

形。

此外，M个拾取器被构成为即使在N≠M或N＝M时最外的拾取器之间的间隔也彼此相同。

根据本发明另一实施方式，提供一种用于测试分选机的拾放模块，其包括主体和套件，该主体包括：使用真空压力保持半导体器件或释放所保持的半导体器件的N个拾取器(其中N为大于1的整数)、以及使N个拾取器中的L个拾取器(其中0≤L＜N)不同于其余M个拾取器即(N-L)个拾取器且能够使该L个拾取器分别定位及安装的安装构件；该套件可拆卸地安装于该主体且被构成为能够调整该M个拾取器之间的横向间隔。

此外，优选地，该M个拾取器之间的横向间隔用以下方式调整：在N个拾取器上分别形成各自的横向间隔调整突出物，且在该套件中形成有插入各横向间隔调整突出物的M个间隔调整凹穴。

此外，优选地，在该N个拾取器上分别形成各自的安装突出物(mounting protrusion)，使得该N个拾取器被安装至该安装构件，且该安装构件被构成为横向地形成有长安装槽(long mounting groove)以供形成于该M个拾取器上的该等安装突出物插入其中，且该安装槽的至少一末端部被形成为横向延伸至比该安装槽的横向部高的位置以使该L个拾取器不同于该M个拾取器且能够分别安装。

此外，该套件包括：安装到该主体的安装板、以及横向间隔调整构件，横向间隔调整构件与该安装板成一体且被构成为能够调整该M个拾取器之间的横向间隔。

此外，优选地，该横向间隔调整构件包括插在该M个拾取器之间的隔墙使得该M个拾取器以一定的间隔相互隔开。

此外，优选地，该N个拾取器包括各自的弹性构件，弹性构件对第一隔墙施加弹力以使该拾取器与第二隔墙紧密接触并对齐。

此外，优选地，在该N个拾取器中形成各自的防垂直移动凹穴以防止拾取器垂直移动，且在该横向间隔调整构件中形成有插入各防垂直移动凹穴的防垂直移动突出物。

此外，优选地，在该安装构件中横向地形成有贯穿该安装构件的长安装缝(long mounting slot)，在该N个拾取器上形成各自的接合突出物(engaging protrusion)以防止拾取器向下移动。

此外，优选地，该安装构件包括多个区隔安装器(distinctionmounter)，该区隔安装器使该L个拾取器不同于该M个拾取器且可分别安装。

根据本发明的又一实施方式，提供一种用于测试分选机的拾放模块，其包括：主体、使用真空压力保持半导体器件或释放所保持的半导体器件的N个拾取器(其中N为大于1的整数)、以及套件，套件使该N个拾取器中的L个拾取器(其中0≤L＜N)不同于其余M个拾取器即(N-L)个拾取器，且使该L个拾取器能够分别定位及安装，并且使该M个拾取器之间的横向间隔能够调整。

此外，优选地，该套件包括插在该M个拾取器之间的隔墙以使该M个拾取器以一定的间隔相互隔开。

此外，优选地，隔墙包括各自的弹性构件，弹性构件对第一隔墙施加弹力以使该拾取器与第二隔墙紧密接触并对齐。

此外，优选地，在该N个拾取器中形成各自的防垂直移动凹穴以防止拾取器垂直移动，且在隔墙中形成有插入各防垂直移动凹穴的防垂直移动突出物。

此外，优选地，该套件包括多个区隔安装器，该区隔安装器使该L个拾取器不同于该M个拾取器且能够分别安装。

附图说明

通过结合以下附图的详细说明可更加明白本发明以上及其它的目标、特征及优点，其中：

图1为根据本发明第一实施方式的拾放模块的示意立体图；

图2为图1的拾放模块拆掉一部分时从方向‘A’观察到的侧面概念图；

图3为图1的拾放模块沿着线I-I剖开并从方向‘B’观察到的示意剖视图以显示真空压力的活动路径；

图4为示出另一套件应用于图1的拾放模块的主体的实施例的视图；

图5为示出3个拾放模块的配置的侧视图；

图6与图7为示出根据本发明第二实施方式的拾放模块的示意图；

图8与图9为示出另一套件应用于图6及7的拾放模块的主体的实施例的视图；

图10为示出根据本发明第三实施方式的拾放模块的示意图；以及

图11为示出根据本发明第四实施方式的拾放模块的示意图。

具体实施方式

以下参照附图详述本发明用于测试分选机的拾放模块(下文称作‘拾放模块’)的优选实施方式。为了便于说明，若可能则省略或概述重复的描述。

<第一实施方式>

图1为根据本发明第一实施方式的拾放模块100的示意立体图，图2为图1的拾放模块100拆掉一部分时从方向‘A’观察到的侧面概念图，以及图3为示出图1的拾放模块100沿着线I-I剖开并从方向‘B’观察到的示意剖视图以显示真空压力的活动路径。

