CN101501513A - 调整机构 - Google Patents

Abstract

一种探针板组件，该组件包括支承结构，多个探针可直接地或间接地附连到支承结构。探针可设置成接触要被测试的电子器件。探针板组件还可包括致动器，这些致动器可构造成有选择地改变支承结构相对于基准结构的姿势。探针板组件还可包括多个可锁定的顺从结构。在未锁定时，可锁定的顺从结构可允许支承结构相对于基准结构运动。然而在锁定时，顺从结构可对支承结构相对于基准结构的运动提供机械抗力。

Description

调整机构

背景技术

大家都知道各种测试诸如半导体管芯之类电子器件的测试系统。在某些这样的测试系统中，导电探针与电子器件的端子接触。然后，电力和测试信号通过探针供应到电子器件，通过探针监视电子器件对测试信号的响应。为了在探针和电子器件端子之间建立可靠的电气连接，探针通常必须大致与端子对准。在某些测试情形中，探针与端子的对准包括调整探针触头的姿势(例如，倾斜、定向、平面性等)以大致地对应于端子的姿势。此外，在某些测试情形中，热梯度、置于探针上的机械载荷以及其它这样的原因会造成探针不希望的移动。在某些实例中，这些运动可使探针变得与端子对准不准，以致于在电子器件测试过程中，某些或所有的探针和某些或所有的电子器件端子之间失去电气连接。本发明的实施例旨在改进对探针板组件姿势的调整，并提供探针板组件的机械加固。

发明内容

根据本发明某些实施例的探针板组件可包括多个探针可直接地或间接地附连在其上的支承结构。探针可设置成接触要被测试的电子器件。探针板组件还可包括致动器，它们可构造成有选择地相对于基准结构改变支承结构的姿势。探针板组件还可包括多个可锁定的顺从结构。未锁定时，可锁定的顺从结构可允许支承结构相对于基准结构运动。然而锁定时，顺从结构可对支承结构相对于基准结构的运动提供机械抗力。

根据本发明的某些实施例，一种有选择地调整多个探针相对于要测试电子器件的端子的姿势的方法，可包括将探针板组件附连到基准结构。探针可直接地或间接地附连到探针板组件的支承结构，探针板组件可包括多个可锁定的顺从结构。该方法还可包括：在可锁定的顺从结构未锁定时，改变探针板组件的支承结构相对于基准结构的姿势，然后，锁定可锁定的顺从结构。在未锁定时，可锁定的顺从结构可允许支承结构相对于基准结构运动。另一方面，在锁定时，各个可锁定的顺从结构可机械地阻碍顺从结构相对于基准结构的运动。

根据本发明的某些实施例，一种调整多个探针姿势的装置可包括调整机构，该调整机构构造成调整支承结构相对于基准结构的姿势。探针可直接地或间接地附连到支承结构。该装置还可包括离合式顺从结构。当顺从结构的离合器脱开配合时，顺从结构可允许支承结构相对于基准结构运动。然而，当离合器配合时，顺从结构可机械地阻碍支承结构相对于基准结构运动。

在某些实施例中，工具固定组件可包括支承结构，而多个工具可直接地或间接地固定到支承结构并设置成在工件上进行操作。致动器可构造成有选择地改变支承结构相对于基准结构的姿势。该工具固定组件可包括多个可锁定的顺从结构。在未锁定时，可锁定的顺从结构可允许支承结构相对于基准结构运动。然而，在锁定时，顺从结构可机械地阻碍支承结构相对于基准结构的运动。

附图说明

图1示出根据本发明某些实施例的一示范测试系统。

图2示出根据本发明某些实施例的一示范探针板组件的立体图及一示范的头板和插入环的局部视图。

图3示出图2的示范探针板组件的俯视图。

图4示出图2的示范探针板组件的侧视图。

图5A和5B示出根据本发明某些实施例对图2的探针板组件姿势的示范调整。

图6示出根据本发明某些实施例的图2探针板组件的调整组件的示范构造。

图7示出根据本发明某些实施例的图2探针板组件的可锁定的顺从组件的示范构造的立体图。

图8示出图7示范的可锁定的顺从组件的俯视图，头板为局部视图。

图9示出取自图8的示范的可锁定的顺从组件和头板的侧剖视图。

图10A和10B示出根据本发明某些实施例的互连器块相对于图7-9的可锁定的顺从组件的附连块的示范转动。

图11A和11B示出根据本发明某些实施例的互连器块相对于图7-9的可锁定的顺从组件的端部块的示范转动。

图12示出根据本发明某些实施例的互连器块相对于图7-9的可锁定的顺从组件的端部块的示范平移。

图13A和13B示出根据本发明某些实施例的支承结构相对于图7-9的可锁定的顺从组件的端部块的示范转动。

图14示出根据本发明某些实施例的图2的探针板组件的可锁定的顺从组件的另一示范构造的立体图。

图15示出图14的可锁定的顺从组件的附连块的剖视图。

图16示出根据本发明某些实施例的图14的可锁定的顺从组件的哑铃形结构的示范构造。

图17示出根据本发明某些实施例的图2的探针板组件的可锁定的顺从组件的另一示范构造的立体图。

图18示出根据本发明某些实施例的图17的可锁定的顺从组件的哑铃形结构的示范构造。

图19示出可在根据本发明某些实施例的图1系统上实施的示范过程。

图20示出根据本发明某些实施例的工具装置。

具体实施方式

本说明书描述本发明的示范实施例和应用。然而，本发明不局限于这些示范实施例和应用，或局限于示范实施例和应用操作或在这里描述的方式。而且，附图可显示简化的或局部的视图，而附图中元件的尺寸可以夸大或其它方式不成比例。此外，如在这里使用术语“在……上”和“附连到”及类似术语，一物体(例如，一材料、一层、一基底等)可以“在”另一物体“上”或“附连到”另一物体，而不管该一个物体是直接在另一物体上或附连在另一物体上，还是有一个或多个干预的物体在该一个物体和另一物体之间。还有，若提出有关的方向(例如，上方、下方、顶部、底部、侧向、水平、垂直、“x”、“y”、“z”等)，则诸方向是相对而言的，仅是借助于实例，为便于说明和讨论而提出的并不要加以限制。

图1示出根据本发明某些实施例的一示范测试系统100。如图所示，该测试系统100包括一外壳132(例如，一测试装置，诸如半导体探针)，其在图1中显示为有切去部分136，以揭示外壳132的内部腔室132。如图所示，一可移动的卡盘134可位于腔室132内并构造成固定要测试的一个或多个电子器件或DUT 130。如这里所使用的，首字母缩写词“DUT”(可称作测试中的器件)是指被测试或正在测试的任何电子器件。DUT的非限制的实例包括未单个化半导体晶片的一个或多个管芯、从晶片中单个地分出的一个或多个半导体管芯(包装或未包装的)、设置在载体或其它固定装置内的多个已单个化半导体管芯中一个或多个管芯、一个或多个多管芯电子模块、一个或多个印刷电路板以及任何其它类型的电子器件。

