TW200909592A - Cemented carbide, cutting tool, and cutting device - Google Patents

Description

200909592 九、發明說明： 【'發明所屬之技術領域】 轉明係關於超硬合金、切削工具及切削加工裝置之發 明’特別是關於小徑端銑刀（end mill)、小徑鑽孔機 • (drU1)、小徑打孔機（punch)等切削工具，特別是袖珍鑽 . 孔機，暨切削加工裝置。 / 【先前技術】 石厌化鵁（WC) /始（Co)系超硬合金係耐磨耗性、高、w強产 ί)及高彈性率優異，所以被採用作為金屬之切削加=或印ς 基板加工用之材料。尤其是廣泛採用以wc粒子為主體， 添加鈦、鈮、锆、鉻、釩及鈕等碳化物，且含有鈷作為結 合相之超硬合金。 … 關於上述WC/Co系超硬合金，屬於結合相之c〇相的量、 WC粒子之粒度’還有因…粒子間之距離而機械特性會受 到影響，一般係WC粒子越細微，則機械特性（特別是硬度 G及強度）增加。伴隨此現象，於wc/c◦系超硬合金之 ^時’碳化#1⑽、碳化鉻⑹⑺、碳化组（TaG)及碳減 (NbC)中之至少一種會當作粒子成長抑制劑而添加。 另方面，於WC/c〇系超硬合金中，合金中之碳量係為 ^幅影響合金整體之特性的要因，所以會進行製造上之細 微控希JI。此碳量-般係以成為當作各金屬元素之礙化物的 化學！論組成之量而添加。於該碳量多 <情形下，合金中 ^析出游離碳，反之，當在碳量少之情形下，則合金中之 反夕的銘鎢石厌化物（例如，CO·。CO·。、c〇W4C、—μ《以 97124372 200909592 下，亦通稱為77相h』 -般使用不含上述游離=通:由合金特性方面來看， 因為考慮到游離碳或/ 77相之所謂健全合金。此係 超硬合金之切削特性降低:容易成為破壞的起源’而會使 相對於此，亦接宏古. 不鏽鋼等難切削性被削#積極促進GQ3W3G析出，藉以提升 專利文獻於切f時之耐磨耗性（例如參照 以提高耐磨耗性*特微里析出^相並使分散，藉 、獻2)。 、、貝性之超硬合金（例如參照專利文 另外，作為袖珍鑽孔機用之 利文獻3、4、5中所載者。 ㈣係已知有專 「[::文f 1]曰本專利特公昭63-27421號公報 「f獻2]日本專利特開平6-65671號公報 專利文獻3]日本專利㈣平5_1 17799號公報 專利文獻4]日本專利特開2GG4-19G118號公報 [專利文獻5]日本專利特開2{)()7_2624 【發明内容】 報 (發明所欲解決之問題） 然而’ _專敎獻丨中所記狀超硬合金，係 又之β相的比例多，而有強度變小的問題。“ _ 二關於專利文獻Η所記載之超硬合金， 金’強度低約左右之問題。此係 = 獻2中所記載之超硬合金’即使在“目微 】文 因為WC粒子之粒徑大，所以強度降低。 η 乂 ’ 97U4372 6 200909592 子：二Γ文獻η中所記载之超硬合金係因貌粒 而無法直接使用在印刷基板加工用之袖_ 持如專利文獻3〜5所示，近年來袖珍鑽孔機的開發 刃;吉Γ袖珍鑽孔機之小徑化係進展著’於近年中，切 徠二广已小徑化到3〇〇/zm以下’甚至是100"以下， K者袖珍鑽孔機之小徑化’袖珍鑽孔機用之超硬合金之 鋏:子:亦成為0.5/zm以下(甚至是ο,3#01以下)的微粒。 。後i著wc粒子的微粒化，則存在有超過wc粒子粒徑 $ π相粒子，並以低強度之相粒子為起點，而有袖珍 鑽孔機容易毀損之問題。 本發明之目的在於提供一種具有高強度與高硬度，且能 夠抑制毁損之超硬合金、切削工具及切削加工裝置。 (解決問題之手段） 本發明者等人係針對上述問題而進行重複檢討，結果發 現，滿足下述式0<Il/Id0.05,且wc_c〇系超硬合金之 WC粒子之平均粒徑為〇3# m以下，並使平均粒徑小於贶 粒子之々相粒子進行微量分散析出，藉此可獲得具有優 越之機械強度與高硬度，且能夠抑制毁損之超硬合金，進 而完成本發明。 亦即，本發明之超硬合金係分別含有作為硬質相之wc 粒子、作為結合相之C〇，且含有從、c〇6W6C、hie 及CoaWgC所選出之至少一種的鈷鎢碳化物粒子。其中，其 特徵在於：在將採用Cuk α射線之X射線繞射測定之上述 97124372 7 200909592 C〇3m之波峰、上述c〇6W6C之波峰、上述c〇2W4c之波峰及 上述c〇3w9c之波峰中最大的波導強度當作h，將上述 之最大的波峰強度當作12時，係滿足同 時上述WC粒子之平均粒徑為〇·3㈣以下，且上述始鶴碳 化物粒子之平均粒徑小於上$ wc粒子之平均粒徑。 Γ 又’本發明之超硬合金之特徵在於：於其剖面之3咖 倍電子顯微鏡照片之40㈣方塊的視野中，粒徑^以 上之上述鈷鎢碳化物粒子係存在丨個或未存在。 又，本發明之超硬合金之特徵在於：碳粒子存在於上述 WC粒子内部，且該杨子外周部的格子面與上述wc粒子 之格子面連續。 於此，其特徵在於：碳粒子之平均粒徑為50nm以下。 又’其特徵在於：結合相中之氧量為3質量％以下。 又，本發明之超硬合金之特徵在於：上述wc粒子為柱 狀粒子，且上述WC粒子之四角形剖面多數出現在超硬合 至之任思剖面上’ M WC粒子之四角形剖面中 2以上之剖面係以面積比計存在⑽以上。 〃為 分於此其特欲在於.上述wc粒子之四角形剖面中，縱 橫比為2以上之剖面的長邊平均長度為以下。 又’本發明之超硬合金之特徵在於：上述wc粒子之四 角形剖面中，縱橫比為2以上之剖面的面積比率為 下。 明 本發明之切削工具係由上 之切削加工裝置係具備有 述超硬合金所構成。又，本發 :上述切削工具；及用以保持 97124372 200909592 藉由該切削工具而被加工之被切削材的保持台。 (發明效果） 關於本發明之超硬合金，藉由將wc粒子之平均粒徑設 為〇.3em以下，主要係可提高合金強度，另外，使滿足 以上述式〇 < ί!/12 $ 0. 0 5所示之關係，並使高硬度”相 •粒子微量分散於結合相中，主要係可將結合相進行高硬度 化，並藉以提高耐磨耗性。另外，藉由將々相粒子之平 ^均粒徑设為小於WC粒子之平均粒徑，則可減少超過wc粒 子粒徑之77相粒子，並能夠抑制以此類低強度粗粒之” 相粒子為起點的毁損。 透過將此類超硬合金使用在切削工具上，則能夠得到強 度與硬度優異，可抑制毁損，能提高切削能力，並同時達 成長壽命之切削工具（例如，印刷佈線基板加工方面優显 之袖珍鑽孔機）。 【實施方式】 ® 1係表示超硬合金之實施形g，超硬合金係以硬質相 3與結合相5所構成。硬質相3係由WG粒子所構成，結 合相5係以Co為主要成分者，c〇係以總量中5〜15質量％ 之比例而含有。WC係以合金總量中8卜95質量%之比例而 含有。 又，由結合相5之強化方面觀之，較佳係超硬合金中所 含有之釩以碳化物⑽換算為含有〇.卜15質量％，鉻以 碳化物（CrL)換算為含有〇1〜2 5質量％。 