请参考图1，本实施方式的拾放模块100包括安装于X-Y机器人(未图示)的主体110、以及可拆卸地安装于主体110的套件120。

请参考图3，被连接以分别对应于12条真空线路(未图示)的12条真空路径111A至111L为形成于主体110中的管体以呈“

”形(请参考图2)。请参考图1，12个连接块(connection block)112A至112L被设置使得12条真空线路可被连接成分别对应于12条真空路径111A至111L。

请参考图2及图3，10个真空路径部件121A至121J垂直地形成于套件120上，该10个真空路径部件121A至121J对应于12条真空路径111A至111L中的10条真空路径111A至111E与111H至111L。10个拾取器122A至122J被设置成与10个真空路径部件121A至121J对应并起到使用经由真空压力传输路径(真空线路-连接块-真空路径-真空路径部件)传送的真空压力保持半导体器件或解除所持有的半导体器件的作用。在此，在使用螺栓V将套件120安装到主体110时，12条真空路径111A至111L中除与10个真空路径部件121A至121J相通的10条真空路径111A至111E与111H至111L以外的其余两个真空路径111F与111G将被套件120的上表面封闭。

尽管图1至图3示出具有10个拾取器122A至122J的套件120，但由此可见，根据实施方式具有1至12个拾取器的任何套件均可应用于的主体110。例如，图4示出了总共有12个拾取器122′的套件120′应用于主体110的情形。

作为参考，图5示出了根据本实施方式配置3个拾放模块100′、100″及100″′的结构的侧视图。典型的拾放装置包括一或更多拾放模块。因此，当具有3个拾放模块100′、100″及100″′的拾放装置被构成时，如图5所示，如果中间拾放模块100″的主体及套件配置成呈“I”形和旁边的拾放模块100′或100″′的主体及套件配置成呈

形或

形，那么无论连接块的尺寸如何均可适当地配置这3个拾放模块100′、100″及100″′。

特别是，在本实施方式中，套件120均由主体110下表面向上接合至各个主体110，藉此，即使3个拾放模块100′、100″及100″′被配置，也可通过只卸下套件来完成套件的更换。

<第二实施方式>

图6为示出根据本发明第二实施方式拾放模块的套件被去除的状态的后视图，图7为示出根据本发明第二实施方式拾放模块600的套件620被安装的状态的前视图。

请参考图6与图7，根据本实施方式的拾放模块600包括主体610和套件620。

主体610包括板状安装构件611和12个拾取器612A至612L。

请参考图6，在安装构件611中横向地形成有长安装槽611a。此外，安装槽611a的两末端部被形成以延伸至高于安装槽611a横向部的各自位置，因而每个末端部可分别安置一对拾取器612A、612B与612K、612L。

12个安装突出物612a在安装构件611的向后方向上分别形成于各拾取器612A至612L上以插入安装槽611a。因此，当这些安装突出物612a插入安装槽611a时，拾取器612A至612L都安装到安装构件611。此外，如图6所示，当安装突出物612a都插入安装槽611a时，安装槽611a的两末端部各插入一对拾取器612A、612B与612K、612L。因此，这两对拾取器612A、612B与612K、612L不同于配置于安装槽611a横向部的拾取器612C至612J，并分别处于较高的位置。此外，请参考图7，12个横向间隔调整突出物612b在安装构件611的向前方向上形成于各拾取器612A至612L上。作为参考，由真空泵(未图示)提供的真空线路(未图示)均直接连接至各拾取器612A至612L。

8个横向间隔调整突出物612b分别插入其中的8个横向间隔调整凹穴621形成在套件620中以与安装槽611a的横向部相通。因此，当套件620安装到安装构件611时，这8个拾取器612C至612J的横向间隔能够调整及维持。

