TW200841031A - Electrical connection device - Google Patents

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200841031 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 用以將被檢 之測試器的 本發明係關於如探針卡之電氣連接裝置， 查體之例如積體電路之電路與進行該電氣檢查 電路連接，以進行電路之電氣檢查。 【先前技術】

作為習知此種電氣連接裝置之一，已揭示—種具備設 ，多數探針之探針基板且能調整該探針基板之平坦性的電 孔連接裝置(芩照專利文獻。根據該電氣連接裝置，能 使按壓力或拉伸力自支撐探針基板之支撐構件往探針基板 之中央部作用。藉由調整該作用力，即使探針基板產生彎 曲’亦能修正探針基板之f曲變形，維持該探針基板之 坦性。 是以，製造設有多數探針之探針基板時，即使該探針 基板產生彎曲變形，藉由將該探針基板組裝於該支撐構件 後，上述調整作業’亦能將探針基板保持平坦，因此能將 自+該探針基板延伸之多數探針的前端保持在同一平面上。 猎=，由&能使全部該探針之前端確實接觸對應被檢查體 ，電路之該各探針的電氣連接端子，因此能於此兩者間獲 得良好之電氣接觸。 & 然而，根據專利文獻1揭示之該習知技術，每次將探 :基板組裝於支撐構件時，需按照導入各探針基板之彎曲 變形進行調整，以使全部之探針前端位於同一平面上。在 將探針基板組裝於支撐構件之狀態下，進行使其全部探針 6 200841031 前端適當地接觸被檢查體之該對應之各電氣連接端子的古周 整作業係繁雜，且需熟練。特別是，於形成於半導體晶圓 上之多數積體電路之檢查，由於設置於探針基板之探針的 數量明顯增大，因此不易進行使此種多數探針適當地接觸 半導體晶圓上之對應之各襯墊的調整作業。又，探針基板 隨著被檢查體的大型化而大型化時，僅調整該探針基板之 中央部將無法完全對應。再者，由於可調整，所以在維持 Φ 探針基板之平坦性的穩定上產生問題，探針基板之平坦性 常時不穩定。 因此，申請人提案之電氣連接裝置，係不需上述國際 專利申請（PCT/JP2005/009812)之不論探針基板變形與否而 進行組裝於支撐構件後之探針基板的平坦化調整作業，即 能獲得探針與被檢查體之電路之對應電氣連接端子的確實 電氣連接。 在此電氣連接裝置，於不承受負載之自由狀態下產生 籲 考曲變形之探針基板，以前端在同一面上對齊之方式形成 探針。支撐構件之安裝面與該探針基板間配置允許安裝螺 拴插通之間隔物，該間隔物係在鎖緊安裝螺栓時，達到保 持探針基板之該變形的作用。因此，由於探針基板係在維 持該變形之狀態下安裝於該支撐構件之基準面，所以全部 之探針之前端會位於同一平面上。 是以’將探針基板安裝於該支撐構件後，不需進行習 知使板針基板平坦化的調整作業，能將全部探針之前端大 致均勻地緊壓於被檢查體之電路的各電氣連接端子。藉 7 200841031 此，無論探針基板之大型化與否，即使在每次更換設有多 數操針之探針基板時，亦不需習知上述煩雜之平坦化調整 作業，能進行有效率之電氣檢查。

然而，上述間隔物係配置成，使其一端抵接支撐構件 的下面，且使其下端抵接形成於探針基板之固定部上面。 因此，將支撐板與配線基板等組合以組裝電氣連接裝置 時，無法將間隔物自支撐板上方插入該支撐板，而需^配 線基板下方經由形成於該配線基板之插入孔’將間隔物自 其下方插入於配線基板，以使間隔物上端抵接支撐構件下 面。以此方式配置間隔物後，需將鎖緊螺栓自支撐構件上 面側插入以貫通該支撐構件及間隔物，並使其前端螺合於 形成於探針基板之固定部頂部的螺孔。