如图所示，外壳132可包括头板110，例如，头板可以是任何刚性的结构并可形成外壳132上部的一部分或全部。探针板组件114可附连到头板110，该探针板组件114包括多个导电探针116，这些探针构造成接触DUT 130的输入和/或输出端子118。探针116例如可设置成阵列或其它图形。例如，探针116可包括触头，它们构造成接触DUT 130的端子118。如图2所示，头板110可包括插入环112(例如，卡固定器)或探针板组件114可附连(例如，螺栓连接、夹住等)在其上的类似结构。插入环112可包括开口120，探针116可通过开口120延伸入腔室132内。

还如图1所示，测试系统100可包括测试仪102，它可以是计算机或计算机系统。可从测试仪102到探针板组件114设置多个通信通道。通信通道可包括任何的元件、器件等，它们可提供测试仪102和探针板组件114之间的通信联系，以使电力和信号(例如，测试信号、控制信号等)从测试仪通到探针板组件114，并使DUT 130产生的信号从探针板组件114通到测试仪102。

在图1所示的实例中，通信通道可由一个或多个通信联系装置104(例如，同轴电缆、光纤电缆、无线通信联系装置等)和头板106内的电子器件(例如，接收器电路、驱动器电路、接口电路等)形成。探针板组件114可用电气连接器108电气地连接到通信通道，探针板组件114可包括介于连接器108和探针116之间的导电通路。因此可在测试仪102和探针116之间提供多个导电通路。

在操作中，DUT 130可放置在卡盘134上。卡盘134然后可移动，以使DUT130的一些输入和/或输出端子118可与一些探针116的触头接触，由此，在那些端子118和那些探针116之间建立起临时的电气连接。测试仪102然后可产生电力和测试信号，这些电力和测试信号通过通信通道(例如，包括联系装置104、测试仪头106中的电路系统和连接器108)和探针板组件114供应到DUT130。DUT 130响应于测试信号产生的响应信号可通过探针板组件114和通信通道提供到测试仪102，测试仪102可分析响应信号并确定DUT 130是否正确地响应于测试信号。例如，测试仪102可将响应信号与预期的响应信号作比较。

在某些实施例中，探针116可能少于端子118。在如此情形中，卡盘134可移动DUT 130，以使其它的端子118与一些探针116接触，此时，测试仪102可通过通信通道和探针板组件114提供电力和测试信号以测试DUT 130的其它部分。通过将电力和测试信号从测试仪102提供到DUT 130，使一些端子118与一些DUT端子118接触，然后，测试DUT 130的一部分，并分析DUT130响应于测试信号产生的响应信号，根据测试整个DUT 130的需要，上述过程可以重复进行。例如，如果DUT 130是包括多个半导体管芯(未示出)的半导体晶片，则该晶片可按需要重复定位多次，以测试晶片的所有管芯。

测试系统100只是作为示范而已，许多修改和变化也是可能的。例如，测试仪102和探针板组件114之间的通信通道可由不是如图1所示的联系装置104、测试头106和连接器108的装置提供。例如，通信通道可由直接通信联系装置(例如，同轴电缆、无线通信联系装置、光纤电缆等)提供，它们直接连接测试仪102和探针板组件114。

图2-4以简化的结构图形式中示出根据本发明某些实施例的探针板组件114的示范构造。图2-4还示出头板110的局部视图。如图2所示(该图显示探针板组件114的立体图和头板110的局部立体图)，插入环112的形状适于接纳探针板组件114。例如，如图2所示，探针板组件114可呈大致的环形，而插入环112可以是对应的环形。然而，探针板组件114和插入环112可呈其它形状(例如，方形、矩形等)。

如图2-4所示，且在图4中最清晰地示出，探针板组件114可包括附连/加固结构202、配线板204、柔性电气连接器402以及探针头组件404。附连/加固结构202可构造成被附连到头板110的插入环112，并还可以是加固结构，其机械地阻碍探针板组件或探针板组件零件的运动(例如，由于热变化或梯度引起的移动或翘曲，由于机械载荷引起的移动或翘曲等)。此外，探针头组件404可通过安装机构214用机械方法附连到附连/加固结构202。如图所示，附连/加固结构202可包括支承结构206，支承结构可以是刚性结构，探针头组件404通过安装机构214附连到该刚性结构。例如，支承结构206可包括板或板状结构(例如，包括金属或其它刚性材料)。作为另一实例，支承结构206可包括带有空的空间的金属板状结构。如上所述，附连/加固结构202可构造成机械地阻止探针板组件114例如由于热梯度或机械载荷引起的翘曲或变形，这些翘曲或变型若未加阻止则会影响探针116的位置。

配线基底204可包括多个电气连接器212，其构造成与图1所示的连接器108形成电气连接。尽管示出了四个连接器，但也可使用多一些或少一些的连接器。配线基底204可包括多个电气通路(例如，一个或更多个导电迹线和/或在配线基底204上或中的通路)，这些电气通道通过电气连接器212和柔性电气连接器402之间的配线基底204。柔性电气连接器402可提供通向探针头组件404的电气通路，探针头组件404又可提供通过通向探针116的探针头组件404的电气通路。

如图所示，安装机构214可机械地将探针头组件404附连到支承结构206。安装机构214因此可以是适于将探针头组件404附连到支承结构206的任何装置或机构。安装机构214因此可以是简单如螺栓、螺钉、夹具或是其它的机械附连机构。然而，在某些实施例中，安装机构214可提供附加的功能。例如，各个安装机构可构造成推和/或拉探针头组件404远离或朝向支承结构206。例如，安装机构214可包括差动螺旋组件，各组件构造成有选择地推动探针头组件404远离支承结构206，或拉动探针头组件404朝向支承结构206，视差动螺旋组件的转动元件的转动方向而定。作为另一实例，各个安装机构214可包括推力机构和偏置机构。例如，该推力机构可包括螺钉或螺栓，当沿第一方向转动时，螺钉或螺栓朝向探针头组件404延伸，因此，推动探针头组件404远离支承结构206。螺钉或螺栓可以构造成：当沿相对方向转动时，它们缩回而远离探针头组件404，使偏置机构(它例如可以是弹簧)能推动探针头组件404朝向支承结构206。由于包括设置成在不同部位接触探针头组件404的多个如此的安装机构214，所以可有选择地调整或改变探针头组件404和因此探针116的触头相对于支承结构206的姿势(例如包括平面性、倾斜、定向等)。安装机构214还可包括机械锁定能力，其能将探针头组件404相对于支承结构206的特定姿势锁定就位。

例如，配线基底204可以是印刷电路板基底。柔性连接器402可以是在配线基底204和探针头组件404之间提供电气连接的任何合适的装置，这样的电气连接具有足够柔性来适应探针头组件404相对于支承结构206姿势(例如，倾斜、定向、平面性等)的改变。柔性连接器402因此可以简单如多个柔性电线。作为另一非限制的实例，柔性连接器402可包括插入件，该插入件包括基底(例如，陶瓷基底、印刷电路板基底等)，该基底带有从基底的相反两表面延伸的导电弹簧触头以及基底的一个表面上一些弹簧触头和基底的另一表面上其它弹簧触头之间的电气连接。

