JP2004076049A - 超微粒超硬合金 - Google Patents
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Abstract
【課題】超微粒超硬合金材料のミクロ組織内における硬質相に分散されたWC相の粒度分布に着目し、粗大粒子の存在を極力排除し、均一な微細粒子からなる焼結体とするような改善を図ることによって、折損までの寿命が長く、しかも高強度で良好な耐食性と耐摩耗性を示す切削工具が得られる超微粒超硬合金を提供する。
【解決手段】重量比で、Co及び/又はNiが5〜12%、Cr3C2、VC、TaC、Mo、Ru、Siの少なくとも2種以上を含み合計量が0.1〜3%、残部がWC及び不可避の不純物からなる組成を有するとともに、焼結後のWCは平均粒径Dが0.10≦D≦0.35mで、粒径が0.70m以上の粗大粒子の含有割合Fが0<F<10%となる粒度分布を有し、抗折力が4.5GPa以上を有する。
【選択図】無し
【解決手段】重量比で、Co及び/又はNiが5〜12%、Cr3C2、VC、TaC、Mo、Ru、Siの少なくとも2種以上を含み合計量が0.1〜3%、残部がWC及び不可避の不純物からなる組成を有するとともに、焼結後のWCは平均粒径Dが0.10≦D≦0.35mで、粒径が0.70m以上の粗大粒子の含有割合Fが0<F<10%となる粒度分布を有し、抗折力が4.5GPa以上を有する。
【選択図】無し
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、穴あけ加工やフライス加工等に使用される切削工具に適用される超微粒組織を有する超硬合金に関する。
【0002】
【従来の技術】
周期律表4a、5a、6a族金属の炭化物粉末と、Fe、Co、Ni等の鉄族金属で焼結結合した超硬合金の内、WC−Co系合金は、機械的性質、特に高温での強度低下が少なくまた熱伝導率が高い、に優れ、切削工具に多用されている。切削工具の場合、特に、WC−Co系合金でも、微細なWC粉末を出発原料としかつ焼結過程でWCの粒成長を抑制する遷移金属の元素(例えば、Cr、V、Ta。)を添加することにより、WCの平均粒度が1μm以下の超微粒組織とした超硬合金(以下、超微粒超硬合金という。)が使用されている。超微粒超硬合金を使用した切削工具として、例えば、半導体のプリント基板の穴あけ加工や外縁部の加工に使用される外径が0.05〜0.5mm程度のプリント基板用ドリルがあるが、この種のドリルは多数枚積層したプリント基板に対して高速回転させて使用されるので、折損し易い。工具寿命を延ばすために、従来から種々の提案がなされている。例えば、特公昭62−56224号の訂正公報(以下、先行技術1という。)には、重量比で、Co及び/又はNi:5〜20%及びV:0.1〜2.0%とCr:0.1〜2.0%を含有し、かつCo及び/又はNiにV及びCrが固溶している金属結合相と、平均粒径が0.7m以下のWC硬質相からなる2相組織とすることにより、強度を改善することが記載されている。特公平7−76403号公報(以下、先行技術2という。)には、重量比で、Co:4〜20%、VC:0.2超〜2%、Cr3C2:0.4%超〜2%、VC/Cr3C2:0.1超〜0.65未満とし、(TaC+NbC+TiC):0.2%以下の組成を有すると共に、原料のWC粉末の平均粒径を1μm以下とすることにより高硬度でかつ高靭性の超硬合金が得られることが記載されている。例えば、先行技術2の図2には、平均粒径0.3mのWC粉末を用いた場合に、HRA92〜93で、3.3〜4.4GPa程度の抗折力を有する超硬合金が記載されている。特許第3010859号公報(以下、先行技術3という。)には、重量比で、Co:4〜20%、Cr3C2:0.3〜3%、VC:0.1〜3.0%含有し、平均粒度が0.8m以下であるWC基超硬合金の素地中に、CrとVの複合炭化物相を分散させることにより、HRA91〜94、2.9〜5.2GPa程度の抗折力を有する超硬合金が得られることが記載されている。特開平6−81072号公報(以下、先行技術4という。)には、重量比で、Co及び/又はNi4〜40%、V、Cr、Ta、Nb及びTiのうちの1種以上0.1〜5%を含有する組成を有し、平均粒度が0.6m以下でかつ最大粒径が3.0m以下のWC粒子が分散している合金素地中に、最大粒径が3.0m以下の固溶体粒子(V、Cr、Ta、Nb及びTiのうち1種以上の炭化物又は炭窒化物)を分散することにより、従来よりも高硬度でかつ高い抗折力(例えば、HRA84〜94でかつ4.6〜5.6GPa。)