如此，間隔物不需被支撐構件之鎖緊螺栓的插通孔插 通’使鎖緊螺栓通過支撐構件 件之螺栓插入側的相反侧保持 線基板之插通孔及間隔物。因 隔物而產生需將該錯誤之間隔 時’重新作業費時。是以，強 的迅速化。 之插通孔時，需在與支撐構 間隔物，以使間隔物貫通配 此，例如，因作業者選錯間 物更換為適當長度之間隔物 烈期望該間隔物之組裝作業 (專利文獻1)日本特表2003 — 528459號公報 【發明内容】 因此，本發明之目的在於提供不需在將探針組裝體組 裝於電氣連接裝置後之探針基板的平坦化調整作業，且比 較容易進行組裝之電氣連接裝置。 8 200841031 本發明之電氣連接裝置，包含支撐構件，與該支撐構 件之一面隔著間隔配置、具有與該支撐構件之該一面相對 向之-面及與該-面相反侧之另一面、設有電氣連接於測 試器且前端抵接藉由該測試器來接受電氣檢查之被檢查體 之電氣連接端子之多數探針的平板狀探針基板，形成 探針基板之該-面、且設有開放至頂部之螺孔的固定部， 用以保持自該支撐構件之該一面至該固定部頂面之距離之 =體呈筒狀的間隔物’以對應該間隔物長度之間隔將該支 撐構件及該探針基板鎖緊的螺栓構件，及用以限制該支撐 構件往該間隔物之軸線方向運動的機構。該間隔物，具備 下面裝載於該支撐構件之另一面的頭部，及配置成一端連 接於該碩部並插通形成於該支擇構件之貫通孔、另一端抵 接該固疋部之頂面的軀幹部。該螺拴構件，為了插通該間 隔物而自該間隔物之頭部側插人，並藉由該限制機構，限 !:該間隔物之軸線方向的運動。自該間隔物之該另一端 大之該螺栓構件的前端螺合於該固定部之螺孔。 j本發明，能將間隔物配置成自其軀幹部插入支撐構 =通孔且使其軀幹部之前端抵接固定部之頂面，又， 由於此將螺栓構件自間隔物之頭部側往該間隔物之導孔插 二二能在將該間隔物及螺栓構件自支撐構件之另-面

側預先個別組合戋 I 次預先兩者組合之狀態下，裝入至支撐板 -、、泉板等構成構件。 伽习习A +上 裝 疋^與白知方式比較，能謀求組 接壯署^早化，且由於製程之簡單化能謀求降低電氣連 接叙置之製造原價。 9 200841031 —該間隔物，具有用以將該探針針頭之高度位置與該固 定部一起對齊於同一假想面上所需的長度尺寸。 該限制機構，係以形成於該支撐構件之該貫通孔的母 螺紋，及用以螺合於該母螺紋、形成於該間隔物的公螺紋 構成。 ”、 該公螺紋係形成於該間隔物之該軀幹部。 ^該限制機構，係以覆蓋該間隔物之頭部且配置於該支 # #構件之該另-面的扣具、及將該扣具固定於該支撐構件 的螺栓構件構成。 於该支撐構件之該另一面，圍繞該貫通孔形成收容該 間隔物頭部之凹處。此時，該扣具係以該 了 以封閉該凹處之開放端。 #件口疋 。亥固定部，係將該螺帽構件固定於該探針基板來形成。 該螺栓構件，係使用具有頭部及連接於該頭部之軸部

之下面至該軸部 針頭維持在同一 具有連接於該測 貫通孔的配線基 ’配置具有允許 之該電路與該探 該螺栓構件係配 通孔，且在該螺 又，該間隔物，係選擇使用自其頭部 之另一端為止之距離，適於將該探針之該 假想平面上之長度者。 於该支撐基板與該探針基板間，配置 試裔之電路且具有允許該螺栓構件插通之 板再者，於該配線基板與該探針基板間 該螺栓構件插通之貫通孔且將該配線基板 針基板之該各探針連接的連接器。此時， 置成插通該配線基板及該連接器之該各貫 10 200841031 栓構件，間隔物插入於該各貫通孔内後，藉由將該螺栓 構件往該@定部鎖緊’使該探針基板結合於該支撐基板。 再者貝通該支撐基板、該配線基板、及該連接器， 於該探針基板之中央部配置鎖止機構。透過該鎖止機構， 將該探針基板在其中央部以能解除之方式固定於該支撐基 板。 在該鎖止機構，於該探針基板之該一面之中央部形成 卡止部，該卡止部，係自該探針基板上升、具有大口徑部 及經由肩部連接於該大口徑部並歸結至該卡止部之頂部的 小口徑部。此時，該鎖止機構，具備具自該支撐基板之該 面貝通-亥支撐基板、該配線基板、及該連接器並延伸 於該卡止部之該頂部之筒狀部、及在該筒狀部之一端延伸 於該支樓基板之該另-面上之凸緣部的鎖止保持具構件， :己置成能自該凸緣部突出一端部、藉由操作設置於該一端 部之凸輪桿、能移動於該鎖止保持具構件之軸線方向的鎖 止軸，藉由該鎖止軸在該軸線方向之移動、可在使—部分 2鎖幻呆持具構件突出並卡合於該肩部之卡止位置、及^ 合於该鎖止保持具構件内之解除位置㈣作的卡止構件 及對該鎖止軸施㈣倚力以將該卡止構件保持 置的彈性構件。 除位 藉由操作該鎖止機構之該凸輪桿，能將該探針基板之 中央部固定於該支撐基板，或解除此固定。 土 針0>=接器，係使用於接觸構件具有探針接觸構件的探 針（POGO pin)連接器。 休 11 200841031 根據本發明，^ ι、* 隔物i ^ a，選擇適當之間隔物，能將該間 丨岡物及螺拴構件自支擋 與由㈣Μ 按板之H組合於該支撐板。又， ^ . κ? ^ 此將間隔物及螺栓構件裝入於支撐 板及配線板等構成構件， 叉保 裝作掌m Τ α此與I知方式相比，能謀求組 衣作菓之間早化，且由製 μ ^ w ^ 衣耘之間早化能謀求降低電氣連 接叙置之製造原價。 疋 【實施方式】

