KR20090089888A

KR20090089888A - 전기적 접속장치

Info

Publication number: KR20090089888A
Application number: KR1020097013343A
Authority: KR
Inventors: 키요토시 미우라; 히토시 사토; 아키히사 아카히라
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2007-03-20
Filing date: 2007-03-20
Publication date: 2009-08-24
Also published as: US20100066396A1; DE112007003211B4; TWI350921B; KR101029697B1; TW200841031A; CN101583880B; CN101583880A; WO2008114464A1; US7859282B2; JPWO2008114464A1; JP5135326B2; DE112007003211T5; DE112007003211T9

Abstract

피검사체의 전기적 측정에 이용되는 전기적 접속장치는, 지지부재와, 평판상의 프로브 기판을 갖춘다. 프로브 기판의 한쪽 면에는, 전기적 검사를 받는 피검사체의 전기접속단자에 접하는 다수의 프로브가 설치되어 있다. 또, 프로브 기판의 다른쪽 면에는, 정부(頂部)로 개방하는 나사구멍이 설치된 고정부가 형성되어 있다. 게다가 상기 지지부재를 관통하고, 전체가 통 형상인 스페이서와, 상기 스페이서를 관통하고, 선단이 고정부의 나사구멍에 결합하는 나사부재가 설치되어 있다. 상기 스페이서는, 규제수단에 의해, 지지부재에 관하여 축선방향의 이동이 규제되어 있다. 상기 스페이서는, 상기 지지부재의 다른쪽 면에 아래면이 놓이는 두부(頭部)와, 상기 두부에 한쪽 끝이 이어지고 지지부재에 형성된 관통구멍을 통과하여 배치되고 다른쪽 끝이 상기 고정부의 정면(頂面)에 접하여 배치되는 몸통부를 갖춘다.

Description

전기적 접속장치{Electrical Connection Device}

기술분야

본 발명은, 전기회로의 전기적 검사를 위해, 피검사체인 예를 들어 집적회로의 전기회로와 그 전기적 검사를 하는 테스터의 전기회로와의 접속에 이용되는 프로브 카드와 같은 전기적 접속장치에 관한 것이다.

배경기술

종래의 이러한 종류의 전기적 접속장치의 하나로서, 다수의 프로브가 설치된 프로브 기판을 갖춘 전기적 접속장치로서 상기 프로브 기판의 평탄성을 조정할 수 있는 전기적 접속장치가 제안되어 있다(특허문헌 1 참조). 상기 전기적 접속장치에 따르면, 프로브 기판을 지지하는 지지부재로부터 프로브 기판의 중앙부로 압력 또는 인장력을 작용시킬 수 있다. 이 작용력의 조정에 의해, 프로브 기판에 휨이 생겨 있어도 프로브 기판의 휨 변형을 수정하여, 그 프로브 기판의 평탄성을 유지할 수 있다.

따라서 다수의 프로브가 설치된 프로브 기판의 제조 시에, 그 프로브 기판에 휨 변형이 생겨도, 상기 프로브 기판의 상기 지지부재에의 설치 후의 상기한 조정작업에 의해, 프로브 기판을 평탄하게 유지할 수 있으므로, 그 프로브 기판으로부 터 신장하는 다수의 프로브의 선단을 동일 평면 위에 유지할 수 있다. 이에 의해, 모든 상기 프로브의 선단을 피검사체의 전기회로의 상기 각 프로브에 대응하는 전기접속단자에 확실하게 접촉시킬 수 있으므로, 이 양자 간에 양호한 전기적 접촉을 얻을 수 있다.

그러나 특허문헌 1 기재의 상기 종래기술에 의하면, 프로브 기판의 지지부재에의 설치 시마다, 각 프로브 기판에 도입된 휨 변형에 따라, 모든 프로브 선단이 동일 평면 위에 위치하도록 조정할 필요가 있다. 프로브 기판을 지지부재에 설치한 상태로, 그 모든 프로브의 선단이 피검사체의 상기한 대응하는 각 전기접속단자에 적정하게 접촉하도록 조정하는 작업은 번잡하고 숙련을 요한다. 특히, 반도체 웨이퍼 위에 형성된 다수의 집적회로의 검사에서는, 프로브 기판에 설치되는 프로브의 수가 현저히 증대하기 때문에, 이와 같은 다수의 프로브가 반도체 웨이퍼 위의 대응하는 각 패드에 적정하게 접촉하도록 조정하는 작업이 곤란하다. 또, 피검사체의 대형화에 따라 프로브 기판이 대형화하면, 그 프로브 기판의 중앙부만의 조정으로는 완벽히 대응할 수 없다. 게다가, 상기 조정 가능성은 프로브 기판의 평탄성의 안정한 유지에 문제를 발생시켜, 프로브 기판의 평탄성은 시간이 경과 하면서 불안정해진다.

그래서 출원인은, 먼저 국제특허출원(PCT/JP2005/009812)에서, 프로브 기판의 변형에 상관없이 지지부재에의 설치 후의 프로브 기판의 평탄화 조정작업을 필요로 하지 않고, 프로브와 피검사체의 전기회로의 대응하는 전기접속단자와의 확실한 전기적 접속을 얻을 수 있는 전기적 접속장치를 제안하였다.

상기 전기적 접속장치에서는, 부하를 받지 않는 자유상태에서 휨 변형이 생긴 프로브 기판에, 선단이 동일면 위에 맞도록 프로브가 형성되어 있다. 지지부재의 설치면과 상기 프로브 기판과의 사이에는 설치 볼트의 삽입을 허락하는 스페이서가 배치되고, 상기 스페이서는 설치 볼트의 조임 시, 프로브 기판의 상기한 변형을 유지하는 작용을 한다. 그 때문에, 프로브 기판은 상기한 변형을 유지한 상태로 상기 지지부재의 기준면에 설치되기 때문에, 모든 프로브의 선단이 동일 평면 위에 위치한다.

따라서 프로브 기판의 상기 지지부재에의 설치 후, 종래와 같은 프로브 기판을 평탄화하기 위한 조정작업을 하지 않고, 모든 프로브의 선단을 피검사체인 전기회로의 각 전기접속단자에 거의 균등하게 내리누를 수 있다. 이에 의해, 프로브 기판의 대형화에 상관없이, 다수의 프로브가 설치된 프로브 기판의 교환마다, 종래와 같은 상기한 번거로운 평탄화 조정작업이 불필요해져, 효율적인 전기적 검사가 가능해진다.

그러나 상기한 스페이서는 그 한쪽 끝을 지지부재의 아래면에 접하게 하고, 그 하단을 프로브 기판에 형성된 고정부의 윗면에 접하여 배치된다. 그 때문에, 지지판과 배선기판 등을 조합시켜 전기적 접속장치를 조립할 때, 스페이서를 지지판의 위쪽에서 지지판에 삽입할 수는 없고, 배선기판의 아래쪽부터 그 배선기판에 형성된 삽입구멍을 거쳐, 스페이서의 상단이 지지부재의 아래면에 접하도록, 스페이서를 배선기판에 그 아래쪽에서 삽입할 필요가 있다. 그와 같이 하여 스페이서를 배치한 후, 조임 볼트를 지지부재의 윗면 쪽부터 그 지지부재 및 스페이서를 관통 하도록 삽입하고, 그 선단을 프로브 기판의 고정부의 정부(頂部)에 형성된 나사구멍에 결합시킬 필요가 있다.