を有する超硬合金が得られることが記載されている。特開2000−712号公報(以下、先行技術5という。)には、面積%で第1硬質分散相が65〜92.5%と、第2硬質分散相が0.5〜5%とCoからなる結合相組織を示し、第1硬質分散相はWCをVとWとCrの析出複合炭化物の薄層で全面及び/又は部分被覆してなる被覆WCからなり、第2硬質分散相は結合相中に微細に分散分布したVとWとCrの析出複合炭化物からなり、かついずれも0.7m以下の平均粒径を有し、重量比で、Co:5〜13%、Cr:0.2〜2%、V:0.2〜1.0%である超硬合金でプリント基板用ドリルを構成することにより、従来と比べて耐摩耗性は同等で、耐折損性が向上することが記載されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
先行技術1〜5に記載された組成及び組織を有する超微粒超硬合金によれば、従来よりも工具性能を向上することができるが、次に述べる通り、プリント基板用ドリルのような厳しい切削条件のもとで使用される工具に適用する場合には、改良すべき点が残されている。先行技術1に記載されているような2相組織の超硬合金をプリント基板用ドリルに適用すると、工具寿命の安定性に欠けるという問題がある。先行技術2は、硬度と靭性の低下を防止するために、TaC、NbC及びTiCの含有量を低くしているが、平均粒径が1m以下のWC粉末を使用することが記載されているのみで、硬質相に分散されているWC粒子の粒度分布を考慮していないので、高い抗折力を得られない場合がある。先行技術3に記載された組織を有する超硬合金を作成するためには、焼結後の焼結温度から1000℃までの冷却工程において、その冷却速度を20℃/min以上に制御する必要があるので、焼結炉に冷却手段を設けることと正確な温度制御が必要となり、生産性が低下するという問題がある。先行技術4の表3に記載された超硬合金は、粗大なWC粒子、例えば、最大粒径が1.2〜2.9mのWC粒子、を積極的に含んでいるので、緻密な組織が得られず、靭性が低下することがある。先行技術5に記載された超硬合金を得るためには、真空中において1350〜1480℃の条件で焼結したのち、加圧焼結し、ついで1200℃までを50〜100℃/minの冷却速度で急冷することが必要であり、焼結炉に冷却手段を設けることと正確な温度制御が必要となり、生産性が低下するという問題がある。
【0004】
従って、本発明の目的は、超微粒超硬合金材料のミクロ組織における硬質分散相であるWC相の粒度分布に着目し、この粗大粒子の存在を極力排除し、より均一な微細粒子からなる焼結体とするような改善を図ることによって、折損までの寿命が長く、しかも高強度で良好な耐摩耗性を示す切削工具が得られる超微粒超硬合金を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明者等は、超微粒合金において、抗折力と合金組織中の合金組成、固溶形態等との関係に着目し、種々検討を行った。それらの検討において、合金組織中の硬質相の粒度及び粒度分布と抗折力との間に密接な関係があることを見出し、本発明に至った。即ち、重量比で、Co及び/又はNiが5〜12%、Cr3C2、VC、TaC、Mo、Ru、Siの少なくとも2種以上の合計量が0.1〜3%、残部がWC及び不可避の不純物からなる組成を有し、該WCは平均粒径Dが0.10≦D≦0.35μmで、粒径が0.7μm以上の粗大粒子の含有割合Fが0<F<10%となる粒度分布を有し、抗折力が4.5GPa以上を有することを特徴とする超微粒超硬合金である。更に、本発明は、(VC+Cr3C2)/(Co+Ni)が0.07以上である組成を有することが好ましい。