如圖1所示，本發明 為平括m 乳連接褒置1〇,具備下面12a 為十坦女裝基準面的平板 構件12，保持於該支撐構 圓形平板狀配線基板14,㈣電氣連接 1查％乱連接於該配線基板的探針基板18,形成收容電 乳連接器16之中央開口 20a的基座環2〇，及用以一起挟 持該基座環之中央開口 2Ga之緣部與探針基板18之緣部、 透過螺栓21固定於基座環2〇的固定環22。 固定環22之中央部具有允許探針基板18之探針18a 露出的中央開口 22a。在SI +夕你丨工 在圖不之例子，用以抑制保持配線 基板14之支撐構件12熱變形的熱變形抑制構件μ，係藉 由螺栓26安裝於支撐構件12之上面Ub。 曰 電氣連接裝置10,係如以往所周知，例如為對安裝於 半導體晶® 28之多& IC(積體電路）進行電氣檢查，錢 用於將該1C之連接端子之各連接墊連接於測試器之電路。 配線基板14係由整體為圓形板狀之例如聚醯亞Z樹脂 板構成’並於其下面14a，將連接於該測試器之該電路之 以往周知之多數連接端子（未圖示）排列成陣列狀。 12 200841031 構成，12,係例如由不鏽鋼板構成之板狀框構件所 構成《板狀框構件係配置成使其安裝面 #牛所 板14之p T d u a抵接配線基 配置成”* 圖1所示之熱變形抑制構件24,係由 配置成覆盍支撐構件12之 糸由 構成、例如以如銘之金屬材料構成。 a竹稱成此熱鉍形抑制構件24, …之被檢查體之例如預燒測試下，抑制 件12之安裝面12a及上面⑶ 太支撐構