探针头组件404可以简单如单个基底(例如，探针基底)，探针116附连到该单个基底上。或者，探针头组件404可包括多个独立可移动的基底(例如，多个探针基底)，而各个如此独立移动的基底可附连有一个探针116的子集。如此探针头组件404可包括调整机构，它们独立地调整各个基底相对于其它基底的位置和定向。

如图2-4所示，附连/加固结构202也可包括多个组件208、210(例如，臂组件)(图中示出八个，但可使用更多或更少的组件)。某些组件208可以是调整组件208，其它组件210可以是可锁定(例如，可以被夹紧和放开)的顺从组件210(例如，离合的顺从机构)。(尽管在图2-4的示范探针板组件114中示出了三个调整组件208和五个可锁定的顺从组件210，但更多或更少的任何一种类型的组件208、210都可以被包括在其它的实施例或实施方案中。)

每个组件208、210可包括一机构(例如，附连机构)，其使组件208、210能附连到头板110的插入环112和从其中脱离开来。例如，各调整组件208、210可以用螺栓连接、夹紧等到插入环112。此外，各调整组件208可包括调整机构，其构造成可在探针板组件114附连到插入环112时相对于插入环112移动组件208(例如，各调整机构可朝向或远离插入环112移动组件208)。调整组件208因此可改变(例如，调整)探针板组件114相对于插入环112(它可以是基准结构的实例)的姿势(例如，倾斜、定向或平面性)。各个可锁定的顺从组件210可包括附连块302(它可以是附连机构的实例)和顺从机构432，前者可牢固地附连到插入环112，后者可允许支承结构206相对于附连块302移动。可锁定的顺从组件210还可包括锁定机构430，其可锁定顺从机构432，使支承结构206不能明显地相对于附连块302移动。换句话说，锁定机构430可锁定顺从机构432，以使可锁定的顺从组件210机械地阻止支承结构相对于附连块302和插入环112运动。因此，在未锁定时，各可锁定的顺从组件210可允许支承结构206运动(例如，调整组件208诱发的运动)。因此，例如，在未锁定时，各可锁定的顺从组件210可允许改变支承结构206相对于插入环112的姿势，而基本上不或不明显地影响支承结构206的姿势。这是因为在未锁定时可锁定的顺从组件210允许支承结构206相对于插入环112移动。一般地，在未锁定时，可锁定的顺从组件210提供的支承结构206相对于插入环112的运动自由度(例如，运动和/或摩擦的自由度数量)越大，则未锁定的可锁定顺从组件210对支承结构相对于插入环206姿势的影响越弱。通常地，如果提供支承结构206相对于插入环112足够的运动自由度，则提供这些运动自由度的可锁定的顺从组件210的运动部分之间的摩擦力可能是未锁定的可锁定的顺从组件210对支承结构206相对于插入环112姿势影响的唯一可能的重要影响根源。尽管在其它实施例中可提供更多或更少的运动自由度，但在某些实施例中，至少四个运动自由度(例如，围绕“x”、“y”和“z”轴的转动以及沿这些轴之一的平移)是足够的运动自由度数。通过合适地构造和/或润滑可锁定的顺从组件210的运动部分，就可减小如此的摩擦力，使未锁定的可锁定顺从组件210对支承结构206姿势的影响可以忽略。然而在锁定时，各可锁定的顺从组件210可提供机械的加固或抗力来阻止例如由热梯度、机械载荷等引起的探针板组件114的翘曲、变形或其它的运动。因此，可锁定的顺从组件210可以是可锁定的顺从结构的实例。

一根据本发明某些实施例的调整组件208的实例显示在图4中。如图所示，调整组件208可包括足部406、延伸部312(例如，延伸臂)以及致动器314(它可以是调整机构的实例)。足部406(它可以是附连机构的实例)可以构造成附连到插入环112和从插入环112脱离。例如，足部406可包括金属块，其包括对应于插入环112中的孔的孔。螺钉或螺栓(图4中未示出)可穿过足部406和插入环112中的孔而将足部406固定到插入环112。

延伸部312可包括由金属或其它刚性材料构成的块体或其它刚性结构，其与支承结构206形成一体。或者，延伸部312可包括刚性地固定到支承结构206的块体或结构。致动器314可以构造成将延伸部312附连到足部406，而致动器314还可构造成有选择地移动延伸部312朝向或远离足部406。致动器312可包括任何装置或机构，或装置和/或机构的组合，它们可将延伸部312附连到足部406并提供有选择地相对于足部406移动延伸部312的能力。

例如，致动器314可包括弹簧加载的支架和推力致动器(未单独示出)。弹簧加载的支架(未单独示出)可将延伸部312固定到足部406，并用弹簧力偏置延伸部312朝向足部406。推力致动器(未单独示出)可包括安装在延伸部312上的螺杆组件，当沿第一方向转动时，该螺杆组件朝向足部406延伸，因此抵抗弹簧加载的支架的偏置力，推动延伸部312远离足部406。当沿相对方向转动时，螺杆组件(未示出)可缩回而远离足部406，使弹簧加载的支架的弹簧偏置力能将延伸部312拉向足部406。在其它实施例中，致动器314可用改变支承结构206姿势的被动装置或方法替代。例如，不是采用致动器314或添加到致动器314，在一个或更多个调整组件208中，一个或更多个垫片(未示出)可放置在延伸部312和足部406之间，以改变支承结构206相对于插入环112的姿势。

应该会明白到，利用多个如此的调整组件208，可有选择地调整或改变支承结构206相对于插入环112的姿势(例如，倾斜、定向、平面性等)。而且，因为探针头组件404附连到支承结构206(例如，通过安装机构214)，所以有选择地改变支承结构206的姿势可改变探针头组件404和探针116触头(它们附连到探针头组件404)相对于插入环112的姿势。此外，因为插入环112和卡盘134可以是外壳132一部分或可附连(直接地或间接地)到外壳132，所以，调整支承结构206、探针头组件404和探针116触头相对于插入环112的姿势也可改变支承结构206、探针头组件404和探针116触头相对于卡盘134和设置在卡盘134上的DUT 130(带有端子118)的姿势。因此，如图5A和5B所示，支承结构206及因此探针116触头的姿势可相对于插入环112和DUT端子118进行调整。图5A示出支承结构206以及因此探针头组件404和探针116触头具有相对于插入环112倾斜的姿势，而图5B示出支承结构206具有相对于插入环112沿不同方向倾斜的姿势。支承结构206及因此探针116触头的姿势因此可相对于任何数量的基准结构改变，这些基准结构包括但不局限于插入环112、卡盘234(例如，DUT 130所放置的卡盘内234的表面)、DUT 130以及DUT 130的端子118。调整组件208和可锁定的顺从组件210因此可以(但不是必须)安装在支承结构206或探针116的姿势相对于其改变的基准结构上。