本発明の超微粒超硬合金においては、狭い粒度分布を有するので、微細なWCが十分に分散される。WCの粒径が微細になることによって金属結合層の厚みが薄くなる傾向がある。即ち、Coが5〜12%の範囲で、Co相の平均厚さ(以下、mfpと称する。)を小さくすることができるので、例えば、Co:5〜9%の時に、mfpは0.06μm以下となり、またCo:9%超〜12%以下の時にmfpは0.05μm以下となるため、高強度の超硬合金を得ることができ、更に、金属層が薄いことによって耐食性が向上するという効果がある。粗大粒子の含有割合Fが0<F<10%となる狭い粒度分布領域で制御されることは、強度低下の原因となる破壊の起点箇所も減少することになり、強度の改善、向上に効果がある。しかも、WC、炭化物固溶体、Co相からなる3相域の幅がη相や遊離炭素が生じないように調整されるので、高硬度で、高い強度、例えば4.5GPa以上の抗折力が得られる。本発明の超微粒超硬合金によ、小径のドリルに適用した場合に折損し難くなる。また、必要に応じRuを添加することにより、良好な耐摩耗性、耐食性を付与することができる。即ち、本発明の超微粒超硬合金で形成したプリント基板用ドリルで半導体のプリント基板の穴あけ加工や外縁部の加工を行っても、長期の使用に耐えることができる。
【0006】
本発明の超微粒超硬合金における各成分範囲の限定理由は次の通りである。Co及び/又はNiは、少ないと焼結性が低下し、結合相が形成しがたくなり、強度が低下するので5%以上が必要で、多いと耐摩耗性が低下し、また価格高を招来するので、12%以下とする。Cr3C2、VC、TaC、Mo、Ru、Siは、結合相に固溶し、第3相を形成して、焼結過程におけるWCの粒成長を防止する効果を有するが、これらの合計が0.1%以下であるとWCの粒成長を防止する効果がなく、一方3%を越えると、疲労強度が低下するので、0.1〜3%の範囲とした。Cr3C2とRuの添加は、耐食性の向上に有効であり、湿式切削における切削液による腐食を有効に防止することができる。更に、これらのうちCr3C2、VC、TaCの添加量は、次のようにすることが好ましい。即ち、Cr3C2は、焼結過程におけるWCの粒成長を防止し、またWCの表面に被覆薄層として析出するCを形成するので、耐摩耗性を向上させるが、Crは0.23%を越えると、強度が低下するので、0.23%以下が好ましい。VCは、少ないと焼結過程におけるWCの粒成長を防止できないので、Vは0.37%以上が好ましい。TaCは、焼結過程におけるWCの粒成長を防止するが、多いと強度が低下するので、Taは0.5%以下が好ましい。
次に、(VC+Cr3C2)/(Co+Ni)の値が小さいと、焼結過程におけるWCの粒成長を防止できないことがあるので、0.07以上が好ましい。上記組成は、製造上不可避の不純物を含んでいても差支えないが、焼戻し脆化を促進するP、S、Sn等の元素の含有量を少なくすることが好ましい。WCの平均粒径は、0.10μm未満となると工具刃先などからの粒子の脱落により急激な性能劣化、例えば耐磨耗性の低下等が発生するようになり、その一方で粒径が0.35μmを超えると強度及び靭性が低下するよになるため、平均粒径Dは0.10≦D≦0.35mが好ましい。更に、粗大粒子は強度低下の原因となる破壊の起点箇所となるため、可能な限り含有割合を小さく制御する必要がある。そこで、0.7μm以上の粗大粒子の含有割合Fが0<F<10%となる粒度分布であることが好ましい。粗大粒子が10%を超えて存在する場合には、抗折力の低下が顕著となり、この影響で工具寿命の低下を引き起こすことになるからである。
【0007】
【発明の実施の形態】
本発明の超微粒超硬合金は、例えば、次のような工程に従って製造することができる。平均粒径0.7μm以下のWC粉末及び平均粒径1〜2mのCo粉末と、VC粉末、Cr3C2粉末、TaC粉末、Mo粉末、Ru粉末及びSi粉末を準備し、これらを所定組成になるように配合し、ボールミルで湿式混合し、減圧乾燥後5〜10MPaの圧力でプレス成形する。この成形体を10−3torr程度の真空中で、WCとCo及び/又はNiとの共晶温度以上例えば、1300〜1500℃、に0.5〜2h保持して、焼結を行えばよい。また必要に応じ、焼結後Arガス雰囲気中でHIP処理を行ってもよい。以下、実施例について説明するが、本発明は下記実施例に限定されるものではなく、適宜変更することは本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【0008】
(実施例1)