이와 같이, 스페이서는 지지부재의 조임 볼트의 삽입구멍에 삽입되지 않고, 조임 볼트가 지지부재의 관통구멍을 지날 때, 스페이서가 배선기판의 삽입구멍 및 스페이서를 관통하도록, 지지부재의 볼트 삽입 쪽과 반대쪽에서 스페이서를 지지할 필요가 있다. 그 때문에, 예를 들어 작업자가 스페이서의 선택을 잘못했기 때문에, 그 잘못된 스페이서를 적정한 길이의 스페이서와 교환할 필요가 생긴 경우, 작업을 다시 하는데 시간이 걸린다. 따라서 상기 스페이서의 조립 작업의 신속화가 강하게 요구되고 있었다.

[특허문헌 1] 일본 특표2003-528459호 공보

발명의 개시

발명이 해결하려는 과제

그래서 본 발명의 목적은, 프로브 조립체의 전기적 접속장치에의 설치 후의 프로브 기판의 평탄화 조정작업을 필요로 하지 않아, 조립을 비교적 용이하게 할 수 있는 전기적 접속장치를 제공하는데 있다.

과제를 해결하기 위한 수단

본 발명에 따른 전기적 접속장치는, 지지부재와, 상기 지지부재의 한쪽 면에 간격을 두고 배치되고, 상기 지지부재의 상기 한쪽 면에 대향하는 한쪽 면 및 그 한쪽 면과 반대쪽인 다른쪽 면을 갖는 평판상의 프로브 기판으로서 테스터에 전기적으로 접속되고 선단이 상기 테스터에 의해 전기적 검사를 받는 피검사체의 전기접속단자에 접하는 다수의 프로브가 설치된 프로브 기판과, 상기 프로브 기판의 상기 한쪽 면에 형성되고 정부(頂部)로 개방하는 나사구멍이 설치된 고정부와, 상기 지지부재의 상기 한쪽 면에서 상기 고정부의 정면(頂面)까지의 거리를 유지하는 전체로 통 형상인 스페이서와, 상기 스페이서의 길이에 대응한 간격으로 상기 지지부재 및 상기 프로브 기판을 조이는 나사부재와, 상기 지지부재에 관한 상기 스페이서의 축선방향으로의 운동을 규제하는 수단을 포함한다. 상기 스페이서는, 상기 지지부재의 다른쪽 면에 아래면이 놓이는 두부(頭部)와, 상기 두부에 한쪽 끝이 이어지며 상기 지지부재에 형성된 관통구멍을 통과하여 배치되고, 다른 쪽 끝이 상기 고정부의 정면에 접하여 배치되는 몸통부(胴部)를 갖춘다. 상기 나사부재는 상기 스페이서를 삽입하여 지나도록 그 스페이서의 두부 쪽부터 삽입되고, 상기 규제 수단에 의해, 상기 스페이서의 축선방향으로의 운동이 규제된다. 상기 스페이서의 상기 다른쪽 끝으로부터 돌출하는 상기 나사부재의 선단이 상기 고정부의 나사구멍에 결합한다.

본 발명에서는, 스페이서를 그 몸통부부터 지지부재의 관통구멍에 삽입하여 그 몸통부의 선단을 고정부의 정면에 접하게 하여 배치할 수 있고, 또 나사부재를 스페이서의 두부 쪽부터 상기 스페이서의 안내구멍으로 삽입할 수 있기 때문에, 그 스페이서 및 나사부재를 지지부재의 다른쪽 면쪽부터 개별로 또는 양자를 미리 조합시킨 상태로, 지지판 및 배선판 등의 구성부재에 설치할 수 있다. 따라서 종래에 비해 조립작업의 간소화를 도모할 수 있고, 제조공정의 간소화에 의해 전기적 접속장치의 제조원가의 인하를 도모할 수 있게 된다.

상기 스페이서에는, 상기 고정부와 함께 상기 프로브의 침선의 높이 위치를 동일 가상면 위에 맞추는데 필요한 길이치수를 갖는 스페이서를 적용할 수 있다.

상기 규제수단은, 상기 지지부재의 상기 관통구멍에 형성된 암나사 홈과, 상기 암나사 홈에 결합하도록 상기 스페이서에 형성된 숫나사 홈으로 구성할 수 있다.

상기 숫나사 홈은 상기 스페이서의 상기 몸통부에 형성할 수 있다.

상기 규제수단은, 상기 스페이서의 두부를 덮어 상기 지지부재의 상기 다른쪽 면에 배치되는 걸쇠(clasp)와, 상기 걸쇠를 상기 지지부재에 고정하는 나사부재로 구성할 수 있다.

상기 지지부재의 상기 다른쪽 면에, 상기 스페이서의 두부를 수용하는 요소(凹所)를 상기 관통구멍을 둘러싸 형성할 수 있다. 이 경우, 상기 걸쇠는 상기 요소의 개방단(端)을 폐쇄하도록 상기 나사부재로 고정된다.

상기 고정부는, 너트부재를 상기 프로브 기판에 고정하여 형성할 수 있다.

상기 나사부재에는, 두부 및 그 두부에 이어지는 축부(軸部)를 갖는 볼트를 이용할 수 있다.

또, 상기 스페이서에는, 그 두부의 아래면부터 상기 축부의 다른쪽 끝까지의 거리가, 상기 프로브의 상기 침선을 동일 가상평면 위에 유지하는데 적절한 길이의 스페이서를 선택하여 이용할 수 있다.

상기 지지기판과 상기 프로브 기판 사이에는, 상기 테스터에 접속되는 회로를 갖고 상기 나사부재의 통과를 허락하는 관통구멍을 갖는 배선기판을 배치할 수 있다. 게다가 상기 배선기판과 상기 프로브 기판 사이에는, 상기 나사부재의 통과를 허락하는 관통구멍을 갖고 상기 배선기판의 상기 회로와 상기 프로브 기판의 상기 각 프로브를 접속하는 접속기를 배치할 수 있다. 이 경우, 상기 나사부재가 상기 배선기판 및 상기 접속기의 상기 각 관통구멍을 통과하여 배치되고, 상기 나사부재와 관련하여 상기 스페이서가 상기 각 관통구멍 내에 삽입된 후, 상기 나사부재의 상기 고정부에의 조임에 의해, 상기 프로브 기판이 상기 지지기판에 결합된다.