图6与图7示出了在需要使用8个拾取器612C至612J但不需要使用其余4个拾取器612A、612B、612K及612L时应用安装到主体610的套件620的情形。反之，图8与图9为示出了在需要使用10个拾取器612B至612K但不需要使用其余两个拾取器612A、612L时应用安装到主体610的套件620′情形的后视图和前视图。

亦即，根据本实施方式，通过只更换套件620即可改变拾放模块600的保持容量。

<第三实施方式>

图10为根据本发明第三实施方式的拾放模块800的分解立体图。

请参考图10，根据本实施方式的拾放模块800包括主体810与套件820。

主体810包括安装构件811和12个拾取器812A至812L。

安装缝811a横向地形成在安装构件811中并贯穿安装构件811下半部。划分安装器(division mounter)811-R与811-L设置在主体810的两末端部中使得未使用的拾取器812A、812B、812K及812L可不同于被使用的拾取器812C至812J并能够分别安装到相对较高的位置。

12个接合突出物812a分别形成于各拾取器812A至812L上以防止拾取器812A至812L向下移动，从而使被安装成贯穿安装缝811a的拾取器812A至812L能与接合突出物812a接合。此外，12个防垂直移动凹穴812b分别形成于各拾取器812A至812L以防止拾取器812A至812L垂直移动。此外，弹性构件812c分别安装到各拾取器812A至812L。

套件820包括板状安装板821和横向间隔调整构件822。

安装板821使用螺栓V接合至主体810。

横向间隔调整构件822与安装板821为一体或与安装板821一体成形，且被设置成可调整8个拾取器812C至812J之间的横向间隔。插在8个拾取器812C至812J之间使得这8个拾取器812C至812J能以一定间隔相互隔开的隔墙822a形成于横向间隔调整构件822中。插入拾取器812C至812J的防垂直移动凹穴812b中的防垂直移动突出物822b形成于横向间隔调整构件822上。

在拾取器812C至812J被安装成通过隔墙822a以一定间隔相互隔开的情形下，弹性构件812c对形成于弹性构件812c第一侧的隔墙822a施加弹力，因而能够使拾取器812C至812J与形成于弹性构件812c第二侧的隔墙822a紧密接触并对齐。

在根据本实施方式的上述拾放模块800的情况下，通过只更换套件820即可改变拾放模块800的保持容量。

<第四实施方式>

图11为根据本发明第四实施方式的拾放模块900的分解图。

请参考图11，根据本发明的拾放模块900包括主体910、12个拾取器920A至920L、以及套件930。

主体910被提供为呈板状。

12个防垂直移动凹穴920a形成于拾取器920A至920L中以防止拾取器920A至920L垂直移动。

套件930用螺栓安装到主体910且被提供为呈板状。在套件930上形成隔墙931使得被使用的8个拾取器920C至920J能以一定的间隔相互隔开。弹性构件932安装于各隔墙931且被构成为可顺着一个方向对拾取器920C至920J施加弹力，从而使拾取器920C至920J与第一隔墙931紧密接触并对齐。此外，插入防垂直移动凹穴920a中的防垂直移动突出物931a形成于隔墙931上，从而可限制拾取器920C至920J的垂直移动。此外，划分安装器933-R与933-L分别设置在套件930的各末端部使得未使用的其余4个拾取器920A、920B、920K及920L分成两组并能够被安装。

如上所述，根据本发明用于测试分选机的拾放模块通过只更换套件可应用于具有不同装载量的客户料盘，由此可增加资源的再使用率，可防止资源浪费，此外，可减少更换成本。

尽管为了说明目的已公开了本发明优选实施方式，然而本领域技术人员应当理解，在不脱离如所附权利要求书所记载的本发明精神与范畴的情况下还可做出各种修改、增添及替换。

Claims (18)

1.一种用于测试分选机的拾放模块，包括：

具有N条真空路径的主体，其中N为大于1的整数；以及

具有M个拾取器的套件，所述M个拾取器被设置成分别对应于M个真空路径部件，其中1≤M≤N，所述M个真空路径部件被形成为分别与形成于所述主体中的N条真空路径的所有路径或一些路径对应，且所述M个拾取器使用真空压力保持半导体器件或释放所保持的半导体器件，

