CN101535825B - 用于测试机械手的测试托盘 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于测试机械手的测试托盘。该测试托盘加载有半导体器件,然后沿着预定的循环路径携带这些半导体器件。测试托盘允许一个固定单元将多个相邻的插入模块固定到框架的容纳空间,从而与传统的测试托盘相比,有效地使用框架的空间,并允许在相同的面积中安装相对大量的插入模块。

Description

用于测试机械手的测试托盘
技术领域
本发明涉及一种测试机械手,更具体地讲,涉及这样一种测试托盘,该测试托盘加载有半导体器件,然后在测试机械手中沿着预定的循环路径携带这些半导体器件。
背景技术
在半导体设备的领域中,测试机械手也称为自动测试设备,允许检测器根据预定的测试过程测试半导体器件并将测试过的半导体器件分类,从而提供质量良好的半导体器件。测试机械手被构造为包括多个测试托盘,所述测试托盘加载有半导体器件并且按照预定的循环在机械手中运动。虽然测试托盘在循环路径上运动,但是它们靠近(dock with)检测器使得检测器能够测试半导体器件。
每个测试托盘被构造成包括框架和插入模块,所述插入模块以矩阵形式布置在框架上并加载有半导体器件。第10-2002-0030552号韩国专利公布和第20-0389824号韩国实用新型登记中公开了测试托盘的功能、结构和形式,以下将上述专利称为现有技术。
图1是根据用于测试机械手的传统的测试托盘的插入模块和框架的分解透视图。形状呈矩形的插入模块11相对于纵向轴L在其两端形成固定孔11a和11b。框架12形成:容纳空间S1,插入模块11放置在每个容纳空间上;内螺纹孔12a和12b,在每个容纳空间S1的对角上,所述内螺纹孔的位置与插入模块11的固定孔11a和11b的位置对应。当螺钉13延伸穿过固定孔11a和11b并且旋入内螺纹孔12a和12b中时,每个插入模块11被安置在容纳空间S1上并被固定到框架12上
近来,随着对半导体器件的使用和需求的增多,半导体器件需要被快速地测试,因此,检测器需要能够一次测试相对大量的半导体器件。但是,由于传统的测试托盘按照插入模块沿着纵向在其两端利用螺钉被固定到框架上的方式被构造,所以其结构上具有缺点,即会花费很大的用于对应的固定结构的空间。
此外,由于传统的测试托盘使用两个固定单元(例如,螺钉)将一个插入模块安装到框架上,所以使得部件数量和工作时间增加。
发明内容
因此,考虑到上述问题提出本发明,并且本发明的目的在于提供一种能够利用一个固定单元将多个相邻的插入模块固定到测试托盘的框架上的测试机械手的测试托盘。
本发明的另一目的在于提供一种具有以下结构的测试机械手的测试托盘,所述结构为:插入模块的至少两点应当被固定到测试托盘的框架上,其中,插入模块的一点通过固定单元被固定到框架上,另一点在结构上被结合并固定到框架上。
本发明的另一目的在于提供一种能够适当地将插入模块引导并安置在测试托盘的框架上的测试机械手的测试托盘。
根据本发明的一方面,通过提供一种用于测试机械手的测试托盘来实现上述和其它目的,所述测试托盘包括:框架,形成以矩阵形式排列的容纳空间;多个插入模块,被分别容纳在所述容纳空间中;多个固定单元,所述多个固定单元的每个固定单元将两个或者更多的插入模块固定到框架上。这里,框架形成多个分离防止突起,所述多个分离防止突起的每个分离防止突起防止插入模块在特定距离处的位置分离,其中,所述位置与两个或者更多的插入模块相邻的位置隔开。
优选地,所述框架还形成多个内螺纹孔,所述多个内螺纹孔的每个内螺纹孔位于两个或者更多的插入模块相邻的位置处。所述固定单元包括旋入所述内螺纹孔中的外螺纹部分和其直径比外螺纹部分的直径大的螺钉头。这里,所述螺钉头具有覆盖两个或者更多的插入模块相邻部分的一部分的直径。
优选地,所述框架具有多个延伸宽度部分,多个内螺纹孔分别形成在所述多个延伸宽度部分上。
优选地,至少一个固定单元将以2×2矩阵形式排列的四个相邻的插入模块固定到框架上。
优选地,每个容纳空间容纳两个相邻的插入模块。
优选地,所述框架还形成用于安全地引导插入模块的多个引导凹槽,每个插入模块形成沿着引导凹槽被引导的引导突起。
根据本发明的另一方面,提供了一种用于测试机械手的测试托盘,所述测试托盘包括:框架,形成以矩阵形式排列的容纳空间;多个插入模块,被分别容纳在所述容纳空间中;多个固定单元,所述多个固定单元的每个固定单元将插入模块的第一部分固定到框架上。这里,框架和/或所述插入模块具有多个分离防止结构,以防止插入模块的第二部分分离,其中,所述第二部分与第一部分隔开特定距离。