게다가 상기 지지기판, 상기 배선기판 및 상기 접속기를 관통하여 상기 프로브 기판의 중앙부에 록(lock) 기구를 배치할 수 있다. 상기 록 기구를 통하여, 상기 프로브 기판을 그 중앙부에서 상기 지지기판에 해제 가능하게 고정할 수 있다.

상기 록 기구와 관련하여, 상기 프로브 기판의 상기 한쪽 면의 중앙부에, 상기 프로브 기판으로부터 일어서는 걸림부(engaging portion)로서 대구경부(大口徑部) 및 그 대구경부에 어깨부(肩部)를 거쳐 이어지고 상기 걸림부의 정부(頂部)로 돌아가는 소구경부(小口徑部)를 갖는 걸림부를 형성할 수 있다. 이 경우, 상기 록 기구는, 상기 지지기판의 상기 다른쪽 면으로부터 상기 지지기판, 상기 배선기판 및 상기 접속기를 관통하여 상기 걸림부의 상기 정부(頂部)로 연장하는 통 형상부 및 상기 통 형상부의 한쪽 끝에서 상기 지지기판의 상기 다른쪽 면 위로 연장하는 플랜지(flange)부를 갖는 록 홀더(lock holder) 부재와, 상기 플랜지부로부터 일단 부(一端部)가 돌출 가능하도록 배치되고, 상기 일단부에 설치된 캠 레버(cam lever)의 조작에 의해, 상기 록 홀더 부재의 축선방향으로 이동 가능한 록 샤프트(lock shaft)와, 상기 샤프트의 상기 축선방향의 이동에 의해, 록 홀더 부재로부터 일부를 돌출시켜 상기 어깨부에 걸리는 걸림위치와 상기 록 홀더 내에 수용되는 해제위치 사이에서 조작 가능한 걸림부재와, 상기 걸림부재를 그 해제위치에 유지하도록 상기 록 샤프트에 편의력(偏倚力)을 주는 탄성부재를 갖춘다.

상기 록 기구의 상기 캠 레버의 조작에 의해, 상기 프로브 기판의 중앙부를 상기 지지기판에 고정하고, 또 그 고정을 해제할 수 있다.

상기 접속기에는, 접촉자에 포고핀 접촉자를 갖는 포고핀 접속기를 이용할 수 있다.

발명의 효과

본 발명에 따르면, 상기한 바와 같이, 적절한 스페이서를 선택하여, 그 스페이서 및 나사부재를 지지판의 동일 측으로부터 그 지지판에 조합시킬 수 있다. 또, 상기 나사부재의 조임에 의해, 스페이서 및 나사부재를 지지판 및 배선판 등의 구성부재에 설치할 수 있기 때문에, 종래에 비해 조립작업의 간소화를 도모할 수 있고, 제조공정의 간소화에 의해 전기적 접속장치의 제조원가의 인하를 도모할 수 있게 된다.

도면의 간단한 설명

도1은 본 발명에 따른 전기적 접속장치의 한 실시예를 나타내는 종단면도이다.

도2는 도1에 나타낸 전기적 접속장치의 요부(要部)를 확대하여 나타낸 도1과 동일한 도면이다.

도3은 도2에 나타낸 전기적 접속장치의 요부를 분해하여 나타낸 종단면도이다.

도4는 본 발명에 따른 전기적 접속장치의 스페이서 및 고정부와의 관계를 나타낸 설명도이다.

도5는 본 발명에 따른 다른 전기적 접속장치의 스페이서 및 고정부와의 관계를 나타낸 도4와 동일한 도면이다.

도6은 본 발명에 따른 전기적 접속장치의 다른 실시예를 나타낸 도1과 동일한 도면이다.

도7은 도6에 나타낸 전기적 접속장치의 요부를 확대하여 나타낸 도6과 동일한 도면이다.

도8은 도6에 나타낸 전기적 접속장치의 요부를 분해하여 나타낸 도6과 동일한 도면이다.

도9는 도6에 나타낸 록 기구의 외관을 나타낸 정면도이다.

도10은 도6에 나타낸 전기적 접속장치의 스페이서 및 규제수단을 분해하여 나타낸 종단면도이다.

발명을 실시하기 위한 최선의 형태

본 발명에 따른 전기적 접속장치(10)는, 도1에 나타내어져 있듯이, 아래면(12a)이 평탄한 설치 기준면이 되는 평판상의 지지부재(12)와, 상기 지지부재의 설치면(12a)에 지지되는 원형 평판상의 배선기판(14)과, 상기 배선기판에 전기접속기(16)를 거쳐 전기적으로 접속되는 프로브 기판(18)과, 전기접속기(16)를 받아들이는 중앙개구(20a)가 형성된 베이스 링(20)과, 상기 베이스 링의 중앙개구(20a)의 가장자리와 함께 프로브 기판(18)의 가장자리를 끼워 지지하도록 볼트(21)를 통하여 베이스 링(20)에 고정된 고정 링(22)을 갖춘다.

고정 링(22)은, 그 중앙부에 프로브 기판(18)의 프로브(18a)의 노출을 허락하는 중앙개구(22a)를 갖는다. 도시한 예에서는, 배선기판(14)을 지지하는 지지부재(12)의 열 변형을 억제하기 위한 열변형 억제부재(24)가 볼트(26)에 의해, 지지부재(12)의 윗면(12b)에 설치되어 있다.

전기적 접속장치(10)는, 종래 잘 알려져 있듯이, 예를 들어 반도체 웨이퍼(28)에 만들어 넣어진 다수의 IC(집적회로)의 전기적 검사를 위해, 상기 IC의 접속단자인 각 접속패드를 테스터의 전기회로에 접속하는데 이용된다.

배선기판(14)은, 전체적으로 원형 판상의 예를 들어 폴리이미드 수지판으로 이루어지고, 그 아래면(14a)에는 상기 테스터의 상기 전기회로에 접속되는 종래 잘 알려진 다수의 접속단자(도시하지 않음)가 사각형 매트릭스상으로 배열되어 있다.

지지부재(12)는, 그 설치면(12a)을 배선기판(14)의 윗면(14b)에 접촉시켜 배치되는 예를 들어 스테인레스판으로 이루어지는 판상의 프레임 부재로 이루어진다. 도1에 나타낸 열변형 억제부재(24)는, 지지부재(12)의 윗면(12b)의 가장자리를 덮어 배치되는 환상부재로 이루어지고, 예를 들어 알루미늄과 같은 금속재료로 구성되어 있다. 상기 열변형 억제부재(24)는, 상기 IC와 같은 피검사체의 예를 들어 번인(burn-in) 테스트 하에서, 지지부재(12)가 그 설치면(12a) 및 윗면(12b)과의 사이에서 큰 온도차가 생겼을 때에 생기는 지지부재(12)의 휨을 억제한다.

도2는, 도1에 나타낸 전기적 접속장치(10)의 요부를 확대하여 나타내고, 또 도3은 전기적 접속장치(10)의 요부를 분해하여 나타낸다.