平均粒径0.3〜0.5μmのWC粉末、平均粒径1.0μmのCo粉末、平均粒径1.2μmのVC粉末、平均粒径2.0μmのCr3C2粉末、平均粒径1.2mのTaC粉末を準備し、これらを表1に示す組成になるように配合し、アトライターで湿式混合し、減圧乾燥後9.8×107Paでプレス成形した。この成形体を真空中で、1400℃に1時間保持して焼結を行い、得られた焼結体を加工して、全長38.1mm、シャンク径3.175mm、刃径0.2mm、溝長4.0mmのプリント基板用ドリルを作製した。本発明例1〜7では、ボールミルによる湿式混合を9〜10時間行い、従来例8〜12では、ボールミルによる湿式混合を3〜4時間行った。
【0009】
【表1】
【0010】
抗折力は、表1に示す各組成のJIS抗折試験片(A号)を作成し、3点曲げ試験を行うことにより測定した。本発明例及び従来例の超微粒超硬合金について、WCの平均粒径は、試料の表面を鏡面研磨した後、走査型電子顕微鏡(以下、SEMと呼ぶ。)によるミクロ組織写真より、フルマンの式を用いて算出した。更に、粒度分布は組織写真視野内の各粒子径を測定することにより求めた。表1に示す超微粒超硬合金のWCの平均粒径と抗折力を測定した結果を表2に示す。
【0011】
【表2】
【0012】
本発明例及び従来例の超微粒超硬合金のプリント基板用ドリルを用いて、次の諸元で切削テストを行い、ドリル寿命を測定した。切削諸元は、被削材:ガラスエポキシ樹脂からなるプリント基板(厚さ1.6mm)を2枚積層し、回転速度:40000min−1、送り:80mm/minで実施した。ドリル寿命は切削不能に至るまでの加工穴数により評価した。その結果を同じく表2に示す。
【0013】
表2から、合金組織について比較すると、本発明例1〜7の超微粒超硬合金は、従来例8〜12の超微粒超硬合金よりも粗大粒子の含有割合が小さく、全てが10%未満となっており、このことが、本発明例1〜7の方が高い抗折力をもった超微粒超硬合金材料となっている要因と考えられる。この超微粒超硬合金材料を用いた本発明例1〜7は、従来例8〜12のドリル工具よりも長寿命となっている。これは、切削中の刃先の摩耗が少なく、更に刃先の欠損による異常発生の頻度が少なくなっているためである。更に、刃先欠損等の異常発生の頻度の減少は、工具の寿命の安定性を実現している。また、本発明例1と従来例8とは、配合組成がほぼ同様であるにもかかわらず、焼結体でのWC平均粒径、0.7μm以上の粗大粒子の含有割合の両者において、本発明例1のほうが小さい値となり、抗折力と工具寿命に差が見られる。これは、混合プロセスにおける処理条件の相違が焼結体の粒度分布に影響しているものと考えられる。
【0014】
(実施例2)
平均粒径0.3〜0.5μmのWC粉末、平均粒径1.0μmのCo粉末、平均粒径1.2μmのVC粉末、平均粒径2.0μmのCr3C2粉末、平均粒径1.2μmのTaC粉末、平均粒径1.2μmのMo粉末、平均粒径1.2μmのRu粉末、平均粒径1.2μmのSi粉末を準備し、これらを表3に示す組成になるように配合し、ボールミルで湿式混合し、減圧乾燥後9.8×107Paの圧力でプレス成形した。この成形体を真空中で、1400℃に1h保持して、焼結を行い、得られた焼結体を加工して、全長38.1mm、シャンク径3.175mm、刃径0.2mm、溝長4.0mmのプリント基板用ドリルを作製した。本発明例13〜19では、ボールミルによる湿式混合を9〜10h行い、従来例20〜24では、ボールミルによる湿式混合を3〜4h行った。
【0015】
【表3】
【0016】
表3に示す組成の超微粒超硬合金について、SEMによるミクロ組織写真よりWCの平均粒径を求め、更に、抗折力を測定した結果を表4に示す。本発明例及び従来例のプリント基板用ドリルを用いて、次の条件で切削テストを行い、その結果を同じく表4に示す。切削諸元は、被削材:ガラスエポキシ樹脂からなるプリント基板(厚さ1.2mm)を3枚積層し、回転速度:16000min−1、送り:3000mm/minとした。
【0017】
【表4】
【0018】
表4から、本発明例13〜19は、従来例20〜24の超微粒超硬合金よりも高い抗折力を有し、本発明例13〜19は、従来例20〜24よりも工具寿命を長くできることがわかる。本発明例19はRu、Si、Moの3種類全ての元素を含むのに対し、従来例22はRu、Si、Moを全く含まない組成となっている。混合プロセスにおける処理条件の相違と添加元素の有無により、WCの平均粒径と粗大粒子の含有割合に有意差が見られ、本発明例19の方が抗折力で28%優っている。更に、工具寿命でも2.4倍の長寿命となった。使用後の刃先を観察した結果、刃先の摩耗量が従来例22よりも優り、折損状態も従来例22と比較して軽微であった。