如上所述，当未锁定时，可锁定的顺从组件210可允许支承结构206相对于插入环112相对自由地移动。在某些实施例中，可锁定的顺从组件210可允许支承结构206相对于插入环112的姿势改变，而不会显著地影响支承结构206的姿势。支承结构206和调整组件208可以是机械地刚性或坚硬的，并可对探针116、探针头组件404或探针板组件114的其它元件上的加载502(例如，力)提供机械抗力。支承结构206和调整组件208因此可阻止由如此加载502引起的附连/加固结构202(以及因此支承结构206、探针头组件404和探针116)的运动，加载502可由探针116的机械加载引起(例如，卡盘134抵靠探针116按压在DUT 130的端子)，或由其它根源(例如，热梯度)引起。在锁定时，可锁定的顺从组件210可对附连/加固结构202提供附加的刚度。即，各可锁定的顺从组件210可对任何加载502提供附加的机械抗力。的确，设置的可锁定的顺从组件210越多，则提供的附加刚度(例如，对运动的抗力)就越大。

图6示出示范的调整组件600，其可以是调整组件208的非限制性的示范实施例。如图所示，螺钉612可旋入到插入环112内的螺纹孔(未示出)内，该螺钉612可将足部406附连到插入环112。进入孔602可提供穿过延伸部312接近螺钉612的通路。差动螺旋组件606可以是图3和4致动器314的示范实施例，其可附连到延伸部312，例如，延伸部312的开口604内。差动螺旋组件606的杆620可如图6所示地附连到足部406。大家知道，差动螺旋组件606沿一个方向的转动可朝向足部406延伸杆620，推动延伸部312远离足部406。差动螺旋组件606沿相对方向的转动可远离足部406地缩回杆620，从而拉动延伸部312朝向足部406。

如上所述，差动螺旋组件606可用只推的致动器和弹簧加载的支架替代。弹簧加载的支架(未示出)可将延伸部312附连到足部406，并可偏置(例如，用弹簧)延伸部312朝向足部406。只推致动器可包括杆(未示出)，其可抵抗弹簧支架的偏置力延伸而推动延伸部312远离足部406。只推致动器的杆也可缩回而远离足部，使支架的弹簧偏置力能拉动延伸部312朝向足部406。

再参照图4，根据本发明某些实施例的可锁定的顺从组件210的实例也显示在图4中。如图所示，各个可锁定的顺从组件210可包括附连块302、顺从机构432以及锁定机构430。附连块302可构造成附连到插入环112和与插入环112脱开。例如，附连块302可包括金属块，其包括对应于插入环112中的孔的孔。螺钉或螺栓(图4中未示出)可穿过附连块302和插入环112内的孔，将附连块302固定到插入环112。

顺从机构432可包括任何的机构，其机械地将附连部分302连接到支承结构206，同时，允许支承结构206相对于附连部分302围绕“x”、“y”和/或“z”轴中至少一个轴转动，和或沿“x”、“y”和/或“z”轴中的至少一个平移。例如，顺从机构432可包括弹簧、万向节、球窝结构、枢转结构等。锁定机构430可包括任何机构，其刚性地锁定顺从机构432，这样，当锁定时，可锁定的顺从组件210刚性地和基本上不可动地用机械方法将支承结构206连接到附连部分302。例如，锁定机构430可包括离合器、螺钉、螺栓、平行板结构等。

图7-9示出根据本发明某些实施例的可锁定的顺从组件210的示范结构700。如图所示，图7-9所示的可锁定的顺从组件210的示范结构700可包括附连块701、互连器块714和端部块726。

如图8和9所示，附连块701可通过螺钉810附连到插入环112，螺钉810可旋入到插入环112内的孔(未示出)内。如图7-9所示，进入孔702可设置在附连块701内以用于螺钉810。附连块701因此可附连到插入环112。如图7和9清楚地所示，附连块701还可包括指形物704、708，在指形物704、708之间形成水平空间706。

如图7-9所示，端部块726可包括凸缘722、732，它们可用螺钉720、730附连到附连/加固机构202的支承结构206(见图2)。端部块726因此可附连到支承结构206。还如图所示，端部块可包括指形物718、724，在指形物718、724之间形成垂直空间734。

如图7-9所示，互连器块714可位于附连块701和端部块726之间，互连器块714可包括本体712、水平延伸部710以及垂直延伸部716。垂直延伸部716可从本体712延伸到端部块726的指形物718、724之间的垂直空间734内，如图7和8清楚地所示。水平延伸部710可从本体712延伸到附连块701的指形物704、708之间的水平空间706内，如图7和9清楚地所示。

附连块701、互连器块714和端部块726中的每一个可由单件的刚性材料(例如，金属)一体地形成。或者，附连块701、互连器块714和端部块726中的每一个可包括机械地彼此连接的结构上不同的元件。

如图7和最清楚的是如图9所示，螺栓/螺母对736中的螺栓可穿过指形物704中的孔820、连接器块714的水平延伸部710内的孔802以及指形物708内的孔822。如图10A和10B所示，当螺栓/螺母对736松开时，互连器块714的水平延伸部710可围绕螺栓/螺母对736的轴线(图7-10B中标识为“z”轴)转动。(指形物704在图10A和10B中显示为有挖去部分1002，以显示螺栓/螺母对736中螺栓杆和孔802。)然而，当拧紧时，螺栓/螺母对736可牢固地将指形物704、708压抵水平延伸部710，并相对于指形物704、708将水平延伸部710刚性地固定就位。因此，当螺栓/螺母对736拧紧时，水平延伸部710不能围绕螺钉736轴线自由转动，而是基本上不可动。指形物704、708和螺栓/螺母对736因此可形成离合器机构，其通过拧紧螺栓/螺母对736而配合(锁定)，或通过拧松螺栓/螺母对736而脱开配合(未锁定)。螺栓/螺母对736可用旋入到附连块701的指形物704、708内的螺纹孔中的螺钉替代。

如图7-9所示，并从图8和9中最清楚可见，螺栓/螺母对728中螺栓可穿过端部块726的指形物718、724内的孔(未示出)，并穿过互连器块714的垂直延伸部716内的过大槽804(见图9)。如图11A和11B所示，当螺栓/螺母对728拧松时，互连器块714的垂直延伸部716可大致围绕图11A和11B中标识为“y”轴的轴线相对于端部块726的指形物718、724转动。过大槽804允许转动。如图12所示，过大槽804还可允许垂直延伸部716沿着图12中标识为“x”轴的轴线相对于端部块726的指形物718、724平移。(指形物724在图11A、11B和12中显示为有挖去部分1102，以显示螺栓/螺母对728中螺栓杆和过大槽804。)然而当拧紧时，螺栓/螺母对728可牢固地将端部块726的指形物718、724压抵垂直延伸部716，并相对于指形物718、724将垂直延伸部716刚性地固定就位。因此，当螺栓/螺母对728拧紧时，垂直延伸部716不能围绕“y”轴自由转动，或沿“x”轴平移而是基本上不可动。指形物718、724和螺栓/螺母对728因此可形成离合器机构，其通过拧紧螺栓/螺母对728而配合(锁定)，或通过拧松螺栓/螺母对728而脱开配合(未锁定)。螺栓/螺母对728可用旋入到指形物718、724内螺纹孔中的螺钉替代。