撐構件12的彎曲。 產生大…所產生之支 -圖2係將圖1所示之電氣連接裝置10之局部放大表 不，又，圖3係將電氣連接農置1〇之局部分解表示。" 將2L2及圖3明確所示’於支撐構件12形成允許用以 A針基板18安裝於支撐構件12之螺栓 及軸部30b之以往周知的螺栓3〇。又，於支撐構件& 如圖1所示，形成有用以安裳電氣連接器16之安裝螺检34 螺合的螺孔36。 於配線基板14，如圖1所示，形成有分別對應支撐構 件12之貫通孔32及螺孔36的各貫通孔％ 4〇。此等貫通 孔38, 40，係與習知同樣地形成於不影響配線基板μ之電 氣連接的區域。又，於支撐構件12及配線基板14之外緣 邛，形成有允許用以將基座環20結合於支撐構件丨2之安 裝螺栓42插通的螺孔44, 46。於配線基板14之螺孔料， 配置用以自安裝螺栓42之鎖緊力保護配線基板14之以往 周知的套筒48。 13 200841031 探針基板18,如以往所周知，具備例#由陶£板構成 之基板構件50、及形成於該基板構件亦即陶莞板下面之多 層配線層52。多層配線層52，雖未圖示，但如以往所周 知，具有由表示電氣絕緣性之例如聚酿亞胺樹脂材料構成 之多層板、及形成於該各多層板間之配線路徑。於該多層 配線層52下面，形成有分別電氣連接於該多層配線層之 該配線路徑的探針㈣18b。各探針⑽之上端，係連接 ^對應之探針料18b，藉此，各探針⑽，係絲於探針 土板18成為自多層配線層52之該下面往下方突出、且經 2對應之各探針焊墊18b連接於多層配線層52之該 路徑。 狀之所示之例子’於探針基板18⑼，52)產生起伏 二IT受形。此探針基板18之彎曲變形，如探針基板18 在其組4珂之狀態下所示圖 ,^ I圓4明確所不，在探針基板18 未又負载之自由狀態下，導 於该鉍針基板18。此種變形， 有日守會在加工陶瓷板5〇時 板u下面之最低處愈最^之^心板’表示探針基 100|1 ^ 处”取间處之尚低差為例如數十μιη〜 m不論此探針基板！ 8之彎 之下端係藉由例 …形與否’操針焊墊⑽ 之假想平面”行之平面\而對齊與探針基板18 18b之探_ 。又’由於連接於各探針焊墊 由狀能下b "1長度’因此在探針基板18之自 田狀恶下，各探針J 8 ^ P平行之平面P2上。 亦即前端會對齊與假想平面 於陶瓷板50之上面 a，雖未圖示，但形成有經由多 14 200841031 層配線層 、 σ ?衣針18a的電 氣連接部。此電氣連接部，係如以往所周知， 电成為對應 在配線基板14之下面14a排列成陣列狀之該多數連接= 子0 在形成於陶甍板50之上面50a之該電氣連接部、及對 應該各電氣連接部之配線基板14之該連接 丁 ，為連 接對應之兩者而配置該電氣連接器1 6。 電氣連接器16,如放大圖2所示，具備由形成有於板 厚方向形成之多數貫通孔54之表示電氣絕緣性之板狀構 件構成的探針區塊16a，及串聯配置於各貫通孔54内 分別在防止自貫通孔54脫落之狀態下收容成能往貫通孔= 之軸線方向滑動的一對探針16b，16b。於各一對探針上讣 間配置給予兩探針16b，16b往互相分離方向之偏倚力、’ 且成為兩探針間之導電路徑的壓縮螺旋彈簧丨心。又，於 极針區塊16a’形成有與該貫通孔32、38料且允許安裝 螺栓30貫通的貫通孔56。再者，於探針區《w，如圖^ 所示，形成有與該螺孔36及貫通孔4〇對準且收容安裝螺 栓34的貫通孔58。 電氣連接器16,在圖！及圖2所示之電氣連接裝置ι〇 之組裝狀態下，藉由該壓縮螺旋彈簧16。之彈力，將各一 對捸:16b，16b之-個探針⑽麼接於配線基板14之該 f接端子，又將另—個探針W壓接於對應配線基板14之 ^接端子之陶允板50的該電氣連接部。藉此’設在各 木針焊墊18b之探針18a，係確實地連接於配線基板14之 15 200841031 對應之該連接端子。其結果，當探針18a之前端抵接形成 於半導體晶圓28之該1C之該連接墊時，由於該連接墊經 由對應之各探針1 8a、電氣連接器丨6、及配線基板14而連 接於該測試器，因此能進行該測試器對半導體晶圓28之 該電路的電氣檢查。

在該電氣連接裝置1〇之組裝，為將探針基板18結合 於支撐構件12,如圖2至圖4所示，於探針基板18上面， 亦即於陶瓦板50之上面5〇a形成固定部。於此固定部 頂面，螺合於貫通支撐構件12之貫通孔32、配線基板14 貝通孔3 8之女裝螺栓3 〇之前端部之母螺孔開放。 該固定部60,能以使用接著劑將例如螺帽之母螺栓構 件固設於陶瓷板5〇之上面5〇a來形成。 π不t株針基板，如上述，在自由狀態下產 生上述彎曲變形，設於該探針基板18之各固定部60之高 寸係相等。因此，在圖4所示之例子，通過各固定部 6〇之頂面之假想面Ρ3,係對應探針基板18之彎曲的曲面。 為了組裝電氣連接裝置1()，貫通支撐構件η、配線基 ,14、及電氡連接器16之各貫通孔”,列及^之安裝螺 栓3〇、亦即螺栓構件3〇係螺合於各固定部60，且在該蟫 栓構件使用筒狀間隔物62。 累

θ隔物62 ’如圖2及圖3所示，具備頭部心、及具 一 ^於该頊部之外徑之外徑的軀幹部62b。軀幹部621?之 而係連接於碩部62a之底面。於頭部62a及軀幹部62b， 允許安裝螺拾30之軸部插通之導孔.往間隔物Q 16 200841031 之轴線方向通過。 又，在圖示之例子，於支撐構件12之貫通孔μ形成 母螺紋32a，且於間隔物62之躺幹部㈣之該—端、亦即 碩部62a的附近，形成螺合於母螺紋32&之公螺紋Qd。 是以，如圖3所示，將間隔物62之軀幹部62b自支撐 構件12之上面12b括入I、s a，〇 , 播入貝通孔32，如圖2所示，藉由使