該等叙（v)及鉻（Cr)係當作WC與Co之界面之中間體而 97124372 200909592 作用’具有可以強化％與c〇之結合的作用 係也具備相對於駝與 ，鈒及鉻 專粒成長抑制劑係固溶於 4 亦存在於局部WU。 ^目5中之G。。關於銳（Ό， 此外，圖1係超硬合金剖面之3〇〇〇〇倍 微鏡（SEM)照片。屬於麻趙4 ，知描型電子顯 •3"以下，特別由高強度化之觀點而言，較 ： = 以下。wc.子之平均粒徑從原料粉末進 丁;「之觀點而言，較佳係以上。耽粒子係三角 :二因所見角度而異，亦可見到三角形或四角形。此類 —之平均粒徑係在掃描型電子顯微鏡（SEM)照片十測 粒子所佔有之總面積，並用WG粒子個 =平均值’換算成假…子為球形時之直徑，= 獲传平均粒徑。WC粒子所佔有之面積係例如透過影像軟 體（NIPPON ROPER : Image pro plus)來進行測定。 接著，本實施形態之超硬合金係如圖i所示，其顯著特 徵為：除上述硬質相3、結合相5以外，尚存在有相7、。 β相7在圖1中係顯示為略黑。作為々相7，係有從 CoWC、C〇6W6C、C〇2W4C及C〇3W9C所選出之録鶴碳化物。此 外 ’ β 相 7 亦包含於 C〇3W3C、C〇eW6C、c〇2W4C 及 c〇3W9c 之 中固/谷有V、Cr者。該等？7相7之X射線繞射圖案（Cuka 射線）之最大波峰係CosWsC之（333)與（511)之合成波峰、 C〇6W6C 之（333)與（511)之合成波峰、c〇2lc 之（333)與（511) 之合成波峰及CosWgC之（301)之波峰。 97124372 10 200909592 根據本發明的話，在將該# α相7之波峰中之強度最 大之波峰高度設為丨1，且將屬於wc之最大波峰之wc(f〇1) 之波峰商度設為l2時，α Ii/h所表示之波峰強度比 於〇且0.05以下。圖2中表示x射線繞射圖案，此外， 於圖2中’於2Θ =40°附近與42· 5。附近處，出現有^相 之波峰，此時之LA係0.03。另外，圖2之4〇。附近之 波峰係ColC之（422)之波峰。波峰強度係採用χ射線繞 射測定之計數值。 透過將波峰強度比h/h設定為〇<Ii/Id〇 〇5，並使 7?相微量存在於合金中，則主要可達成結合相之高硬度 化。另一方面，當該強度比為0，則合金中沒有々相ς 出，而不能達成伴隨著結合相高硬度化之合金的高硬度 化，且耐磨耗性降低，工具磨耗量增加，同時因為硬質ς 與結合相之結合變弱，而導致抗折強度降低。又，當丨l/h 超過0. 05時，由於過多的π相析出，而抗折強度降低。 從抗折強度提高之觀點而言，Il/h係以〇 〇〇5〜〇.〇3為 佳，以0. 005〜0· 02為更佳。 此外，關於CoJaC之（333)與（511)之合成波峰，係在採 用Cuk α射線之X射線繞射測定中，產生於2 0 = 42 5。 附近，而C〇6W6C之（333)與（511)之合成波峰產生於20 = 43°附近’ C〇2W4C之（333)與（511)之合成波峰產生於2<9 = 42。附近，C〇3W9C之（301)之波峰產生於2Θ = 41。附近。 上述相7之平均粒徑係小於WC粒子之平均粒徑，亦 即’ 相之平均粒控設為小於〇. 3 # πι。由防止毁損之觀 97124372 11 200909592 點而言，？7相之平均粒徑係 平均粒徑亦能以與粒子 得。 以0.2“以下為佳。"目之 之平均粒徑相同之方式而求 〇5之同時，將 使平均粒徑小 藉此具有高強 關於此類超硬合金，係滿足〇< h/l2S 〇 WC粒子之平均粒徑微粒化至〇 3#m以下， 於WC粒子之77相粒子進行微量分散分布， 度與高硬度，且能夠抑制毁損。 此係藉由將WC粒子之平均粒徑設為〇 3㈣ =高合金強度，又’透過使滿足0<ί1/Ι_·05: 向硬度Η目微量分散於結合相中，則能具有主要將Μ 相面硬度化之功能，藉此可提升耐磨耗性。此外，藉由 π相之平均粒徑設為小於^粒子之平 超過WC粒子之粒徑的η相物；土丨、 則此減夕 粗粒的7/相粒子為起點之毁損。卩1以此類低強度之 t實施形態中，於燒結體剖面之義Q倍掃描型電子 =照片之40…塊視野中’較佳係粒徑i㈣以上 化物U相粒子）存在1個或不存在。特別以不 二此類超硬合金係可防止以巨大“目粒子為起 ^之W °又’亦具有可防Α π相粒子脫粒，能抑制毀 貝之效果。在計算粒徑1❹以上之铦鶴碳化物粒子u相 =子）之個數的情形下’係於掃描型電子顯微鏡照片上計 异C相粒子之最大寬度為1//01以上者。 ^製k本Λ施形態之超硬合金時，原料係使用微粒wc ；C〇叙末，而粒成長抑制劑係例如使用VC粉末與Cr3C2 97124372 12 200909592 勒末’為了調整碳量，例如可使用碳黑⑹。另 粒成長抑制劑，係可採用VC粉末及Cr3C2粉末之任一者: 其中，粉末、粉末係最好是使用：為了 微粒化與 广，均勻分散’將w與c〇之水溶性鹽溶於水中，並進疒 j、熱處理及其後之碳化處理，藉以所生成之WC-Co複 合碳化物粉末。 、又、’關於VC粉末與Cr3(：2粉末，係以平均粒徑為1. 0/zm 以下為佳，氧含量係分別以〇. 5質量％以下為佳。耽粉 係以平均粒徑〇.25"以下、氧含量係分別以q. 2質77量％ 以下為佳。在使氧含量降低方面，係針對wc粉末、跖粉 末、CrA粉末，例如藉由增強碳化處理時之碳化環境而^ 達成。氧含量係透過紅外線吸收法來測定。 此外，作為粒成長抑制劑，係也可取代VC粉末、cr3c2 粉末，轉而使用碳化鈕（Tac)及/或碳化鈮（Nbc)。此情形2 下亦是以平均粒徑為lOym以下、氧含量為0.5 以下為佳。 里0 、1秤上述粉末，並使用丙酮或丙醇等有機溶劑來進行濕 式混合粉碎，於乾燥後，藉由壓製成形等公知成形方法= 進行成形之後，予以煅燒，再於其後施加壓力，進行埶間 靜水壓(HIP)煅燒。另外’關於有機溶劑，較佳係氧 少之丙_或丙醇。X ’較佳的是使用有機溶劑之濕式混合 粉碎次數亦設最小限度，浸潰於有機溶劑之時間也設為最 小。煅燒係將煅燒爐内之真空度設為 0.133〜maUO-1 〜l(T3Torr)之真空’並於 13〇〇〜139〇& 97124372 13 200909592 燒，接著，將煅燒爐内 並於1290〜138(TC下進 之範圍内進行10分鐘〜2小時之锻 之壓力在Ar環境下設為1〜10MPa， 行锻燒。 另外，作為wc_c〇複合碳化物粉末，係在使用將⑻愈 ^之水溶轉於水巾，進行乾燥、熱處理之後，再 错由碳化處理而生成之粉末的情形下，儘可能於快要進行 锻燒，加VC、Cr3C2粉末，即便是添加有機溶劑而進 仃混“分碎’選擇0H基少之溶劑，縮短混合粉碎時間， 且極=減少對VC肖Cr3C2之有機溶劑添加錢，藉以能夠 減低氧含量。 如此一來，因為VC粉末、CnC2粉末、wc粉末之氧量減 少，而且選擇0H基少之溶劑來進行濕式混合粉碎，故而 锻燒前之氧量變少’藉以可利用碳黑⑹之添加量來控制