如图9所示，销子或榫钉808可分别设置在端部块726和附连/加固结构202的支承结构206(见图2)内的对应中空空间806、810内。如图13A和13B所示，当穿过端部块726凸缘722、732的螺钉720、730被拧松时，附连/加固结构202的支承结构206(见图2)可围绕榫钉808相对于端部块726转动。还如图13A和13B所示，端部块726的凸缘722、732内的过大和/或弧形槽1302、1304允许支承结构206相对于不同地是静止的螺钉720、730转动。然而当拧紧时，螺钉720、730固定住端部块726的凸缘722、732，使其相对于支承结构206基本上不可动和呈刚性。因此，当螺钉720、730拧紧时，支承结构206不能相对于端部块726转动或移动。凸缘722、732、支承结构206和螺钉720、730因此可形成一离合器机构，其通过拧紧螺钉720、730而配合(锁定)，或通过拧松螺钉720、730而脱开配合(未锁定)。榫钉808只是示范而已，例如，可用沿一个方向为柔性但沿另一方向为刚性的结构替代。例如，榫钉808可用这样一结构代替，该结构沿对应于围绕图8-10中“z”轴转动的方向为柔性，但沿对应于围绕“x”和“y”轴转动的方向为刚性。如此一个结构的非限制性实例是C形柔性轴承。

正如大家明白的，图7-13B中所示的附连块701、互连器块714和端部块726是根据本发明某些实施例的图2-5B的可锁定的顺从组件210的非限制性示范结构。一般地说，螺栓/螺母对736、728、指形物704、708、718、724和螺钉720、730是图2-5B的可锁定的顺从组件210的锁定机构432的非限制性实例。互连器块714、孔802和过大槽804、1302、1304是图2-5B的可锁定的顺从组件210的顺从机构432的非限制性实例。

图14-16示出根据本发明某些实施例的另一示范的可锁定的顺从组件1400。可锁定的顺从组件1400可以是图2-5B的可锁定的顺从组件210的另一非限制性实例。如图所示，可锁定的顺从组件1400可包括附连块1402、哑铃形结构1406和端部块1404。可以看到，附连块1402可包括金属或其它刚性材料，并可附连到图1所示测试系统100中的插入环112。也可包括金属或其它刚性材料的端部块1404可以与探针板组件114的附连/加固结构202的支承结构206(见图2)一体形成或可附连到该支承结构206。哑铃形结构1406可允许端部块1404和因此支承结构206相对于附连块1402移动。例如，哑铃形结构1406可允许支承结构206围绕“x”、“y”和/或“z”轴中的一个或更多个转动，和/或沿“x”、“y”和/或“z”轴中的一个或更多个平移。

如图14所示，附连块1402可包括孔1408，其可以类似于孔702(见图9)，并因此可构造成接纳螺钉(图14-16中未示出)，以将附连块1402附连到图1所示测试系统100的插入环112。附连块1402因此可以与附连块701附连到插入环112相同的方式(见图9)附连到插入环112。还如图14所示，附连块1402可包括指形物1410、1412，指形物1410、1412之间形成空间1414。一沟槽1418可形成到指形物之一1412内，而一对应的沟槽1502(见图15)可形成到另一个指形物1410内。沟槽1418、1502可构造成接纳哑铃形结构1406的球体之一1420。螺栓/螺母对1416可如图14和15所示地设置在指形物1410、1412之间。当螺栓/螺母对1416拧松时，球体1420可围绕“x”、“y”和/或“z”轴中的任何轴线或全部轴线自由转动，也可沿着沟槽1418、1502长度(该长度沿着在图14中标识为“x”轴)平移。然而当拧紧时，螺栓/螺母对1416可牢固地将指形物1410、1412压抵球体1420，将球体1420锁定就位。因此，当螺栓/螺母对1416拧紧时，球1420不能自由转动或平移，而是刚性地锁定就位。指形物1410、12和螺栓/螺母对1416因此可形成离合器机构，其通过拧紧螺栓/螺母对1416而配合(锁定)，或通过拧松螺栓/螺母对1416而脱开配合(未锁定)。螺栓/螺母对1416可用旋入到指形物1410、1412中的螺纹孔内的螺钉替代。

如图14所示，端部块1404可与附连/加固结构202的支承结构206一体形成(见图2)。或者，端部块1404可在结构上与支承结构206分离但刚性地和牢固地附连到支承结构206。如图所示，端部块1404可包括指形物1426、1428，指形物之间带有空间1432。每个指形物1426、1428可包括匹配的盘形结构，其中一个1432在图14中可见，其用来接纳哑铃形结构1406的另一球体1424。螺栓/螺母对1430可如图14所示地设置在指形物1426、1428之间。当螺栓/螺母对1430松动时，球1424可围绕“x”、“y”和/或“z”轴中的任何轴线或所有轴线自由地转动。然而当拧紧时，螺栓/螺母对1430可牢固地将指形物1426、1428压抵住球体1424，将球体1424锁定就位。因此，当螺栓/螺母对1430拧紧时，球体1424不能自由转动，而是刚性地锁定就位。指形物1426、1428和螺栓/螺母对1430因此可形成离合器机构，其通过拧紧螺栓/螺母对1430而配合(锁定)，或通过拧松螺栓/螺母对1430而脱开配合(未锁定)。螺栓/螺母对1430可用旋入到指形物1426、1428内螺纹孔中的螺钉替代。

如图14所示，哑铃形结构1406可包括球体1420、1424，它们可附连到杆条1422的相对端。图16示出哑铃形结构1406的非限制性的实例。如图所示，球体1420、1424可附连到杆条1422或与杆条1422形成一体。球体1420、1424和杆条1422可包括金属或其它刚性材料。

如将会明白的，螺栓/螺母对1416、1430可以是图2-4的锁定机构430的非限制性实例，而哑铃形结构1406可以是图2-4的顺从机构432的非限制性实例。

图17和18示出根据本发明某些实施例的图14-16的可锁定的顺从组件1400的替代的示范结构1500。图17和18所示的可锁定的顺从组件1500因此是图2-5B可锁定的顺从组件210的另一非限制性实例。

如图17所示，可锁定的顺从组件1500可包括如图14所示和如上所述进行构造的端部块1404，包括所有替代的结构。还如图17所示，可锁定的顺从组件1500还可包括附连块1502和哑铃形结构1506。