^成於躺幹部㈣之公螺紋62d螺合於貫通孔32之母螺 紋32a’能使頭部62a之底面抵接於支撐構件12之上面 12b 〇 么藉由該間隔物62之公螺紋62d與支撐構件12之母螺 紋32a之螺合而將各間隔物62鎖緊於支撐構件U，較佳 :、、、使用‘矩扳手來進行。藉此，由於能防止各間隔物Μ =過度鎖緊，並以均勻之鎖緊力將各間隔物62結合於支 铋構件12，因此能以既定相同按壓力使各間隔物之頭 部62a之底面抵接於支撐構件12之對應的上面^匕。 在該抵接狀態下，間隔物62之軀幹部62b，係經由配 2基板14之貫通孔38、電氣連接器16之貫通孔兄，自 電乳連接器16之探針區塊16a往下方突出，抵接於對應之 固定部60之頂面。 又，安裝螺栓30之軸部3〇b，自支撐構件12上面12b 側插入於間隔物62之導孔62c，該軸部之前端部螺合於對 應之固定部6〇之母螺孔6〇a。藉由鎖緊該安裝螺栓將 支撐構件12、配線基板14、電氣連接器16、及探針基板 18 —體化。此螺栓3〇之鎖緊亦與間隔物62之鎖緊相同， 17 200841031 ^土為使用轉矩扳手，以免在各螺栓3G產生不均勻。 在鎖緊此安罗螺士入2 Λ 一弓曲一月…寸探針18a之針頭的平面P2。又，如圖4所 二各間隔物62係依照與此對應之固定部 躯幹部62b之長度尺寸，藉此，能使各間隔物 ^ 62b下端沿著與固定部60之頂面之假m μ Ρ3亚行之假想曲面ρ4。

是以，作為對應各固定部60之間隔物62，藉由依昭 與此對應之固定冑6G的高度位置，選擇該軀幹部㈣之 長度尺寸適當的間隔物62，能使探針i8a之針頭對齊於平 面P2上。 在用以使該探針焊墊18b下端面平坦對齊之平面磨削 月b將墊板抵接於圖4及圖5所示之自由變形狀態之 探針基板18，使探針焊墊18b下端面平坦。 藉由使用該墊板，探針基板18，在探針焊墊18b之磨 削加工中不會保持自由變形狀態，與圖4及圖5所示之自 由變形狀態相比，保持為顯示緩慢變形的狀態。在此狀態 下彳木針知塾1 8 b下端面接受平面磨削加工後，當自探針 基板1 8及該墊板解除時，探針基板18返回至圖4及圖5 所示之自由狀悲。在此種探針基板1 8之組裝中，各間隔 物62，為使探針基板1 §之探針i 之針頭對齊於假想平 面P2 ’選擇使用將使用該墊板之探針焊墊18b之磨削加工 中之探針基板1 8的變形復原所需長度者。 又，如上述，藉由使間隔物62螺合於支撐構件12， 18 200841031 ‘克服探針組裝體16之壓縮 細螺疑弹頁16c之按壓力作用於 針基板18日夺，會阻止螺栓3〇及間隔物62在支擇構件12 之此等⑼，62)之㈣方向的_體移動。 •可使用例如接著劑將間隔物62固設於支撐構件12之 。貝通孔=’以取代使間隔心螺合於支撑構㈣。藉此， 可不需貫通孔32之母螺钫立时一、 …、、a及間隔物62之公螺紋62d。 又二時，在預先將安裝螺栓3〇插入間隔物62之導孔心