=於上述VC粉末、CrsC2粉末之氧含量多於〇·5質量災 h幵/下在氣燒日年會谷易析出粗大的々相粒子。此係 因為VC、CrA較WC容易氧化，所以於煅燒中與吸附在原 料表面之0H等進行反應而使表面被氧化。再來，因為於 ，k最後又中’ 《Cr3c2粉末表面之氧會與周圍的碳 或WC之C進行反應而變成為c〇跑掉，因此，周邊碳量不 足’而形成偏大α相。 相同地，當VC粉末、CrsC2粉末之粒徑變大時，則易於 生成粗大的；7相粒子。另一方面，於將wc粒子設為〇. 3从爪 以下之情形，原料粒徑係約〇 25/ζπ1以下，伴隨此現象， 97124372 14 200909592 麟加之VC #末、Cr3C2粉末等之粒成長抑制劑之原料粒 徑亦因分散性提升而變小，由於粒成長抑制劑之表面積增 加，故而氧的吸附量增加，而且在粒成長 氧量會變得更多’尤其是在將扣粒子微粒化之,二集二 會析出粗大？7相粒子，而導致々相粒子之平均粒徑大於 WC粒子之平均粒徑。 、 亦即’於WC粒子大於〇. 5 // m以上之情形下，即使^ 相粒子存在，77相粒子亦很少會大於WC粒子，例如，雖 未給予袖珍鑽孔機之特性多少影響，然而，隨著袖珍鑽孔 機之日益小徑化，當粒子微粒至G. 3"以下時，超過 WC粒子之粒徑的β相粒子存在，而有以強度低於心立 子之々相粒子為起點，而使袖珍鑽孔機容易毀損之問題。 當變成如此狀態時，於超硬合金剖面之3〇〇〇〇倍掃描 電子顯微鏡照片之40" m方塊視野中，粒徑_以上之 ”相粒子多數存在，而有以該低強度^

Cj 易於毁損的問題。 々t"·，占之 f本實施形態中，即便是將wc粒子進行微粉化，將％ 七CnC2粉末等之粒成長抑制劑進行微粉化，亦如上 Ιί間=等原料粉末之氧量減少，而且混合粉碎步驟次數、 火…a)j添加I，錯以能夠確實控制滿足的 下同時可做成如下組織:…平均粒徑設為 a且使77相粒子之平均粒徑小於WC之平均 "位，i是於超硬合金剖面之3咖倍電子顯微鏡照片 97124372 15 200909592 之40# m方塊視野中，粒徑^