附连块1502可大致类似于图14的附连块1402，例外地是，附连块1502可包括指形物1512内的盘形结构1518和指形物1510内对应的盘形结构(图17中未可见)(它们大致类似于端部块1404的指形物1426、1428内的盘形结构)，而不是附连块1402的指形物1410、1412内的沟槽1502、1418。另外，附连块1502可包括用来接纳螺钉(未示出，但可类似于图9的螺钉810)的孔1508(可类似于孔1408)，以便将附连块1502附连到图2的头板110的插入环112。指形物1510、1512(可类似于图14的指形物1410、1412)可提供用于哑铃形结构1506的球体1520的空间1514。螺栓/螺母对1516可构造成当拧紧时牢固地将指形物1510、1512压抵球体1520，以使球体1520不能转动。然而当螺栓/螺母对1516拧松时，球体1520可自由地在盘形结构1520内转动。指形物1510、1512和螺栓/螺母对1516因此可形成离合器机构，其通过拧紧螺栓/螺母对1516而配合(锁定)，或通过拧松螺栓/螺母对1516而脱开配合(未锁定)。

如图17和18所示(其示出哑铃形结构1506的侧剖视图)，哑铃形结构1506可包括两个球体1520、1524和杆条组件1510。如图17所示，球体1520可设置在附连块1502的盘形结构1518内，而球体1524可设置在端部块1404的盘形结构1432内。第一杆条1508可附连到球体1520(例如，第一杆条1508可与杆1422附连到球体1420相同的方式附连到球体1520)，而第二杆条1514可类似地附连到另一球体1524。

如图18所示，杆条组件1510可构造成允许其中一杆条(例如，第二杆条1514)相对于另一杆条(例如，第一杆条1508)平移运动。例如，如图18所示，第一杆1508可与外壳形成一体或刚性地附连到外壳，该外壳包括形成内部空间1806的外壳体1802。第二杆条1514的一端可包括细长槽1808，该端可放置在壳体1802内，而螺栓/螺母对1800的螺栓可延伸通过第二杆条1514内的细长槽1808和壳体1802内的孔(未示出)。

螺栓/螺母对1800可拧紧，它可将壳体1802压抵第二杆条1514，将第二杆条1514锁定就位，以使第二杆条1514相对于第一杆条1508不能移动。然而当螺栓/螺母对1800松动时，第二杆条1514可在壳体内自由滑动，因此相对于第一杆条1508沿着第一杆条1508的轴线平移。壳体1802和螺栓/螺母对1800因此可形成离合器机构，其通过拧紧螺栓/螺母对1800而配合(锁定)，或通过拧松螺栓/螺母对1800而脱开配合(未锁定)。球体1520、1424和杆条1508、1514可包括金属或其它刚性材料。

图19示出可使用图1系统100执行以测试类似于DUT130的DUT的示范过程1900。如图19所示，在1902处，探针板组件114可附连到外壳132的头板110上(见图1)。例如，图2-4的探针板组件114的调整组件208和可锁定的顺从组件210可附连到头板110的插入环112。例如，如果调整组件208如图6所示地构造，则每个调整组件600的足部406可用螺钉512附连到插入环112，如图6所示。如果可锁定的顺从组件210如图7-9所示地构造，则各个可锁定的顺从组件700的附连块701可用螺钉810附连到插入环112，如图9所示。或者，如果可锁定的顺从组件210如图14或图17所示地构造，则附连块1402或附连块1502可用螺钉(未示出)附连或插入到孔1408或1508内并旋入到插入环112内的对应孔(未示出)上，如上大致地所描述。

再参照图19，在1904处，可锁定的顺从组件210可在1904处解除锁定。例如，图2-4中探针板组件114的各个可锁定的顺从组件210上的锁定机构430可以被解除锁定。如上所述，当锁定机构430解锁时，各个可锁定的顺从组件210的顺从机构432可允许附连/加固结构202的支承结构206相对于各个可锁定的顺从组件210的附连块302移动。

例如，如果可锁定的顺从组件210类似于图7的可锁定的顺从组件700进行构造，则可锁定的顺从组件700可通过拧松螺栓/螺母对736和728和螺钉720、730来解锁，就如以上一般地所讨论的。作为另一实例，如果可锁定的顺从组件210类似于图14的可锁定的顺从组件1400进行构造，则可锁定的顺从组件210可通过拧松螺栓/螺母对1416和螺栓/螺母对1430来解锁。作为还有另一实例，如果可锁定的顺从组件210类似于图17的可锁定的顺从组件1700进行构造，则可锁定的顺从组件210可通过拧松螺栓/螺母对1416、1430、1800来解锁。

再参照图19，在1906处，可调整探针板组件114的姿势。例如，一个或多个可调整组件208上的一个或更多个致动器314可被致动，以有选择地改变或调整对应延伸部312相对于插入环112的位置。如上所述和图5A和5B中所示，通过提供多个如此的可调整组件208，附连/加固结构202的支承结构206姿势(例如，倾斜、定向、平面性等)可相对于探针板组件114在1902处所附连到的插入环112有选择地改变或调整。如上所述，因为探针头组件404附连到支承结构206(例如，通过安装机构214)，所以，有选择地改变支承结构206的姿势，可改变探针头组件404和探针116触头(它们附连到探针头组件404)相对于插入环112的姿势。此外，因为插入环112和卡盘134可以是外壳132的一部分或可(直接地或间接地)附连到外壳132，所以，调整支承结构206、探针头组件404和探针116触头相对于插入环112的姿势，也可改变支承结构206、探针头组件404和探针116触头相对于卡盘134和设置在卡盘上的DUT130(带有端子118)的姿势。因此，图19中的1906可实现有选择地调整探针116触头相对于DUT130端子118的姿势。例如，在1906处探针116的触头可有选择地调整，以对应于DUT130端子118的姿势。

如上所述，因为各个可锁定的顺从组件210上的锁定机构430可在图19的1904处解除锁定，各个可锁定的顺从组件210上的顺从机构432可允许支承结构206相对于各个可锁定的顺从组件210的附连块312移动，如上所述，这些附连块已在1902处附连到插入环112。因此，当在图19的1906期间致动器314改变支承结构206的姿势时，各个可锁定的顺从组件210上的顺从机构432可允许支承结构206相对于各个可锁定的顺从组件210的附连块302移动，因此，相对于多个可能的基准结构中的任何一个移动，如上所述，基准结构包括插入环112、卡盘134、DUT130、DUT130的端子等。而且，当未锁定时，顺从组件210可构造成允许支承结构206沿至少一个或更多个运动自由度移动，且相当自由地移动，因此对支承结构206的姿势施加的影响可以忽略。