도2 및 도3에 명확하게 나타내어져 있듯이, 지지부재(12)에는, 프로브 기판(18)을 지지부재(12)에 설치하기 위한 나사부재(30)의 관통을 허락하는 관통구멍(32)이 형성되어 있다. 나사부재(30)는, 도시한 예에서는, 두부(頭部)(30a) 및 축부(軸部)(30b)를 갖는 종래 잘 알려진 볼트(30)이다. 또, 지지부재(12)에는, 도1에 나타낸 바와 같이, 전기접속기(16)를 설치하기 위한 설치 나사(34)가 결합하는 나사구멍(36)이 형성되어 있다.

배선기판(14)에는, 도1에 나타내어져 있듯이, 지지부재(12)의 관통구멍(32) 및 나사구멍(36)에 각각 대응하는 각 관통구멍(38, 40)이 형성되어 있다. 이들 관통구멍(38, 40)은, 종래와 마찬가지로 배선기판(14)의 전기접속에 영향을 미치지 않는 영역에 형성되어 있다. 또, 지지부재(12) 및 배선기판(14)의 바깥둘레에는, 베이스 링(20)을 지지부재(12)에 결합하기 위한 설치 볼트(42)의 통과를 허락하는 볼트구멍(44, 46)이 형성되어 있다. 배선기판(14)의 볼트구멍(44)에는, 배선기판(14)을 설치 볼트(42)의 조임력으로부터 보호하기 위한 종래 잘 알려진 슬리 브(sleeve)(48)가 배치되어 있다.

프로브 기판(18)은, 종래 잘 알려져 있듯이, 예를 들어 세라믹판으로 이루어지는 기판부재(50)와, 상기 기판부재 즉 세라믹판의 아래면에 형성된 다층 배선층(52)을 갖춘다. 다층 배선층(52)은, 도시하지 않았지만 종래 잘 알려져 있듯이, 전기절연성을 나타내는 예를 들어 폴리이미드 수지재료로 이루어지는 다층판과, 상기 각 다층판 사이에 형성된 배선로를 갖는다. 다층 배선층(52)의 상기 아래면에는, 상기 다층 배선층의 상기 배선로에 각각 전기적으로 접속된 프로브 랜드(18b)가 형성되어 있다. 각 프로브(18a)의 상단(上端)은, 대응하는 프로브 랜드(18b)에 접속되어 있고, 이에 의해 각 프로브(18a)는 다층 배선층(52)의 상기 아래면에서 아래쪽으로 돌출하도록 프로브 기판(18)에 설치되고, 대응하는 각 프로브 랜드(18b)를 거쳐 다층 배선층(52)의 상기 배선로에 접속되어 있다.

도1에 나타낸 예에서는, 프로브 기판(18(50, 52))에는, 꾸불하게 휨 변형이 생겨 있다. 상기 프로브 기판(18)의 휨 변형은, 프로브 기판(18)이 그 설치 전의 상태로 나타내어진 도4에 명료하게 나타내어져 있듯이, 프로브 기판(18)이 부하를 받지 않는 자유상태에서, 상기 프로브 기판(18)에 도입되어 있다. 이와 같은 변형은, 세라믹판(50)의 가공 시에 상기 세라믹판에 도입될 수 있고, 프로브 기판(18)의 아래면에서의 가장 낮은 부분과 높은 부분과의 고저차가 예를 들어 수십 ㎛∼100 ㎛를 나타낼 수 있다. 상기 프로브 기판(18)의 휨 변형에 상관없이, 프로브 랜드(18b)의 하단(下端)은, 예를 들어 평면 연삭가공에 의해, 프로브 기판(18)의 가상평면(P)에 평행한 평면(P1)에 맞추어져 있다. 또, 각 프로브 랜드(18b)에 접속된 프로브(18a)는 동일 길이로 형성되어 있기 때문에, 프로브 기판(18)의 자유상태에서 각 프로브(18a)의 하단 즉 선단은, 가상평면(P)에 평행한 평면(P2) 위에 맞추어져 있다.

세라믹판(50)의 윗면(50a)에는, 도시하지 않았지만 다층 배선층(52)의 상기 배선로를 거쳐 대응하는 각 프로브(18a)에 접속되는 전기접속부가 형성되어 있다. 상기 전기접속부는, 종래 잘 알려져 있듯이, 배선기판(14)의 아래면(14a)에 사각형 매트릭스상으로 배열된 상기한 다수의 접속단자에 대응하여 형성되어 있다.

세라믹판(50)의 윗면(50a)에 형성된 상기 전기접속부와, 상기 각 전기접속부에 대응하는 배선기판(14)의 상기 접속단자 사이에는, 대응하는 양자를 접속하기 위해 상기 전기접속기(16)가 배치되어 있다.

전기접속기(16)는, 도2에 확대하여 나타낸 바와 같이, 판두께 방향으로 형성된 다수의 관통구멍(54)이 형성된 전기절연성을 나타내는 판상부재로 이루어지는 포고핀 블록(16a)과, 각 관통구멍(54) 내에 직렬로 배치되고, 각각 관통구멍(54)으로부터의 탈락이 방지된 상태로 관통구멍(54)의 축선방향으로 접동(摺動) 가능하게 수용되는 한쌍의 포고핀(16b, 16b)을 갖춘다. 각 한쌍의 포고핀(16b, 16b) 사이에는, 양 포고핀(16b, 16b)에 서로 멀어지는 방향으로의 편의력을 주며, 양 포고핀 사이의 도전로가 되는 압축코일 스프링(16c)이 배치되어 있다. 또, 포고핀 블록(16a)에는, 상기 관통구멍(32, 38)에 정합(整合)하여 설치 볼트(30)의 관통을 허락하는 관통구멍(56)이 형성되어 있다. 게다가, 포고핀 블록(16a)에는, 도1에 나타낸 바와 같이, 상기 나사구멍(36) 및 관통구멍(40)에 정합하여 설치나사(34)를 받 아들이는 관통구멍(58)이 형성되어 있다.

전기접속기(16)는, 도1 및 도2에 나타낸 전기적 접속장치(10)의 조립상태에서는, 그 압축코일 스프링(16c)의 스프링 힘에 의해, 각 한쌍의 포고핀(16b, 16b)의 한쪽 포고핀(16b)이 배선기판(14)의 상기 접속단자에 눌려 접촉(壓接)하고, 또 다른쪽 포고핀(16c)이 배선기판(14)의 상기 접속단자에 대응하는 세라믹판(50)의 상기 전기접속부에 눌려 접촉한다. 이에 의해, 각 프로브 랜드(18b)에 설치된 프로브(18a)는, 배선기판(14)의 대응하는 상기 접속단자에 확실하게 접속된다. 그 결과, 프로브(18a)의 선단이 반도체 웨이퍼(28)에 형성된 상기 IC의 상기 접속패드에 접촉되면, 상기 접속패드는 대응하는 각 프로브(18a), 전기접속기(16) 및 배선기판(14)을 거쳐, 상기 테스터에 접속되기 때문에, 상기 테스터에 의한 반도체 웨이퍼(28)의 상기 전기회로의 전기적 검사를 할 수 있다.