個或未存在。 上之"目粒子存在J 本：施形態之切削工具係由上述超硬合金所構成 :’可適用於小徑端銑刀、小徑鑽孔機(包含袖珍鑽孔 )小么打孔機等尚硬度且高強度之要求 削工具，特別是袖珍鑽孔機。尤其於切刃部直徑為_的二 以下(較佳為200…下，更佳為100…下)之情形 ^因為容易毁損’故可適合❹本發明之超硬合金。再 來疋切削工具之小徑棒狀部份（直徑為繼㈣以下），例 如’袖珍鑽孔機之切刃邱太且# 1 。卩在長度1mm以上時，能夠適用本 發明。 Ο 所謂袖_孔機係指包含極小魏機者，可適用於對基 ^特別是印刷基板）進行開孔，但並非限定於基板開孔 2 ’所,胃袖珍鐵孔機特料指切刀部直徑為以下 者。此類袖珍鑽孔機—般係如圖3(a-l)、3(a-2)所示， 將剖面圓形之小徑棒狀超硬合金21之長度方向χ的一端 部進行研磨削去，形成螺旋狀溝而製作切刃部，又如圖 3(b)所，，形成圓柱狀柄（处8111〇部25、在其長度方向χ 體认置於„亥柄。卩25之剖面圓形狀的切刀部2了及於柄 P 5 ”切刀σρ 27之間的階梯部29而製作。柄部25長度 為1〇〜3〇咖，切刃部27長度為1〜3腿。另外，階梯部29 係未必需要形成。於此，圖3U-1)係小徑棒狀超硬合金 21之側視圖，圖3(a—2)係圖3(^)之前視圖。 接下來，切削加工裝置係具備下述零件而構成：上述切 97124372 16 200909592 及：：保持藉由該切削工具而被加工之被切削材 :保持：。作為切削加工裝置，係可列舉出有具備上述切 工之如碇盤的旋削加工裝置、如綜合切削機 ^chlning center)之研磨加工襄置等。關於此類切削加 裝：’係可長時間不替換切削工具而進行切削，切削工 一之替換次數減少，而能夠降低成本。 =使用袖珍鑽孔機之切削加工裝置，係具備下述零件 =成：上述袖珍鑽孔機；保持該袖珍鑽孔機之柄部的保 持4 ’及固定基板之固定部。 又’於本實施形態中，較佳的是碳粒子存在於wc粒子 内部，同時該碳粒子外周部之格子面與wc粒子之格子面 連續。 :即’如圖4(a)、4(b)所示般，碳粒子9存在於屬於 ^相3之WC粒子中’該碳粒子9之外周部^之格子面 a與wc粒子之格子面llb呈直線狀連續。換言之，碳 丨=9之外周部9&具有與wc粒子之結晶構造相同之結晶 L此係著WC之結晶化，而碳粒子9之外周部9a被 拖拉，使得碳粒子9之外周部9&之格子面ιι&與wc粒子 之格子面llb連續。因此，可以說是碳粒子9之外周部 9a係於碳粒子9中具有與WC粒子之格子面llb連續之格 子面11 a的^份。另一方面’碳粒子9之中央部9b係非 晶相。 此類碳粒子9之外周部9a係接近鑽石之構造，硬度高， 故而可提高作為超硬合金之硬度。因此，於將本形態之超 97124372 17 200909592 硬合金當作切以具（例如，袖珍鐵孔機） π粒子逐漸隸掉，W(:粒子内之硬碳粒子9 = ’ =更 會切削被切削材，而使連續切削成周= 壽命化。 上此夠謀求長 碳粒子9之平均粒徑係以5〇nm以下為佳。 平均粒徑係測定剖面照片上之個別碳粒子9 度’而做成該等之平均值。 取大寬

C 關於如此形成碳粒子9方面，係如後所述 燒:夺在下保持—定時間。因 = 連，子面的比例(外周…比例)增加， 步“硬度。為了得到更細微之碳粒子9，需將煅 保持溫度設定於更低溫。 寻之 另-方面，於碳粒子9之平均粒徑大於5〇_以 =，具有與WC粒子之格子面連續之格子面的二 =子^外周部之:匕例）減少，硬度提升效果減低^粒 、之平均粒徑係就提升硬度之觀點而言，以4〇nm以下 為佳’更以35nm以下為佳。此外’就抑制碳粒子9之脫 粒：點而言，以1〇11111以上為佳，更以15nm以上為佳。 石反粒子9係認為是每i個wc粒子則存在i個以上。另 外，λ際係為了確認超硬合金之任意剖面，於其剖面上， 亦存在有未確認碳粒子9之wc粒子，在此情形下，若改 麦剖面位置，則可確認到碳粒子g。 圖5係本形態之超硬合金剖面之5〇萬倍穿透型電子顯 97124372 18 200909592 微鏡（TEM)照片。於續昭y a 5 ^照片上’屬於可確認到碳粒子9之 又一田為00萬倍以上之照片時，則如圖4(b)之 圖所示般，在屬於硬曾相q + “久… 之^粒子内可見到條狀模樣 \ ，亚可確認到該條狀模樣（格子面lib)呈直缘狀 =子_係與WC粒子的格子面爪呈直線Si 採用能量分散型分光計⑽）來對結合相部進行 疋：，可檢測出。0、[。、〇及4等微量添加物。、 ^形態之超硬合金係因碳粒子之外周部之格子面盘舵 粒子之格子面呈直線狀連續，換句話 粒 r具有外周部具猶粒子之結晶構造相同之= =碳粒子’所以碳粒子之外周部就像是具有如鑽石般的 ^，可“硬度。關於此類超硬合金，係以總 石反化釩0. 01〜〇. 5質量％為佳。 有 形態：超硬合金係於碳粒子之平均粒徑為— j下之情形’關於碳粒子’係具有與wc粒子之格子面連 、，之格子面的外周部比例增加，而可進—步提升硬产。 又，本形態之超硬合金細結合相中之氧量為 =下T了:類Γ合金’因為結合相中之氧量為； ^里/=下’故可W因結合相所造成之wc粒子的接合強 又，亚旎夠提升作為超硬合金之機械性強度。 接下來，針對圖5之WC粒子中具有碳粒又子 金之製造方法來加以說明。 超更口 關於本形態之超硬合金製造方面，係如上述般，在㈣ 97124372 19 200909592 各原料粉末等之氧量的 結合相之c。、屬於粒成::;τ:::二及使屬於 co及卜之水溶性鹽溶Cr均句分散’使w、 獲得粉末。係使用如下 二’再使之乾燥，而可 .c小·於例如氮、 °，：化物粉末(含有卜 .所得粉末予以熱分解處二2'，在彻〜下將 有甲统、乙焼之環境中，/、/;:列如於C0/H2環境或含 碳化而生成者。另外 〇之度度下’進仃 (、之情形下，於經過碟二:二溶性鹽 關於WC-Co複合碳化物粉 乍為Cr3C2而添加。 時固溶於Γη由 /末，V、Cr係固溶在WC内，同 物而存^中’而進一步作為V、Cr之氧化物及/或碳化 氧=使ί; ，則可提升切削工具於進行切削時之耐 此日士 V，夠防止因為材料氧化所導致之強度降低。又， 此=〇猶粒子表面處均句分散為ι〇〜5〇 。 U /有讀用以控制上述㈣Q複合碳化物粉末盥 或異丙醇等有機溶劑來進行濕式混合 :卒：乾無後，藉由壓製成形等公知成形方法 ^ 以锻燒，再於其後施加壓力，锻燒熱間靜水厂堅 於此’減少WC—C〇複合碳化物粉末之氧量，採用 基〉之有機溶劑來進行濕式混合，而將锻燒前