优选地,所述分离防止结构包括形成在框架中用于防止所述插入模块的第二部分分离的分离防止突起。
优选地,第一部分和第二部分呈对角线地位于所述插入模块的角落处。
根据本发明的另一方面,提供一种用于测试机械手的测试托盘,所述测试托盘包括:框架,形成以矩阵形式排列的容纳空间;多个插入模块,被分别容纳在所述容纳空间中;多个固定单元,用于将所述多个插入模块固定到框架上。这里,所述框架和/或插入模块具有用于安全地且谨慎地引导插入模块的引导结构。
优选地,所述引导结构包括:引导凹槽,形成在框架中,用于安全地引导所述插入模块;引导突起,形成在所述插入模块中,用于沿着所述引导凹槽被引导。
附图说明
通过下面结合附图进行的详细描述,本发明的上述和其它目的、特点和其它优点将被更加清楚地理解,其中:
图1是根据用于测试机械手的传统的测试托盘的插入模块和框架的分解透视图;
图2是根据本发明实施例的用于测试机械手的测试托盘的一部分的分解透视图;
图3是示出适于图2的测试托盘的框架的平面图;
图4是示出适于图2的测试托盘的插入模块的透视图;
图5是示出插入模块容纳在图2的测试托盘的框架中的状态的局部放大平面图。
具体实施方式
将参照附图详细描述根据本发明的测试机械手的测试托盘的优选实施例。
图2是根据本发明实施例的用于测试机械手的测试托盘的一部分的分解透视图。
参照图2,测试托盘TT被构造为包括框架20、多个插入模块30和螺钉40。
如图3整体所示,框架20包括:外体21,形状呈矩形,限定了框架20的外围;纵向中间粱22,在横向上以特定间隔彼此隔开,并沿着纵向结合到外体21上;横向中间粱23,在纵向上以预定间隔彼此隔开,并沿着横向结合到外体21上。应该理解,如此命名框架20的外体21、纵向中间粱22和横向中间粱23是为了便于描述。根据本发明的实施例,外体21、纵向中间粱22和横向中间粱23一体地形成框架20,或者单独形成,然后装配以形成框架20。框架20由于外体21、纵向中间粱22和横向中间粱23而形成得像格子。这样,框架20形成以矩阵形式排列的容纳空间S2,插入模块30放置在所述容纳空间S2上。
如图3所示,框架20具有呈16×8矩阵形式的容纳空间S2。每个容纳空间S2的形状为矩形,其中,矩阵的宽度是矩阵的长度的近似两倍,并且沿着框架20的横向平行地容纳两个插入模块30,如图2所示。
参照图2,在两个相邻的容纳空间S2之间的横向中间粱23按照以下方式形成,横向中间粱23的宽度在横向中间粱23遇到中线C的位置突出地延伸到两侧,所述中线C将各个的容纳空间S2的宽度平分。因此,每个容纳空间S2由两个子容纳空间构成,在两个子容纳空间之间的相邻壁部分地敞开。并且,内螺纹孔23a竖直地形成在突出的延伸部分W上。相对于传统的粱,横向中间粱23以减小其厚度的方式形成,但仅在用于固定插入模块30的部分增加厚度。因此,根据本发明的框架20能够有效地使用其空间,并允许插入模块30被适当地固定到其上。这样,一个内螺纹孔23a位于两个平行的容纳空间S2的中间,并将与所述容纳空间S2平行地排列的两对插入模块30(四个插入模块)固定到框架20上。
此外,在框架20的相对于内螺纹孔23a呈对角线布置的角落上,形成分离防止突起20a,以防止当插入模块30的边缘被放置在吊挂突起(hangingprotrusion)20b上时插入模块30的角落向上分离。
此外,框架20形成引导凹槽20c,该引导凹槽20c稍后将详细描述。
图4是示出图2的一个插入模块30的透视图。在平面图中,插入模块30的形状呈近似正方形。插入模块30形成容纳一个半导体器件的容纳部分31。此外,插入模块30分别在其角落处形成四个台阶A1、A2、A3和A4,其中,对应的台阶通过框架20的分离防止突起20a被固定,以防止插入模块30向上分离。此外,插入模块30的上表面与框架20的上表面近似在相同的面上。这里,插入模块30的台阶A1、A2、A3和A4按照对应于框架20的分离防止突起20a的方式形成,从而对应的台阶结构上结合到分离防止突起20a,而不使用任何额外的固定单元将插入模块30放置到框架20中。具体地讲,包括分离防止突起20a和台阶A1至A4的分离防止结构形成在第二部分上,所述第二部分与通过螺钉40固定的第一部分隔开特定距离。因此,插入模块30的两个或者更多点被固定到框架20上。尤其是,为了可靠地固定插入模块30,最优选地将由螺钉40固定的第一部分和由分离防止结构固定的第二部分呈对角线地放置。