전술한 전기적 접속장치(10)의 조립에서, 프로브 기판(18)을 지지부재(12)에 결합하기 위해, 도2 내지 도4에 나타낸 바와 같이, 프로브 기판(18)의 윗면, 즉 세라믹판(50)의 윗면(50a)에는, 고정부(60)가 형성되어 있다. 상기 고정부의 정면(頂面)에는 지지부재(12)의 관통구멍(32), 배선기판(14)의 관통구멍(38)을 관통하는 설치볼트(30)의 선단부에 결합하는 암나사 구멍(60a)이 개방한다.

상기 고정부(60)는, 예를 들어 너트와 같은 암나사 부재를 세라믹판(50)의 윗면(50a)에 접착제를 이용하여 고착함으로써 형성할 수 있다.

도4에 나타낸 프로브 기판(18)에는, 전술한 대로, 자유상태에서 상기한 휨 변형이 생겨 있고, 상기 프로브 기판(18)에 설치되는 각 고정부(60)의 높이 치수는 서로 같다. 그 때문에, 도4에 나타낸 예에서는, 각 고정부(60)의 정면(頂面)을 지나는 가상면(P3)은 프로브 기판(18)의 휨에 대응한 곡면이 된다.

각 고정부(60)에는, 전기적 접속장치(10)의 조립을 위해, 지지부재(12), 배선기판(14) 및 전기접속기(16)의 각 관통구멍(32, 38 및 56)을 관통하는 설치볼트(30) 즉 나사부재(30)가 결합하고, 그 나사부재와 관련하여 통 형상의 스페이서(62)가 이용되고 있다.

스페이서(62)는, 도2 및 3에 나타내어져 있듯이, 두부(62a)와, 상기 두부의 외경보다도 작은 외경을 갖는 몸통부(62b)를 갖춘다. 몸통부(62b)의 한쪽 끝은 두부(62a)의 저면에 이어진다. 두부(62a) 및 몸통부(62b)에는, 설치 볼트(30)의 축부(30b)의 통과를 허락하는 안내구멍(62c)이 스페이서(62)의 축선방향으로 지난다.

또, 도시한 예에서는, 지지부재(12)의 관통구멍(32)에 암나사 홈(32a)이 형성되어 있고, 스페이서(62)의 몸통부(62b)의 상기 한쪽 끝 즉 두부(62a)의 근방에는 암나사 홈(32a)에 결합하는 숫나사 홈(62d)이 형성되어 있다.

따라서 도3에 나타낸 바와 같이, 스페이서(62)의 몸통부(62b)를 지지부재(12)의 윗면(12b)으로부터 관통구멍(32)에 삽입하고, 도2에 나타낸 바와 같이, 몸통부(62b)에 형성된 숫나사 홈(62d)을 관통구멍(32)의 암나사 홈(32a)에 결합시킴으로써, 두부(62a)의 저면을 지지부재(12)의 윗면(12b)에 접촉시킬 수 있다.

상기 스페이서(62)의 숫나사 홈(62d)과 지지부재(12)의 암나사 홈(32a)과의 결합에 의한 각 스페이서(62)의 지지부재(12)에의 조임은, 토크렌치(torque wrench)를 이용하여 하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 스페이서(62)마다 과도한 조임을 방지하고, 균등한 조임력으로 각 스페이서(62)를 지지부재(12)에 결합할 수 있기 때문에, 각 스페이서(62)의 두부(62a)의 저면을 지지부재(12)의 대응하는 윗면(12b)에 소정의 일정한 압력으로 접촉시킬 수 있다.

이 접촉상태에서는, 스페이서(62)의 몸통부(62b)는, 배선기판(14)의 관통구멍(38), 전기접속기(16)의 관통구멍(56)을 거쳐 전기접속기(16)의 포고핀 블록(16a)으로부터 아래쪽으로 돌출하여, 대응하는 고정부(60)의 정면(頂面)에 접한다.

또, 설치 볼트(30)가 지지부재(12)의 윗면(12b) 측으로부터 스페이서(62)의 안내구멍(62c)으로, 그 축부(30b)가 삽입되어, 상기 축부의 선단부가 대응하는 고정부(60)의 암나사 구멍(60a)에 결합된다. 상기 설치 볼트(30)의 조임에 의해, 지지부재(12), 배선기판(14), 전기접속기(16) 및 프로브 기판(18)이 일체화된다. 상기 볼트(30)의 조임도, 볼트(30)마다 고르지 못함이 생기지 않도록, 스페이서(62)의 조임과 마찬가지로, 토크렌치를 이용하는 것이 바람직하다.

상기 설치 볼트(30)의 조임 상태에서는, 세라믹판(50)의 휨을 유지함으로써, 프로브(18a)의 침선의 평면(P2)을 유지할 수 있다. 또, 도4에 나타낸 바와 같이, 각 스페이서(62)는, 이에 대응하는 고정부(60)의 높이 위치에 따라, 그 몸통부(62b)의 길이치수를 적절히 선택함으로써, 각 스페이서(62)의 몸통부(62b)의 하단을 고정부(60)의 정면(頂面)의 가상곡면(P3)에 평행한 가상곡면(P4)에 따르게 할 수 있다.

따라서 각 고정부(60)에 대응하는 스페이서(62)로서, 이에 대응하는 고정 부(60)의 높이 위치에 따라, 그 몸통부(62b)의 길이치수가 적정한 스페이서(62)를 선택함으로써, 프로브(18a)의 침선을 평면(P2) 위에 맞출 수 있다.

상기한 프로브 랜드(18b)의 하단면을 평탄하게 맞추기 위한 평면 연삭가공으로, 도4 및 도5에 나타낸 자유변형상태의 프로브 기판(18)에 백킹 플레이트(backing plate)를 대고 프로브 랜드(18b)의 하단면을 평탄하게 할 수 있다.

상기 백킹 플레이트를 이용함으로써, 프로브 기판(18)은, 프로브 랜드(18b)의 연삭가공 중, 자유변형상태로 유지되지 않고, 도4 및 도5에 나타낸 자유변형상태와 비교하여 완만한 변형을 나타내는 상태로 유지된다. 이 상태로, 프로브 랜드(18b)의 하단면이 평면 연삭가공을 받은 후, 프로브 기판(18)으로부터 상기 백킹 플레이트로부터 해방되면, 프로브 기판(18)은 도4 및 도5에 나타낸 자유상태로 되돌아간다. 이와 같은 프로브 기판(18)의 조립에서는, 각 스페이서(62)는 프로브 기판(18)의 프로브(18a)의 침선을 가상평면(P2)에 맞추기 위해, 상기한 백킹 플레이트를 이용한 프로브 랜드(18b)의 연삭가공 중의 프로브 기판(18)의 변형을 복원하는데 필요한 길이의 것이 선택되어 사용된다.