=狀悲下’ &將兩者12’ 6G _體地插人支撐構件Η、配線 基板U、及電氣連接器16之各貫通孔32,36及54。 由於無論哪一種情形皆不需自支擇構件12之安带面 …側組裝間隔物62’即能自支樓構件12上面12b組裝間 隔物62及安裝職30,因此，此等組裝作業與習知方式 相比，變得較容易。 將探針基板18組裝於支擇構件12後，如圖！之假相 線所示，能將覆蓋支撐構件12之上面m之蓋體Μ以螺 栓構件66安裳於熱變形抑制構件％藉由安裝此蓋體Μ， 除了防塵外，亦能確實防止螺栓3()及間隔物62之不必要 的操作。 又’如圖4所示’不需將固定部6〇之高度尺寸設定為 :同’如目5所示’能在保持探針基板18之自由狀態之 ¥曲的狀態下，使探針基板18之探針18a之針頭對齊於假 想平面P2,並對固定部60之頂面施以平面磨削加工，以 使各固定部60之頂面成為與假想平面p2平行之平面。 此時’使用具有與各間隔物62相同長度尺寸之軀幹部咖 19 200841031 之間隔物，能使探针18a之針頭對齊於假想平面p2上。 如上述’探針基板18之中央部及周邊部，係藉由間隔 物62及螺栓30結合於支撐構件12。相對於此，在圖6所 不之例子，探針基板18之中央部係藉由鎖止機構68,可 解除地結合於支撐構件12。 鎖止機構68，如圖7所示，安裝在使軸線分別與支撐 構件12、配線基板1 4、β @力丄丨人， ^ 14及铋針區塊16a共軸對準形成之中 央孔7 0，7 2及7 4。叉，访拆》丄·《 — 於彳木針基板1 8之基板構件50之陶 ΐΰ板5 G之上面5 〇狂，德士她摄（〇 鎖止機:構68用之卡止部76在中央孔 72及74内往支撐構件12 、 之下面12a上升。於支撐構件12 之上面12b，形成與中央孔7()對準之凹處 於卡止部76 ’如® 8明確所示，形成自其内部往上端 解除之圓筒狀凹處80。凹處8〇具有大口徑部80、及丘軸 連接於該大π徑部之小口徑部嶋，且凹處Μ在該小口^ 部開放。於兩徑部80a及8〇b連續之凹處8〇的周壁，形成 由在小口徑部80b漸減口徑之傾斜壁所構成之肩部心。 。鎖止機構68 ’如圖7及圖8所示，具備具可插入於支 撐構件12之中央子| t? κ » _ 0及卡止部76之凹處80内之筒狀部 82a、及形成於該筒狀部一端之凸緣部㈣的鎖止保持且構 件^’沿該鎖止保持具構件82之軸線方向配置於該鎖止 保抑具構件的鎖絲84，及可藉由操作該鎖止軸來操作之 球體構成的卡止構件8 6。 形成於筒狀部仏之一端之凸緣部咖下面，如圖7 所示，能抵接於凹處78之平坦底部…，鎖止保持具 20 200841031 構件82之另-端亦即下端，係能延伸於凹處8 部8〇a内。於該大口徑部8〇a之下 大徑 成之卡止構件86之局部突出的開 \允許由球體構

Qf, ^ ， y- 88 ’係對應卡止構侔 在…部_之圓周方向隔著間隔形成。 *鎖止軸84上端係自鎖止保持具構件82 大出端，透過樞軸9〇柩著於 亚於八 了藉由繞該凸輪桿92之樞軸d j^#92’為

往其軸線方向移動，„Λ1 作使鎖止轴84 丨j秒動，形成有在配置於鎖 之一上面之墊片…動的凸輪 於鎖止軸84下端形成有傾斜面 ::===:rr 件二= 口P刀自開口 88往鎖止保持呈 之筒狀部82a之直徑方向外侧突出。 持，、構件82 立在鎖止軸84,於塾片94及鎖止保持具構件U 二：間配置第，，縮螺旋彈菁…，以給予兩者％及= 目刀離方向之彈力。又，在鎖止軸Μ，在卡止 軸之E型環98與凸緣部82b間配置第2壓 ：:止 以給予兩者…,往相分離方向之彈力。 旋彈菁-，係、主要藉由該彈力將塾片94緊遷於凸輪= :凸輪面92a。又’第2壓縮螺旋彈簧_，係主要藉由談 力將鎖止軸84往鎖止保持具構件82下端下壓。i〜 旋彈=桿92’在圖8所示之旋轉姿勢，藉由第1塵_ 接^ 將該凸輪面W保持在與塾片94之抵 亥凸輪桿92之旋轉姿勢，藉由第2壓縮螺旋 21 200841031 彈黃96b之彈力 *小π你个/矿將卞止構件 自筒狀部82a之開口 88擠出的下端位置y

疋以’如圖8所示，能T杜上 XL β丁此不使卡止構件86干涉卡止部76 之小口徑部80b，而將鎖止保姓 貞止保持具構件82之筒狀部82a 端插入於卡止部％之大口徑部8〇a内。 在將鎖止保持具構件82之筒狀部仏 部70之大口徑部8〇a内 歹、卞止 作至圖7所示之旋轉姿勢。 疋咎知 文势错由方疋轉操作此凸輪桿92，沪 二服弟2壓縮螺旋彈簧96b之彈力，使： 圖7所示之上端位置，且能藉由凸輪桿92 =至 保持於該上端位置。 乍用 在鎖止軸84之該上端位置，誃 面84a經由鎖止保持具構 才件之傾斜 僻什82之開口 88