根据本发明的每个插入模块30在其一侧壁的中间具有引导突起32,该引导突起32与框架20的引导凹槽20c对应。引导突起32可滑动地结合到引导凹槽20c上,以将插入模块30安全地引导到容纳空间S2中。通常,在传统的插入模块11中不考虑会错误地安装,这是因为插入模块11的形状为矩形并且呈点对称。但是,由于根据本发明的插入模块30形成为正方形,从而会发生错误安装,因此,需要用于引导结构的引导突起32和引导凹槽20c,以防止错误安装。虽然因为插入模块30是正方形而在本发明的实施例中实现引导结构,但是应该理解,在将安全地并小心地安装插入模块(例如,矩形并非点对称插入模块)的情况下也将形成引导结构。
如图2所示,被设置为固定单元的螺钉40旋入内螺纹孔23a中,以将四个插入模块30固定到框架20,即,横向中间粱23上。螺钉40由用于与内螺纹孔23a结合的外螺纹部分41和直径大于外螺纹部分41的直径的螺钉头42构成。
以下是参照图5对构成元件的功能和测试托盘TT的装配过程的描述。图5是描述图2的插入模块被容纳在框架中的状态的局部放大平面图。
操作员(或者自动机械)将沿着纵向呈2×2矩阵形式并排布置的四个插入模块30放置到两个容纳空间S2中。在这种情况下,四个插入模块30的每个引导突起32沿着框架20的引导凹槽20c被引导,并且插入模块30的边界在由四个插入模块30(或者相邻的两对插入模块30)限定的正方形的角落处被结合到分离防止突起20a上。即,结合到四个插入模块30d边缘(台阶)上的分离防止突起20a位于从四个插入模块30一起相邻处的部分A(正方形的中心)沿着对角线方向的位置上。
在将四个插入模块30放置到容纳空间S2中之后,螺钉40被旋入到形成在框架20的横向中间粱23的突出的延伸部分W(即,部分A)上的内螺纹孔23a中。这里,螺钉头42的直径扩展到相邻的插入模块30的四个角落。因此,螺钉40的螺钉头32覆盖插入模块30的四个角落(位于部分A处)。因此,每个插入模块30按照以下方式被固定到框架上,即,插入模块30的一角通过螺钉头42防止被分离,位于所述一角的对角线上的相对边缘通过分离防止突起20a防止被分离。因此,插入模块30能够被稳固地安装到容纳空间S2上。
虽然基于正方形的插入模块实现本发明的实施例,但是,应该理解,可以基于矩形的插入模块进行修改。此外,虽然按照通过一个螺钉固定四个插入模块的方式实现了本发明的实施例,但是应该理解,可以修改使得一个螺钉仅将两个插入模块固定到框架上。
从上述描述中清楚的是,根据本发明用于测试机械手的测试托盘具有以下的优点。
由于通过一个固定单元将多个相邻的插入模块固定到框架上,所以测试托盘能够节省将插入模块安装到容纳空间的空间,因此,相对于传统的测试托盘,在相同的面积能够加载相对大量的插入模块。
此外,由于仅插入模块的一点通过固定单元被固定到框架上,其它点被结构上结合并固定到框架上,所以测试托盘能够减少部件的数量并提高其生产效率。
而且,由于插入模块通过引导结构(例如,引导突起和引导凹槽)被安全地安装到框架的容纳空间,所以测试托盘允许操作者容易且有效地执行装配工艺并提高其生产效率。
虽然出于示例性的目的已经公开了本发明的优选实施例,但是本领域技术人员应该理解,在不脱离由权利要求公开的本发明的范围和精神的情况下,各种修改、增加和替换是可行的。

Claims (5)

1.一种用于测试机械手的测试托盘,包括:
框架,形成以矩阵形式排列的容纳空间;
多个插入模块,被分别容纳在所述容纳空间中;
多个固定单元,所述多个固定单元的每个固定单元将以2x2矩阵形式排列的四个相邻的插入模块固定到框架上,
其中,框架形成多个分离防止突起,所述多个分离防止突起的每个分离防止突起防止插入模块在特定距离处的位置分离,其中,所述位置与所述以2x2矩阵形式排列的四个相邻的插入模块相邻的位置隔开。
2.如权利要求1所述的测试托盘,其中:
所述框架还形成多个内螺纹孔,所述多个内螺纹孔的每个内螺纹孔位于所述以2x2矩阵形式排列的四个相邻的插入模块相邻的位置处;
所述固定单元包括旋入所述内螺纹孔中的外螺纹部分和其直径比外螺纹部分的直径大的螺钉头,
其中,所述螺钉头具有覆盖所述以2x2矩阵形式排列的四个相邻的插入模块相邻部分的一部分的直径。
3.如权利要求2所述的测试托盘,其中,所述框架具有多个延伸宽度部分,多个内螺纹孔分别形成在所述多个延伸宽度部分上。
4.如权利要求1所述的测试托盘,其中,每个容纳空间容纳两个相邻的插入模块。
5.如权利要求1所述的测试托盘,其中:
所述框架还形成用于安全地引导插入模块的多个引导凹槽;
每个插入模块形成沿着引导凹槽被引导的引导突起。
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