또, 상기한 바에서는, 스페이서(62)를 지지부재(12)에 결합시킴으로써, 포고핀 조립체(16)의 압축코일 스프링(16c)을 이기는 압력이 프로브 기판(18)에 작용한 때에 볼트(30) 및 스페이서(62)의 지지부재(12)에 관한 그들(30, 62)의 축선방향의 일체적인 이동이 저지된다.

스페이서(62)를 지지부재(12)에 결합시키는 대신에, 스페이서(62)를 지지부재(12)의 관통구멍(32)에 예를 들어 접착제를 이용하여 고착할 수 있다. 이에 의 해, 관통구멍(32)의 암나사 홈(32a) 및 스페이서(62)의 숫나사 홈(62d)을 필요로 하지 않을 수 있다. 또, 이 경우, 미리 설치 볼트(30)를 스페이서(62)의 안내구멍(62c)에 삽입한 상태로, 양자(12, 60)를 일체로 지지부재(12), 배선기판(14) 및 전기접속기(16)의 각 관통구멍(32, 36 및 54)에 삽입할 수 있다.

어느 것으로 해도, 스페이서(62)를 지지부재(12)의 설치면(12a) 쪽부터 설치하지 않고, 스페이서(62) 및 설치 볼트(30)를 지지부재(12)의 윗면(12b)부터 설치할 수 있기 때문에, 그들의 설치 작업은 종래에 비해 용이해진다.

프로브 기판(18)을 지지부재(12)에 설치한 후, 도1에 가상선으로 나타낸 대로, 지지부재(12)의 윗면(12b)을 덮는 커버(64)를 나사부재(66)로 열변형 억제부재(24)에 설치할 수 있다. 상기 커버(64)의 장착에 의해, 방진(防塵)에 더하여, 볼트(30) 및 스페이서(62)의 불필요한 조작을 확실하게 방지할 수 있다.

또, 도4에 나타낸 바와 같이, 고정부(60)의 높이치수를 동일하게 설정하지 않고, 도5에 나타낸 바와 같이, 프로브 기판(18)의 프로브(18a)의 침선이 가상평면(P2)에 맞도록, 프로브 기판(18)의 자유상태에서의 휨을 유지한 상태로, 각 고정부(60)의 정면(頂面)이 가상평면(P2)에 평행한 평면(P5)이 되도록, 고정부(60)의 정부(頂部)에 평면 연삭가공을 실시할 수 있다. 이 경우, 각 스페이서(62)로 동일한 길이치수의 몸통부(62b)를 갖는 스페이서를 이용하여, 프로브(18a)의 침선을 가상평면(P2) 위에 맞출 수 있다.

상기한 바에서는, 프로브 기판(18)은, 그 중앙부 및 그 주변부에서 스페이서(62) 및 볼트(30)에 의해, 지지부재(12)에 결합되어 있었다. 이에 대하여, 도6에 나타낸 예에서는, 프로브 기판(18)의 중앙부는 록 기구(68)에 의해, 지지부재(12)에 해제 가능하게 결합되어 있다.

록 기구(68)는, 도7에 나타낸 바와 같이, 지지부재(12), 배선기판(14) 및 포고핀 블록(16a)의 각각에 공통된 축으로 축선을 정합시켜 형성된 중앙구멍(70, 72 및 74)과 관련하여 설치되어 있다. 또, 프로브 기판(18)의 기판부재(50)인 세라믹판(50)의 윗면(50a)에는, 록 기구(68)를 위한 걸림부(76)가, 중앙구멍(72 및 74) 내에서 지지부재(12)의 아래면(12a)을 향해 일어선다. 배선기판(14) 및 전기접속기(16), 지지부재(12)의 윗면(12b)에는, 중앙구멍(70)에 정합하는 요소(凹所)(78)가 형성되어 있다.

걸림부(76)에는, 도8에 명확하게 나타내어져 있듯이, 그 내부로부터 상단으로 해방하는 원통 형상의 요소(80)가 형성되어 있다. 요소(80)는, 대구경부(80a)와, 상기 대구경부에 공축적으로 이어지는 소구경부(80b)를 갖고, 상기 소구경부에서 요소(80)는 개방한다. 양 경부(80a 및 80b)가 연속하는 요소(80)의 둘레 벽에는, 소구경부(80b)를 향해 구경(口徑)이 점점 감소하는 경사벽부로 이루어지는 어깨부(80c)가 형성되어 있다.

록 기구(68)는, 도7 및 도8에 나타낸 바와 같이, 지지부재(12)의 중앙구멍(70) 및 걸림부(76)의 요소(80) 내에 삽입 가능한 통 형상부(82a)와, 상기 통 형상부의 한쪽 끝에 형성된 플랜지부(82b)를 갖는 록 홀더 부재(82)와, 상기 록 홀더 부재(82)의 축선방향을 따라 그 록 홀더 부재에 배치되는 록 샤프트(84)와, 상기 록 샤프트의 조작에 의해 조작 가능한 구체(球體)로 이루어지는 걸림부재(86)를 갖 춘다.

통 형상부(82a)의 한쪽 끝에 형성된 플랜지부(82b)의 아래면은, 도7에 나타낸 바와 같이, 요소(78)의 평탄한 저부(78a)에 접촉 가능하다. 또, 록 홀더 부재(82)의 다른쪽 끝 즉 하단은, 요소(80)의 대구경부(80a) 내로 신장 가능하다. 상기 대구경부(80a)의 하단 근방에는, 구체로 이루어지는 걸림부재(86)의 부분적인 돌출을 허락하는 개구(88)가 걸림부재(86)에 대응하여 대구경부(80a)의 둘레방향으로 간격을 두고 형성되어 있다.

록 샤프트(84)의 상단은 록 홀더 부재(82)로부터 돌출하고, 그 돌출단(端)에는 추축(樞軸)(90)을 통하여 캠 레버(92)가 장착되어 있다. 캠 레버(92)에는, 그 캠 레버(92)의 추축(90) 주위로의 회전 조작에 의해 록 샤프트(84)를 그 축선방향으로 이동시키기 위해, 록 홀더 부재(82)의 플랜지부(82b)의 윗면에 배치된 와셔(washer)(94) 위를 접동하는 캠 면(面)(92a)이 형성되어 있다.

록 샤프트(84)의 하단에는, 걸림부재(86)를 지지하며 록 샤프트(84)가 록 홀더 부재(82)에 관하여 위쪽으로 끌어올려졌을 때, 걸림부재(86)의 일부를 개구(88)로부터 록 홀더 부재(82)의 통 형상부(82a)의 직경방향 바깥쪽으로 돌출시키기 위한 경사면(84a)이 형성되어 있다.