卡合，鎖止機構68以在苴鎖 ^ ^ 8〇C 牡，、鎖止保持具構件Μ盥卡 間挾持支撐構件12之中央孔7〇 了 口p 結合為-體。藉此，# 、缘^之方式與卡止部76 稭此鎖止機構68，盥呤雜^α士 及卡止部76 —起，將★止保持具構件82 匙，將彳木針基板18之 隔著既定間隔固定於_支_ 、 ♦冓件12 疋於3支撐構件。亦即， — 由該間隔功能，自# & 、冓6 8，藉 以鎖止保持具構件82與卡 凹處78之底部心 基板18之中央部固—φ 彳1^之間隔’將探針 〜Τ犬固定於支撐構件i 2。 又’藉由將鎖止軸84返回至R 0 將鎖止機構Μ之該鎖止功能^ 勢，能 %將鎖止機構68往圖 22 200841031 8所不之拉拔位置自支撐構件12拉拔。 之周^ 6 :不之例子’於圍繞探針基板18之鎖止機構68 。以’能適用與上述相同之間隔物62。然而，在圖6 ^例子，作為限制機構，使用扣具⑽及—對螺栓構件ι〇2 ^取代螺栓嵌合。又，在圖6所示之例子，除了配置於配 線基板14最外周之間隔物62以外，插入於配置在周邊 之間隔…螺检3。，係與圖"斤示之例子相同=

::針練18之固定部6〇。相對於此，插入於配置在配 、'线板u最外周之間隔物62的螺栓13〇，係螺合於基座 W0之螺孔16Qa ’且設有此螺孔⑽&之基座環π具有 固定部6 0的功能。 *疋以’螺栓30及13〇所插通之間隔物62，係從鎖止 機構68之與該間隔物功能之關係，考慮對應之固定部的 的高度尺寸’選擇使用使探針基板18之探針…之各針頭 對背於假想平面P2上所需之長度尺寸者。 從將該限制機構分解表示之圖10明顯可知，於支撐構 件12之上面12b形成有用以在貫通孔32收容間隔物Q 之頭部62a的凹處32b。間隔物62，係插入於貫通孔”， 以使軀幹部62b之下端抵接於對應之固定部6〇的頂面、 且頭部62a埋設於凹處32b。 又，螺松30(130)，係以使其頭部3〇a埋設於間隔物α 之頭部62a内之方式，使轴部规螺合於固定部⑼之母螺 孔6〇a(160a)。該螺栓之鎖緊亦與圖i所說明相同，較佳為 使用轉矩扳手。 23 200841031 鎖一緊此等螺栓3〇(130)後’貫通扣具1〇〇之各螺栓構件 102之刚端部，係螺合於形成在支撐構件12之上面m 對應螺孔H)4。藉由鎖緊此螺栓構件—，各扣具⑽ 圖6所示，係較於支撐構件12之上面⑶，以使: 抵接於對應之間隔物62之頭部62a的頂面。藉此, 各間隔物62往支撐構件12之軸線方向之相對移動。 可使用圖1之螺合或接著劑構成之限制機構，取 ό所示之扣具100及螺栓構件1〇2。 ㈢ 本發明亦能適用於未導入彎曲變形 板的電氣連接裝置。 卞-彳木針基 本發明，並不局限於μ、七+, 能進行各種變更。、只要殘離其主旨， 【圖式簡單說明】 面圖圖1係表示本發明之電氣連接裝置之一實施例的縱截 盘圖=係將圖1所示之電氣連接裝置之局部放大表示 W圚1相同的圖式。 所不之電氣連接裝置之局部分解表 之 圖3係將圖2 縱截面圖。 圖4係表示本發明之電氣連接裝置 關你的說明圖。 圖5係表示本發明 定部a。月之另一電氣連接裝置 示的 之間隔物及固定部 之關係之與圖4相同的圖式 圖6係表示本發明 %月之電氣連接裝置之另一實 之間隔物及固 施例之與 24 200841031 圖1相同的圖式。 ®7係將圖6所示之電氣連接裝置之局部放大表示之 與圖6相同的圖式。 圖8係將圖6所示之電氣連接裝置之局部分解表示之 吳圖6相同的圖式。 圖9係表示圖6所示之鎖止機構之外觀的前視圖。 圖1〇係將目6所示之電氣連接裝置之間隔物及限制機 鲁 構分解表示的縱截面圖。 【主要元件符號說明】 10 電氣連接裝置 12 支撑構件 14 配線基板 16 電氣連接器 18 探針基板 18a 探針 30 安装螺拴（螺栓構件） 30a 螺栓之頭部 30b 螺栓之軸部 32, 38 貫通孔 32a，62d，100, 102 限制機構 60 固定部 60a， 160a 固定部之母螺孔 62 間隔物 62a 間隔物之頭部 25 200841031 62b 間隔物之軀幹部 68 鎖止機構 76 卡止部 80 a 卡止部之大口徑部 80 b 卡止部之小口徑部 80c 卡止部之肩部 82 鎖止保持具構件 82a 鎖止保持具構件之筒狀部 82b 鎖止保持具構件之凸緣部 86 卡止構件 92 凸輪桿 26

Claims (1)