再参照图19，可锁定的顺从组件210可锁定在1904处。例如，可以锁定图2-4中探针板组件114的各个可锁定的顺从组件210上的锁定机构430。如上所述，锁定机构430可锁定各个可锁定的顺从组件210的顺从机构432，以使支承结构206不能相对于各个可锁定的顺从组件210的附连块302移动。因此，一旦在1906处按要求设定支承结构206相对于插入环112的姿势(以及因此探针116触头相对于DUT130端子118的姿势)，则各个可锁定的顺从组件210可被锁定，以使支承结构206相对于附连块302不允许有进一步运动(或没有显著的进一步运动)。一旦锁定可锁定的顺从组件210上的锁定机构430，各个可锁定的顺从组件210可变为刚性结构，在DUT测试期间，该刚性结构阻止支承结构206(以及因此探针头组件404和探针116)的运动。例如，在测试DUT130期间，在锁定机构430被锁定时，可锁定的顺从组件210可对例如因热梯度、作用在探针116上的机械载荷等引起的支承结构206、探针头组件404和探针116的运动提供机械抗力。且由各个已锁定的可锁定的顺从组件210提供的对于运动(例如，诸如图5A和5B所示加载502那样的加载诱发的运动)的刚度或机械抗力可附加于由探针板组件114的其它元件(诸如调整组件208和支承结构206)提供的对运动的刚度或机械抗力。而且，顺从机构432允许可锁定的顺从组件210提供上述机械抗力，而不影响(或不显著地影响)支承部分(以及因此探针头组件404和探针116触头)相对于插入环112(以及因此卡盘134、DUT130及DUT130端子118)的姿势。

如上所述，各个可锁定的顺从组件210可通过锁定其锁定机构430来锁定。例如，如果可锁定的顺从组件210类似于图7的可锁定的顺从组件700那样进行构造，则可锁定的顺从组件210可用以下方法锁定：如上大致描述的，拧紧螺栓/螺母对736以将附连块701的指形物704、708牢固地压抵互连器块714的水平延伸部710；如上大致描述的，拧紧螺栓/螺母对728以将端部块726的指形物718、724牢固地压抵互连器块1714的垂直延伸部716；以及如上大致描述的，拧紧螺栓720、730以牢固地将端部块726的凸缘722、732附连到支承结构206。作为另一实例，如果可锁定的顺从组件210类似于图14的可锁定的顺从组件1400那样进行构造，则可锁定的顺从组件210可用以下方法锁定：如上大致描述的，拧紧螺栓/螺母对1416以将指形物1410、1412牢固地压抵球体1420；以及如上安装描述的，拧紧螺栓/螺母对1430以将端部块1404的指形物1426、1428牢固地压抵球体1424(见图14)。作为还有另一实例，如果可锁定的顺从组件210类似于图17的可锁定的顺从组件1500那样进行构造，则可锁定的顺从组件210可用以下方法锁定：如上大致描述的，拧紧螺栓/螺母对1516以将指形物1510、1512牢固地压抵球体1520；如上大致描述的，拧紧螺栓/螺母对1430以将指形物1426、1428牢固地压抵球体1524；以及如上大致描述的，拧紧螺栓/螺母对1800以将壳体1802牢固地压抵第二杆1514。

在图19的1910处，可测试DUT130。例如，卡盘134可定位成将选定的DUT130端子118压抵选定的探针116以建立那些探针116和那些端子118之间的电气连接。如上所述，测试仪102然后可通过连接器104、测试头106内的电子器件、连接器108和探针板组件114对DUT130提供电力和测试信号。DUT130响应于测试信号产生的响应信号可通过探针板组件114、连接器108、测试头106内的电子器件以及连接器104提供给测试仪102。然后，测试仪102可评价响应信号以确定DUT130(或DUT130的元件)是否通过测试。卡盘134可重新定位DUT130，以使其它端子118可与探针116接触所需的次数，以便测试整个DUT130。一旦测试了DUT130，新的DUT可放置在卡盘134上，从而可测试新的DUT。

尽管以上在使用探针板组件的测试DUT的系统中描述了许多示范实施例和结构，但本发明还有许多其它实施例也是可能的。图20示出根据本发明某些实施例的如此一个系统的实例。如图所示，工具装置2000可包括图2-5(包括图6-18中所示示范结构)或类似结构的带有调整组件208和可锁定的顺从组件210的附连/加固结构202。还如图所示，工具装置2000可附连到如以上参照图1-18所描述的外壳132的头板110的插入环112(图20中未示出但显示在图1中)，或附连到构造成接纳工具装置2000的类似结构。如图20所示，工具头组件2002可附连到支承结构206，而该工具头组件2002可包括多个工具2004。工件2006可以是工具头组件2002的工具2004在其上进行操作的任何物体，该工件2006可以设置在卡盘134上或类似装置上，如以上参照图1所讨论的，卡盘134上或类似装置可以被包围在外壳132内或附连到外壳132(图20中未示出但显示在图1中)，头板110是外壳132的一部分。如上所讨论，卡盘134可将工件2006移入允许工具2004在工件2006上进行操作的位置上。例如，工具2004可以是但不局限于将油漆或其它材料喷溅到工件2006表面上的喷嘴。作为另一非限制性的实例，工具2004可以是心轴或砂轮，其构造成加工工件2006。

工具装置2000可附连到插入环112，而可锁定的顺从组件210可以解除锁定(它可类似于图19的1904)。支承结构206的姿势(及因此工具2004的姿势)可使用调整组件210进行调整(其类似于图19的1906)。在未锁定时，可锁定的顺从组件210可允许支承结构206相对于插入环112相对自由地移动(至少沿一个或更多个自由度)，因此已解锁的可锁定的顺从组件210可几乎不对支承结构206的姿势施加显著影响。然后，可锁定的顺从组件210可被锁定(其可类似于图19的1908)，在锁定时，可锁定的顺从组件210可对附连/加固结构202提供附加的刚度(或对运动的机械抗力)，以阻碍例如加载2050(例如，机械加载、热诱发的加载等)在工具2004上或工具头组件2002的作用，同时，例如工具2004在工件2006上操作。

尽管本说明书已经描述了本发明具体的实施例和应用，但本发明并不意图局限于这些示范的实施例和应用，或局限于示范实施例和应用所进行操作的或在这里所描述的方式。

Claims (41)