록 샤프트(84)와 관련하여, 와셔(94) 및 록 홀더 부재(82)의 플랜지부(82b)와의 사이에는, 양자(94 및 82b)에 서로 멀어지는 방향으로의 스프링 힘을 주는 제1 압축코일 스프링(96a)이 배치되어 있다. 또, 록 샤프트(84)와 관련하여, 상기 샤프트에 걸린 E 링(98)과 플랜지부(82b) 사이에는, 양자(98 및 82b)에 서로 멀어지 는 방향으로의 스프링 힘을 주는 제2 압축코일 스프링(96b)이 배치되어 있다. 제1 압축코일 스프링(96a)은, 그 스프링 힘에 의해, 주로 와셔(94)를 캠 레버(92)의 캠 면(92a)으로 내리누른다. 또, 제2 압축코일 스프링(96b)은, 그 스프링 힘에 의해, 주로 록 홀더 부재(82)에 관하여 록 샤프트(84)를 하단을 향해 내리누른다.

캠 레버(92)는, 도8에 나타낸 회전 자세에서는, 제1 압축코일 스프링(96a)의 스프링 힘에 의해, 그 캠 면(92a)이 와셔(94)와의 접촉 위치에 유지된다. 상기 캠 레버(92)의 회전 자세에서는, 제2 압축코일 스프링(96b)의 스프링 힘에 의해, 경사면(84a)이 걸림부재(86)를 통 형상부(82a)의 개구(88)로부터 밀어내지 않는 하단 위치에 유지된다.

따라서 도8에 나타낸 바와 같이, 걸림부재(86)를 걸림부(76)의 소구경부(80b)에 간섭시키지 않고, 록 홀더 부재(82)의 통 형상부(82a)의 하단을 걸림부(76)의 대구경부(80a) 내에 삽입할 수 있다.

록 홀더 부재(82)의 통 형상부(82a)의 하단을 걸림부(76)의 대구경부(80a) 내에 삽입한 상태로, 캠 레버(92)를 도7에 나타낸 회전 자세로 회전 조작할 수 있다. 상기 캠 레버(92)의 회전 조작에 의해, 제2 압축코일 스프링(96b)의 스프링 힘에 이겨, 록 샤프트(84)를 도7에 나타낸 상단 위치로 이동시킬 수 있고 캠 레버(92)의 유지 작용에 의해, 상기 상단 위치에 유지할 수 있다.

록 샤프트(84)의 상기 상단 위치에서는, 상기 록 홀더 부재의 경사면(84a)이 걸림부재(86)를 록 홀더 부재(82)의 개구(88)를 거쳐 걸림부(76)의 어깨부(80c)로 누른다. 상기 걸림부재(86)와, 어깨부(80c)와의 걸림으로, 록 기구(68)는, 그 록 홀더 부재(82)와 걸림부(76)와의 사이에서 지지부재(12)의 중앙구멍(70)의 가장자리를 끼워 지지하도록, 걸림부(76)와 일체로 결합된다. 이에 의해, 록 기구(68)는, 그 록 홀더 부재(82)와 걸림부(76)와 함께, 프로브 기판(18)의 중앙부를 지지부재(12)로부터 소정의 간격을 두고 상기 지지부재에 고정한다. 즉, 록 기구(68)는, 그 스페이스 기능에 의해, 지지부재(12)에 형성된 요소(78)의 저부(78a)로부터 록 홀더 부재(82)와 걸림부(76)에 의해 규정되는 간격으로, 프로브 기판(18)의 중앙부를 지지부재(12)에 고정한다.

또, 록 샤프트(84)를 도8에 나타낸 회전 자세로 되돌림으로써, 록 기구(68)의 상기한 록 기능을 해제할 수 있고, 록 기구(68)를 도8에 나타낸 빼낸 위치를 향해 지지부재(12)로부터 뽑아낼 수 있다.

도6에 나타낸 예에서는, 프로브 기판(18)의 록 기구(68)를 둘러싸는 주변부에는, 상기한 바와 같은 스페이서(62)가 적용되어 있다. 그러나 도6의 예에서는, 규제수단으로서, 나사를 끼우는 대신에, 걸쇠(100) 및 한쌍의 나사부재(102)가 이용되고 있다. 또, 도6에 나타낸 예에서는, 배선기판(14)의 가장 바깥둘레에 배치된 스페이서(62)를 제외한 주변부에 배치된 스페이서(62)에 삽입된 볼트(30)는, 도1에 나타낸 예에서와 마찬가지로, 프로브 기판(18)의 고정부(60)에 결합되어 있다. 이에 대하여, 배선기판(14)의 가장 바깥둘레에 배치된 스페이서(62)에 삽입된 볼트(130)는, 베이스 링(20)의 나사구멍(160a)에 결합되어 있고, 그 나사구멍(160a)이 설치된 베이스 링(20)이 고정부(60)로서 기능한다.

따라서 볼트(30 및 130)에 삽입되는 스페이서(62)는, 록 기구(68)의 상기한 스페이서 기능과의 관계때문에, 대응하는 고정부(60)의 높이치수를 고려하여, 프로브 기판(18)의 프로브(18a)의 각 침선을 가상평면(P2) 위에 맞추는데 필요한 길이치수의 것이 선택되어 사용된다.

상기 규제수단을 분해하여 나타낸 도10으로부터 명백하듯이, 지지부재(12)의 윗면(12b)에는, 관통구멍(32)과 관련하여 스페이서(62)의 두부(62a)를 수용하기 위한 요소(32b)가 형성되어 있다. 스페이서(62)는, 몸통부(62b)의 하단이 대응하는 고정부(60)의 정면(頂面)에 접하고 두부(62a)가 요소(32b)에 매설되도록, 관통구멍(32)에 삽입된다.

또, 볼트(30(130))는, 그 두부(30a)가 스페이서(62)의 두부(62a) 내에 매설되도록, 축부(30b)가 고정부(60)의 암나서 구멍(60a(160a))에 결합된다. 이 볼트의 조임도, 도1에 따라 설명한 바와 마찬가지로, 토크렌치를 이용하는 것이 바람직하다.

이들 볼트(30(130))의 조임 후, 걸쇠(100)를 관통하는 각 나사부재(102)의 선단부가, 지지부재(12)의 윗면(12b)에 형성된 대응하는 나사구멍(104)에 결합된다. 상기 나사부재(102)의 조임에 의해, 각 걸쇠(100)는, 도6에 나타내어져 있듯이, 그 아래면이 대응하는 스페이서(62)의 두부(62a)의 정면(頂面)에 접하도록, 지지부재(12)의 윗면(12b)에 고정된다. 이에 의해, 각 스페이서(62)는, 지지부재(12)에 관하여 축선방향으로의 상대적인 이동이 저지된다.

도6에 나타내어진 걸쇠(100) 및 나사부재(102) 대신에, 도1에 나타낸 결합 또는 접착제로 이루어지는 규제수단을 이용할 수 있다.

본 발명은, 휨 변형이 도입되어 있지 않는 평탄한 프로브 기판을 갖는 전기적 접속장치에도 적용할 수 있다.

본 발명은, 상기 실시에에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.