1. 200841031 十、申請專利範圍：

   之1 面—種電氣連接裝置，包含支撐構件，與該支撐構件 之：：間隔配置、具有與該支撐構件之該-面相對向 = i相反侧之另―面、設有€4連接於_ :心：抵接藉由該測試器來接受電氣檢查之被檢查體之 =連接料〇數探針的平板狀探針純，形成於該探 反之該一面、且設有開放至頂部之螺孔的固定部，用 =自該支撐構件之該一面至該固定部頂面之距離之整 …狀的間隔物，以對應該間隔物長度之間隔將該支撐 構件及該探針基板鎖緊的螺栓構件，及用以限制該支撐構 件^該間隔物之軸線方向運動的機構，該間隔物，具備下 面裝載於該支撐構件之另—面的頭部，及配置成—端連接 於該頭部並插通形成於該支撐構件之貫通孔、另一端抵接 該固定部之頂面的軀幹部，該螺拴構件，為了插通該間隔 物而自該f曰1隔物之頭部側插人，自該間p鬲物之該_幹部突 出之該螺栓構件的前端螺合於該固定部之螺孔。 2.如申請專利範圍第1項之電氣連接裝置，其中，該 間隔物，具有用以將該探針針頭之高度位置與該固定部一 起對齊於同一假想面上所需的長度尺寸。 3.如申請專利範圍第1項之電氣連接裝置，其中，該 限制機構，係以形成於該支撐構件之該貫通孔的母螺紋， 及用以螺合於該母螺紋、形成於該間隔物的公螺紋構成。 4·如申請專利範圍第3項之電氣連接裝置，其中，該 公螺紋係形成於該間隔物之該軀幹部。 27 200841031 5.如申睛專利範圍第1項之電氣連接裝置，其中，該 限制機構，係以覆蓋該間隔物之頭部且配置於該支撐構件 之該另一面的扣具、及將該扣具固定於該支撐構件的螺栓 構件構成。 6·如申請專利範圍第5項之電氣連接裝置，其中，於 忒支撐構件之該另一面，圍繞該貫通孔形成收容該間隔物 頭部之凹處，該扣具封閉該凹處之開放端。 _ 7.如申請專利範圍第1項之電氣連接裝置，其中，該 固定部，係以固設於該探針基板之螺栓構件形成。 / 8·如申請專利範圍第7項之電氣連接裝置，其中，該 螺才王構件，係具有頭部及連接於該頭部之轴部的螺栓。 9_如申請㈣範圍帛2項之電氣連接裝置，其中，該 間隔物，係選擇使用自其頭部之下面至該軸部之另一端: 止之距離，適於將該探針之該針頭維持在同一假想平面上

   —10.如申凊專利範圍第i項之電氣連接裝置，其中，於 :支撐基板與錢針基板間，配置具有連接於該測試器之 電路且具有允許卿、栓構件插通之貫通孔的配線基板，於 該配線基板與該探針基板間，配置具有允許該螺栓構件插 =貝通孔且將該配線基板之該電路與該探針基板之該各 兮、查接^連接S ’該螺栓構件係配置成插通該配線基板 入m之該各貫通孔，且在該螺栓構件，該間隔物插 ::?貫通孔内後，藉由將該螺栓構件往該固定部鎖 /、，使该探針基板結合於該支撐基板。 28 200841031 u.如申請專利範圍第10項之電氣連接裝置，其進一 步具備貫通該支撐基板、該配線基板、及該連接器，配置 於該探針基板之中央料鎖止機才冓，透過該肖止機構，將 該探針基板在其中央部以能解除之方式固定於該支撐基 板0 12.如申請專利範圍第n項之電氣連接裝置，其中， 於該探針基板之該一面之中央部形成卡止部，該卡止部， 係自該探針基板上升、具有大口徑部及經由肩部連接於該 大口徑部並歸結至該卡止部之頂部的小口徑部，該鎖止機 構，具備具自該支撐基板之該另一面貫通該支撐基板、該 ，線基板、及該連接器並延伸於該卡止部之該頂部之筒狀 邛、及在該筒狀部之一端延伸於該支撐基板之該 之凸緣部的鎖止保持具構件，配置成能自 料 Π.:藉由操作設置於該-端部之凸輪桿、能移= 線^具構件之軸線方向的鎖止軸，#由該鎖止軸在該轴 。之私動、可在使—部分自鎖止保持具構件 :於該肩部之卡止位置、及收容於該鎖止保内： 解除位置間操作的卡止構件，及對該鎖止軸細偏倚^ 將该卡止構件保持於該解除位置的彈性構件。 ° ^ 13.如申請專利範圍第10項之電氣連接裝置，1 ^連接5 ’係於接觸構件具有探針接觸構件的探針連接 29