1.一种探针板组件包括：

支承结构；

多个探针，所述探针固定到所述支承结构并设置成接触要被测试的电子器件；

致动器，所述致动器构造成有选择地改变所述支承结构相对于基准结构的姿势；以及

多个可锁定的顺从结构，其中，

在未锁定时，所述可锁定的顺从结构允许所述支承结构相对于所述基准结构运动，以及

在锁定时，所述顺从结构机械地阻止所述支承结构相对于所述基准结构的运动。

2.如权利要求1所述的探针板组件，其特征在于，

所述支承结构包括刚性板状结构；

所述探针板组件还包括多个从所述支承结构延伸的刚性延伸部；以及

所述致动器设置在所述延伸部内。

3.如权利要求2所述的探针板组件，其特征在于，所述可锁定的顺从结构包括附连到所述支承结构的臂组件。

4.如权利要求1所述的探针板组件，其特征在于，所述探针附连到基底，该基底附连到所述支承结构。

5.如权利要求1所述的探针板组件，其特征在于，所述基准结构是其中设置所述电子器件的测试装置的一部分。

6.如权利要求5所述的探针板组件，其特征在于，还包括多个附连机构，所述附连机构构造成将所述支承结构附连到所述基准结构。

7.如权利要求6所述的探针板组件，其特征在于，各个致动器设置成有选择地改变所述附连机构中的一个和所述基准结构之间的距离。

8.如权利要求7所述的探针板组件，其特征在于，所述可锁定的顺从结构构造成将所述支承结构附连到所述基准结构。

9.如权利要求7所述的探针板组件，其特征在于，还包括三个致动器。

10.如权利要求7所述的探针板组件，其特征在于，各个致动器包括差动螺旋组件。

11.如权利要求1所述的探针板组件，其特征在于，各个可锁定的顺从结构包括：

构造成附连到所述基准结构的附连块；

可动地连接到所述支承结构的端部块；以及

可动地连接到所述附连块并可动地连接到所述端部块的互连器块。

12.如权利要求11所述的探针板组件，其特征在于，各个可锁定的顺从结构还包括离合器，所述离合器构造成：在锁定时，阻止所述支承结构相对于所述端部块运动，并阻止所述互连器块相对于所述端部块和所述附连块运动。

13.如权利要求1所述的探针板组件，其特征在于，各个可锁定的顺从结构包括：

第一球体，所述第一球体可转动地设置在第一离合器结构内，所述第一离合器结构附连到所述支承结构；

第二球体，所述第二球体可转动地设置在第二离合器结构内，所述第二离合器结构构造成附连到所述基准结构；以及

设置在第一球体和第二球体之间的杆条。

14.如权利要求13所述的探针板组件，其特征在于，锁定所述第一离合器防止第一球体转动，而锁定所述第二离合器防止所述第二球体转动。

15.如权利要求1所述的探针板组件，其特征在于，在未锁定时，所述可锁定的顺从结构不明显地影响所述支承结构相对于所述基准结构的姿势。

16.如权利要求1所述的探针板组件，其特征在于，在锁定时，各个可锁定的顺从结构附加所述支承结构的机械刚度。

17.一种有选择地调整多个探针相对于要测试电子器件的端子的姿势的方法，该方法包括：

将探针板组件附连到基准结构；

在可锁定的顺从结构未锁定时，改变所述探针板组件的支承结构相对于所述基准结构的姿势，其中，所述探针固定到所述支承结构和所述顺从结构，在未锁定时，允许所述支承结构相对于所述基准结构运动；以及

锁定所述多个可锁定的顺从结构，其中，在锁定时，各个可锁定的顺从结构机械地阻止所述顺从结构相对于所述基准结构运动。

18.如权利要求17所述的方法，其特征在于，还包括在改变所述支承结构姿势之前解除对所述多个可锁定的顺从结构的锁定。

19.如权利要求17所述的方法，其特征在于，所述基准结构是测试外壳的一部分，该外壳包括构造成固定所述电子器件的卡盘。

20.如权利要求19所述的方法，其特征在于，所述探针附连到探针基底组件，该组件附连到加固结构。

21.如权利要求20所述的方法，其特征在于，改变所述支承结构的姿势包括：定向所述探针的触头以对应于所述电子器件的端子的定向。

22.如权利要求17所述的方法，其特征在于，各个可锁定的顺从结构允许所述支承结构相对于所述基准结构有至少四个运动自由度。

23.如权利要求22所述的方法，其特征在于，所述四个运动自由度包括围绕三个垂直轴线的转动和沿着至少一个轴线的平移。

24.如权利要求17所述的方法，其特征在于，还包括：

锁定所述多个可锁定的顺从结构之后，实现所述电子器件一些端子和一些探针之间的接触；以及

当所述那些端子和所述那些探针接触时，测试所述电子器件的至少一部分。

25.如权利要求24所述的方法，其特征在于，所述电子器件包括半导体晶片，所述晶片包括多个半导体管芯。

26.如权利要求25所述的方法，其特征在于，在所述测试期间，已锁定的所述可锁定的顺从结构机械地阻止所述支承结构的运动。

27.如权利要求17所述的方法，其特征在于，在未锁定时，所述可锁定的顺从结构不明显地影响所述支承结构相对于所述基准结构的姿势。

28.如权利要求17所述的方法，其特征在于，在锁定时，各个可锁定的顺从结构附加所述支承结构的机械刚度。

29.一种调整多个探针姿势的装置，该装置包括：

探针所固定的支承结构；

一整机构，所述调整机构构造成调整所述支承结构相对于基准结构的姿势；以及

离合式顺从结构，所述顺从结构构造成：

当所述顺从结构的离合器脱开配合时，所述顺从结构允许所述支承结构相对于所述基准结构运动，以及

当所述顺从结构的所述离合器配合时，所述顺从结构机械地阻碍所述支承结构相对于所述基准结构运动。

30.如权利要求27所述的装置，其特征在于，所述探针构造成接触要被测试的电子器件的端子，而所述基准结构是测试装置的一部分，在测试期间，所述电子器件设置在所述测试装置内。

31.如权利要求27所述的装置，其特征在于，还包括多个附连机构，所述附连机构构造成将所述支承结构附连到所述基准结构。

32.如权利要求29所述的装置，其特征在于，各个致动器设置成有选择地改变所述支承结构相对于所述附连结构之一的定向。

33.如权利要求30所述的装置，其特征在于，各个致动器包括差动螺旋组件。

34.如权利要求30所述的装置，其特征在于，所述离合式顺从结构构造成将所述支承结构附连到所述基准结构。

35.如权利要求27所述的装置，其特征在于，所述离合式顺从结构允许所述支承结构相对于所述基准结构有至少四个运动自由度。

36.如权利要求33所述的装置，其特征在于，所述四个运动自由度包括围绕三个垂直轴线的转动和沿着至少一个轴线的平移。

37.如权利要求27所述的装置，其特征在于，当所述离合式顺从结构的所述离合器脱开配合时，所述离合式顺从结构不明显地影响所述支承结构相对于所述基准结构的姿势。

38.如权利要求27所述的装置，其特征在于，在配合时，所述离合式顺从结构附加所述支承结构的机械刚度。

39.一种工具固定组件，该工具固定组件包括：

支承结构；

多个工具，所述多个工具固定到所述支承结构并设置成在工件上进行操作；

致动器，所述致动器构造成有选择地改变所述支承结构相对于基准结构的姿势；以及

多个可锁定的顺从结构，其中：

在未锁定时，所述可锁定的顺从结构允许所述支承结构相对于所述基准结构运动，以及

在锁定时，所述顺从结构机械地阻碍所述支承结构相对于所述基准结构的运动。

40.如权利要求39所述的组件，其特征在于，所述工具包括分配材料的喷嘴，所述工件包括所述材料要被分配在其上的结构。

41.如权利要求39所述的组件，其特征在于，所述工件包括待加工的物体，所述工具包括构造成加工所述工件的心轴。

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