其中所述套件可拆卸地安装到所述主体。

2.如权利要求1所述的拾放模块，其中形成于所述主体上未与所述M个真空路径部件对应的N-M个真空路径当所述套件安装到所述主体时被所述套件的上表面封闭。

3.如权利要求1所述的拾放模块，其中，当通过使多个拾放模块相互耦合来形成拾放模块时，中间拾放模块被形成以使其主体和套件呈“I”形，配置于该中间拾放模块两侧的多个拾放模块被形成以使其主体及套件呈形或呈形。

4.如权利要求1所述的拾放模块，其中所述M个拾取器被构成为即使N≠M或N＝M时最外的拾取器之间的间隔也彼此相同。

5.一种用于测试分选机的拾放模块，包括：

主体，包括：使用真空压力保持半导体器件或释放所保持的半导体器件的N个拾取器，其中N为大于1的整数；以及使所述N个拾取器中的L个拾取器不同于其余的M个拾取器即N-L个拾取器且能够使L个拾取器分别定位及安装的安装构件，其中0≤L＜N；以及

套件，其可拆卸地安装到所述主体且被构成为能够调整所述M个拾取器之间的横向间隔。

6.如权利要求5所述的拾放模块，其中所述M个拾取器之间的横向间隔用以下方式调整：在N个拾取器上分别形成各自的横向间隔调整突出物，且在所述套件中形成有插入各横向间隔调整突出物的M个间隔调整凹穴。

7.如权利要求5所述的拾放模块，其中：

在所述N个拾取器上分别形成各自的安装突出物，使得所述N个拾取器被安装至所述安装构件；以及

所述安装构件被构成为横向地形成有长安装槽以供形成于所述M个拾取器上的所述安装突出物插入其中，且所述安装槽的至少一末端部被形成为横向延伸至比所述安装槽的横向部高的位置以使所述L个拾取器不同于所述M个拾取器且能够被分别安装。

8.如权利要求5所述的拾放模块，其中所述套件包括：

安装到所述主体的安装板；以及

横向间隔调整构件，其与所述安装板成一体且被构成为能够调整所述M个拾取器之间的横向间隔。

9.如权利要求8所述的拾放模块，其中所述横向间隔调整构件包括多个插在所述M个拾取器之间的隔墙以使所述M个拾取器以一定的间隔相互隔开。

10.如权利要求9所述的拾放模块，其中所述N个拾取器包括各自的弹性构件，所述弹性构件对第一隔墙施加弹力以使所述拾取器与第二隔墙紧密接触并对齐。

11.如权利要求8所述的拾放模块，其中：

在所述N个拾取器中形成有各自的防垂直移动凹穴以防止所述拾取器垂直移动；以及

在所述横向间隔调整构件中形成有插入各防垂直移动凹穴中的防垂直移动突出物。

12.如权利要求5所述的拾放模块，其中：

在所述安装构件中横向地形成有贯穿该安装构件的长安装缝；以及

在所述N个拾取器上形成有各自的接合突出物以防止所述拾取器向下移动。

13.如权利要求5所述的拾放模块，其中所述安装构件包括区隔安装器，所述区隔安装器使所述L个拾取器不同于所述M个拾取器且使所述L个拾取器能够分别安装。

14.一种用于测试分选机的拾放模块，包括：

主体；

使用真空压力保持半导体器件或释放所保持的半导体器件的N个拾取器，其中N为大于1的整数；以及

套件，使所述N个拾取器中的L个拾取器不同于其余的M个拾取器即N-L个拾取器，其中0≤L＜N，且使所述L个拾取器能够分别定位及安装，并且使所述M个拾取器之间的横向间隔能够调整。

15.如权利要求14所述的拾放模块，其中所述套件包括插在所述M个拾取器之间的隔墙以使所述M个拾取器以一定的间隔相互隔开。

16.如权利要求15所述的拾放模块，其中所述隔墙包括各自的弹性构件，所述弹性构件对第一隔墙施加弹力以使所述拾取器与第二隔墙紧密接触并对齐。

17.如权利要求15所述的拾放模块，其中：

在所述N个拾取器中形成有各自的防垂直移动凹穴以防止所述拾取器垂直移动；以及

在所述隔墙中形成有插入各防垂直移动凹穴的防垂直移动突出物。

18.如权利要求14所述的拾放模块，其中所述套件包括区隔安装器，所述区隔安装器使所述L个拾取器不同于所述M个拾取器且能够被分别安装。

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