【0019】
【発明の効果】
以上に記述の如く、本発明を適用した超微粒超硬合金を用いた切削工具によれば、硬質相に分散されたWCの粒径が微細でかつ狭い粒度分布を有することにより切削条件が高速化、及び重切削化となっても優れた耐摩耗性、耐欠損性を示し、長寿命の切削工具を得ることができる。
【発明の属する技術分野】
本発明は、穴あけ加工やフライス加工等に使用される切削工具に適用される超微粒組織を有する超硬合金に関する。
【0002】
【従来の技術】
周期律表4a、5a、6a族金属の炭化物粉末と、Fe、Co、Ni等の鉄族金属で焼結結合した超硬合金の内、WC−Co系合金は、機械的性質、特に高温での強度低下が少なくまた熱伝導率が高い、に優れ、切削工具に多用されている。切削工具の場合、特に、WC−Co系合金でも、微細なWC粉末を出発原料としかつ焼結過程でWCの粒成長を抑制する遷移金属の元素(例えば、Cr、V、Ta。)を添加することにより、WCの平均粒度が1μm以下の超微粒組織とした超硬合金(以下、超微粒超硬合金という。)が使用されている。超微粒超硬合金を使用した切削工具として、例えば、半導体のプリント基板の穴あけ加工や外縁部の加工に使用される外径が0.05〜0.5mm程度のプリント基板用ドリルがあるが、この種のドリルは多数枚積層したプリント基板に対して高速回転させて使用されるので、折損し易い。工具寿命を延ばすために、従来から種々の提案がなされている。例えば、特公昭62−56224号の訂正公報(以下、先行技術1という。)には、重量比で、Co及び/又はNi:5〜20%及びV:0.1〜2.0%とCr:0.1〜2.0%を含有し、かつCo及び/又はNiにV及びCrが固溶している金属結合相と、平均粒径が0.7m以下のWC硬質相からなる2相組織とすることにより、強度を改善することが記載されている。特公平7−76403号公報(以下、先行技術2という。)には、重量比で、Co:4〜20%、VC:0.2超〜2%、Cr3C2:0.4%超〜2%、VC/Cr3C2:0.1超〜0.65未満とし、(TaC+NbC+TiC):0.2%以下の組成を有すると共に、原料のWC粉末の平均粒径を1μm以下とすることにより高硬度でかつ高靭性の超硬合金が得られることが記載されている。例えば、先行技術2の図2には、平均粒径0.3mのWC粉末を用いた場合に、HRA92〜93で、3.3〜4.4GPa程度の抗折力を有する超硬合金が記載されている。特許第3010859号公報(以下、先行技術3という。)には、重量比で、Co:4〜20%、Cr3C2:0.3〜3%、VC:0.1〜3.0%含有し、平均粒度が0.8m以下であるWC基超硬合金の素地中に、CrとVの複合炭化物相を分散させることにより、HRA91〜94、2.9〜5.2GPa程度の抗折力を有する超硬合金が得られることが記載されている。特開平6−81072号公報(以下、先行技術4という。)には、重量比で、Co及び/又はNi4〜40%、V、Cr、Ta、Nb及びTiのうちの1種以上0.1〜5%を含有する組成を有し、平均粒度が0.6m以下でかつ最大粒径が3.0m以下のWC粒子が分散している合金素地中に、最大粒径が3.0m以下の固溶体粒子(V、Cr、Ta、Nb及びTiのうち1種以上の炭化物又は炭窒化物)を分散することにより、従来よりも高硬度でかつ高い抗折力(例えば、HRA84〜94でかつ4.6〜5.6GPa。)を有する超硬合金が得られることが記載されている。特開2000−712号公報(以下、先行技術5という。)には、面積%で第1硬質分散相が65〜92.5%と、第2硬質分散相が0.5〜5%とCoからなる結合相組織を示し、第1硬質分散相はWCをVとWとCrの析出複合炭化物の薄層で全面及び/又は部分被覆してなる被覆WCからなり、第2硬質分散相は結合相中に微細に分散分布したVとWとCrの析出複合炭化物からなり、かついずれも0.7m以下の平均粒径を有し、重量比で、Co:5〜13%、Cr:0.2〜2%、V:0.2〜1.0%である超硬合金でプリント基板用ドリルを構成することにより、従来と比べて耐摩耗性は同等で、耐折損性が向上することが記載されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