- 減少。 I 真空度設為 並於900〜110(Tc之 锻燒係將锻燒爐内之 133〜13. SPaUO'1〜l(T3T〇rr)之環境， 97124372 20 200909592 下保持0. 5〜5小時，在煅燒後，於13〇〇〜139(rc之範圍内 進行10分鐘〜2小時之烺燒’接著，將煅燒爐内之壓力在 Ar環境下設為卜lOMPa，並於1290〜1380°C下進行H)分 鐘〜2小時之HIP煅燒。藉此，滿足〇<Ii/Id〇 〇5，同; WC粒子之平均粒徑為〇 3# m以下，且鈷鎢碳化物粒子之 平均粒徑小於WC粒子之平均粒徑。 於此，透過在 丨不何 疋吋間來進行煅 燒，Co會與液相化（12〇(TC左右）前即吸附在wc表面之氧 〇進行反應或水會與WC中之碳進行反應，而能促進作為⑶ 脫離之反應，可減少結合相t之氧量。又，藉由在 rC:下保持一定時間’則v、d WC跑出而容易固溶在 〇中二同時請〜110(rc之溫度下，因為wc開始結晶化， =存在於π中之碳會凝集至v、Cr跑出之部份，而步 成石反粒子。然後，透過煅燒，所凝隹k 夕 至WC之格子面而進行社曰/疑巿之石反之外周部被拖拉 ^ ? 進仃、、、口日日化，碳粒子之外周部成為盥wr

G粒子之格子面連續之格子面。 I或為與WC 又於WC-Co複合粉末合成時，利 =之4來作成水溶液，則：微：:^ 純，因為v、Cr對於wc、 η刀放VC、 以WC粒子之粒成長抑制效果大。藉此/二進行’所 發生，可以獲得細微組織。 θ月匕卩1粗大粒之 此外’在本實施形態中’wc 金之任意剖面上多數出現有^粒子，超硬合 WC粒子之四备 ；' 四角形剖面，於今 97124372 子之四角形剖面中，較佳的是縱橫比為2以上= 21 200909592 面係以面積比計而存在10%以上。 掃二二V係本形態之超硬合金之任意剖面的麵倍 =j電子顯微鏡（SEM)照月。在s 6之超硬合金剖面 狀，二-:有wc粒子之四角形剖面。wc粒子是否為柱 粒子子 敛離子光束（⑽裝置來將燒結體之結晶 分析影二:::方Γ度係可透過在掃描型電子顯微鏡 確度方向形狀的確認而重複進行，藉此即可 开μΓ面粒t係成形為三角柱狀，而具有三角形底面及四角 ^比歧二角形底面之—邊長度更A。本發明之縱 係於超硬合金之任意剖面上所出現之WC粒子之四角 :剖面：狀中’定義為將長邊(長度)除以短邊(寬度)之數 t 粒子之四角形剖面中’有兩個長邊跟兩個短邊， 求取縱橫比時之長邊、短邊係採用較長之長邊、較長之短 邊來加以計算。 ϋ 然後，本形態之超硬合金係如圖6所示，wc粒子為柱 狀粒子’同時超硬合金之任意剖面上多數出現有wc粒子 之四角形剖面’於該WC粒子之四角形剖面中，較佳的是 縱橫比為2以上之剖面係以面積比計而存在1〇%以上。透 過如此將縱橫比為2以上之剖面係以面積比計而設定在 10 %以上，則柱狀粒子進行三維相互纏繞，於施加重量時， 藉由妨礙柱狀粒子龜裂之忐J Γ、佳βT _ 丁m农之成長（進展）而得以提升破壞 性。 另外’在本發明之超硬合金之任意剖面上，縱橫比為 97124372 22 200909592 1〜2之WC粒子剖面係以面積比 又，於本形態中，在？ °存在未滿90%。 是縱橫比為2以上之立,】面夕 四角形剖面中，較佳的 下。如此一來，因為縱樺比 長又為以 -長度為以下，所以可^ 亡之剖面之長邊的平均 .而能夠提高抗折強度。尤其曰在:壞起源之粗大粒減少， 出現之縱橫比為2以上之剖疋面时 任意剖面上所 下為佳。另外，於t粒子之四角形H係以以 〇般，有長邊與短邊，所 处，係如上所述 之平均。 所明長邊之平均長度，係指較長長邊 的橫之:::::之，較佳 此類超硬合金，因為縱橫於 絲子之間隙係由縱橫比小之比大之柱 υ :化:能β提高抗折強度。縱橫比為2以上之:二 係就提升強度及韌性之觀點而言 ： ;=，上之剖面面積係較長長邊與較二 用行製造。係使 =而使[…之水溶性鹽溶解 I十對所獲得之粉末進行熱處理（亦稱為熱分解處理） 97124372 23 200909592 而進行脫鹽，製作複合氧化物粉末，並將其進行碳化處理 而生成。 藉由熱處理，則能使少量添加之屬於粒成長抑制劑之v 均勻吸附在作為氧化物或碳化物之WC上。v之氧化物係 以下述煅燒步驟，與周圍碳進行反應而轉變成VC。亦固 溶在WC内。 Μ

量秤既定量之用以控制上述複合碳化物粉末與C量之C ，料、CnC2粉末，並予以添加，採用丙酮或異丙醇等有機 洛劑來進行濕式混合粉碎，在乾燥之後，透過壓製成形等 公知成形方法來加以成形後，進行煅燒，並於其後施加壓 =而進行（HIP)煅燒。於此，WC_c〇複合碳化物粉末之氧 置減少’使用0H基少之有機溶劑來進行濕式混合，而 少煅燒前之氧量。 '

煅燒係將煅燒爐内之真空度設為〇133〜133pa之真 ，，並於130(M390t：之範圍内進行1〇分鐘〜2小時，接 者，將煅燒爐内之壓力在Ar環境下設為卜1〇Μρ&，並於 1290〜138(TC下進行⑽)煅燒。藉此，能夠滿足ο。"。 so山· 05之同時，WC粒子之平均粒徑為〇 以下，且鈷 鎢碳化物粒子之平均粒徑小於wc粒子之平均粒徑。 特別是在本形態卡，主要係使w、⑺及v之水溶性鹽溶 解在水中，並以喷霧式乾燥來均勻分散屬㈣成長抑ς劑 之ν，=及於真空環境下之緞燒中，溶解之溫度 92〇 970 C保持指定時間，藉此，將存在於wc粉末周圍之 V的氧化物溶解，而覆蓋住^粉末周圍，則可使^在長 97124372 24 200909592 行粒成長°亦即’透過於920〜97〇°c之〜 使保持時間變動，則可以控制I粒子在長卢方= 成長。若為同-溫度，則在保持時間短之；：粒 = 物f未充分分散，而無法得到柱狀粒子之:: 的充刀效果。當保持時間過長 、，成長 大粒’因此，保持時間係以卜2小時為佳。、’亚生成粗 溶=合二由提覆高燒溫度來進行锻燒，… ,^ 覆a wc粒子，而能夠抑制WC粒子之粒忐 長(亦包含於長度方向上之粒成長）。 子之粒成 亦即，在複合氧化物粉末合 之V當作水溶性/于將屬於粒成長抑制劑 而V對==藉以可細微地均勻分散V，故 果大。Μ 之固办快速進行，所以粒成長 ”猎此，可獲得粗大粒之發生或細微組織。 ^後’於使ν含有於複合氧化物 複合碳化物粉末（濕式混合時）之情形下將口至 920〜970。(：下佯捭少—„ , 在舞又時於 …毒甘 則能強力抑制在特定方向上 之粒成長’其結果係形成柱狀粒子 係主要抑制牯宁士二L /、i由尚未明確，v 微均匂八吟、 之粒成長’而透過嘴霧式乾燥所細 ,:勻刀放之V係藉由在煅燒時於92 時間，而交屆下保持指定 效果之ΐ wr , 溶在C〇 ’於Cr發揮粒成長抑制 之^如 wc在特定方向上_柄_ :、e 子。再來H么 而形成桂狀粒 再來於其之後，cr發揮粒成長抑制效果，敕 肢/午制粒成長，並提升機械強度與破壞韌性。 正 另方面’與v相同的，在將Cr於複合氧化物粉末合 97124372 25 200909592 溶性液而添加之情形下，因為Cr同於v而細 ^ 11進行著與V相同程度之Cr朝Co中之固溶， ' 相同粒成長抑制效果，而以同樣理由難以形成 往狀粒子。—叔脸 ,θ 將V、Cr添加至複合碳化物粉末之情形， 疋--的以同樣理由難以形成柱狀粒子。 —以下歹舉實施例來詳細說明本發明。 [實施例1 ] 、、曰人 之鎢原料（鎢酸銨）、鈷原料（硝酸鈷）以相對於