부호의 설명

10: 전기적 접속장치

12: 지지부재

14: 배선기판

16: 전기접속기

18: 프로브 기판

18a: 프로브

30: 설치 볼트(나사부재)

30a: 볼트의 두부(頭部)

30b: 볼트의 축부(軸部)

32, 38: 관통구멍

32a, 62d, 100, 102: 규제수단

60: 고정부

60a, 160a: 고정부의 암나사 구멍

62: 스페이서

62a: 스페이서의 두부(頭部)

62b: 스페이서의 몸통부(胴部)

68: 록(lock) 기구

76: 걸림부(engaging portion)

80a: 걸림부의 대구경부(大口徑部)

80b: 걸림부의 소구경부(小口徑部)

80c: 걸림부의 어깨부(肩部)

82: 록 홀더 부재

82a: 록 홀더 부재의 통 형상부

82b: 록 홀더 부재의 플랜지(flange)부

86: 걸림부재

92: 캠 레버(cam lever)

Claims

지지부재;

상기 지지부재의 한쪽 면에 간격을 두고 배치되고, 상기 지지부재의 상기 한쪽 면에 대향하는 한쪽 면 및 그 한쪽 면과 반대쪽인 다른쪽 면을 갖는 평판상의 프로브 기판으로서 테스터에 전기적으로 접속되고 선단이 상기 테스터에 의해 전기적 검사를 받는 피검사체의 전기접속단자에 접하는 다수의 프로브가 설치된 프로브 기판;

상기 프로브 기판의 상기 한쪽 면에 형성되고 정부(頂部)로 개방하는 나사구멍이 설치된 고정부;

상기 지지부재의 상기 한쪽 면에서 상기 고정부의 정면(頂面)까지의 거리를 유지하는 전체로 통 형상인 스페이서;

상기 스페이서의 길이에 따른 간격으로 상기 지지부재 및 상기 프로브 기판을 조이는 나사부재; 및

상기 지지부재에 관한 상기 스페이서의 축선방향으로의 운동을 규제하는 수단;

을 포함하고,

상기 스페이서는, 상기 지지부재의 다른쪽 면에 아래면이 놓이는 두부(頭部)와, 상기 두부에 한쪽 끝이 이어지고 상기 지지부재에 형성된 관통구멍을 통과하여 배치되고 다른쪽 끝이 상기 고정부의 정면(頂面)에 접하여 배치되는 몸통부를 갖추 고, 상기 나사부재가 상기 스페이서를 관통하도록 그 스페이서의 두부 쪽부터 삽입되고, 상기 스페이서의 상기 몸통부로부터 돌출하는 상기 나사부재의 선단이 상기 고정부의 나사구멍에 결합하는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제1항에 있어서, 상기 스페이서는, 상기 고정부와 함께 상기 프로브의 침선의 높이 위치를 동일 가상면 위에 맞추는데 필요한 길이치수를 갖는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제1항에 있어서, 상기 규제수단은, 상기 지지부재의 상기 관통구멍에 형성된 암나사 홈과, 상기 암나사 홈에 결합하도록 상기 스페이서에 형성된 숫나사 홈으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제3항에 있어서, 상기 숫나사 홈은 상기 스페이서의 상기 몸통부에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제1항에 있어서, 상기 규제수단은, 상기 스페이서의 두부를 덮어 상기 지지 부재의 상기 다른쪽 면에 배치되는 걸쇠와, 상기 걸쇠를 상기 지지부재에 고정하는 나사부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제5항에 있어서, 상기 지지부재의 상기 다른쪽 면에는, 상기 스페이서의 두부를 수용하는 요소(凹所)가 상기 관통구멍을 둘러싸고 형성되어 있고, 상기 걸쇠는 상기 요소의 개방단(端)을 폐쇄하는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제1항에 있어서, 상기 고정부는 상기 프로브 기판에 고착된 나사부재로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제7항에 있어서, 상기 나사부재는, 두부(頭部) 및 상기 두부에 이어지는 축부(軸部)를 갖는 볼트인 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제2항에 있어서, 상기 스페이서에는, 그 두부의 아래면에서 상기 축부의 다른쪽 끝까지의 거리가 상기 프로브의 상기 침선을 동일 가상평면 위에 유지하는데 적절한 길이의 스페이서가 선택되어 이용되는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장 치.
제1항에 있어서, 상기 지지기판과 상기 프로브 기판 사이에는, 상기 테스터에 접속되는 회로를 갖고 상기 나사부재의 통과를 허락하는 관통구멍을 갖는 배선기판이 배치되고, 상기 배선기판과 상기 프로브 기판 사이에는, 상기 나사부재의 통과를 허락하는 관통구멍을 갖고 상기 배선기판의 상기 회로와 상기 프로브 기판의 상기 각 프로브를 접속하는 접속기가 배치되어 있고, 상기 나사부재가 상기 배선기판 및 상기 접속기의 상기 각 관통구멍을 통과하여 배치되고, 상기 나사부재와 관련하여 상기 스페이서가 상기 각 관통구멍 내에 삽입된 후, 상기 나사부재의 상기 고정부에의 조임에 의해, 상기 프로브 기판이 상기 지지기판에 결합되는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제10항에 있어서, 상기 지지기판, 상기 배선기판 및 상기 접속기를 관통하여 상기 프로브 기판의 중앙부에 배치되는 록 기구를 더 포함하고, 상기 록 기구를 통하여, 상기 프로브 기판은 그 중앙부에서 상기 지지기판에 해제 가능하게 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제11항에 있어서, 상기 프로브 기판의 상기 한쪽 면의 중앙부에는, 상기 프로브 기판으로부터 일어서는 걸림부로서 대구경부 및 상기 대구경부에 어깨부를 거쳐 이어지고 상기 걸림부의 정부(頂部)로 돌아가는 소구경부를 갖는 걸림부가 형성되어 있고, 상기 록 기구는, 상기 지지기판의 상기 다른쪽 면으로부터 상기 지지기판, 상기 배선기판 및 상기 접속기를 관통하여 상기 걸림부의 상기 정부(頂部)로 연장하는 통 형상부 및 상기 통 형상부의 한쪽 끝에서 상기 지지기판의 상기 다른쪽 면 위로 연장하는 플랜지부를 갖는 록 홀더 부재와, 상기 플랜지부로부터 일단부를 돌출 가능하게 배치되고, 상기 일단부에 설치된 캠 레버의 조작에 의해, 상기 록 홀더 부재의 축선방향으로 이동 가능한 록 샤프트와, 상기 샤프트의 상기 축선방향의 이동에 의해, 록 홀더 부재로부터 일부를 돌출시켜 상기 어깨부에 걸리는 걸림 위치와 상기 록 홀더 내에 수용되는 해제 위치와의 사이에서 조작 가능한 걸림부재와, 상기 걸림부재를 그 해제 위치에 유지하도록 상기 록 샤프트에 편의력을 주는 탄성부재를 갖춘 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제10항에 있어서, 상기 접속기는 접촉자에 포고핀 접촉자를 갖는 포고핀 접속기인 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.