先行技術1〜5に記載された組成及び組織を有する超微粒超硬合金によれば、従来よりも工具性能を向上することができるが、次に述べる通り、プリント基板用ドリルのような厳しい切削条件のもとで使用される工具に適用する場合には、改良すべき点が残されている。先行技術1に記載されているような2相組織の超硬合金をプリント基板用ドリルに適用すると、工具寿命の安定性に欠けるという問題がある。先行技術2は、硬度と靭性の低下を防止するために、TaC、NbC及びTiCの含有量を低くしているが、平均粒径が1m以下のWC粉末を使用することが記載されているのみで、硬質相に分散されているWC粒子の粒度分布を考慮していないので、高い抗折力を得られない場合がある。先行技術3に記載された組織を有する超硬合金を作成するためには、焼結後の焼結温度から1000℃までの冷却工程において、その冷却速度を20℃/min以上に制御する必要があるので、焼結炉に冷却手段を設けることと正確な温度制御が必要となり、生産性が低下するという問題がある。先行技術4の表3に記載された超硬合金は、粗大なWC粒子、例えば、最大粒径が1.2〜2.9mのWC粒子、を積極的に含んでいるので、緻密な組織が得られず、靭性が低下することがある。先行技術5に記載された超硬合金を得るためには、真空中において1350〜1480℃の条件で焼結したのち、加圧焼結し、ついで1200℃までを50〜100℃/minの冷却速度で急冷することが必要であり、焼結炉に冷却手段を設けることと正確な温度制御が必要となり、生産性が低下するという問題がある。
【0004】
従って、本発明の目的は、超微粒超硬合金材料のミクロ組織における硬質分散相であるWC相の粒度分布に着目し、この粗大粒子の存在を極力排除し、より均一な微細粒子からなる焼結体とするような改善を図ることによって、折損までの寿命が長く、しかも高強度で良好な耐摩耗性を示す切削工具が得られる超微粒超硬合金を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明者等は、超微粒合金において、抗折力と合金組織中の合金組成、固溶形態等との関係に着目し、種々検討を行った。それらの検討において、合金組織中の硬質相の粒度及び粒度分布と抗折力との間に密接な関係があることを見出し、本発明に至った。即ち、重量比で、Co及び/又はNiが5〜12%、Cr3C2、VC、TaC、Mo、Ru、Siの少なくとも2種以上の合計量が0.1〜3%、残部がWC及び不可避の不純物からなる組成を有し、該WCは平均粒径Dが0.10≦D≦0.35μmで、粒径が0.7μm以上の粗大粒子の含有割合Fが0<F<10%となる粒度分布を有し、抗折力が4.5GPa以上を有することを特徴とする超微粒超硬合金である。更に、本発明は、(VC+Cr3C2)/(Co+Ni)が0.07以上である組成を有することが好ましい。
本発明の超微粒超硬合金においては、狭い粒度分布を有するので、微細なWCが十分に分散される。WCの粒径が微細になることによって金属結合層の厚みが薄くなる傾向がある。即ち、Coが5〜12%の範囲で、Co相の平均厚さ(以下、mfpと称する。)を小さくすることができるので、例えば、Co:5〜9%の時に、mfpは0.06μm以下となり、またCo:9%超〜12%以下の時にmfpは0.05μm以下となるため、高強度の超硬合金を得ることができ、更に、金属層が薄いことによって耐食性が向上するという効果がある。粗大粒子の含有割合Fが0<F<10%となる狭い粒度分布領域で制御されることは、強度低下の原因となる破壊の起点箇所も減少することになり、強度の改善、向上に効果がある。しかも、WC、炭化物固溶体、Co相からなる3相域の幅がη相や遊離炭素が生じないように調整されるので、高硬度で、高い強度、例えば4.5GPa以上の抗折力が得られる。本発明の超微粒超硬合金によ、小径のドリルに適用した場合に折損し難くなる。また、必要に応じRuを添加することにより、良好な耐摩耗性、耐食性を付与することができる。即ち、本発明の超微粒超硬合金で形成したプリント基板用ドリルで半導体のプリント基板の穴あけ加工や外縁部の加工を行っても、長期の使用に耐えることができる。
【0006】