燥中逸::：，之水500ml的比例進行溶解’於喷霧式乾 中°將所獲得喷霧式乾燥粉末_於氮環境 於末二2熱分解處理，而得到w〇3_co0複合氧化物 二、w ; 复合氧化物粉末於C0/H2環境中700〜90(TC f ψΤ'1 WC'C〇 附在wet、末㈣複合碳化物粉末係』〇吸

L 取構造’透過sem影像之影像解析來求 之千均粒徑，並記载於表丨^。 vc:L'cV复合碳化物100質量份、平均粒徑〇.5"m之 份予以混合，再㈣之㈣粉末〇.6質量 她石户旦…： 之碳量’以使混合粉末中之 成為如表Η所示之量，於添加微量碳漿料之後， σ表1-1所示之有機溶劑，利用球 之濕式混合處理。另外，關_νΓ、Γ Γ尸選订72小日守 理’準備數種碳量不同之原料。Γ3 2，糸進行碳化處 利用球磨機所混合之原料漿料係於添加石蠟(卯姻η 97124372 26 200909592 wax)之後，利用喷霧式乾燥 ,,# ^ κ 進仃以粒乾燥，在壓製成形 後，進仃真空煅燒’再進行埶門 π 熱間静水壓處理（HIP)，而獲 付起硬合金。另外，直至真空锻燒為止之升溫速度：5〇c /nun，真空煅燒條件係在時間：i小時、溫度：13抓之 條件下進行，㈣靜水壓處理係於溫度：13 6MPa之條件下進行。 选孔 將所獲得超硬合金之表㈣行研錢，進行採用C心 射線之X射線繞射測定，計算出π相之波峰高度w _)之波峰高A l2(產生於2Θ，。附近處)的強度 比，透過掃描型電子顯微鏡（SEM)i 3〇〇〇〇倍照片來評估 超硬合金中之WC粒徑、”相之平均粒徑。評估係藉由影 像解析軟體⑻膽_ER製：image PrQ Plus)來進行。 接下來，以施加重量9·8Ν之條件來評估畢式硬度，抗折 強度係於跨度（span)2Qmm、3點彎曲下進行評估。將試料 形狀做成直徑2顏、長度30mm之圓柱形狀。 在超硬合金之某任意剖面之3〇〇〇〇倍電子顯微鏡照片 的40/ζιη方塊之視野中，計算粒徑1/zm以上之π相粒子 數目。 接著，將各試料前端加工成直徑〇. 12〇_、長度2. 〇_ 之鑽孔機形狀，並以下述條件進行耐磨耗性與耐毁損性之 评估。另外，關於耐磨耗性，係以孔位置精度為指標。關 於孔位置精度，係以將4000處開孔時之χ+3σ之數值為 指標’朝向基板厚度方向之送料速度設為3m/mill。關於 耐毁損性’係以於逐漸提高每個孔朝向基板厚度方向之送 97124372 27 200909592 料速度時，鑽孔機毀損之最大送料速度之數值為指標，記 载於表1 -2。亦記载加工條件。 鑽孔機迴轉速度 300krpm 送料速度 2〜20m/min 評估基板 於日立679G(0. 4mm，重疊3片）上積 層有進料片（entry sheet)(LE 800 — 片）者

[表 1 -1 ]

記號係表示本發日日4 。， + %明之範圍外的試料 97124372 28 200909592

根據表l-；l、表1-2可知道，試料N〇. 1-5係因為wc原 料粒徑粗大，而^與π相之平均粒徑變大，畢式硬度低， 耐磨耗性不良。又，可知道試料Ν〇1_6係總碳量少，導 致C相比率（h/I2)高至0.08,而呈現β相過剩之狀態， G抗折強度低，且耐毁損性差。此外，關於試料Ν〇.卜^， 可知道因為設定多量添加碳量，而未存在C相，由於碳 過剩，故可見到游離碳的析出，畢式硬度、抗折強度低， 耐磨耗性、耐毁損性不佳。另外，關於試料Ν〇.丨_^，#可 知道7?相粒子之平均粒徑大於WC·子之平均粒徑，抗折 強度低，而耐毁損性不良。 相對於此，關於本發明之試料，可知道顯示下述優越特 性.畢式硬度為19.8GPa以上、抗折強度為398〇MPa以上、 97124372 29 200909592 表，耐磨耗性之孔位置精度為3〇 # m以下、表示耐毁損性 之表大送料速度為3. 5m/min以上。 [實施例2] f 使水/合性之鎢原料（鎢酸銨）、鈷原料（硝酸鈷）、v原料 (釩齩銨）、Cr原料（醋酸鉻）以相對於混合原料之水 50 0ml㈤比例進行溶解，於喷霧式乾燥中進行乾燥。將所 獲得喷霧式乾燥粉末100g於氮環境中5〇代下進行熱分 解处理❿知到w〇3_c〇〇_V2〇5_Cr2〇3複合氧化物粉末。 —，該複合氧化物粉末於c〇/H2環境中8〇〇它之溫度下進 二炭化處理，得到複合碳化物粉末。複合碳化物粉末係分 如^^於試料Nq.2 —刚心，設為9ΐ·2質量％之