本発明の超微粒超硬合金における各成分範囲の限定理由は次の通りである。Co及び/又はNiは、少ないと焼結性が低下し、結合相が形成しがたくなり、強度が低下するので5%以上が必要で、多いと耐摩耗性が低下し、また価格高を招来するので、12%以下とする。Cr3C2、VC、TaC、Mo、Ru、Siは、結合相に固溶し、第3相を形成して、焼結過程におけるWCの粒成長を防止する効果を有するが、これらの合計が0.1%以下であるとWCの粒成長を防止する効果がなく、一方3%を越えると、疲労強度が低下するので、0.1〜3%の範囲とした。Cr3C2とRuの添加は、耐食性の向上に有効であり、湿式切削における切削液による腐食を有効に防止することができる。更に、これらのうちCr3C2、VC、TaCの添加量は、次のようにすることが好ましい。即ち、Cr3C2は、焼結過程におけるWCの粒成長を防止し、またWCの表面に被覆薄層として析出するCを形成するので、耐摩耗性を向上させるが、Crは0.23%を越えると、強度が低下するので、0.23%以下が好ましい。VCは、少ないと焼結過程におけるWCの粒成長を防止できないので、Vは0.37%以上が好ましい。TaCは、焼結過程におけるWCの粒成長を防止するが、多いと強度が低下するので、Taは0.5%以下が好ましい。
次に、(VC+Cr3C2)/(Co+Ni)の値が小さいと、焼結過程におけるWCの粒成長を防止できないことがあるので、0.07以上が好ましい。上記組成は、製造上不可避の不純物を含んでいても差支えないが、焼戻し脆化を促進するP、S、Sn等の元素の含有量を少なくすることが好ましい。WCの平均粒径は、0.10μm未満となると工具刃先などからの粒子の脱落により急激な性能劣化、例えば耐磨耗性の低下等が発生するようになり、その一方で粒径が0.35μmを超えると強度及び靭性が低下するよになるため、平均粒径Dは0.10≦D≦0.35mが好ましい。更に、粗大粒子は強度低下の原因となる破壊の起点箇所となるため、可能な限り含有割合を小さく制御する必要がある。そこで、0.7μm以上の粗大粒子の含有割合Fが0<F<10%となる粒度分布であることが好ましい。粗大粒子が10%を超えて存在する場合には、抗折力の低下が顕著となり、この影響で工具寿命の低下を引き起こすことになるからである。
【0007】
【発明の実施の形態】
本発明の超微粒超硬合金は、例えば、次のような工程に従って製造することができる。平均粒径0.7μm以下のWC粉末及び平均粒径1〜2mのCo粉末と、VC粉末、Cr3C2粉末、TaC粉末、Mo粉末、Ru粉末及びSi粉末を準備し、これらを所定組成になるように配合し、ボールミルで湿式混合し、減圧乾燥後5〜10MPaの圧力でプレス成形する。この成形体を10−3torr程度の真空中で、WCとCo及び/又はNiとの共晶温度以上例えば、1300〜1500℃、に0.5〜2h保持して、焼結を行えばよい。また必要に応じ、焼結後Arガス雰囲気中でHIP処理を行ってもよい。以下、実施例について説明するが、本発明は下記実施例に限定されるものではなく、適宜変更することは本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【0008】
(実施例1)
平均粒径0.3〜0.5μmのWC粉末、平均粒径1.0μmのCo粉末、平均粒径1.2μmのVC粉末、平均粒径2.0μmのCr3C2粉末、平均粒径1.2mのTaC粉末を準備し、これらを表1に示す組成になるように配合し、アトライターで湿式混合し、減圧乾燥後9.8×107Paでプレス成形した。この成形体を真空中で、1400℃に1時間保持して焼結を行い、得られた焼結体を加工して、全長38.1mm、シャンク径3.175mm、刃径0.2mm、溝長4.0mmのプリント基板用ドリルを作製した。本発明例1〜7では、ボールミルによる湿式混合を9〜10時間行い、従来例8〜12では、ボールミルによる湿式混合を3〜4時間行った。
【0009】
【表1】
【0010】
抗折力は、表1に示す各組成のJIS抗折試験片(A号)を作成し、3点曲げ試験を行うことにより測定した。本発明例及び従来例の超微粒超硬合金について、WCの平均粒径は、試料の表面を鏡面研磨した後、走査型電子顕微鏡(以下、SEMと呼ぶ。)によるミクロ組織写真より、フルマンの式を用いて算出した。更に、粒度分布は組織写真視野内の各粒子径を測定することにより求めた。表1に示す超微粒超硬合金のWCの平均粒径と抗折力を測定した結果を表2に示す。
【0011】
【表2】
【0012】