wc、8 貝！ ％之 c〇、〇 3 皙景 0/ V 關於試料N。· 2-4，設為91 5質量%之⑽； 9〇質量〇/之《 關於試料如.2一5’設為

Cr3C2 〇 里0之 C0、1· 5 备量％之 VC、0.5 質量 =後’添加複合碳化物粉末、碳漿料 於球磨機中進行濕式混合處理7心广有機 VC f、末Γγ試料N〇.2—7，係對WC粉末添加⑽粉末、 貝里/〇之 經過球磨機所混 #里/°之CnC2。 喷霧式乾燥進行造㈣加石蝶之後’利用 燒，再進行埶間 /、 堅衣成形後，進行真空煅 …、’水壓⑽）锻燒，而獲得超硬合金。另 97124372 30 200909592 外’直至真空煅燒為止之升溫速度：5〇c/min，真空煅燒 條件係於表2-1之锻燒溫度_〜11〇代下保持1小時後 (1階段锻燒），在1350°c下保持1小時（2階段烺燒），而 2成圖表（pwue) ’其後，進行熱間靜水壓锻燒。係於 /皿度.134(TC、氬氣6MPa之條件下進行。 透過燒結體之任意剖面之穿透型電子顯微鏡（則之 =照片來求得碳粒子是否存在於所得超硬合金之t粒 :中’ X，分別測定存在於5張5〇萬倍照片(i2〇xi〇〇nm) :之奴粒子粒徑’再用碳粒子個數來除，而計算出平均 ’作為平均粒徑記載於表2一2。碳 取碳粒子之最大寬度。 f隹…、月上 丄藉由掃描型電子顯微鏡(SEM)之3萬倍照片，並使 用衫像解析軟體_ER製：Image Pr〇 pius)來 2 Wc粒子所佔面積，計算出平均值，再將wc粒子之平 =粒徑換算成假設粒子為球狀時之直徑，而求取平均 粒徑，記载於表2-1。 卞] i 此外’利用穿透型電子顯微鏡（ΤΕΜ)之 :，察碳粒子外周部是否與WC粒子之袼子 連續性之有無記載於表2_2。 f面連續，將

於：二獲传之燒結體施以薄型加工，透過穿透型電子顯微 釦（TEM)及能量分散型分 电于』U 氧量，記载於表2-2先计之測疋，來評估結合相中之 此外&折強度係於跨度 將試料形狀做成直栌9 弓m卜進仃评估。 工2_、長度30_之圓柱形狀。在施 97124372 31 200909592 加重量9. 8N之條件下求取畢式硬度 [表 2-1 ]

*記號表示本發明之範圍外的試料 [表 2-2]

*記號係表示本發明之範 的^ 根據表2 —丨、 礼固外的5式枓 υ 方面，係碳教；、I 2可知道，本發明之試料No.2 — 1〜2〜6 部則具有肖Wr之平均粒徑為50nm以下’碳粒子之外周 、 粒子之格子面連續之格子面，硬度高至 97124372 32 200909592 21. 5Gpa以上。又， 係結合相中可以知道本發明之試料No. 2-卜2-6， 於此，可知比ΚΙ:，以下，抗折強度大。相對 度亦小。 1 ' 〇. 2 7係未形成碳粒子，且硬 另外’將本發明之与! 4 機形狀，並針對重最有3 〇.2—3之超硬合金加工成鑽孔 開孔（鑽孔機之旋日立製造之679FG的基板進行 結果係即便進行2〇〇〇〇 =’送^速度1〇m/min)，其 射绫罅二、、丨&料N〇.2-1〜2~6方面，採用Cuka射線之X ==之C*之波峰讀之波峰二之 波峰強度l2之比1 Λι 強度11與ι最大的 平均粒徑為〇 16〜〇 23#值’係〇.02〜0.04，WC粒子之 徑為….二】/且料^^ # m以上之々相為〇個。

C 卜將各個試料前端加工成直徑0·120_、長产2 〇 :鐵Ζ形狀，以下述條件進行耐磨耗性與耐毁“之； 另卜關於耐磨耗性，係將孔位置精度當作指俨 二置精度係將已開孔4_處時之χ+3σ的數- :損：向I板厚度方向之送料速度設為一。關於: 』於逐漸提南每個孔朝向基板厚度方向之送料 :時，孔機毀損之最大送料速度之數值 = ^在概.2州方面，孔位置精度為 ：： 最大运料速度為51„/_以上。亦記載加工條件。 鑽孔機迴轉速度 300krpm 97124372 33 200909592 送料速度 s平估基板 [實施例3] 2~20m/min 於曰立679G(0. 4mm，重疊3片）上積 層有進料片（LE 800 —片）者 :酸原料（鶴酸銨）、㈣料（石胸）、v原料 例進行溶解目=:'等之混合原料_之水的比 Γ 於賀務式乾燥中進行乾燥，獲得噴霧式乾焊 粉末1所獲得料式賴粉末_於氮環境 下Ϊ 1解處理’而得到W〇3_C〇〇_V2°5複合氧化物粉末。 了、〃之W〇3-Co0-V2〇5複合氧化物粉末進行碳化處 、，’侍到硬合碳化物粉末。針對該複合碳化物粉末，量秤 ::加入用以控制C量之c漿料與Cr3C2粉末’並添加由 醇所構成之有機溶劑，於球磨機中進行濕式混合處理 72小時。 =用球磨機所混合之原料漿料係於添加石蠟之後，利用 喷霧式乾燥進行造粒乾燥，在壓製成形後，進行真空煅 燒，再進行熱間靜水壓處理（HIP)，而獲得表3_丨之超硬 合金。另外，真空煅燒係升溫速度：5π/πΰη，於95(rc J保持1〜6小時，並在1350〇C下進行煅燒1小時。熱間 靜水壓處理係於溫度：134(TC、氬氣6MPa之條件下進行。 將所獲得超硬合金之表面進行研磨後’透過掃描型電子 顯微鏡（SEM)之30000倍照片來評估超硬合金中之任意剖 面之WC粒子的剖面尺寸、縱橫比。評估係在燒結體之某 任意剖面上之30000倍SEM照片2張中，於呈現為四角形 97124372 34 200909592 =:=描緣縱橫比為2以上之剖面，測定其 值，將之當作 二度與趙邊尺寸(寬度)’求取平均 乍十均長度、平均寬度記载於表。 又，關於縱橫比為2以上 邊尺寸來炎彳曰而# ,上之王口彳面，根據長邊尺寸X短 邊尺寸來“面積，求取縱橫_ 積’並求取相對於昭片9租a 上之王面的面 比為2以…丨、…、片2張之面積的比率，將之當作縱橫 比為2以上之剖面的面積比率 與短邊尺寸（寬度）俜接爾心 Μ尺寸（長度） 、短邊尺寸。）糸知用』面之較長的長邊尺寸、較長的 板狀利：FIB裝置之細微加工，來確認WC粒子為 板狀或柱狀之結果，Wc粒子将古择〇 形狀底邊之一邊長度，而確切到度）長於三角 狀。 確-到本發明乾圍内之試料係柱 此外，以施加重量9 .之條件來评估破壞韌性值，抗 跨度2〇，3”曲下進行評估，將其結果記 】載在表3+將試料形狀做成直徑2_、長度3〇匪之圓柱 :狀:二強度係未滿4.0GPa時為χ，4〜㈣時為△， 大於5GPa時為〇，記载於表3-1。 97124372 35 200909592 [表 3-Π 煅燒條件 950°C下之 保持時間 ------- 燒結體組成（質量％) V VC __換算量 V 添加 .時期 Cr CrsCz 換算量 0. 025 A 0.6 〇. 075 ΓΤ 0. 6 0.6 了 ΤΓ' 1 ..............乳化物合成時 Β係添加於複合碳化物粉末