本発明例及び従来例の超微粒超硬合金のプリント基板用ドリルを用いて、次の諸元で切削テストを行い、ドリル寿命を測定した。切削諸元は、被削材:ガラスエポキシ樹脂からなるプリント基板(厚さ1.6mm)を2枚積層し、回転速度:40000min−1、送り:80mm/minで実施した。ドリル寿命は切削不能に至るまでの加工穴数により評価した。その結果を同じく表2に示す。
【0013】
表2から、合金組織について比較すると、本発明例1〜7の超微粒超硬合金は、従来例8〜12の超微粒超硬合金よりも粗大粒子の含有割合が小さく、全てが10%未満となっており、このことが、本発明例1〜7の方が高い抗折力をもった超微粒超硬合金材料となっている要因と考えられる。この超微粒超硬合金材料を用いた本発明例1〜7は、従来例8〜12のドリル工具よりも長寿命となっている。これは、切削中の刃先の摩耗が少なく、更に刃先の欠損による異常発生の頻度が少なくなっているためである。更に、刃先欠損等の異常発生の頻度の減少は、工具の寿命の安定性を実現している。また、本発明例1と従来例8とは、配合組成がほぼ同様であるにもかかわらず、焼結体でのWC平均粒径、0.7μm以上の粗大粒子の含有割合の両者において、本発明例1のほうが小さい値となり、抗折力と工具寿命に差が見られる。これは、混合プロセスにおける処理条件の相違が焼結体の粒度分布に影響しているものと考えられる。
【0014】
(実施例2)
平均粒径0.3〜0.5μmのWC粉末、平均粒径1.0μmのCo粉末、平均粒径1.2μmのVC粉末、平均粒径2.0μmのCr3C2粉末、平均粒径1.2μmのTaC粉末、平均粒径1.2μmのMo粉末、平均粒径1.2μmのRu粉末、平均粒径1.2μmのSi粉末を準備し、これらを表3に示す組成になるように配合し、ボールミルで湿式混合し、減圧乾燥後9.8×107Paの圧力でプレス成形した。この成形体を真空中で、1400℃に1h保持して、焼結を行い、得られた焼結体を加工して、全長38.1mm、シャンク径3.175mm、刃径0.2mm、溝長4.0mmのプリント基板用ドリルを作製した。本発明例13〜19では、ボールミルによる湿式混合を9〜10h行い、従来例20〜24では、ボールミルによる湿式混合を3〜4h行った。
【0015】
【表3】
【0016】
表3に示す組成の超微粒超硬合金について、SEMによるミクロ組織写真よりWCの平均粒径を求め、更に、抗折力を測定した結果を表4に示す。本発明例及び従来例のプリント基板用ドリルを用いて、次の条件で切削テストを行い、その結果を同じく表4に示す。切削諸元は、被削材:ガラスエポキシ樹脂からなるプリント基板(厚さ1.2mm)を3枚積層し、回転速度:16000min−1、送り:3000mm/minとした。
【0017】
【表4】
【0018】
表4から、本発明例13〜19は、従来例20〜24の超微粒超硬合金よりも高い抗折力を有し、本発明例13〜19は、従来例20〜24よりも工具寿命を長くできることがわかる。本発明例19はRu、Si、Moの3種類全ての元素を含むのに対し、従来例22はRu、Si、Moを全く含まない組成となっている。混合プロセスにおける処理条件の相違と添加元素の有無により、WCの平均粒径と粗大粒子の含有割合に有意差が見られ、本発明例19の方が抗折力で28%優っている。更に、工具寿命でも2.4倍の長寿命となった。使用後の刃先を観察した結果、刃先の摩耗量が従来例22よりも優り、折損状態も従来例22と比較して軽微であった。
【0019】
【発明の効果】
以上に記述の如く、本発明を適用した超微粒超硬合金を用いた切削工具によれば、硬質相に分散されたWCの粒径が微細でかつ狭い粒度分布を有することにより切削条件が高速化、及び重切削化となっても優れた耐摩耗性、耐欠損性を示し、長寿命の切削工具を得ることができる。
Claims (2)
- 重量比で、Co及び/又はNiが5〜12%、Cr3C2、VC、TaC、Mo、Ru、Siの少なくとも2種以上の合計量が0.1〜3%、残部がWC及び不可避の不純物からなる組成を有し、該WCは平均粒径Dが0.10≦D≦0.35μmで、粒径が0.7μm以上の粗大粒子の含有割合Fが0<F<10%となる粒度分布を有し、抗折力が4.5GPa以上を有することを特徴とする超微粒超硬合金。
- 請求項1記載の超微粒超硬合金において、(VC+Cr3C2)/(Co+Ni)>0.07、である組成を有することを特徴とする超微粒超硬合金。
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