破壞韌性值 (MPa .瓜1/z) 試 料

No. 平均長度、平均寬度係彳壬音 Φ Α 〇 ，、 w 〇J面之WC粒子之四角形剖面 二，=比為2以上的剖面長度、寬度 面積比率係WC粒子之四条彬A丨二山 剖面的面積比 W拍中之縱橫比為2以上之 c 進：ί力3 1所f載之結果可以知道:於複合氧化物合成時 將二V二 計而含有0.025〜1質量，藉由 可使縱橫則_子成為柱狀， 收士广Λ 上之σ]面的面積比率在10%以上，並能 將破壞：性值定在8梟·，以上，可提高勃性。 在二：；知ί當將縱横比為2以上之剖面的面積比率設 在3(U以下，則可增加抗折強度。 關於試料〜3_4方面，採用⑷射線之 繞射測UCq3W3C之波峰、⑽eC之波峰、㈤ = 及C〇3W9C之波痊φ旧丄，丄々 皮峰中取大的波峰強度^與wc之最大的波峰 97124372 36 200909592 強度12之比ι丨/τ ΑΑ把从 以 粒徑為0.15〜〇的數值’係〇.02〜〇.〇4，WC粒子之平均 0.10〜0.15“ ：又'm，且鈷嫣碳化物粒子之平均粒徑為 為2〇GPa以上。^以上之77相為0個’畢式硬度 此外，將試料N〇. 3 —丨〜3 0.120麵、長度9 Λ 飞才叶則编加工成直徑 磨耗性與耐毁·;生Ζ之鑽孔機形狀，以下述條件進行耐 位置精产合料 平估。另外，關於耐磨耗性，係將孔 χ + 3 曰標。孔位置精度係將已開孔4000處時之 為L、.值做為指標，朝向基板厚度方向之送料速度設 =二關於耐毁損性，係以於逐漸提高每個孔朝向 之數之：料速度時’鑽孔機毁損之最大送料速度 。其結果係在試料n〇 3 + 3_4方面，孔位 ^月度為15〜30/Zra，最大送料速度為5咖 載加工條件。 丄力纪 鑽孔機迴轉速度 送料速度 評估基板 Ο 300krpm 2~20m/min 於日立679G(0. 4mm，重疊3片）上 積層有進料片（LE 800 —片）去 【圖式簡單說明】 圖1係本實施形態之超硬合金的SEM照片。 圖2係本實施形態之超硬合金的線繞射圖案。 圖3(a-l)係小徑棒狀超硬合金之側視圖，圖係 超硬合金之前視圖，圖3⑻係表示袖珍鑽孔機 祝圖。 97124372 37 200909592 圖4(a)係於WC粒子内具有碳粒子 圖，圖4(b)係擴大表示其局部之示意圖超硬合金的示意 圖5係於ITC粒子内具有碳粒子之超硬合金的選照片。 圖6係具有四角形剖面之超硬合金的sem照片。 【主要元件符號說明】 3 硬質相 5 結合相 7 β相 9 石厌粒子 9a 碳粒子之外周部 9b 碳粒子之中央部 11a 格子面 lib 格子面 21 超硬合金 25 柄（shank)部 27 切刀部 29 階梯部 97124372 38

Claims (1)

1. 200909592 十、申請專利範圍： 1.種超硬合金，係分別含有作為硬質相之wo粒子、 作^結合相之C〇，且含有從c〇3W3C、c〇6WeC、c〇2W4C及c〇3WgC 所選出之至少一種的鈷鎢碳化物粒子者，其特徵在於： Γ Ο 在將採用Cuka射線之X射線繞射測定之上述c〇3W3C 波峰、上述C〇6W6C之波峰、上述c〇2W4C之波缘及上述—μ ^波學中最大的波峰強度當作h，將上述wc之最大的波 強度當作12時，係滿足0<Ii/Id〇 〇5，同時上述wc 二立：之平均粒徑為0.3㈣以下，且上述始鎢碳化物粒子 平均粒徑小於上述WC粒子之平均粒徑。 =如申請專·圍第丨項之超硬合金，其巾，於超硬合 中^面=3_0倍電子顯微鏡照片之· m方塊的視野 未存^ 1/zm以上之上述銘鎢碳化物粒子係存在1個或 專·圍第i項之超硬合金，其中，碳粒子存 在於上述WC粒子之内邱，日兮山士 上述WC粒子之格子面連續。厌粒子外周部的格子面與 子專利範圍第3項之超硬合金，其申，上述碳粒 子之千均粒徑為50nm以下。 如申4專利範m第3項之超硬合 相中之氧量為3質量％以下。 中上述結合 ^如申請專利範圍第】項之超硬合金， 拉子為柱狀粒子，且上述f 上述WC 在超硬合金之任意剖面上，粒子之四角形剖面^ 97124372 39 200909592 縱橫比為2以上之剖面係以面積比計存在1〇%以上。 7.如申請專利範圍第6項之超硬合金，其中，上述wc 粒子之四角形剖面中’縱橫比為2以上之剖面 均長度為1/ζιη以下。 透之十 /如申請專利範圍第6項之超硬合金，其中，上 粒子之四角形剖面中，縱橫士或9 ,、，L 為繼以下。 社比為2以上之剖面的面積比率 2 = 具，其特徵在於：為由申請專利範圍第！ 項之超硬合金所構成。 固弟i 10.-種切削加工裝置，其特徵在於 Ip Ifl ^ Q jS ^ -fc77 -t- « ^ ^ ^ 5月專利 祀圍第9項之切削卫具；及用以保持藉由該切削卫 加工之被切削材的保持台。 八而被

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